KR101861859B1 - 기판 처리 장치, 프로그램을 기록한 컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체, 경보 표시 방법 및 기판 처리 장치의 점검 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명의 과제는, 기판 처리 장치에 이상이 발생한 경우의 점검 작업을, 신속하게 오류 없이 행하는 것이다.
복수의 처리 유닛과, 각 처리 유닛에서의 이상 발생을 표시하는 표시 수단을 구비한 기판 처리 장치는, 이상 발생의 경보의 내용과 당해 이상 발생에 의해 점검이 필요해지는 부위를 관련시킨 정보와, 점검 대상 부위를, 이상이 발생되어 있지 않은 다른 부위로부터 아이솔레이트하기 위해 조작되는 기기의 정보와, 점검 대상 부위의 배치 및 아이솔레이트 시의 조작 대상 기기의 배치와, 아이솔레이트 시의 조작 대상 기기의 조작 수순을 기억하는 기억 수단과, 기억 수단의 정보에 기초하여, 이상 발생에 의해 점검이 필요해지는 부위를 아이솔레이트하기 위해 조작되는 기기를 특정하고, 또한 특정된 기기의 배치를 특정하여 표시 수단에 출력하는 이상 특정 수단과, 기억 수단의 정보에 기초하여, 이상 특정 수단에서 특정된 기기의 조작 수순을 특정하여 표시 수단에 출력하는 조작 수순 특정 수단을 갖고 있다.

Description

기판 처리 장치, 프로그램을 기록한 컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체, 경보 표시 방법 및 기판 처리 장치의 점검 방법{APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE, COMPUTER READABLE RECORDING MEDIUM FOR RECORDING PROGRAM, METHOD FOR INDICATING ALARM AND CHECKING METHOD OF APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE}

본 발명은, 기판의 처리를 행하는 기판 처리 장치, 프로그램, 컴퓨터 기억 매체, 기판 처리 장치에 있어서의 경보 표시 방법 및 기판 처리 장치의 점검 방법에 관한 것이다.

예를 들어 반도체 디바이스의 제조 공정에 있어서의 포토리소그래피 공정에서는, 웨이퍼 상에 레지스트액을 도포하여 레지스트막을 형성하는 레지스트 도포 처리, 레지스트막을 소정의 패턴으로 노광하는 노광 처리, 노광된 레지스트막을 현상하는 현상 처리 등의 일련의 처리가 순차적으로 행해져, 웨이퍼 상에 소정의 레지스트 패턴이 형성되고 있다. 이들 일련의 처리는, 웨이퍼를 처리하는 각종 처리 유닛이나 웨이퍼를 반송하는 반송 유닛 등을 탑재한 기판 처리 장치인 도포 현상 처리 장치에 의해 행해지고 있다.

그런데 도포 현상 처리 장치에 이상이 발생한 경우, 통상은 웨이퍼 처리가 정지해 버린다. 따라서, 이상 발생 부위를 빠르게 특정하고, 복구 작업을 행하는 것이 바람직하다. 그러나 일반적으로 이상 발생 시에 발보하는 알람은, 이상이 발생한 유닛 이름이나 이상의 내용이 표시될 뿐이다. 그로 인해, 유닛이 이상에 이른 원인의 특정은, 작업원의 경험에 좌우되는 부분이 크다.

또한, 어느 처리 유닛에 이상이 발생하였는지에 대해서는, 알람의 내용으로부터 특정할 수 있지만, 각 처리 유닛의 외부에도 웨이퍼 처리에 필요한, 예를 들어 냉각수나 동력 전원, 혹은 처리액 등의 유틸리티 관계의 공급 설비가 배치되어 있고, 이들에 이상이 발생한 경우도 처리 유닛의 이상으로 되므로, 이상 발생의 원인으로 된 부위가 반드시 이상이 발생한 처리 유닛 내에 배치되어 있다고는 할 수 없다. 따라서, 이상 발생의 원인으로 된 부위가, 도포 현상 처리 장치의 어디에 배치되어 있는지에 대해서도, 빠르게 특정하기 위해서는, 경험이 필요해진다.

그로 인해, 예를 들어 특허 문헌 1에는, 작업원의 경험에 의존하는 일 없이, 이상이 발생한 위치를 특정하는 방법으로서, 알람 정보에 기초하여 이상이 발생한 위치를 특정하기 위한 식별 정보를 취득하고, 이 식별 정보에 관련되어 있는 위치 정보를 화상에 표시하는 것이 제안되어 있다.

일본 특허 출원 공개 제2011-14658호 공보

그런데 최근, 도포 현상 처리 장치에 이상이 발생한 경우라도 웨이퍼 처리를 계속할 수 있도록, 도포 현상 처리 장치에 병렬로 배치된 복수의 처리 유닛에 의해 병행하여 웨이퍼 처리를 행하고, 이상이 발생한 경우에는, 이상으로 판단된 처리 유닛을 우회하여 다른 건전한 처리 유닛에서 웨이퍼 처리를 계속하는 처리 방법이 채용되고 있다.

그러나 이러한 도포 현상 처리 장치라도, 처리 유닛의 일부가 정지하는 것에 의한 생산성의 저하는 여전히 피할 수 없다. 그로 인해, 이상 발생의 원인을 빠르게 특정하고, 점검 작업, 복구 작업을 행하는 것이 바람직하다. 단, 운전을 계속하고 있는 다른 처리 유닛에 영향을 주지 않도록 작업을 행하기 위해서는, 운전을 계속하고 있는 다른 처리 유닛과 공유하고 있는, 전원 공급 시스템이나 냉각수 시스템 등의 유틸리티 관련의 기기로부터 당해 이상 부위를 차단할 필요가 있다.

이 점검 작업, 복구 작업을 행하기 위해서는 다방면에 걸친 기기의 조작이 필요해지지만, 상술한 특허 문헌 1의 방법에서는, 이상 부위의 특정은 할 수 있지만, 점검 작업이나 복구 작업에 관련하여 차단을 위해 조작이 필요해지는 기기까지는 특정할 수 없다.

또한, 차단을 위해 조작이 필요한 기기를 특정할 수 있어도, 작업 수순을 잘못하면, 운전 계속 중의 처리 유닛에 영향을 주어 버려, 도포 현상 처리 장치 전체가 정지하는 트러블을 초래할 우려도 있다. 그로 인해, 이러한 작업에 대해서는, 여전히 숙련 작업원의 경험이 필요하게 되고, 또한, 작업에도 장시간을 필요로 하는 것이 현상이다.

본 발명은, 이러한 점에 비추어 이루어진 것이며, 기판 처리 장치에 이상이 발생한 경우의 점검 작업을, 신속하게 오류 없이 행하는 것을 목적으로 하고 있다.

상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 복수의 기판을 병행하여 처리하는 복수의 처리부와, 상기 각 처리부에서의 이상 발생을 경보 표시하는 표시 수단을 구비한 기판 처리 장치이며, 상기 복수의 처리부는, 각각 상이한 처리를 행하는 처리부를 포함하고, 이상 발생의 경보의 내용과 당해 이상 발생에 의해 점검이 필요해지는 부위를 관련시킨 정보와, 상기 점검이 필요해지는 부위마다 설정되고, 점검 작업을 행할 때, 상기 점검이 필요해지는 부위를, 이상이 발생되어 있지 않은 다른 부위에 영향을 주는 일이 없도록 상기 다른 부위로부터 아이솔레이트하기 위해 조작되는 기기의 정보와, 상기 점검이 필요해지는 부위의 위치 정보 및 상기 아이솔레이트를 위해 조작되는 기기의 위치 정보와, 상기 아이솔레이트를 위해 조작되는 기기의 조작 수순의 정보를 기억하는 기억 수단과, 상기 각 처리부에서 발생한 이상을 검출하고, 또한 상기 기억 수단의 정보에 기초하여, 당해 이상 발생에 의해 점검이 필요해지는 부위 및 상기 아이솔레이트를 위해 조작되는 기기를 특정하고, 또한 이들 부위 및 기기의 위치를 특정하여 상기 표시 수단에 출력하는 이상 특정 수단과, 상기 기억 수단의 정보에 기초하여, 상기 이상 특정 수단에서 특정된 기기의 조작 수순을 특정하여 상기 표시 수단에 출력하는 조작 수순 특정 수단을 갖고 있는 것을 특징으로 하고 있다.

본 발명에 따르면, 처리부에서 발생한 이상을 검출하고, 당해 이상 발생에 의해 점검이 필요해지는 부위 및 상기 아이솔레이트를 위해 조작되는 기기를 특정하고, 이들 특정된 부위 및 기기의 위치 정보 및 이들 특정된 기기의 조작 수순을 특정하여 표시 수단에 출력한다. 따라서, 표시 수단에 표시된 각 기기의 위치나 조작 수순을 확인함으로써, 신속하게 오류 없이 점검 작업을 행할 수 있다.

또한, 「아이솔레이트」라 함은, 예를 들어 이상이 발생한 부위의 점검 작업 시, 이상이 발생되어 있지 않은 부위에 영향을 주는 일이 없도록, 이상이 발생한 부위와 이상이 발생되어 있지 않은 부위 사이의 전기적, 물리적인 관계를 끊는 것을 말한다.

또한, 아이솔레이트를 위해 조작되는 기기는, 적어도 이하의 (1) 내지 (6) 중 어느 하나이다.

(1) 점검이 필요해지는 부위와 이상이 발생되어 있지 않은 다른 부위 사이의 전기적인 접속을 차단하는 차단기

(2) 점검이 필요해지는 부위와 이상이 발생되어 있지 않은 다른 부위 사이에 흐르는 유체의 흐름을 차단하는 유체 차단 기구

(3) 상기 표시 수단에 출력되는 이상 발생의 경보 신호를 차단하기 위한 스위치

(4) 점검이 필요해지는 부위와 당해 부위를 구동시키고 있었던 구동 기구 사이에 설치된 구동력 전달 부재

(5) 점검이 필요해지는 부위를 외부의 환경으로부터 차단하는 환경 차단 기구

(6) 점검이 필요해지는 부위에 대하여 액세스 가능한 다른 구동 기구로의 전원 공급을 차단하는 다른 차단기, 또는 상기 다른 구동 기구의 동작을 정지시키는 조작 기구

상기 표시 수단은, 터치 패널, 모니터 또는 액정 디스플레이 중 어느 하나를 구비한 사용자 인터페이스이며, 상기 아이솔레이트를 위해 조작되는 기기는, 상기 사용자 인터페이스로부터 원격 조작 가능이어도 된다.

상기 기판을 반송하는 기판 반송 기구와, 상기 기판 반송 기구에 의한 기판의 반송을 제어하는 반송 제어 수단을 더 갖고, 상기 반송 제어 수단은, 이상이 발생한 처리부를 우회하여 기판을 반송하도록 상기 기판 반송 기구를 제어해도 된다.

다른 관점에 의한 본 발명은, 상기한 기판 처리 장치에 있어서의 경보의 표시 방법이며, 상기 이상 특정 수단에 의해, 처리부에서 발생한 이상을 검출하고, 그 후 상기 기억 수단의 정보에 기초하여, 당해 이상 발생에 의해 점검이 필요해지는 부위 및 상기 아이솔레이트를 위해 조작되는 기기, 및 이들 부위 및 기기의 위치를 특정하여 상기 표시 수단에 출력하고, 또한, 조작 수순 특정 수단에 의해, 상기 기억 수단의 정보에 기초하여 상기 아이솔레이트를 위해 조작되는 기기의 조작 수순을 특정하고, 상기 표시 수단에 출력하는 것을 특징으로 하고 있다.

또 다른 관점에 의한 본 발명은, 복수의 기판을 병행하여 처리하는 복수의 처리부와, 상기 각 처리부에서의 이상 발생을 경보 표시하는 표시 수단을 구비한 기판 처리 장치의 점검 방법이며, 상기 복수의 처리부는, 각각 상이한 처리를 행하는 처리부를 포함하고, 상기 처리부 중 적어도 어느 하나에서 이상이 발생하였을 때에 경보를 발보하고, 그 후, 이상 발생의 경보의 내용에 기초하여 당해 이상 발생에 의해 점검이 필요해지는 부위를 특정하고, 상기 점검이 필요해지는 부위마다 설정되고, 점검 작업을 행할 때, 상기 점검이 필요해지는 부위를, 이상이 발생되어 있지 않은 다른 부위에 영향을 주는 일이 없도록 상기 다른 부위로부터 아이솔레이트하기 위해 조작되는 기기의 특정과, 당해 특정된 기기의 조작 수순의 특정을 행하고, 또한, 상기 점검이 필요해지는 부위의 위치 및 상기 특정된 기기의 위치를 특정하고, 상기 점검이 필요해지는 부위의 위치 및 상기 특정된 기기의 위치, 및 상기 특정된 기기의 조작 수순을 상기 표시 수단에 표시하고, 상기 표시 수단에 표시된, 상기 점검이 필요해지는 부위 및 상기 특정된 기기의 위치, 및 상기 특정된 기기의 조작 수순에 따라, 당해 특정된 기기의 조작과 상기 점검이 필요해지는 부위의 점검을 행하는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 점검 후에, 점검을 행한 부위에 웨이퍼를 반송한다. 웨이퍼는 포지션 조정, 온도 측정, 파티클 체크를 목적으로 한다.

또 다른 관점에 의한 본 발명에 따르면, 상기 경보 표시 방법을 기판 처리 장치에 의해 실행시키도록, 당해 기판 처리 장치를 제어하는 제어 장치의 컴퓨터상에서 동작하는 프로그램이 제공된다.

또 다른 관점에 의한 본 발명에 따르면, 상기 프로그램을 저장한 판독 가능한 컴퓨터 기억 매체가 제공된다.

본 발명에 따르면, 기판 처리 장치에 이상이 발생한 경우의 점검 작업을, 신속하게 오류 없이 행할 수 있다.

도 1은 본 실시 형태에 관한 도포 현상 처리 장치의 내부 구성의 개략을 도시하는 평면도.
도 2는 본 실시 형태에 관한 도포 현상 처리 장치의 내부 구성의 개략을 도시하는 측면도.
도 3은 본 실시 형태에 관한 도포 현상 처리 장치의 내부 구성의 개략을 도시하는 측면도.
도 4는 본 실시 형태에 관한 제어 장치의 구성의 개략을 도시하는 설명도.
도 5는 본 실시 형태에 관한 경보 테이블의 일례를 나타내는 설명도.
도 6은 동력 전원 시스템의 구성의 개략을 도시하는 단선 결선도.
도 7은 냉각수 시스템의 구성의 개략을 도시하는 계통도.
도 8은 인터로크 회로의 구성의 개략을 도시하는 블록도.
도 9는 경보 테이블에 기억되어 있는 위치 정보의 내용을 도시하는 설명도.
도 10은 표시 수단에 조작 대상 기기의 위치 정보가 표시된 상태를 도시하는 설명도.
도 11은 기판 처리 장치에 있어서의 점검 작업의 흐름도.

이하, 본 발명의 실시 형태에 대해 설명한다. 도 1은 본 실시 형태에 관한 기판 처리 장치(1)의 내부 구성의 개략을 도시하는 설명도이다. 도 2 및 도 3은 기판 처리 장치(1)의 내부 구성의 개략을 도시하는 측면도이다. 또한, 본 실시 형태에서는, 기판 처리 장치(1)가, 예를 들어 기판의 포토리소그래피 처리를 행하는 도포 현상 처리 장치인 경우를 예로 하여 설명한다.

기판 처리 장치(1)는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 예를 들어 외부와의 사이에서, 1로트의 복수매의 웨이퍼(W)가 수용된 카세트(C)가 반입출되는 카세트 스테이션(2)과, 포토리소그래피 처리 중에서 소정의 처리를 실시하는 처리부로서의 각종 처리 유닛을 복수 구비한 처리 스테이션(3)과, 처리 스테이션(3)에 인접하는 노광 장치(4)와의 사이에서 웨이퍼(W)의 전달을 행하는 인터페이스 스테이션(5)을 일체로 접속한 구성을 갖고 있다. 또한, 기판 처리 장치(1)는, 각종 처리 유닛 등의 제어를 행하는 제어 장치(6)를 갖고 있다.

카세트 스테이션(2)은, 예를 들어 카세트 반입출부(10)와 웨이퍼 반송부(11)로 나뉘어져 있다. 예를 들어 카세트 반입출부(10)는, 기판 처리 장치(1)의 Y방향 부(負)방향(도 1의 좌측 방향)측의 단부에 설치되어 있다. 카세트 반입출부(10)에는, 카세트 적재대(12)가 설치되어 있다. 카세트 적재대(12) 상에는, 복수, 예를 들어 4개의 적재판(13)이 설치되어 있다. 적재판(13)은, 수평 방향의 X방향(도 1의 상하 방향)으로 일렬로 배열하여 설치되어 있다. 이들 적재판(13)에는, 기판 처리 장치(1)의 외부에 대하여 카세트(C)를 반입출할 때에, 카세트(C)를 적재할 수 있다.

웨이퍼 반송부(11)에는, 도 1에 도시하는 바와 같이 X방향으로 연장되는 반송로(20) 상을 이동 가능한 웨이퍼 반송 기구(21)가 설치되어 있다. 웨이퍼 반송 기구(21)는, 상하 방향 및 연직축 주위(θ방향)로도 이동 가능하며, 각 적재판(13) 상의 카세트(C)와, 후술하는 처리 스테이션(3)의 제3 블록(G3)의 전달 장치 사이에서 웨이퍼(W)를 반송할 수 있다.

카세트 스테이션(2)에 인접하는 처리 스테이션(3)에는, 각종 유닛을 구비한 복수, 예를 들어 4개의 블록(G1, G2, G3, G4)이 설치되어 있다. 처리 스테이션(3)의 정면측(도 1의 X방향 부방향측)에는, 제1 블록(G1)이 설치되고, 처리 스테이션(3)의 배면측[도 1의 X방향 정(正)방향측]에는, 제2 블록(G2)이 설치되어 있다. 또한, 처리 스테이션(3)의 카세트 스테이션(2)측(도 1의 Y방향 부방향측)에는, 제3 블록(G3)이 설치되고, 처리 스테이션(3)의 인터페이스 스테이션(5)측(도 1의 Y방향 정방향측)에는, 제4 블록(G4)이 설치되어 있다.

예를 들어 제1 블록(G1)에는, 도 2에 도시하는 바와 같이 복수의 액처리 유닛, 예를 들어 웨이퍼(W)를 현상 처리하는 현상 처리 유닛(30), 웨이퍼(W)의 레지스트막의 하층에 반사 방지막(이하 「하부 반사 방지막」이라 함)을 형성하는 하부 반사 방지막 형성 유닛(31), 웨이퍼(W)에 레지스트액을 도포하여 레지스트막을 형성하는 레지스트 도포 유닛(32), 웨이퍼(W)의 레지스트막의 상층에 반사 방지막(이하 「상부 반사 방지막」이라 함)을 형성하는 상부 반사 방지막 형성 유닛(33)이 하방으로부터 순서대로 4단으로 적층되어 있다.

예를 들어 제1 블록(G1)의 각 유닛(30 내지 33)은, 도 2에 도시하는 바와 같이 처리 시에 웨이퍼(W)를 수용하는 컵(F)을 수평 방향으로 복수 갖고, 복수의 웨이퍼(W)를 병행하여 처리할 수 있다.

예를 들어 제2 블록(G2)에는, 도 3에 도시하는 바와 같이 웨이퍼(W)의 가열 및 냉각 등의 열처리를 행하는 열처리판을 구비한, 복수의 열처리 유닛(40 내지 46)이 설치되어 있다. 각 열처리 유닛(40 내지 46)은, 하방으로부터 열처리 유닛(40 내지 46)의 순서대로 적층되어 설치되어 있다.

예를 들어 제3 블록(G3)에는, 복수의 전달 유닛(50, 51, 52, 53, 54, 55, 56)이 하방으로부터 순서대로 설치되어 있다.

예를 들어 제4 블록(G4)에는, 복수의 전달 유닛(60, 61, 62) 및 결함 검사 유닛(100)이 하방으로부터 순서대로 설치되어 있다.

도 1에 도시하는 바와 같이 제1 블록(G1) 내지 제4 블록(G4)에 둘러싸인 영역에는, 웨이퍼 반송 영역(D)이 형성되어 있다. 웨이퍼 반송 영역(D)에는, 예를 들어 도 3에 도시하는 바와 같이 웨이퍼 반송 기구(70, 71, 72, 73)가 하방으로부터 순서대로 설치되어 있다. 웨이퍼 반송 기구(70, 71, 72, 73)는, 예를 들어 각 블록(G1 내지 G4)의 동일한 정도의 높이의 소정의 유닛에 웨이퍼(W)를 반송할 수 있다.

또한, 웨이퍼 반송 영역(D)에는, 제3 블록(G3)과 제4 블록(G4) 사이에서 직선적으로 웨이퍼(W)를 반송하는 셔틀 반송 장치(80)가 설치되어 있다.

셔틀 반송 장치(80)는, 예를 들어 도 3의 Y방향으로 직선적으로 이동 가능하게 되어 있다. 셔틀 반송 장치(80)는, 웨이퍼(W)를 지지한 상태에서 Y방향으로 이동하고, 제3 블록(G3)의 전달 유닛(52)과 제4 블록(G4)의 전달 유닛(62) 사이에서 웨이퍼(W)를 반송할 수 있다.

도 1에 도시하는 바와 같이 제3 블록(G3)의 X방향 정방향측에는, 웨이퍼 반송 기구(90)가 설치되어 있다. 웨이퍼 반송 기구(90)는, 예를 들어 전후 방향, θ방향 및 상하 방향으로 이동 가능한 반송 아암을 갖고 있다. 웨이퍼 반송 기구(90)는, 웨이퍼(W)를 지지한 상태에서 상하로 이동하여, 제3 블록(G3) 내의 각 전달 유닛에 웨이퍼(W)를 반송할 수 있다.

인터페이스 스테이션(5)에는, 웨이퍼 반송 기구(91)가 설치되어 있다. 웨이퍼 반송 기구(91)는, 예를 들어 전후 방향, θ방향 및 상하 방향으로 이동 가능한 반송 아암을 갖고 있다. 웨이퍼 반송 기구(91)는, 예를 들어 반송 아암에 웨이퍼(W)를 지지하여, 제4 블록(G4) 내의 각 전달 유닛, 노광 장치(4)에 웨이퍼(W)를 반송할 수 있다.

제어 장치(6)는, 도 4에 도시하는 바와 같이, 웨이퍼 반송 기구의 동작을 제어하는 반송 제어 수단(200)과, 각종 처리 유닛의 동작을 제어하는 웨이퍼 처리 제어 수단(201)과, 이상 발생의 경보의 내용과 당해 이상 발생에 의해 점검이 필요해지는 부위를 관련시킨 정보를 기억하는 기억 수단(202)과, 각종 처리 유닛에서 발생한 이상을 검출하고, 기억 수단(202)의 정보에 기초하여 점검이 필요해지는 부위를 특정하는 이상 특정 수단(203)과, 이상 특정 수단(203)에서 특정된 부위의 조작 수순을 특정하는 조작 수순 특정 수단(204)과, 기판 처리 장치(1)에 있어서의 처리 상황이나 경보 출력 등의 각종 정보를 표시하는 표시 수단(205)을 갖고 있다. 표시 수단(205)은, 예를 들어 터치 패널, 모니터 또는 액정 디스플레이 등을 구비한, 소위 그래피컬 사용자 인터페이스이며, 제어 장치(6)에서 검출된 이상의 내용을 알리는 경보의 발보나, 이상 특정 수단(203), 조작 수순 특정 수단(204)에서 특정된 각종 정보의 출력 표시와 함께, 제어 장치(6)로의 입력 조작이 가능하도록 구성되어 있다.

또한, 제어 장치(6)는, 예를 들어 CPU나 메모리 등을 구비한 컴퓨터에 의해 구성되고, 예를 들어 메모리에 기억된 프로그램을 실행함으로써, 기판 처리 장치(1)에 있어서의 도포 처리나, 기판 처리 장치(1)에 설치된 각종 센서로부터 입력된 신호에 기초하여 이상을 검출하고, 표시 수단(205)에 경보 출력을 행할 수 있다. 또한, 기판 처리 장치(1)에 있어서의 도포 처리나 이상 검출을 실현하기 위한 각종 프로그램은, 예를 들어 컴퓨터 판독 가능한 하드 디스크(HD), 플렉시블 디스크(FD), 콤팩트 디스크(CD), 마그넷 옵티칼 디스크(MO), 메모리 카드 등의 기억 매체(H)에 기억되어 있었던 것이며, 그 기억 매체(H)로부터 제어 장치(6)에 인스톨된 것이 사용되고 있다.

기억 수단(202)에서는, 각 처리 유닛의 이상에 의해 발생하는 경보의 내용과 당해 이상을 해소하기 위해 점검이 필요해지는 부위를 관련시킨 정보가, 예를 들어 도 5에 나타내는 경보 테이블(210)로서 기억되어 있다. 도 5에 나타내는 경보 테이블(210)의 가로 열에는, 예를 들어 좌측으로부터 우측을 향해, 이상 발생에 의해 웨이퍼(W)의 처리가 정지된 처리 유닛(「이상 유닛」), 이상 발생에 의해 발보한 경보의 내용(「경보 항목」), 경보의 원인으로 된 이상을 해소하기 위해 점검이 필요해지는 부위(「점검 부위」)가 이 순서대로 기억되어 있다. 또한, 경보 테이블(210)에는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 점검이 필요해지는 부위를, 이상이 발생되어 있지 않은 다른 부위로부터 아이솔레이트하기 위해 조작이 필요해지는 기기의 정보(도 5의 「아이솔레이트 기기」), 아이솔레이트를 위해 조작되는 기기의 조작 수순의 정보(도 5의 「조작 수순」), 점검이 필요해지는 부위 및 상기 아이솔레이트를 위해 조작되는 기기의 위치 정보(도 5의 「위치 정보」)도 기억되어 있다.

여기서 말하는 아이솔레이트라 함은, 예를 들어 이상이 발생한 부위의 점검 작업을 행할 때, 이상이 발생되어 있지 않은 다른 부위에 영향을 주는 일이 없도록, 이상이 발생한 부위와 이상이 발생되어 있지 않은 부위 사이의 전기적, 물리적인 관계를 끊는 것을 말한다. 또한, 아이솔레이트를 위해 조작되는 기기의 구체적인 예로서는, 예를 들어 점검이 필요해지는 부위와 이상이 발생되어 있지 않은 다른 부위 사이의 전기적인 접속을 차단하는 차단기, 점검이 필요해지는 부위와 이상이 발생되어 있지 않은 다른 부위 사이에 흐르는 유체의 흐름을 차단하는 밸브나 댐퍼 등의 유체 차단 기구, 점검이 필요해지는 부위와 당해 부위를 구동시키고 있었던 구동 기구 사이에 설치되어 있었던, 구동력을 전달하기 위한 구동력 전달 부재, 점검이 필요해지는 부위를 외부의 환경으로부터 차단하는 환경 차단 기구 등이 있다. 구동력 전달 부재로서는, 예를 들어 웨이퍼 반송 기구를 동작시키기 위해, 웨이퍼 반송 기구와 모터 사이에 설치된 커플링 등이 있다. 환경 차단 기구로서는, 예를 들어 하우징에 설치된 셔터 등이 있다. 또한, 예를 들어, 상기한 차단기 등을 조작한 경우에, 표시 수단(205)에서 경보가 발보하지 않도록, 제어 회로 상에서 경보 출력을 차단하기 위한 스위치 등도, 아이솔레이트를 위해 조작되는 기기에 포함된다. 구체적인 예로서는, 후술하는 「누수 센서 인터로크 무효화 스위치」가 이에 해당한다. 다음으로, 경보 테이블(210)에 대해 구체적으로 설명한다.

도 5에 나타내어지는 바와 같이, 경보 테이블(210)의 「경보 항목」의 란에는, 예를 들어 「오븐 A 이상」, 「히터 A 단선」, 「히터 A 전원 누전」, 「히터 A 냉각 이상」 등의 경보의 내용이 기억되어 있다. 그리고 「점검 부위」의 란에는, 「경보 항목」의 란에 기록되어 있는 경보가 발생한 경우, 이상 발생의 원인으로 되는 부위, 즉 점검이 필요해지는 부위의 명칭이 기억되어 있다. 또한, 도 5에 나타내어지는 바와 같이, 「오븐 A 이상」, 「히터 A 단선」, 「히터 A 전원 누전」의 경보가 발생한 경우, 「점검 부위」는 열처리 유닛(40) 내에 설치된 열처리판뿐이지만, 경보가 「히터 A 냉각 이상」인 경우에는, 열처리 유닛(40)의 외부에 설치된, 후술하는 냉각수 시스템(230)에 이상이 발생하고 있을 가능성이 있으므로, 열처리판 이외에 냉각수 시스템(230)도 「점검 부위」에 포함된다. 또한, 도 5의 「경보 항목」의 란에 기재된 각 경보 명칭의 말미에 기재되는 「A」는, 예를 들어 열처리 유닛(40)에 대응하는 부위를 나타내기 위한 식별 기호이며, 예를 들어 열처리 유닛(41)에서 발생한 이상, 바꾸어 말하면, 점검의 대상이 열처리 유닛(41)으로 되는 경보이면, 예를 들어 기호 「B」를 사용하여 「히터 B 단선」과 같이 기억된다. 이러한 식별의 방법은, 당연히 본 실시 형태의 내용에 한정되는 것은 아니고, 임의로 설정할 수 있다.

다음으로, 「아이솔레이트 기기」의 란에는, 점검 대상으로 되는 부위인 열처리판 A를, 기판 처리 장치(1)로부터 아이솔레이트할 때에 조작되는 기기로 하여, 「동력 전원 차단기 A」, 「제어 전원 차단기 A」, 「냉각수 밸브 A」, 「배기 덕트 A」, 「셔터 A」, 「누수 센서 인터로크 무효화 스위치 A」가 기억되어 있다. 「동력 전원 차단기 A」라 함은, 예를 들어 도 6에 도시되는 바와 같이, 각 열처리 유닛(40 내지 46)에 동력 전원을 공급하기 위한 동력 전원 시스템(220)에 설치된 복수의 차단기(221a 내지 221g) 중, 열처리 유닛(40)에 대응하는 차단기(221a)를 의미하고 있다. 또한, 「제어 전원 차단기 A」라 함은, 각 열처리 유닛(40 내지 46)의 제어에 사용하는 제어 전원을 공급하기 위한 제어 전원 시스템(도시하지 않음)에 설치된 차단기(도시하지 않음) 중, 열처리 유닛(40)에 대응하는 차단기를 말한다. 또한, 「냉각수 밸브 A」는, 예를 들어 도 7에 도시되는 바와 같이, 각 열처리 유닛(40 내지 46)에 냉각수를 공급하는 냉각수 시스템(230)에 설치된 복수의 밸브(231a 내지 231g) 중, 열처리 유닛(40)과 냉각수 시스템(230)의 아이솔레이트를 행하는 밸브(231a)를 의미하고 있다. 또한, 「배기 덕트 A」는, 각 열처리 유닛(40 내지 46)에 개별로 설치된 배기 덕트(도시하지 않음) 중, 열처리 유닛(40)에 대응하는 배기 덕트를 의미하고 있다. 「셔터 A」는, 열처리 유닛(40)의 하우징에 설치된, 기판 처리 장치(1)의 예를 들어 웨이퍼 반송 영역(D)과 열처리 유닛(40)의 환경을 차단하는 셔터(도시하지 않음)이다. 또한, 「누수 센서 인터로크 무효화 스위치 A」라 함은, 예를 들어 도 7에 도시하는 냉각수 시스템(230)에 설치된 누수 센서(233)가 누수를 검지하였을 때, 냉각수 시스템(230)의 칠러(232)를 보호하기 위해, 당해 칠러(232)를 정지시키는 보호 인터로크를 무효화하기 위한 스위치이다. 구체적으로는, 제어 장치(6) 내의 프로그램에 의해 구성된, 도 8에 도시되는 인터로크 회로에 있어서, 열처리 유닛(40)에 대응하는 누수 센서(233)가 누수를 검지한 경우라도, 보호 인터로크 동작이 작용하지 않도록 하기 위한 제어 신호(250)이며, 예를 들어 제어 장치(6)에 설치된 무효화 스위치(도시하지 않음)에 의해 조작된다. 또한, 인터로크를 무효화하는 것은, 예를 들어 밸브(231a)를 조작함으로써, 누수 센서(233)가 동작하고, 칠러(232)를 정지시키는 보호 인터로크가 동작하는 것을 방지하기 위해서이다.

또한, 이상에서는 점검의 대상으로 되는 기기가 열처리 유닛인 경우에 대해 설명하였지만, 도 5의 경보 테이블(210)에는, 기판 처리 장치(1) 내의, 예를 들어 레지스트 도포 유닛(32)이나, 주연 노광 장치(도시하지 않음) 등의 다른 처리 유닛에 관한 정보도, 마찬가지로 기억되어 있다. 레지스트 도포 유닛(32)에 관한 경보로서는, 예를 들어 「스핀 모터 전원 누전」, 「레지스트액 공급 중단」 등이 기억되어 있고, 「스핀 모터 전원 누전」의 경우에는 스핀 모터가, 「레지스트액 공급 중단」의 경우에는 레지스트액 공급 장치가 각각 「점검 부위」로 된다.

또한, 점검 부위가 스핀 모터인 경우에, 「아이솔레이트 기기」로서 스핀 모터의 동작에 관계되는 「모터 동력 차단기」, 「모터 제어 전원 차단기」 이외에, 스핀 모터의 동작과 관련이 없는 「노즐 아암 동력 전원 차단기」가 포함되어 있는 것은, 예를 들어 스핀 모터의 점검 중에 레지스트 노즐을 이동시키는 아암이 동작하는 것을 방지하여 작업원의 안전을 확보하기 위해서이다. 즉 「아이솔레이트 기기」에는, 단순히 점검 부위를 아이솔레이트하기 위해 조작이 필요해지는 기기뿐만 아니라, 작업원의 안전을 확보하기 위해, 점검 부위에 대하여 액세스 가능한 다른 구동 기구로서의 아암으로의 전원 공급을 차단하는 다른 차단기도 포함된다. 또한, 점검 부위에 대하여 액세스 가능한 다른 구동 기구의 동작을 방지하는 수단으로서, 다른 차단기 대신에, 예를 들어 다른 구동 기구의 동작을 강제적으로 정지시키기 위한 스위치 등의 조작 기구를 사용해도 된다. 또한, 주연 노광 장치에 관한 경보로서는, 예를 들어 「램프 이상」, 「스핀 모터 전원 누전」 등이 기억되어 있다. 「램프 이상」의 경우에는 램프 본체와 램프 전원이 점검 부위로 되고, 「스핀 모터 전원 누전」의 경우에는, 레지스트 도포 유닛(32)의 경우와 마찬가지로, 스핀 모터가 점검 부위로 된다.

경보 테이블(210)의 「조작 수순」의 란에는, 「아이솔레이트 기기」에 기재된 각 기기를 조작해야 하는 순서가 기억되어 있다. 도 5에 있어서는, 상방으로부터 순차적으로, 「2」, 「3」, 「4」, 「5」, 「6」, 「1」로 되어 있고, 이것은, 「누수 센서 인터로크 무효화 스위치 A」, 「동력 전원 차단기 A」, 「제어 전원 차단기 A」, 「냉각수 밸브 A」, 「배기 덕트 A」, 「셔터 A」의 순서로 조작이 필요한 것을 의미하고 있다.

이 순서는, 예를 들어 「누수 센서 인터로크 무효화 스위치 A」와 「냉각수 밸브 A」와 같이, 조작 순서를 잘못하면 기판 처리 장치(1) 전체가 정지에 이르는 트러블을 피하기 위함이거나, 「동력 전원 차단기 A」, 「제어 전원 차단기 A」와 같이, 아이솔레이트 작업 시의, 작업원의 안전을 확보하기 위함이거나, 각각의 관점에 기초하여 임의로 결정되는 것이며, 당연히 본 실시 형태의 내용에 한정되는 것은 아니다. 따라서, 예를 들어 도 5에 있어서는, 「동력 전원 차단기 A」를 2번째, 「제어 전원 차단기 A」를 3번째의 조작 기기로 하여 기재하고 있지만, 예를 들어 이 전원 차단의 순서가 반대여도 된다. 또한, 예를 들어 「동력 전원 차단기 A」와 「제어 전원 차단기 A」의 「조작 수순」을, 각각 모두 「2」로 하여, 이들 조작에 대해서는, 순서를 불문하도록 설정해도 된다. 또한, 위치 정보의 구체적인 내용에 대해서는, 후술한다.

이상 특정 수단(203)에서는, 제어 장치(6)에 입력된 각종 센서로부터의 신호에 기초하여 기판 처리 장치(1)에서 발생한 이상을 검출하고, 또한, 당해 이상의 내용과 기억 수단(202)에 기억된 경보 테이블(210)을 참조하여, 점검이 필요해지는 부위를 특정한다. 예를 들어, 열처리 유닛(40)에 설치된 히터 A가 단선된 경우, 열처리 유닛(40)이 점검을 필요로 하는 부위로서 특정된다. 또한, 이상 특정 수단(203)에서는, 점검 대상으로서 특정된 열처리 유닛(40)을, 이상이 발생되어 있지 않은 다른 처리 유닛, 바꾸어 말하면, 웨이퍼 처리를 계속하고 있는 다른 처리 유닛으로부터 아이솔레이트하기 위해 조작이 필요해지는 기기를 특정한다. 구체적으로는, 「동력 전원 차단기 A」, 「제어 전원 차단기 A」, 「누수 센서 인터로크 무효화 스위치 A」, 「냉각수 밸브 A」, 「배기 덕트 A」, 「셔터 A」가 조작 대상 기기로서 특정된다. 그리고 이들 특정된 부위나 기기의 정보와 경보 테이블(210)의 정보에 기초하여, 점검이 필요하다고 특정된 부위의 기판 처리 장치(1)에 있어서의 배치, 및 아이솔레이트를 위해 조작이 필요해지는 기기의 배치가 특정되고, 또한, 특정된 이들 위치 정보를 표시 수단(205)에 출력한다. 또한, 이상의 판정 자체는 반드시 이상 특정 수단(203)에서 행할 필요는 없고, 예를 들어 제어 장치(6)에서 각종 센서로부터의 신호에 기초하여 이상의 유무를 판정하고, 이상으로 판정된 경우에만, 경보 신호를 이상 특정 수단(230)에 대하여 입력함으로써, 이상 특정 수단(230)에서의 이상 검출을 행하도록 해도 된다.

다음으로, 경보 테이블에 기억되어 있는 위치 정보 및 표시 수단(205)에서의 위치 정보의 표시 방법에 대해 설명한다.

경보 테이블(210)의 「위치 정보」에는, 예를 들어 열처리 유닛(40)의 위치 정보로서, 예를 들어 도 3에 도시하는 열처리 유닛(40)을 포함한 각 처리 유닛의 배치를 도시한 도면이 기억되어 있다. 또한, 예를 들어 「냉각수 밸브 A」의 위치 정보로서, 예를 들어 도 9에 도시되는 바와 같이, 「냉각수 밸브 A」, 즉 밸브(231a)를 포함한 냉각수 시스템(230) 전체의 기판 처리 장치(1)에 있어서의 배치를 도시한 도면이 기억되어 있다. 그리고 이상 특정 수단(203)에 의해, 「냉각수 밸브 A」의 위치가 특정되면, 표시 수단(205)에 이 위치 정보가 출력된다.

표시 수단(205)에서는, 이상 특정 수단(203)으로부터의 위치 정보에 기초하여, 작업원이 표시 수단(205) 상에서 「냉각수 밸브 A」의 위치를 특정하기 위한 정보로서, 예를 들어 도 10에 도시하는 도면이 표시된다. 또한, 도 10에 있어서는, 해당 부위를 사선으로 표시하고 있지만, 실제의 사용자 인터페이스에 있어서는, 예를 들어 해당 부위를 점멸 표시하거나, 혹은 다른 부위와 다른 색으로 표시하거나, 표시 방법은 임의로 설정이 가능하다. 이에 의해, 작업원이 표시 수단(205)의 표시에 기초하여, 기판 처리 장치(1)에 있어서의 「냉각수 밸브 A」의 구체적인 위치를 확인할 수 있다. 또한, 동력 전원 시스템(220)의 「동력 전원 차단기」, 「제어 전원 차단기 A」 및 「배기 덕트 A」 등의 다른 기기에 대해서도, 「냉각수 밸브 A」와 마찬가지로 표시 수단에 표시된다. 또한, 「열처리판 A」에 대해서도, 점검 부위로서 위치 정보가 표시된다. 또한, 도 10에 있어서는 도시의 사정상, 열처리 유닛(40)을 점검 부위로 하여 표시한 상태를 도시하고 있지만, 표시 수단(205)에 「이상 유닛」이 아닌 「점검 부위」를 특정하여 표시하는 것은, 상술한 바와 같이, 「이상 유닛」의 이상의 원인으로 되는 부위가 반드시 당해 「이상 유닛」 내에 위치하고 있다고는 할 수 없기 때문이다. 또한, 표시 수단(205)에는, 이상 특정 수단(203)에서 특정된 이상의 내용이 표시되어 있어도 되고, 「이상 유닛」 자체의 위치 정보가 표시되어 있어도 된다.

조작 수순 특정 수단(204)에서는, 기억 수단(202)의 경보 테이블(210)의 정보에 기초하여, 「동력 전원 차단기 A」, 「제어 전원 차단기 A」, 「누수 센서 인터로크 무효화 스위치 A」, 「냉각수 밸브 A」, 「배기 덕트 A」, 「셔터 A」를 조작하는 순서를 특정하고, 표시 수단(205)에 출력한다. 예를 들어 도 10에서는, 표시 수단(205)에 「NEXT」, 「BACK」의 표시를 형성하고, 예를 들어 「NEXT」를 선택함으로써, 조작 대상 기기를 표시하는 화면이, 「조작 수순」에 기억된 순서에 따라 순차적으로 표시되는 경우의 화면 구성을 예시하고 있다. 또한, 조작 순서를 잘못하는 것을 방지하기 위해, 예를 들어 밸브(231)에 리미트 스위치를 설치하고, 당해 리미트 스위치의 피드백 신호의 상태에 따라 「NEXT」나 「BACK」의 조작을 무효화하도록 해도 된다. 또한, 피드백 신호를 받아, 「NEXT」나 「BACK」의 조작 없이, 다음에 조작되는 기기의 위치 정보를 표시하도록 해도 된다. 이러한 구성으로 함으로써, 다음에 조작해야 하는 기기 이외의 정보가 표시되는 것을 방지할 수 있으므로, 잘못하여 예를 들어 다음 다음에 조작되어야 하는 기기를 조작해 버리는 것과 같은, 사람의 실수를 방지할 수 있다.

반송 제어 수단(201)에서는, 이상이 발생한 처리 유닛을 우회하여 웨이퍼(W)의 처리를 행하도록 각 웨이퍼 반송 수단의 제어를 행한다. 또한, 이상이 발생한 경우에는, 미리 반송 제어 수단(201)에 기억된 회수 루트에 따라, 처리가 완료되어 있지 않은 웨이퍼(W)를 카세트(C)로 회수한다. 또한, 이상이 발생한 부위가 특정된 경우, 반송 제어 수단(201)에 의해 자동적으로 당해 특정된 열처리 유닛(40)을 우회하는 제어를 행하는 것이 아니라, 예를 들어 이상 발생의 경보를 발보하여 이상 발생의 통지만 행하도록 해도 된다.

다음으로, 이상과 같이 구성된 기판 처리 장치(1)에 있어서의 경보 표시 방법 및 점검 방법에 대해, 기판 처리 장치(1) 전체에서 행해지는 웨이퍼 처리의 프로세스와 함께 설명한다.

웨이퍼(W)의 처리에 있어서는, 우선, 복수매의 웨이퍼(W)를 수용한 카세트(C)가 카세트 스테이션(10)의 소정의 카세트 적재판(13)에 적재된다. 그 후, 기판 반송 장치(21)에 의해 카세트(C) 내의 각 웨이퍼(W)가 순차적으로 취출되고, 처리 스테이션(11)의 제3 블럭(G3)의 예를 들어 전달 장치(53)에 반송된다.

다음으로 웨이퍼(W)는, 웨이퍼 반송 기구(70)에 의해 제2 블록(G2)의 열처리 유닛(40)에 반송되어 온도 조절 처리된다. 그 후, 웨이퍼(W)는, 웨이퍼 반송 기구(71)에 의해 예를 들어 제1 블록(G1)의 하부 반사 방지막 형성 유닛(31)에 반송되어, 웨이퍼(W) 상에 하부 반사 방지막이 형성된다. 그 후 웨이퍼(W)는, 제2 블록(G2)의 열처리 유닛(41)에 반송되어, 가열 처리가 행해진다. 그 후, 웨이퍼(W)는, 제3 블록(G3)의 전달 유닛(53)으로 복귀된다.

다음으로 웨이퍼(W)는, 웨이퍼 반송 기구(90)에 의해 동일한 제3 블록(G3)의 전달 유닛(54)에 반송된다. 그 후 웨이퍼(W)는, 웨이퍼 반송 기구(72)에 의해 제2 블록(G2)의 열처리 유닛(42)에 반송되어, 온도 조절 처리된다. 그 후, 웨이퍼(W)는 웨이퍼 반송 기구(72)에 의해 제1 블록(G1)의 레지스트 도포 유닛(32)에 반송되어, 웨이퍼(W) 상에 레지스트막이 형성된다. 그 후 웨이퍼(W)는, 웨이퍼 반송 기구(72)에 의해 열처리 유닛(43)에 반송되어, 프리베이크 처리된다. 그 후, 웨이퍼(W)는, 웨이퍼 반송 기구(72)에 의해 제3 블록(G3)의 전달 유닛(55)으로 복귀된다.

다음으로 웨이퍼(W)는, 웨이퍼 반송 기구(90)에 의해 동일한 제3 블록(G3)의 전달 유닛(54)으로 반송된다. 그 후 웨이퍼(W)는 웨이퍼 반송 기구(73)에 의해 제2 블록(G2)의 열처리 유닛(44)에 반송되어, 온도 조절 처리된다. 그 후, 웨이퍼(W)는 웨이퍼 반송 기구(73)에 의해 제1 블록(G1)의 상부 반사 방지막 형성 장치(33)에 반송되어, 웨이퍼(W) 상에 상부 반사 방지막이 형성된다. 그 후, 웨이퍼(W)는 제2 블록(G2)의 열처리 유닛(45)에 반송되어, 가열 처리가 행해진다. 그 후, 웨이퍼(W)는, 웨이퍼 반송 기구(73)에 의해 제3 블록(G3)의 전달 유닛(56)에 반송된다.

다음으로 웨이퍼(W)는, 웨이퍼 반송 기구(90)에 의해 전달 유닛(52)에 반송되고, 셔틀 반송 장치(80)에 의해 제4 블록(G4)의 전달 유닛(62)에 반송된다. 그 후, 웨이퍼(W)는, 인터페이스 스테이션(5)의 웨이퍼 반송 기구(91)에 의해 노광 장치(4)에 반송되어, 노광 처리된다.

다음으로, 웨이퍼(W)는, 웨이퍼 반송 기구(91)에 의해 제4 블록(G4)의 전달 유닛(60)에 반송된다. 그 후, 웨이퍼(W)는, 웨이퍼 반송 기구(70)에 의해 열처리 유닛(46)에 반송되어, 노광 후 베이크 처리된다. 이어서, 웨이퍼(W)는 열처리 유닛(45)에 반송되어 온도 조절 처리되고, 그 후, 웨이퍼 반송 기구(70)에 의해 현상 처리 유닛(30)에 반송되어, 현상된다. 현상 종료 후, 웨이퍼(W)는, 웨이퍼 반송 기구(70)에 의해 열처리 유닛(44)에 반송되어, 포스트베이크 처리된다. 그 후, 웨이퍼(W)는, 열처리 유닛(43)에 반송되어 온도 조정된다. 이에 의해, 일련의 포토리소그래피 공정이 완료된다.

그 후, 웨이퍼(W)는, 웨이퍼 반송 기구(70)에 의해 제4 블록(G4)의 전달 유닛(62)에 반송된다. 그리고 웨이퍼(W)는 웨이퍼 반송 기구(91)에 의해 결함 검사 유닛(100)에 반송되어, 웨이퍼(W)의 검사가 행해진다. 그 후, 웨이퍼(W)는 웨이퍼 반송 기구(91)에 의해 전달 유닛(62)에 반송되고, 웨이퍼 반송 기구(70), 웨이퍼 반송 기구(21)를 통해 소정의 카세트 적재판(13)의 카세트(C)에 반송된다. 그리고 이 일련의 포토리소그래피 공정이 다른 열처리 유닛(41 내지 46)에 있어서도 반복하여 행해진다.

다음으로, 상술한 포토리소그래피 공정의 과정에서, 예를 들어 열처리 유닛(40)에 있어서 이상이 발생하고, 표시 수단(205)에 이상을 알리는 경보가 발보된 경우의, 기판 처리 장치(1)의 동작 및 일련의 점검 작업에 대해 도 11에 나타내는 흐름도와 함께 설명한다.

예를 들어, 웨이퍼(W)가 열처리 유닛(40)에서 열처리되고 있는 동안에, 열처리 유닛(40)의 히터가 단선된 경우, 우선, 「히터 A 단선」의 경보가 표시 수단(205)에 표시되고(도 11의 공정 S1), 열처리 유닛(40)에서의 처리가 정지된다(도 11의 공정 S2). 이어서, 반송 제어 수단(201)으로부터의 지령에 의해, 열처리 유닛(40) 내의 미처리 웨이퍼(W)가 반송 기구(70)에 의해 열처리 유닛(40)으로부터 반출되고, 회수 루트를 따라 카세트(C)에 회수된다(도 11의 공정 S3). 또한, 다른 열처리 유닛(41 내지 46)에 있어서는 계속해서 웨이퍼(W)의 처리가 계속된다.

표시 수단(205)으로의 경보 표시와 병행하여, 이상 특정 수단(203)에 있어서도 이상의 검출이 행해지고, 이상의 내용(「히터 A 단선」)과 경보 테이블(210)의 정보에 기초하여, 열처리 유닛(40)이 점검 대상 부위로 특정된다. 그리고 예를 들어 도 10에 도시하는 바와 같이, 표시 수단(205)에 열처리 유닛(40)의 배치가 표시된다(도 11의 공정 S4).

다음으로, 이상 특정 수단(203)에 의해, 열처리 유닛(40)을 기판 처리 장치(1)로부터 아이솔레이트할 때에 조작의 대상으로 되는 기기가 특정되고, 특정된 기기의 위치 정보가 표시 수단(205)에 입력된다(도 11의 공정 S5). 또한, 조작 수순 특정 수단(204)에 있어서, 이상 특정 수단(203)에 의해 조작 대상으로서 특정된 각 기기의 조작 수순을 특정하고, 이 조작 수순의 정보가 표시 수단(205)에 출력된다(도 11의 공정 S6).

표시 수단(205)에서는, 이상 특정 수단(203) 및 조작 수순 특정 수단(204)으로부터 출력된 정보에 기초하여, 최초에 조작되는 「동력 전원 차단기 A」의 위치 정보가, 표시된다(도 11의 공정 S7).

그 후, 작업원은 표시 수단(205)에 표시된 열처리 유닛(40)의 위치 정보 및 「동력 전원 차단기 A」의 위치 정보를 확인하고, 기판 처리 장치(1)의 「동력 전원 차단기 A」를 조작하여 전원을 차단한다(도 11의 공정 S8).

그 후, 작업원이 표시 수단(205)의 화면상에서 「NEXT」를 선택하고, 다음 조작 대상 기기인 「제어 전원 차단기 A」의 위치 정보를 표시시킨다(도 11의 공정 S9). 그리고 작업원은 표시 수단(205)에 표시된 「제어 전원 차단기 A」의 위치 정보를 확인하고, 「제어 전원 차단기 A」를 조작하여 전원을 차단한다(도 11의 공정 S10).

그 후, 「누수 센서 인터로크 무효화 스위치 A」의 위치 정보 표시(도 11의 공정 S11), 「누수 센서 인터로크 무효화 스위치 A」의 무효화 조작(도 11의 공정 S12), 「냉각수 밸브 A」의 위치 정보 표시(도 11의 공정 S13), 「냉각수 밸브 A」의 폐지 조작(도 11의 공정 S14), 「배기 덕트 A」의 위치 정보 표시(도 11의 공정 S15), 「배기 덕트 A」의 제거(도 11의 공정 S16)를 순차적으로 행한다. 그리고 「배기 덕트 A」를 제거한 후에, 「셔터 A」의 폐지 조작(도 11의 공정 S17)이 완료되면, 열처리 유닛(40)의 점검이 가능한 상태로 되므로, 예를 들어 열처리판을 제거하여 히터의 상태를 확인하거나, 필요에 따라 히터 교환을 하는 것과 같은 점검 작업이 적절하게 행해진다(도 11의 공정 S18). 점검 작업이 종료되면, 이어서, 열처리 유닛(40)을 사용 가능한 상태로 복귀시키기 위한 복구 작업이 행해진다(도 11의 공정 S19).

열처리 유닛(40)이 복구되면, 표시 수단(205)에 표시되어 있었던 경보가 해제되고, 그 후, 검사용 웨이퍼가 기판 처리 장치(1)에 반입된다. 검사용 웨이퍼는, 열처리 유닛(40)에 반송되고, 그 후 당해 열처리 유닛(40)에서 소정의 열처리가 행해진다. 그리고 검사용 웨이퍼에서의 열처리에 있어서 이상이 발생하지 않는 것이 확인되면, 카세트(C) 내의 웨이퍼(W)가 순차적으로 열처리 유닛(40)에 반송되어, 다시 웨이퍼(W)의 처리가 행해진다.

이상의 실시 형태에 따르면, 이상 특정 수단(203)에 의해 기판 처리 장치(1) 내에서 발생한 이상을 검출하고, 당해 이상 발생에 의해 점검이 필요해지는 부위 및 아이솔레이트를 위해 조작되는 기기를 특정한다. 그리고 이들 특정된 부위 및 기기의 위치 정보나, 이들 특정된 기기의 조작 수순을 특정하여 표시 수단(205)에 출력하므로, 표시 수단(205)에 표시된 각 기기의 위치나 조작 수순을 확인함으로써, 작업원의 경험에 좌우되는 일 없이, 신속하게 오류 없이 점검 작업을 실시할 수 있다.

또한, 이상 특정 수단(203)에 있어서 이상으로 특정된, 예를 들어 열처리 유닛(40)을, 반송 제어 수단(201)에 의해 우회하여 웨이퍼(W)를 반송하므로, 이상이 발생되어 있지 않은 다른 처리 유닛에서 웨이퍼(W)의 처리를 계속할 수 있다.

또한, 이상의 실시 형태에 있어서는, 이상이 발생한 열처리 유닛(40)을 기판 처리 장치(1)로부터 아이솔레이트할 때까지의 수순 등을 표시 수단(205)에 출력 표시하고 있었지만, 예를 들어, 열처리 유닛(40)의 점검 작업이 완료된 후의 복구 작업의 수순, 바꾸어 말하면, 당해 열처리 유닛(40)의 아이솔레이트를 해제하기 위한 수순에 대해서도, 표시 수단(205)에 표시하도록 해도 된다. 이러한 경우, 기억 수단(202)의 「조작 수순」의 란에는, 아이솔레이트를 위한 수순에 더하여, 아이솔레이트를 해제하는 수순도 기억된다. 아이솔레이트를 해제하는 경우에 있어서도, 예를 들어 「냉각수 밸브 A」와 「누수 센서 인터로크 무효화 스위치 A」의 조작 수순을 잘못한 경우 등은, 제어 장치(6)에 의해 이상 발생으로 인식되어 기판 처리 장치(1)가 정지에 이를 우려가 있으므로, 아이솔레이트를 해제하는 수순에 대해서도 표시 수단(205)에 출력 표시함으로써, 이러한 트러블을 피할 수 있다.

이상의 실시 형태에서는, 예를 들어 아이솔레이트 시의 기기 조작을, 예를 들어 작업원이 수동으로 대응하는 경우에 대해 설명하였지만, 예를 들어 아이솔레이트 시에 조작 대상으로 되는 기기를 원격 조작 가능한 사양으로 하고, 표시 수단(205)으로부터 개별로 원격 조작하도록 해도 된다. 이러한 경우, 원격 조작되는 기기에는, 리미트 스위치 등을 설치하여 기기의 상태를 피드백 신호에 의해 확인할 수 있도록 해 두는 것이 바람직하다. 그렇게 함으로써, 표시 수단(205)으로부터 조작한 경우에, 실제로 기기가 동작하였는지 여부를 기기측에서 확인할 필요가 없어지므로, 점검 작업을 더욱 신속하게 행할 수 있다.

또한, 이상의 실시 형태에서는, 경보 테이블(210)의 「점검 부위」의 내용이 동일하면, 「경보 항목」의 내용에 관계없이, 「아이솔레이트 기기」 및 「조작 수순」의 내용도 동일하게 하고 있었지만, 발생한 이상의 내용에 따라서는, 반드시 모든 「아이솔레이트 기기」를 조작할 필요는 없다. 따라서, 「경보 항목」의 내용에 따라, 「아이솔레이트 기기」 및 「조작 수순」을 개별로 설정하도록 해도 된다.

또한, 이상의 실시 형태에서는, 예를 들어 열처리 유닛(40)을 구성하는 기기에 고장이 발생한 경우에, 당해 열처리 유닛(40)을 점검한 경우에 대해 설명하였지만, 레지스트 도포 유닛(32)이나 주연 노광 유닛 등의 다른 처리 유닛에 관한 경보가 발보한 경우에 있어서도, 열처리 유닛(40)의 경우와 마찬가지로 표시 수단(205)으로의 각종 정보의 출력이 행해지고, 당해 표시 수단(205)에 표시된 정보에 따라 점검 작업이 행해진다. 또한, 이상의 내용은, 기기의 고장에 한정되지 않고, 예를 들어 결함 검사 유닛(100)에 있어서 웨이퍼(W)를 검사한 결과, 특정한 처리 유닛에서 처리된 웨이퍼(W)에서 집중적으로 결함이 발생한 경우도, 당해 특정한 처리 유닛에서 이상이 발생하고 있는 것으로 판단하여, 경보를 발생하도록 해도 된다. 이러한 경우, 결함이 집중되는 것에 의한 경보와 점검이 필요해지는 부위의 관련을 경보 테이블(210)에 기억시켜 두고, 경보 발생에 의해, 점검에 필요한 정보를 표시 수단(205)에 출력하도록 제어 장치(6)가 구성된다.

또한, 이상의 유무에 관계없이, 기판 처리 장치(1)의 운전을 계속한 상태에서 각 처리 유닛의 점검이 요망되는 경우도 있다. 이러한 경우에 대응하기 위해, 예를 들어 표시 수단에, 예를 들어 「메인터넌스 모드」 스위치를 설치하고, 「메인터넌스 모드」를 선택한 상태에서 점검을 원하는 처리 유닛을 선택함으로써, 경보 발생에 의해 이상 특정 수단(203)으로 점검 대상 부위가 특정된 경우와 마찬가지의 제어, 즉 도 11에 나타내어지는 공정 S4 또는 공정 S5 이후의 제어가 행해지도록 제어 장치(6)를 구성해도 된다.

이상, 첨부 도면을 참조하면서 본 발명의 적합한 실시 형태에 대해 설명하였지만, 본 발명은 이러한 예에 한정되지 않는다. 당업자라면 특허 청구의 범위에 기재된 사상의 범주 내에 있어서, 각종 변경예 또는 수정예에 상도할 수 있는 것은 명백하며, 그들에 대해서도 당연히 본 발명의 기술적 범위에 속하는 것으로 양해된다. 본 발명은 이 예에 한정하지 않고 다양한 형태를 채용할 수 있는 것이다. 본 발명은, 기판이 웨이퍼 이외의 FPD(플랫 패널 디스플레이), 포토마스크용의 마스크 레티클 등 다른 기판인 경우에도 적용할 수 있다.

본 발명은, 예를 들어 반도체 웨이퍼 등의 기판에 대하여 처리를 행할 때에 유용하다.

1 : 기판 처리 장치
2 : 카세트 스테이션
3 : 처리 스테이션
4 : 노광 장치
5 : 인터페이스 스테이션
6 : 제어 장치
10 : 카세트 반입부
11 : 웨이퍼 반송부
12 : 카세트 적재대
13 : 카세트 적재판
20 : 반송로
21 : 웨이퍼 반송 기구
30 : 현상 처리 유닛
31 : 하부 반사 방지막 형성 유닛
32 : 레지스트 도포 유닛
33 : 상부 반사 방지막 형성 유닛
40 내지 46 : 열처리 유닛
50 내지 56 : 전달 유닛
60 내지 62 : 전달 유닛
70 내지 73 : 웨이퍼 반송 기구
80 : 셔틀 반송 기구
90 : 웨이퍼 반송 기구
91 : 웨이퍼 반송 기구
100 : 결함 검사 유닛
200 : 반송 제어 수단
201 : 웨이퍼 처리 제어 수단
202 : 기억 수단
203 : 이상 특정 수단
204 : 조작 수순 특정 수단
205 : 표시 수단
210 : 경보 테이블
220 : 동력 전원 시스템
221a 내지 221g : 차단기
230 : 냉각수 시스템
231a 내지 231g : 밸브
232 : 칠러
W : 웨이퍼
F1 내지 F3 : 컵
D : 웨이퍼 반송 영역
C : 카세트

Claims (8)

1. 복수의 기판을 병행하여 처리하는 복수의 처리부와, 상기 각 처리부에서의 이상 발생을 경보 표시하는 표시 수단을 구비한 기판 처리 장치이며,
   상기 복수의 처리부는, 각각 상이한 처리를 행하는 처리부를 포함하고,
   이상 발생의 경보의 내용과 당해 이상 발생에 의해 점검이 필요해지는 부위를 관련시킨 정보와,
   상기 점검이 필요해지는 부위마다 설정되고, 점검 작업을 행할 때, 상기 점검이 필요해지는 부위를, 이상이 발생되어 있지 않은 다른 부위에 영향을 주는 일이 없도록 상기 다른 부위로부터 아이솔레이트하기 위해 조작되는 기기의 정보와,
   상기 점검이 필요해지는 부위의 위치 정보 및 상기 아이솔레이트를 위해 조작되는 기기의 위치 정보와,
   상기 아이솔레이트를 위해 조작되는 기기의 조작 수순의 정보를 기억하는 기억 수단과,
   상기 각 처리부에서 발생한 이상을 검출하고, 또한 상기 기억 수단의 정보에 기초하여, 당해 이상 발생에 의해 점검이 필요해지는 부위 및 상기 아이솔레이트를 위해 조작되는 기기를 특정하고, 또한 이들 부위 및 기기의 위치를 특정하여 상기 표시 수단에 출력하는 이상 특정 수단과, 상기 기억 수단의 정보에 기초하여, 상기 이상 특정 수단에서 특정된 기기의 조작 수순을 특정하여 상기 표시 수단에 출력하는 조작 수순 특정 수단을 갖고 있는 것을 특징으로 하는, 기판 처리 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 표시 수단은, 터치 패널, 모니터 또는 액정 디스플레이 중 어느 하나를 구비한 사용자 인터페이스이며,
   상기 아이솔레이트를 위해 조작되는 기기는, 상기 사용자 인터페이스로부터 원격 조작 가능한 것을 특징으로 하는, 기판 처리 장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 아이솔레이트를 위해 조작되는 기기는, 적어도 이하의 (1) 내지 (6) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는, 기판 처리 장치.
   (1) 점검이 필요해지는 부위와 이상이 발생되어 있지 않은 다른 부위 사이의 전기적인 접속을 차단하는 차단기
   (2) 점검이 필요해지는 부위와 이상이 발생되어 있지 않은 다른 부위 사이에 흐르는 유체의 흐름을 차단하는 유체 차단 기구
   (3) 상기 표시 수단에 출력되는 이상 발생의 경보 신호를 차단하기 위한 스위치
   (4) 점검이 필요해지는 부위와 당해 부위를 구동시키고 있었던 구동 기구 사이에 설치된 구동력 전달 부재
   (5) 점검이 필요해지는 부위를 외부의 환경으로부터 차단하는 환경 차단 기구
   (6) 점검이 필요해지는 부위에 대하여 액세스 가능한 다른 구동 기구로의 전원 공급을 차단하는 다른 차단기, 또는 상기 다른 구동 기구의 동작을 정지시키는 조작 기구
4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 기판을 반송하는 기판 반송 기구와,
   상기 기판 반송 기구에 의한 기판의 반송을 제어하는 반송 제어 수단을 더 갖고,
   상기 반송 제어 수단은, 이상이 발생한 처리부를 우회하여 기판을 반송하도록 상기 기판 반송 기구를 제어하는 것을 특징으로 하는, 기판 처리 장치.
5. 제1항 또는 제2항에 기재된 기판 처리 장치에 있어서의 경보의 표시 방법이며,
   상기 이상 특정 수단에 의해, 처리부에서 발생한 이상을 검출하고, 그 후 상기 기억 수단의 정보에 기초하여, 당해 이상 발생에 의해 점검이 필요해지는 부위 및 상기 아이솔레이트를 위해 조작되는 기기, 및 이들 부위 및 기기의 위치를 특정하여 상기 표시 수단에 출력하고,
   또한, 조작 수순 특정 수단에 의해, 상기 기억 수단의 정보에 기초하여 상기 아이솔레이트를 위해 조작되는 기기의 조작 수순을 특정하고, 상기 표시 수단에 출력하는 것을 특징으로 하는, 경보 표시 방법.
6. 복수의 기판을 병행하여 처리하는 복수의 처리부와, 상기 각 처리부에서의 이상 발생을 경보 표시하는 표시 수단을 구비한 기판 처리 장치의 점검 방법이며,
   상기 복수의 처리부는, 각각 상이한 처리를 행하는 처리부를 포함하고,
   상기 처리부 중 적어도 어느 하나에서 이상이 발생하였을 때에 경보를 발보하고,
   그 후, 이상 발생의 경보의 내용에 기초하여 당해 이상 발생에 의해 점검이 필요해지는 부위를 특정하고,
   상기 점검이 필요해지는 부위마다 설정되고, 점검 작업을 행할 때, 상기 점검이 필요해지는 부위를, 이상이 발생되어 있지 않은 다른 부위에 영향을 주는 일이 없도록 상기 다른 부위로부터 아이솔레이트하기 위해 조작되는 기기의 특정과, 당해 특정된 기기의 조작 수순의 특정을 행하고,
   또한, 상기 점검이 필요해지는 부위의 위치 및 상기 특정된 기기의 위치를 특정하고,
   상기 점검이 필요해지는 부위의 위치 및 상기 특정된 기기의 위치, 및 상기 특정된 기기의 조작 수순을 상기 표시 수단에 표시하고,
   상기 표시 수단에 표시된, 상기 점검이 필요해지는 부위 및 상기 특정된 기기의 위치, 및 상기 특정된 기기의 조작 수순에 따라, 당해 특정된 기기의 조작과 상기 점검이 필요해지는 부위의 점검을 행하는 것을 특징으로 하는, 기판 처리 장치의 점검 방법.
7. 제5항의 경보 표시 방법을 기판 처리 장치에 의해 실행시키도록, 당해 기판 처리 장치를 제어하는 제어 장치의 컴퓨터 상에서 동작하는, 프로그램을 기록한 컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체.
8. 제6항에 있어서, 상기 점검 후에, 점검을 행한 부위에 웨이퍼를 반송하여, 웨이퍼의 포지션 조정, 온도 측정, 파티클 체크를 행하는 것을 특징으로 하는, 기판 처리 장치의 점검 방법.

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