JP4781832B2 - 基板処理システム、基板処理装置、プログラム及び記録媒体 - Google Patents
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Description
2 バークブロック
3 レジスト塗布ブロック
4 現像処理ブロック
5 インターフェイスブロック
12 基板移載機構
21,31,41,42 熱処理タワー
55 搬送機構
80 作動部
82 検出部
83 取得部
84 教示部
87 警報発報部
89 アラームファイル
99 CD−ROM
100 ホストコンピュータ
BRC1〜BRC3,SC1〜SC3 塗布処理ユニット
CC セルコントローラ
CP1〜CP14 クールプレート
DC データコントローラ
EXP 露光ユニット
HP1〜HP11 ホットプレート
MC メインコントローラ
MP メインパネル
PASS1〜PASS10 基板載置部
PHP1〜PHP12 加熱部
RF 基板処理装置
SD1〜SD5 現像処理ユニット
TC 搬送ロボットコントローラ
TR1〜TR4 搬送ロボット
UC ユニットコントローラ
OU 光学ディスクユニット
W 基板
Claims (6)
- 基板に所定の処理を行う基板処理装置と、当該基板処理装置の動作を監視する監視コントローラとを接続した基板処理システムであって、
前記基板処理装置は、前記所定の処理のための動作を行う作動部と、前記作動部の動作情報を検出する検出部と、前記作動部の動作を管理する主制御部と、を備え、
前記監視コントローラは、前記検出部から伝達された前記作動部の動作情報に基づいて前記作動部の動作状態の経時的変化を示す動作状態遷移情報を取得する取得部と、前記動作状態遷移情報が異常である場合に前記作動部の動作状態が異常である旨の警告信号を前記主制御部に伝達する教示部と、を備え、
前記主制御部は、前記教示部から前記警告信号を受けたときに、前記作動部に故障が生じる可能性がある旨の警告を発報する警告発報部を備えることを特徴とする基板処理システム。 - 請求項1記載の基板処理システムにおいて、
前記教示部は前記警告信号としてアラームコードを前記主制御部に伝達し、
前記主制御部は、複数のアラームコードと複数の対処情報とを1対1にて対応付けたアラームファイルを有するとともに、当該アラームファイルを検索して前記教示部から伝達されたアラームコードに対応する対処情報を取得することを特徴とする基板処理システム。 - 基板に所定の処理を行う基板処理装置であって、
前記所定の処理のための動作を行う作動部と、
前記作動部の動作情報を検出する検出部と、
前記作動部の動作を管理する主制御部と、
基板処理装置の動作を監視する監視コントローラと、
を備え、
前記監視コントローラは、前記検出部から伝達された前記作動部の動作情報に基づいて前記作動部の動作状態の経時的変化を示す動作状態遷移情報を取得する取得部と、前記動作状態遷移情報が異常である場合に前記作動部の動作状態が異常である旨の警告信号を前記主制御部に伝達する教示部と、を有し、
前記主制御部は、前記教示部から前記警告信号を受けたときに、前記作動部に故障が生じる可能性がある旨の警告を発報する警告発報部を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項3記載の基板処理装置において、
前記教示部は前記警告信号としてアラームコードを前記主制御部に伝達し、
前記主制御部は、複数のアラームコードと複数の対処情報とを1対1にて対応付けたアラームファイルを有するとともに、当該アラームファイルを検索して前記教示部から伝達されたアラームコードに対応する対処情報を取得することを特徴とする基板処理装置。 - 基板処理装置が備えるコンピュータによって実行されることにより、前記基板処理装置が請求項3または請求項4に記載の基板処理装置として動作することを特徴とするプログラム。
- 請求項5に記載のプログラムを記録してあることを特徴とするコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
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