JP2009130308A - 表面処理装置 - Google Patents
表面処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009130308A JP2009130308A JP2007306698A JP2007306698A JP2009130308A JP 2009130308 A JP2009130308 A JP 2009130308A JP 2007306698 A JP2007306698 A JP 2007306698A JP 2007306698 A JP2007306698 A JP 2007306698A JP 2009130308 A JP2009130308 A JP 2009130308A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- valve
- surface treatment
- gas
- hmds
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【課題】動作不良の発生個所を容易に知ることが可能な表面処理装置を提供する。
【解決手段】このHMDS処理装置では、チャンバ1内の圧力を圧力計10で検出し、その検出結果に基づいてHMDS処理装置が正常に動作しているか否かを判別し、正常に動作していないと判別した場合は、HMDS処理装置の動作を停止させるとともに、動作不良の内容と動作不良を起こしたバルブなどを示す画像をモニタ26に表示させる。したがって、動作不良の内容と動作不良を起こしたバルブを容易に検知できる。
【選択図】図1
【解決手段】このHMDS処理装置では、チャンバ1内の圧力を圧力計10で検出し、その検出結果に基づいてHMDS処理装置が正常に動作しているか否かを判別し、正常に動作していないと判別した場合は、HMDS処理装置の動作を停止させるとともに、動作不良の内容と動作不良を起こしたバルブなどを示す画像をモニタ26に表示させる。したがって、動作不良の内容と動作不良を起こしたバルブを容易に検知できる。
【選択図】図1
Description
この発明は表面処理装置に関し、特に、処理対象の基板を収容したチャンバ内に処理ガスを導入して基板の表面処理を行なう表面処理装置に関する。
従来より、半導体製造プロセスにおいては、シリコンウェハに対するフォトレジストの密着性を高めるため、シリコンウェハのHMDS(Hexamethyl disilazane)処理が行なわれている。
従来のHMDS処理装置では、処理対象のシリコンウェハをチャンバ内で加熱するとともに、HMDS液中に窒素ガスをバブリングさせてHMDSガスを発生させ、そのHMDSガスをチャンバ内に導入して、シリコンウェハのHMDS処理を行なっていた(たとえば、特許文献1参照)。
特開平10−41214号公報
従来のHMDS処理装置では、たとえば1回/1月の頻度でHMDS処理不良が発生していたが、HMDS処理動作の不良個所が分からないという問題があった。
それゆえに、この発明の主たる目的は、動作不良の発生個所を容易に知ることが可能な表面処理装置を提供することである。
この発明に係る表面処理装置は、基板の表面処理を行なう表面処理装置であって、基板を収容するチャンバと、チャンバ内を排気する排気装置と、チャンバ内に処理ガスを供給するガス供給装置と、チャンバ内の圧力を検出する圧力計と、排気装置およびガス供給装置を制御して、チャンバ内の空気を排気する工程、チャンバ内に処理ガスを供給して基板の表面処理を行なう工程、およびチャンバ内の処理ガスを排気する工程を少なくとも実行する制御部と、各工程における圧力計の検出値に基づいて表面処理装置が正常に動作しているか否かを監視する監視部とを備えたものである。
この発明に係る表面処理装置では、各工程における圧力計の検出値に基づいて表面処理装置が正常に動作しているか否かを監視する監視部を設けたので、動作不良の発生個所を容易に知ることができる。
図1は、この発明の一実施の形態によるHMDS処理装置の構成を示す配管系統図である。図1において、このHMDS処理装置は、処理対象のシリコンウェハ1を収容するチャンバ2と、チャンバ2内でシリコンウェハ1を支持するとともに所定温度に加熱するヒータ3と、中空構造の支持台4とを備える。
ヒータ3は、支持台4の上面の中央部に設けられている。チャンバ2は所定位置に固定されており、支持台4は上下動可能に支持されている。支持台4は、シリンダ5によって上下動される。シリンダ5によって支持台4を下降させると、チャンバ2の下の開口部が開けられる。シリンダ5によって支持台4を上昇させると、チャンバ2の下の開口部が支持台4の上面の外周部で閉じられる。
チャンバ2の内壁にはシリコンウェハ1の表面にHMDSガスを噴射するための複数のガス噴出孔が設けられ、チャンバ2の外壁には複数のガス噴出孔に連通する1つのガス供給孔2aが設けられている。一方、支持台4の上面にはチャンバ2内を排気するための複数の吸気孔が設けられ、支持台4の側面には、複数の吸気孔に連通する1つの排気孔4aが設けられている。
また、このHMDS処理装置は、圧縮空気によって駆動され、霧吹きの原理によってチャンバ2内を排気するためのエジェクタ6と、エジェクタ6に圧縮空気を供給するためのエジェクタ駆動バルブ7とを備える。支持台4の排気孔4aとエジェクタ6の吸気孔6aとは排気管8で接続され、排気管8にはチャンバ排気バルブ9が介挿されている。また、支持台4の排気孔4aとチャンバ排気バルブ9との間の排気管8には、チャンバ2内の圧力を検出するための圧力計10が接続されている。
チャンバ排気バルブ9が閉状態の場合はチャンバ1とエジャクタ6との間が遮断され、チャンバ排気バルブ9が開状態にされるとチャンバ1とエジャクタ6とが排気管8を介して結合される。エジェクタ駆動バルブ7が開状態にされると、エジェクタ6に圧縮空気が供給され、エジェクタ6が駆動されてチャンバ1内が排気される。エジェクタ駆動バルブ7が閉状態にされると、エジェクタ6への圧縮空気の供給が停止され、エジェクタ6が駆動停止されて導通状態になる。
さらに、このHMDS処理装置は、HMDS液11が注入されたバブリングタンク12を備える。バブリングタンク12にキャリアガスである窒素ガス(N2)を供給するガスボンベ(図示せず)と、バブリングタンク12の下部のキャリアガス供給孔12aとの間はガス配管13で接続される。ガス配管13には、ガスボンベ側から順にフローメータ14、フィルタ15、およびバブリングバルブ16が設けられる。フローメータ14は、窒素ガスの流量を所望の値に制御する装置である。フィルタ15は、窒素ガス中のダストを除去する。
バブリングバルブ16が開状態にされるとHMDS液11内に窒素ガスが供給されてバブリングが行なわれ、HMDSガスが発生する。バブリングバルブ16が閉状態にされるとHMDS液11内への窒素ガスの供給が停止され、バブリングが停止されてHMDSガスの発生が停止される。
また、バブリングタンク12の上部のガス供給孔12bとチャンバ2のガス供給孔2aとはガス配管17で接続される。ガス配管17には、バブリングタンク12側から順に、リリーフバルブ18、パージバルブ19、フィルタ20、HMDS供給バルブ21、および大気開放バルブ22が設けられる。
リリーフバルブ18は、ガス配管17内の圧力が所定値を越えた場合に開状態になり、ガス配管17内のガスを外部に放出させる。これにより、ガス配管17内が高圧になることが防止される。パージバルブ19は、HMDS液11の交換時などに、バブリングタンク12およびガス配管17内をパージするために使用される。ガスボンベ(図示せず)から供給されたパージガス(窒素ガス)は、ガス配管13、フローメータ14、フィルタ15、バブリングバルブ16、バブリングタンク12、ガス配管17、パージバルブ19を介して外部に放出される。これにより、ガス配管17内に入ったHMDS液11、ダストなどが除去される。フィルタ20は、HMDSガスからダストなどを除去する。
HMDS供給バルブ21が閉状態の場合はバブリングタンク12とチャンバ2との間が遮断され、HMDS供給バルブ21が開状態の場合はバブリングタンク12とチャンバ2とがガス配管17を介して結合される。また、チャンバ2内に大気を導入する場合は、HMDS供給バルブ21を閉状態にするとともに、大気開放バルブ22を開状態にする。
シリンダ5およびバルブ22,21,7,9,19,16は、それぞれソレノイドバルブSV1〜SV7を介して供給される圧縮空気によって駆動される。シリンダ5に圧縮空気5を供給すると、シリンダ5の駆動軸が伸びて支持台4が上昇する。また、シリンダ5への圧縮空気の供給を停止すると、シリンダ5の駆動軸が縮んで支持台4が下降する。バルブ22,21,7,9,16は、ともに常時閉型のバルブであり、それぞれ対応のソレノイドバルブSV2〜SV5,SV7を介して圧縮空気が供給された場合に開状態になる。パージバルブ19は、通常時はガス配管17を導通状態にし、ソレノイドバルブSV6を介して圧縮空気が供給された場合は、ガス配管17のうちのバルブ19よりも上流側の部分と下流側の部分との間を遮断するとともに、上流側の部分を外部に導通させる。
さらに、このHMDS処理装置は、図2に示すように、制御部23、レコーダ24、監視部25、モニタ26、および操作部27を備える。制御部23は、操作部27および監視部25からの信号に従って、ソレノイドバルブSV1〜SV7,ヒータ3、フローメータ14などのHMDS処理装置全体を制御する。
レコーダ24は、圧力計10の検出値の時刻変化を記録する。監視部25は、各工程における圧力計10の検出値に基づいてHMDS処理装置が正常に動作しているか否かを監視し、HMDS処理装置が正常に動作していない場合は、制御部23を介してHMDS処理装置の動作を停止させる。また、監視部25は、HMDS処理の運転状況と圧力計10の検出値に基づいてHMDS処理装置の動作不良の内容および動作不良を起こしたバルブを判別し、その判別結果を示す信号を制御部23に出力する。制御部23は、その判別結果を示す画像をモニタ26に表示させる。モニタ26は、そのような判別結果の他、処理工程の進捗状況などのHMDS処理装置に関する情報を表示する。操作部27は、スイッチ、ハンドルなどからなり、HMDS処理装置を自動または手動運転する際に作業者によって操作される。
次に、このHMDS処理装置の動作について説明する。図3〜図8はHMDS処理装置の動作を示す図であり、図9は圧力計10の検出値の変化を示すタイムチャートである。なお、圧力計10の検出値は、ゲージ圧(大気圧との差圧)で示されている。図1で示したように、処理対象のシリコンウェハ1をチャンバ2内にセットした状態で、操作部27を用いてHMDS処理の開始を指示すると、制御部23は、以下の工程を自動的に実行する。
すなわち、制御部23は、図3に示すように、まずチャンバ排気バルブ9とエジェクタ駆動バルブ7を開状態にする(図9では時刻t1)。これにより、圧縮空気がエジェクタ駆動バルブ7を介してエジェクタ6に供給され、チャンバ2内の空気がチャンバ排気バルブ9およびエジェクタ6を介して外部に排出される。この真空引き工程は、たとえば5秒間行なわれ、チャンバ2内の圧力は−25kPa程度まで低下する。
次に制御部23は、図4に示すように、チャンバ排気バルブ9とエジェクタ駆動バルブ7に加え、HMDS供給バルブ21とバブリングバルブ16を開状態にする(図9では時刻t2)。これにより、フローメータ14で流量調節された窒素ガスがフィルタ15およびバブリングバルブ16を介してバブリングタンク12内のHMDS液11内に供給され、HMDS液11がバブリングされてHMDSガスが発生する。
発生したHMDSガスは、フィルタ20およびHMDS供給バルブ21を介してチャンバ2のガス供給孔2aに供給され、さらにチャンバ2の内壁の複数のガス噴出孔を介してチャンバ2内に噴射される。チャンバ2内のHMDSガスは、排気管8、チャンバ排気バルブ9、およびエジェクタ6を介して外部に排出される。このガス供給工程は、たとえば5秒間行なわれ、チャンバ2内の圧力は−8kPa程度になる。
次いで制御部23は、図5に示すように、バルブ9,21,16を開状態に維持しながら、エジェクタ駆動バルブ7を閉状態にする(図9では時刻t3)。これにより、エジェクタ6への圧縮空気の供給が停止され、エジェクタ6は導通状態となり、チャンバ2内の圧力は+4kPa程度に上昇する。また、ヒータ3に通電されてシリコンウェハ1が所定温度に加熱される。この処理工程は、たとえば35秒間行なわれる。この工程で、シリコンウェハ1の表面のOH基がSiで置換され、シリコンウェハ1の表面が疎水性になり、シリコンウェハ表面に対するホトレジストの接着性が強化される。
次に制御部23は、図6に示すように、バルブ9,21を開状態に維持しながら、バブリングバルブ16を閉状態にするとともに、エジェクタ駆動バルブ7を開状態にする(図9では時刻t4)。また、ヒータ3への通電は停止される。これにより、窒素ガスのバブリングタンク12への供給が停止され、HMDSガスの発生が停止される。また、圧縮空気がエジェクタ駆動バルブ7を介してエジェクタ6に供給され、バブリングタンク12およびチャンバ2内のHMDSガスがチャンバ排気バルブ9およびエジェクタ6を介して外部に排出される。このガス抜き工程は、たとえば3秒間行なわれ、チャンバ2内の圧力は−13kPa程度まで低下する。
次いで制御部23は、図7に示すように、バルブ7,9を開状態に維持しながら、HMDS供給バルブ21を閉状態にするとともに、大気開放バルブ22を開状態にする(図9では時刻t5)。これにより、バブリングタンク12とチャンバ2との間が遮断され、チャンバ2内に空気が導入される。また、チャンバ2内に導入された空気は、チャンバ排気バルブ9およびエジェクタ6を介して外部に排出される。この排気工程は、たとえば10秒間行なわれ、チャンバ2内の圧力は−8kPa程度になる。この工程では、チャンバ6内のHMDSガスは低圧の空気で置換される。
次に制御部23は、図8に示すように、大気開放バルブ22を開状態に維持しながら、エジャクタ駆動バルブ7を閉状態にする(図9では時刻t6)。これにより、エジェクタ6への圧縮空気の供給が停止され、エジェクタ6は導通状態となり、チャンバ2内の圧力は大気気圧まで上昇する。以上でHMDS処理は終了する。シリンダ5への圧縮空気の供給を停止して支持台4を下降させれば、シリコンウェハ1の取り出しが可能となる。
図3〜図9では、バルブ7,9,16,21,22が全て正常に動作した場合について説明した。しかし、バルブ7,9,16,21,22として圧縮ガスとバネによって駆動されるタイプのバルブを使用しており、このタイプのバルブはHMDSガスよって腐食され難い反面、誤動作を生じ易い。バルブ7,9,16,21,22が正常に動作したか否かを判別する方法として、バルブ7,9,16,21,22の各々に開閉状態を検出するセンサを設け、そのセンサ出力を監視する方法も考えられるが、装置がコスト高になる。
そこで、本願発明では、チャンバ1内の圧力を圧力計10で検出し、その検出値を監視部25で監視することとした。監視部25は、圧力計10の検出結果に基づいてHMDS処理装置が正常に動作しているか否かを判別し、正常に動作していないと判別した場合は、HMDS処理装置の動作を停止させるとともに、動作不良の内容と動作不良を起こしたバルブを示す信号を制御部23に出力して、動作不良の内容と動作不良を起こしたバルブなどを示す画像をモニタ26に表示させる。
具体的には、監視部25は、図3および図9で示した真空引き工程において、真空引きを開始(時刻t1)してから2秒以内にチャンバ2内の圧力が所定値(たとえば−15kPa)以下にならない場合は、真空引きを停止してHMDS処理装置を図1の状態に戻すとともに、「低圧異常」が発生したことと、バルブ7,9の動作不良あるいは装置のリークが原因と考えられることを制御部23を介してモニタ26に表示させる。
また、監視部25は、図4および図9で示したガス供給工程において、ガス供給を開始(時刻t2)してから3秒以内にチャンバ2内の圧力が所定の範囲(たとえば−15kPa〜+2kPa)内にない場合は、ガス供給を停止してHMDS処理装置を図1の状態に戻すとともに、「ガス供給異常」が発生したことと、バルブ16,21の動作不良が原因と考えられることを制御部23を介してモニタ26に表示させる。
また、監視部25は、図5および図9で示した処理工程において、処理を開始(時刻t3)してから3秒が経過した後にチャンバ2内の圧力が所定値(たとえば+2kPa)よりも低下した場合は、ガス供給を停止してHMDS処理装置を図1の状態に戻すとともに、「処理エラー」が発生したことと、バルブ16,21の動作不良あるいは装置のリークが原因と考えられることを制御部23を介してモニタ26に表示させる。
また、監視部25は、図6、図7および図9で示したガス抜きおよび排気工程において、ガス抜きを開始(時刻t4)して3秒が経過(時刻t5)してから排気工程が終了(時刻t6)するまでの間にチャンバ2内の圧力が所定の範囲(たとえば−15kPa〜+2kPa)内に維持されない場合は、排気を停止してHMDS処理装置を図1の状態に戻すとともに、「排気エラー」が発生したことと、バルブ7,9の動作不良が原因と考えられることを制御部23を介してモニタ26に表示させる。
この実施の形態では、チャンバ1内の圧力を圧力計10で検出し、その検出結果に基づいてHMDS処理装置が正常に動作しているか否かを判別し、正常に動作していないと判別した場合は、HMDS処理装置の動作を停止させるとともに、動作不良の内容と動作不良を起こしたバルブなどを示す画像をモニタ26に表示させる。したがって、動作不良の内容と動作不良を起こしたバルブを容易に知ることができる。また、動作不良があった場合は、HMDS処理装置の動作を停止させるので、不良なHMDS処理が施されるシリコンウェハ1の数を最小限にすることができる。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
1 シリコンウェハ、2 チャンバ、3 ヒータ、4 支持台、5 シリンダ、6 エジャクタ、7 エジェクタ駆動バルブ、8 排気管、9 チャンバ排気バルブ、10 圧力計、11 HMDS液、12 バブリングバルブ、13,17 ガス配管、14 フローメータ、15,20 フィルタ、16 バブリングバルブ、18 リリーフバルブ、19 パージバルブ、21 HMDS供給バルブ、22 大気開放バルブ、23 制御部、24 レコーダ、25 監視部、26 モニタ、27 操作部、SV1〜SV7 ソレノイドバルブ。
Claims (5)
- 基板の表面処理を行なう表面処理装置であって、
前記基板を収容するチャンバと、
前記チャンバ内を排気する排気装置と、
前記チャンバ内に処理ガスを供給するガス供給装置と、
前記チャンバ内の圧力を検出する圧力計と、
前記排気装置および前記ガス供給装置を制御して、前記チャンバ内の空気を排気する第1の工程、前記チャンバ内に前記処理ガスを供給して前記基板の表面処理を行なう第2の工程、および前記チャンバ内の前記処理ガスを排気する第3の工程を少なくとも実行する制御部と、
各工程における前記圧力計の検出値に基づいて前記表面処理装置が正常に動作しているか否かを監視する監視部とを備えた、表面処理装置。 - 前記監視部は、各工程における前記圧力計の検出値に基づいて前記表面処理装置の動作不良の内容を判別し、その判別結果を示す信号を出力する、請求項1に記載の表面処理装置。
- 前記監視部は、前記表面処理装置が正常に動作していないと判別したことに応じて前記表面処理装置の動作を停止させる、請求項1または請求項2に記載の表面処理装置。
- 前記排気装置は、
圧縮空気によって駆動され、前記チャンバ内を排気するエジェクタと、
前記エジェクタに前記圧縮空気を供給するための第1のバルブと、
前記ガス供給装置は、
処理液が注入されたバブリングタンクと、
前記バブリングタンク内の前記処理液にキャリアガスを供給して前記処理ガスを発生させるための第2のバルブとを含み、
前記制御部は、
前記第1の工程では、前記第1のバルブを開けて前記エジャクタに前記チャンバ内の空気を排出させ、
前記第2の工程では、前記第2のバルブを開けて前記バブリングタンクから前記チャンバ内に前記処理ガスを供給させ、前記第1のバルブを閉じて前記エジャクタを導通状態にし、前記チャンバ内を正圧にして前記基板の表面処理を行ない、
前記第3の工程では、前記第2のバルブを閉じて前記処理ガスの発生を停止させるとともに前記第1のバルブを開けて前記チャンバおよび前記バブリングタンク内の前記処理ガスを排出させる、請求項1から請求項3までのいずれかに記載の表面処理装置。 - 前記処理液はヘキサメチルジシラザンである、請求項4に記載の表面処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007306698A JP2009130308A (ja) | 2007-11-28 | 2007-11-28 | 表面処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007306698A JP2009130308A (ja) | 2007-11-28 | 2007-11-28 | 表面処理装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009130308A true JP2009130308A (ja) | 2009-06-11 |
Family
ID=40820882
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007306698A Pending JP2009130308A (ja) | 2007-11-28 | 2007-11-28 | 表面処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009130308A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013131746A (ja) * | 2011-12-20 | 2013-07-04 | Asml Netherlands Bv | ポンプシステム、二酸化炭素供給システム、抽出システム、リソグラフィ装置、およびデバイス製造方法 |
JP2018107192A (ja) * | 2016-12-22 | 2018-07-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及び基板処理方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05102023A (ja) * | 1991-10-08 | 1993-04-23 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置 |
JP2002289610A (ja) * | 2001-03-28 | 2002-10-04 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP2003017387A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-01-17 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | Hmds処理方法およびhmds処理装置 |
JP2003347198A (ja) * | 2002-05-28 | 2003-12-05 | Tokyo Electron Ltd | 基板ベーク装置、基板ベーク方法及び塗布膜形成装置 |
JP2006186757A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Nec Corp | 無線通信システムにおける送信電力制御方法およびその装置。 |
JP2006228911A (ja) * | 2005-02-16 | 2006-08-31 | Tokyo Electron Ltd | 半導体製造装置、コンピュータプログラム及び記憶媒体 |
JP2006253542A (ja) * | 2005-03-14 | 2006-09-21 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 処理ガス供給装置および基板処理装置 |
JP2007207975A (ja) * | 2006-02-01 | 2007-08-16 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理システム、基板処理装置、プログラム及び記録媒体 |
-
2007
- 2007-11-28 JP JP2007306698A patent/JP2009130308A/ja active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05102023A (ja) * | 1991-10-08 | 1993-04-23 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置 |
JP2002289610A (ja) * | 2001-03-28 | 2002-10-04 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP2003017387A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-01-17 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | Hmds処理方法およびhmds処理装置 |
JP2003347198A (ja) * | 2002-05-28 | 2003-12-05 | Tokyo Electron Ltd | 基板ベーク装置、基板ベーク方法及び塗布膜形成装置 |
JP2006186757A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Nec Corp | 無線通信システムにおける送信電力制御方法およびその装置。 |
JP2006228911A (ja) * | 2005-02-16 | 2006-08-31 | Tokyo Electron Ltd | 半導体製造装置、コンピュータプログラム及び記憶媒体 |
JP2006253542A (ja) * | 2005-03-14 | 2006-09-21 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 処理ガス供給装置および基板処理装置 |
JP2007207975A (ja) * | 2006-02-01 | 2007-08-16 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理システム、基板処理装置、プログラム及び記録媒体 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013131746A (ja) * | 2011-12-20 | 2013-07-04 | Asml Netherlands Bv | ポンプシステム、二酸化炭素供給システム、抽出システム、リソグラフィ装置、およびデバイス製造方法 |
JP2015146047A (ja) * | 2011-12-20 | 2015-08-13 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | ポンプシステム、二酸化炭素供給システム、抽出システム、リソグラフィ装置、およびデバイス製造方法 |
US9575406B2 (en) | 2011-12-20 | 2017-02-21 | Asml Netherlands B.V. | Pump system, a carbon dioxide supply system, an extraction system, a lithographic apparatus and a device manufacturing method |
JP2018107192A (ja) * | 2016-12-22 | 2018-07-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及び基板処理方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI500876B (zh) | 氣體減壓供應裝置、具備其之壓缸櫃、閥箱及基板處理裝置,以及氣體減壓供應方法 | |
KR100745372B1 (ko) | 반도체 제조설비의 개스플로우량 감시장치 및 그 방법 | |
WO2007023614A1 (ja) | 半導体製造装置,半導体製造装置の流量補正方法,プログラム | |
US7165443B2 (en) | Vacuum leakage detecting device for use in semiconductor manufacturing system | |
KR19990029905A (ko) | 가스누출 자동검사방법과 장치 및 가스누출 자동검사를 위한 기록매체 | |
JP4298025B2 (ja) | 真空圧力制御システム | |
US20100055808A1 (en) | Substrate processing apparatus and method of manufacturing semiconductor device | |
JP6667241B2 (ja) | 処理液供給装置、基板処理システムおよび処理液供給方法 | |
JPH07281760A (ja) | マスフローコントローラ絶対流量検定システム | |
JP2009130308A (ja) | 表面処理装置 | |
JP2008277666A (ja) | バルブ開閉動作確認方法、ガス処理装置および記憶媒体 | |
TW202227661A (zh) | 基板處理裝置、半導體裝置之製造方法、基板處理方法及程式 | |
JP4598463B2 (ja) | 真空装置、基板貼り合わせ装置、及び基板貼り合わせ方法 | |
KR101664192B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
JP2009117554A (ja) | 基板処理装置 | |
US8112183B2 (en) | Substrate processing apparatus and substrate processing method | |
JP2007095728A (ja) | デバイス製造装置及びリークチェック方法 | |
KR20060085716A (ko) | 반도체 설비의 이중 실링을 위한 슬롯 밸브 장치 | |
JP2006086186A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2009158786A (ja) | 基板処理装置 | |
JP3320505B2 (ja) | 熱処理装置及びその方法 | |
WO2023127054A1 (ja) | 漏洩検知装置、半導体装置の製造方法、基板処理方法およびプログラム | |
JP2008251969A (ja) | プラズマ処理装置 | |
KR20080068964A (ko) | 반도체 배큠 설비의 리크 디텍팅 장치 | |
KR20070029325A (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Effective date: 20100602 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 |
|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20100830 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20120228 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120703 |