JP4598463B2 - 真空装置、基板貼り合わせ装置、及び基板貼り合わせ方法 - Google Patents
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Description
この比較判定工程により、前記チャンバの気密性が不適であると判定されたとき、前記チャンバ内に今回供給された2枚の基板について貼り合わせを実行させる貼り合わせ工程とからなることを特徴とする。
1a Oリング
11 上チャンバ
11a Oリング
12 下チャンバ
21 上基板
22 下基板
31 上テーブル
32 下テーブル
33 X−Y−θ移動機構
4 上下移動機構
5 圧力計
6 制御器
7a 開閉バルブ
7 不活性ガス供給タンク
8a 開閉バルブ
8 排気ポンプ
9 報知器(警報器)
Claims (9)
- チャンバとこのチャンバ内の圧力を計測する圧力計とを有し、貼り合わせる2枚の基板を前記チャンバ内に供給し、前記チャンバ内を排気ポンプで真空引きし、真空引きされた前記チャンバ内で前記2枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ装置において、
前記排気ポンプにより前記チャンバ内を真空引きするときに、前記圧力計による前記チャンバ内の圧力測定値から所定時間間隔ΔTにおける測定圧力変化幅ΔPsを算出する算出手段と、
この算出手段で算出された測定圧力変化幅ΔPsと、前記所定時間間隔ΔTに対応して予め設定された基準圧力変化幅ΔPrとを比較し、この比較結果に基づいて、前記チャンバの気密性が適正か否かを判定する比較判定手段と、
前記比較判定手段により、前記チャンバの気密性が不適であると判定されたとき、前記チャンバ内に今回供給された2枚の基板について貼り合わせを実行させる制御器と
を具備することを特徴とする基板貼り合わせ装置。 - チャンバとこのチャンバ内の圧力を計測する圧力計とを有し、貼り合わせる2枚の基板を前記チャンバ内に供給し、前記チャンバ内を排気ポンプで真空引きし、真空引きされた前記チャンバ内で前記2枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ装置において、
前記排気ポンプにより前記チャンバ内を真空引きするときに、前記圧力計による圧力測定値が所定圧力変化幅ΔPだけ変化するのに要する時間長を測定するタイマと、
このタイマにより得た測定時間長ΔTsと、前記所定圧力変化幅ΔPに対応して予め設定された基準時間長ΔTrとを比較し、この比較結果に基づいて、前記チャンバの気密性が適正か否かを判定する比較判定手段と、
前記比較判定手段により、前記チャンバの気密性が不適であると判定されたとき、前記チャンバ内に今回供給された2枚の基板について貼り合わせを実行させる制御器と
を具備することを特徴とする基板貼り合わせ装置。 - チャンバとこのチャンバ内の圧力を計測する圧力計とを有し、貼り合わせる2枚の基板を前記チャンバ内に供給し、前記チャンバ内を排気ポンプで真空引きし、真空引きされた前記チャンバ内で前記2枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ装置において、
前記排気ポンプによる真空引きにより、前記チャンバ内が所定圧力Prまで減圧された後の所定時間Δt経過時において前記圧力計にて測定した前記チャンバ内の測定圧力Sと、予め設定された基準圧力Rとを比較し、この比較結果に基づいて、前記チャンバの気密性が適正か否かを判定する比較判定手段、
前記比較判定手段により、前記チャンバの気密性が不適であると判定されたとき、前記チャンバ内に今回供給された2枚の基板について貼り合わせを実行させる制御器と
を具備することを特徴とする基板貼り合わせ装置。 - チャンバとこのチャンバ内の圧力を計測する圧力計とを有し、貼り合わせる2枚の基板を前記チャンバ内に供給し、前記チャンバ内を排気ポンプで真空引きし、真空引きされた前記チャンバ内で前記2枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ装置において、
前記圧力計による前記チャンバ内の圧力測定値に基づいて前記チャンバ内の気密性が適正か否かを判定する比較判定手段と、
前記比較判定手段により、前記チャンバの気密性が不適であると判定されたとき、前記チャンバ内に今回供給された2枚の基板について貼り合わせを実行させる制御器と
を具備することを特徴とする基板貼り合わせ装置。 - 前記比較判定手段により、前記チャンバの気密性が不適であると判定されたとき、その旨を報知する報知手段を備えたことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の基板貼り合わせ装置。
- チャンバ内に貼り合わせる2枚の基板を供給し、前記チャンバ内を排気ポンプで真空引きし、真空引きされた前記チャンバ内で前記2枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ方法において、
前記チャンバ内に貼り合わせる2枚の基板を供給する工程と、
前記チャンバ内を前記排気ポンプにより真空引きする真空引き工程と、
この真空引き工程において、前記チャンバ内の圧力を所定時間間隔ΔTで測定する圧力測定工程と、
この圧力測定工程で測定された前記所定時間間隔ΔTの圧力測定値から、測定圧力変化幅ΔPsを算出する算出工程と、
この算出工程で算出された測定圧力変化幅ΔPsと、前記所定時間間隔ΔTに対応して予め設定された基準圧力変化幅ΔPrとを比較し、この比較結果に基づいて、前記チャンバの気密性が適正か否かを判定する比較判定工程と、
この比較判定工程により、前記チャンバの気密性が不適であると判定されたとき、前記チャンバ内に今回供給された2枚の基板について貼り合わせを実行させる貼り合わせ工程と
からなることを特徴とする基板貼り合わせ方法。 - チャンバ内に貼り合わせる2枚の基板を供給し、前記チャンバ内を排気ポンプで真空引きし、真空引きされた前記チャンバ内で前記2枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ方法において、
前記チャンバ内に貼り合わせる2枚の基板を供給する工程と、
前記チャンバ内を前記排気ポンプにより真空引きする真空引き工程と、
真空引き工程において、前記チャンバ内で所定圧力変化幅ΔPを形成するのに要した時間長を測定する計時工程と、
この計時工程で測定された測定時間長ΔTsと、前記所定圧力変化幅ΔPに対応して予め設定された基準時間長ΔTrとを比較し、この比較結果に基づいて、前記チャンバの気密性が適正か否かを判定する比較判定工程と、
この比較判定工程により、前記チャンバの気密性が不適であると判定されたとき、前記チャンバ内に今回供給された2枚の基板について貼り合わせを実行させる貼り合わせ工程と
からなることを特徴とする基板貼り合わせ方法。 - チャンバ内に貼り合わせる2枚の基板を供給し、前記チャンバ内を排気ポンプで真空引きし、真空引きされた前記チャンバ内で前記2枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ方法において、
前記チャンバ内に貼り合わせる2枚の基板を供給する工程と、
前記排気ポンプにより、前記チャンバ内を所定圧力値Prまで減圧する真空引き工程と、
この真空引き工程で所定圧力値Prまで減圧された後の前記チャンバ内の圧力を所定時間Δt経過時において測定する圧力測定工程と、
この圧力測定工程による測定圧力Sと、予め設定された基準圧力Rとを比較して、前記チャンバの気密性が適正か否かを判定する比較判定工程と、
この比較判定工程により、前記チャンバの気密性が不適であると判定されたとき、前記チャンバ内に今回供給された2枚の基板について貼り合わせを実行させる貼り合わせ工程と
からなることを特徴とする基板貼り合わせ方法。 - 前記比較判定工程により、前記チャンバの気密性が不適であると判定したとき、その旨報知する報知工程を有することを特徴とする請求項6〜8のいずれかに記載の基板貼り合わせ方法。
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