JP2006091127A - 真空装置、基板貼り合わせ装置、及び基板貼り合わせ方法 - Google Patents

真空装置、基板貼り合わせ装置、及び基板貼り合わせ方法 Download PDF

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Abstract

【課題】 基板貼り合わせ装置等に採用されるチャンバの真空漏洩度を自動的にチェックする。
【解決手段】 圧力計5を有し、排気ポンプ8で真空引きされたチャンバ1内で2枚の基板21,22を貼り合わせるとき、排気ポンプ8により真空引きされるチャンバ1内の圧力を、所定時間間隔ΔTをおいて測定し、その測定圧力変化幅ΔPsを算出する。
その算出された測定圧力変化幅ΔPsと、所定時間間隔ΔTでの圧力変化が適正に行われる限度として予め設定された基準圧力変化幅ΔPrとを比較し、測定圧力変化幅ΔPsが基準圧力変化幅ΔPrより大であるとき、貼り合わせを行うのに適した真空度が得られているものとし、測定圧力変化幅ΔPsが基準圧力変化幅ΔPrより小であるときには、真空漏れが許容限度を超えていて、修理あるいは交換を要するものと判定して、報知器9でその旨報知する。
【選択図】 図1

Description

本発明は、液晶表示パネルの製造に採用して好適な真空装置、及び基板貼り合わせ装置、並びに基板貼り合わせ方法の改良に関する。
液晶表示パネルは、真空装置を構成するチャンバ(真空槽)内において、供給された2枚のガラス基板を液晶及びスペーサを間に封入して貼り合わせて製造される。
2枚のガラス基板間への液晶の封入には、滴下方式と注入方式とがあるが、液晶の滴下方式では、一方の基板にシール剤を無端枠状に塗布するとともに、このシール剤の枠内に液晶を滴下し、この一方の基板と他方の基板とを排気ポンプ(真空ポンプ)により減圧されたチャンバ内で貼り合わせる(例えば、特許文献1参照。)。
チャンバ内で2枚のガラス基板を貼り合わせるとき、液晶内に空気が混入すると画質を低下させるので、チャンバ内は高い真空度に真空引きされる。
このようなチャンバは、上下方向に変位可能な上チャンバと、下チャンバとの組み合わせ構造からなり、上基板を保持する上ステージと下基板を載置する下ステージとを収納する。
上ステージは、チャンバの天井壁を貫通する支柱を介して上下動可能に支持される。
そして、チャンバ内を良好な気密状態とするために、上チャンバと下チャンバとの当接面や上ステージの支柱と上チャンバとの間には、Oリングやベローズ等の気密保持部材が設けられる。
特開2000−66163号公報
上記のように、液晶表示パネル等の製造では、真空装置を構成するチャンバが閉空間を形成し、排気ポンプによる排気により、高真空化されたチャンバ内で2枚のガラス基板の貼り合わせが行われる。
チャンバ内が、基板の貼り合わせを行うのに適した所定の圧力(真空度)に到達したか否かは、チャンバに取り付けた圧力計の計測値に基づき判定する方法や、チャンバ内が所定の圧力まで到達するのに要する時間を予め測定により求めておき、貼り合わせに際しては、その予め求めた時間に到達したときに、所定の圧力が得られたものと見なす方法がある。
いずれにしても、閉空間を形成したチャンバが、適正かつ円滑に排気されるか否かは、Oリングやベローズ等で封止した固定部と可動部との間の気密性に依存する。
しかしながら、Oリングやベローズは、経年変化で素材が劣化するのは避けられない上、チャンバにおける閉空間形成や基板貼り合わせ動作の繰り返しにより、摩耗や損傷を受けることが多く、封止機能を維持するのは容易でない。
さらに、近年の液晶表示パネルの大型化の進展は、チャンバの大容量化と重量化をもたらし、Oリング等にはより大きな機械的負荷がかかるようになってきた。
一方、基板の貼り合わせ工程の効率化の観点からは、排気ポンプによるチャンバ内の排気が適正かつ効率良く行われる必要があり、閉空間形成時において、Oリング等による封止が適正に機能し、真空漏れがなく、気密性が良好であることが要求される。
しかしながら、Oリング等に劣化や摩耗等が生じていたとしても、従来は閉空間を形成したチャンバの気密性を計る有効な手段はなかったから、運用中に、予期しない真空漏れにより、基板貼り合わせに必要な真空度が得られない状態で基板の貼り合わせが実行されてしまい、その結果、液晶内に気泡が混入し、ディスプレイ装置としての要求性能を達成できなくなる恐れがある。
また、チャンバにおける閉空間形成時の気密性が低下して真空漏れが生じると、排気ポンプにより所定の真空度を得るまでに時間がかかり、その結果、基板貼り合わせ等におけるタクトタイムが長くなり、製造効率の低下、ひいてはチャンバとしての機能が果たし得なくなる恐れもある。
そこで本発明は、運用中のチャンバにおいて、良好な気密が得られているか否か、また機密性が損なわれて修理や交換を必要とする状況にあるか否かを自動的に検知し得て、不良品の製造やチャンバとしての機能停止を未然に防ぐことが可能な真空装置、その真空装置を採用した基板貼り合わせ装置並びに基板貼り合わせ方法を提供することを目的とする。
請求項1に係る本発明は、チャンバとこのチャンバ内の圧力を計測する圧力計とを有し、チャンバ内を排気ポンプにより真空引きを行う真空装置において、前記排気ポンプにより前記チャンバ内を真空引きするときに、前記圧力計による前記チャンバ内の圧力測定値から、所定時間間隔ΔTにおける測定圧力変化幅ΔPsを算出する算出手段と、この算出手段で算出された測定圧力変化幅ΔPsと、前記所定時間間隔ΔTに対応して予め設定された基準圧力変化幅ΔPrとを比較し、この比較結果に基づいて、前記チャンバの気密性が適正か否かを判定する比較判定手段とを具備することを特徴とする。
請求項2に係る本発明は、チャンバとこのチャンバ内の圧力を計測する圧力計とを有し、チャンバ内を排気ポンプにより真空引きを行う真空装置において、前記排気ポンプにより前記チャンバ内を真空引きするときに、前記圧力計による圧力測定値が所定圧力変化幅ΔPだけ変化するのに要する時間長を測定するタイマと、このタイマにより得た測定時間長ΔTsと、前記所定圧力変化幅ΔPに対応して予め設定された基準時間長ΔTrとを比較し、この比較結果に基づいて、前記チャンバの気密性が適正か否かを判定する比較判定手段とを具備することを特徴とする。
請求項3に係る本発明は、チャンバとこのチャンバ内の圧力を計測する圧力計とを有し、チャンバ内を排気ポンプにより真空引きを行う真空装置において、前記真空引きにより前記チャンバ内が所定圧力Prまで減圧された後所定時間Δt経過時において前記圧力計にて測定した前記チャンバ内の測定圧力Sと、予め設定された基準圧力Rとを比較し、この比較結果に基づいて、前記チャンバ内の気密性が適正か否かを判定する比較判定手段を具備することを特徴とする。
請求項5に係る本発明は、チャンバとこのチャンバ内の圧力を計測する圧力計とを有し、排気ポンプで真空引きされたチャンバ内で2枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ装置において、前記排気ポンプにより前記チャンバ内を真空引きするときに、前記圧力計による前記チャンバ内の圧力測定値から所定時間間隔ΔTにおける測定圧力変化幅ΔPsを算出する算出手段と、この算出手段で算出された測定圧力変化幅ΔPsと、前記所定時間間隔ΔTに対応して予め設定された基準圧力変化幅ΔPrとを比較し、この比較結果に基づいて、前記チャンバの気密性が適正か否かを判定する比較判定手段とを具備することを特徴とする。
請求項6に係る本発明は、チャンバとこのチャンバ内の圧力を計測する圧力計とを有し、排気ポンプで真空引きされたチャンバ内で2枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ装置において、前記排気ポンプにより前記チャンバ内を真空引きするときに、前記圧力計による圧力測定値が所定圧力変化幅ΔPだけ変化するのに要する時間長を測定するタイマと、このタイマにより得た測定時間長ΔTsと、前記所定圧力変化幅ΔPに対応して予め設定された基準時間長ΔTrとを比較し、この比較結果に基づいて、前記チャンバの気密性が適正か否かを判定する比較判定手段とを具備することを特徴とする。
請求項7に係る本発明は、チャンバとこのチャンバ内の圧力を計測する圧力計とを有し、排気ポンプで真空引きされたチャンバ内で2枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ装置において、前記排気ポンプによる真空引きにより、前記チャンバ内が所定圧力Prまで減圧された後の所定時間Δt経過時において前記圧力計にて測定した前記チャンバ内の測定圧力Sと、予め設定された基準圧力Rとを比較し、この比較結果に基づいて、前記チャンバの気密性が適正か否かを判定する比較判定手段を具備することを特徴とする。
請求項8に係る本発明は、チャンバとこのチャンバ内の圧力を計測する圧力計とを有し、排気ポンプで真空引きされたチャンバ内で2枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ装置において、前記排気ポンプにて前記チャンバ内を真空引きするとき、または前記排気ポンプにて前記チャンバ内を所定の圧力まで真空引きした後における前記圧力計による前記チャンバ内の圧力測定値に基づいて前記チャンバ内の気密性が適正か否かを判定する比較判定手段を具備することを特徴とする。
請求項11に係る本発明は、排気ポンプにより真空引きされたチャンバ内で2枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ方法において、前記チャンバ内を前記排気ポンプにより真空引きする真空引き工程と、この真空引き工程において、前記チャンバ内の圧力を所定時間間隔ΔTで測定する圧力測定工程と、この圧力測定工程で測定された前記所定時間間隔ΔTの圧力測定値から、測定圧力変化幅ΔPsを算出する算出工程と、この算出工程で算出された測定圧力変化幅ΔPsと、前記所定時間間隔ΔTに対応して予め設定された基準圧力変化幅ΔPrとを比較し、この比較結果に基づいて、前記チャンバの気密性が適正か否かを判定する比較判定工程とからなることを特徴とする。
請求項12に係る本発明は、排気ポンプにより真空引きされたチャンバ内で2枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ方法において、前記チャンバ内を前記排気ポンプにより真空引きする真空引き工程と、真空引き工程において、前記チャンバ内で所定圧力変化幅ΔPを形成するのに要した時間長を測定する計時工程と、この計時工程で測定された測定時間長ΔTsと、前記所定圧力変化幅ΔPに対応して予め設定された基準時間長ΔTrとを比較し、この比較結果に基づいて、前記チャンバの気密性が適正か否かを判定する比較判定工程とからなることを特徴とする。
請求項13に係る本発明は、排気ポンプにより真空引きされたチャンバ内で2枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ方法において、前記排気ポンプにより、前記チャンバ内を所定圧力値Prまで減圧する真空引き工程と、この真空引き工程で所定圧力値Prまで減圧された後の前記チャンバ内の圧力を所定時間Δt経過時において測定する圧力測定工程と、この圧力測定工程による測定圧力Sと、予め設定された基準圧力Rとを比較して、前記チャンバの気密性が適正か否かを判定する比較判定工程とからなることを特徴とする。
上記のように、本発明の真空装置、基板貼り合わせ装置、及び基板貼り合わせ方法によれば、運用中のチャンバにおける気密性が適正か否かを自動的に検知するので、チャンバにおける良好なタクトタイムの維持が可能であり、排気ポンプを効率良く用いることができる。
以下、本発明による真空装置を採用した基板貼り合わせ装置及び基板貼り合わせ方法の一実施例を図1ないし図6を参照して詳細に説明する。
図1は、本発明に係る真空装置を採用した基板貼り合わせ装置の一実施例を示した構成図である。
図1において、チャンバ1は、上チャンバ11と下チャンバ12とがOリング1aを介して重ね合わせ自在に構成され、上チャンバ11の下降によるOリング1aを介した下チャンバ12との重ね合わせにより閉空間を形成する。また、チャンバ1内には、ガラス製の上基板21を受け取り静電チャックで吸着保持する上テーブル31と、下基板22を載置する下テーブル32とが組み込まれている。
上基板21を不図示の搬送ロボットから受け取り、上テーブル31のテーブル本体31aに受け渡す受け渡し機構33を有する。
テーブル本体31aは、上チャンバ11上に設置された上下移動機構4の昇降板4aに支柱31bを介して連結され、上下(矢印Z)方向に移動可能に構成されている。
また、受け渡し機構33は、テーブル本体31aを上下に貫通する複数個の吸着パッド33a,33aを有する。
この吸着パッド33a,33aは、昇降板4aに取り付けられた一対の上下移動機構33b,33bに支柱33c,33cを介して連結されており、テーブル本体31aに対して上下動可能とされている。
受け渡し機構33の支柱33c,33c及び上テーブル31の支柱31bと、上チャンバ11との間には、チャンバ1の気密性を確保すべく、Oリング11aが設けられる。
上チャンバ11には、チャンバ1内の真空度、すなわちチャンバ内圧力を測定する圧力計5が取り付けられ、その圧力測定値は制御器6に供給される。
また、上チャンバ11には、開閉バルブ7aを介して窒素ガス等の不活性ガスを収納した不活性ガス供給タンク7が連結され、チャンバ1の大気開放に際し、制御器6による開閉バルブ7aの開制御により、チャンバ1内に不活性ガスを供給する。
一方、下チャンバ12には、下テーブル32が、X−Y−θ方向に移動調整可能なX−Y−θ移動機構34とともに収納され、下テーブル32には、不図示の複数本からなる基板受け渡しピンが上下方向に移動できるように組み込まれている。なお、下テーブル32上には、その基板受け渡しピンの動作を妨げないように、ピン位置に貫通孔を形成したゴム製のパッドが配置され、搬送ロボットから基板受け渡しピンを介して受け取られた下基板22を載置するように構成されている。基板受け渡しピンとX−Y−θ移動機構34とは、制御器6によって駆動制御される。
また、下チャンバ12内には、不図示の認識カメラが上方向に向けて取り付けられ、上下基板21,22に付された位置合わせ用のアライメントマークを撮像して制御器6に供給する。
制御器6は供給された撮像画像に基づいて上下基板21,22の相対的な位置ずれを求め、X−Y−θ移動機構34を駆動して、貼り合わされる上下基板21,22の位置合わせを行う。
さらに、下チャンバ12には、開閉バルブ8aを介して排気ポンプ8が連結され、開閉バルブ8aは制御器6の制御を受けて、チャンバ1内における基板21,22の貼り合わせ操作のタイミングに合わせて開閉操作される。
制御器6には、制御プログラムや後述するように予め設定されるチャンバ1内圧力変化特性の基準データ等を記憶させたROM等からなるメモリやタイマ、及びCPUを内蔵して処理演算が可能なコンピュータ機能を備え、圧力計5によるチャンバ1内の圧力検出信号を導入しつつ、X−Y−θ移動機構33、上下移動機構4、及び上下移動機構31b,31b及び開閉バルブ7a,8aに対するプログラム制御を行い、一連の貼り合わせ動作を統括するように構成されている。この制御器6は、後述するように測定圧力変化幅ΔPsを算出する算出機能、チャンバ1の気密性が適正か否かを比較判定する比較判定機能を有する。
また、制御器6には報知器9が接続され、後述するように、チャンバ1が予め設定された基準値の真空度を確保し得ないときに、警報を発することができるように構成されている。この報知器9としては、ディスプレイパネル等の表示装置やスピーカ等の拡声器を用いることができる。たとえば、表示装置を用いた場合には、後述する不具合の発生を知らせるためのメッセージを表示するようにし、拡声器を用いた場合は、警告音を発するとともに、後述する不具合の発生を知らせるためのアナウンスを流す。
そこで、上記構成の基板貼り合わせ装置において、チャンバ1の閉空間形成に際しては、Oリング1a,11aが内外間を遮断して気密を確保する。とりわけ、排気ポンプ8による排気により、チャンバ1内が高い真空度に減圧され、内外圧力差が大となった状態においても、適正かつ良好な気密性が得られることが要求される。
しかしながら、チャンバ1に対し、大きな内外圧力差が加わった状態では、真空漏れが生じやすい状況になるから、理論上はともかくとして、高い真空状態下でチャンバ1における真空漏れをゼロとするのは容易でない。
従って、若干の真空漏れは止むを得ないものの、貼り合わせ基板の品質確保の点から、また製造効率化の観点から、許容される真空漏れには限度があり、チャンバ1はその許容限度内の真空度を形成維持することが要求される。
そこで、この実施例では、真空引きされるチャンバの真空漏れに予め基準値を設け、運用中に、真空漏れがその基準値を超えるか否かを監視することにより、不具合発生に至るのを未然に防止するという、いわば自己診断機能を備えた真空装置及び基板貼り合わせ装置並びに基板貼り合わせ方法を提供する。
図2及び図3は、図1に示したように閉空間を形成したチャンバ1に対し、制御器6が開閉バルブ8aを開操作し、排気ポンプ8の作動により真空引きを行ったときの経過時間に対するチャンバ1内圧力の変化を説明する模式化した特性曲線図である。
すなわち、図2及び図3において、一点鎖線Aで示した特性曲線は、チャンバ1に真空漏れが生じない場合の理想とする圧力変化特性図、鎖線Bは、チャンバ1に対し予め設定した真空漏れの許容限度を示す圧力変化基準特性図で、太線で示した実線Cは、実際の基板貼り合わせにおいて、圧力計5の測定により得られるチャンバ1内圧力例を示した圧力変化測定特性図である。
図2及び図3の特性図において、チャンバ1の真空漏れの許容限度を示した鎖線Bの圧力変化基準特性曲線を例に説明すると、時間Toにおいて、排気ポンプ8により大気圧Poの状態からの真空引きが開始され、その開始後、時間Trにおいて、圧力Prの真空状態に到達し、以後、排気ポンプ8による排気を停止させたとき、若干の真空漏洩によりチャンバ1内圧力はやや上昇することを示したものである。なお、図2及び図3において、圧力Prに到達し、排気ポンプ8による排気を停止させた以後は、漏洩ゼロの理想条件(一点鎖線A)の場合とは相違して、図3に示したように、許容限度を示した特性曲線も、鎖線Bに示したように、若干の真空漏れにより、所定時間Δt経過時のチャンバ1内圧力は所定圧力Prよりも高くなる。
そこで、制御器6は、圧力計5からのチャンバ1内圧力測定値の供給を受け、チャンバ1の真空引き操作に際して、鎖線Bで示されて境界を超える真空漏れがチャンバ1で生じているか否か判定し、その判定結果に基づいて、たとえばチャンバ1を点検あるいは修理を必要とする旨の警報を報知器9から発する。
制御器6における判定で、チャンバ1内の圧力変化が、予め設定された許容限度を超えたか否かは、次の3つの形態で判定することができる。
第1の判定形態は、図2に示したように、たとえば排気開始時Toから一定時間経過するまでの所定時間間隔ΔTにおけるチャンバ1内の測定圧力変化幅(圧力差)ΔPsが、限度とされる(鎖線Bから得られる)基準圧力変化幅ΔPrより大であるか否かである。
第2の判定形態は、図3に示したように、基準圧力変化幅ΔPを得るのに要した測定時間長ΔTsが鎖線Bから得られる基準時間長ΔTrより短いか否かである。
第3の判定形態は、図3に示したように所定圧力Prまで減圧した後、所定時間Δt経過時におけるチャンバ内測定圧力Sが限度とされる基準圧力Rよりも低いか否かである。
そこでまず上記第1の判定形態である、ある一定圧力を呈した時から一定時間経過後までの所定時間帯におけるチャンバ内の測定圧力変化幅ΔPsが基準圧力変化幅ΔPrより大であるか否か判定し、気密性劣化の自己診断機能を有する本発明の真空装置を採用した基板貼り合わせ装置の第1の実施例を、図1の構成図、図2の特性図、及び図4に示したフローチャートを参照して以下詳細説明する。
すなわち、開放されたチャンバ1内に搬入された上基板21を上テーブル31に保持し(ステップ4a)、下テーブル32に同じく下基板22を保持した(ステップ4b)後、チャンバ1を閉じ、閉空間を形成する(ステップ4c)。
ステップ4cによりチャンバ1に閉空間が形成された後、制御器6は、開閉バルブ8aを開操作して排気ポンプ8による真空引きを開始させ、真空引き開始時To後の経過時間をタイマにより計時するとともに、圧力計5から供給されるチャンバ1内圧力の測定値を導入し、計時開始時からの圧力変化幅を逐次算出して更新記憶する(ステップ4d)。
ステップ4dの後、ステップ4eに移行し、タイマによる計時により、図2に示した真空引き開始時Toからの経過時間が予め設定された所定時間間隔ΔTに到達したか否か判定し(ステップ4e)、予め設定された所定時間間隔ΔTに到達した(YES)と判定したとき、圧力計5からの測定値に基づいて算出した測定圧力変化幅ΔPsを読み出す(ステップ4f)。
ステップ4eにおいて、閉空間形成時Toからの経過時間が予め設定された所定時間間隔ΔTに到達しない(NO)と判定したときは、ステップ4eに戻るので、ステップ4fでは、予め設定された所定時間間隔ΔTに到達したときの測定圧力変化幅ΔPsが読み出され記憶される。
次ぎにステップ4gに移行し、ステップ4fにおいて読み出された測定圧力変化幅ΔPsを、図2に示す鎖線Bの特性曲線から導かれる基準圧力変化幅ΔPrと比較し、測定圧力変化幅ΔPsが基準圧力変化幅ΔPrより大であるか否か判定する。
ステップ4gにおいて、測定圧力変化幅ΔPsが基準圧力変化幅ΔPrより大である(YES)と判定したときには、ステップ4hに移行し、チャンバ1における真空漏れは許容限度内にあって、チャンバの適正な運用を困難ならしめる状況にないものとして貼り合わせを実行する。
ステップ4gにおいて、測定圧力変化幅ΔPsが基準圧力変化幅ΔPrより小である(NO)と判定したときには、ステップ4iに移行し、チャンバ1における真空漏れが予め設定された許容限度を超えており、修理点検等を必要とする旨、報知器9から警報を発し、上記ステップ4hに移行する。
なお、上記説明において、測定圧力変化幅ΔPsの測定開始時Toは、チャンバ1の真空引き開始時であるものとして説明したが、要するに所定時間間隔ΔTにおけるチャンバ1内の圧力変化幅(ΔPs)が対応する基準圧力変化幅ΔPrと比較できれば良いので、真空引き途中でも良い。
なお、チャンバ1内の真空引きの過程を初期と後期とに分けた場合、上記測定を初期段階で行うよりも後期段階で行った方がチャンバ1の気密性の適否を精度良く判定できると考えられる。
すなわち、真空引きが行われているときのチャンバ1内の圧力は一定の割合で変化するのではなく、一般に、チャンバ1内の空気密度が高い真空引きの初期段階で大きく、空気密度が低くなる後期段階に進むにつれて緩やかになる傾向がある。そして、空気密度が高い初期段階では、チャンバ1の真空漏れの影響を受け難く、空気密度が低くなる後期段階では反対にチャンバ1の真空漏れの影響を受けやすい。従って、同じ量の真空漏れが生じている状態では、初期段階よりも後期段階の方が測定圧力変化幅ΔPsと基準圧力変化幅ΔPrとの差がより顕著に現れると考えられるためである。
次ぎに、上記第2の判定形態である、真空引きされるチャンバ内がある一定圧力を示したときから、所定の圧力変化幅を形成するのに要した時間長を測定し、その測定時間長ΔTsが基準時間長ΔTrより短いか否か判定して、気密性劣化の自己診断を行う本発明の真空装置を採用した基板貼り合わせ装置の第2の実施例を、図1の構成図、図3の特性図、及び図5に示したフローチャートを参照して以下詳細説明する。
すなわち、図5に示したフローチャートにおいて、開放されたチャンバ1内の上テーブル31に上基板21が保持され(ステップ5a)、下テーブル32には下基板22が保持された(ステップ5b)後、チャンバ1を閉じ、閉空間を形成する(ステップ5c)。
ステップ5cによりチャンバ1に閉空間が形成された後、制御器6は開閉バルブ8aを開け、排気開始に合わせて、内蔵されたタイマにより計時を開始するとともに、圧力計5から供給されるチャンバ1内圧力の測定値を導入して、真空引き開始時Toからの圧力変化幅を逐次算出して更新記憶する(ステップ5d)。
ステップ5dの後ステップ5eに移行し、制御器6は、図3に示したように、圧力計5からの測定値に基づき算出したチャンバ1内の圧力変化幅が、予め設定された所定圧力変化幅ΔPに到達したか否か判定し、所定圧力変化幅ΔPに到達した(YES)と判定したとき、所定圧力変化幅ΔPを形成するのに要した時間長を測定時間長ΔTsとしてカウンタから読み出しメモリに記憶する(ステップ5f)。
なお、ステップ5eにおいて、予め設定された所定圧力変化幅ΔPに到達しない(NO)と判定したときは、ステップ5eに戻るので、ステップ5fでは、予め設定された所定圧力変化幅ΔPに到達したときの測定時間長ΔTsが読み出され記憶される。
続いてステップ5gに移行し、測定時間長ΔTsが、図3の鎖線Bの特性曲線から導かれる基準時間長ΔTrと比較し、測定時間長ΔTsが基準時間長ΔTrより短いか否かを判定する。
ステップ5gにおいて、測定時間長ΔTsが基準時間長ΔTrより短い(YES)と判定されたときには、ステップ5hに移行し、チャンバ1における真空漏れが許容限度内にあって、修理点検等を要しないものとし、基板の貼り合わせを実行する。
ステップ5gにおいて、測定時間長ΔTsが基準時間長ΔTrより長い(NO)と判定されたときには、ステップ5iに移行し、チャンバ1における真空漏れが予め設定された許容限度を超えて、修理点検等を必要とする旨、報知器9から警報が発せられて、上記ステップ5hに移行する。
なお、上記説明においても、測定時間長ΔTsを得るための所定圧力変化幅ΔPの測定開始時Toは真空引き開始時としたが、要するに所定の圧力変化幅形成のための真空引きの時間長を比較できれば良いので、真空引き開始後の任意の時間で良い。
上記説明は、チャンバ1内で基板貼り合わせを行うべく、チャンバ1を真空引きを行っている過程で、真空漏れの程度を自己診断する旨説明したものであるが、所定の真空引き操作が終了し、基板貼り合わせを実行するときあるいは基板貼り合わせを実行中に、チャンバ1内の真空漏れ程度を判定して、許容限度を超えているときに点検修理すべきとの警報を発するように構成できる。
すなわち、第3の判定形態である、真空装置を構成したチャンバ1を、基板貼り合わせを行うのに適した所定圧力Prまで減圧させ、排気を停止させて所定時間Δt経過後のチャンバ内圧力Sを基準圧力Rと比較し、測定圧力Sが基準圧力Rよりも低いか否か判定することにより、気密性の自己診断を行うように構成した本発明の真空装置を採用した基板貼り合わせ装置の第3の実施例を、図1の構成図、図3の特性図、及び図6に示したフローチャートを参照して以下詳細説明する。
すなわち、制御器6は、圧力計5からの検出信号により、チャンバ1内が減圧され所定圧力Prまで到達したか否か判定する(ステップ6a)。
ステップ6aにおいて、チャンバ1内が減圧され所定圧力Prまで到達した(YES)と判定したとき、制御器6は開閉バルブ8aを閉操作し、その閉操作から所定時間Δt経過したか否か判定する(ステップ6b)。
ステップ6bにおいて、予め設定された所定時間Δtに到達した(YES)と判定したとき、圧力計5でチャンバ1内圧力を検出して測定圧力Sとして検出し(ステップ6c)、対応して図3の鎖線Bの特性曲線から導かれる基準圧力Rと比較し、測定圧力Sが基準圧力Rよりも低いか否かを判定し(ステップ6d)、測定圧力Sが基準圧力Rよりも低い(YES)と判定したときは、ステップ6eに移行し、チャンバ1における真空漏れが許容限度内にあって、修理点検を要しないものとして貼り合わせを実行する。
ステップ6dにおいて、測定圧力Sが基準圧力Rよりも高い(NO)と判定したときは、ステップ6dに移行し、チャンバ1における真空漏れが予め設定された許容限度を超えて、修理点検を必要とする旨、報知器9から警報を発し、ステップ6eに移行する。
以上説明のように、上記各実施例によれば、チャンバ1における真空漏れが許容限度内にあるか否かをチャンバ1における真空引き操作の過程で得られるデータから判断できるので、このチャンバ1を搭載した真空装置及びその真空装置を採用した基板貼り合わせ装置並びに基板貼り合わせ方法において、チャンバ1のタクトタイムを常に適正に維持できるとともに、機能そのものを停止させてしまうような気密破壊を未然に防止でき貼り合わされた基板間の液晶内に気泡が混入することを防止できる。
上記実施例において、チャンバの気密性の適否判定の工程(ステップ4g、5g、6g)において気密性が不適である(NO)と判定されたときに、報知器9から警報を発し、その後、基板の貼り合わせを実行する例で説明した。これは、Oリングの劣化や磨耗に起因するチャンバ1の真空漏れは進行が比較的緩慢であることから、基準圧力変化幅ΔPr、基準時間長Tr、基準圧力Rを余裕を持たせた値に設定しておけば、直ちに装置を停止させて修理点検等を行なわずとも、一つのロットが終了した時点、あるいは一日の生産が完了した時点でチャンバの修理点検等を行なうことで充分に対応が可能であると考えられるためである。このようにした場合、報知器9による警報を受けてから修理点検等を行なうまでの間に、修理点検等の準備を事前に行なうことができるので、修理点検等を効率良く行なうことができ、修理点検等に起因する製造効率の低下を極力防止することができる。
また、チャンバの気密性の適否判定の工程(ステップ4g、5g、6g)において気密性が不適である(NO)と判定されたときに、報知器9から警報を発するとともに、以後の動作を停止させるようにしても良い。例えば、今回の基板の貼り合わせを行うことなく装置を停止させる、あるいは今回の基板の貼り合わせを行った後、装置を停止させるなどである。このようにした場合には、チャンバ1の気密性が不適であると判定された後、直ちにチャンバ1の修理点検等を行なうので、例えば、上チャンバと下チャンバとの間への異物の噛み込み等、Oリングの磨耗や劣化とは異なる不慮の気密不良が生じた場合でも、迅速に対応することができ、チャンバ1の気密性の低下に起因する製品品質の低下を防止することができる。
また、チャンバの気密性の適否判定の工程(ステップ4g、5g、6g)において比較した測定圧力変化幅ΔPsと基準圧力変化幅ΔPrとの圧力差、測定時間長ΔTsと基準時間長ΔTrとの時間差、あるいは測定圧力Sと基準圧力Rとの圧力差の履歴を記憶しておき、この記憶した圧力差あるいは時間差の履歴に応じて直ちに装置を停止させるか、一つのロットや1日分の生産が完了した時点で装置を停止させるか等、装置を停止させるタイミングを判定するようにしても良い。例えば、今回の適否判定の工程(ステップ4g、5g、6g)において気密性が不適である(NO)と判定されたときに得られた圧力差あるいは時間差が、履歴から得られる近時直線に基づいて予測される値に対して突出して大きい場合には、Oリング等の気密部材の磨耗や劣化とは異なる突発的な破損などの事故の可能性が考えられるので、装置を直ちに停止させる判定を行う。一方、得られた圧力差あるいは時間差が、履歴から得られる近似直線に基づいて予測される値に対して許容される範囲にある場合、緊急性は低いと考えられ得るので、一つのロットや1日分の生産が完了した時点で装置を停止させる判定を行う。このようにすることで、チャンバ1の気密性が不適であるという判定に対しても、予測される原因に基づいて適切な対応が行えるので、製造効率及び製品品質をより向上させることが可能となる。
また、貼り合わせ装置により基板の貼り合わせを行う動作中にチャンバの気密性の適否判定を行なう例で説明したが、基板の貼り合わせの動作とは関係なく、チャンバの気密性の適否判定を単独で行うようにしても良い。
また、上テーブルの支柱と上チャンバとの間、および受け渡し機構の支柱と上チャンバとの間にOリングを設けた例で説明したが、他の気密部材、例えば、ベローズを設けるようにしても良い。
また、本発明による真空装置を基板貼り合わせ装置に採用した例で説明したが、他の真空装置を利用した装置に適用することも可能である。
上記第1の実施例において、タイマによる計時中に圧力計による測定値を逐次取り込んで更新する例で説明したが、所定時間間隔ΔTにおけるチャンバ内圧力の変化幅が得られれば良いので、タイマによる計時開始時点と所定時間経過時点の2時点での圧力計の測定値を取り込み、所定時間間隔ΔTにおけるチャンバ内圧力差(測定圧力変化幅)を得るようにしても良い。
また、第1の実施例において、チャンバ内の真空引きを開始してから所定時間ΔTを経過した時点の圧力計の測定値を取り込み、予め設定された所定時間ΔT経過時点でのチャンバ内の理想圧力値と比較し、前記測定値が理想圧力値の許容値内にあるか否かによって、前記チャンバの気密性の適否を判定するようにしても良い。
また、第3の実施例で、測定圧力Sの検出を図1における開閉バルブ8aを閉操作してチャンバ1を密閉した状態で行う例で説明したが、開閉バルブ7aを開操作してチャンバ1内に不活性ガスを供給しながら行っても良い。この場合、チャンバ1内を所定圧力Prとした状態からチャンバ1内に不活性ガスを供給したときのチャンバ1内の圧力変化基準特性を予め調べておき、チャンバ1内に不活性ガスを供給してから所定時間Δt到達時点の測定圧力Sと圧力変化基準特性より求まる基準圧力Rとの比較によって、チャンバ1の気密性の適否を判定することができる。
本発明による真空装置を採用した基板貼り合わせ装置の一実施例を示した構成図である。 図1に示した装置の第1の実施例を説明するために模式的に示したチャンバにおける真空引き特性曲線図である。 図1に示した装置の第2及び第3の各実施例を説明するために模式的に示したチャンバにおける真空引き特性曲線図である。 図1に示した装置における第1の実施例の真空漏れチェック手順を示したフローチャートである。 図1に示した装置における第2の実施例における真空漏れチェック手順を示したフローチャートである。 図1に示した装置における第3の実施例における真空漏れチェック手順を示したフローチャートである。
符号の説明
1 チャンバ
1a Oリング
11 上チャンバ
11a Oリング
12 下チャンバ
21 上基板
22 下基板
31 上テーブル
32 下テーブル
33 X−Y−θ移動機構
4 上下移動機構
5 圧力計
6 制御器
7a 開閉バルブ
7 不活性ガス供給タンク
8a 開閉バルブ
8 排気ポンプ
9 報知器(警報器)

Claims (14)

  1. チャンバとこのチャンバ内の圧力を計測する圧力計とを有し、チャンバ内を排気ポンプにより真空引きを行う真空装置において、
    前記排気ポンプにより前記チャンバ内を真空引きするときに、前記圧力計による前記チャンバ内の圧力測定値から、所定時間間隔ΔTにおける測定圧力変化幅ΔPsを算出する算出手段と、
    この算出手段で算出された測定圧力変化幅ΔPsと、前記所定時間間隔ΔTに対応して予め設定された基準圧力変化幅ΔPrとを比較し、この比較結果に基づいて、前記チャンバの気密性が適正か否かを判定する比較判定手段と
    を具備することを特徴とする真空装置。
  2. チャンバとこのチャンバ内の圧力を計測する圧力計とを有し、チャンバ内を排気ポンプにより真空引きを行う真空装置において、
    前記排気ポンプにより前記チャンバ内を真空引きするときに、前記圧力計による圧力測定値が所定圧力変化幅ΔPだけ変化するのに要する時間長を測定するタイマと、
    このタイマにより得た測定時間長ΔTsと、前記所定圧力変化幅ΔPに対応して予め設定された基準時間長ΔTrとを比較し、この比較結果に基づいて、前記チャンバの気密性が適正か否かを判定する比較判定手段と
    を具備することを特徴とする真空装置。
  3. チャンバとこのチャンバ内の圧力を計測する圧力計とを有し、チャンバ内を排気ポンプにより真空引きを行う真空装置において、
    前記真空引きにより前記チャンバ内が所定圧力Prまで減圧された後所定時間Δt経過時において前記圧力計にて測定した前記チャンバ内の測定圧力Sと、予め設定された基準圧力Rとを比較し、この比較結果に基づいて、前記チャンバ内の気密性が適正か否かを判定する比較判定手段を具備することを特徴とする真空装置。
  4. 前記比較判定手段により、前記チャンバの気密性が不適であると判定されたとき、その旨報知する報知手段を備えたことを特徴とする請求項1ないし3のうちのいずれか1項に記載の真空装置。
  5. チャンバとこのチャンバ内の圧力を計測する圧力計とを有し、排気ポンプで真空引きされたチャンバ内で2枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ装置において、
    前記排気ポンプにより前記チャンバ内を真空引きするときに、前記圧力計による前記チャンバ内の圧力測定値から所定時間間隔ΔTにおける測定圧力変化幅ΔPsを算出する算出手段と、
    この算出手段で算出された測定圧力変化幅ΔPsと、前記所定時間間隔ΔTに対応して予め設定された基準圧力変化幅ΔPrとを比較し、この比較結果に基づいて、前記チャンバの気密性が適正か否かを判定する比較判定手段と
    を具備することを特徴とする基板貼り合わせ装置。
  6. チャンバとこのチャンバ内の圧力を計測する圧力計とを有し、排気ポンプで真空引きされたチャンバ内で2枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ装置において、
    前記排気ポンプにより前記チャンバ内を真空引きするときに、前記圧力計による圧力測定値が所定圧力変化幅ΔPだけ変化するのに要する時間長を測定するタイマと、
    このタイマにより得た測定時間長ΔTsと、前記所定圧力変化幅ΔPに対応して予め設定された基準時間長ΔTrとを比較し、この比較結果に基づいて、前記チャンバの気密性が適正か否かを判定する比較判定手段と
    を具備することを特徴とする基板貼り合わせ装置。
  7. チャンバとこのチャンバ内の圧力を計測する圧力計とを有し、排気ポンプで真空引きされたチャンバ内で2枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ装置において、
    前記排気ポンプによる真空引きにより、前記チャンバ内が所定圧力Prまで減圧された後の所定時間Δt経過時において前記圧力計にて測定した前記チャンバ内の測定圧力Sと、予め設定された基準圧力Rとを比較し、この比較結果に基づいて、前記チャンバの気密性が適正か否かを判定する比較判定手段を具備することを特徴とする基板貼り合わせ装置。
  8. チャンバとこのチャンバ内の圧力を計測する圧力計とを有し、排気ポンプで真空引きされたチャンバ内で2枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ装置において、
    前記排気ポンプにて前記チャンバ内を真空引きするとき、または前記排気ポンプにて前記チャンバ内を所定の圧力まで真空引きした後における前記圧力計による前記チャンバ内の圧力測定値に基づいて前記チャンバ内の気密性が適正か否かを判定する比較判定手段を具備することを特徴とする基板貼り合わせ装置。
  9. 前記比較判定手段により、前記チャンバの気密性が不適であると判定されたとき、その旨報知する報知手段を備えたことを特徴とする請求項5ないし8のうちのいずれか1項に記載の基板貼り合わせ装置。
  10. 前記比較判定手段により、前記チャンバの気密性が不適であると判定されたとき、以後の動作を停止させるように制御する制御装置を具備することを特徴とする請求項9に記載の基板貼り合わせ装置。
  11. 排気ポンプにより真空引きされたチャンバ内で2枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ方法において、
    前記チャンバ内を前記排気ポンプにより真空引きする真空引き工程と、
    この真空引き工程において、前記チャンバ内の圧力を所定時間間隔ΔTで測定する圧力測定工程と、
    この圧力測定工程で測定された前記所定時間間隔ΔTの圧力測定値から、測定圧力変化幅ΔPsを算出する算出工程と、
    この算出工程で算出された測定圧力変化幅ΔPsと、前記所定時間間隔ΔTに対応して予め設定された基準圧力変化幅ΔPrとを比較し、この比較結果に基づいて、前記チャンバの気密性が適正か否かを判定する比較判定工程と
    からなることを特徴とする基板貼り合わせ方法。
  12. 排気ポンプにより真空引きされたチャンバ内で2枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ方法において、
    前記チャンバ内を前記排気ポンプにより真空引きする真空引き工程と、
    真空引き工程において、前記チャンバ内で所定圧力変化幅ΔPを形成するのに要した時間長を測定する計時工程と、
    この計時工程で測定された測定時間長ΔTsと、前記所定圧力変化幅ΔPに対応して予め設定された基準時間長ΔTrとを比較し、この比較結果に基づいて、前記チャンバの気密性が適正か否かを判定する比較判定工程と
    からなることを特徴とする基板貼り合わせ方法。
  13. 排気ポンプにより真空引きされたチャンバ内で2枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ方法において、
    前記排気ポンプにより、前記チャンバ内を所定圧力値Prまで減圧する真空引き工程と、
    この真空引き工程で所定圧力値Prまで減圧された後の前記チャンバ内の圧力を所定時間Δt経過時において測定する圧力測定工程と、
    この圧力測定工程による測定圧力Sと、予め設定された基準圧力Rとを比較して、前記チャンバの気密性が適正か否かを判定する比較判定工程と
    からなることを特徴とする基板貼り合わせ方法。
  14. 前記比較判定工程により、前記チャンバの気密性が不適であると判定したとき、その旨報知する報知工程を有することを特徴とする請求項11ないし13のうちのいずれか1項に記載の基板貼り合わせ方法。
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