JP2006091127A - 真空装置、基板貼り合わせ装置、及び基板貼り合わせ方法 - Google Patents
真空装置、基板貼り合わせ装置、及び基板貼り合わせ方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006091127A JP2006091127A JP2004273660A JP2004273660A JP2006091127A JP 2006091127 A JP2006091127 A JP 2006091127A JP 2004273660 A JP2004273660 A JP 2004273660A JP 2004273660 A JP2004273660 A JP 2004273660A JP 2006091127 A JP2006091127 A JP 2006091127A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- pressure
- exhaust pump
- change width
- measured
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
【解決手段】 圧力計5を有し、排気ポンプ8で真空引きされたチャンバ1内で2枚の基板21,22を貼り合わせるとき、排気ポンプ8により真空引きされるチャンバ1内の圧力を、所定時間間隔ΔTをおいて測定し、その測定圧力変化幅ΔPsを算出する。
その算出された測定圧力変化幅ΔPsと、所定時間間隔ΔTでの圧力変化が適正に行われる限度として予め設定された基準圧力変化幅ΔPrとを比較し、測定圧力変化幅ΔPsが基準圧力変化幅ΔPrより大であるとき、貼り合わせを行うのに適した真空度が得られているものとし、測定圧力変化幅ΔPsが基準圧力変化幅ΔPrより小であるときには、真空漏れが許容限度を超えていて、修理あるいは交換を要するものと判定して、報知器9でその旨報知する。
【選択図】 図1
Description
1a Oリング
11 上チャンバ
11a Oリング
12 下チャンバ
21 上基板
22 下基板
31 上テーブル
32 下テーブル
33 X−Y−θ移動機構
4 上下移動機構
5 圧力計
6 制御器
7a 開閉バルブ
7 不活性ガス供給タンク
8a 開閉バルブ
8 排気ポンプ
9 報知器(警報器)
Claims (14)
- チャンバとこのチャンバ内の圧力を計測する圧力計とを有し、チャンバ内を排気ポンプにより真空引きを行う真空装置において、
前記排気ポンプにより前記チャンバ内を真空引きするときに、前記圧力計による前記チャンバ内の圧力測定値から、所定時間間隔ΔTにおける測定圧力変化幅ΔPsを算出する算出手段と、
この算出手段で算出された測定圧力変化幅ΔPsと、前記所定時間間隔ΔTに対応して予め設定された基準圧力変化幅ΔPrとを比較し、この比較結果に基づいて、前記チャンバの気密性が適正か否かを判定する比較判定手段と
を具備することを特徴とする真空装置。 - チャンバとこのチャンバ内の圧力を計測する圧力計とを有し、チャンバ内を排気ポンプにより真空引きを行う真空装置において、
前記排気ポンプにより前記チャンバ内を真空引きするときに、前記圧力計による圧力測定値が所定圧力変化幅ΔPだけ変化するのに要する時間長を測定するタイマと、
このタイマにより得た測定時間長ΔTsと、前記所定圧力変化幅ΔPに対応して予め設定された基準時間長ΔTrとを比較し、この比較結果に基づいて、前記チャンバの気密性が適正か否かを判定する比較判定手段と
を具備することを特徴とする真空装置。 - チャンバとこのチャンバ内の圧力を計測する圧力計とを有し、チャンバ内を排気ポンプにより真空引きを行う真空装置において、
前記真空引きにより前記チャンバ内が所定圧力Prまで減圧された後所定時間Δt経過時において前記圧力計にて測定した前記チャンバ内の測定圧力Sと、予め設定された基準圧力Rとを比較し、この比較結果に基づいて、前記チャンバ内の気密性が適正か否かを判定する比較判定手段を具備することを特徴とする真空装置。 - 前記比較判定手段により、前記チャンバの気密性が不適であると判定されたとき、その旨報知する報知手段を備えたことを特徴とする請求項1ないし3のうちのいずれか1項に記載の真空装置。
- チャンバとこのチャンバ内の圧力を計測する圧力計とを有し、排気ポンプで真空引きされたチャンバ内で2枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ装置において、
前記排気ポンプにより前記チャンバ内を真空引きするときに、前記圧力計による前記チャンバ内の圧力測定値から所定時間間隔ΔTにおける測定圧力変化幅ΔPsを算出する算出手段と、
この算出手段で算出された測定圧力変化幅ΔPsと、前記所定時間間隔ΔTに対応して予め設定された基準圧力変化幅ΔPrとを比較し、この比較結果に基づいて、前記チャンバの気密性が適正か否かを判定する比較判定手段と
を具備することを特徴とする基板貼り合わせ装置。 - チャンバとこのチャンバ内の圧力を計測する圧力計とを有し、排気ポンプで真空引きされたチャンバ内で2枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ装置において、
前記排気ポンプにより前記チャンバ内を真空引きするときに、前記圧力計による圧力測定値が所定圧力変化幅ΔPだけ変化するのに要する時間長を測定するタイマと、
このタイマにより得た測定時間長ΔTsと、前記所定圧力変化幅ΔPに対応して予め設定された基準時間長ΔTrとを比較し、この比較結果に基づいて、前記チャンバの気密性が適正か否かを判定する比較判定手段と
を具備することを特徴とする基板貼り合わせ装置。 - チャンバとこのチャンバ内の圧力を計測する圧力計とを有し、排気ポンプで真空引きされたチャンバ内で2枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ装置において、
前記排気ポンプによる真空引きにより、前記チャンバ内が所定圧力Prまで減圧された後の所定時間Δt経過時において前記圧力計にて測定した前記チャンバ内の測定圧力Sと、予め設定された基準圧力Rとを比較し、この比較結果に基づいて、前記チャンバの気密性が適正か否かを判定する比較判定手段を具備することを特徴とする基板貼り合わせ装置。 - チャンバとこのチャンバ内の圧力を計測する圧力計とを有し、排気ポンプで真空引きされたチャンバ内で2枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ装置において、
前記排気ポンプにて前記チャンバ内を真空引きするとき、または前記排気ポンプにて前記チャンバ内を所定の圧力まで真空引きした後における前記圧力計による前記チャンバ内の圧力測定値に基づいて前記チャンバ内の気密性が適正か否かを判定する比較判定手段を具備することを特徴とする基板貼り合わせ装置。 - 前記比較判定手段により、前記チャンバの気密性が不適であると判定されたとき、その旨報知する報知手段を備えたことを特徴とする請求項5ないし8のうちのいずれか1項に記載の基板貼り合わせ装置。
- 前記比較判定手段により、前記チャンバの気密性が不適であると判定されたとき、以後の動作を停止させるように制御する制御装置を具備することを特徴とする請求項9に記載の基板貼り合わせ装置。
- 排気ポンプにより真空引きされたチャンバ内で2枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ方法において、
前記チャンバ内を前記排気ポンプにより真空引きする真空引き工程と、
この真空引き工程において、前記チャンバ内の圧力を所定時間間隔ΔTで測定する圧力測定工程と、
この圧力測定工程で測定された前記所定時間間隔ΔTの圧力測定値から、測定圧力変化幅ΔPsを算出する算出工程と、
この算出工程で算出された測定圧力変化幅ΔPsと、前記所定時間間隔ΔTに対応して予め設定された基準圧力変化幅ΔPrとを比較し、この比較結果に基づいて、前記チャンバの気密性が適正か否かを判定する比較判定工程と
からなることを特徴とする基板貼り合わせ方法。 - 排気ポンプにより真空引きされたチャンバ内で2枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ方法において、
前記チャンバ内を前記排気ポンプにより真空引きする真空引き工程と、
真空引き工程において、前記チャンバ内で所定圧力変化幅ΔPを形成するのに要した時間長を測定する計時工程と、
この計時工程で測定された測定時間長ΔTsと、前記所定圧力変化幅ΔPに対応して予め設定された基準時間長ΔTrとを比較し、この比較結果に基づいて、前記チャンバの気密性が適正か否かを判定する比較判定工程と
からなることを特徴とする基板貼り合わせ方法。 - 排気ポンプにより真空引きされたチャンバ内で2枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ方法において、
前記排気ポンプにより、前記チャンバ内を所定圧力値Prまで減圧する真空引き工程と、
この真空引き工程で所定圧力値Prまで減圧された後の前記チャンバ内の圧力を所定時間Δt経過時において測定する圧力測定工程と、
この圧力測定工程による測定圧力Sと、予め設定された基準圧力Rとを比較して、前記チャンバの気密性が適正か否かを判定する比較判定工程と
からなることを特徴とする基板貼り合わせ方法。 - 前記比較判定工程により、前記チャンバの気密性が不適であると判定したとき、その旨報知する報知工程を有することを特徴とする請求項11ないし13のうちのいずれか1項に記載の基板貼り合わせ方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004273660A JP4598463B2 (ja) | 2004-09-21 | 2004-09-21 | 真空装置、基板貼り合わせ装置、及び基板貼り合わせ方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004273660A JP4598463B2 (ja) | 2004-09-21 | 2004-09-21 | 真空装置、基板貼り合わせ装置、及び基板貼り合わせ方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006091127A true JP2006091127A (ja) | 2006-04-06 |
JP4598463B2 JP4598463B2 (ja) | 2010-12-15 |
Family
ID=36232222
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004273660A Expired - Fee Related JP4598463B2 (ja) | 2004-09-21 | 2004-09-21 | 真空装置、基板貼り合わせ装置、及び基板貼り合わせ方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4598463B2 (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012073300A (ja) * | 2010-09-27 | 2012-04-12 | Shibaura Mechatronics Corp | 基板貼合装置及び基板貼合方法 |
JP2012194563A (ja) * | 2007-09-05 | 2012-10-11 | Toshiba Corp | 三次元画像表示装置、三次元画像表示装置の製造方法及び三次元画像表示装置の製造装置 |
JP2012230389A (ja) * | 2008-09-04 | 2012-11-22 | Shibaura Mechatronics Corp | 貼合装置及びその制御方法 |
KR20130104226A (ko) * | 2012-03-13 | 2013-09-25 | 시바우라 메카트로닉스 가부시끼가이샤 | 기판 접합 장치 및 기판 접합 방법 |
JP2020112832A (ja) * | 2020-04-14 | 2020-07-27 | Aiメカテック株式会社 | 基板組立システム、そのシステムに用いる基板組立装置、及び、そのシステムを用いた基板組立方法 |
CN114383355A (zh) * | 2020-10-19 | 2022-04-22 | 海信(山东)冰箱有限公司 | 冰箱 |
KR20220059997A (ko) * | 2020-11-02 | 2022-05-11 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 방법 |
KR20220167015A (ko) * | 2021-06-11 | 2022-12-20 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 |
CN116027101A (zh) * | 2022-12-15 | 2023-04-28 | 中国科学院近代物理研究所 | 射频超导腔打火类型在线甄别方法及系统 |
JP7486244B2 (ja) | 2022-08-04 | 2024-05-17 | Aiメカテック株式会社 | 基板組立装置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109703163B (zh) * | 2018-12-26 | 2020-04-28 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种真空贴合机 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS64436A (en) * | 1987-02-24 | 1989-01-05 | Toshiba Corp | Method for checking leakage of discharge system |
JPH09280995A (ja) * | 1996-04-17 | 1997-10-31 | Kokusai Electric Co Ltd | 真空処理室のリーク検査装置 |
JP2001330534A (ja) * | 2000-03-16 | 2001-11-30 | Tokyo Electron Ltd | 減圧処理装置のリークチェック方法および減圧処理装置 |
JP2003075845A (ja) * | 2001-08-31 | 2003-03-12 | Seiko Epson Corp | 液晶パネルの製造方法及び液晶パネルの製造装置 |
JP2003315808A (ja) * | 2002-02-22 | 2003-11-06 | Shibaura Mechatronics Corp | 基板貼り合わせ装置及び基板貼り合わせ方法 |
-
2004
- 2004-09-21 JP JP2004273660A patent/JP4598463B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS64436A (en) * | 1987-02-24 | 1989-01-05 | Toshiba Corp | Method for checking leakage of discharge system |
JPH09280995A (ja) * | 1996-04-17 | 1997-10-31 | Kokusai Electric Co Ltd | 真空処理室のリーク検査装置 |
JP2001330534A (ja) * | 2000-03-16 | 2001-11-30 | Tokyo Electron Ltd | 減圧処理装置のリークチェック方法および減圧処理装置 |
JP2003075845A (ja) * | 2001-08-31 | 2003-03-12 | Seiko Epson Corp | 液晶パネルの製造方法及び液晶パネルの製造装置 |
JP2003315808A (ja) * | 2002-02-22 | 2003-11-06 | Shibaura Mechatronics Corp | 基板貼り合わせ装置及び基板貼り合わせ方法 |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012194563A (ja) * | 2007-09-05 | 2012-10-11 | Toshiba Corp | 三次元画像表示装置、三次元画像表示装置の製造方法及び三次元画像表示装置の製造装置 |
JP2012230389A (ja) * | 2008-09-04 | 2012-11-22 | Shibaura Mechatronics Corp | 貼合装置及びその制御方法 |
JP2012073300A (ja) * | 2010-09-27 | 2012-04-12 | Shibaura Mechatronics Corp | 基板貼合装置及び基板貼合方法 |
KR20130104226A (ko) * | 2012-03-13 | 2013-09-25 | 시바우라 메카트로닉스 가부시끼가이샤 | 기판 접합 장치 및 기판 접합 방법 |
KR102000792B1 (ko) * | 2012-03-13 | 2019-07-16 | 시바우라 메카트로닉스 가부시끼가이샤 | 기판 접합 장치 및 기판 접합 방법 |
JP7125151B2 (ja) | 2020-04-14 | 2022-08-24 | Aiメカテック株式会社 | 基板組立システム、そのシステムに用いる基板組立装置、及び、そのシステムを用いた基板組立方法 |
JP2020112832A (ja) * | 2020-04-14 | 2020-07-27 | Aiメカテック株式会社 | 基板組立システム、そのシステムに用いる基板組立装置、及び、そのシステムを用いた基板組立方法 |
CN114383355A (zh) * | 2020-10-19 | 2022-04-22 | 海信(山东)冰箱有限公司 | 冰箱 |
CN114383355B (zh) * | 2020-10-19 | 2023-06-16 | 海信冰箱有限公司 | 冰箱 |
KR20220059997A (ko) * | 2020-11-02 | 2022-05-11 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 방법 |
KR102548764B1 (ko) * | 2020-11-02 | 2023-06-30 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 방법 |
KR20220167015A (ko) * | 2021-06-11 | 2022-12-20 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 |
KR102570523B1 (ko) * | 2021-06-11 | 2023-08-24 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 |
JP7486244B2 (ja) | 2022-08-04 | 2024-05-17 | Aiメカテック株式会社 | 基板組立装置 |
CN116027101A (zh) * | 2022-12-15 | 2023-04-28 | 中国科学院近代物理研究所 | 射频超导腔打火类型在线甄别方法及系统 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4598463B2 (ja) | 2010-12-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4598463B2 (ja) | 真空装置、基板貼り合わせ装置、及び基板貼り合わせ方法 | |
KR101923691B1 (ko) | 프로세싱 시스템 제어 방법 및 장치 | |
CN102654241B (zh) | 气体减压供给装置、具有该气体减压供给装置的气瓶柜、阀箱以及基板处理装置 | |
KR100745372B1 (ko) | 반도체 제조설비의 개스플로우량 감시장치 및 그 방법 | |
KR20050028943A (ko) | 저압 화학기상증착 장치의 압력조절 시스템 | |
JPH1194687A (ja) | ガスリーク検査方法と装置及び記録媒体 | |
KR100722639B1 (ko) | 기판 접합 장치, 기판 접합 판정 방법 및 기판 접합 방법 | |
CN108428616B (zh) | 基板处理方法及其装置 | |
JP3390314B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP5150685B2 (ja) | 電子部品移載装置の真空異常判定方法および電子部品移載装置 | |
JP2008286886A (ja) | 基板貼り合わせ装置及び基板貼り合わせ方法 | |
JP2010231128A (ja) | 基板貼り合わせ装置及び基板貼り合わせ方法 | |
KR20070061942A (ko) | 도어를 갖는 챔버 | |
JP3221380B2 (ja) | 半導体装置の樹脂封止装置及びその不良検出方法 | |
JP2006235603A (ja) | 基板貼り合わせ装置、基板貼り合わせ判定方法及び基板貼り合わせ方法 | |
JP2011146412A (ja) | 基板処理装置 | |
KR20080068964A (ko) | 반도체 배큠 설비의 리크 디텍팅 장치 | |
JP2009130308A (ja) | 表面処理装置 | |
JP5044265B2 (ja) | 熱処理装置、熱処理方法、および熱処理装置用プログラム | |
JPH07293438A (ja) | クライオポンプ | |
JP2007095728A (ja) | デバイス製造装置及びリークチェック方法 | |
CN218568787U (zh) | 半导体设备 | |
KR20060010305A (ko) | 가스누설검출장치를 갖는 반도체 제조설비 | |
CN114166952B (zh) | 一种吸附检测装置及吸附检测方法 | |
JP2001311678A (ja) | 密閉容器のエアリーク有無判定方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070920 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100421 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100427 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100628 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100907 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100924 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131001 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |