JP2010231128A - 基板貼り合わせ装置及び基板貼り合わせ方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上下に分割可能なチャンバ110内に配置された2枚の基板201、202を前記チャンバ110内を減圧した状態下で重ね合わせ、貼り合わせ基板を得る基板貼り合わせ装置であって、チャンバ110内を減圧および昇圧させる気圧調整装置170と、チャンバ110内の気圧を検出する気圧センサ180と、気圧調整装置170によって、減圧された前記チャンバ110内へ第1の吐出圧力で気体を吐出してチャンバ110内を昇圧させる過程において、気圧センサ180により検出された気圧が大気圧以下の定められた設定気圧以上か否かを判定し、前記設定気圧以上である場合に、気圧調整装置170による気体の吐出圧力を前記第1の吐出圧力よりも低い第2の吐出圧力に切り替え設定する制御装置200とを有する。
【選択図】図1
Description
170は、この制御装置200の制御によって、気体入出管172を介してチャンバ110内の気体を吸引する。これにより、チャンバ110内の気圧が大気圧から徐々に減少し、やがて真空状態となる。なお、チャンバ110内の減圧は、下基板201と上基板202との位置合わせの前に行うようにしてもよい。
110 チャンバ
111 下チャンバ
112 上チャンバ
120 下ステージ
122、132 吸着機構
124 貫通孔
130 上ステージ
140 撮像カメラ
150 XYθ駆動機構
160 昇降駆動機構
170 気圧調整装置(減圧手段、気体吐出手段)
172 気体入出管
180 気圧センサ
190 搬送ロボット
200 制御装置
201 下基板
202 上基板
Claims (4)
- 上下に分割可能に構成されたチャンバ内に配置された2枚の基板を前記チャンバ内を減圧した状態下で重ね合わせ、貼り合わせ基板を得る基板貼り合わせ装置であって、
前記チャンバ内を減圧および昇圧させる気圧調整手段と、
前記チャンバ内の気圧を検出する気圧検出手段と、
前記気圧調整手段によって、減圧された前記チャンバ内へ第1の吐出圧力で気体を吐出して前記チャンバ内を昇圧させる過程において、前記気圧検出手段により検出された気圧が大気圧以下の定められた設定気圧以上か否かを判定し、前記設定気圧以上である場合に、前記気圧調整手段による気体の吐出圧力を前記第1の吐出圧力よりも低い第2の吐出圧力に切り替え設定する制御手段とを有する基板貼合装置。 - 前記第2の吐出圧力は、時間経過に伴って漸減する値である請求項1記載の基板貼り合わせ装置。
- 前記制御手段は、前記気圧検出手段により検出された気圧が大気圧に達したことを判定した場合に、前記気圧調整手段による気体の吐出を停止させる請求項1又は2記載の基板貼合装置。
- 上下に分割可能に構成されたチャンバ内に2枚の基板を配置し、前記チャンバ内を減圧した状態下でこれら2枚の基板を重ね合わせ、貼り合わせ基板を得る基板貼り合わせ方法であって、
前記2枚の基板が重ね合わされた後に前記チャンバ内へ第1の吐出圧力で気体を吐出して前記チャンバ内を昇圧させる過程において、
前記チャンバ内の気圧を検出し、
検出された気圧が大気圧以下の定められた設定気圧以上か否かを判定し、前記設定気圧以上である場合に、前記チャンバ内に吐出する気体の吐出圧力を前記第1の吐出圧力よりも低い第2の吐出圧力に切り替え設定する基板貼り合わせ方法。
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