JP2008147255A - 太陽電池モジュールのラミネート装置。 - Google Patents

Abstract

【課題】ラミネート部における上下のチャンバの温度による反りを抑えて、ラミネート部の高い真空度を確保することができるラミネート装置を提供する。
【解決手段】ラミネート部の上チャンバを、昇降装置によって昇降させて下チャンバの上から密着させる構造である。昇降装置と上チャンバとは直結せずに、昇降装置の昇降力を緩衝して上チャンバに伝達する緩衝部を介在させる。
【選択図】図５

Description

本発明は、太陽電池モジュール等の被ラミネート体を製造するためのラミネート装置に関するものである。

従来の太陽電池モジュールを製造するためのラミネート装置として例えば、特許文献１などの公報に記載された公知例がある。
これらのラミネート装置としては、上下にチャンバを備えたものが使用されている。
上チャンバは、下方に向けて膨張自在なダイアフラムを備えた下面開放の箱体である。
この上チャンバに対向する位置に下チャンバが配置してある。
この下チャンバは、内部に発熱板を備えた、上面開放の箱体であり、上チャンバが下チャンバの蓋のようになっている。

これらの従来のラミネート装置の使用方法は、以下の通りである。
まず、上チャンバを開いた状態で、搬送ベルト上に被加工物を載せて搬送し、前記下チャンバに設けられた発熱板上に、被加工物を載置する。被加工物としての太陽電池モジュールは、最下層がガラス板で、その上にシート状の充填材、太陽電池セル、シート状の充填材と順次積層し、最上層にシート状の裏面材を配した構成である。
上チャンバを下チャンバに向けて下降させ、上下のチャンバの縁を確実に接触させて外部の大気圧とは絶縁した気密状態を形成する。
次に重ねた上下のチャンバ内部を減圧し、被加工物を加熱する。
その後、上チャンバのみに大気を導入することにより、ダイアフラムを膨張させ、被加工物としての太陽電池モジュールを発熱板の上面とダイアフラムとの間で挟圧する。
発熱板の熱により充填材が溶融し、架橋反応を起こして硬化しラミネート加工がされる。

特開平１１−２０４８１１号公報

しかしながら、上記特許文献１に記載のラミネート装置は、次のような問題がある。
＜１＞ 下チャンバの内部に収納したヒーターは最高１８０℃程度の高温を発生する。そのために上下のチャンバの内部と大気に接する外部との間には大きな温度差が生じる。
＜２＞ この温度差によって、どんな剛性と精度を備えたチャンバであっても、図１０に示すように内側（ヒーター側の面）と外側の熱膨張の差によって反りが発生する。図１１は、チャンバを被加工物の流れ方向（搬送方向）と直角な方向から見た説明図であるが、チャンバを被加工物の流れ方向（搬送方向）から見た場合もチャンバの反りは同様となる。
＜３＞ この反りが、特にチャンバの隅部の変形として大きく現れ、上チャンバでは四隅が上方向に反り返り、下チャンバでは下方向に反り返る。
＜４＞ 上下のチャンバは、接触する縁にＯリングを配置して気密性を確保してある。ダイアフラムで仕切られたチャンバ内部の上下両方を真空引きする工程では、チャンバが大気圧により強く併合されるのでチャンバに多少の反りがあっても矯正され気密性は確保される。しかし、ダイアフラムの上側に大気導入するプレス工程では、チャンバを併合する力は上チャンバの自重のみとなり、チャンバの反りを矯正するような力は発生しない。その結果Ｏリングによるシール性は不均一となり、特に反りが発生した四隅はシール性が著しく悪化する
＜５＞ 近年、ラミネータ装置は生産性を向上の目的で大型化する傾向がある。チャンバは真空引き工程で受ける大気圧に耐えうる剛性を確保した設計がなされるが、熱による変形を抑えるような剛性確保は容易ではない。そのためチャンバの大型化により四隅の反り量も増加する。実験結果では２ｍ×３．６ｍの長方形チャンバをもつラミネータにおいてヒーターを１７０℃で加熱し、連続運転すると最大で約２ｍｍの反り量が計測された。この結果四隅はＯリングが十分につぶれずシール性が悪化し、しいては内部真空度が悪化につながる。
このように内部真空度が悪化すると被加工材の太陽電池内に気泡が生じ、その気泡が被加工材中に残存して製品不良となる。
＜６＞ さらに別の問題であるが、上チャンバの下面に取り付けてあるダイアフラムは上チャンバの外周にクランプされた構造で取り付けてある。しかし前記したチャンバの反り返りの影響によって、ダイアフラムの加圧力に場所による不均衡が生じ、ダイアフラムにかかる圧力の弱いところではダイアフラムが内部に引き込まれたり、外部に押し出されるといった不都合が生じ、破損の原因になりやすい。
＜７＞ このような問題に対処するために、反りの量にあわせて下チャンバを強制的に逆方向へ反らせるような構成、あるいはチャンバの縁により直径の大きいＯリングを配置するような構成がなされている。
＜８＞ しかし、前者のようにチャンバを逆方向に反らせる構成では、使用時の温度設定、あるいは使用時間の経過によって反りの量が変わるので、確実な設定が困難であるという問題がある。また後者のようにＯリングの直径を大きくしてもＯリングのつぶれる量による圧力の違いが生じるので、ダイアフラムが引き込まれるような問題は解決しない。

またラミネート装置としては、図１２のように上チャンバの長辺の中央部を門型の支柱にて電動等により昇降駆動させる構成のものも使用されている。このような構成の場合は、昇降機構以外にチャンバの四隅を押さえる別機構を追加しないと上記の問題が発生する。

さらに図１３のように貝開きタイプのラミネート装置は、上チャンバは２本のアームにて支持されエアー駆動または電動にて開閉される。このような構成の場合も四隅を押さえる別機構を追加しないと上記の問題が発生する。

本発明は、これらの問題の解決を図ったもので、ラミネータ装置にて太陽電池モジュールを製造する場合、ラミネート部において加熱のための発生熱によってチャンバに反りが生じても、上下のチャンバの縁を完全に閉合させることができ、チャンバ内に十分な気密性を確保することができるラミネート装置を提供することを第１の目的としている。
またこの目的に併せて、ダイアフラムがチャンバ内へ引き込まれる現象の発生を防止することができる、ラミネート装置を提供すること第２の目的としている。

上記の目的を達成するために本発明のラミネート装置は、内部充填材を加熱により溶融させる太陽電池のラミネートに使用する装置であって、前記装置は内部をダイアフラムにより仕切った上チャンバと、上チャンバに対向する位置に設置した下チャンバによってラミネート部を構成し、前記ラミネート部の上チャンバを、前記装置の四隅近傍の昇降装置によって昇降させて下チャンバの上から密着させる構造であり、昇降装置と上チャンバとは直結せずに、昇降装置の昇降力を緩衝して上チャンバに伝達する緩衝部を介在させたことを特徴としている。

また前記の緩衝部は、コイルばねと、このコイルばねを介して上チャンバへ加圧力を伝達する連結材とによって構成したことを特徴とする構成とすることもできるし、ダンパーと、このダンパーを介して上チャンバへ加圧力を伝達する連結材とによって構成することもできる。

本発明の構成は上記のようになるから、次のような効果を得ることができる。
＜１＞ 加熱時の高温によってチャンバが変形しても、反り返りの発生する四つの隅部を強制的に押さえることができるから、上下のチャンバの縁部を確実に閉合することができ、内部の真空度を確実に保持することができる。
＜２＞ 本発明の構成によってラミネート加工中の真空度が確実に維持されるため、被加工物中に気泡が残存することがなくなるので製品の品質が向上するとともに歩留まりが向上する。
＜３＞ 本発明の構成によって真空度が確実に維持されるためにチャンバの剛性を高めたり、高い精度の平坦度を必要とせず、チャンバの制作費を低減することができる。
＜４＞ 真空度の維持と同時に、上チャンバに取り付けたダイアフラムの引き込まれによる破損を阻止することもできる。

以下、本発明の実施の形態を、添付図面を参照して説明する。

＜１＞太陽電池モジュール。
まず、本発明のラミネート装置で加工する被加工物１０の例について説明する。
図２は、被加工物１０としての太陽電池モジュールの構造を示す断面図である。
太陽電池モジュールは、図示のように、下側に配置された透明なカバーガラス１１と上側に配置された裏面材１２の間に，充填材１３，１４を介してストリング１５をサンドイッチした構成を有する。
裏面材１２は例えばポリエチレン樹脂などの透明な材料が使用される。充填材１３，１４には例えばＥＶＡ（エチレンビニルアセテート）樹脂などが使用される。ストリング１５は，電極１６，１７の間に，太陽電池セル１８を、リード線１９を介して接続した構成である。
あるいは、被加工物１０としては、一般に薄膜式と呼ばれる太陽電池を対象とすることもできる。
この薄膜式の代表的な構造例では、下側に配置された透明なカバーガラスには、予め、透明電極、半導体、裏面電極からなる発電素子が蒸着してある。
このような薄膜型太陽電池モジュールは、ガラスを下向きに配置し、ガラス上の太陽電池素子の上に充填材を被せ、更に、充填材の上に裏面材を被せた構造で、真空加熱ラミネートすることにより作成される。
このように、被加工物１０としての薄膜式の太陽電池モジュールは、結晶系セルが蒸着された発電素子に変わるだけで、基本的な封止構造は前記した結晶系セルの場合と同じである。

＜２＞全体の構成。
図１は、本発明のチャンバ押さえ機構を備えたラミネート装置１００の側面図である。便宜的にラミネート装置の四隅近傍に配置した昇降装置は、略している。
同図に示すラミネート装置１００の右側には、搬入コンベア２００があり、左側には搬出コンベア３００がある。
搬入コンベア２００は、これからラミネート加工をする被加工物１０としての太陽電池モジュールをラミネート部に供給するものであり、搬出コンベア３００は、ラミネート加工した被加工物１０を搬出するものである。
そして、これら搬入コンベア２００、ラミネート装置１００及び搬出コンベア３００の順に被加工物１０を受け渡しながら、図１の左向きに被加工物１０を搬送する。
ラミネート装置１００には、被加工物１０を搬入コンベアから受け取り、搬出コンベア３００に渡すための搬送ベルト１３０が設けられている。

＜３＞ラミネート部の上チャンバ。
図３は、ラミネート部１０１を示す断面図である。ラミネート部は、上チャンバ１１３とそれに対抗する位置に配置した下チャンバ１２１（図４）とによって構成されている。
上ケース１１０の内部を水平に仕切るようにしてダイアフラム１１２が装着されており、このダイアフラム１１２と上ケース１１０の内壁面で囲まれた空間が上チャンバ１１３となっている。
ダイアフラム１１２は、フッ素系のゴムなどの耐熱性のあるゴムなどを使用している。
また、上ケース１１０の上面には上チャンバ１１３に連通する吸排気口１１４が設けられており、この吸排気口１１４を図示しない真空ポンプに接続して上チャンバ１１３内を真空引きしたり、外気と接続して上チャンバ１１３内に大気圧を導入したりできるようになっている。

＜４＞ラミネート部の下チャンバ。
下ケース１２０の内部空間としての下チャンバ１２１内（図４）には板状のヒータ１２２が配置されている。
ヒータ１２２は、図３又は図４に示すとおり下チャンバ１２１の底部からサポート体などで支持されている。
このヒータの上を搬送ベルトにより被加工物が搬送される。その上の少し距離をおいて剥離シート１４０が設けられている。
下ケース１２０の下面には下チャンバ１２１に連通するようにして吸排気口１２３が設けられている。
下チャンバ１２１は、上方を上ケース１１０により封止され、吸排気口１２３から下チャンバ１２１内を真空引きしたり、この吸排気口１２３から下チャンバ１２１内に大気圧を導入したりできるように構成されている。

＜５＞上チャンバの昇降。
前記したラミネート部１０１の上チャンバ１１３は、図５に示した昇降装置４０の作動によって昇降する。
上チャンバは、ラミネート装置１００の四隅近傍に設置した昇降装置により水平面を維持した状態で下降して下チャンバに接近して両者が閉合し、あるいは水平面を維持した状態で上チャンバが上昇して下チャンバから離れる。
昇降装置４０としては、その駆動源をエアーとしたエアーシリンダー、駆動源を油圧とした油圧シリンダー、また駆動源を電気とした電動式のパワーシリンダーなどを使用することができる。
この昇降装置のピストンロッド４１の伸縮によってロッドの先端に、後述する緩衝部４００を介して取り付けた上チャンバの昇降を行うとともにラミネート部の四隅の押さえ込みをすることができる。

＜６＞緩衝部４００
緩衝部４００の構成について図６により説明する。図６は、緩衝部にコイルバばね使用した場合の構成である。尚本発明の緩衝部は、以下の実施例に限定されるものではない。
図６ａは緩衝部４００をラミネート装置１００の被加工物１０の流れ方向から見た図面であり、図６ｂはそれを直角な方向から見た図面である。
４０１は、図５にも示したようにラミネート装置の上チャンバの四隅近傍に設けられた、昇降装置４０と接続するための連結材である。４１は、シリンダー等の昇降装置のピストンロッド、４０２はコイルばね、４０３はパイプカラー、４０４はコイルばねを受けるワッシャー、４０５は緩衝時にコイルばねを押し付けるワッシャー、４０６はスタッドボルト、４０７はシリンダーなどの昇降装置とコイルばねの緩衝部を接続するアダプター、４０８はシリンダー等の昇降装置のピストンロッドをアダプターに取り付けるための取付け孔、４０９はセットボルトおよびナットである。

ラミネート装置の架台１７０の四隅近傍に設置した昇降装置の昇降用のピストンロッド４１にアダプター４０７を取り付ける。取り付け方法は、アダプター及びピストンロッドの孔に挿入可能なピンと止め輪などにより取り付ける。アダプターの上部には、スタッドボルトを取り付け可能なネジ孔が加工されている。アダプターの上部の角型部Ｋは、上チャンバの四隅近傍に配置された連結材４０１に設けられた長孔Ｈにはまりこむ形で取り付けされており、アダプターの上部の角型部Ｋは、長孔Ｈに沿って上下に動くことができる。またセットボルト４０９は、長孔Ｈの長手方向に対してアダプターの角型部Ｋの大略の位置決め用に使用されている。

連結材４０１の上部には、パイプカラー４０３が配置されていている。パイプカラーの高さは、アダプターの角型部Ｋよりも高い程度であればよい。そのパイプカラーの上にワッシャー４０４、コイルばね４０２、ワッシャー４０５を配置する。この状態でスタッドボルトの長さを、コイルばねが自然長に取付けされるように適宜選択し、アダプターの角型部のネジ孔にスタッドボルトをねじ込む。これによりコイルばねが自然長で取り付けされる。

＜７＞上チャンバの押し付け。
次に上記の構成によって上チャンバ１１３を下降して、下チャンバ１２１と閉合させた場合の動作を図５および図７(ａ)(ｂ)により説明する。
図５は、上チャンバが上昇した状態である。この時上チャンバは、図７（ａ）のように、その四隅近傍に配置された連結材が、昇降装置のピストンロッドの上昇端にてアダプターを介して支えられている。この状態から、ラミネート装置の四隅近傍に配置した昇降装置が４本同期して作動し上チャンバは下降し、上チャンバ１１３は下チャンバ１２１の上面に接する。
昇降装置の下降ストロークには、余裕を持たせてある。その理由は、昇降装置のストロークの余裕がないとこの状態で上チャンバと下チャンバが昇降装置の下降力（締付力）によりクランプされる。この締付力が大きすぎると装置部材の破損を招来する虞や、上チャンバの中央部に大きな変形が生じることによりチャンバの周縁の中央部に隙間が発生し真空度の悪化を招来する虞がある。
またこのような事情から、使用するコイルスプリングの加圧力は、昇降装置の下降力よりも小さく設定する必要がある。

昇降装置は、先ほど述べたように昇降装置の下降ストロークには、余裕を持たせてある。したがって上チャンバが下チャンバの上面に接すると、さらに昇降装置のピストンロッドは下降し、緩衝部４００は図７（ｂ）の状態となる。
ピストンロッドに接続されたアダプターも同時に下降しワッシャー４０５が下降することによりコイルばねは圧縮される。実施例の図６では、昇降装置のストローク余裕を５ｍｍとしているので、上チャンバが下チャンバの上面に接した後、コイルばねは５ｍｍ圧縮される。これによりコイルばねが５ｍｍ圧縮した分に相当する加圧力がチャンバの四隅近傍に加えられることになる。

＜８＞ラミネート加工の工程。
被加工物１０のラミネート加工は、次のようにして行う。
まず、搬送ベルト１３０を走行駆動させながら被加工物１０を搬送し、ラミネート位置に達すると停止する。
上記で説明した作動にしたがって、上ケース１１０を下ケース１２０上に重ねて気密性を維持した後、吸排気口１１４，１２３を真空ポンプにつなぎ、上チャンバ１１３と下チャンバ１２１内の空間を減圧する。
また、ヒータ１２２を加熱し、搬送ベルト１３０を通して被加工物１０に圧接させる。
所定の真空度に達し、ヒータが所定の温度に達したら、上チャンバ１１３内に大気を導入する。
すると、ダイアフラム１１２は下方に膨らみ、被加工物１０をヒータ１２２に強く押しつける。
被加工物１０はヒータ１２２により加熱され、被加工物１０内の充填材１３，１４が溶融する。
ラミネート加工が完了したら、下チャンバ１２１内に大気を導入し、大気圧にして上ケース１１０を開く。
搬送ベルト１３０が走行駆動し被加工物１０は図１の左方に進み、搬出位置に達して搬出コンベア３００に載って搬出される。
被加工物の搬出が完了したら搬送コンベア２００から次の被加工物１０を受け取り、上記の作動を繰り返す。

従来の構成の昇降装置を有したラミネート装置では、上チャンバが下チャンバの上面に接すると、昇降装置の下降ストロークの余裕分、ただ昇降装置のロッドは下降するだけであった。このため上チャンバが下チャンバを密着させ真空中にて被加工物を加熱した場合にチャンバの四隅にチャンバの反りによる隙間が四隅に発生し、上チャンバに大気を導入するプレス工程では、内部真空度が悪化するという問題があった。
本発明の緩衝部を設けた昇降装置を有したラミネート装置を用いることにより、ラミネート加工中の内部真空度の悪化は皆無となった。
さらに図３に示した通りダイアフラムは、上チャンバのケース１１０とチャンバレール１５０との間に挟みこみ、チャンバケースとチャンバレールの周囲側面に複数個設けられたクランプ金具１６０にて固定されている。従来の構成の昇降装置を有したラミネート装置では、ラミネート加工中にチャンバの反りにより四隅に隅間が発生する。このため、チャンバの四隅では、チャンバケースとチャンバレールとの間で隙間が発生しラミネート加工中にダイアフラムが過度に引き込まれ破損や損傷することが発生していた。
本発明の緩衝部を設けた昇降装置を有したラミネート装置を用いることにより、ラミネート加工中にダイアフラムが過度に引き込まれることによる破損や損傷は皆無となった。

次に本発明の緩衝部の別例１について図８（ａ）、図８（ｂ）により説明する。図８（ａ）は上チャンバが上昇した状態であり、図８（ｂ）は上チャンバが下チャンバと接した状態を示している。
図８（ａ）において４１は、昇降装置４０のピストンロッドである。４０１は、上チャンバに取り付けされている連結材である。図６の実施例では、緩衝部のコイルバネを連結材の上部に設置していたが、本実施例の場合は連結材の下にエアーシリンダー４２０を取り付けしてある。昇降装置のピストンロッド４１と緩衝部のエアーシリンダーの本体を接続しさらにエアーシリンダーのピストンロッド４２１を連結材の図６の孔Ｈ（この場合は通常の丸孔）を通し、さらにピストンロッドの先端に孔Ｈより大きな押さえプレート４２２が接続されている。

上チャンバが上昇している時は、図８（ａ）に示す通り昇降装置のピストンロッドは延びた状態になっており、緩衝部のエアーシリンダーのピストンロッドも延びた状態になっている。
昇降装置のピストンロッドが縮んで上チャンバが下降し、上チャンバが下チャンバの上面に接した後、昇降装置の下降ストロークの余裕分下降する。昇降装置が下降端までの動作を完了した時、エアーシリンダーのピストンロッドの先端の押さえプレートと連結材の上面と間には一定の距離の隙間がある。この後、エアー回路を作動させエアーシリンダーの上室に圧縮エアーを導入するとエアーシリンダーのピストンロッドは下降し押さえプレートが連結材の上面に接触し図８（ｂ）の状態となる。これによりエアーシリンダーのボア径に相当する下向きの加圧力が上チャンバに加えられることになる。

図９（ｂ）、図９（ｂ）は、緩衝部にエアーシリンダーを使用した別例２である。図９（ａ）はチャンバが上昇した状態であり、図９（ｂ）は上チャンバが下チャンバに接した状態を示している。
連結材の下面に緩衝部のエアーシリンダーを取付け昇降装置のピストンロッドとエアーシリンダーのピストンロッドを接続している。上チャンバが上昇している時は、図９（ａ）の通り、昇降装置のピストンロッドは延びた状態であり、エアーシリンダーのピストンロッドは縮んだ状態で取り付けされている。この場合は、エアーシリンダーの上室と下室はエアー回路により共に大気と通じた状態になっていてもよい。

昇降装置のピストンロッドが縮んで上チャンバが下降し、上チャンバが下チャンバに接した後、昇降装置の下降ストロークの余裕分下降する。昇降装置が下降端までの動作を完了した時、エアーシリンダーのピストンロッドは下方に延びた状態となりピストンロッドの動きは停止する。ここでエア−回路を切り替えてエアーシリンダーの下室に圧縮エアーを導入すると、昇降装置のピストンロッドは延びた状態なのでエアーシリンダーの本体が下方に引っ張られ連結材を介して、エアーシリンダーダーのボア径に相当する下向きの加圧力が上チャンバに加えられることになる。

また上チャンバに下向きの加圧力を加える別例３を図１０により説明する。図１０（ａ）と（ｂ）は、上チャンバが上昇した状態を示している。図１０（ｂ）はラミネート装置の被加工物１０の流れ方向から見た図であり、図１０（ａ）はそれと直角な方向から見た図である。この場合は、昇降装置と上チャンバの関係は従来通りである。ラミネート装置の四隅近傍に配置した昇降装置の傍において、上チャンバ側には、上チャンバの押さえブラケット４３０を設け、下チャンバ側に押さえ装置の退避用エアーシリンダー４３１と押さえ装置用エアーシリンダー４３２を設けている。エアーシリンダー４３１は、ラミネート装置の架台１７０内にブラケットを適宜配置して取り付けされている。エアーシリンダー４３２は、トラニオンタイプで下チャンバの側面にブラケットにより取り付けされている。またエアーシリンダー４３１と４３２は、シリンダー４３１のロッド先端とシリンダー４３２の後端部（ロッドの反対側）をクレビス金具等にて接続している。

次に上チャンバが下降する場合について図９（ｃ）により説明する。
上チャンバが上昇した状態から昇降装置のピストンロッドが下降すると上チャンバは下降し、下チャンバに接する。更に昇降装置の下降ストロークの余裕分下降する。昇降装置が下降端までの動作を完了した時、昇降装置により上チャンバに下向き加圧力は何ら加わらない。
上チャンバが下チャンバに接した後、押さえ装置の退避用エアーシリンダー４３１が作動し、押さえ装置用エアーシリンダー４３２が、ほぼ鉛直になるように旋回する。この時押さえ装置用エアーシリンダーのピストンロッドはのびた状態となっている。次に押さえ装置用エアーシリンダーのピストンロッドが下降しロッド先端に設けた押さえプレート４３３により上チャンバの押さえブラケットが下方に押し付けられる。これにより上チャンバに下向きの加圧力が加えられることになる。

本発明のラミネート装置の全体図 被加工物としての太陽電池モジュールの構造を示す断面図 ラミネート装置のラミネート部を示す断面図 図３の装置でラミネート加工をする状態を示す図 ラミネート装置の周囲に昇降装置を配置した本発明のラミネート装置の斜視図。 緩衝部の説明図。 緩衝部の説明図。 緩衝部の動作説明図。 緩衝部の別例１の説明図。 緩衝部の別例１の説明図。 緩衝部の別例２の説明図。 緩衝部の別例２の説明図。 上チャンバ加圧機構の別例３の説明図。 上チャンバ加圧機構の別例３の説明図。 上チャンバ加圧機構の別例３の説明図。 ラミネート加工中のチャンバ反り状態の説明図。 上チャンバを門型支柱により２本の昇降装置により昇降させるラミネート装置の説明図。 上チャンバを貝開きタイプの開閉機構により開閉するラミネート装置の説明図。

符号の説明

１０ 被加工物１０
１３，１４ 充填材
１００ ラミネート装置
１０１ ラミネート部１０１
１１２ ダイアフラム１１２
１２２ ヒータ
１３０ 搬送ベルト
１４０ 剥離シート
１５０ チャンバレール
１６０ クランプ金具
１７０ ラミネート装置架台
２００ 搬入コンベア２００
２１０ 搬送ベルト（コンベアベルト）
３００ 搬出コンベア
４０ 昇降装置
４１ ピストンロッド
４００ 緩衝部
４０１ 連結材
４０２ コイルばね
４０３ パイプカラー
４０４ ワッシャー
４０５ ワッシャー
４０６ スタッドボルト
４０７ アダプター
４０８ ロッド接続孔
４０９ セットボルトおよびナット
４２０ エアーシリンダー
４２１ ピストンロッド
４２２ 押さえプレート
４３０ 押さえブラケット
４３１ 押さえ装置退避用エアーシリンダー
４３２ 押さえ装置用エアーシリンダー
４３３ 押さえプレート
Ｈ 長孔
Ｋ 角型部
０ Ｏリング

Claims (3)

1. 内部充填材を加熱により溶融させる太陽電池のラミネートに使用する装置であって、
   前記装置は内部をダイアフラムにより仕切った上チャンバと、
   上チャンバに対向する位置に設置した下チャンバによってラミネート部を構成し、
   前記ラミネート部の上チャンバを、前記装置の四隅近傍の昇降装置によって昇降させて下チャンバの上から密着させる構造であり、
   昇降装置と上チャンバとは直結せずに、昇降装置の昇降力を緩衝して上チャンバに伝達する緩衝部を介在させたことを特徴とする、
   ラミネート装置。
   
2. 前記の緩衝部は、
   コイルばねと、
   このコイルばねを介して上チャンバへ加圧力を伝達する連結材とによって構成したことを特徴とする、
   請求項１に記載のラミネート装置。
   
3. 前記緩衝部は、
   ダンパーと、
   このダンパーを介して上チャンバへ加圧力を伝達する連結材とによって構成したことを特徴とする、
   請求項１に記載のラミネート装置。

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