JPH1095089A

JPH1095089A - ラミネート装置

Info

Publication number: JPH1095089A
Application number: JP8271750A
Authority: JP
Inventors: Yoshiro Tonari; 良郎隣
Original assignee: N P C KK
Current assignee: N P C KK
Priority date: 1996-09-20
Filing date: 1996-09-20
Publication date: 1998-04-14
Anticipated expiration: 2016-09-20
Also published as: JP3759257B2

Abstract

(57)【要約】【課題】太陽電池パネルなどの薄板形状の被ラミネー
ト体において反りをできるだけ発生させることなく、破
損のないラミネートを行うことができる手段を提供す
る。【解決手段】下方に向かって膨張自在なダイアフラ３
０ムを備える上チャンバ１１と、ヒータ盤３５を備える
下チャンバ１３とを開閉自在に構成したラミネート部２
を備えるラミネート装置１において、ラミネート部２に
搬入する前に、被ラミネート体Ｐを予熱する予熱ヒータ
５５を設けたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、特に太陽電池パネ
ルなどの薄板形状の被ラミネート体を製造するために適
したラミネート装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、ソーラーエネルギを活用すべく、
太陽電池について種々の開発がなされている。また、太
陽電池の形態も、単結晶シリコンや多結晶シリコンを用
いた結晶型の太陽電池の他、アモルファスシリコン（非
結晶シリコン）を用いたアモルファス型の太陽電池な
ど、様々なものが案出されている。しかしながら、これ
ら結晶型とアモルファス型の何れの場合もシリコン自体
は化学的変化を起こしやすく、また物理的な衝撃にも弱
いので、一般には、シリコンを透明のビニールフィルム
や強化ガラス、耐熱ガラスなどでラミネートした太陽電
池パネルが利用されている。また、最近では建材用など
に利用される、外壁材や屋根材と太陽電池パネルを一体
化させた、一体型モジュールなども製造されるようにな
ってきている。そのような一体型モジュールをラミネー
トする場合には、ビニールフィルムやガラスなどの他に
適当な保護材なども併用されている。

【０００３】従来、かような太陽電池パネルなどを製造
するためのラミネート装置として、ダイアフラムによっ
て仕切られた上チャンバと下チャンバからなるチャンバ
部を備えた、いわゆる二重真空方式のラミネート装置が
公知になっている。そして、かかる二重真空方式のラミ
ネート装置に関し、本願出願人は実用新案登録第３０１
７２３１号の「ラミネート装置」を開示している。この
ラミネート装置は、下方に向かって膨張自在なダイアフ
ラムを備えた上チャンバと、ヒータ盤を備えた上チャン
バによって構成されている。そして、下チャンバに設け
られたヒータ盤に被ラミネート体を載置した状態で上チ
ャンバと下チャンバを減圧し、被ラミネート体を加熱し
て、上チャンバに大気を導入することにより被ラミネー
ト体をヒータ盤の上面とダイアフラムとの間で挟圧して
ラミネートする構成になっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、以上のよう
なラミネート装置において太陽電池パネルを製造する場
合、ヒータ盤の上で太陽電池パネルを加熱する際にラミ
ネート材としてのガラス板が反ってしまうことがある。
これは、ヒータ盤の上で太陽電池パネルを加熱した際
に、ガラス板内部での温度伝導が速やかに行われずにガ
ラス板内部に大きな温度勾配が発生することに起因して
いる。特に大型の太陽電池パネルを製造するような場合
は、ガラス板の上面と下面での温度差が激しくなり、大
きく反ってしまう可能性が高い。

【０００５】そして、このようにガラス板が反った状態
でそのままダイアフラムで挟圧してラミネートしようと
すると、その圧力でセル材などを破損してしまう心配が
生じる。特に太陽電池パネルなどの薄板形状の被ラミネ
ート体は、端の部分において破損を生じやすい。また、
このように反りを生じた状態では、太陽電池パネル全体
が均一にヒータ盤の上面に接触できなくなるので、部分
的な加熱しかできず、加熱の均一性が損なわれ、ラミネ
ート不良といった問題を引き起こす。

【０００６】従って本発明は、太陽電池パネルなどの薄
板形状の被ラミネート体において反りをできるだけ発生
させることなく、破損のないラミネートを行うことがで
きる手段を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに、本発明にあっては、下方に向かって膨張自在なダ
イアフラムを備える上チャンバと、ヒータ盤を備える下
チャンバとを開閉自在に構成したラミネート部を備える
ラミネート装置において、前記ラミネート部に搬入する
前に、被ラミネート体を予熱する予熱ヒータを設けたこ
とを特徴とする。

【０００８】本発明のラミネート装置にあっては、ラミ
ネート部に搬入する前に予熱ヒータによって被ラミネー
ト体が予熱されているので、ヒータ盤上に載置した際に
発生する内部の温度勾配が、通常の常温の状態で被ラミ
ネート体をヒータ盤上に載置した場合に生ずる温度勾配
に比べて相当に小さくなる。従って本発明によれば、温
度差に起因する被ラミネート体の反りの発生を少なくで
き、ラミネートを行う際にダイアフラムの圧力で被ラミ
ネート体を破損してしまう心配がない。また、反りを小
さく押さえることによって、被ラミネート体全体が均一
にヒータ盤の上面に接触するので、均一な加熱ができる
ようになる。

【０００９】本発明のラミネート装置において、前記ラ
ミネート部の側方に、ラミネート部に搬入する前の被ラ
ミネート体が供給される供給部を配置し、該供給部に供
給された被ラミネート体を前記予熱ヒータで予熱する構
成としても良い。また、前記下チャンバに、前記搬入手
段によってラミネート部に搬入された被ラミネート体を
ヒータ盤の上面から離した状態で受け取り、該被ラミネ
ート体をヒータ盤上に載置させることが可能な支持手段
を設けても良い。このような支持手段を設けておけば、
支持手段によって被ラミネート体をヒータ盤の上面から
離した状態で真空雰囲気として被ラミネート体内部に残
留している空気を充分に除去してから、ラミネート処理
を行うことができる。これにより、内部に気泡のない、
性状の優れた被ラミネート体を得ることができるように
なる。

【００１０】また、前記予熱ヒータは赤外線ヒータやラ
ンプヒータとすることが好ましい。例えば、被ラミネー
ト体がシリコンを透明のビニールフィルムやガラスなど
でラミネートした太陽電池パネルなどである場合は、赤
外線ヒータやランプヒータを用いて予熱を行うことによ
り、ガラスなどを透過させて内部から暖めることができ
る。このように被ラミネート体を内部から暖めることに
よって、被ラミネート体全体を容易に均一に予熱できる
ようになる。

【００１１】そして本発明のラミネート装置は、例えば
太陽電池パネルなどの薄型の被ラミネート体の製造に特
に好適である。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態を、被ラミネート体の一例としての太陽電池パネルＰ
をラミネート処理するのに好適なラミネート装置１に基
づいて説明する。図１は本発明の実施の形態にかかるラ
ミネート装置１の正面図、図２はラミネート装置１の平
面図である。

【００１３】図１、２に示されるように、このラミネー
ト装置１は、ラミネート部２の両側方に、ラミネート処
理を行う前の太陽電池パネルＰが供給される供給部３
と、ラミネート部２において既にラミネート処理を行っ
た太陽電池パネルＰを搬出する搬出部４が対向して配置
されている。図示の例では、右側方に供給部３が配置さ
れ、左側方に搬出部４が配置されている。また供給部３
には、太陽電池パネルＰをラミネート部２に搬入する搬
入手段５が設けられており、搬出部４には、ラミネート
部２から被ラミネート体Ｐを搬出する搬出手段６が設け
られている。

【００１４】ラミネート部２は、上ケース１０の内部下
方に設けられた上チャンバ１１と、下ケース１２の内部
上方に設けられた下チャンバ１３によって構成されてい
る。下ケース１２は、床面上をキャスタ１５を介して走
行可能な基台１６の四隅に立設された支柱１７にブラケ
ット１８を介して取り付けられており、この下ケース１
２の高さは変わらないように支持されている。一方、上
ケース１０は、支柱１７に沿って移動自在なガイド部２
０と、このガイド部２０を支持するブラケット２１を介
して取り付けられており、上ケース１０は、下ケース１
２と平行な姿勢を保ちながら下ケース１２の上方におい
て昇降移動できる構成になっている。

【００１５】また、下ケース１２に固定されたブラケッ
ト１８の上面にはシリンダ２２が装着されており、この
シリンダ２２のピストンロッド２３の先端が上ケース１
０に固定されたブラケット２１下面に接続されている。
従って、シリンダ２２の稼働でピストンロッド２３が伸
張すると、下ケース１２の上面から離れるように上ケー
ス１０が上昇し、これにより、上ケース１０内部下方の
上チャンバ１１と下ケース１２内部上方の下チャンバ１
３で構成されるラミネート部２が開放状態となる。一
方、シリンダ２２の稼働でピストンロッド２３が短縮す
ると、下ケース１２の上面に密着するように上ケース１
０が下降し、これにより、上ケース１０内部下方の上チ
ャンバ１１と下ケース１２内部上方の下チャンバ１３で
構成されるラミネート部２が密閉状態となる。

【００１６】図３に示すように、上ケース１０の内部を
水平に仕切るようにしてダイアフラム３０が装着されて
おり、このダイアフラム３０と上ケース１０の内壁面で
囲まれた空間が上チャンバ１１を構成している。ダイア
フラム３０は、例えばバイトン（フッ素ゴム）などの耐
熱ゴムなどで構成されている。また、上ケース１０の側
面には上チャンバ１１に連通するようにして吸排気口３
１が設けられており、この吸排気口３１を介して上チャ
ンバ１１内を真空引きし、また、吸排気口３１を介して
上チャンバ１１内に大気圧を導入できるように構成され
ている。

【００１７】下ケース１２の内部上方に設けられた下チ
ャンバ１３にはヒータ盤３５が配置されている。このヒ
ータ盤３５は、例えばアルミ製のシーズヒータ盤で構成
される。また、ヒータ盤３５は温度制御を正確に行うた
めの水冷パイプなどを備えていても良い。このヒータ盤
３５を貫通するようにして多数のピン３６が設けられて
おり、図示しない昇降機構の稼働によってこのピン３６
は図３中実線３６で示されるようにピン３６の上端がヒ
ータ盤３５の上面とほぼ同じ高さとなる位置に下降した
状態と、図３中一点鎖線３６’で示されるようにピン３
６の上端がヒータ盤３５の上面から上方に突出した位置
に上昇した状態になるように構成されている。昇降機構
には、例えばエアーシリンダ、ボールナット、ラックア
ンドピニオン、エアーチューブなどの公知の昇降手段が
適宜用いられる。

【００１８】また、下ケース１２の側面には下チャンバ
１３に連通するようにして吸排気口３７が設けられてお
り、この吸排気口３７を介して下チャンバ１３内を真空
引きし、また、この吸排気口３７を介して下チャンバ１
３内に大気圧を導入できるように構成されている。

【００１９】次に、図示の例ではラミネート部２右側方
の供給部３に設けられている搬入手段５は、ラミネート
装置１の下部において基台１６もしくは支柱１７によっ
て水平に取り付けられたガイドレール４０上を走行する
走行部４１と、この走行部４１に立設された支柱４２に
支持されたテーブル４３を備えている。このテーブル４
３には、図示しないロボット等の手段により、被ラミネ
ート体としての太陽電池パネルＰが供給部３において所
定の位置に位置決めされて供給されるようになってい
る。そして、走行部４１の走行によって、上テーブル４
３上に供給された太陽電池パネルＰをラミネート部２に
搬入する。また図２に示されるように、テーブル４３に
は数条の切欠き部４５が形成されている。ここで、図２
において一点鎖線４３’は、走行部４１の走行によって
太陽電池パネルＰをラミネート部２に搬入した時のテー
ブル４３の位置を示しており、このように、搬入手段５
によって太陽電池パネルＰをラミネート部２に搬入した
際には、切欠き部４５が下チャンバ１３のピン３６の丁
度真上位置に来ることによって、テーブル４３が下チャ
ンバ１３のピン３６の昇降動作を妨げないように考慮さ
れている。

【００２０】また、ラミネート部２左側方の搬出部４に
設けられている搬出手段６も同様に、ガイドレール４０
上を走行する走行部５０と、この走行部５０に立設され
た支柱５１に支持されたテーブル５２を備えている。そ
して、走行部５０の走行によって、このテーブル５２が
ラミネート部２に進入して、後述するようにラミネート
部２において製造された太陽電池パネルＰを受け取り、
受け取り後、再び走行部５０の走行によってテーブル５
２上に受け取った太陽電池パネルＰをラミネート部２左
側方の搬出部４にそれぞれ搬出する。こうして搬出部４
に搬出された太陽電池パネルＰは、図示しないロボット
等の手段により、テーブル５２上から取り去られるよう
に構成されている。また、この搬出手段６のテーブル５
２にも同様に、数条の切欠き部５３が形成され、走行部
５０の走行によってテーブル５２がラミネート部２に進
入した際には、切欠き部５３が下チャンバ１３のピン３
６の丁度真上位置に来ることによって、ピン３６の昇降
動作を妨げないように考慮されている。

【００２１】次に、以上のように構成されたラミネート
装置１において、供給部３の上方には、図１に示すよう
に、太陽電池パネルＰを予熱するための予熱ヒータ５５
が設けられている。そして、供給部３において搬入手段
５のテーブル４３上に供給された太陽電池パネルＰを、
この予熱ヒータ５５によって暖めることにより、ラミネ
ート部２に搬入する前に太陽電池パネルＰを予熱できる
ように構成されている。図示の例では、予熱ヒータ５５
には赤外線ヒータが用いられている。なお、図１では予
熱ヒータ５５を一つのみ示したが、太陽電池パネルＰ全
体を短時間で均一に予熱できるように、供給部３の上方
に複数の予熱ヒータ５５を設置しても良い。

【００２２】次に、図４、５は、本発明のラミネート装
置１によって好適に製造される被ラミネート体の一例と
しての、太陽電池パネルＰを示す平面図と、側面図であ
る。太陽電池パネルＰは、図示の例では下側に配置され
た透明なカバーガラス６０と上側に配置された保護材６
１の間に、充填材６２、６３を介してストリング６４を
サンドイッチした構成を有する。保護材６１は例えばＰ
Ｅ樹脂などの透明な材料が使用される。充填材６２、６
３には例えばＥＶＡ（エチレンビニルアセテート）樹脂
などが使用される。ストリング６４は、電極６５、６６
の間に、太陽電池セル６７をリード線６８を介して接続
した構成を有する。

【００２３】以上のように構成された被ラミネート体と
しての太陽電池パネルＰは、本発明の実施の形態にかか
るラミネート装置１により、次に説明する工程に従って
製造される。

【００２４】先ず最初に、ラミネート装置１の供給部３
に位置している搬入手段５のテーブル４３に、図示しな
いロボット等の手段によって太陽電池パネルＰが位置決
めされて供給される。このラミネート装置１の供給部３
への供給に際しては、太陽電池パネルＰの上面側に、図
５で示した透明な保護材６１が来るような姿勢にされ
る。そして、こうしてラミネート装置１の供給部３にお
いて保護材６１を上側にして供給された太陽電池パネル
Ｐの上方から予熱ヒータ５５によって赤外線が照射され
る。これにより、供給部３において太陽電池パネルＰが
暖められ、適当な温度にまで予熱される。

【００２５】この場合、予熱ヒータ５５から照射された
赤外線が透明な保護材６１を透過し、太陽電池パネルＰ
内部の充填材６２、６３およびストリング６４から順次
昇温していく。このように太陽電池パネルＰの内部から
暖めていくことによって、太陽電池パネルＰ全体を容易
に短時間で均一に予熱できるようになる。

【００２６】なお、このように供給部３において太陽電
池パネルＰを予熱する場合は、真空引きする前の大気圧
下での予熱となるため、太陽電池パネルＰ内部の充填材
６２、６３が溶けない程度の温度までしか予熱してはな
らない。もし、このような大気圧下において太陽電池パ
ネルＰをあまり高温度まで加熱してしまうと、太陽電池
パネルＰの内部の空気が十分に除去される前に充填材６
２、６３としての樹脂が溶け始めることにより、太陽電
池パネルＰ内部に気泡が残ってしまう可能性が高い。そ
して、太陽電池パネルＰの内部に残った気泡は、太陽電
池の使用時において、起電力や外気温などの温度上昇の
影響によって膨張し、太陽電池パネルＰの劣化、寿命の
短命化といった問題を引き起こしてしまう。従って、供
給部３において予熱ヒータ５５で赤外線を照射して太陽
電池パネルＰを予熱する場合、例えば充填材６２、６３
にＥＶＡ（エチレンビニルアセテート）樹脂を使用して
いるのであれば、約５０℃程度まで予熱するのが良い。

【００２７】次に、以上のようにして供給部３において
予め適当な温度にまで予熱した太陽電池パネルＰを、搬
入手段５を用いてラミネート部２に搬入する。ラミネー
ト部２に太陽電池パネルＰを挿入するに際しては、図６
に示すように、上ケース５を持ち上げることによって、
ラミネート部２を開放状態にする。上ケース５を持ち上
げる動作は、図１、２で説明したシリンダ３０の伸張稼
働によって行われる。また、図示しない昇降機構の稼働
により、下ケース１２内部の下チャンバ１３に設けられ
たピン３６を下降させる。

【００２８】そして、搬入手段５の走行部４１の走行に
よって、テーブル４３が図中左向きに移動し、テーブル
４３上に載置している太陽電池パネルＰをラミネート部
２に搬入する（図６において、実線４３、Ｐで示す状態
にする）。搬入後、図示しない昇降機構の稼働によっ
て、下ケース１２内部上方の下チャンバ１３に設けられ
たピン３６が上昇し、ピン３６の上端がヒータ盤３５の
上面から上方に突出する。そして、このピン３６の上端
で、テーブル４３上に載置されていた太陽電池パネルＰ
の下面を突き上げることにより、太陽電池パネルＰを、
テーブル４３の上面から持ち上げてピン３６の上端で支
持した状態にする。なお、テーブル４３には数条の切欠
き部４５が設けられているので、ピン３６は、切欠き部
４５の中を通ることにより、テーブル４３にぶつかるこ
となく円滑に上昇することができる。こうしてテーブル
４３の上面から太陽電池パネルＰを持ち上げた後、搬入
手段５の走行部４１が先とは逆の方向に走行し、テーブ
ル４３が図中右向きに移動してラミネート部２から退出
することにより、図７に示す状態となる。

【００２９】次に、図８に示すように、上ケース１０を
下げることによって、ラミネート部２を密閉状態にす
る。上ケース５を下げる動作は、図１、２で説明したシ
リンダ２２の短縮稼働によって行われる。そして、吸排
気口３１、３７を介して上チャンバ１１内と下チャンバ
１３内を同時に真空引きする。

【００３０】こうして、各チャンバ１１、１３内を真空
引きする間に、下チャンバ１３内のヒータ盤３５を予め
加熱しておく。なお、このようにピン３６の上端で太陽
電池パネルＰをヒータ盤３５の上面から持ち上げると共
に下チャンバ１３内を減圧した状態でヒータ盤３５の加
熱を開始しているので、断熱効果が極めて高く、減圧中
に太陽電池パネルＰに熱が伝わる心配が少ない。そし
て、上チャンバ１１内と下チャンバ１３内を、それぞれ
例えば０.７〜１.０Torrにまで真空引きした後、下チャ
ンバ１３の内部において図示しない昇降機構の稼働によ
りピン３６を下降させる。これにより、ピン３６の上端
によって持ち上げて支持されていた太陽電池パネルＰ
が、下チャンバ１３の内部においてヒータ盤３５の上面
に直接接触した状態となり、太陽電池パネルＰが加熱さ
れる。この加熱によって、太陽電池パネルＰ内の充填材
６２、６３であるＥＶＡ樹脂の化学反応が促進され、架
橋が行われるようになる。そして、この状態で、図９に
示すように、吸排気口３１を介して上チャンバ１１内に
大気圧を導入することにより、ラミネート部２において
ダイアフラム３０を下方に膨張させることにより、太陽
電池パネルＰを、ヒータ盤３５の上面とダイアフラム３
０との間で挟圧する。

【００３１】こうして、加熱および挟圧することによっ
てラミネート処理を終了し、太陽電池パネルＰを製造し
た後、吸排気口３７を介して下チャンバ１３内に大気圧
を導入する。そして、図示しない昇降機構の稼働によっ
て、下チャンバ１３のピン３６を上昇させて太陽電池パ
ネルＰの下面を突き上げ、図１０に示すように、太陽電
池パネルＰをピン３６の上端でそれぞれ支持した状態に
する。また、上ケース１０を持ち上げることによって、
ラミネート部２を開放状態にする。上ケース１０を持ち
上げる動作は、図１、２で説明したシリンダ２２の伸張
稼働によって行われる。

【００３２】次に、搬出手段６の走行部５０の走行によ
って、テーブル５２が図中右向きに移動し、ラミネート
部２に進入する。なお、搬出手段６のテーブル５２には
数条の切欠き部５３が設けられているので、テーブル５
２は下チャンバ１３のピン３６にぶつかることなく円滑
にラミネート部２に進入することができる。

【００３３】こうして、搬出手段６のテーブル５２がラ
ミネート部２に進入した後、図示しない昇降機構の稼働
によって、下ケース１２内部上方の下チャンバ１３に設
けられたピン３６が下降し、ピン３６の上端がヒータ盤
３５の上面とほぼ同じ高さとなる。これにより、今まで
ピン３６の上端によって支持されていた太陽電池パネル
Ｐが、搬出手段６のテーブル５２の上に受け渡されるこ
ととなる。その後、搬出手段６の走行部５０の走行によ
って、テーブル５２が図中左向きに移動し、ラミネート
部２から退出して、図１１に示す状態となる。こうし
て、搬出手段６のテーブル５２上に載置された状態でラ
ミネート部２の外に搬出された太陽電池パネルＰは、図
示しないロボット等の手段により、テーブル５２上から
取り去られ、次の工程に搬送される。

【００３４】かくして、以上の工程を繰り返すことによ
り、性状の良い太陽電池パネル２０を、破損を生じさせ
ずに製造することが可能となる。なお、被ラミネート体
の一例として、太陽電池パネルの製造について説明した
が、本発明のラミネート装置はその他、種々のものにつ
いてラミネート処理を施すことができ、特に薄板形状の
被ラミネート体の製造に好適である。また本発明のラミ
ネート装置は、被ラミネート体の厚みの変化に対応で
き、最近、注目されるようになった建材用の外壁材や屋
根材と太陽電池パネルを一体化させた、一体型モジュー
ルなどの製造などにも供することが可能である。更に、
本発明のラミネート装置は、太陽電池パネルに限らず、
合わせガラスや装飾ガラスなどの製造にも供することが
できる。

【００３５】なお、被ラミネート体を予熱する手段とし
て赤外線ヒータを用いる例を説明したが、赤外線ヒータ
以外の適当なヒータを用いて被ラミネート体をラミネー
ト部に搬入する前に予熱しても良い。例えば、予熱手段
として遠赤外線ヒータ、ランプヒータ、ハロゲンラン
プ、赤外線ランプなどを用いても良い。

【００３６】

【発明の効果】本発明のラミネート装置によれば、温度
差に起因する被ラミネート体の反りの発生を少なくでき
るので、ラミネートを行う際にダイアフラムの圧力で被
ラミネート体を破損してしまう心配がない。また、反り
を小さく押さえることによって、被ラミネート体全体が
均一にヒータ盤の上面に接触するので、均一な加熱がで
き、性状の良い製品を提供できるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態にかかるラミネート装置の
正面図である。

【図２】同ラミネート装置の平面図である。

【図３】ラミネート部の縦断面図である。

【図４】太陽電池パネルの平面図である。

【図５】太陽電池パネルの側面図である。

【図６】予め予熱しておいた被ラミネート体をラミネー
ト部に搬入する状態の説明図である。

【図７】ラミネート部に被ラミネート体を搬入した状態
の説明図である。

【図８】ラミネート部の各チャンバ内を真空引きする状
態の説明図である。

【図９】被ラミネート体を加熱および挟圧する状態の説
明図である。

【図１０】製造後、各ラミネート部を開放させた状態の
説明図である。

【図１１】製造した被ラミネート体をラミネート部から
取り出す状態の説明図である。

【符号の説明】

Ｐ太陽電池パネル１ラミネート装置２ラミネート部３供給部４搬出部５搬入手段６搬出手段１１上チャンバ１３下チャンバ３０ダイアフラム３５ヒータ盤３６ピン

【手続補正書】

【提出日】平成９年４月１１日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】請求項４

【補正方法】変更

【補正内容】

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】請求項５

【補正方法】変更

【補正内容】

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】下方に向かって膨張自在なダイアフラム
を備える上チャンバと、ヒータ盤を備える下チャンバと
を開閉自在に構成したラミネート部を備えるラミネート
装置において、前記ラミネート部に搬入する前に、被ラミネート体を予
熱する予熱ヒータを設けたことを特徴とするラミネート
装置。
【請求項２】前記ラミネート部の側方に、前記ラミネ
ート部に搬入する前の被ラミネート体が供給される供給
部を配置し、該供給部に供給された被ラミネート体を前
記予熱ヒータで予熱する構成とした請求項１に記載のラ
ミネート装置。
【請求項３】前記下チャンバに、前記搬入手段によっ
てラミネート部に搬入された被ラミネート体をヒータ盤
の上面から離した状態で受け取り、該被ラミネート体を
ヒータ盤上に載置させることが可能な支持手段を設けた
請求項１または２に記載のラミネート装置。
【請求項４】前記予熱ヒータは赤外線ヒータである請
求項１、２または３の何れかに記載のラミネート装置。
【請求項５】前記被ラミネート体が、太陽電池パネル
および／またはランプヒータである請求項１、２、３ま
たは４の何れかに記載のラミネート装置。