CN107272227B - 脱泡用高压釜装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种脱泡用高压釜装置。本发明的脱泡用高压釜装置包括：第一装载部，具有第一收纳槽用以收纳附着有薄膜的第一基板；第二装载部，具有第二收纳槽用以收纳附着有薄膜的第二基板；中间本体，设置成位于所述第一装载部与所述第二装载部之间；以及支持部，结合于所述中间本体上用以支撑所述第一装载部。

Description

脱泡用高压釜装置

技术领域

本发明涉及一种用于去除基板以及薄膜之间的气泡的脱泡用高压釜装置(Autoclave)。

背景技术

通常，液晶显示装置(LCD：Liquid Crystal Display)、有机发光显示装置(OLED：Organic Light Emitting Diodes)、等离子体显示板(PDP：Plasma Display Panel)、电泳显示装置(EPD：Electrophoretic Display)等显示装置以及太阳电池等经过多个工序而制成。这种制造工艺包括在基板(Substrate)附着薄膜(Film)的薄膜附着工序。例如，液晶显示装置可以经过对基板附着偏光膜的薄膜附着工序而制成。

一旦完成这种薄膜附着工序，则实施去除存在于基板以及薄膜之间的气泡的脱泡工序。在实施这种脱泡工序的过程中，使用到脱泡用高压釜装置。脱泡用高压釜装置使通过薄膜附着工序附着有薄膜的基板以高温、高压维持规定时间，从而去除基板以及薄膜之间的气泡。

其中，显示装置以及太阳能电池等逐渐趋于大型化，并且经过对于大型基板以及大型薄膜的薄膜附着工序以及脱泡工序而制成。因此，对于小型基板以及小型薄膜来说，在实施薄膜附着工序以后，仅筛选产生气泡的小型基板以及小型薄膜后实施脱泡工序，但是对于大型基板以及大型薄膜来说，在实施薄膜附着工序以后，对几乎全部的大型基板以及大型薄膜实施脱泡工序。随着这种脱泡工序的增多，脱泡工序的延迟导致整体制造工艺的延迟，这会导致显示装置以及太阳电池等的生产率下降。因此，迫切需要能够提高脱泡工序的处理率的脱泡用高压釜装置。

发明内容

所要解决的技术问题

本发明是为了解决所述问题而被提出的，用于提供一种脱泡用高压釜装置，其能够提高用于去除基板以及薄膜之间的气泡的脱泡工序的处理率。

技术方案

为了解决上述的技术问题，本发明可以包括如下的结构。

本发明涉及的脱泡用高压釜装置可以包括：第一装载部，包括第一收纳槽用以收纳附着有薄膜的第一基板，对收纳于所述第一收纳槽内的第一基板进行支撑；第二装载部，包括第二收纳槽用以收纳附着有薄膜的第二基板，对收纳于所述第二收纳槽内的第二基板进行支撑；中间本体，位于所述第一装载部与所述第二装载部之间；支持部，结合于所述中间本体上用以支撑所述第一装载部；以及气体供给部，分别向所述第一收纳槽和所述第二收纳槽供给工艺气体，用以分别对所述第一基板和所述第二基板实施脱泡工序。所述中间本体可以利用第一内部压力以及第二内部压力来支撑所述支持部，以使所述支持部支撑所述第一装载部，其中，所述第一内部压力是因向所述第一收纳槽供给工艺气体而在所述第一收纳槽产生的压力，所述第二内部压力是因向所述第二收纳槽供给工艺气体而在所述第二收纳槽产生的压力。

本发明涉及的脱泡用高压釜装置可以包括：第一装载部，具有第一收纳槽用以收纳附着有薄膜的第一基板；第二装载部，位于所述第一装载部的下侧，具有第二收纳槽用以收纳附着有薄膜的第二基板；支持部，用以支撑所述第一装载部；中间本体，位于所述第一装载部与所述第二装载部之间，用于支撑所述支持部，以使所述支持部支撑所述第一装载部；以及气体供给部，分别向所述第一收纳槽和所述第二收纳槽供给工艺气体，用以分别对所述第一基板和所述第二基板实施脱泡工序。所述中间本体可以分别对所述第一收纳槽以及所述第二收纳槽供给工艺气体，以使第一内部压力以及第二内部压力相互抵消，其中，所述第一内部压力是因向所述第一收纳槽供给工艺气体而在所述第一收纳槽产生的压力，所述第二内部压力是因向所述第二收纳槽供给工艺气体而在所述第二收纳槽产生的压力。

本发明涉及的脱泡用高压釜装置可以包括：第一装载部，具有第一收纳槽用以收纳附着有薄膜的第一基板；上部本体，位于所述第一装载部的上侧；第二装载部，位于所述第一装载部的下侧，具有第二收纳槽用以收纳附着有薄膜的第二基板；下部本体，位于所述第二装载部的下侧；中间本体，位于所述第一装载部与所述第二装载部之间；以及支持部，结合于所述中间本体上用以支撑所述第一装载部。所述中间本体支撑所述支持部，以使所述支持部支撑所述第一装载部，并且厚度小于所述上部本体以及所述下部本体各自的厚度。

有益效果

本发明可以获得如下效果。

本发明可以一次性对多个基板实施脱泡工序，从而能够提高脱泡工序的处理率，因而能够有助于提高显示装置以及太阳电池等的生产率。

本发明可以减小中间本体的厚度，从而减小占据作业空间的高度，在有限的作业空间内能够层叠设置的台数更多，因而能够进一步提高脱泡工序的处理率。

本发明利用第一收纳槽的内部压力以及第二收纳槽的内部压力来使中间本体支撑支持部，从而可以在对多个基板实施脱泡工序的过程中，防止第一收纳槽以及第二收纳槽各自的体积变化，因而能够提高完成脱泡工序的多个基板的品质。

附图说明

图1是本发明涉及的脱泡用高压釜装置的立体示意图。

图2是沿图1的I-I线示出本发明涉及的脱泡用高压釜装置的剖视示意图。

图3是本发明涉及的脱泡用高压釜装置中的第一装载部的立体示意图。

图4是沿图1的I-I线放大示出本发明涉及的脱泡用高压釜装置的局部的剖视示意图。

图5是本发明涉及的脱泡用高压釜装置中的第二装载部的立体示意图。

图6是本发明涉及的脱泡用高压釜装置中的支持部以及中间本体的立体示意图。

图7是为了说明本发明涉及的脱泡用高压釜装置中的气体供给部而沿图1中的I-I线示出的局部剖视概念图。

附图标记

1：脱泡用高压釜装置 2：第一装载部

3：第二装载部 4：支持部

5：中间本体 6：气体供给部

21：第一收纳槽 22：第一结合部件

31：第二收纳槽 32：第二结合部件

51：第二连通孔 61：第一供给部件

62：第二供给部件 63：连接部件

20：上部本体 30：第一密封部件

40：第一升降部 50：下部本体

60：第二密封部件 70：第二升降部

80：支撑部 100：固定部

200：气体供给模块

具体实施方式

下面，参照附图，详细说明本发明涉及的脱泡用高压釜装置的实施例。

参照图1至图3，本发明涉及的脱泡用高压釜装置1使用在用于制造液晶显示装置(LCD)、有机发光显示装置(OLED)、等离子体显示面板(PDP)、电泳显示装置(EPD)等显示装置以及太阳电池等的制造工艺中。本发明涉及的脱泡用高压釜装置1在所述制造工艺中实施脱泡工序，用以去除在相互附着的基板以及薄膜之间的气泡。例如，在用于制造液晶显示装置的制造工艺中，本发明涉及的脱泡用高压釜装置1能够去除在相互附着的基板以及偏光膜之间的气泡。

为此，本发明涉及的脱泡用高压釜装置1可以包括第一装载部2、第二装载部3、支持部4以及中间本体5。

所述第一装载部2用于支撑附着有薄膜的第一基板。所述第一基板用于制造显示装置以及太阳电池等。例如，所述第一基板可以是玻璃基板。所述第一基板也可以由多个基板粘合而成。所述薄膜附着于所述第一基板上。例如，所述薄膜可以是偏光膜、光学膜等。所述第一基板以通过薄膜附着工序附着所述薄膜的状态装载于所述第一装载部2上，从而可以被所述第一装载部2所支撑。所述第一装载部2整体上可以呈长方体形状，但是并非限定于此，只要是能够支撑所述第一基板的形状，还可以形成为其它形状。

所述第一装载部2包括第一收纳槽21。所述第一收纳槽21用于收纳附着有所述薄膜的第一基板。所述第一装载部2可以支撑收纳于所述第一收纳槽21内的第一基板。此时，所述第一基板可以是附着有所述薄膜的状态。所述第一收纳槽21可以形成为从所述第一装载部2的上表面凹陷规定深度。所述第一收纳槽21整体上可以呈矩形板状，但是并非限定于此，只要是能够收纳所述第一基板的形状，还可以形成为其它形状。所述第一收纳槽21的面积可以大于附着有所述薄膜的第一基板。所述第一收纳槽21的厚度可以大于附着有所述薄膜的第一基板。

所述第一装载部2可以设置成位于上部本体20的下侧。所述上部本体20可以设置于所述第一装载部2的上侧，以遮盖所述第一收纳槽21。所述上部本体20整体上可以呈长方体形状，但是并非限定于此，只要是能够遮盖所述第一收纳槽21的形状，还可以形成为其它形状。

所述第一装载部2可以可移动地结合于所述上部本体20。所述第一装载部2可以移动，以使所述第一收纳槽21位于所述上部本体20的外侧。此时，所述第一收纳槽21没有被所述上部本体20所遮盖。在此状态下，可以实施卸载工序，以使完成所述脱泡工序的第一基板从所述第一收纳槽21以及所述第一装载部2隔开。另外，可以实施装载工序，以使待实施所述脱泡工序的第一基板收纳于所述第一收纳槽21内，从而装载于所述第一装载部2上。一旦待实施所述脱泡工序的第一基板装载于所述第一装载部2上，则所述第一装载部2可以移动，以使所述第一收纳槽21被所述上部本体20所遮盖。所述第一装载部2可以被第一驱动部(未图示)所移动。所述第一驱动部通过利用液压缸或气压缸的气缸方式、利用电动机和滚珠丝杠(Ball Screw)等的滚珠丝杠方式、利用电动机和齿条(Rack Gear)以及小齿轮(Pinion Gear)等的齿轮方式、利用电动机和滑轮以及带等的传送带方式、利用线圈和永久磁铁等的线性电动机(Linear Motor)方式、利用凸轮(Cam)等的凸轮方式等来移动所述第一装载部2。

参照图1至图4，所述第一装载部2可以结合有第一密封部件30。

所述第一密封部件30用于密封所述第一收纳槽21。所述第一密封部件30在结合于所述第一装载部2的状态下，与所述上部本体20接触，从而可以密封所述第一收纳槽21。在此状态下，可以对附着有所述薄膜的第一基板实施脱泡工序。所述第一密封部件30可以接触在所述上部本体20的下面。所述第一装载部2可以包括用于结合所述第一密封部件30的第一结合部件22。所述第一结合部件22配置成位于所述第一收纳槽21的外侧。即，所述第一收纳槽21位于所述第一结合部件22的内侧。所述第一密封部件30可以插入结合于所述第一结合部件22内，从而围绕所述第一收纳槽21。所述第一密封部件30可以呈中空的方环形状，但是并非限定于此，只要是能够使所述第一收纳槽21密封的形状，还可以形成为其它形状。

所述第一密封部件30可以可移动地结合于所述第一结合部件22上。此时，所述第一密封部件30可以随着气体供给至内部而朝向所述上部本体20侧移动。因此，所述第一密封部件30提高对于所述上部本体20的紧贴力，从而可以提高对于所述第一收纳槽21的密封力。所述第一密封部件30也可以随着气体供给至内部而发生膨胀，从而移动至紧贴于所述上部本体20。所述第一密封部件30可以由既具有密封力又可以伸缩的材料形成。例如，所述第一密封部件30可以由橡胶、氟橡胶(Viton)等形成。

参照图1至图4，所述第一装载部2可以通过第一升降部40升降。所述第一升降部40可以结合于所述中间本体5上。所述第一升降部40可以使所述第一装载部2上升，以使所述第一密封部件30接触所述上部本体20。此时，所述第一装载部2可以从所述支持部4隔开。所述第一密封部件30在与所述上部本体20接触的状态下，随着气体供给至内部，可以朝向所述上部本体20侧移动。因此，所述第一装载部2随着被所述第一密封部件30所推动下降，从而被所述支持部4所支撑。因此，所述第一密封部件30被所述第一装载部2以及所述上部本体20所支撑，从而可以密封所述第一收纳槽21。这样，在所述第一收纳槽21被所述第一密封部件30所密封的状态下，可以对收纳于所述第一收纳槽21内的第一基板实施脱泡工序。

所述第一升降部40可以通过利用液压缸或气压缸的气缸方式来使所述第一装载部2升降。所述第一升降部40也可以通过利用电动机和滚珠丝杠等的滚珠丝杠方式、利用电动机和齿条以及小齿轮等的齿轮方式、利用电动机和滑轮以及带等的传送带方式、利用线圈和永久磁铁等的线性电动机方式、利用凸轮等的凸轮方式等来使所述第一装载部2升降。

本发明涉及的脱泡用高压釜装置1可以包括多个所述第一升降部40。所述多个第一升降部40可以配置成位于相互隔开的位置上。因此，所述多个第一升降部40与所述第一装载部2的彼此不同部分接触，从而可以使所述第一装载部2升降。因此，本发明涉及的脱泡用高压釜装置1可以使所述第一装载部2无倾斜地进行升降。

虽然没有图示，但是在所述第一装载部2上可以设置第一加热装置。所述第一加热装置可以设置成位于所述第一装载部2的内侧。所述第一加热装置加热收纳于所述第一收纳槽21内的第一基板，从而可以提高对存在于所述第一基板以及薄膜之间的气泡的去除率。所述第一加热装置可以是杆式加热器、片式加热器等。

参照图1至图5，所述第二装载部3用于支撑附着有薄膜的第二基板。所述第二基板用于制造显示装置以及太阳电池等。例如，所述第二基板可以是玻璃基板。所述第二基板可以由多个基板粘合而成。所述第二基板以及所述第一基板可以是相同种类的基板。所述薄膜附着于所述第二基板上。例如，所述薄膜可以是偏光膜、光学膜等。附着于所述第二基板上的薄膜以及附着于所述第一基板上的薄膜可以是相同种类的薄膜。所述第二基板以通过薄膜附着工序附着所述薄膜的状态装载于所述第二装载部3上，从而可以被所述第二装载部3所支撑。在所述第二基板装载于所述第二装载部3上的状态下，可以实施脱泡工序，用以去除存在于所述第二基板以及所述薄膜之间的气泡。

因此，本发明涉及的脱泡用高压釜装置1可以一次性对多个基板实施脱泡工序。因此，本发明涉及的脱泡用高压釜装置1可以增加在单位时间内能够实施脱泡工序的基板的数量。即，本发明涉及的脱泡用高压釜装置1可以提高所述脱泡工序的处理率。因此，本发明涉及的脱泡用高压釜装置1可以防止所述脱泡工序被延迟，因而能够有助于提高显示装置以及太阳电池等的生产率。所述第二装载部3整体上可以呈长方体形状，但是并非限定于此，只要是能够支撑所述第二基板的形状，还可以形成为其它形状。

所述第二装载部3可以设置成位于所述第一装载部2的下侧。因此，本发明涉及的脱泡用高压釜装置1在多个基板沿着上下方向(Z轴方向)层叠配置的状态下，对多个基板实施脱泡工序，因而无需增加设置面积，就可以实施对于多个基板的脱泡工序。因此，本发明涉及的脱泡用高压釜装置1在有限的作业空间内提高了空间利用率，能够设置的台数更多，因而可以进一步提高所述脱泡工序的处理率，进而能够有助于进一步提高显示装置以及太阳电池等的生产率。

所述第二装载部3包括第二收纳槽31。所述第二收纳槽31用于收纳附着有所述薄膜的第二基板。所述第二装载部3可以支撑收纳于所述第二收纳槽31内的第二基板。此时，所述第二基板可以是附着有所述薄膜的状态。所述第二收纳槽31可以形成为从所述第二装载部3的上表面凹陷规定深度。所述第二收纳槽31整体上可以呈矩形板状，但是并非限定于此，只要是能够收纳所述第二基板的形状，还可以形成为其它形状。所述第二收纳槽31的面积可以大于附着有所述薄膜的第二基板。所述第二收纳槽31的厚度可以大于附着有所述薄膜的第二基板。

所述第二装载部3可以结合于所述中间本体5上。所述中间本体5可以设置成位于所述第二装载部3以及所述第一装载部2之间。所述第二装载部3可以设置成位于所述中间本体5的下侧。因此，所述第二收纳槽31可以被所述中间本体5所遮盖。

所述第二装载部3可以可移动地结合于所述中间本体5上。所述第二装载部3可以移动，以使所述第二收纳槽31位于所述中间本体5的外侧。此时，所述第二收纳槽31不会被所述中间本体5所遮盖。在此状态下，可以实施卸载工序，以使完成所述脱泡工序的第二基板从所述第二收纳槽31以及所述第二装载部3隔开。另外，可以实施装载工序，以使待实施所述脱泡工序的第二基板收纳于所述第二收纳槽31内，从而装载于所述第二装载部3上。一旦待实施所述脱泡工序的第二基板装载于所述第二装载部3上，则所述第二装载部3可以移动，以使所述第二收纳槽31被所述中间本体5所遮盖。所述第二装载部3可以通过第二驱动部(未图示)所移动。所述第二驱动部通过利用液压缸或气压缸的气缸方式、利用电动机和滚珠丝杠等的滚珠丝杠方式、利用电动机和齿条以及小齿轮等的齿轮方式、利用电动机和滑轮以及带等的传送带方式、利用线圈和永久磁铁等的线性电动机方式、利用凸轮等的凸轮方式等来使所述第二装载部3移动。

参照图1至图5，所述第二装载部3可以设置成位于下部本体50的上侧。所述下部本体50可以被实施所述脱泡工序的作业空间的地面所支撑。所述下部本体50被所述地面所支撑，从而可以具备用于支撑所述第一装载部2、所述第二装载部3、所述支持部4以及所述中间本体5的支撑力。所述下部本体50、所述第一装载部2、所述第二装载部3、所述支持部4以及所述中间本体5可以沿着所述上下方向(Z轴方向)层叠并且配置成相互隔开。

所述下部本体50、所述中间本体5以及所述上部本体20可以通过固定部100(示于图2中)所相互固定结合。所述固定部100分别结合于所述下部本体50、所述中间本体5、以及所述上部本体20，从而可以固定所述下部本体50、所述中间本体5、以及所述上部本体20。所述固定部100通过螺栓连接等，可以分别结合于所述下部本体50、所述中间本体5、以及所述上部本体20上。为了所述装载工序以及所述卸载工序，所述固定部100可以配置成位于与所述第二装载部3以及所述第一装载部2移动方向垂直的方向侧。本发明涉及的脱泡用高压釜装置1可以包括多个所述固定部100。此时，所述下部本体50、所述中间本体5、以及所述上部本体20可以配置成位于所述多个固定部100之间。

参照图1至图5，所述第二装载部3可以结合有第二密封部件60。

所述第二密封部件60用于密封所述第二收纳槽31。所述第二密封部件60在结合于所述第二装载部3的状态下，与所述中间本体5接触，从而能够密封所述第二收纳槽31。在此状态下，可以对附着有所述薄膜的第二基板实施脱泡工序。所述第二密封部件60可以与所述中间本体5的下面接触。所述第二装载部3可以包括用于结合所述第二密封部件60的第二结合部件32。所述第二结合部件32配置成位于所述第二收纳槽31的外侧。即，所述第二收纳槽31位于所述第二结合部件32的内侧。所述第二密封部件60可以插入结合于所述第二结合部件32内，从而围绕所述第二收纳槽31。所述第二密封部件60可以呈中空的方环形状，但是并非限定于此，只要是能够密封所述第二收纳槽31的形状，还可以形成为其它形状。

所述第二密封部件60可以可移动地结合于所述第二结合部件32上。此时，所述第二密封部件60可以随着气体供给至内部而朝向所述中间本体5侧移动。因此，所述第二密封部件60提高对于所述中间本体5的紧贴力，从而可以提高对于所述第二收纳槽31的密封力。所述第二密封部件60也可以随着气体供给至内部膨胀而移动，从而紧贴于所述中间本体5。所述第二密封部件60可以由既有密封力又可伸缩的材料形成。例如，所述第二密封部件60可以由橡胶、氟橡胶(Viton)等形成。

参照图1至图5，所述第二装载部3通过第二升降部70所升降。所述第二升降部70可以结合于所述下部本体50上。所述第二升降部70可以使所述第二装载部3上升，以使所述第二密封部件60接触所述中间本体5。所述第二密封部件60在与所述中间本体5接触的状态下，随着气体供给至内部，可以朝向所述中间本体5侧移动。因此，所述第二密封部件60能够密封所述第二收纳槽31。在这种所述第二收纳槽31被所述第二密封部件60所密封的状态下，可以对收纳于所述第二收纳槽31内的第二基板，实施脱泡工序。

所述第二升降部70可以通过利用液压缸或气压缸的气缸方式来使所述第二装载部3升降。所述第二升降部70通过利用电动机和滚珠丝杠等的滚珠丝杠方式、利用电动机和齿条以及小齿轮等的齿轮方式、利用电动机和滑轮以及带等的传送带方式、利用线圈和永久磁铁等的线性电动机方式、利用凸轮等的凸轮方式等来使所述第二装载部3升降。

本发明涉及的脱泡用高压釜装置1可以包括多个所述第二升降部70。所述多个第二升降部70可以配置成位于相互隔开的位置上。因此，所述多个第二升降部70与所述第二装载部3的不同部分接触，从而可以使所述第二装载部3升降。因此，本发明涉及的脱泡用高压釜装置1可以使所述第二装载部3无倾斜地进行升降。

虽然未图示，但是在所述第二装载部3上可以设置有第二加热装置。所述第二加热装置可以设置成位于所述第二装载部3的内侧。所述第二加热装置加热收纳于所述第二收纳槽31内的第二基板，从而可以提高对于存在于所述第二基板以及薄膜之间的气泡的去除率。所述第二加热装置可以是杆式加热器、片式加热器等。

参照图1至图5，所述第二装载部3可以被支撑部80(示于图4中)所支撑。所述支撑部80可以结合于所述下部本体50上。所述第二密封部件60在与所述中间本体5接触的状态下，随着气体供给至内部而朝向所述中间本体5侧移动时，所述第二装载部3被所述第二密封部件60所推动下降，从而可以被所述支撑部80所支撑。因此，所述第二密封部件60被所述第二装载部3以及所述中间本体5所支撑，从而可以密封所述第二收纳槽31。在这种所述第二收纳槽31被所述第二密封部件60所密封的状态下，可以对收纳于所述第二收纳槽31内的第二基板实施脱泡工序。

所述支撑部80可以包括凸轮部件81(示于图4中)以及移动部件82(示于图4中)。

所述凸轮部件81用于支撑所述第二装载部3。所述凸轮部件81可以随着所述移动部件82的移动而旋转。因此，形成于所述凸轮部件81上的凸轮面811的朝向会改变。所述凸轮面811可以呈平面状。所述凸轮部件81中，除所述凸轮面811以外的其余部分可以呈曲面状。

所述移动部件82用于旋转所述凸轮部件81。所述移动部件82可以可移动地结合于所述下部本体50上。所述移动部件82可以通过操作部(未图示)所移动。一旦所述操作部使所述移动部件82移动，则结合于所述移动部件82上的凸轮部件81旋转并且所述凸轮面811的朝向会改变。所述操作部可以结合于所述下部本体50上。所述操作部通过利用液压缸或气压缸的气缸方式、利用电动机和滚珠丝杠等的滚珠丝杠方式、利用电动机和齿条以及小齿轮等的齿轮方式、利用电动机和滑轮以及带等的传送带方式、利用线圈和永久磁铁等的线性电动机方式等来使所述移动部件82移动。

本发明涉及的脱泡用高压釜装置1可以包括多个所述凸轮部件81。此时，所述多个凸轮部件81结合于所述移动部件82上并且位于相互隔开的位置上。随着所述移动部件82的移动，形成于所述各个凸轮部件81上的多个凸轮面811的朝向会改变。所述多个凸轮部件81与所述第二装载部3的彼此不同部分接触，从而可以支撑所述第二装载部3。因此，本发明涉及的脱泡用高压釜装置1在实施所述脱泡工序的过程中，防止所述第二装载部3发生局部下垂，从而能够提高完成所述脱泡工序的第二基板的品质。

参照图1至图6，所述支持部4用于支撑所述第一装载部2。所述支持部4可以结合于所述中间本体5上。所述支持部4被所述中间本体5所支撑，从而可以具备用于支撑所述第一装载部2的支撑力。所述支持部4可以结合于所述中间本体5上，并且位于所述第一装载部2以及所述中间本体5之间。此时，所述支持部4可以位于所述第一装载部2的下侧。

所述支持部4固定结合于所述中间本体5上，从而可以支撑所述第一装载部2。因此，与利用通过所述凸轮部件81、所述移动部件82以及所述操作部运行的支撑部80来支撑所述第一装载部2的结构相比，由于本发明涉及的脱泡用高压釜装置1利用固定结合于所述中间本体5上的支持部4来支撑所述第一装载部2，因此可以具有如下优点。

第一，与利用所述支撑部80来支撑所述第一装载部2的结构相比，本发明涉及的脱泡用高压釜装置1具有可以凭借更为简化的结构来实现对于所述第一装载部2的支撑力的优点。

第二，与利用所述支撑部80来支撑所述第一装载部2的结构相比，本发明涉及的脱泡用高压釜装置1可以减小以所述上下方向(Z轴方向)为准的高度。因此，本发明涉及的脱泡用高压釜装置1能够减小以所述上下方向(Z轴方向)为准占据所述作业空间的高度，因此，在有限的作业空间内，可以层叠设置的台数更多。因此，本发明涉及的脱泡用高压釜装置1可以进一步提高所述作业空间的空间利用率，从而能够进一步提高所述脱泡工序的处理率，进而具有能够进一步提高显示装置以及太阳电池等的生产率的优点。

第三，与利用所述支撑部80来支撑所述第一装载部2的结构相比，本发明涉及的脱泡用高压釜装置1具有可以节省用于实现对于所述第一装载部2的支撑力的制造成本的优点。另外，与利用所述支撑部80来支撑所述第一装载部2的结构相比，本发明涉及的脱泡用高压釜装置1由于没有所述操作部，因此不发生用于运行所述操作部的耗电。因此，与利用所述支撑部80来支撑所述第一装载部2的结构相比，本发明涉及的脱泡用高压釜装置1具有可以节省用于实施所述脱泡工序的工序成本的优点。

当所述第一密封部件30与所述上部本体20接触的状态下，所述支持部4随着气体供给至内部而朝向所述上部本体20侧移动时，则与被所述第一密封部件30所推动下降的第一装载部2接触，从而可以支撑所述第一装载部2。此时，所述支持部4可以支撑所述第一装载部2，以使所述第一密封部件30牢固地密封所述第一收纳槽21。所述支持部4可以结合于所述中间本体5上，并从所述中间本体5的上面朝着上侧方向突出。所述支持部4整体上呈矩形板状，但是并非限定于此，只要是能够支撑所述第一装载部2的形状，还可以形成为其它形状。所述支持部4以及所述中间本体5也可以形成为一体。

本发明涉及的脱泡用高压釜装置1可以包括多个所述支持部4。所述多个支持部4可以结合于所述中间本体5，并且配置在相互隔开的位置上。因此，所述多个支持部4与所述第一装载部2的彼此不同部分接触，从而能够支撑所述第一装载部2。因此，本发明涉及的脱泡用高压釜装置1在实施所述脱泡工序的过程中，防止所述第一装载部2发生局部下垂，因此能够提高完成所述脱泡工序的第一基板的品质。所述第一升降部40可以结合于所述中间本体5，并且位于所述多个支持部4之间。

参照图1至图6，所述中间本体5用于支撑所述支持部4。所述中间本体5可以支撑所述支持部4，以使所述支持部4支撑所述第一装载部2。所述中间本体5设置成位于所述第一装载部2以及所述第二装载部3之间。所述中间本体5结合于所述固定部100上，从而可以设置成位于所述第一装载部2以及所述第二装载部3之间。此时，所述中间本体5可以设置成位于所述第二装载部3的上侧，从而可以遮盖所述第二收纳槽31。所述中间本体5整体上呈长方体形状，但是并非限定于此，只要是可以遮盖所述第二收纳槽31的形状，还可以形成为其它形状。

所述中间本体5的厚度T1(示于图4中)可以形成为分别小于所述上部本体20以及所述下部本体50。此时，厚度以所述上下方向(Z轴方向)为准。即，以所述上下方向(Z轴方向)为准，所述中间本体5的厚度T1小于所述上部本体20的厚度T2(示于图4中)。以所述上下方向(Z轴方向)为准，所述中间本体5的厚度T1小于所述下部本体50的厚度T3(示于图4中)。因此，本发明涉及的脱泡用高压釜装置1可以获得如下作用效果。

第一，本发明涉及的脱泡用高压釜装置1中，以分别小于所述上部本体20以及所述下部本体50的厚度T1形成所述中间本体5，因此能够减小以所述上下方向(Z轴方向)为准的高度。因此，本发明涉及的脱泡用高压釜装置1可以减小以所述上下方向(Z轴方向)为准占据所述作业空间的高度，因而在有限的作业空间内层叠设置的台数更多。因此，本发明涉及的脱泡用高压釜装置1进一步提高了所述作业空间的空间利用率，因而能够进一步提高所述脱泡工序的处理率，进而能够有助于进一步提高显示装置以及太阳电池等的生产率。

第二，本发明涉及的脱泡用高压釜装置1中，以分别小于所述上部本体20以及所述下部本体50的厚度T1形成所述中间本体5，从而可以减轻所述中间本体5的自重。由于能够减轻总重量，因此，本发明涉及的脱泡用高压釜装置1能够提高搬运作业以及组装作业的容易性。另外，本发明涉及的脱泡用高压釜装置1可以防止所述中间本体5由于发生基于自重的局部下垂导致所述第二收纳槽31的体积变动，因而能够提高完成所述脱泡工序的第二基板的品质。

当定义所述上部本体20以及所述下部本体50各自的厚度T2、T3为N时，可以以1/6N以上、1/2N以下的厚度T1形成所述中间本体5。当所述中间本体5的厚度T1大于1/2N时，不仅通过减小以所述上下方向(Z轴方向)为准的高度以及减轻所述中间本体5自重引起的作用效果下降，而且在所述中间本体5上会发生更多的局部下垂。当所述中间本体5的厚度T1小于1/6N时，所述中间本体5难以用使所述支撑部4支撑所述第一装载部2的足够的支撑力来支撑所述支持部4。本发明涉及的脱泡用高压釜装置1中，以大于等于1/6N、小于等于1/2N的厚度T1形成所述中间本体5，从而能够提高通过减小以所述上下方向(Z轴方向)为准的高度以及减轻所述中间本体5自重引起的作用效果，并且能够以充分的支撑力来支撑所述支持部4。

参照图1至图7，本发明涉及的脱泡用高压釜装置1可以包括气体供给部6(示于图7中)。

所述气体供给部6可以分别对所述第一收纳槽21以及所述第二收纳槽31供给工艺气体，从而分别对所述第一基板以及所述第二基板实施脱泡工序。所述第一基板以及所述第二基板分别附着有薄膜。工艺气体可以是空气。所述气体供给部6可以对所述第一收纳槽21供给工艺气体，以使所述第一收纳槽21达到第一内部压力。此时，在所述第一收纳槽21中可以实施利用所述第一内部压力以及由所述第一加热装置提供的热量来去除存在于所述第一基板以及薄膜之间的气泡的脱泡工序。所述气体供给部6可以对所述第二收纳槽31供给工艺气体，以使所述第二收纳槽31达到第二内部压力。此时，在所述第二收纳槽31中可以实施利用所述第二内部压力以及由所述第二加热装置提供的热量来去除存在于所述第二基板以及薄膜之间的气泡的脱泡工序。

其中，所述中间本体5可以利用所述第一内部压力以及所述第二内部压力来支撑所述支持部4，以使所述支持部4支撑所述第一装载部2。因此，本发明涉及的脱泡用高压釜装置1即使以分别小于所述上部本体20以及所述下部本体50的厚度T1形成所述中间本体5，也不会使所述中间本体5局部弯曲，并且能够以足够的支撑力来支撑所述支持部4。因此，在分别对所述第一基板以及所述第二基板实施脱泡工序的过程中，本发明涉及的脱泡用高压釜装置1防止所述第一收纳槽21以及所述第二收纳槽31各自的体积变更，从而能够提高完成所述脱泡工序的第一基板以及第二基板的品质。当所述第一装载部2位于所述中间本体5的上侧并且所述第二装载部4位于所述中间本体5的下侧时，所述中间本体5被所述第二内部压力所支撑，从而能够支撑被所述第一内部压力所加压的支持部4。

所述气体供给部6可以分别对所述第一收纳槽21以及所述第二收纳槽31供给工艺气体，以使所述第一内部压力以及所述第二内部压力相互抵消。因此，在分别对所述第一基板以及所述第二基板实施脱泡工序的过程中，即使所述第一收纳槽21以及所述第二收纳槽31分别变更为高压，本发明涉及的脱泡用高压釜装置1也可以防止在所述中间本体5上发生弯曲、下垂等。此时，所述气体供给部6可以分别对所述第一收纳槽21以及所述第二收纳槽31供给工艺气体，以使所述第一内部压力以及所述第二内部压力相同。

所述气体供给部6可以与气体供给模块200(示于图7中)相连接。所述气体供给部6可以从所述气体供给模块200接收工艺气体后，分别对所述第一收纳槽21以及所述第二收纳槽31供给工艺气体。所述气体供给部6可以设置成分别与所述第一收纳槽21以及所述第二收纳槽31相连接。

所述气体供给部6可以包括第一供给部件61(示于图7中)以及第二供给部件62(示于图7中)。

所述第一供给部件61与所述第一收纳槽21相连接。所述第一供给部件61结合于所述上部本体20上，并与所述第一收纳槽21连通，从而可以与所述第一收纳槽21相连接。此时，在所述上部本体20上可以形成用于使所述第一供给部件61以及所述第一收纳槽21相互连通的第一连通孔。所述第一供给部件61经所述第一连通孔对所述第一收纳槽21喷射由所述气体供给模块200供给的工艺气体，从而能够对所述第一收纳槽21供给工艺气体。所述第一供给部件61可以设置成位于所述第一装载部2的上侧。

所述第二供给部件62与所述第二收纳槽31相连接。所述第二供给部件62结合于所述中间本体5上并与所述第二收纳槽31连通，从而可以与所述第二收纳槽31相连接。此时，在所述中间本体5上可以形成用于使所述第二供给部件62以及所述第二收纳槽31相互连通的第二连通孔51(示于图7中)。所述第二供给部件62经所述第二连通孔51对所述第二收纳槽31喷射由所述气体供给模块200供给的工艺气体，从而能够对所述第二收纳槽31供给工艺气体。所述第二供给部件62可以设置成位于所述第一装载部2以及所述第二装载部3之间。此时，所述第二供给部件62可以设置成位于所述第二装载部3的上侧。

所述气体供给部6可以包括连接部件63(示于图7中)。

在所述连接部件63上可以结合有所述第一供给部件61以及所述第二供给部件62并且分别与其连通。所述连接部件63的一侧分别与所述第一供给部件61以及所述第二供给部件62结合并且与其连通，从而能够分别与所述第一供给部件61以及所述第二供给部件62相连接。所述连接部件63的另一侧结合于所述气体供给模块200上，从而能够与所述气体供给模块200相连接。因此，所述连接部件63可以分别对所述第一供给部件61以及所述第二供给部件62传输由所述气体供给模块200供给的工艺气体。因此，由所述气体供给模块200供给的工艺气体经所述连接部件63以相同流量分别分配给所述第一供给部件61以及所述第二供给部件62，因而可以以相同流量分别供给至所述第一收纳槽21以及所述第二收纳槽31。因此，本发明涉及的脱泡用高压釜装置1可以获得如下作用效果。

第一，本发明涉及的脱泡用高压釜装置1利用所述连接部件63，可以使所述第一收纳槽21的第一内部压力以及所述第二收纳槽31的第二内部压力维持相同压力。因此，本发明涉及的脱泡用高压釜装置1能够提高完成所述脱泡工序的第一基板以及完成所述脱泡工序的第二基板的品质均匀性。因此，本发明涉及的脱泡用高压釜装置1降低完成所述脱泡工序的多个基板之间的品质偏差，从而能够提高所述脱泡工序的可靠性。

第二，与所述第一供给部件61以及所述第二供给部件62个别地与所述气体供给模块200相连接的情形相比，本发明涉及的脱泡用高压釜装置1能够提升用于将所述第一内部压力以及所述第二内部压力调节成相同的易控性。这是因为，所述第一供给部件61以及所述第二供给部件62分别通过所述连接部件63接收工艺气体，因而所述第一供给部件61以及所述第二供给部件62接收相同流量的工艺气体。

当所述连接部件63分别与所述第一供给部件61以及所述第二供给部件62相连接时，所述第一收纳槽21以及所述第二收纳槽31可以形成为具有相同的体积。此时，所述第一收纳槽21以及所述第二收纳槽31的厚度可以形成为以所述上下方向(Z轴方向)为准相同。

本发明所属领域的技术人员应该明白，以上说明的本发明并非限定于前述的实施例以及附图，在不脱离本发明的技术思想的范围内可以进行各种替换、变形以及变更。

Claims (8)

1.一种脱泡用高压釜装置，其特征在于，包括：

第一装载部，包括第一收纳槽用以收纳附着有薄膜的第一基板，对收纳于所述第一收纳槽内的第一基板进行支撑；

第二装载部，包括第二收纳槽用以收纳附着有薄膜的第二基板，对收纳于所述第二收纳槽内的第二基板进行支撑；

中间本体，位于所述第一装载部与所述第二装载部之间；

多个支持部，结合于所述中间本体上用以支撑所述第一装载部；以及

气体供给部，用于分别向所述第一收纳槽和所述第二收纳槽供给工艺气体，以分别对所述第一基板和所述第二基板实施脱泡工序，

所述脱泡用高压釜装置还包括：固定部，所述固定部固定所述中间本体，使得所述中间本体在所述第一装载部和所述第二装载部之间位于所述第二装载部的上侧，

所述中间本体利用第一内部压力以及第二内部压力来支撑多个所述支持部，以使多个所述支持部支撑所述第一装载部，其中，所述第一内部压力是因向所述第一收纳槽供给工艺气体而在所述第一收纳槽产生的压力，所述第二内部压力是因向所述第二收纳槽供给工艺气体而在所述第二收纳槽产生的压力，

多个所述支持部在相互隔开的位置上固定结合于所述中间本体上，以在所述第一装载部的下侧分别支撑所述第一装载部的不同部分。

2.根据权利要求1所述的脱泡用高压釜装置，其特征在于，

包括上部本体，所述上部本体位于所述第一装载部的上侧，

所述气体供给部包括结合于所述上部本体上并与所述第一收纳槽连通的第一供给部件、结合于所述中间本体上并与所述第二收纳槽连通的第二供给部件以及与用于供给工艺气体的气体供给模块相连接的连接部件，

所述第一供给部件以及所述第二供给部件分别结合于所述连接部件并与所述连接部件连通，

所述连接部件分别向所述第一供给部件以及所述第二供给部件传输由所述气体供给模块供给的工艺气体。

3.根据权利要求2所述的脱泡用高压釜装置，其特征在于，

所述第一收纳槽以及所述第二收纳槽形成为具有相同的体积。

4.根据权利要求1所述的脱泡用高压釜装置，其特征在于，

所述第一装载部位于所述中间本体的上侧，

所述第二装载部位于所述中间本体的下侧，

所述中间本体被所述第二内部压力所支撑，从而对被所述第一内部压力所加压的支持部进行支撑。

5.一种脱泡用高压釜装置，其特征在于，包括：

第一装载部，具有第一收纳槽用以收纳附着有薄膜的第一基板；

第二装载部，位于所述第一装载部的下侧，具有第二收纳槽用以收纳附着有薄膜的第二基板；

多个支持部，用于支撑所述第一装载部；

中间本体，位于所述第一装载部与所述第二装载部之间，用于支撑多个所述支持部，以使多个所述支持部支撑所述第一装载部；以及

气体供给部，用于分别向所述第一收纳槽和所述第二收纳槽供给工艺气体，以分别对所述第一基板和所述第二基板实施脱泡工序，

所述脱泡用高压釜装置还包括：固定部，所述固定部固定所述中间本体，使得所述中间本体在所述第一装载部和所述第二装载部之间位于所述第二装载部的上侧，

所述气体供给部分别对所述第一收纳槽以及所述第二收纳槽供给工艺气体，以使第一内部压力以及第二内部压力相互抵消，其中，所述第一内部压力是因向所述第一收纳槽供给工艺气体而在所述第一收纳槽产生的压力，所述第二内部压力是因向所述第二收纳槽供给工艺气体而在所述第二收纳槽产生的压力，

多个所述支持部在相互隔开的位置上固定结合于所述中间本体上，以在所述第一装载部的下侧分别支撑所述第一装载部的不同部分。

6.根据权利要求1或5所述的脱泡用高压釜装置，其特征在于，

包括位于所述第一装载部的上侧的上部本体以及位于所述第二装载部的下侧的下部本体，

所述中间本体的厚度小于所述上部本体以及所述下部本体各自的厚度。

7.根据权利要求1或5所述的脱泡用高压釜装置，其特征在于，

包括位于所述第一装载部的上侧的上部本体以及位于所述第二装载部的下侧的下部本体，

在所述第一装载部上结合有第一密封部件，所述第一密封部件与所述中间本体接触以密封所述第一收纳槽，

在所述第二装载部上结合有第二密封部件，所述第二密封部件与所述中间本体接触以密封所述第二收纳槽。

8.根据权利要求1或5所述的脱泡用高压釜装置，其特征在于，

包括位于所述第一装载部的上侧的上部本体、位于所述第二装载部的下侧的下部本体、用于使所述第一装载部升降的第一升降部、用于使所述第二装载部升降的第二升降部以及用于支撑所述第二装载部的支撑部，

所述第一升降部结合于所述中间本体上，用于使所述第一装载部升降，

所述第二升降部结合于所述下部本体上，用于使所述第二装载部升降，

所述支撑部结合于所述下部本体上，用于支撑所述第二装载部。

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