KR102011878B1 - 디스플레이장치용 합착장치 및 합착기판 제조방법 - Google Patents

디스플레이장치용 합착장치 및 합착기판 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 디스플레이장치를 제조하기 위한 기판에 캐리어기판을 합착시키는 공정이 이루어지는 챔버유닛, 기판을 지지하기 위한 제1정반, 상기 제1정반으로부터 이격되게 상기 챔버유닛 내부에 위치되게 설치되는 제2정반, 캐리어기판이 부착되는 부착기구, 및 캐리어기판을 상기 부착기구로부터 이격시켜 상기 제1정반에 지지된 기판 쪽으로 낙하시키기 위해 상기 부착기구가 상기 제2정반 내부로 후퇴하도록 상기 부착기구를 상승시키는 제1승강기구를 포함하는 디스플레이장치용 합착장치 및 합착기판 제조방법에 관한 것으로,
본 발명에 따르면, 기판에 캐리어기판을 합착시킴으로써 디스플레이장치를 제조하는 공정이 이루어지는 과정에서 기판이 손상되는 것을 방지할 수 있고, 기판에 캐리어기판을 합착시키는 과정에서 기판이 손상되는 것을 방지함으로써 슬림화된 디스플레이장치에 대한 품질을 향상시킬 수 있다.

Description

디스플레이장치용 합착장치 및 합착기판 제조방법{Apparatus for Attaching Substrate and Method for Manufacturing Attached Substrate using the same}
본 발명은 디스플레이장치를 제조하기 위한 기판에 캐리어기판을 합착시키기 위한 디스플레이장치용 합착장치 및 합착기판 제조방법에 관한 것이다.
LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Diodes), PDP(Plasma Display Panel), EPD(Electrophoretic Display) 등의 디스플레이장치는 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조공정에는 기판을 절단(Scribing)하는 절단공정, 및 탭(TAB, Taped Automated Bonding) 공정 등이 포함된다.
최근 업계에서는 디스플레이장치에 대한 디자인적인 측면 강조 등을 위해 슬림(Slim)화된 디스플레이장치에 대한 수요가 증가하고 있다. 이에 따라, 최근 업계에서는 슬림화된 디스플레이장치에 대한 개발이 활발하게 이루어지고 있다. 슬림화된 디스플레이장치를 제조하기 위한 방안으로 얇은 두께로 형성된 기판을 이용하는 방법이 제안되었다. 그러나, 이와 같은 방안은 다음과 같은 문제가 있다.
첫째, 상기와 같은 방안은 기판이 얇은 두께로 형성됨에 따라 기판이 갖는 내구성이 저하된다. 이에 따라, 얇은 두께로 형성된 기판에 대해 절단공정, 탭 공정 등이 이루어지는 과정에서, 기판이 쉽게 손상되는 문제가 있다. 따라서, 상기와 같은 방안은 디스플레이장치에 대한 제조 수율을 저하시키고, 나아가 디스플레이장치에 대한 제조 단가를 상승시키는 문제가 있다.
둘째, 상술한 바와 같은 문제를 해결하기 위한 방안으로 강화 글래스 등과 같이 얇은 두께라도 강한 내구성을 갖는 기판을 이용하여 디스플레이장치를 제조하는 방법이 제안되었다. 그러나, 이와 같은 방안은 강화 글래스 등이 상당한 고가이어서 재료비를 상승시키고, 이에 따라 디스플레이장치에 대한 제조 단가를 상승시키는 문제가 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고 안출된 것으로, 슬림화된 디스플레이장치를 제조하는 공정이 이루어지는 과정에서 기판이 손상되는 것을 방지할 수 있는 디스플레이장치용 합착장치 및 합착기판 제조방법을 제공하기 위한 것이다.
상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치는 디스플레이장치를 제조하기 위한 기판에 캐리어기판을 합착시키는 공정이 이루어지는 챔버유닛; 상기 챔버유닛 내부에 위치되게 설치되고, 기판을 지지하기 위한 제1정반; 상기 제1정반으로부터 이격되게 상기 챔버유닛 내부에 위치되게 설치되는 제2정반; 상기 제2정반에 승강(昇降) 가능하게 설치되고, 캐리어기판이 부착되는 부착기구; 및 상기 부착기구를 승강시키기 위해 상기 부착기구와 결합되고, 캐리어기판을 상기 부착기구로부터 이격시켜 상기 제1정반에 지지된 기판 쪽으로 낙하시키기 위해 상기 부착기구가 상기 제2정반 내부로 후퇴하도록 상기 부착기구를 상승시키는 제1승강기구를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 합착기판 제조방법은 디스플레이장치를 제조하기 위한 기판을 제1정반에 위치시키는 단계; 상기 제1정반에 지지된 기판에 합착시키기 위한 캐리어기판을 부착기구에 부착시키는 단계; 캐리어기판이 상기 제1정반에 지지된 기판에 접촉되도록 상기 부착기구로부터 상기 캐리어기판을 이격시키는 단계; 및 상기 제1정반에 지지된 기판에 캐리어기판이 접촉되면, 기판과 캐리어기판을 합착시키는 단계를 포함할 수 있다. 상기 부착기구로부터 캐리어기판을 이격시키는 단계는, 상기 부착기구가 제2정반 내부로 후퇴하도록 상기 부착기구를 상승시키는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면 다음과 같은 효과를 이룰 수 있다.
본 발명은 기판에 캐리어기판을 합착시킴으로써 디스플레이장치를 제조하는 공정이 이루어지는 과정에서 기판이 손상되는 것을 방지할 수 있고, 기판에 캐리어기판을 합착시키는 과정에서 기판이 손상되는 것을 방지함으로써 슬림화된 디스플레이장치에 대한 품질을 향상시킬 수 있다.
도 1a 내지 도 1d는 캐리어기판을 눌러서 기판에 접촉시키는 경우에 발생하는 문제를 설명하기 위한 개념도
도 2는 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치의 개략적인 단면도
도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치가 기판에 캐리어기판을 합착시키는 작동상태를 나타낸 개략적인 단면도
도 5 및 도 6은 본 발명에 따른 부착기구를 설명하기 위한 도 3의 A 부분에 대한 개략적인 확대도
도 7은 본 발명에 따른 부착기구의 개략적인 저면도
도 8은 본 발명의 변형된 실시예에 따른 제1승강기구를 설명하기 위한 개략적인 단면도
도 9는 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치가 이격기구를 포함하는 실시예에 관한 개략적인 단면도
도 10 및 조 11은 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치가 이격기구와 부착기구를 이용하여 기판에 캐리어기판을 합착시키는 작동상태를 나타낸 개략적인 단면도
이하에서는 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 디스플레이장치를 제조하기 위한 기판(100)에 캐리어기판(Carrier Substrate)(200)을 합착시키기 위한 것이다. 상기 기판(100)은 LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Diodes), PDP(Plasma Display Panel), EPD(Electrophoretic Display) 등의 디스플레이장치에 사용되는 것이다. 상기 기판(100)은 3D 영상을 표시하는 디스플레이장치에 사용되는 것일 수 있다. 상기 기판(100)은 글래스(Glass)로 제조될 수 있다. 상기 캐리어기판(200)은 상기 기판(100)에 합착됨으로써, 상기 기판(100)의 내구성을 보강한다.
이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 기판(100)이 상기 캐리어기판(200)과 합착된 상태로 디스플레이장치를 제조하기 위한 공정이 이루어지도록 함으로써, 상기 기판(100)이 얇은 두께로 형성된 것이더라도 디스플레이장치를 제조하기 위한 공정이 이루어지는 과정에서 상기 기판(100)이 쉽게 손상되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 슬림화된 디스플레이장치에 대한 품질을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 강한 내구성을 갖는 강화 글래스 등을 이용하지 않고도 상기 기판(100)이 손상되는 것을 방지할 수 있으므로, 강화 글래스를 이용하는 것과 비교할 때 슬림화된 디스플레이장치에 대한 제조 단가를 낮출 수 있다.
상기 캐리어기판(200)은 상기 기판(100)의 내구성을 보강할 수 있는 재료로 제조될 수 있다. 예컨대, 상기 캐리어기판(200)은 글래스로 제조될 수 있다. 상기 캐리어기판(200)은 상기 기판(100)과 대략 일치하는 형태로 형성된다. 예컨대, 상기 캐리어기판(200)는 사각판형으로 형성될 수 있다. 상기 캐리어기판(200)은 디스플레이장치를 제조하는 공정이 이루어지는 과정에서 상기 기판(100)이 손상되는 것을 방지할 수 있는 두께로 제조될 수 있다. 예컨대, 상기 캐리어기판(200)은 상기 기판(100)에 비해 두꺼운 두께로 제조될 수 있다. 상기 캐리어기판(200)은 상기 기판(100)이 손상되는 것을 방지할 수 있는 두께이면, 상기 기판(100)에 비해 얇은 두께로 제조될 수도 있고, 상기 기판(100)과 대략 일치하는 두께로 제조될 수도 있다. 상기 캐리어기판(200)은 디스플레이장치를 제조하기 위한 공정이 완료되기 전에 상기 기판(100)으로부터 제거됨으로써, 슬림화된 디스플레이장치가 구현될 수 있도록 한다.
도 1a 내지 도 1d를 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 기판(100)에 상기 캐리어기판(200)을 합착시키는 공정이 이루어지는 챔버유닛(2), 상기 기판(100)을 지지하기 위한 제1정반(3), 및 상기 제1정반(3)으로부터 이격되게 설치되는 제2정반(4)을 포함한다. 상기 캐리어기판(200)은 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 접촉됨으로써, 상기 기판(100)에 합착된다.
여기서, 상기 캐리어기판(200)을 상기 기판(100)에 접촉시키는 방안으로, 도 1b와 도 1d에 도시된 바와 같은 방안이 있다. 이를 구체적으로 살펴보면, 다음과 같다.
우선, 도 1b를 참고하면, 상기 제2정반(4, 도 1a에 도시됨)에 설치된 가압핀(Pin)(300)을 이용하는 방안이 있다. 상기 가압핀(300)은 상기 캐리어기판(200) 쪽으로 하강하여 상기 캐리어기판(200)을 누름으로써, 상기 캐리어기판(200)을 상기 기판(100)에 접촉시킨다. 그러나, 이와 같이 가압핀(300)을 이용하는 방안은, 상기 가압핀(300)이 상기 캐리어기판(200)과 상기 캐리어기판(200)에 접촉된 기판(100)도 함께 누르게 됨으로써, 상기 기판(100)에 부분적으로 얼룩을 발생시키거나 변형을 발생시키는 문제가 있다.
다음, 도 1c를 참고하면, 상기 제2정반(4, 도 1a에 도시됨)에 설치된 다이어프램(Diaphragm)(400)을 이용하는 방안이 있다. 상기 다이어프램(400)은 내부에 기체 등이 공급됨에 따라 팽창되어 상기 캐리어기판(200)을 누름으로써, 상기 캐리어기판(200)을 상기 기판(100)에 접촉시킨다. 그러나, 이와 같이 다이어프램(400)을 이용하는 방안은, 상기 다이어프램(400)이 상기 캐리어기판(200)과 상기 캐리어기판(200)에 접촉된 기판(100)도 함께 누르게 됨으로써, 상기 기판(100)에 부분적으로 얼룩을 발생시키거나 변형을 발생시키는 문제가 있다.
다음, 도 1d를 참고하면, 상기 제2정반(4, 도 1a에 도시됨)에 설치된 분사장치(500)를 이용하는 방안이 있다. 상기 분사장치(500)는 상기 캐리어기판(200) 쪽으로 기체 등을 분사하여 상기 캐리어기판(200)을 누르는 분사력을 발생시킴으로써, 상기 캐리어기판(200)을 상기 기판(100)에 접촉시킨다. 그러나, 이와 같이 분사장치(500)를 이용하는 방안은, 분사력이 상기 캐리어기판(200)과 상기 캐리어기판(200)에 접촉된 기판(100)에도 영향을 미치게 됨으로써, 상기 기판(100)에 부분적으로 얼룩을 발생시키거나 변형을 발생시키는 문제가 있다.
상술한 바와 같이, 상기 가압핀(300, 도 1b에 도시됨), 상기 다이어프램(400, 도 1c에 도시됨), 및 상기 분사장치(500, 도 1c에 도시됨)를 이용하는 방안은, 상기 기판(100)에 부분적으로 얼룩을 발생시키거나 변형을 발생시킴으로써, 슬림화된 디스플레이장치에 대한 품질을 저하시키는 문제가 있다. 이를 해결하기 위해, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 다음과 같은 구성을 더 포함한다.
도 2 내지 도 4를 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 캐리어기판(200)이 부착되는 부착기구(5), 및 상기 부착기구(5)를 승강(昇降)시키기 위한 제1승강기구(6)를 더 포함한다. 상기 부착기구(5)는 상기 제2정반(4)에 승강 가능하게 설치된다. 상기 제1승강기구(6)는 상기 부착기구(5)가 상기 제2정반(4) 내부로 후퇴하도록 상기 부착기구(5)를 상승시킬 수 있다. 상기 부착기구(5)가 상기 제2정반(4) 내부로 후퇴하도록 상승됨에 따라, 상기 부착기구(5)에 부착된 캐리어기판(200)은 상기 제2정반(4)에 지지됨으로써 상기 부착기구(5)로부터 이격된다. 상기 부착기구(4)로부터 이격된 캐리어기판(200)은 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100) 쪽으로 낙하함으로써, 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 접촉되게 된다.
즉, 상기 부착기구(5)는 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)을 향하는 방향에 대해 반대되는 방향으로 후퇴 이동됨으로써, 상기 캐리어기판(200)을 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 접촉시킬 수 있다. 따라서, 상기 가압핀(300, 도 1b에 도시됨), 상기 다이어프램(400, 도 1c에 도시됨), 및 상기 분사장치(500, 도 1c에 도시됨)가 상기 기판(100) 쪽으로 힘을 가함에 따라 상기 기판(100)을 손상시키는 것과 비교할 때, 상기 부착기구(5)는 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100) 쪽으로 힘을 가하지 않고도 상기 캐리어기판(200)을 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 접촉시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 캐리어기판(200)을 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 접촉시키는 과정에서 상기 기판(100)에 얼룩이 발생하거나 변형이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 슬림화된 디스플레이장치에 대한 품질을 향상시킬 수 있다.
이하에서는 상기 챔버유닛(2), 상기 제1정반(3), 상기 제2정반(4), 상기 부착기구(5), 및 상기 제1승강기구(6)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.
도 2를 참고하면, 상기 챔버유닛(2)은 상기 제1정반(3)을 지지한다. 상기 챔버유닛(2) 내부에서는 상기 기판(100)에 상기 캐리어기판(200)을 합착시키는 공정이 이루어진다. 상기 챔버유닛(2)은 전체적으로 내부가 비어 있는 직방체 형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 기판(100)에 상기 캐리어기판(200)을 합착시키는 공정이 이루어질 수 있는 작업공간을 제공할 수 있는 형태이면 다른 형태로 형성될 수도 있다.
상기 챔버유닛(2)은 제1챔버(21) 및 제2챔버(22)를 포함할 수 있다. 상기 제1챔버(21)와 상기 제2챔버(22)는 서로 접하거나 이격되게 이동될 수 있다. 상기 제1챔버(21)와 상기 제2챔버(22)가 이격되면, 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)은 상기 챔버유닛(2) 내부로 반입되거나 상기 챔버유닛(2)으로부터 외부로 반출될 수 있다. 상기 제1챔버(21)와 상기 제2챔버(22)가 접하면, 상기 챔버유닛(2)에서는 상기 기판(100)에 상기 캐리어기판(200)을 합착시키는 공정이 이루어질 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 챔버유닛(2)은 개폐기구를 포함할 수도 있다. 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)은 상기 개폐기구를 통해 상기 챔버유닛(2) 내부로 반입되거나 상기 챔버유닛(2)으로부터 외부로 반출될 수 있다. 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)은 별도의 이송장치(미도시)에 의해 상기 챔버유닛(2) 내부로 반입되거나 상기 챔버유닛(2) 외부로 반출될 수 있다.
도 2를 참고하면, 상기 제1정반(3)은 상기 기판(100)을 지지한다. 상기 제1정반(3)은 상기 챔버유닛(2) 내부에 위치되게 설치된다. 상기 제1정반(3)은 상기 제2정반(4)의 아래에 위치되게 상기 챔버유닛(2)에 설치될 수 있다. 이에 따라, 상기 기판(100)은 상기 캐리어기판(200)의 아래에 위치되게 상기 제1정반(3)에 지지될 수 있다.
상기 기판(100)은 흡입력에 의해 상기 제1정반(3)에 부착될 수 있다. 이를 위해, 상기 제1정반(3)은 흡입장치(미도시)로부터 제공된 흡입력을 상기 기판(100)에 전달하기 위한 진공홀(31, 도 2에 도시됨)을 포함할 수 있다. 상기 흡입장치는 상기 진공홀(31)을 통해 유체를 흡입함으로써, 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)을 상기 제1정반(3)에 부착시킬 수 있다. 상기 진공홀(31)은 흡입력이 상기 기판(100) 중에서 더미영역(Dummy Area)(110, 도 2에 도시됨)에 전달되도록 형성될 수 있다. 상기 더미영역(110)은 상기 기판(100)이 디스플레이장치로 제조되었을 때 영상이 표시되지 않는 영역에 해당한다. 상기 더미영역(110)은 상기 기판(100)이 디스플레이장치로 제조되는 과정에서 절단공정에 의해 제거되는 영역에 해당할 수도 있다. 상기 더미영역(110)은 상기 기판(100)의 가장자리 부분일 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)이 상기 흡입장치로부터 제공된 흡입력에 의해 손상이 발생하더라도, 손상된 부분을 상기 더미영역(110) 내로 제한시킴으로써 디스플레이장치에 대한 품질이 저하되는 것을 방지할 수 있다.
상기 기판(100)이 상기 제1정반(3)에 부착되고 상기 캐리어기판(200)이 상기 부착기구(5)에 부착된 상태에서, 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)의 위치를 정렬하는 공정이 이루어질 수 있다. 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)의 위치를 정렬하는 공정은, 상기 제1정반(3), 상기 제2정반(4) 및 상기 부착기구(5) 중에서 적어도 하나가 이동됨으로써 이루어질 수 있다. 도시되지 않았지만, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)의 위치를 정렬하기 위해 상기 제1정반(3), 상기 제2정반(4) 및 상기 부착기구(5) 중에서 적어도 하나를 이동시키는 이동수단을 포함할 수 있다. 상기 이동수단은 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류(Ball Screw) 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어(Rack Gear)와 피니언기어(Pinion Gear) 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 리니어모터(Linear Motor) 등을 이용하여 상기 제1정반(3), 상기 제2정반(4) 및 상기 부착기구(5) 중에서 적어도 하나를 이동시킬 수 있다.
도시되지 않았지만, 상기 제1정반(3)은 정전척(ESC, Electrostatic Chuck)일 수도 있다. 이 경우, 상기 기판(100)은 정전력에 의해 상기 제1정반(3)에 부착될 수 있다. 상기 제1정반(3)은 상기 기판(100)을 상기 제1정반(3)에 부착시키기 위한 적어도 하나의 전극(미도시)을 포함할 수 있다. 상기 전극은 상기 기판(100)의 더미영역(110)에 위치되게 상기 제1정반(3)에 설치될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)이 전극에 의해 손상이 발생하더라도, 손상된 부분을 상기 더미영역(110) 내로 제한시킴으로써 디스플레이장치에 대한 품질이 저하되는 것을 방지할 수 있다.
도시되지 않았지만, 상기 제1정반(3)은 적어도 하나의 점착고무(미도시)를 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 기판(100)은 점착고무가 갖는 점착성에 의해 상기 제1정반(3)에 부착될 수 있다. 상기 점착고무는 상기 기판(100)의 더미영역(110)에 위치되게 상기 제1정반(3)에 설치될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)이 점착고무에 의해 손상이 발생하더라도, 손상된 부분을 상기 더미영역(110) 내로 제한시킴으로써 디스플레이장치에 대한 품질이 저하되는 것을 방지할 수 있다.
도 2를 참고하면, 상기 제2정반(4)은 상기 챔버유닛(2) 내부에 위치되게 설치된다. 상기 제2정반(4)은 상기 제1정반(3)으로부터 소정 거리 이격되게 상기 챔버유닛(2)에 설치된다. 상기 제2정반(4)은 상기 제1정반(3)의 위에 위치되게 상기 챔버유닛(2)에 설치된다.
도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 부착기구(5)는 상기 제2정반(4)에 승강 가능하게 설치된다. 상기 캐리어기판(200)은 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)의 위에 위치되게 상기 부착기구(5)에 부착된다.
상기 부착기구(5)는 상기 제1승강기구(6)에 의해 승강된다. 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 부착기구(5)는 상기 캐리어기판(200)이 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)으로부터 소정 거리 이격되도록 상기 제1승강기구(6)에 의해 승강된 상태이다. 이 경우, 상기 캐리어기판(200)은 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100) 및 상기 제2정반(4) 각각으로부터 이격된 위치에 위치된다. 이 상태에서, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 부착기구(5)는 상기 제1승강기구(6)에 의해 접촉위치로 상승된다. 상기 접촉위치는 상기 부착기구(5)에 부착된 캐리어기판(200)이 상기 제2정반(4)에 접촉되는 위치이다. 그 후, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 부착기구(5)는 상기 제1승강기구(6)에 의해 상기 접촉위치에서 후퇴위치로 상승된다. 상기 후퇴위치는 상기 부착기구(5)가 상기 제2정반(4)에 접촉된 캐리어기판(200)으로부터 이격되는 위치이다. 이 경우, 상기 부착기구(5)는 상기 제1승강기구(6)에 의해 상기 제2정반(4) 내부에 삽입되도록 상승됨으로써, 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)으로부터 멀어지도록 후퇴한다. 이 과정에서, 상기 부착기구(5)에 부착되어 있던 캐리어기판(200)은, 상기 부착기구(5)가 상기 접촉위치에서 상기 후퇴위치로 상승하더라도, 상기 제2정반(4)에 지지된 상태이기 때문에 상기 부착기구(5)로부터 이격되게 된다. 이에 따라, 상기 캐리어기판(200)은 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100) 쪽으로 낙하함으로써, 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 접촉되게 된다.
따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 가압핀(300, 도 1b에 도시됨), 상기 다이어프램(400, 도 1c에 도시됨), 및 상기 분사장치(500, 도 1c에 도시됨)가 상기 기판(100) 쪽으로 힘을 가함에 따라 상기 기판(100)을 손상시키는 것과 비교할 때, 상기 부착기구(5)가 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100) 쪽으로 힘을 가하지 않고도 상기 캐리어기판(200)을 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 접촉시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 캐리어기판(200)을 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 접촉시키는 과정에서 상기 기판(100)에 얼룩이 발생하거나 변형이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 슬림화된 디스플레이장치에 대한 품질을 향상시킬 수 있다.
상기 부착기구(5)는 상기 접촉위치와 상기 후퇴위치에 위치될 때, 상기 제2정반(4) 내부에 위치된다. 이를 위해, 상기 제2정반(4)은 상기 부착기구(5)가 삽입되기 위한 후퇴홈(41)을 포함한다. 상기 후퇴홈(41)은 상기 부착기구(5)에서 상기 캐리어기판(200)이 부착되는 부분의 크기와 대략 일치하는 크기로 형성된다. 상기 후퇴홈(51)은 상기 부착기구(5)에서 상기 캐리어기판(200)이 부착되는 부분과 대략 일치하는 형태로 형성된다. 예컨대, 상기 후퇴홈(51)은 상기 후퇴위치로 상승된 부착기구(5)가 삽입될 수 있는 형태이면, 원통 형태, 직방체 형태 등으로 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 부착기구(5)를 복수개 포함할 수도 있다. 상기 부착기구(5)들은 각각 상기 제2정반(4)에 승강 가능하게 결합된다. 상기 부착기구(5)들은 서로 소정 거리 이격되게 상기 제2정반(4)에 결합될 수 있다. 도 2에는 상기 제2정반(4)에 2개의 부착기구(5)가 결합되는 것으로 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않으며 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 3개 이상의 부착기구(5)를 포함할 수도 있다. 상기 제2정반(4)은 상기 부착기구(5)들의 개수와 대략 일치하는 개수의 후퇴홈(51)을 포함할 수 있다.
도 5 내지 도 7을 참고하면, 상기 부착기구(5)는 상기 제1승강기구(6)에 결합되는 부착핀(51), 및 상기 부착핀(51)에 결합되는 부착부재(52)를 포함한다.
상기 부착핀(51)은 상기 제1승강기구(6)에 의해 승강된다. 상기 부착핀(51)은 상기 제2정반(4)에 승강 가능하게 설치된다. 상기 부착핀(51)은 상기 제1승강기구(6)에 의해 상기 제2정반(4)으로부터 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100) 쪽으로 돌출되도록 하강될 수 있다. 상기 부착핀(51)은 상기 제1승강기구(6)에 의해 상기 접촉위치와 상기 후퇴위치에 위치되도록 상승될 수 있다.
상기 부착부재(52)는 상기 부착핀(51)에 결합된다. 상기 부착부재(52)는 상기 캐리어기판(200)을 상기 부착핀(51)에 부착시킨다. 상기 캐리어기판(200)은 상기 부착부재(52)에 부착됨으로써, 상기 부착핀(51)에 부착될 수 있다.
상기 부착부재(52)는 점착고무(521, 도 5에 도시됨)를 포함할 수 있다. 상기 캐리어기판(200)은 상기 점착고무(521)가 갖는 점착성에 의해 상기 부착부재(52)에 부착될 수 있다. 상기 점착고무(521)는 상기 부착핀(51)이 상기 접촉위치에서 상기 후퇴위치로 상승되면, 상기 캐리어기판(200)으로부터 이격된다. 이에 따라, 상기 캐리어기판(200)은 상기 점착고무(521)로부터 이격됨으로써, 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 접촉될 수 있다. 상기 점착고무(521)는 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 부착핀(51)에서 상기 캐리어기판(200) 쪽을 향하는 면의 전면(全面)을 덮도록 상기 부착핀(51)에 결합될 수 있다. 상기 점착고무(521)는 상기 캐리어기판(200)이 부착될 수 있는 형태이면, 사각판형, 원반형태 등으로 형성될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 부착부재(52)는 복수개의 점착고무(521)를 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 점착고무(521)들은 서로 소정 거리 이격되게 상기 부착핀(51)에 결합될 수 있다. 상기 점착고무(521)들은 상기 부착핀(51)에 삽입되도록 상기 부착핀(51)에 결합될 수도 있다.
상기 부착부재(52)는 전극(522, 도 6에 도시됨)을 포함할 수도 있다. 상기 캐리어기판(200)은 상기 전극(522)에 의해 발생된 정전력에 의해 상기 부착핀(51)에 부착될 수 있다. 즉 상기 부착기구(5)는 상기 전극(522)을 이용하여 정전척(ESC)으로 기능할 수 있다. 상기 전극(522)은 상기 부착핀(51)이 상기 접촉위치에서 상기 후퇴위치로 상승되면, 상기 캐리어기판(200)으로부터 이격된다. 이에 따라, 상기 캐리어기판(200)은 상기 전극(522)으로부터 이격됨으로써, 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 접촉될 수 있다. 상기 부착핀(51)이 상기 접촉위치에서 상기 후퇴위치로 상승되는 시점에, 상기 전극(522)은 정전력이 소멸되도록 동작할 수도 있다. 이러한 동작은, 상기 전극(522)에 대한 전원 공급을 중지함으로써 이루어질 수 있다. 이에 따라, 상기 전극(522)은 상기 부착핀(51)이 상기 접촉위치에서 상기 후퇴위치로 상승될 때, 상기 캐리어기판(200)이 상기 부착핀(51)으로부터 더 용이하게 이격되도록 할 수 있다.
상기 부착부재(52)는 상기 전극(522)을 복수개 포함할 수 있다. 상기 전극(522)들은 서로 소정 거리 이격되게 상기 부착핀(51)에 결합된다. 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 전극(522)들은 행렬(Matrix)을 이루며 상기 부착핀(51)에 결합될 수 있다. 도 7에는 상기 전극(522)들이 (3 X 3) 행렬을 이루며 9개가 상기 부착핀(51)에 결합되는 것으로 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 부착핀(51)에는 9개 미만의 전극(522)들이 결합될 수도 있고, 10개 이상의 전극(522)들이 결합될 수도 있다. 상기 전극(522)들은 도 6에 도시된 바와 같이 상기 부착핀(51)에 삽입되도록 상기 부착핀(51)에 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 전극(522)들은 상기 부착핀(51)으로부터 돌출되지 않도록 상기 부착핀(51)에 삽입되어 결합될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 전극(522)들은 상기 부착핀(51)으로부터 돌출되도록 상기 부착핀(51)에 결합될 수도 있다. 도시되지 않았지만, 상기 부착부재(52)는 하나의 전극(522)을 포함할 수도 있다. 이 경우, 하나의 전극(522)은 상기 부착핀(51)에서 상기 캐리어기판(200) 쪽을 향하는 면의 전면(全面)을 덮도록 상기 부착핀(51)에 결합될 수도 있다.
상기 전극(522)들은 서로 동일한 형태 및 크기로 형성될 수 있다. 또한, 상기 전극(522)들은 서로 동일한 거리로 이격되게 설치될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 전극(522)들에 의해 발생된 정전력이 상기 캐리어기판(200)에 가하는 스트레스(Stress)를 분산시킴으로써, 상기 캐리어기판(200)이 변형 내지 손상되는 것을 방지할 수 있다. 상기 부착핀(51)은 알루미늄(Aluminum)으로 형성될 수 있다.
도시되지 않았지만, 상기 부착기구(5)는 상기 부착핀(51)에 형성된 흡기공을 포함할 수도 있다. 상기 흡기공은 흡입기구로부터 제공된 흡입력을 상기 캐리어기판(200)에 전달한다. 이에 따라, 상기 캐리어기판(200)은 상기 흡입기구로부터 제공된 흡입력에 의해 상기 부착핀(51)에 부착될 수 있다. 상기 부착핀(51)이 상기 접촉위치에서 상기 후퇴위치로 상승되는 시점에, 상기 흡입기구는 흡입력을 소멸시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 캐리어기판(200)은 상기 부착핀(51)이 상기 접촉위치에서 상기 후퇴위치로 상승될 때, 상기 부착핀(51)으로부터 더 용이하게 이격될 수 있다. 상기 부착부재(52)는 상기 흡기공을 복수개 포함할 수도 있다. 상기 흡기공들은 서로 소정 거리 이격되게 상기 부착핀(51)에 형성될 수 있다.
도시되지 않았지만, 상기 부착기구(5)는 상기 점착고무(521), 상기 전극(522) 및 상기 흡기공 중에서 적어도 하나를 이용하여 상기 캐리어기판(200)을 상기 부착핀(51)에 부착시킬 수 있다. 즉, 상기 캐리어기판(200)은 점착성, 정전력 및 흡입력 중에서 적어도 하나에 의해 상기 부착핀(51)에 결합될 수 있다.
도 2 내지 도 4를 참고하면, 제1승강기구(6)는 상기 부착기구(5)를 승강시킨다. 상기 챔버유닛(2) 내부로 상기 캐리어기판(200)이 반입될 때, 상기 제1승강기구(6)는 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 캐리어기판(200)이 상기 제1정반(2)에 지지된 기판(100) 및 상기 제2정반(4) 각각으로부터 소정 거리 이격되게 위치되도록 상기 부착기구(5)를 하강시킨다. 이 상태에서, 상기 제1승강기구(6)는 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 부착기구(5)를 상기 접촉위치로 상승시킨다. 이에 따라, 상기 부착기구(5)에 부착된 캐리어기판(200)은 상기 제2정반(4)에 접촉된다. 그 후, 상기 제1승강기구(6)는 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 부착기구(5)를 상기 후퇴위치로 상승시킨다. 상기 부착기구(5)가 상기 캐리어기판(200)으로부터 이격되는 방향으로 후퇴하도록 상승됨에 따라, 캐리어기판(200)은 상기 제2정반(6)에 지지된 상태로 상기 부착기구(5)로부터 이격됨으로써 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 접촉된다.
상기 제1승강기구(6)는 상기 부착기구(5)가 상기 접촉위치에 위치되면, 상기 부착기구(5)를 정지시킨 후에 상기 접촉위치에서 상기 후퇴위치로 상승시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제1승강기구(6)는 상기 부착기구(5)가 상기 후퇴위치로 상승됨에 따라 상기 캐리어기판(200)이 상기 부착기구(5)로부터 이격될 때, 상기 캐리어기판(200)에 가해지는 충격 등을 줄일 수 있다. 상기 제1승강기구(6)는 상기 부착기구(5)가 상기 접촉위치에 위치되기 전에, 상기 부착기구(5)를 상승시키는 속도를 점차적으로 감소시킴으로써, 상기 캐리어기판(200)이 상기 제2정반(4)에 접촉될 때 상기 캐리어기판(200)에 가해지는 충격 등을 줄일 수도 있다. 상기 제1승강기구(6)는 상기 부착기구(5)가 상기 접촉위치에서 정지하지 않고, 상기 접촉위치를 통과하여 상기 후퇴위치로 연속적으로 상승하도록 상기 부착기구(5)를 상승시킬 수도 있다. 이 경우, 상기 제1승강기구(6)는 상기 캐리어기판(200)을 상기 부착기구(5)로부터 이격시키는데 걸리는 시간을 줄임으로써, 상기 기판(100)에 상기 캐리어기판(200)을 합착시키는데 걸리는 시간을 줄일 수 있다.
상기 제1승강기구(6)는 상기 제2정반(4)에 결합될 수 있다. 상기 제1승강기구(6)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 리니어모터 등을 이용하여 상기 부착기구(5)를 승강시킬 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제1승강기구(6)는 상기 챔버유닛(2)에 결합될 수도 있다. 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 제2정반(4)에 상기 부착기구(5)가 복수개 결합되는 경우, 상기 제1승강기구(6)를 복수개 포함할 수 있다. 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 부착기구(5)의 개수와 대략 일치하는 개수의 제1승강기구(6)를 포함할 수 있다.
도 8을 참고하면, 상기 제1승강기구(6)는 상기 부착기구들(5, 5')을 승강시키기 위한 구동력을 발생시키는 제1구동수단(61), 및 상기 부착기구들(5, 5')과 상기 제1구동수단(61)을 연결하는 제1연결수단(62)을 포함할 수 있다.
상기 제1구동수단(61)은 상기 제2정반(4) 또는 상기 챔버유닛(2)에 결합될 수 있다. 상기 제1구동수단(61)은 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 리니어모터 등을 이용하여 상기 제1연결수단(62)을 승강시킬 수 있다.
상기 제1연결수단(62)은 일측이 상기 제1구동수단(61)에 연결되고, 타측이 상기 부착기구들(5, 5')에 결합된다. 이에 따라, 상기 제1승강기구(6)는 하나의 제1구동수단(61)을 이용하여 복수개의 부착기구들(5, 5')을 동시에 승강시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 복수개의 부착기구들(5, 5')을 승강시키기 위해 복수개의 제1구동수단(61)을 구비하는 것과 비교할 때, 상기 제1구동수단(61)의 개수를 줄임으로써 제조 비용을 줄일 수 있다. 상기 제1연결수단(62)과 상기 부착기구들(5, 5')은 상기 제2정반(4)을 기준으로 서로 반대편에 위치되게 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 제2정반(4)은 상기 제1연결수단(62)과 상기 부착기구들(5, 5')이 결합되기 위한 복수개의 제1관통공을 포함할 수 있다. 상기 제1관통공들은 각각 상기 후퇴홈들(41, 41')에 연결되게 형성될 수 있다.
도 2 내지 도 8을 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 조절하기 위한 압력조절부(7, 도 2에 도시됨)를 포함할 수 있다.
상기 압력조절부(7)는 상기 챔버유닛(2)에 설치된다. 상기 압력조절부(7)는 상기 챔버유닛(2) 내부에 존재하는 기체 등을 흡입함으로써, 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 낮출 수 있다. 상기 압력조절부(7)는 상기 챔버유닛(2) 내부가 진공상태로 되도록 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 낮출 수 있다. 이 경우, 상기 압력조절부(7)는 진공펌프(미도시)를 포함할 수 있다. 상기 챔버유닛(2)은 배기구(23, 도 2에 도시됨)를 포함할 수 있다. 상기 압력조절부(7)는 상기 배기구(23)에 연결됨으로써, 상기 배기구(23)를 통해 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 조절할 수 있다. 상기 압력조절부(7)는 상기 챔버유닛(2)의 외부에 위치되게 설치될 수 있다. 상기 압력조절부(7)는 상기 챔버유닛(2) 내부에 기체 등을 분사함으로써, 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 높일 수도 있다. 상기 압력조절부(7)는 상기 챔버유닛(2) 내부가 대기압 상태로 되도록 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 높일 수 있다. 이 경우, 상기 압력조절부(7)는 기체분사유닛(미도시)을 포함할 수 있다.
상기 압력조절부(7)는 상기 기판(100)에 상기 캐리어기판(200)의 전면(全面)이 접촉되면, 상기 챔버유닛(2) 내부가 진공상태로 되도록 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 낮출 수 있다. 따라서, 상기 압력조절부(7)는 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200) 사이에 잔존하는 기체 등을 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200) 사이로부터 배출시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)은 분자 결합에 의해 합착될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)은 합착력을 증대시키기 위해 실런트(Sealant) 등이 도포된 후에 합착될 수도 있다.
상기 압력조절부(7)는 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)이 서로 접촉되기 전에, 일차적으로 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 제1압력으로 조절할 수 있다. 상기 압력조절부(7)는 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 낮춤으로써, 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 상기 제1압력으로 조절할 수 있다. 상기 압력조절부(7)는 상기 챔버유닛(2) 내부가 제1진공상태로 되도록 상기 챔버유닛(2) 내부를 상기 제1압력으로 조절할 수 있다. 이에 따라, 상기 압력조절부(7)는 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)이 서로 접촉되는 과정에서 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200) 사이에 잔존하게 되는 기체 등의 양을 줄일 수 있다. 상기 압력조절부(7)는 상기 부착기구(5)가 상기 접촉위치로 상승된 후에, 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 상기 제1압력으로 조절할 수 있다. 상기 압력조절부(7)는 상기 부착기구(5)가 상기 접촉위치에서 상기 후퇴위치로 상승되는 도중에, 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 상기 제1압력으로 조절할 수도 있다. 상기 압력조절부(7)는 상기 부착기구(5)가 후퇴위치로 상승된 후에, 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 상기 제1압력으로 조절할 수도 있다.
상기 압력조절부(7)는 상기 캐리어기판(200)이 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 접촉되면, 이차적으로 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 상기 제1압력보다 낮은 제2압력으로 조절할 수 있다. 상기 압력조절부(7)는 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 낮춤으로써, 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 상기 제2압력으로 조절할 수 있다. 상기 압력조절부(7)는 상기 챔버유닛(2) 내부가 제2진공상태로 되도록 상기 챔버유닛(2) 내부를 상기 제2압력으로 조절할 수 있다. 상기 제2진공상태는 상기 제1진공상태에 비해 더 고진공상태이다. 따라서, 상기 압력조절부(7)는 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200) 사이에 남아있는 기체 등을 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200) 사이로부터 완전히 배출시킴으로써, 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)을 합착시킬 수 있다. 도시되지 않았지만, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 압력조절부(7)를 복수개 포함할 수도 있다.
도 9 내지 도 11을 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 부착기구(5)로부터 상기 캐리어기판(200)을 이격시키기 위한 이격기구(8)를 더 포함할 수 있다.
상기 이격기구(8)는 상기 부착기구(5)에 부착된 캐리어기판(200)을 가압함으로써, 상기 캐리어기판(200)을 상기 부착기구(5)로부터 이격시킨다. 상기 캐리어기판(200)은 상기 부착기구(5)가 상승됨에 따라 상기 이격기구(8)에 접촉된 후에, 상기 부착기구(5)가 상기 후퇴위치로 상승됨에 따라 상기 이격기구(8)에 지지됨으로써 상기 부착기구(5)로부터 이격될 수 있다. 이 경우, 상기 접촉위치는 상기 부착기구(5)에 부착된 캐리어기판(200)이 상기 이격기구(8)에 접촉되는 위치일 수 있다.
상기 이격기구(8)는 상기 부착기구(5)에 부착된 캐리어기판(200)이 상기 제2정반(4)에 접촉되면, 상기 캐리어기판(200)을 가압할 수 있다. 상기 이격기구(8)가 상기 캐리어기판(200)을 가압할 때, 상기 부착기구(5)는 상기 후퇴위치로 상승될 수 있다. 이에 따라, 상기 캐리어기판(200)은 상기 부착기구(5)가 상기 후퇴위치로 상승됨에 따라 상기 제2정반(4)에 지지되는 지지력 및 상기 이격기구(8)로부터 제공되는 가압력에 의해 상기 부착기구(5)로부터 이격될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 캐리어기판(200)을 상기 부착기구(5)로부터 더 용이하게 이격시킴으로써, 상기 캐리어기판(200)을 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 더 용이하게 접촉시킬 수 있다.
상기 이격기구(8)는 상기 제2정반(4)에 결합되는 다이어프램(81), 상기 다이어프램(81)을 가압하기 위한 가압기구(82), 및 상기 가압기구(82)를 승강시키기 위한 제2승강기구(83)를 포함한다.
상기 다이어프램(81)은 양단이 상기 제2정반(4)에 고정되게 결합되고, 가운데 부분이 상기 가압기구(82)에 가압됨에 따라 팽창됨으로써 상기 부착기구(5)에 부착된 캐리어기판(200)을 가압할 수 있다. 상기 다이어프래임(81)은 상기 가압기구(82)에 의한 가압력이 소멸되면, 원래의 형태로 복원될 수 있다. 상기 다이어프램(81)은 상기 가압기구(82)에 가압되는지 여부에 따라 신축(伸縮)될 수 있는 재질로 형성될 수 있다.
상기 가압기구(82)는 상기 제2정반(4)에 승강 가능하게 결합된다. 상기 가압기구(82)는 상기 제2승강기구(83)에 의해 하강됨에 따라 상기 다이어프램(81)을 가압하여 팽창시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 다이어프램(81)은 상기 부착기구(5)에 부착된 캐리어기판(200)을 가압함으로써, 상기 부착기구(5)로부터 상기 캐리어기판(200)을 이격시킬 수 있다. 상기 가압기구(82)는 상기 제2승강기구(83)에 의해 상승됨에 따라 상기 다이어프램(81)에 대한 가압력을 제거함으로써, 상기 다이어프램(81)을 원래의 형태로 복원시킬 수 있다. 이 경우, 상기 제2정반(4)은 상기 가압기구(82)가 삽입될 수 있는 삽입홈(42, 도 9에 도시됨)을 포함할 수 있다. 상기 가압기구(82)는 상기 제2승강기구(83)에 의해 상기 삽입홈(42)에 삽입되도록 상승될 수 있다. 상기 가압기구(82)는 상기 제2승강기구(83)에 의해 상기 제2정반(4)으로부터 돌출되도록 하강될 수 있다. 상기 삽입홈(42)은 상기 가압기구(82)가 상기 제2승강기구(83)에 의해 상승되면, 상기 가압기구(82) 및 상기 다이어프램(81)이 삽입될 수 있는 형태 및 크기로 형성될 수 있다.
상기 가압기구(82)는 상기 다이어프램(81)을 상기 캐리어기판(200)에 면(面) 접촉시키기 위한 가압판(821)을 포함할 수 있다. 상기 가압판(821)은 상기 다이어프램(81)에 접촉되는 면이 평평(Flat)하게 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 가압판(821)은 상기 다이어프램(81)을 전체적으로 균등한 거리로 이동시킴으로써, 상기 다이어프램(81)을 상기 캐리어기판(200)에 면 접촉시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 캐리어기판(200)을 상기 부착기구(5)로부터 이격시키는 과정에서 상기 캐리어기판(200)이 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)으로부터 이격되는 위치까지만 상기 다이어프램(81)을 정확하게 이동시킬 수 있으므로, 상기 다이어프램(81)이 상기 캐리어기판(200)에 접촉된 기판(100)도 함께 가압하게 되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 다이어프램(81)에 의해 상기 기판(100)에 부분적으로 얼룩이 발생하거나 변형이 발생되는 것을 방지함으로써, 슬림화된 디스플레이장치에 대한 품질을 향상시킬 수 있다. 상기 가압판(821)은 사각 판형으로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 다이어프램(81)에 접촉되는 면이 평평하게 형성되는 형태이면 원반형태 등 다른 형태로 형성될 수도 있다.
상기 이격기구(8)는 상기 가압기구(82)를 복수개 포함할 수도 있다. 상기 가압기구(82)들은 각각 상기 제2정반(4)에 승강 가능하게 결합된다. 상기 가압기구(82)들은 서로 소정 거리 이격되게 상기 제2정반(4)에 결합될 수 있다. 상기 가압기구(82)들은 각각 상기 부착기구(5) 사이에 위치되게 상기 제2정반(4)에 결합될 수 있다. 상기 이격기구(8)는 상기 가압기구(82)들의 개수와 대략 일치하는 개수의 다이어프램(81)을 포함할 수 있다. 상기 제2정반(4)은 상기 가압기구(82)들의 개수와 대략 일치하는 개수의 삽입홈(42)을 포함할 수 있다.
상기 제2승강기구(83)는 상기 가압기구(82)를 승강시킴으로써, 상기 다이어프램(81)을 신축시킬 수 있다. 상기 챔버유닛(2) 내부로 상기 캐리어기판(200)이 반입될 때, 상기 제2승강기구(83)는 도 9에 도시된 바와 같이 상기 가압기구(82)를 상승시킨다. 이 경우, 상기 제2승강기구(83)는 상기 가압기구(82)와 상기 다이어프램(81)이 상기 제2정반(4) 내부에 삽입되도록 상기 가압기구(82)를 상승시킬 수 있다. 이 상태에서, 도 10에 도시된 바와 같이 상기 제1승강기구(6)가 상기 부착기구(5)를 상기 후퇴위치로 상승시키면, 상기 제2승강기구(83)는 상기 가압기구(82)를 하강시킨다. 이에 따라, 상기 다이어프램(81)은 상기 가압기구(82)에 의해 가압되어 팽창됨으로써, 상기 부착기구(5)에 부착된 캐리어기판(200) 쪽으로 이동된다. 상기 캐리어기판(200)은 상기 다이어프램(81)에 가압됨으로써, 상기 부착기구(5)로부터 이격될 수 있다. 이 경우, 상기 제2승강기구(83)는 상기 캐리어기판(200)이 상기 부착기구(5)로부터 이격되는 동시에 상기 캐리어기판(200)이 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)으로부터 이격되는 위치까지만 상기 가압기구(82)를 하강시킬 수 있다. 상기 캐리어기판(200)이 상기 부착기구(5)로부터 이격됨에 따라, 도 10에 도시된 바와 같이 상기 캐리어기판(200)은 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100) 쪽으로 낙하함으로써 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 접촉된다.
상기 제2승강기구(83)는 상기 제2정반(4)에 결합될 수 있다. 상기 제2승강기구(83)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 리니어모터 등을 이용하여 상기 가압기구(82)를 승강시킬 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제2승강기구(83)는 상기 챔버유닛(2)에 결합될 수도 있다. 상기 이격기구(8)는 상기 제2정반(4)에 상기 가압기구(82)가 복수개 결합되는 경우, 상기 제2승강기구(83)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 이격기구(8)는 상기 가압기구(82)의 개수와 대략 일치하는 개수의 제2승강기구(83)를 포함할 수 있다.
도시되지 않았지만, 상기 제2승강기구(83)는 상기 가압기구(82)들을 승강시키기 위한 구동력을 발생시키는 제2구동수단, 및 상기 가압기구(82)들과 상기 제2구동수단을 연결하는 제2연결수단을 포함할 수 있다.
상기 제2구동수단은 상기 제2정반(4) 또는 상기 챔버유닛(2)에 결합될 수 있다. 상기 제2구동수단은 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 리니어모터 등을 이용하여 상기 제2연결수단을 승강시킬 수 있다.
상기 제2연결수단은 일측이 상기 제2구동수단에 연결되고, 타측이 상기 가압기구(82)들에 결합된다. 이에 따라, 상기 제2승강기구(83)는 하나의 제2구동수단을 이용하여 복수개의 가압기구(82)들을 동시에 승강시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 복수개의 가압기구(82)를 승강시키기 위해 복수개의 제2구동수단을 구비하는 것과 비교할 때, 상기 제2구동수단의 개수를 줄임으로써 제조 비용을 줄일 수 있다. 상기 제2연결수단과 상기 가압기구(82)들은 상기 제2정반(4)을 기준으로 서로 반대편에 위치되게 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 제2정반(4)은 상기 제2연결수단과 상기 가압기구(82)들이 결합되기 위한 복수개의 제2관통공을 포함할 수 있다. 상기 제2관통공들은 각각 상기 삽입홈(42)들에 연결되게 형성될 수 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 합착기판 제조방법의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2 내지 도 11을 참고하면, 본 발명에 따른 합착기판 제조방법은 디스플레이장치를 제조하기 위한 기판(100)에 캐리어기판(200)을 합착함으로써, 합착기판을 제조하기 위한 것이다. 상기 합착기판은 디스플레이장치를 제조하기 위한 공정을 거쳐 슬림화된 디스플레이장치로 제조될 수 있다. 상기 합착기판은 디스플레이장치를 제조하기 위한 공정이 완료되기 전에, 상기 기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)이 제거됨으로써, 슬림화된 디스플레이장치로 제조될 수 있다. 본 발명에 따른 합착기판 제조방법은 상술한 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치를 이용하여 수행될 수 있다. 본 발명에 따른 합착기판 제조방법은 다음과 같은 구성을 포함할 수 있다.
우선, 상기 기판(100)을 상기 제1정반(3)에 위치시킨다. 이러한 공정은, 상기 이송장치(미도시)가 상기 기판(100)을 상기 챔버유닛(2) 내부로 반입한 후에, 상기 제1정반(3)에 위치시킴으로써 이루어질 수 있다. 상기 이송장치가 상기 기판(100)을 상기 제1정반(3)에 안착시키면, 상기 기판(100)은 흡입력, 정전력, 점착력 중에서 어느 하나에 의해 상기 제1정반(3)에 부착될 수 있다.
다음, 상기 캐리어기판(200)을 상기 부착기구(5)에 위치시킨다. 이러한 공정은, 상기 이송장치가 상기 캐리어기판(200)을 상기 챔버유닛(2) 내부로 반입한 후에, 상기 부착기구(5)에 위치시킴으로써 이루어질 수 있다.
다음, 상기 캐리어기판(200)이 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 접촉되도록 상기 부착기구(5)로부터 상기 캐리어기판(200)을 이격시킨다. 이러한 공정은, 상기 제1승강기구(6)가 상기 부착기구(5)를 상승시킴으로써 이루어질 수 있다. 상기 캐리어기판(200)은 상기 부착기구(5)로부터 이격됨에 따라 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100) 쪽으로 낙하함으로써, 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 접촉된다.
상기 부착기구(5)로부터 상기 캐리어기판(200)을 이격시키는 공정은, 상기 부착기구(5)가 상기 제2정반(4) 내부로 후퇴하도록 상기 부착기구(5)를 상승시키는 공정을 포함할 수 있다. 이러한 공정은 상기 제1승강기구(6)가 상기 부착기구(5)를 상기 접촉위치를 거쳐 상기 후퇴위치로 상승시킴으로써 이루어질 수 있다. 상기 부착기구(5)는 상기 제1승강기구(6)에 의해 상기 제2정반(4) 내부에 삽입되도록 상승됨으로써, 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)으로부터 멀어지도록 후퇴한다. 이 과정에서, 상기 부착기구(5)에 부착되어 있던 캐리어기판(200)은, 상기 부착기구(5)가 상기 접촉위치에서 상기 후퇴위치로 상승하더라도, 상기 제2정반(4) 또는 상기 이격기구(8)에 지지된 상태이기 때문에 상기 부착기구(5)로부터 이격되게 된다. 이에 따라, 상기 캐리어기판(200)은 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100) 쪽으로 낙하함으로써, 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 접촉된다.
따라서, 본 발명에 따른 합착기판 제조방법은 상기 가압핀(300, 도 1b에 도시됨), 상기 다이어프램(400, 도 1c에 도시됨), 및 상기 분사장치(500, 도 1c에 도시됨)가 상기 기판(100) 쪽으로 힘을 가함에 따라 상기 기판(100)을 손상시키는 것과 비교할 때, 상기 부착기구(5)가 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100) 쪽으로 힘을 가하지 않고도 상기 캐리어기판(200)을 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 접촉시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 합착기판 제조방법은 상기 캐리어기판(200)을 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 접촉시키는 과정에서 상기 기판(100)에 얼룩이 발생하거나 변형이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 슬림화된 디스플레이장치에 대한 품질을 향상시킬 수 있는 합착기판을 제조할 수 있다.
다음, 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)을 합착시킨다. 이러한 공정은, 상기 기판(100)에 상기 캐리어기판(200)의 전면(全面)이 접촉되면, 상기 압력조절부(5)가 상기 챔버유닛(2) 내부가 진공상태로 되도록 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 낮춤으로써 이루어질 수 있다. 이에 따라, 상기 압력조절부(5)는 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200) 사이에 잔존하는 기체 등을 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200) 사이로부터 배출시킴으로써, 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)을 합착시킬 수 있다.
도 2 내지 도 11을 참고하면, 상기 부착기구(5)로부터 상기 캐리어기판(200)을 이격시키는 공정은, 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 상기 제1압력으로 낮추는 공정을 더 포함할 수 있다. 이러한 공정은 상기 압력조절부(7)가 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 낮춤으로써 이루어질 수 있다. 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 상기 제1압력으로 낮추는 공정은, 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)이 서로 접촉되기 전에, 상기 압력조절부(7)가 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 제1압력으로 조절함으로써 이루어질 수 있다. 상기 압력조절부(7)는 상기 챔버유닛(2) 내부가 제1진공상태로 되도록 상기 챔버유닛(2) 내부를 상기 제1압력으로 조절할 수 있다. 이에 따라, 상기 압력조절부(7)는 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)이 서로 접촉되는 과정에서 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200) 사이에 잔존하게 되는 기체 등의 양을 줄일 수 있다. 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 상기 제1압력으로 낮추는 공정은, 상기 부착기구(5)가 상기 접촉위치로 상승된 후에, 상기 압력조절부(7)가 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 상기 제1압력으로 조절함으로써 이루어질 수도 있다. 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 상기 제1압력으로 낮추는 공정은, 상기 부착기구(5)가 상기 접촉위치에서 상기 후퇴위치로 상승되는 도중에, 상기 압력조절부(7)가 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 상기 제1압력으로 조절함으로써 이루어질 수도 있다.
상기 부착기구(5)로부터 상기 캐리어기판(200)을 이격시키는 공정이 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 상기 제1압력으로 낮추는 공정을 포함하는 경우, 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)을 합착시키는 공정은 상기 캐리어기판(200)이 상기 기판(100)에 접촉되면 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 상기 제2압력으로 낮추는 공정을 포함할 수 있다.
상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 상기 제2압력으로 낮추는 공정은, 상기 압력조절부(7)가 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 상기 제2압력으로 낮춤으로써 이루어질 수 있다. 상기 압력조절부(7)는 상기 챔버유닛(2) 내부가 제2진공상태로 되도록 상기 챔버유닛(2) 내부를 상기 제2압력으로 조절할 수 있다. 상기 제2진공상태는 상기 제1진공상태에 비해 더 고진공상태이다. 따라서, 상기 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 상기 제2압력으로 낮추는 공정은, 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200) 사이에 남아있는 기체 등을 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200) 사이로부터 완전히 배출시킴으로써, 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)을 합착시킬 수 있다.
도 2 내지 도 11을 참고하면, 상기 부착기구(5)를 상승시키는 공정은, 상기 부착기구(5)를 상기 접촉위치로 상승시키는 공정, 및 상기 부착기구(5)를 상기 후퇴위치로 상승시키는 공정을 포함할 수 있다.
상기 부착기구(5)를 상기 접촉위치로 상승시키는 공정은, 상기 제1승강기구(6)가 상기 부착기구(5)를 상기 접촉위치로 상승시킴으로써 이루어질 수 있다. 이에 따라, 상기 부착기구(5)에 부착된 캐리어기판(200)은 상기 제2정반(4)에 접촉된다. 상기 부착기구(5)를 상기 접촉위치로 상승시키는 공정은, 상기 부착기구(5)가 상기 접촉위치에 위치되면, 상기 부착기구(5)를 정지시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 부착기구(5)를 상기 접촉위치로 상승시키는 공정은, 상기 부착기구(5)가 상기 후퇴위치로 상승됨에 따라 상기 캐리어기판(200)이 상기 부착기구(5)로부터 이격될 때, 상기 캐리어기판(200)에 가해지는 충격 등을 줄일 수 있다. 상기 부착기구(5)를 상기 접촉위치로 상승시키는 공정은, 상기 부착기구(5)가 상기 접촉위치에 위치되기 전에, 상기 부착기구(5)를 상승시키는 속도를 점차적으로 감소시킴으로써, 상기 캐리어기판(200)이 상기 제2정반(4)에 접촉될 때 상기 캐리어기판(200)에 가해지는 충격 등을 줄일 수도 있다.
상기 부착기구(5)를 상기 후퇴위치로 상승시키는 공정은, 상기 제1승강기구(6)가 상기 부착기구(5)를 상기 후퇴위치로 상승시킴으로써 이루어질 수 있다. 이에 따라, 상기 캐리어기판(200)은 상기 부착기구(5)로부터 이격됨으로써, 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 접촉될 수 있다. 상기 부착기구(5)를 상기 접촉위치로 상승시키는 공정 및 상기 부착기구(5)를 상기 접촉위치로 상승시키는 공정은, 연속적으로 수행될 수도 있다. 이 경우, 상기 제1승강기구(6)는 상기 부착기구(5)가 상기 접촉위치에서 정지하지 않고, 상기 접촉위치를 통과하여 상기 후퇴위치로 연속적으로 상승하도록 상기 부착기구(5)를 상승시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 합착기판 제조방법은 상기 캐리어기판(200)을 상기 부착기구(5)로부터 이격시키는데 걸리는 시간을 줄임으로써, 상기 기판(100)에 상기 캐리어기판(200)을 합착시키는데 걸리는 시간을 줄일 수 있다.
도 2 내지 도 11을 참고하면, 상기 부착기구(5)로부터 캐리어기판(200)을 이격시키는 공정은, 상기 가압기구(82)를 하강시키는 공정, 및 상기 가압기구를 정지시키는 공정을 더 포함할 수 있다.
상기 가압기구(82)를 하강시키는 공정은, 상기 제2승강기구(83)가 상기 가압기구(82)를 하강시킴으로써 이루어질 수 있다. 상기 가압기구(82)는 상기 제2승강기구(83)에 의해 하강됨에 따라 상기 다이어프램(81)을 가압하여 팽창시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 다이어프램(81)은 상기 부착기구(5)에 부착된 캐리어기판(200)을 가압함으로써, 상기 부착기구(5)로부터 상기 캐리어기판(200)을 이격시킬 수 있다.
상기 가압기구(82)를 하강시키는 공정은, 상기 다이어프램(81)이 상기 캐리어기판(200)에 면 접촉되어 캐리어기판(200)을 밀도록 상기 가압기구(82)가 상기 다이어프램(81)을 가압함으로써 이루어질 수 있다. 이러한 공정은 상기 제2승강기구(83)가 상기 가압기구(82)를 하강시킴에 따라, 상기 가압판(821, 도 10에 도시됨)이 상기 다이어프램(81)을 전체적으로 균등한 거리로 이동시킴으로써 이루어질 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 합착기판 제조방법은 상기 캐리어기판(200)을 상기 부착기구(5)로부터 이격시키기 위해 상기 다이어프램(81)을 이동시키는 거리를 정확하게 조절할 수 있다.
상기 가압기구를 정지시키는 공정은, 상기 제2승강기구(83)가 상기 가압기구(82)를 정지시킴으로써 이루어질 수 있다. 상기 제2승강기구(83)는 상기 캐리어기판(200)이 상기 부착기구(5)와 제1정반(3)에 지지된 기판(100) 각각으로부터 이격되는 위치에 도달하면, 상기 가압기구(82)를 정지시킬 수 있다. 즉, 상기 부착기구(5)로부터 캐리어기판(200)을 이격시키는 공정은, 상기 제2승강기구(83)가 상기 캐리어기판(200)이 상기 부착기구(5)로부터 이격되는 동시에 상기 캐리어기판(200)이 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)으로부터 이격되는 위치까지만 상기 가압기구(82)를 하강시킴으로써 이루어질 수 있다.
따라서, 본 발명에 따른 합착기판 제조방법은 상기 캐리어기판(200)을 상기 부착기구(5)로부터 이격시키는 과정에서 상기 다이어프램(81)이 상기 캐리어기판(200)에 접촉된 기판(100)도 함께 가압하게 되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 합착기판 제조방법은 상기 다이어프램(81)에 의해 상기 기판(100)에 부분적으로 얼룩이 발생하거나 변형이 발생되는 것을 방지함으로써, 슬림화된 디스플레이장치에 대한 품질을 향상시킬 수 있는 합착기판을 제조할 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다. 한편, 상기에서는 상기 기판(100)과 캐리어기판(200)이 글래스로 제조되는 것으로 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)은 유연성(Flexibility)을 갖는 플라스틱 기판, 메탈 기판 등으로 제조될 수도 있다.
1 : 합착장치 2 : 챔버유닛 3 : 제1정반 4 : 제2정반
5 : 부착기구 6 : 제1승강기구 7 : 압력조절부 8 : 이격기구
21 : 제1챔버 22 : 제2챔버 23 : 배기구 31 : 진공홀
41 : 후퇴홈 42 : 삽입홈 51 : 부착핀 52 : 부착부재
81 : 다이어프램 82 : 가압기구 83 : 제2승강기구 100 : 기판
110 : 더미영역 200 : 캐리어기판 521 : 점착고무 522 : 전극

Claims (10)

  1. 디스플레이장치를 제조하기 위한 기판에 캐리어기판을 합착시키는 공정이 이루어지는 챔버유닛;
    상기 챔버유닛 내부에 위치되게 설치되고, 기판을 지지하기 위한 제1정반;
    상기 제1정반으로부터 이격되게 상기 챔버유닛 내부에 위치되게 설치되는 제2정반;
    상기 제2정반에 승강(昇降) 가능하게 설치되고, 캐리어기판이 부착되는 부착기구;
    상기 부착기구를 승강시키기 위해 상기 부착기구와 결합되고, 캐리어기판을 상기 부착기구로부터 이격시켜 상기 제1정반에 지지된 기판 쪽으로 낙하시키기 위해 상기 부착기구가 상기 제2정반 내부로 후퇴하도록 상기 부착기구를 상승시키는 제1승강기구;
    상기 제2 정반에 결합되는 다이어프램(Diaphragm);
    상기 캐리어기판을 상기 부착기구로부터 이격시키기 위한 가압기구; 및
    상기 가압기구를 승강시키기 위한 제2승강기구를 포함하고,
    상기 가압기구는 상기 다이어프램을 캐리어기판에 면(面) 접촉시키기 위한 적어도 일부 평평한 일면을 포함하는 가압판을 포함하며, 상기 제2승강기구는 캐리어기판이 상기 부착기구와 상기 제1정반에 지지된 기판 각각으로부터 이격되는 위치까지 상기 가압기구를 하강시키는, 디스플레이장치용 합착장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1승강기구는 캐리어기판이 상기 제2정반에 접촉되는 접촉위치로 상기 부착기구를 상승시킨 후에, 상기 부착기구가 상기 제2정반 내부로 후퇴하는 후퇴위치로 상기 부착기구를 상승시키고,
    상기 제2정반은 상기 후퇴위치로 상승된 부착기구가 삽입되기 위한 후퇴홈을 포함하는, 디스플레이장치용 합착장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 부착기구는 상기 제1승강기구에 결합되는 부착핀, 및 상기 부착핀에 결합되는 부착부재를 포함하고,
    상기 부착부재는 캐리어기판을 상기 부착핀에 부착시키기 위한 점착고무를 포함하는, 디스플레이장치용 합착장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 부착기구는 상기 제1승강기구에 결합되는 부착핀, 및 상기 부착핀에 결합되는 부착부재를 포함하고,
    상기 부착부재는 캐리어기판을 정전력을 이용하여 상기 부착핀에 부착시키기 위한 전극을 포함하는, 디스플레이장치용 합착장치.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 챔버유닛에 설치되고, 상기 챔버유닛 내부의 압력을 조절하기 위한 압력조절부를 포함하고,
    상기 압력조절부는 상기 챔버유닛 내부의 압력을 제1압력으로 조절한 후에, 캐리어기판이 상기 제1정반에 지지된 기판에 접촉되면 상기 챔버유닛 내부의 압력을 상기 제1압력보다 낮은 제2압력으로 조절하는, 디스플레이장치용 합착장치.
  7. 디스플레이장치를 제조하기 위한 기판을 제1정반에 위치시키는 단계;
    상기 제1정반에 지지된 기판에 합착시키기 위한 캐리어기판을 제2 정반에 설치되는 부착기구에 부착시키는 단계;
    캐리어기판이 상기 제1정반에 지지된 기판에 접촉되도록 상기 부착기구로부터 상기 캐리어기판을 이격시키는 단계; 및
    상기 제1정반에 지지된 기판에 캐리어기판이 접촉되면, 기판과 캐리어기판을 합착시키는 단계를 포함하고,
    상기 부착기구로부터 캐리어기판을 이격시키는 단계는,
    상기 제2정반에 결합된 다이어프램이 캐리어기판에 면(面) 접촉되어 캐리어기판을 밀도록 상기 다이어프램을 가압하기 위한 가압기구를 하강시키는 단계;
    캐리어기판이 상기 부착기구와 상기 제1정반에 지지된 기판 각각으로부터 이격되는 위치에 도달하면, 상기 가압기구를 정지시키는 단계; 및
    부착기구를 상승시키는 단계를 포함하고,
    상기 가압기구는 상기 다이어프램을 캐리어기판에 면(面) 접촉시키기 위한 적어도 일부 평평한 일면을 포함하는 가압판을 포함하며, 제2승강기구는 캐리어기판이 상기 부착기구와 상기 제1정반에 지지된 기판 각각으로부터 이격되는 위치까지 상기 가압기구를 하강시키는, 합착기판 제조방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 부착기구를 상승시키는 단계는
    캐리어기판이 상기 제2정반에 접촉되는 접촉위치로 상기 부착기구를 상승시키는 단계; 및
    캐리어기판이 상기 제2정반에 접촉되면, 상기 부착기구가 상기 제2정반 내부로 후퇴하는 후퇴위치로 상기 부착기구를 상승시키는 단계를 포함하는, 합착기판 제조방법.
  9. 삭제
  10. 제7항에 있어서,
    상기 부착기구로부터 상기 캐리어기판을 이격시키는 단계는, 챔버유닛 내부의 압력을 제1압력으로 낮추는 단계를 포함하고,
    상기 기판과 캐리어기판을 합착시키는 단계는, 캐리어기판이 상기 제1정반에 지지된 기판에 접촉되면 상기 챔버유닛 내부의 압력을 상기 제1압력보다 낮은 제2압력으로 낮추는 단계를 포함하는, 합착기판 제조방법.
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