TW201516546A - 貼合設備的製造裝置及貼合設備的製造方法 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種貼合設備的製造裝置及貼合設備的製造方法。即使第一基板在真空環境中膨脹，亦可壓扁膨脹部(1a)而與第二基板的相對位置不偏移地貼合。第一基板(1)保持於腔室(14)內的第一保持構件(11)且第二基板(2)保持於第二保持構件(12)後，將腔室(14)的內部空間(14a)減壓至預定的真空度。即使第一基板(1)隨著該減壓而沿厚度方向亦即Z方向突出變形，亦由於其膨脹部(1a)進入到空間部(11a)，因此第一基板(1)不會相對於第一保持構件(11)局部浮起而整體傾斜。在該減壓狀態下，驅動機構(13)的按壓部(13a)通過空間部(11a)且沿厚度方向與第一基板(1)的膨脹部(1a)抵接，且以膨脹部(1a)壓縮變形之方式隔著接著劑(3)及第二基板(2)朝向第二保持構件(12)沿厚度方向平行地按壓，藉此，壓扁膨脹部(1a)而使第一基板(1)與第二基板(2)隔著接著劑(3)被均勻地加壓並貼合。

Description

貼合設備的製造裝置及貼合設備的製造方法
本發明係有關一種相對於例如液晶顯示器(LCD)、有機EL顯示器(OLED)、等離子顯示器(PDP)、可撓性顯示器等平板顯示器(FPD)或例如如觸控面板式FPD或3D(3維)顯示器或電子書籍等液晶模塊(LCM)或可撓性印刷電路板(FPC)等基板，貼合觸控面板、蓋玻片、覆蓋膜或FPD等另一個基板之貼合設備的製造裝置、及貼合設備的製造方法。
以往，作為之種貼合設備的製造方法，有如下電氣光學裝置的製造方法：在真空氛圍中，將液晶面板和局部塗(塗佈)有接著劑(紫外線固化性環氧樹脂)之蓋玻片以對位之狀態擠壓，藉此，帶狀的接著劑部擴散到液晶面板與蓋玻片之間而成為接著劑層，並且，藉由其黏著性來使液晶面板側與蓋玻片側黏附。之後，進行液晶面板及蓋玻片的第1對準處理並進行臨時接著步驟後，進行第2對準處理(對位處理)，最後進行正式固化處理(正式接著步驟)來將液晶面板與蓋玻片正式接著(例如參考專利文獻1)。
[先行技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1：日本專利公開2009-230039號公報
然而，如第5圖(a)所示，包含複數個構成組件之液晶面板等第一 基板1係複數個構成組件一體組裝之結構體，在其製造階段，大量空氣進入到結構體的內部而成為被封入之狀態。
因此，如第5圖(b)所示，若將液晶面板等第一基板1與蓋玻片等第二基板2為了真空貼合而搬入到真空腔室14'內，並將第一基板1保持於下保持構件11'且將第二基板2保持於上保持構件12'後，將真空腔室14'的內部減壓至預定的真空度，則封入於結構體內部之空氣因內外的壓力差而膨脹變形，結構體中強度相對較弱的部位成為膨脹部1a並突出。
若在第一基板1藉由該膨脹部1a而相對於下保持構件11'整體傾斜之狀態下，如第5圖(c)所示，下保持構件11'與上保持構件12'相對地沿厚度方向(Z方向)接近移動，並沿Z方向對第一基板1及第二基板2進行加壓而使二者重疊，則藉由傾斜，第一基板1沿與厚度方向交叉之縱橫斜方向(XYθ方向)移動而在與第二基板2之間產生位置偏移，並導致以位置偏移之狀態貼合。
若第一基板1與第二基板2的位置精確度因位置偏移而下降，則會影響之後的產品組裝性，存在成品率下降之問題。尤其，第二基板2為觸控面板玻璃時，顯示區域內的圖像的顯示位置和感測器的檢測位置從設計位置偏移，因此無法發揮所期望的性能，存在成為次品之問題。
而且，藉由下保持構件11'及上保持構件12'，將已傾斜之第一基板1強制壓向第二基板2時，相對於夾在下保持構件11'與上保持構件12'之間之接著劑3之加壓力變得不均，因此之後向大氣開放後，存在接著劑3中易混入氣泡而成為成品率下降的原因之問題。
因此，為了解決該種問題，考慮使真空腔室14'的減壓速度非常緩慢，以免第一基板1因內外的壓力差而膨脹變形。
然而，該種情況下，真空腔室14'的內部達到預定的真空度為止 需要大量時間，其結果，存在使產品的生產率下降而成本升高之問題。
本發明係將解決該種問題作為課題者，其係以提供一種即使第一基板在真空環境中膨脹亦能夠與第二基板不產生相對位置偏移地進行貼合之貼合設備的製造裝置、及貼合設備的製造方法等為目的者。
為了實現該種目的，依本發明之貼合設備的製造裝置係包含複數個構成組件之第一基板與將其覆蓋之第二基板隔著接著劑沿厚度方向重疊，且沿與該厚度方向交叉之縱橫斜方向相互對位並貼合之貼合設備的製造裝置，其特徵為，具備：第一保持構件，設置成將前述第一基板保持為裝卸自如；第二保持構件，設置成將與前述第一保持構件之間隔著前述接著劑對置之前述第二基板保持為裝卸自如；驅動機構，設置成使前述第一保持構件或前述第二保持構件中的任一個朝向另一個、或使兩個沿前述厚度方向相對接近移動；及開閉自如的腔室，設置成將容納有前述第一保持構件及前述第二保持構件之內部空間從大氣氛圍減壓至預定的真空度，前述第一保持構件具有空間部，在前述第一基板上隨著前述腔室內的減壓而沿前述厚度方向突出變形之膨脹部沿該厚度方向進入到前述空間部，前述驅動機構具有按壓部，前述按壓部通過前述空間部且沿前述厚度方向與前述第一基板的前述膨脹部抵接，且以該膨脹部壓縮變形之方式隔著前述接著劑及前述第二基板朝向前述第二保持構件沿前述厚度方向平行地按壓。
並且，基於本發明之貼合設備的製造方法係包含複數個構成組件之第一基板與將其覆蓋之第二基板隔著接著劑朝向厚度方向重疊，且沿與該厚度方向交叉之縱橫斜方向使前述第一基板與前述第二基板相對移動並相互對位後貼合之貼合設備的製造方法，其特徵為，包括 如下步驟：保持步驟，以具有空間部之第一保持構件保持前述第一基板，且以第二保持構件保持與前述第一保持構件之間隔著前述接著劑對置之前述第二基板；減壓步驟，將容納前述第一保持構件及前述第二保持構件之腔室的內部空間從大氣氛圍減壓至預定的真空度；及驅動步驟，藉由驅動機構使前述第一保持構件或前述第二保持構件中的任一個朝向另一個或使兩個沿前述厚度方向相對接近移動，在前述保持步驟中，使在前述第一基板上隨著前述腔室內的減壓而沿前述厚度方向突出變形之膨脹部沿前述厚度方向進入到前述第一保持構件的前述空間部，在前述驅動步驟中，前述驅動機構的按壓部通過前述空間部而朝向前述第一基板的前述膨脹部沿該厚度方向接近移動而抵接，且隔著前述接著劑及前述第二基板朝向前述第二保持構件沿前述厚度方向平行地按壓。
具有前述特徵之基於本發明之貼合設備的製造裝置及貼合設備的製造方法在將第一基板保持於腔室內的第一保持構件並將第二基板保持於第二保持構件後，將腔室的內部空間減壓至預定的真空度。即使第一基板隨著該減壓而沿厚度方向突出變形，亦由於其膨脹部進入到空間部，因此第一基板不會相對於第一保持構件局部浮起而整體傾斜。在該減壓狀態下，驅動機構的按壓部通過空間部而與第一基板的膨脹部沿厚度方向抵接，且以膨脹部壓縮變形之方式隔著接著劑及第二基板朝向第二保持構件沿厚度方向平行地按壓，藉此，壓扁膨脹部而使第一基板與第二基板隔著接著劑被均勻地加壓並貼合。
因此，即使第一基板在真空環境中膨脹，亦能夠壓扁膨脹部而與第二基板相對位置不偏移地貼合。
其結果，相比真空膨脹的液晶面板以傾斜之狀態與蓋玻片貼合之習知者及製造方法，第一基板與第二基板的對位能夠維持在高精確 度，且防止成品率下降。尤其，即使第二基板係觸控面板玻璃，亦由於顯示區域內的圖像的顯示位置和感測器的檢測位置不會從設計位置偏移，因此能夠發揮所希望的性能，且能夠減少次品的產生。
而且，藉由第一保持構件及第二保持構件，相對於夾在第一基板與第二基板之間的接著劑的加壓力均勻，因此之後向大氣開放後接著劑中亦沒有氣泡混入，並且藉由按壓部，第一基板與第二基板隔著接著劑均勻地被加壓，因此即使在接著劑的內部混入空氣等氣體或產生氣體，亦會將該些氣體擠出而不會在面內殘留氣泡。藉此，能夠防止成品率的下降。
並且，無需為了防止真空環境中的第一基板的膨脹而減慢腔室的減壓速度，因此能夠縮短腔室內部達到預定的真空度為止的時間，且不會降低產品的生產率而可實現成本的降低。
1‧‧‧第一基板
1'‧‧‧第一基板
1a‧‧‧膨脹部
1b‧‧‧外緣部
1c‧‧‧框体
1d‧‧‧影像顯示構件
1e‧‧‧驅動用印刷基板
1f‧‧‧背光源單元
2‧‧‧第二基板
3‧‧‧接著劑
4‧‧‧緩衝材料
4a‧‧‧突起
11‧‧‧第一保持構件
11'‧‧‧保持構件
11a‧‧‧空間部
11b‧‧‧框狀部
11b'‧‧‧邊部位
11b"‧‧‧邊部位
11c‧‧‧支撐板
11d‧‧‧把持部位
11d'‧‧‧把持部位
11d"‧‧‧把持部位
11e‧‧‧移動機構
11f‧‧‧支撐部位
11f1‧‧‧支撐桿
11f2‧‧‧滑動件
11g‧‧‧限位器
11h‧‧‧彈性體
12‧‧‧第二保持構件
12'‧‧‧保持構件
13‧‧‧驅動機構
13a‧‧‧按壓部
13b‧‧‧第一升降部
13b'‧‧‧從動桿
13c‧‧‧第二升降部
14‧‧‧腔室
14'‧‧‧真空腔室
14a‧‧‧內部空間
14b‧‧‧減壓機構
14c‧‧‧第一分割腔室
14d‧‧‧第二分割腔室
14e‧‧‧驅動部
A‧‧‧貼合設備
A'‧‧‧貼合設備
第1圖係表示本發明的實施形態之貼合設備的製造裝置及貼合設備的製造方法的整體結構之說明圖，第1圖(a)係表示搬入後的狀態之縱截面前視圖，第1圖(b)係表示減壓後的狀態之縱截面前視圖，第1圖(c)係表示第二基板的接近移動後的狀態之縱截面前視圖，第1圖(d)係表示按壓部的接近移動後的狀態之縱截面前視圖。
第2圖係貼合另一結構的貼合設備時的說明圖，第2圖(a)係表示搬入後的狀態之縱截面前視圖，第2圖(b)係表示減壓後的狀態之縱截面前視圖，第2圖(c)係表示第二基板的接近移動後的狀態之縱截面前視圖，第2圖(d)係表示按壓部的接近移動後的狀態之縱截面前視圖。
第3圖係表示本發明的另一實施例之貼合設備的製造裝置及貼合設備的製造方法的整體結構之說明圖，第3圖(a)係表示搬入後的狀態之縱截面前視圖，第3圖(b)係沿第3圖(a)的(3B)-(3B)之橫截面俯視圖。
第4圖係表示本發明的另一實施例之貼合設備的製造裝置及貼合設備的製造方法的整體結構之說明圖，第4圖(a)係表示搬入後的狀態之縱截面前視圖，第4圖(b)係表示減壓後的狀態之縱截面前視圖，第4圖(c)係表示第二基板的接近移動後的狀態之縱截面前視圖，第4圖(d)係表示按壓部的接近移動後的狀態之縱截面前視圖。
第5圖係表示習知之貼合設備的製造裝置及貼合設備的製造方法的一例之說明圖，第5圖(a)係表示搬入後的狀態之縱截面前視圖，第5圖(b)係表示減壓後的狀態之縱截面前視圖，第5圖(c)係表示第二基板的接近移動後的狀態之縱截面前視圖。
以下，依據圖式對本發明的實施形態進行詳細說明。
本發明的實施形態之貼合設備A的製造裝置如第1圖~第4圖所示，係包含複數個構成組件之第一基板1和將其覆蓋之第二基板2隔著接著劑3沿厚度方向(以下稱作Z方向)重疊，且使第一基板1與第二基板2沿與該厚度方向交叉之縱橫斜方向(以下稱作XYθ方向)相對移動並相互對位後貼合者。
詳細說明如下，本發明的實施形態之貼合設備A的製造裝置中作為主要的構成要件而具備：第一保持構件11，設置成將第一基板1保持為裝卸自如；第二保持構件12，設置成將在與第一保持構件11之間隔著接著劑3對置之第二基板2保持為裝卸自如；驅動機構13，設置成使第一保持構件11或第二保持構件12中的任一個朝向另一個沿Z方向相對接近移動，或使第一保持構件11及第二保持構件12兩者沿Z方向相對接近移動；及開閉自如的腔室14，設置成將容納第一保持構件11及第二保持構件12之內部空間14a從大氣氛圍減壓至預定的真空度。
而且，雖未圖示，但該種貼合設備A的製造裝置中還具備對位用驅動部和位置檢測部等，前述對位用驅動部使第一保持構件11或第二 保持構件12中的任一個朝向另一個沿XYθ方向相對移動或使第一保持構件11及第二保持構件12兩者沿XYθ方向相對移動而使第一基板1與第二基板2對位；前述位置檢測部用於檢測在第一基板1及第二基板2上設置之對準標誌等。
第一基板1係例如如液晶模塊(LCM)等複數個構成組件一體組成之薄板狀的結構體，尤其以封入於結構體內部之空氣在真空環境中因內外壓力差而膨脹變形之結構體作為對象。
若詳細地說明，第一基板1係指在其結構體的製造階段，空氣在一體組裝複數個構成組件時進入到結構體的內部，且在組裝成半成品和成品之後空氣亦不會從結構體的內部漏出到外部而是被封入者。因此，若第一基板1的周圍成為真空或接近於真空的環境，則封入於內部之空氣因內外的壓力差而膨脹變形，結構體中強度相對較弱的部位成為膨脹部1a而突出。
如第1圖(a)~(d)所示，作為第一基板1的具體例，示出在結構體的外緣部1b具有邊框狀的框體1c，且在框體1c的內部使用從表面側朝向背面側將液晶面板等影像顯示構件1d、驅動電路和驅動用印刷基板1e、背光源單元1f等堆積並一體組裝之LCM等之例子。當為該種結構體時，在真空環境中強度相對較弱，背光源單元1f的中央部份成為膨脹部1a而突出。
並且，作為第一基板1的其他例雖未圖示，但能夠代替LCM，使用不具有邊框狀的框體1c但在真空環境中膨脹變形之其他結構體。
而且，在第一基板1的外周邊設置用於與第二基板2對位之對準標誌為較佳(未圖示)。
第二基板2例如係觸控面板、蓋玻片和覆蓋膜等藉由接著成覆蓋第一基板1來構成觸控面板式的平板顯示器(FPD)、3D(3維)顯示器和電子書等者。
如第1圖(a)~(d)所示，作為第二基板2的具體例，示出使用觸控面板之情況。
並且，作為第二基板2的其他例雖未圖示，但能夠代替觸控面板，使用蓋玻片和覆蓋膜等。
而且，在第二基板2的外周邊設置用於與第一基板1對位之對準標誌為較佳(未圖示)。
並且，第一基板1或第二基板2中的任一個或兩個，不限於使用在其製作階段最終分離者，而能夠使用複數個第一基板1和第二基板2在其製作階段排列設置之分離前的1個者。
而且，第一基板1及第二基板2的外部形狀形成為例如矩形、大致矩形或與其類似之形狀。第一基板1及第二基板2的尺寸形成為在兩者的貼合狀態下，第一基板1或第二基板2中的任一個大於另一個，或第一基板1及第二基板2的外邊緣彼此分別重疊之相同尺寸。
接著劑3使用例如吸收光能來進行聚合並固化而產生接著性的具有光固化性之光固化型接著劑。並且，能夠代替光固化型接著劑，使用藉由熱能的吸收來進行聚合並固化之熱固化型接著劑或二液混合固化型接著劑等。
如第1圖(a)~(d)所示，作為接著劑3的具體例，使用光學彈性樹脂或光學透明薄片來塗佈於作為第一基板1之LCM的影像顯示構件1d。
並且，作為接著劑3的其他例雖未圖示，但能夠代替光學彈性樹脂或光學透明薄片，使用其他光固化型接著劑、熱固化型接著劑和二液混合固化型接著劑等。
第一保持構件11與第二保持構件12例如由平台構成，且配設成在後述之腔室14內沿Z方向相互對置，前述平台由金屬和陶瓷等剛體形成為不會應變(撓曲)變形之厚度的平板狀。若詳細說明，將在真空環 境中膨脹變形之LCM等第一基板1保持為裝卸自如之第一保持構件11配置於下方，將觸控面板等第二基板2保持為裝卸自如之第二保持構件12配置於上方。
第一保持構件11與第二保持構件12的對置面上分別設置有將第一基板1和第二基板2保持為裝卸自如之保持機構(未圖示)。
作為第一保持構件11的保持機構，使用與第一基板1沿Z方向進出自如地嵌合並在XYθ方向上定位之卡盤等。
作為第二保持構件12的保持機構，使用將第二基板2保持懸吊成裝卸自如之例如黏著卡盤、靜電卡盤和吸引卡盤的組合等。
而且，第一保持構件11或第二保持構件12中的任一個或第一保持構件11及第二保持構件12兩者被支撐為相對於後述之腔室14的周壁在Z方向上移動自如，並且與後述之驅動機構13連設。
並且，雖未圖示，但第一保持構件11或第二保持構件12中的任一個或兩個具備依據前述之位置檢測部而動作之對位用驅動部，且藉由使第一保持構件11與第二保持構件12沿XYθ方向相對移動來使第一基板1與第二基板2對位。
並且，第一保持構件11具有空間部11a，在第一基板1上隨著後述之腔室14內的減壓而沿Z方向突出變形之膨脹部1a沿Z方向進入到前述空間部11a。
而且，第一保持構件11具有設置成與第一基板1的外緣部1b對置而將外緣部1b保持為裝卸自如之框狀部11b，且在框狀部11b的中央位置劃分形成有空間部11a，膨脹部1a沿Z方向進入到空間部11a為較佳。
框狀部11b形成為與第一基板1的外形尺寸對應之邊框狀，且藉由載置第一基板1的外緣部1b，構成為將第一基板1整體支撐為至少不會在Z方向上位置偏移。在框狀部11b的中央開設有空間部11a，從而使 後述之驅動機構13的按壓部13a能夠沿Z方向移動。
驅動機構13具有通過空間部11a而與第一基板1的膨脹部1a沿Z方向抵接之按壓部13a。而且，藉由後述之控制部(未圖示)對驅動機構13進行動作控制，且使按壓部13a或第二保持構件12中的任一個或按壓部13a及第二保持構件12兩者在各自設定之定時沿Z方向升降移動。
亦即，按壓部13a構成為隨著驅動機構13的動作與第一基板1的膨脹部1a沿Z方向抵接，且以膨脹部1a沿Z方向壓縮變形之方式隔著接著劑3及第二基板2朝向第二保持構件12沿Z方向平行地按壓。
腔室14具有：內部空間14a，配設有第一保持構件11及第二保持構件12；及減壓機構14b，將內部空間14a的氣體排出而進行減壓。使用例如搬運機器人等搬運機構(未圖示)以能夠使第一基板1和第二基板2遍及內部空間14a和腔室14的外部空間而進出之方式，將腔室14的整體或一部份構成為開閉自如。
作為腔室14的具體例，在第1圖~第4圖的情況下構成為如下：沿Z方向分割腔室14，且使支撐第一保持構件11之下方的第一分割腔室14c和支撐第二保持構件12之上方的第二分割腔室14d以沿Z方向相對接近或遠離之方式往復移動，藉此，內部空間14a開閉自如且成為密封結構。
並且，作為其他例雖未圖示，但能夠代替分割式，變更為藉由在腔室14的一部份設置開閉自如的門扇，藉此，內部空間14a開閉自如且成為密封結構。
而且，藉由後述之控制部(未圖示)對使腔室14的內部空間14a開閉之驅動部14e進行動作控制，且與前述之搬運機構聯動而在預先設定之定時開閉移動。
該控制部係不僅與前述之第一保持構件11及第二保持構件12的保持機構、驅動機構13、腔室14的減壓機構14b及驅動部14e，還分別與 前述之搬運機構、位置檢測部、對位用驅動部和使接著劑3固化之固化機構等電連接之控制器，且按照在控制電路中預先設定之程序來依次分別進行動作控制。
將設定於控制部的控制電路之程序作為用於生產貼合設備A之製造方法來進行說明。
本發明的實施形態之貼合設備A的製造方法中作為主要步驟而包括如下步驟：保持步驟，以第一保持構件11保持第一基板1，並且以第二保持構件12保持第二基板2；減壓步驟，將腔室14的內部空氣14a從大氣氛圍減壓至預定的真空度；及驅動步驟，藉由驅動機構13使第一保持構件11或第二保持構件12中的任一個朝向另一個或使兩個沿Z方向相對接近移動。
如第1圖(a)所示，保持步驟在大氣氛圍中藉由搬運機構將第一基板1與第二基板2分別搬入腔室14的內部空間14a之後進行，緊接著腔室14進行閉合動作而使內部空間14a成為密封狀態。
如第1圖(b)所示，在減壓步驟中，隨著腔室14內的減壓，第一基板1的一部份沿Z方向突出變形，且使其膨脹部1a沿Z方向進入到第一保持構件11的空間部11a。
如第1圖(c)及第1圖(d)所示，在驅動步驟中，第二保持構件12接近移動而使第二基板與第一保持構件11上的接著劑3抵接從而兩者黏附，驅動機構13的按壓部13a通過空間部11a而與第一基板1的膨脹部1a沿Z方向抵接，且隔著接著劑3及第二基板2朝向第二保持構件12以成為與Z方向平行之方式進行按壓。
驅動步驟之後，使內部空間14a回到大氣氛圍，之後如第1圖(d)的二點虛線所示，腔室14進行開啟動作而將已完成貼合之貼合設備A藉由搬運機構搬出。
之後，反覆進行前述之動作。
依該種本發明的實施形態之貼合設備A的製造裝置及貼合設備A的製造方法，第一基板1保持於腔室14內的第一保持構件11而第二基板2保持於第二保持構件12後，使腔室14的內部空間14a減壓至預定的真空度。如第1圖(b)所示，隨著該減壓，即使第一基板1沿Z方向突出變形，亦由於其膨脹部1a進入到空間部11a，因此第一基板1不會相對於第一保持構件11局部浮起而整體傾斜。在該減壓狀態下藉由驅動機構13的動作，如第1圖(d)所示，藉由驅動機構13的動作，按壓部13a通過空間部11a而與第一基板1的膨脹部1a沿Z方向抵接，且以膨脹部1a壓縮變形之方式隔著接著劑3及第二基板2朝向第二保持構件12沿Z方向平行地按壓，因此壓扁膨脹部1a而使第一基板1和第二基板2隔著接著劑3均勻地被加壓並貼合。
因此，即使第一基板1在真空環境中膨脹，亦能夠壓扁膨脹部1a而與第二基板2相對位置不偏移地貼合。
其結果，能夠將第一基板1與第二基板2的對位維持在高精確度，且防止成品率的下降。尤其，即使第二基板2係觸控面板，由於顯示區域內的圖像的顯示位置和感測器的檢測位置不會從設計位置偏移，因此能夠發揮所希望的性能，且能夠減少次品的產生。
而且，藉由第一保持構件11、按壓部13a及第二保持構件12，相對於夾在第一基板1與第二基板2之間之接著劑3之加壓力均勻，因此在之後向大氣開放，接著劑3中亦不會混入氣泡，且藉由按壓部13a，第一基板1與第二基板2隔著接著劑3均勻地被加壓，因此即使在接著劑3的內部混入空氣等氣體或產生氣體，亦會將該些氣體擠出而不會在面內殘留氣泡。藉此，能夠防止成品率的下降。
並且，無需為了防止真空環境中的第一基板1的膨脹而減慢腔室14的減壓速度，因此能夠縮短腔室14的內部達到預定的真空度為止的時間，且不會降低貼合設備A的生產率而可實現成本的降低。
尤其，第一保持構件11具有將第一基板1的外緣部1b保持為裝卸自如之框狀部11b，在框狀部11b的中央位置形成有第一基板1的膨脹部1a沿厚度方向(Z方向)進入之空間部11a時，即使在第一基板1保持於第一保持構件11的框狀部11b且第二基板2保持於第二保持構件12後，第一基板1隨著腔室14內的減壓而突出變形，亦由於其膨脹部1a沿Z方向進入到框狀部11b的中央位置的空間部11a，因此第一基板1不會相對於第一保持構件11的框狀部11b傾斜。在該減壓狀態下藉由驅動機構13的動作，按壓部13a通過框狀部11b的空間部11a且沿厚度方向(Z方向)接近移動而抵接第一基板1的膨脹部1a，且以膨脹部1a壓縮變形之方式隔著接著劑3及第二基板2朝向第二保持構件12沿Z方向平行地按壓，因此壓扁膨脹部1a而使第一基板1和第二基板2隔著接著劑3均勻地被加壓並貼合。
因此，雖為簡單的結構但能夠使真空膨脹之第一基板1與第二基板2平行地貼合而能夠防止相對的位置偏移。
其結果，維護輕鬆且能夠進一步實現成本降低。
【實施例1】
接著，依據圖式對本發明的各實施例進行說明。
該實施例1如第1圖(a)~(d)所示，係驅動機構13具有與按壓部13a連設而使按壓部13a朝向第二保持構件12沿厚度方向(Z方向)接近移動之第一升降部13b者。
按壓部13a形成為與第一基板1及膨脹部1a對置之平滑的板狀，且設置成在Z方向上移動自如。
而且，驅動機構13具有與第二保持構件12連設而使第二保持構件12朝向按壓部13a沿Z方向往復移動之第二升降部13c。
第一升降部13b及第二升降部13c以如下方式分別進行動作控制：在藉由第二升降部13c的動作而使第二保持構件12朝向第一保持構件 11上的接著劑3沿Z方向接近移動後，藉由第一升降部13b的動作使按壓部13a朝向第一基板1的膨脹部1a沿Z方向接近移動。
亦即，如第1圖(c)所示，首先第二保持構件12接近移動(下降)而使第二基板2與第一保持構件11上的接著劑3抵接。之後，如第1圖(d)所示，驅動機構13的按壓部13a通過空間部11a而朝向第一基板1的膨脹部1a沿Z方向接近移動(上升)，從而使按壓部13a與膨脹部1a抵接。
並且，作為其他例雖未圖示，但能夠與第二保持構件12的接近移動大致同時使驅動機構13的按壓部13a接近移動，從而縮短生產節拍時間。
第1圖(a)~(d)所示之例子中，連接按壓部13a與第一升降部13b之從動桿13b'在Z方向上往復移動自如地貫穿第一保持構件11的支撐板11c。
第一保持構件11的支撐板11c的表面上裝卸自如地安裝有框狀部11b。
依該種本發明的實施例1之貼合設備A的製造裝置及貼合設備A的製造方法，藉由驅動機構13的第一升降部13b的動作，使按壓部13a朝向在第一基板1上隨著腔室14內的減壓而突出變形之膨脹部1a沿第二保持部件12的厚度方向(Z方向)接近移動，藉此按壓部13a沿Z方向與膨脹部1a抵接而使膨脹部1a收縮並被壓扁，而且在按壓部13a與第二保持構件12之間夾入第一基板1、接著劑3及第二基板2而平行地按壓。
因此，能夠使第一基板1在已真空膨脹之膨脹部1a可靠地收縮變形後與第二基板2平行地貼合。
其結果，具有能夠提高第一基板1與第二基板2的對位精確度，且可實現成品率的提高之優點。
尤其，如第1圖(c)所示，首先由第二保持構件12接近移動而使第 二基板2與第一保持構件11上的接著劑3抵接後，如第1圖(d)所示，使按壓部13a與第一基板1的膨脹部1a抵接，此時，在按壓部13a與膨脹部1a抵接之前的時刻，在第二保持構件12與框狀部11b之間，第二基板2隔著接著劑3而與第一基板1的外緣部1b在Z方向上壓接，因此第二基板2與第一基板1不會在Z方向及XYθ方向上發生位置偏移。該狀態下，即使按壓部13a與膨脹部1a抵接，亦能夠順利地吸收其沖擊，且具有進一步提高第一基板1與第二基板2的對位精確度之優點。
而且，實施例1中，在第一保持構件11或第二保持構件12的對置面中的任一面或第一保持構件11及第二保持構件12的對置之兩面上，設置有緩衝材料4。
第1圖(a)~(d)所示之例子中，在按壓部13a的表面上將緩衝材料4配置成與第一基板1的背光源單元1f對置。緩衝材料4的表面上遍及其幾乎整體且隔著預定的間隔設置有多數突起4a，從而整體上形成為凹凸形狀。
並且，作為其他例雖未圖示，但能夠變更緩衝材料4的形狀，或將緩衝材料4設置於第二保持構件12的對置面。
藉此，與第一保持構件11及第二保持構件12的對置面的平行度無關而能夠確保第一基板1與第二基板2的平行度，因此具有能夠完全防止氣泡的產生之優點。
並且，利用本發明的實施例1之貼合設備A的製造裝置，還能夠製造其他結構的貼合設備A'。將該種情況示於第2圖(a)~(d)。
用於第2圖(a)~(d)所示之貼合設備A'之第一基板1'係不具有背光源之玻璃(open cell)結構的液晶顯示器(LCD)等，該種結構體的內部不具有殘留空氣之空間，因此即使在真空環境中亦不會膨脹。
第2圖(a)~(d)所示之例子中，示出包含液晶面板等影像顯示構件1d、驅動電路和驅動用印刷基板1e之第一基板1'的情況。
而且，貼合設備A'中除第一基板1'以外的構成組件使用與第1圖(a)~(d)所示之實施例1相同者。
將第一基板1'保持為裝卸自如之第一保持構件11從支撐板11c卸下框狀部11b，且相對按壓部13a的表面載置第一基板1'且將其保持為裝卸自如。
因此，在1個貼合設備A的製造裝置中，只要對於結構和特徵不同的複數種第一基板1及第一基板1'更換構件即可進行對應，因此還具有方便性優異之優點。
【實施例2】
該實施例2如第3圖(a)、(b)所示，係第一保持構件11的框狀部11b具有以將第一基板1的外緣部1b沿與厚度方向(Z方向)交叉之縱橫方向(XY方向)夾入之方式在縱橫方向(XY方向)上移動自如的把持部位11d，除該種結構與第1圖(a)~(d)等中所示之實施例1不同以外，其他結構與實施例1相同者。
把持部位11d係在第一基板1的外緣部1b的四個角處分割與至少1個角部位對置之框狀部11b的1個部位，並設置成相對於其他部位在橫豎方向(以下稱作XY方向)上移動自如之部位。
把持部位11d上設置有使把持部位11d在第一基板1的外緣部1b的四個角處朝向1個或複數個角部位沿XY方向分別移動而抵接之移動機構11e。移動機構11e由氣缸等驅動器或彈簧等彈性體構成。
第3圖(a)、第3圖(b)所示之例子中，框狀部11b的平面形狀形成為L字形，並配置成在第一基板1的外緣部1b沿著隔著1個角部位連續之兩個邊部位分別向Y方向和X方向延伸。把持部位11d與沿框狀部11b的Y方向延伸之一邊部位11b'及沿X方向延伸之另一邊部位11b"分別平行地對置設置有1對。與沿框狀部11b的Y方向延伸之一邊部位11b'平行地對置之一個把持部位11d'被支撐為在X方向上移動自如。與沿框 狀部11b的X方向延伸之另一邊部位11b"平行地對置之另一個把持部位11d"被支撐為在Y方向上移動自如。該些一對把持部位11d(11d'、11d")上分別連設有一對移動機構11e而使一對把持部位各自移動。該些移動機構11e係彈簧復位式的氣缸，藉由前述之控制部對其進行動作控制，且配合第一基板1的尺寸，使第一基板1的外緣部1b和框狀部11b(11b'、11b")及把持部位11d(11d'、11d")以各自無間隔地相互接觸之方式調整移動。
亦即，把持部位11d的移動機構11e在第一基板1搬入在第一保持構件11的框狀部11b與把持部位11d之間劃分形成之空間部11a之前的時刻，依據預先設定之第一基板1的尺寸數據，使把持部位11d(11d'、11d")以從框狀部11b離開所設定之尺寸的量之方式移動。
並且，作為其他例雖未圖示，但亦能夠將把持部位11d形成為其平面形狀沿X方向和Y方向以L字形延伸，且藉由1個移動機構11e使其朝向平面L字形的框狀部11b斜向移動，或作為把持部位11d的移動機構11e代替彈簧復位式的氣缸而使用除此之外的驅動器或彈簧等彈性體等。
依該種本發明的實施例2之貼合設備A的製造裝置及貼合設備A的製造方法，第一保持構件11的框狀部11b以把持部位11d沿縱橫方向(XY方向)夾入第一基板1的外緣部1b，藉此，框狀部11b及把持部位11d與第一基板1的外緣部1b在XY方向上無間隙地壓接，第一基板1被夾持為不能在XY方向上移動。即使在腔室14減壓時在內部空間14a中產生氣流，第一基板1亦不會位置偏移。
因此，能夠將第一基板1相對於第二基板2之相對的位置偏移抑制在最小限度。
其結果，與實施例1相比，具有能夠進一步提高第一基板1與第二基板2的對位精確度，且能夠實現成品率的進一步的提高之優點。
【實施例3】
該實施例3如第4圖(a)~(d)所示，係按壓部13a在厚度方向(Z方向)上固定成不能移動，第一保持構件11的框狀部11b具有以與基於驅動機構13之第二保持構件12的接近移動聯動之方式在厚度方向(Z方向)上移動自如地進行支撐之支撐部位11f，除該種結構與第1圖(a)~(d)等中所示之實施例1和第3圖中所示之實施例2不同以外，其他結構與實施例1和實施例2相同者。
支撐部位11f係設置於第一保持構件11的框狀部11b之升降導引件，其設置有用於至少設定框狀部11b的上限位置之限位器11g、及用於朝向第二保持構件12沿Z方向對支撐部位11f彈性施力之彈性體11h。
第4圖(a)~(d)所示之例子中，支撐部位11f由豎立設置於下方的第一分割腔室14c之支撐桿11f1、及配置成相對於支撐桿11f1在軸向上往復移動自如之滑動件11f2構成，且藉由在第一保持構件11的支撐板11c上設置複數個滑動件11f2，從而相對於各支撐桿11f1，第一保持構件11的支撐板11c及安裝於其之上之框狀部11b被支撐為在Z方向上移動自如。在第一保持構件11的支撐板11c和下方的第一分割腔室14c之間作為彈性體11h遍及兩者而設置有彈簧，從而構成為與第二保持構件12的接近移動聯動而第一保持構件11的支撐板11c及框狀部11b向相同方向移動。
亦即，如第4圖(b)所示，在腔室14內的減壓結束後，如第4圖(c)所示，藉由第二升降部13c的動作，第二保持構件12接近移動(下降)而使第二基板2與第一保持構件11上的接著劑3抵接後進一步向相同方向進行按壓。隨此，如第4圖(d)所示，使框狀部11b與彈性體11h的施力對抗而向相同方向聯動(下降)。藉此，按壓部13a相對地通過空間部11a而與第一基板1的膨脹部1a接近，最後使第一基板1的膨脹部1a 與按壓部13a抵接，且以膨脹部1a壓縮變形之方式隔著接著劑3及第二基板2朝向按壓部13a沿Z方向平行地按壓。
並且，作為其他例雖未圖示，但能夠代替包含支撐桿11f1及滑動件11f2之支撐部位11f，使用其他結構者，或作為彈性體11h使用除彈簧以外的彈性構件，或者改變支撐部位11f的安裝位置。
依據該種本發明的實施例3之貼合設備A的製造裝置及貼合設備A的製造方法，隨著藉由驅動構件13來使第二保持構件12朝向第一保持構件11接近移動，第一保持構件11的框狀部11b聯動而使保持於框狀部11b之第一基板1的膨脹部1a朝向在厚度方向(Z方向)上固定成不能移動之按壓部13a相對接近移動，並使第一基板1的膨脹部1a與按壓部13a沿Z方向抵接，且以使膨脹部1a壓縮變形之方式隔著接著劑3及第二基板2平行地按壓，因此，壓扁膨脹部1a而使第一基板1與第二基板2隔著接著劑3均勻地被加壓並貼合。
因此，僅以第二保持構件12的接近移動，便能夠將已真空膨脹之第一基板1與第二基板2平行地貼合而防止相對的位置偏移。
其結果，與實施例1相比，不再需要使按壓部13a接近之第一升降部13b，因此具有藉由移動構件的削減而能夠更輕鬆地進行維護且實現成本進一步降低之優點。
另外，前示實施例中，作為第一保持構件11的框狀部11b使用了形成為邊框狀者，但並不限定於此，只要能夠將第一基板1的外緣部1b保持為裝卸自如，則即使不是以邊框狀連續者亦可。
1‧‧‧第一基板
1a‧‧‧膨脹部
1b‧‧‧外緣部
1c‧‧‧框体
1d‧‧‧影像顯示構件
1e‧‧‧驅動用印刷基板
1f‧‧‧背光源單元
2‧‧‧第二基板
3‧‧‧接著劑
4‧‧‧緩衝材料
4a‧‧‧突起
11‧‧‧第一保持構件
11a‧‧‧空間部
11b‧‧‧框狀部
11c‧‧‧支撐板
12‧‧‧第二保持構件
13‧‧‧驅動機構
13a‧‧‧按壓部
13b‧‧‧第一升降部
13b'‧‧‧從動桿
13c‧‧‧第二升降部
14‧‧‧腔室
14a‧‧‧內部空間
14b‧‧‧減壓機構
14c‧‧‧第一分割腔室
14d‧‧‧第二分割腔室
14e‧‧‧驅動部
A‧‧‧貼合裝置

Claims (6)

  1. 一種貼合設備的製造裝置，前述貼合設備係將包含複數個構成組件之第一基板與將其覆蓋之第二基板隔著接著劑沿厚度方向重疊，且沿與該厚度方向交叉之縱橫斜方向相互對位後貼合者，前述貼合設備的製造裝置的特徵在於具備：第一保持構件，其設置成將前述第一基板裝卸自如地保持；第二保持構件，其設置成將與前述第一保持構件之間隔著前述接著劑對置之前述第二基板裝卸自如地保持；驅動機構，其設置成使前述第一保持構件或前述第二保持構件中的任一個朝向另一個、或使兩個沿前述厚度方向相對接近移動；及開閉自如的腔室，其設置成將容納前述第一保持構件及前述第二保持構件之內部空間從大氣氛圍減壓至預定的真空度；前述第一保持構件具有使前述第一基板中隨著前述腔室內的減壓而沿前述厚度方向突出變形之膨脹部沿該厚度方向進入之空間部，前述驅動機構具有按壓部，前述按壓部通過前述空間部沿前述厚度方向與前述第一基板的前述膨脹部抵接，且以該膨脹部壓縮變形之方式沿前述厚度方向隔著前述接著劑及前述第二基板朝向前述第二保持構件平行地按壓。
  2. 如請求項1之貼合設備的製造裝置，其中前述第一保持構件具有將前述第一基板的外緣部裝卸自如地保持之框狀部，在前述框狀部的中央位置形成有使前述第一基板的前述膨脹部沿前述厚度方向進入之空間部。
  3. 如請求項1或2之貼合設備的製造裝置，其中前述驅動機構具有 第一升降部，前述第一升降部係與前述按壓部連設，使該按壓部沿前述厚度方向朝向前述第二保持構件接近移動。
  4. 如請求項2之貼合設備的製造裝置，其中前述第一保持構件的前述框狀部具有把持部位，前述把持部位係以沿與前述厚度方向交叉之縱橫方向將前述第一基板的前述外緣部夾入之方式沿縱橫方向移動自如。
  5. 如請求項2之貼合設備的製造裝置，其中前述第一保持構件的前述按壓部在前述厚度方向上固定成不能移動，前述第一保持構件的前述框狀部具有支撐部位，前述支撐部位係以與利用前述驅動機構之前述第二保持構件的接近移動連動之方式在前述厚度方向上移動自如地進行支撐。
  6. 一種貼合設備的製造方法，前述貼合設備係將包含複數個構成組件之第一基板與將其覆蓋之第二基板隔著接著劑沿厚度方向重疊，且沿與該厚度方向交叉之縱橫斜方向使前述第一基板與前述第二基板相對移動而相互對位後貼合者，前述貼合設備的製造方法的特徵在於包括如下步驟：保持步驟，其係以具有空間部之第一保持構件保持前述第一基板，且以第二保持構件保持與前述第一保持構件之間隔著前述接著劑對置之前述第二基板；減壓步驟，其係將容納前述第一保持構件及前述第二保持構件之腔室的內部空間從大氣氛圍減壓至預定的真空度；及驅動步驟，其係藉由驅動機構使前述第一保持構件或前述第二保持構件中的任一個朝向另一個、或使兩個沿前述厚度方向相對接近移動；在前述保持步驟中，使前述第一基板中隨著前述腔室內的減壓而沿前述厚度方向突出變形之膨脹部沿該厚度方向進入到前 述第一保持構件的前述空間部，在前述驅動步驟中，前述驅動機構的按壓部通過前述空間部沿前述厚度方向朝向前述第一基板的前述膨脹部接近移動而抵接，且沿前述厚度方向隔著前述接著劑及前述第二基板朝向前述第二保持構件平行地按壓。
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