JP2009230039A - 電気光学装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】電気光学パネルと基板との位置ずれを低減する。
【解決手段】本発明の電気光学装置の製造方法は、電気光学パネルと透光性を有し電気光学パネルから射出された光を視認側に射出する基板と、を備えた電気光学装置の製造方法である。電気光学パネル又は基板の少なくともいずれか一方の一面に光硬化性を有する接着剤を塗布する塗布工程と、接着剤を介して電気光学パネルと基板とを対向させて位置合わせする配置工程と、配置工程の後に接着剤の一部を硬化させ電気光学パネルと基板とを仮接着する仮接着工程と、仮接着工程の後に接着剤を硬化させ電気光学パネルと基板とを本接着する本接着工程と、を有している。仮接着工程では、接着剤に光を照射する複数回数の光照射処理によって接着剤を硬化させるとともに、複数回数の光照射処理の間に電気光学パネルと基板との位置合わせを行う。
【選択図】図２

Description

本発明は、電気光学装置の製造方法に関する。

従来から、パーソナルコンピュータや携帯電話、テレビジョン受像機等の電子機器の表示部には、液晶装置や有機エレクトロルミネッセンス装置、電気泳動装置等の電気光学装置が用いられている。このような電気光学装置の視認側には、電子機器の用途に応じて透光性を有する基板が設けられることがある。例えば、耐刷性や耐候性を求められる電子機器において、視認側の表面を保護するカバーガラスが設けられることがある。また、カーナビゲーションシステム等の多視点表示装置において各視点用の画像を分離する用途や、立体視表示装置において左目用の画像と右目用の画像とを分離する用途、秘匿性が求められる情報を表示する電気機器において覗き見を防止する用途等で、視野角を制限するバリアガラス等が設けられることもある。また、入力機能を有するタッチパネル等が設けられる場合もある。

このような電気光学装置は、電気光学物質層やこれに電気信号を供給する電気回路等が設けられた電気光学パネル（例えば液晶パネル）を形成した後に、液晶パネルの視認側の所定位置に基板を接着することにより製造されている。基板の接着方法としては、特許文献１に開示されている方法の適用が考えられる。特許文献１では、液晶パネルの製造工程において２枚の基板を光硬化型接着材によって接着している。詳しくは、仮ＵＶ硬化工程で２枚の基板を搬送するとともに、光硬化型接着材に紫外線を照射しこれを硬化させて仮接着し、本ＵＶ硬化工程で光硬化型接着材をより確実に結晶粒領域まで硬化させて本接着している。
特開平１１−３１１７９４号公報

特許文献１の技術のように２枚の基板を仮接着した後に本接着すれば、仮接着と本接着との間に生じる位置ずれ、例えば搬送による位置ずれ等を防止することが可能であると考えられるが、位置ずれをさらに低減する観点から改善すべき点がある。

光硬化型接着材は、紫外線照射によってエネルギーを付与され、重合等の化学反応が進行することによって硬化する。このような硬化過程において、組成や体積が変化すること等により、光硬化型接着材に歪（硬化歪）を生じることがある。すると、光硬化型接着材を介して仮接着された部材の相対位置が、硬化歪によって所定の位置と異なってしまう。

例えば、液晶パネルに視野角を制限するバリアガラスを設けて電気光学装置を構成する場合に、液晶パネルとバリアガラスとに位置ずれを生じると、液晶パネルから射出された光の一部が所定方向以外に向けて射出されてしまう。すると、この光が示す画像が所定方向以外から視認され、視野角を制限する機能が損なわれてしまう。

本発明は、前記事情に鑑み成されたものであって、位置精度を格段に向上させて透光性の基板を接着することが可能な電気光学装置の製造方法を提供することを目的の一つとする。

本発明の電気光学装置の製造方法は、電気光学パネルと透光性を有し前記電気光学パネルから射出された光を視認側に射出する基板と、を備えた電気光学装置の製造方法であって、前記電気光学パネル又は前記基板の少なくともいずれか一方の一面に光硬化性を有する接着剤を塗布する塗布工程と、前記接着剤を介して前記電気光学パネルと前記基板とを対向させて位置合わせする配置工程と、前記配置工程の後に前記接着剤の一部を硬化させ前記電気光学パネルと前記基板とを仮接着する仮接着工程と、前記仮接着工程の後に前記接着剤を硬化させ前記電気光学パネルと前記基板とを本接着する本接着工程と、を有し、前記仮接着工程では、前記接着剤に光を照射する複数回数の光照射処理によって該接着剤を硬化させるとともに、前記複数回数の光照射処理の間に前記電気光学パネルと前記基板との位置合わせを行うことを特徴とする。

このようにすれば、仮接着工程で複数回数の光照射処理によって接着剤を硬化させるので、これを１回のみの光照射処理によって行う場合に比べて、光照射処理１回あたりの接着剤の硬化度が小さくなり、光照射処理１回あたりの接着剤の硬化による歪（硬化歪）が小さくなる。また、複数回数の光照射処理の間に電気光学パネルと基板との位置合わせ処理を行うので、位置合わせ処理前の光照射処理で生じた硬化歪をなくすことができる。これにより、仮接着工程後における電気光学パネルと基板との位置ずれ量は、位置合わせ処理後の光照射処理で生じた硬化歪のみに依存するようになる。したがって、１回のみの光照射処理によって仮接着工程を行う場合に比べて、電気光学パネルと基板との位置ずれが低減される。よって、本接着工程における硬化歪による電気光学パネルと基板との位置ずれが低減され、良好な電気光学装置を製造することが可能になる。

また、前記仮接着工程では、前記接着剤の２箇所以上を硬化させることが好ましい。
接着剤の１箇所を硬化させると、電気光学パネルと基板との相対位置をその面に沿う２方向（例えばＸ方向、Ｙ方向）において規制することができる。前記のように接着剤の２箇所以上を硬化させると、Ｘ方向、Ｙ方向に加えてＸＹ面内の回転方向も規制することができる。

また、前記仮接着工程では、位置合わせ前の光照射処理によって接着剤の所定部分の硬化度を２０％以上にするとともに前記複数回数の光照射処理によって、前記所定部分の硬化度を略１００％にすることが好ましい。
このようにすれば、位置合わせ前の硬化度が２０％以上になっているので位置合わせ後の光照射処理による硬化度が８０％以下になり、位置合わせ後の硬化歪が十分に小さくなる。また、所定部分の硬化度を略１００％にすれば、本接着工程で硬化させる部分の硬化歪による位置ずれが格段に低減される。

また、前記配置工程では、前記電気光学パネルと前記基板との間に前記接着剤を部分的に塗布した後、前記電気光学パネルと前記基板とを互いに接近する方向に押圧して前記接着剤を前記電気光学パネルと前記基板との間に押し広げ、前記仮接着工程の前記光照射処理では、前記配置工程で前記接着剤を塗布した部分に光を照射することが好ましい。
電気光学パネルと基板との間において接着剤を部分的に塗布すれば、全面に塗布する場合に比べて、接着剤が電気光学パネルあるいは基板と接する接面積が小さくなる。したがって、電気光学パネルと基板とを押し合わせる力により接着剤に働く応力が大きくなり、接着剤を薄く押し広げることが可能になる。よって、押し広げられた接着剤の厚みのばらつきが小さくなり、接着剤を均一な厚みで配置することができる。
また、配置工程で接着剤を塗布した部分には接着剤が確実に配置されており、その厚みは押し広げた部分に比べて薄くならないので、この部分に仮接着工程の光照射処理で光を照射すれば確実に接着剤の一部を硬化させることができる。

前記塗布工程では、前記電気光学パネル又は前記基板の少なくともいずれか一方の一面の周縁部に前記接着剤を塗布し、前記仮接着工程の光照射処理では、前記電気光学パネルと前記基板とを互いに接近する方向に押圧し、かつその押圧力を前記周縁部においてその中央側よりも強くするとともに、前記周縁部に塗布された接着剤に光を照射することが好ましい。
光照射処理において、周縁部においてその中央側よりも強い押圧力で電気光学パネルと基板とを互いに接近する方向に押圧すれば、周縁部において電気光学パネルと基板との剥離を防止することができる。周縁部において接着剤が電気光学パネルと基板との双方に接した状態で光を照射して接着剤を硬化させるので、接着剤の接着性を良好に発現させることができる。

また、前記電気光学パネルとして、第１の画像を表示する第１領域と、前記第１の画像と異なる第２の画像を表示する第２領域とを有する電気光学パネルを用いるとともに、
前記基板として、前記第１領域からの光を第１方向に向けて射出し、かつ前記第２領域からの光を前記第１方向と異なる第２方向に向けて射出する基板を用いることもできる。
このようにすれば、第１の画像が第１方向から視認されるとともに第２の画像が第２方向から視認される電気光学装置を製造することができる。前記のように本発明によれば、電気光学パネルと基板との位置ずれを低減することができるので、所定の画像が所定方向以外から視認されることが防止され、視野角が高精度に制限された電気光学装置を製造することができる。

また、前記仮接着工程における前記複数回数の光照射処理の各々で照射する光のエネルギーを前記複数回数の光照射処理で略均等にすることもできる。
このようにすれば、複数回数の光照射処理の各々を同様にして行うことが可能になり、光照射処理が容易になる。

また、前記仮接着工程では、前記複数回数の光照射処理のうち前記位置合わせ処理の前に行う光照射処理で照射する光のエネルギーの総量を、前記位置合わせ処理の後に行う光照射処理で照射する光のエネルギーの総量よりも小さくすることもできる。
このようにすれば、位置合わせ処理前において位置合わせ処理後よりも照射する光のエネルギーの総量を大きくした場合に比べて、位置合わせ処理前の硬化度が小さくなる。したがって、位置合わせ処理において接着剤を変形させることが容易になり、位置合わせ処理が容易になるとともに精度を高めることができる。

以下、本発明の一実施形態を説明するが、本発明の技術範囲は以下の実施形態に限定されるものではない。以降の説明では図面を用いて各種の構造を例示するが、構造の特徴的な部分を分かりやすく示すために、図面中の構造はその寸法や縮尺を実際の構造に対して異ならせて示す場合がある。本実施形態に係る電気光学装置の製造方法の説明に先立ち、これにより得られる電気光学装置の一例を説明する。

図１（ａ）は、本例の電気光学装置の概略構成を模式的に示す斜視図であり、図２（ｂ）は、図１（ａ）のＢ−Ｂ’線矢視断面図である。
図１（ａ）に示すように電気光学装置１００は、電気光学パネル１１０と、電気光学パネル１１０の一方の側に接着剤層１３０を介して接着された基板１２０とを備えている。本例では、電気光学パネル１１０及び基板１２０は、いずれも平面視略長方形のものである。以下、図１（ａ）に示したＸＹＺ直交座標系を設定し、これに基づいて部材の位置関係を説明する。このＸＹＺ直交座標系において、Ｘ方向が電気光学パネル１１０の長辺方向、Ｙ方向が電気光学パネル１１０の短辺方向となっており、Ｚ方向が電気光学パネル１１０の厚さ方向になっている。

電気光学パネル１１０は、電気光学物質層とこれに電圧を印加する手段とを備えたものである。電気信号に基づいた電圧印加により電気光学物質層の状態を変化させ、所望の光を取り出すことが可能になっている。電気光学パネルの具体例としては、電気光学物質層に液晶材料を用いた液晶パネルや、有機エレクトロルミネッセンス材料を用いた有機ＥＬパネル、電気泳動物質を用いた電気泳動パネル、プラズマ状物質を用いたプラズマパネル等が挙げられる。本例では、電気光学パネルとして液晶パネルを採用している。

本例の液晶パネル（電気光学パネル）１１０は、アクティブマトリクス型のアレイ基板１１１と、これに対向配置されたカラーフィルタ基板１１２と、これら基板間に挟持された液晶層（電気光学物質層）１１４とを有している。カラーフィルタ基板１１２の周縁部にはシール材１１５が設けられており、液晶層１１４は、シール材１１５によってアレイ基板１１１とカラーフィルタ基板１１２との間に封止されている。シール材１１５と重なり合う部分は、額縁となっている。額縁は表示に用いない部分であり、これと重なり合う部分のカラーフィルタ基板１１２のＺ正方向側にはアライメントマーク１１３が設けられている。

アレイ基板１１１、カラーフィルタ基板１１２の詳細な構成は図示しないが、アレイ基板１１１には、Ｘ方向に延びる多数の走査線、及びＹ方向に延びる多数のデータ線が設けられている。走査線は、走査信号を供給する走査線駆動回路と電気的に接続され、データ線は画像信号を供給するデータ線駆動回路と電気的に接続される。データ線と走査線とは互いに直交しており、その交差部付近に走査信号に基づいて画像信号をスイッチングする薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）が設けられている。

データ線と走査線とに区画された１つの領域がサブ画素となっており、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各々に対応するサブ画素が１組で１つの画素を構成している。サブ画素の各々には、前記ＴＦＴと電気的に接続された画素電極や、共通電極等が設けられている。画素電極に画像信号が伝達されると、画素電極と共通電極との間に電界が生じ、この電界により液晶層１１４の液晶分子の方位角が制御される。液晶分子の方位角を制御する方式としては、ＴＮ方式、ＶＡ方式等の縦電界方式や、ＦＦＳ方式、ＩＰＳ方式等の横電界方式のいずれを用いてもよい。一般に、縦電界方式のものでは、画素電極がアレイ基板に設けられ共通電極がカラーフィルタ基板に設けられる。横電界方式のものでは、画素電極及び共通電極がともにアレイ基板に設けられる。

カラーフィルタ基板１１２には、前記サブ画素の各々に対応させて色材部が設けられている。色材部は、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各々に対応する３種類が周期的に設けられている。例えば、Ｒに対応する色材部は、赤色光以外の波長帯域光を吸収するようになっており、ここを通った光は赤色光となって射出される。３つのサブ画素から射出された光は、それぞれ赤色光、緑色光、青色光となり、これらが混じり合って視認されることにより、フルカラー表示の最小単位を示すようになっている。本例の液晶パネル１１０は、Ｘ方向に並ぶ第１領域Ａ１（Ｘ負方向側）と第２領域Ａ２（Ｘ正方向側）とを有している。第１領域Ａ１と第２領域Ａ２とで、互いに独立した画像を示す光を射出することが可能になっている。

接着剤層１３０は、光エネルギーを吸収して重合が進行することにより硬化して接着性を発現する光硬化性を有する接着剤からなっている。本例の接着剤層１３０は、紫外線硬化性のエポキシ系樹脂を含有した接着剤に紫外線を照射して形成されており、第１領域Ａ１及び第２領域Ａ２から額縁まで張り出して配置されている。このような接着剤は、吸収する光エネルギー量に応じて重合が進行し、重合が進行するにつれて組成や体積の変化を生じる。重合度（硬化度）は、照射する光エネルギー量を制御することによりを制御可能であり、具体的には照射する光の光強度を強くするほど、あるいは照射する時間を長くするほど硬化度が高くなる。接着剤は、硬化度が低い状態では流動性を有しており、硬化度が高くなるにつれて流動性が低下し変形しにくくなる。

基板１２０は、ガラスや石英、プラスチック等の透光性を有する材料からなるものである。基板１２０は、液晶パネル１１０から射出された光を透過しＺ正方向側（視認側）に射出するとともに、電気光学装置１００の用途に応じた機能を有している。本例では、基板としてカバーガラス１２０を採用しており、その大きさはカラーフィルタ基板１１２と同程度である。また、前記額縁と重なり合う部分のＺ正方向側にはアライメントマーク１２１が設けられている。アライメントマーク１１３、１２１は、電気光学装置１００の製造時において、液晶パネル１１０とカバーガラス１２０との位置合わせに用いるものである。

カバーガラス１２０は、液晶パネル１１０の視認側を保護する機能と、液晶パネル１１０の視野角を制限する機能とを有している。ここでは、液晶パネル１１０の第１領域Ａ１から入射した光をＺ正方向に向かうにつれてＸ負方向に向かう方向（第１方向）に射出するとともに、液晶パネル１１０の第２領域Ａ２から入射した光をＺ正方向に向かうにつれてＸ正方向に向かう方向（第２方向）に射出するようになっている。前記のように第１領域Ａ１と第２領域Ａ２とで異なる画像を示す光を射出可能になっており、第１領域Ａ１から射出された光Ｌ１によって第１方向側に画像を表示するとともに、これと異なる画像を第２領域Ａ２から射出された光Ｌ２によって第２方向に表示することが可能になっている。例えば、電気光学装置１００をカーナビゲーションシステムの表示部に用いると、第１領域Ａ１に運転者用の画像を表示するとともに、第２領域Ａ２に助手席乗員用の画像を表示することが可能になる。

このような電気光学装置１００において、液晶パネル１１０とカバーガラス１２０とで位置ずれを生じると以下のような不都合を生じる。液晶パネルからカバーガラスが張り出してしまい、電気光学装置の小型化の妨げとなることがある。また、電気光学装置を電子機器の表示部に用いる場合に、電気機器の筐体の所定位置に収容できなくなることもある。また、液晶パネルの所定の領域から射出された光が、カバーガラスから所望の方向と異なる方向に射出されてしまい、視野角を制限する機能が損なわれてしまうこともある。
ところが、電気光学装置１００は、本発明の電気光学装置の製造方法を適用して製造されているので、液晶パネル１１０とカバーガラス１２０との位置ずれが低減され、良好なものになっている。

次に、図２、図３（ａ）、（ｂ）、図４（ａ）、（ｂ）を参照しつつ、電気光学装置１００に基づいて本発明に係る電気光学装置の製造方法の一実施形態を説明する。図２は、本実施形態の製造方法を示すフローチャート、図３（ａ）は接着剤描画処理（図２のステップＳ５）を示す斜視図、図３（ｂ）は仮接着工程（図２のステップＳ８〜Ｓ１０）を示す断面図、図４（ａ）は複数の光照射プロセス（図２のステップＳ８、Ｓ１０）における紫外線照射位置を示す平面図、図４（ｂ）は紫外線照射位置の比較例を示す平面図である。

図２に示すように、本実施形態では、ステップＳ１〜Ｓ３で液晶パネル１１０を形成するとともに、液晶パネル１１０の形成とは別にカバーガラス１２０を洗浄し（ステップＳ４）これに接着剤を描画する（ステップＳ５）。
詳しくは、まずアレイ基板１１１の母材としてガラス基板を用意し、ガラス基板を複数の領域に区画し、その各々を１つのアレイ基板形成領域とする。そして、複数のアレイ基板形成領域に一括して、各アレイ基板形成領域に公知の技術等を用いて各種配線や素子等を形成する。また、カラーフィルタ基板１１２の母材としてガラス基板を用意し、アレイ基板側と同様に、複数のカラーフィルタ基板形成領域の各々に、公知の技術等を用いて色材部やブラックマトリクス等を形成する。

次いで、アレイ基板１１１となるガラス基板と、カラーフィルタ基板１１２となるガラス基板とを、スペーサ等を介して真空雰囲気中で貼合せる（ステップＳ１）。次いで、貼合せた状態で、一方のガラス基板をアレイ基板形成領域ごとに個片化してアレイ基板１１１を形成するとともに、他方のガラス基板をカラーフィルタ基板形成領域ごとに個片化してカラーフィルタ基板１１２を形成する（ステップＳ２）。これにより、アレイ基板１１１とカラーフィルタ基板１１２とが貼合された液晶パネルの中間体が得られる。次いで、アレイ基板１１１とカラーフィルタ基板１１２との間に液晶層１１４を形成するとともに、これをシール材１１５によって封止すること等により液晶パネル１１０が得られる（ステップＳ３）。

また、カバーガラスの母材としてガラス基板を用意し、これにスリット等を形成すること等によって視野角を制限する機能を付与する。そして、ガラス基板を個片化してカバーガラス１２０とした後、これを洗浄する。これにより、カバーガラス１２０の表面の異物除去や液晶パネル１１０と接着する側の清浄化を行うことができ、接着剤の接着性を良好に発現させることが可能になる（ステップＳ４）。

次いで、図３（ａ）に示すように、ディスペンサ２００を用いてカバーガラス１２０に接着剤を部分的に描画（塗布）することによって、ステップ５の接着剤描画処理（塗布工程）を行う。具体的には、まず定盤２１０にカバーガラス１２０を着脱可能に固定し、例えばアライメントマーク１２１（図１（ａ）参照）等を用いて、シリンジ２２０とカバーガラス１２０との相対位置を調整する。また、シリンジ２２０の内部に、紫外線硬化性を有するエポキシ系樹脂を含有した接着剤を貯留しておく。そして、カバーガラス１２０とシリンジ２２０との相対位置を変化させつつシリンジ２２０から前記接着剤を吐出して、カバーガラス１２０に接着剤を描画する。

ここでは、ここではカバーガラス１２０の長辺方向（Ｘ方向）に沿って、複数の帯状に接着剤を塗布する。塗布された帯状の接着剤部１３０ａの幅を例えば１ｍｍ程度とし、接着剤部１３０ａの間隔を例えば２ｍｍ程度とする。また、カバーガラス１２０における接着剤部１３０ａの位置を示すデータは、後に仮接着工程で用いるので適宜記憶手段等に記憶させて保持しておく。なお、図３（ａ）には４本の帯状の接着剤部１３０ａを示しているが、実際には多数（例えば１００本程度）設けられている。

次いで、真空雰囲気中で、液晶パネル１１０と接着剤部１３０ａが配置されたカバーガラス１２０とを位置合わせした状態で押し合わせる（ステップＳ６）。これにより、帯状の接着剤部１３０ａが液晶パネル１１０とカバーガラス１２０との間に押し広げられて接着剤層１３０になるとともに、その粘着性により液晶パネル１１０側とカバーガラス１２０側とが密着する。

次いで、図３（ｂ）に示すように仮ＵＶ硬化装置３００を用いて、ステップＳ７の第１アライメント処理（配置工程）を行った後、ステップＳ８〜Ｓ１０の仮接着工程を行う。以下、仮ＵＶ硬化装置３００の構成を説明する。

仮ＵＶ硬化装置３００は、テーブル３１０、テーブル３１０のＺ正方向に配置された加圧板３２０、加圧板３２０の周縁部に配置されたＵＶ照射ヘッド３５０等を備えている。仮ＵＶ硬化装置３００は、テーブル３１０と加圧板３２０との間に、接着剤層１３０を介して密着した液晶パネル１１０及びカバーガラス１２０を配置した状態で、所定の処理を行うようになっている。

テーブル３１０の内部には、図示略の真空ポンプ等に接続されたガス流路３１２が設けられており、ガス流路３１２に通じるとともにテーブル３１０のＺ正方向の表面に通じる多数の真空吸着穴３１１が設けられている。テーブル３１０に液晶パネル１１０を載置した状態で、前記真空ポンプによってガス流路内３１２の真空度を高めると、液晶パネル１１０がテーブル３１０側に真空吸着されここに着脱可能に固定される。

加圧板３２０には、テーブル３１０同様に真空吸着穴３２１、流路３２２が設けられている。加圧板３２０のＺ負方向側にカバーガラス１２０が当接した状態でガス流路内３２２の真空度を高めると、カバーガラス１２０が加圧板３２０に着脱可能に固定される。真空吸着穴３２１は、カバーガラス１２０の中央部に対応させて設けられており、カバーガラス１２０の周縁部を真空吸着しないようになっている。また、カバーガラス１２０の周縁部と対応する部分の加圧板３２０には、ＵＶ照射ヘッド３５０が設けられており、ＵＶ照射ヘッド３５０の周辺には、この部分の加圧板３２０をテーブル３１０側に押圧する付勢手段（バネ）３４０が設けられている。加圧板３２０の中央部には、加圧板３２０のほぼ全体をテーブル３１０側に押圧する押圧部材３３０が設けられている。

仮ＵＶ硬化装置３００には、図示略の移動装置が設けられており、この移動装置によりテーブル３１０と加圧板３２０との相対位置が調整可能になっている。これにより、テーブル３１０に固定された液晶パネル１１０と、加圧板３２０に固定されたカバーガラス１２０との相対位置が調整可能になっている。

以上のような構成の仮ＵＶ硬化装置３００を用いて仮接着工程を行うには、まずテーブル３１０と加圧板３２０との間に、接着剤層１３０を介して密着した液晶パネル１１０及びカバーガラス１２０を配置する。ここでは、ステップＳ５で保持しておいたデータに基づいて、帯状の接着剤部１３０ａ（図３（ａ）参照）が塗布されていた位置とＵＶ照射ヘッド３５０の位置が対応するように、カバーガラス１２０と加圧板３２０との相対位置を調整する。そして、液晶パネル１１０をテーブル３１０に真空吸着させるとともに、カバーガラス１２０を加圧板３２０に真空吸着させる。なお、カバーガラスに入射した紫外線の進行方向がカバーガラスによって変化しない場合には、帯状の接着剤部とＵＶ照射ヘッドとがＺ方向において重なり合うように、これらの位置を対応させればよい。また、紫外線の進行方向がカバーガラスによって変化する場合には、その変化量に応じて帯状の接着剤部とＵＶ照射ヘッドとの相対位置を調整することにより、これらの位置を対応させればよい。

次いで、加圧部材３３０により加圧板３２０全体をテーブル３１０側に押圧するとともに、バネ３４０により加圧板３２０の周縁部をテーブル３１０側に押圧する。これにより、ＵＶ照射ヘッド３５０が配置された加圧板３２０の周縁部は、中央部側よりも強い力で押圧される。したがって、紫外線を照射する部分において液晶パネル１１０とカバーガラス１２０との間に剥離（気泡）を生じることが防止される。また、押圧するとともに、図１に示したアライメントマーク１１３、１２１を用いて前記移動手段によってテーブル３１０と加圧板３２０との相対位置を調整することにより、ステップ７の第１アライメント処理行う。

次いで、ＵＶ照射ヘッド３５０からカバーガラス１２０を通して、接着剤層１３０に紫外線を照射する。前記のようにＵＶ照射ヘッド３５０の位置と帯状の接着剤部１３０ａの位置とを対応させているので、図４（ａ）に示すように、ステップＳ５で接着剤が塗布された領域Ｃ１に紫外線が照射される。これにより、領域Ｃ１の接着剤層１３０の硬化度（重合度）が高くなる。本発明では、光硬化性を有する接着剤成分（エポキシ系樹脂）に付与されるエネルギーを重合開始に必要な量よりも多くし、かつ重合完了に必要な量よりも少なくする。これにより、領域Ｃ１の接着剤層１３０は、流動性を有する範囲内で硬化度が高くなる。本実施形態では、紫外線の強度や照射時間を調整することにより、重合完了に必要な量の３０％程度のエネルギーを付与する。ここでは、領域Ｃ１が直径２ｍｍ程度の円形になっており、接着剤層１３０の周縁部における４箇所の領域Ｃ１に紫外線を照射する。

また、前記のようにＵＶ照射ヘッド３５０の位置と帯状の接着剤部１３０ａの位置とを対応させているので、以下の理由により良好にステップＳ８の第１仮硬化処理（光照射処理）を行うことができる。図４（ｂ）に示す比較例のように、帯状の接着剤部１３０ａの間の領域Ｃ２に紫外線を照射してもこの部分の接着剤層１３０が接着性を発現しない可能性がある。これは、帯状の接着剤部１３０ａがステップＳ６の真空貼合せによってその周辺に押し広げられて接着剤層１３０となっており、領域Ｃ２においては接着剤層１３０の厚みが不十分である場合や端的にはここに接着剤層が配置されていない場合がありえるからである。このような場合には、領域Ｃ２において接着剤層１３０が液晶パネル１１０あるいはカバーガラス１２０と接触していないので、接着剤層１３０の硬化度が高くなってもこれが実質的に接着剤として機能しなくなってしまう。

一方、ステップＳ５で接着剤が塗布された領域Ｃ１では、接着剤層１３０となる際に帯状の接着剤部１３０ａは薄くなるが、帯状の接着剤部１３０ａの間（例えば領域Ｃ２）よりも薄くなることはなく、ましてやここに接着剤がなくなることはない。したがって、図４（ａ）に示したように、当初帯状の接着剤部１３０ａが塗布されていた領域Ｃ１に紫外線を照射すれば、ここの接着剤層１３０の硬化度を確実に高めることができる。また、バネ３４０の押圧によって、紫外線を照射する部分において液晶パネル１１０とカバーガラス１２０との剥離が防止されている。したがって、領域Ｃ１においては接着剤層１３０が液晶パネル１１０とカバーガラス１２０との双方に接触しており、かつその硬化度を確実に高めることができるので、領域Ｃ１の接着剤層１３０が接着剤として良好に機能するようになる。

次いで、前記第１アライメント処理と同様に、アライメントマーク１１３、１２１を用いて前記移動手段によってテーブル３１０と加圧板３２０との相対位置を調整することにより、ステップＳ９の第２アライメント処理（位置合わせ処理）を行う。第１仮硬化処理によって、領域Ｃ１の接着剤層１３０は硬化度が高くなりこれに伴って硬化歪を生じている。この硬化歪は、接着剤層１３０の厚みばらつきや第１仮硬化処理で照射した紫外線の強度ばらつき等に起因してばらつきを有している。そのため、硬化歪により液晶パネル１１０とカバーガラス１２０とに、Ｘ方向やＹ方向、Ｚ軸周りの回転方向の位置ずれを生じているが、第２アライメント処理によってこの位置ずれをなくすことができる。

次いで、第１仮硬化処理と同様にして領域Ｃ１の接着剤層１３０にさらに紫外線を照射することにより、ステップＳ１０の第２仮硬化処理（光照射処理）を行う。第２仮硬化処理では、エポキシ系樹脂に付与するエネルギーを、重合完了に必要な量から第１仮硬化処理で付与した量を差し引いた量（ここでは７０％）以上とする。これにより、領域Ｃ１における接着剤層１３０がほぼ完全に重合し、この部分で液晶パネル１１０とカバーガラス１２０とが仮接着される。第２仮硬化処理でも硬化歪を生じるが、第１仮硬化処理での硬化歪による位置ずれを第２アライメントによって修正しているので、１回の仮硬化処理のみで仮接着した場合に比べて液晶パネル１１０とカバーガラス１２０との位置ずれが格段に低減される。その仕組みについて図５を参照しつつ説明する。

図５は、仮接着工程における時間経過と硬化歪との関係を模式的に示す説明図である。図５の説明図において、横軸は仮硬化処理の開始からの時間を示しており、縦軸は硬化歪の量を示している。ここでは、第１仮硬化処理によって硬化度を５０％とし、第２硬化処理によってさらに硬化度を５０％高くして、接着剤層１３０の硬化度を１００％とする例に基づいて説明する。

従来の方法では、１回の仮硬化処理によって仮接着工程を行うので、硬化歪は、時間進行とともにすなわち硬化度が高くなるにつれて大きくなり、仮接着工程後には硬化歪ａを生じる。
本発明の方法では、複数の光照射処理（第１仮硬化処理、第２仮硬化処理）に分けて仮接着工程を行うので、第１仮硬化処理後に硬化歪ａよりも小さな硬化歪ｂを生じる。ここでは、第１硬化処理で付与するエネルギーの総量を重合完了に必要な量の半分程度としているので、硬化歪ｂは硬化歪ａの半分程度になると考えられる。この硬化歪ｂは、第２アライメント処理によって修正され、第２アライメント処理後の硬化歪はほとんどなくなる。そして、第２仮硬化処理によって硬化歪（ここでは硬化歪ｂ）を生じるが仮接着後の硬化歪としては、従来の方法よりも、第１仮硬化処理における硬化歪ｂの分だけ硬化歪が低減（ここでは半減）される。以上のように、液晶パネル１１０とカバーガラス１２０との位置ずれが格段に低減され、良好に仮接着工程を行うことができる。

次いで、仮接着された液晶パネル１１０とカバーガラス１２０とを適宜搬送して、本硬化装置（図示略）を用いて、ステップＳ１１の本硬化処理（本接着工程）を行う。本硬化装置は、接着剤層１３０のほぼ全面に紫外線を照射するものである。本硬化処理では、エポキシ系樹脂に付与されるエネルギーを重合完了に必要な量以上とする。また、熱硬化性を有する成分を含有した接着剤を用いている場合等には適宜熱処理を行うことにより、接着剤を十分に硬化させて液晶パネル１１０とカバーガラス１２０とを本接着する。

仮接着を行っているので、搬送等による液晶パネル１１０とカバーガラス１２０との位置ずれが防止され、また本接着工程で硬化させた部分の接着剤層１３０の硬化歪が格段に低減される。これにより、組立精度が格段に向上し、また搬送を良好に行うことが可能になり製造効率の向上や製造コストの低減が図られる。すなわち、仮接着によって位置ずれが防止されるので、本接着処理で位置合わせを行う必要性が低くなくなる。したがって、例えばライン処理等が可能になるのでプロセスの簡略化・効率化が図られ、製造効率を向上させることができる。また、本接着装置の位置合わせ機構を簡略化、あるいは省略することができ、装置の低コスト化が図られるので製造コストを低減することができる。

以上のような本発明の電気光学装置の製造方法にあっては、仮接着工程を複数の光照射処理（第１仮硬化処理、第２仮硬化処理）に分けて仮接着工程を行うので、仮接着工程における電気光学パネル（液晶パネル）１１０と基板（カバーガラス）１２０との位置ずれが格段に低減される。したがって、本発明により得られた電気光学装置にあっては、液晶パネル１１０とカバーガラス１２０との位置ずれのマージンを減らすことができ、電気光学装置の小型化が図られる。また、カバーガラスを良好に機能させることができ、良好な電気光学装置となる。例えば、本発明を電気光学装置１００の製造に適用し、液晶パネル１１０にその視野角を制限する機能を有するカバーガラス１２０を接着すれば、液晶パネル１１０の所定の領域から射出される光が所定方向以外から視認されなくなり、良好に視野角を制限することが可能な電気光学装置１００となる。

このような電気光学装置を表示部に用いてカーナビゲーションシステムを構成すれば、運転者に助手席乗務員用の画像が視認されることが防止され、運転者に不要な情報を伝えない良好なものとなる。また、立体視表示装置の表示部に用いれば、左目用の画像が右目によって視認されること等が防止され、高品質な立体画像を表示可能になる。また、秘匿性が必要とされる情報を表示する電子機器の表示部に用いれば、この情報が第三者に視認されることが防止され、情報漏えいを高信頼性で防止可能なものとなる。

また、液晶パネル１１０にタッチパネル（基板）を接着すれば、画像を表示するとともに画像を視認しつつ入力を行うことが可能な多機能な電気光学装置となる。本発明によれば画像の位置と入力部の位置が高精度に対応するようになるので、良好な電気光学装置となる。
以上のように本発明によれば、良好な電気光学装置を効率よく低コストで製造することが可能になる。

なお、前記実施形態では、１種類の精度のアライメントマーク１１３、１２１を用いたが、複数種類の精度のものを併用してもよい。例えば、第２アライメント処理は、その位置調整量が第１アライメント処理よりも小さいと考えられるので、第１アライメント処理では低精度のアライメントマークを用い、第２アライメント処理では高精度のアライメントマークを用いるようにしてもよい。

また、第１仮硬化処理で接着剤に付与するエネルギー量と第２仮硬化処理で接着剤に付与するエネルギー量との比率を適宜変更してもよい。例えば、仮接着工程で接着剤に付与するエネルギー総量に対する割合を第１仮硬化処理で５０％未満とすれば、５０％以上とする場合に比べて接着剤の硬化度が小さくなるので、第１仮硬化処理後の接着剤の流動性が高くなり、第２アライメント処理が容易になる。

また、光照射処理を３回以上行ってもよく、例えば光照射処理を３回行う場合には、１回目と２回目との間、あるいは２回目と３回目との間のいずれか一方において位置合わせを行ってもよいし、両方において位置合わせを行ってもよい。このように光照射処理を挟んで複数回数の位置合わせを行えば、さらに電気光学パネルと基板との位置ずれを低減することができる。

（ａ）は電気光学装置を示す斜視図、（ｂ）はＢ−Ｂ’線矢視断面図である。 本発明の電気光学装置の製造方法を示すフローチャートである。 （ａ）は、接着剤描画処理の斜視図、（ｂ）は仮接着工程の工程図である。 （ａ）は、光照射プロセスの平面図、（ｂ）は比較例である。 位置ずれが低減される仕組みを示す説明図である。

符号の説明

１００・・・電気光学装置、１１０・・・液晶パネル（電気光学パネル）、１１１・・・アレイ基板、１１２・・・カラーフィルタ基板、１１４・・・液晶層（電気光学物質層）、１２０・・・カバーガラス（基板）、１３０・・・接着剤層、１３０ａ・・・接着剤部、Ａ１・・・第１領域、Ａ２・・・第２領域、Ｓ８・・・第１仮硬化処理（光照射処理）、Ｓ９・・・位置合わせ処理、Ｓ１０・・・第２仮硬化処理（光照射処理）

Claims (8)

1. 電気光学パネルと透光性を有し前記電気光学パネルから射出された光を視認側に射出する基板と、を備えた電気光学装置の製造方法であって、
   前記電気光学パネル又は前記基板の少なくともいずれか一方の一面に光硬化性を有する接着剤を塗布する塗布工程と、
   前記接着剤を介して前記電気光学パネルと前記基板とを対向させて位置合わせする配置工程と、
   前記配置工程の後に前記接着剤の一部を硬化させ前記電気光学パネルと前記基板とを仮接着する仮接着工程と、
   前記仮接着工程の後に前記接着剤を硬化させ前記電気光学パネルと前記基板とを本接着する本接着工程と、を有し、
   前記仮接着工程では、前記接着剤に光を照射する複数回数の光照射処理によって該接着剤を硬化させるとともに、前記複数回数の光照射処理の間に前記電気光学パネルと前記基板との位置合わせを行うことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
2. 前記仮接着工程では、前記接着剤の２箇所以上を硬化させることを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置の製造方法。
3. 前記仮接着工程では、位置合わせ前の光照射処理によって接着剤の所定部分の硬化度を２０％以上にするとともに前記複数回数の光照射処理によって、前記所定部分の硬化度を略１００％にすることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気光学装置の製造方法。
4. 前記配置工程では、前記電気光学パネルと前記基板との間に前記接着剤を部分的に塗布した後、前記電気光学パネルと前記基板とを互いに接近する方向に押圧して前記接着剤を前記電気光学パネルと前記基板との間に押し広げ、
   前記仮接着工程の前記光照射処理では、前記配置工程で前記接着剤を塗布した部分に光を照射することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の電気光学装置の製造方法。
5. 前記塗布工程では、前記電気光学パネル又は前記基板の少なくともいずれか一方の一面の周縁部に前記接着剤を塗布し、
   前記仮接着工程の光照射処理では、前記電気光学パネルと前記基板とを互いに接近する方向に押圧し、かつその押圧力を前記周縁部においてその中央側よりも強くするとともに、前記周縁部に塗布された接着剤に光を照射することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の電気光学装置の製造方法。
6. 前記電気光学パネルとして、第１の画像を表示する第１領域と、前記第１の画像と異なる第２の画像を表示する第２領域とを有する電気光学パネルを用いるとともに、
   前記基板として、前記第１領域からの光を第１方向に向けて射出し、かつ前記第２領域からの光を前記第１方向と異なる第２方向に向けて射出する基板を用いることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の電気光学装置の製造方法。
7. 前記仮接着工程における前記複数回数の光照射処理の各々で照射する光のエネルギーを前記複数回数の光照射処理で略均等にすることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の電気光学装置の製造方法。
8. 前記仮接着工程では、前記複数回数の光照射処理のうち前記位置合わせ処理の前に行う光照射処理で照射する光のエネルギーの総量を、前記位置合わせ処理の後に行う光照射処理で照射する光のエネルギーの総量よりも小さくすることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の電気光学装置の製造方法。

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