KR102009487B1 - 디스플레이 패널의 합착 장치 및 합착 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 컬러 필터 어레이 기판을 점착시키는 과정에서 낙하되는 것을 방지하기 위한 디스플레이 패널의 합착 장치 및 합착 방법을 제공하는 것으로, 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 합착 장치는 제1기판을 지지하는 제1지지부, 및 상기 제1기판에 합착되는 제2기판을 지지하는 제2지지부를 포함하고, 상기 제2지지부는, 상기 제2기판이 점착되는 점착부, 상기 점착부에 설치되어 상기 점착부로부터 상기 제2기판을 분리하기 위한 기판 분리부, 상기 점착부가 승강 가능하게 설치되는 승강 가이드 홈을 가지는 스테이지, 및 상기 점착부를 승강시키는 승강부를 포함하여 구성될 수 있고, 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 합착 방법은 제1기판을 제1지지부에 고정하는 단계, 상기 제1기판에 합착되는 제2기판을 제2지지부에 고정하고, 제2지지부에 고정된 제2기판을 상기 제1기판 상으로 낙하시키는 단계, 및 상기 제1 및 제2기판을 합착하는 단계를 포함하고, 상기 단계는, 점착부에 상기 제2기판을 점착시키는 단계, 상기 점착부에 점착된 제2기판과 상기 제1기판 간의 위치를 정렬하는 단계, 상기 점착부에 설치된 기판 분리부를 이용해 상기 점착부로부터 상기 제2기판을 분리하면서 상기 점착부를 상승시켜 상기 점착부로부터 상기 제2기판을 완전 분리하여 상기 제 1 기판 상으로 낙하시키는 단계를 포함하여 이루어질 수 있다.

Description

디스플레이 패널의 합착 장치 및 합착 방법{APPARATUS AND METHOD FOR ATTACHING DISPLAY PANEL}
본 발명은 디스플레이를 제조하기 위한 트랜지스터 어레이 기판 및 컬러 필터 어레이 기판을 합착시키기 위한 디스플레이 패널의 합착 장치 및 합착 방법에 관한 것이다.
최근 업계에서는 디스플레이에 대한 디자인적인 측면 강조 등을 위해 슬림(Slim)화된 디스플레이에 대한 수요가 증가하고 있다. 이에 따라, 최근 업계에서는 슬림화된 디스플레이에 대한 개발이 활발하게 이루어지고 있다. 슬림화된 디스플레이를 제조하기 위한 방안으로는 기판을 얇은 두께로 형성하는 방법이 제안되었다.
디스플레이는 음극관 디스플레이(CRT; Cathode Ray Tube)에서 플라즈마 디스플레이(PDP; Plasma Display Panel), 액정 디스플레이(LCD; Liquid Crystal Display), 전기 영동 디스플레이(EPD; Electrophoretic Display) 및 유기 전계 발광 디스플레이(OLED; Organic Light Emitting Diodes)등이 개발되어 사용되고 있다. 그 중, 액정 디스플레이는 트랜지스터 어레이 기판에 게이트 배선, 데이터 배선, 박막 트랜지스터(TFT; Thin Film Transistor) 및 화소 전극을 형성하는 트랜지스터 어레이 기판 제조공정과, 컬러 필터 어레이 기판에 블랙 매트릭스, 컬러 필터(C/F; Color Filter) 및 공통 전극을 형성하는 컬러 필터 어레이 기판 제조공정과, 트랜지스터 어레이 기판 및 컬러 필터 어레이 기판을 합착하여 셀 단위로 절단하고, 셀 단위의 트랜지스터 어레이 기판 및 컬러 필터 어레이 기판 사이에 액정을 주입하여 단위 패널을 형성하는 셀(Cell)공정과, 단위 패널에 구동 집적회로(Driving IC) 및 인쇄 회로 기판(PCB)을 부착하고 백 라이트 유닛(Backlight unit)과 조립하는 모듈(Module)공정을 거쳐서 제조된다.
트랜지스터 어레이 기판 및 컬러 필터 어레이 기판을 합착하기 위해서, 종래 기술에 따른 합착 장치는 상기 컬러 필터 어레이 기판을 점착시켜 상기 트랜지스터 어레이 기판에 합착되는 합착 위치에서 탈착시킨다. 여기서, 종래 기술에 따른 합착 장치는 합성 고무막에 청정 공기(CDA; Clean Dry Air)를 주입하여 상기 컬러 필터 어레이 기판을 밀어내는 다이어프램(Diaphragm) 방식을 이용한다. 그런데, 종래 기술에 따른 합착 장치는 상기 트랜지스터 어레이 기판 및 상기 컬러 필터 어레이 기판을 합착하는 과정에서 다음과 같은 문제가 있다.
첫째, 종래 기술에 따른 합착 장치는 점착력이 강할수록 상기 컬러 필터 어레이 기판을 안정적으로 점착시킬 수 있다. 그러나, 상기 다이어프램 방식은 점착력이 강할수록 상기 컬러 필터 어레이 기판을 밀어내어 탈착시키기 어려워 진다. 따라서, 종래 기술에 따른 합착 장치는 최소한의 점착력으로 상기 컬러 필터 어레이 기판을 점착시키기 때문에, 상기 컬러 필터 어레이 기판이 낙하되어 손상되고, 이는 디스플레이에 대한 품질을 저하시키는 문제가 있다.
둘째, 종래 기술에 따른 합착 장치는 이물질 등으로 인해 약한 점착력이 더욱 저하되므로, 이를 방지하기 위해 자주 세척 공정을 수행해야만 하고, 이로 인해 작업자의 업무량 및 장비의 유지 보수 시간이 증가되어 생산성을 저하된다는 문제가 있다.
본 발명은 전술한 문제를 해결하고자 안출된 것으로, 컬러 필터 어레이 기판을 점착시키는 과정에서 낙하되는 것을 방지하기 위한 디스플레이 패널의 합착 장치 및 합착 방법을 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.
전술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 합착 장치는 제1기판을 지지하는 제1지지부, 및 상기 제1기판에 합착되는 제2기판을 지지하는 제2지지부를 포함하고, 상기 제2지지부는, 상기 제2기판이 점착되는 점착부, 상기 점착부에 설치되어 상기 점착부로부터 상기 제2기판을 분리하기 위한 기판 분리부, 상기 점착부가 승강 가능하게 설치되는 승강 가이드 홈을 가지는 스테이지, 및 상기 점착부를 승강시키는 승강부를 포함하여 구성될 수 있다.
본 발명에 따른 디스플레이 패널의 합착 방법은 제1기판을 제1지지부에 고정하는 단계, 상기 제1기판에 합착되는 제2기판을 제2지지부에 고정하고, 제2지지부에 고정된 제2기판을 상기 제1기판 상으로 낙하시키는 단계, 및 상기 제1 및 제2기판을 합착하는 단계를 포함하고, 상기 단계는, 점착부에 상기 제2기판을 점착시키는 단계, 상기 점착부에 점착된 제2기판과 상기 제1기판 간의 위치를 정렬하는 단계, 상기 점착부에 설치된 기판 분리부를 이용해 상기 점착부로부터 상기 제2기판을 분리하면서 상기 점착부를 상승시켜 상기 점착부로부터 상기 제2기판을 완전 분리하여 상기 제 1 기판 상으로 낙하시키는 단계를 포함하여 이루어질 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 합착 장치를 설명하기 위한 제1실시도
도 2는 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 합착 장치 중 점착 척을 설명하기 위한 저면도
도 3은 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 합착 장치를 설명하기 위한 제2실시도
도 4는 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 합착 장치를 설명하기 위한 제3실시도
본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다.
한편, 본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
"적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제1항목, 제2항목 또는 제3항목 각각 뿐만 아니라 제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다.
이하에서는 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 합착 장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 합착 장치를 설명하기 위한 제1실시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 합착 장치 중 점착 척을 설명하기 위한 저면도이고, 도 3은 디스플레이 패널의 본 발명에 따른 합착 장치를 설명하기 위한 제2실시도이고, 도 4는 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 합착 장치를 설명하기 위한 제3실시도이다.
액정 디스플레이(LCD; Liquid Crystal Display)는 트랜지스터 어레이 기판에 게이트 배선, 데이터 배선, 박막 트랜지스터(TFT; Thin Film Transistor) 및 화소 전극을 형성하는 트랜지스터 어레이 기판 제조공정과, 컬러 필터 어레이 기판에 블랙 매트릭스, 컬러 필터(C/F; Color Filter) 및 공통 전극을 형성하는 컬러 필터 어레이 기판 제조공정과, 트랜지스터 어레이 기판 및 컬러 필터 어레이 기판을 합착하여 셀 단위로 절단하고, 셀 단위의 트랜지스터 어레이 기판 및 컬러 필터 어레이 기판 사이에 액정을 주입하여 단위 패널을 형성하는 셀(Cell)공정과, 단위 패널에 구동 집적회로(Driving IC) 및 인쇄 회로 기판(PCB)을 부착하고 백 라이트 유닛(Backlight unit)과 조립하는 모듈(Module)공정을 거쳐서 제조된다.
본 발명에 따른 디스플레이 패녈의 합착 장치는 트랜지스터 어레이 기판 및 컬러 필터 어레이 기판을 대향 합착시켜 디스플레이 패널을 제조하기 위한 것이다. 본 명세서에서는 상기 트랜지스터 어레이 기판을 제1기판(10)으로, 상기 컬러 필터 어레이 기판을 제2기판(20)으로 지칭하여 설명한다. 상기 제1기판(10) 및 상기 제2기판(20)은 상기 트랜지스터 어레이 기판 및 상기 컬러 필터 어레이 기판이 아니라, 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 합착 장치가 합착시킬 수 있는 두 개의 서로 다른 기판일 수도 있다.
본 발명에 따른 디스플레이 패녈의 합착 장치는 제1기판(10)을 지지하는 제1지지부(110), 및 상기 제1기판(10)에 합착되는 제2기판(20)을 지지하는 제2지지부(120)를 포함하고, 상기 제2지지부(120)는 상기 제2기판(20)이 점착되는 점착부(130), 상기 점착부(130)에 설치되는 기판 분리부(150), 상기 점착부(130)가 승강 가능하게 설치되는 승강 가이드 홈(141)을 가지는 스테이지(140), 및 상기 점착부(130)를 승강시키는 승강부(160)를 포함한다.
본 발명에 따른 디스플레이 패녈의 합착 장치는 상기 제2기판(20)을 지지하여 상기 제1기판(10)에 합착시키는 과정에서, 상기 기판 분리부(150)를 이용해 상기 제2기판(20)을 상기 제1기판(10) 쪽으로 가압하여 상기 제2기판(20) 및 상기 점착부(130) 간의 점착력을 약화시키면서, 상기 승강부(160)를 이용해 상기 점착부(130)를 상승시켜 상기 제2기판(20)이 상기 스테이지(140)에 접촉되어 상기 점착부(130)로부터 완전히 분리되도록 한다.
이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이 패녈의 합착 장치는 다음과 같은 효과를 도모할 수 있다.
첫째, 본 발명에 따른 디스플레이 패녈의 합착 장치는 상기 제2기판(20)이 강한 점착력으로 점착되더라도, 상기 승강부(160)에 의해 상기 제2기판(20)을 효과적으로 분리시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이 패녈의 합착 장치는 상기 제2기판(20)을 점착시키는 점착력을 강화시킬 수 있으므로, 상기 제2기판(20)이 상기 제1기판(10)에 합착되는 도중에 낙하되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이 패녈의 합착 장치는 디스플레이에 대한 품질을 향상시킬 수 있다.
둘째, 본 발명에 따른 디스플레이 패녈의 합착 장치는 상기 점착부(130)가 강화된 점착력을 가질 수 있으므로, 디스플레이에 대한 세척 주기가 연장되더라도 상기 제2기판(20)에 대한 점착 기능을 우수하게 지속할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이 패녈의 합착 장치는 디스플레이에 대한 세척 주기를 연장시킴으로써 작업자의 업무량을 감소시키고, 이에 따라 디스플레이를 생산하는 준비시간을 단축시켜 디스플레이에 대한 생산성을 향상시킬 수 있다.
이하에서는, 상기 제1지지부(110), 상기 제2지지부(120), 상기 점착부(130), 상기 기판 분리부(150), 상기 스테이지(140) 및 상기 승강부(160)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1을 참고하면, 상기 제1지지부(110)는 제1기판(10)을 지지하여 상기 제1기판(10)의 위치가 변경되지 않도록 고정할 수 있다. 상기 제1지지부(110)는 상기 제1기판(10)의 하면을 지지한다.
상기 제2지지부(120)는 제2기판(20)을 지지할 수 있다. 상기 제2지지부(120)는 상기 제2기판(20)의 상면에서 지지한다. 상기 제2지지부(120)는 상기 제2기판(20)을 상기 제1기판(10)으로부터 이격되게 위치시킨다. 상기 제2지지부(120)는 상기 제2기판(20)을 상기 제1기판(10)에 대향되게 위치시킨다. 상기 제2지지부(120)는 상기 제2기판(20)을 상기 제1기판(10)에 합착되는 합착 위치에 위치시킬 수 있다. 상기 제2지지부(120)는 상기 제2기판(20)이 상기 제1기판(10)으로부터 이격되는 위치가 변경되도록 승강될 수 있다.
상기 제2지지부(120)는 상기 점착부(130), 상기 스테이지(140), 상기 기판 분리부(150) 및 상기 승강부(160)를 포함한다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 상기 점착부(130)는 점착 방식 또는 흡착 방식을 통해 상기 제2기판(20)을 지지하기 위한 것이다. 상기 점착부(130)는 상기 스테이지(140)에 승강 가능하게 설치된다. 상기 점착부(130)는 상기 승강 가이드 홈(141)에 삽입되는 점착 척(131), 및 상기 점착 척(131)의 하면에 배치되어 상기 제2기판(20)이 점착되는 점착 패드(132)를 포함할 수 있다. 상기 점착 척(131)은 상기 승강 가이드 홈(141)에 승강 가능하게 설치된다.
상기 점착 패드(132)는 상기 점착부(130)는 점착성을 가진다. 따라서, 상기 점착 패드(132)에는 상기 제2기판(20)이 점착된다. 상기 점착 패드(132)는 탄성을 가질 수 있다. 상기 점착 패드(132)는 점착성을 가지는 고무, 합성 고무, 불소(Fluorocarbon) 고무, 또는 바이턴(Viton) 고무일 수 있다.
상기 점착 패드(132)는 제조되는 과정에서 화학적인 변화에 의해 점착력이 조절될 수 있다. 상기 점착 패드(132)는 상기 제2기판(20) 간에 밀착된 정도에 따라 점착력이 변경될 수도 있다. 상기 점착 패드(132)는 상기 제2기판(20) 간에 밀착된 정도가 클수록 상기 제2기판(20)에 접촉되는 면적이 증가된다. 이에 따라, 상기 점착 패드(132)는 상기 제2기판(20)에 접촉되는 면적이 증가될수록 점착력이 강화된다.
상기 점착 패드(132)는 상기 스테이지(140)의 하면으로부터 상기 제1지지부(110) 쪽으로 돌출되게 형성된다. 상기 점착 패드(132)는 상기 점착 척(131)에 분리 가능하게 설치될 수 있다. 따라서, 상기 점착 패드(132)는 교체될 수 있다.
상기 점착 패드(132)는 상기 점착척의 하면에 원형 고리 형태로 배치된다.
상기 스테이지(140)에는 복수 개의 점착부(130)가 일정한 간격으로 설치될 수 있다. 상기 스테이지(140)는 상기 점착부(130)가 승강 가능하게 설치되는 승강 가이드 홈(141)을 가진다. 상기 승강 가이드 홈(141)에는 상기 점착부(130)가 삽입된진다. 상기 스테이지(140)는 상기 점착부(130)가 설치되는 위치마다 상기 승강 가이드 홈(141)을 가질 수 있다. 상기 승강 가이드 홈(141)은 상기 스테이지(140)으로부터 일정한 깊이를 가지도록 오목하게 형성된다. 상기 점착부(130)는 상기 승강 가이드 홈(141)에 삽입되게 위치된다.
도 2를 참고하면, 상기 기판 분리부(150)는 상기 점착부(130), 즉 상기 점착 척(131)에 설치되어, 상기 점착부(130)에 점착된 제2기판(20)을 상기 점착부(130)로부터 분리하기 위한 것이다. 상기 기판 분리부(150)는 상기 점착 패드(132) 및 상기 제2기판(20) 간의 밀착력을 감소시킨다. 상기 기판 분리부(150)는 상기 점착 패드(132)가 상기 제2기판(20)에 접촉되는 면적을 감소시킨다.
도 2 및 도3을 참고하면, 상기 기판 분리부(150)는 상기 점착부(130)에 설치되는 다이어프램(151), 및 상기 다이어프램(151)에 공압을 공급하는 공압 공급 기구(152)를 포함할 수 있다. 상기 다이어프램(151)은 탄성 또는 신축성을 가지는 박막 형태로 형성되어 상기 점착 척(131)에 설치된다. 이에 따라, 상기 다이어프램(151)은 상기 공압 공급 기구(152)로부터 공압의 공급 여부에 따라 팽창되거나 수축될 수 있다. 즉, 상기 다이어프램(151)은 상기 공압 공급 기구(152)로부터 공압이 공급되면 팽창되고, 상기 공압 공급 기구(152)로부터 공압이 공급되지 않으면 수축될 수 있다. 이러한 상기 다이어프램(151)은 공압에 의해 팽창되어 상기 점착부(130)로부터 상기 제2기판(20)을 분리한다.
상기 기판 분리부(150)는 상기 공압 공급 기구(152)에서 공급되는 공압을 가이드하는 공압 배관(153)을 더 포함할 수 있다. 상기 공압 배관(153)은 상기 공압 공급 기구(152) 및 상기 다이어프램(151) 간을 연결한다. 따라서, 상기 공압 배관(153)은 상기 공압 공급 기구(152)에서 공급되는 공압을 상기 다이어프램(151)으로 가이드할 수 있다. 상기 공압 배관(153)은 상기 점착부(130), 즉 상기 점착 척(131)에 설치된다.
도 3을 참고하면, 상기 승강부(160)는 상기 점착부(130)를 승강시킨다. 상기 승강부(160)는 상기 점착부(130)를 상승시켜 상기 승강 가이드 홈(141)에 삽입시킨다. 상기 승강부(160)는 상기 점착부(130)를 상기 승강 가이드 홈(141)으로부터 반출되는 방향으로 하강시킬 수도 있다. 이를 위해, 상기 승강부(160)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류(Ball Screw) 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어(Rack Gear)와 피니언기어(Pinion Gear) 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터(Linear Motor) 등을 이용하여 상기 점착부(130)를 승강시킬 수 있다.
상기 승강부(160)는 상기 점착부(130)를 상승시켜 상기 승강 가이드 홈(141)에 삽입시키면, 상기 점착부(130)에 점착된 제2기판(20)을 상기 점착부(130)로부터 분리시킬 수 있다. 제2기판(20)은 상기 점착부(130)가 상기 승강 가이드 홈(141)에 삽입되는 방향으로 후퇴함에 따라 상기 스테이지(140)의 하면에 접촉되어 상기 점착부(130)로부터 분리된다. 상기 제2기판(20)은 상기 점착부(130)로부터 분리된 후 낙하하여 상기 제1기판(10)에 형성되어 있는 기판 접착 부재(미도시) 상에 안착된 후, 상기 제1기판(10)과 합착될 수 있다. 여기서, 상기 제1 및 제2기판(10, 20)은 공정 챔버의 진공 분위기를 대기압 분위기로 전환하는 벤트(Vent) 공정에 의해 서로 합착될 수 있다.
상기 승강부(160)는 상기 다이어프램(151)이 팽창되면 상기 점착부(130)를 상승시킬 수 있다. 상기 승강부(160)는 상기 다이어프램(151)이 팽창됨과 동시에 상기 점착부(130)를 상승시킬 수도 있다. 상기 승강부(160)는 상기 다이어프램(151)의 팽창에 의해 상기 제2기판(20)과 상기 점착부(130) 간의 점착력이 약화된 이후에, 상기 점착부(130)를 상승시켜 상기 제2기판(20)을 분리시킬 수 있다. 즉, 상기 제2기판(20)은 상기 다이어프램(151)의 팽창에 의해 상기 점착부(130)로부터 분리되면서 상기 점착부(130)의 상승에 따라 상기 스테이지(140)의 하면에 접촉되어 상기 점착부(130)로부터 완전 분리되어 상기 제1기판(10) 상으로 낙하된다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이 패녈의 합착 장치는 상기 다이어프램(151)의 동작 이후에 상기 승강부(160)를 동작시킴으로써 상기 점착부(130)로부터 상기 제2기판(20)을 효율적으로 분리시킬 수 있다. 즉, 상기 승강부(160)가 먼저 상승(또는 후퇴)한 이후에 상기 다이어프램(151)이 동작하게 되면, 상기 점착 패드(132)와 상기 제2기판(20) 간의 강한 점착력으로 인하여 상기 제2기판(20)이 상기 점착 패드(132)로부터 분리되지 않고, 상기 점착 패드(132)에 점착된 제2기판(20)의 점착 부분이 점착 패드(132)의 상승과 함께 상승됨으로써 상기 제2기판(20)의 형태가 변형되게 된다. 이러한 상기 제2기판(20)의 변형을 방지하기 위해, 상기 승강부(160)는 상기 다이어프램(151)이 동작한 이후에 동작하는 것이 바람직하다.
도 3을 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 합착 장치(100)는 상기 제2지지부(120)를 승강시키는 높이 조절부(170)를 더 포함할 수 있다. 상기 높이 조절부(170)는 상기 제2지지부(120), 즉 상기 스테이지(140)를 승강시킨다. 상기 높이 조절부(170)는 상기 승강부(160)가 상기 점착부(130)를 상승시킴과 동시에 상기 스테이지(140)를 상승시킬 수 있다. 이를 위해, 상기 높이 조절부(170)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류(Ball Screw) 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어(Rack Gear)와 피니언기어(Pinion Gear) 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터(Linear Motor) 등을 이용하여 상기 스테이지(140)를 승강시킬 수 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 합착 장치를 이용하여 상기 제1기판(10) 및 상기 제2기판(20)이 합착되는 디스플레이 패널의 합착 방법에 관해 상세히 설명한다.
도 1 내지 도 3을 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이 패녈의 합착 방법은 상기 제1기판(10)을 상기 제1지지부(110)에 고정하는 단계(A), 상기 제1기판(10)에 합착되는 제2기판(20)을 상기 제2지지부(120)에 고정하고, 상기 제2지지부(120)에 고정된 제2기판(20)을 상기 제1기판(10) 상으로 낙하시키는 단계(B), 및 상기 제1 및 제2기판(10, 20)을 합착하는 단계(C)를 포함한다.
상기 제1기판(10)에 합착되는 제2기판(20)을 상기 제2지지부(120)에 고정하고, 상기 제2지지부(120)에 고정된 제2기판(20)을 상기 제1기판(10) 상으로 낙하시키는 단계(B)는 우선, 상기 점착부(130)에 상기 제2기판(20)을 점착시키는 단계(B1)를 포함한다. 상기 단계(B1)는 상기 점착부(130)가 상기 제2기판(20)에 밀착되어, 상기 제2기판(20)이 상기 점착부(130)에 배치된 점착 패드(132)에 점착되는 것에 의해 이루어질 수 있다. 상기 점착 패드(132)가 상기 제2기판(20)에 점착되면, 상기 제2기판(20)은 상기 제2지지부(120)에 고정된다.
다음으로, 상기 단계(B)는 상기 점착부(130)에 점착되는 제2기판(20)과 상기 제1기판(10) 간의 위치를 정렬하는 단계(B2)를 포함한다. 상기 단계(B2)는 상기 제2지지부(120)의 위치를 변경하는 것에 의해 이루어질 수 있다.
마지막으로, 상기 단계(B)는 상기 점착부(130)에 설치된 기판 분리부(150)를 이용해 상기 점착부(130)로부터 상기 제2기판(20)을 분리하면서, 상기 점착부(130)를 상승시켜 상기 점착부(130)로부터 상기 제2기판(20)을 완전 분리하여 상기 제 1 기판(10) 상으로 낙하시키는 단계(B3)를 포함한다.
상기 단계(B3)에서, 상기 제2기판(20)은 상기 다이어프램(151)의 팽창에 의해 상기 점착부(130)로부터 분리된다. 이 경우, 상기 단계(B3)에서, 상기 공압 공급 기구(152)는 상기 다이어프램(151)을 상기 제2기판(20) 쪽으로 돌출시키기 위해, 상기 다이어프램(151)으로 공압을 공급하여 팽창시킬 수 있다.
상기 단계(B3)에서, 상기 제2기판(20)은 상기 다이어프램(151)의 팽창에 기초한 상기 점착부(130)의 상승에 따라, 상기 점착부(130)를 지지하는 스테이지(140)의 하면에 접촉되어, 상기 점착부(130)로부터 완전 분리되어 상기 제1기판(10) 상으로 낙하된다. 이 경우, 상기 승강부(160)는 상기 다이어프램(151)이 팽창된 이후에, 상기 점착부(130)를 상승시켜 상기 승강 가이드 홈(141)으로 삽입시킨다. 이에 따라, 상기 제2기판(20)은 상기 스테이지(140)의 하면에 접촉됨으로써 상기 점착부(130)로부터 분리되어 상기 제1기판(10)으로 낙하된다.
상기 단계(B3)는 공정 챔버의 진공 분위기를 대기압 분위기로 전환되는 것에 의해 이루어질 수 있다. 상기 단계(B3)는 상기 기판 분리부(150)를 통해 상기 제2기판(20)이 상기 제1기판(10) 쪽으로 가압(S231)되어 상기 점착부(130) 및 상기 제2기판(20) 간의 점착력이 약화된 이후에 이루어짐으로써 보다 용이하게 수행될 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
10 : 제1기판 20 : 제2기판
100 : 디스플레이 패널의 합착 장치 110 : 제1지지부
120 : 제2지지부 130 : 점착부
131 : 점착 척 132 : 점착 패드
140 : 스테이지 141 : 승강 가이드 홈
150 : 분리부 151 : 다이어프램
152 : 공압 공급 기구 153 : 공압 배관
160 : 승강부 170 : 높이 조절부

Claims (8)

  1. 제1기판을 지지하는 제1지지부; 및
    상기 제1기판에 합착되는 제2기판을 지지하는 제2지지부를 포함하고,
    상기 제2지지부는,
    상기 제2기판이 점착되는 점착부;
    상기 점착부에 설치되어 상기 점착부로부터 상기 제2기판을 분리하기 위한 기판 분리부;
    상기 점착부가 승강 가능하게 설치되는 승강 가이드 홈을 가지는 스테이지; 및
    상기 점착부를 승강시키는 승강부를 포함하고,
    상기 점착부는,
    상기 승강 가이드 홈에 승강 가능하게 설치되는 점착척; 및
    상기 점착척의 하면에 배치되어 상기 제2기판이 점착되는 점착 패드를 포함하고,
    상기 점착 패드는 상기 스테이지의 하면으로부터 상기 제1지지부 쪽으로 돌출되며,
    상기 스테이지의 폭은 상기 제2기판의 폭보다 좁은 디스플레이 패널의 합착 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 기판 분리부는
    상기 점착 패드에 둘러싸이도록 상기 점착척에 팽창 또는 수축 가능하도록 설치된 다이어프램; 및
    상기 다이어프램에 공압을 공급하는 공압 공급 기구를 포함하며,
    상기 다이어프램은 공압에 의해 팽창되어 상기 점착부로부터 상기 제2기판을 분리하는 디스플레이 패널의 합착 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 승강부는 상기 다이어프램이 팽창되면 상기 점착부를 상승시키고,
    상기 제2기판은 상기 다이어프램의 팽창에 의해 상기 점착부로부터 분리되면서 상기 점착부의 상승에 따라 상기 스테이지의 하면에 접촉되어 상기 점착부로부터 완전 분리되어 상기 제1기판 상으로 낙하되는 디스플레이 패널의 합착 장치.
  5. 제1기판을 제1지지부에 고정하는 단계(A);
    상기 제1기판에 합착되는 제2기판을 제2지지부에 고정하고, 제2지지부에 고정된 제2기판을 상기 제1기판 상으로 낙하시키는 단계(B); 및
    상기 제1 및 제2기판을 합착하는 단계(C)를 포함하고,
    상기 단계(B)는,
    점착부에 상기 제2기판을 점착시키는 단계(B1);
    상기 점착부에 점착된 제2기판과 상기 제1기판 간의 위치를 정렬하는 단계(B2);
    상기 점착부에 설치된 기판 분리부를 이용해 상기 점착부로부터 상기 제2기판을 분리하면서 상기 점착부를 상승시켜 상기 점착부로부터 상기 제2기판을 완전 분리하여 상기 제 1 기판 상으로 낙하시키는 단계(B3)를 포함하고,
    상기 제2지지부는 상기 점착부가 승강 가능하게 설치되는 스테이지를 포함하고,
    상기 스테이지는 상기 점착부가 승강 가능하게 설치되는 승강 가이드 홈을 포함하고,
    상기 점착부는,
    상기 승강 가이드 홈에 승강 가능하게 설치되는 점착척; 및
    상기 점착척의 하면에 배치되어 상기 제2기판이 점착되는 점착 패드를 포함하고,
    상기 점착 패드는 상기 스테이지의 하면으로부터 상기 제1지지부 쪽으로 돌출되며,
    상기 스테이지의 폭은 상기 제2기판의 폭보다 좁은 디스플레이 패널의 합착 방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 단계(B1)단계에서, 상기 제2기판은 상기 점착 패드에 점착되는 디스플레이 패널의 합착 방법.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 단계(B3)에서, 상기 제2기판은 상기 점착 패드에 둘러싸이도록 설치된 다이어프램의 팽창에 의해 상기 점착부로부터 분리되는 디스플레이 패널의 합착 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 단계(B3)에서, 상기 제2기판은 상기 다이어프램의 팽창에 기초한 상기 점착부의 상승에 따라 상기 점착부를 지지하는 스테이지의 하면에 접촉되어 상기 점착부로부터 완전 분리되어 상기 제1기판 상으로 낙하되는 디스플레이 패널의 합착 방법.
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