JP2011137795A - アレイテスト装置{apparatusfortestingarray} - Google Patents
アレイテスト装置{apparatusfortestingarray} Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011137795A JP2011137795A JP2010141879A JP2010141879A JP2011137795A JP 2011137795 A JP2011137795 A JP 2011137795A JP 2010141879 A JP2010141879 A JP 2010141879A JP 2010141879 A JP2010141879 A JP 2010141879A JP 2011137795 A JP2011137795 A JP 2011137795A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- support
- support plate
- test apparatus
- array test
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67784—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations using air tracks
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
- G01R31/2887—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks involving moving the probe head or the IC under test; docking stations
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
- H01L21/68742—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by a lifting arrangement, e.g. lift pins
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/10—Measuring as part of the manufacturing process
- H01L22/14—Measuring as part of the manufacturing process for electrical parameters, e.g. resistance, deep-levels, CV, diffusions by electrical means
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/30—Structural arrangements specially adapted for testing or measuring during manufacture or treatment, or specially adapted for reliability measurements
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Robotics (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
【課題】基板が載置される複数の支持プレートが水平方向に移動可能に設けることで、基板を支持プレート上に搬送する工程及び基板に電気信号を印加する工程を効率的且つ安定的に行うこと。
【解決手段】複数の支持プレート間の間隔を調節するために、それら支持プレートを移動可能に支持するガイド部材及び複数の上記支持プレートを移動させる駆動装置を備えて、複数の上記支持プレートのうち少なくとも一つの該支持プレートを移動させるプレート移動ユニットを備えて、アレイテスト装置を構成する。
【選択図】図4
【解決手段】複数の支持プレート間の間隔を調節するために、それら支持プレートを移動可能に支持するガイド部材及び複数の上記支持プレートを移動させる駆動装置を備えて、複数の上記支持プレートのうち少なくとも一つの該支持プレートを移動させるプレート移動ユニットを備えて、アレイテスト装置を構成する。
【選択図】図4
Description
本発明は、アレイテスト装置に関するものである。
一般に、平板ディスプレイ(FPD, Flat panel display)とは、ブラウン管を採用したテレビまたはモニターより薄くて軽い映像表示装置である。平板ディスプレイとしては、液晶ディスプレイ(LCD, liquid crystal display)、プラズマディスプレイ(PDP, plasma display panel)、電界放出ディスプレイ(FED, field emission display)、有機発光ダイオード(OLED, organic light emitting diodes)などが開発されて使用されている。
この中で、液晶ディスプレイは、マトリックス状に配列された複数の液晶セルに画像情報に基づくデータ信号を個別的に供給して上記各液晶セルの光透過率を調節することによって所望の画像を表示するようにした表示装置である。液晶ディスプレイは、薄く軽くて消費電力及び動作電圧が低いという長所を有するので広く使用されている。このような液晶ディスプレイに一般的に採用される液晶パネルの製造方法について説明すると次の通りである。
先ず、上部基板にカラーフィルター及び共通電極を形成し、上部基板と対応する下部基板に薄膜トランジスタ(TFT, thin film transistor)及び画素電極を形成する。
次いで、各基板にそれぞれ配向膜を塗布した後、それらの間に形成される液晶層内の液晶分子プレチルト角(pre-tilt angle)及び配向方向を提供するために配向膜をラビングする。
次いで、各基板間のギャップを維持すると共に液晶が外部へ漏れることを防止して、それら基板間を密封できるように、少なくとも何れか一つの基板にペーストを所定パターンに塗布してペーストパターンを形成した後、上記各基板間に液晶層を形成する工程を介して液晶パネルを製造する。
上述した工程中に薄膜トランジスタ(TFT)及び画素電極が形成された下部基板(以下、“基板”と称す)に備わるゲートライン及びデータラインの断線、画素セルの色相不良などの欠陥があるかをテストする工程を行う。
基板をテストするために、光源、モジュレータ及びカメラを具備するアレイテスト装置が使用される。モジュレータ及び基板に一定の電圧を加えた状態でモジュレータを基板に隣接させると、基板に欠陥がない場合にはモジュレータ及び基板間に電場が形成されるが、基板に欠陥がある場合にはモジュレータ及び基板間に電場が形成されないか、または電場が弱く形成されるので、アレイテスト装置はこのようなモジュレータ及び基板間の電場の大きさを検出し、それを利用して基板の欠陥存否を判別する。
図1に示したように、従来のアレイテスト装置には基板Sが載置されるステージ1が備えられる。ステージ1には、上下方向に昇降可能に設けられる複数のリフトピン2と、それらのリフトピン2と一体的に連結してそれらのリフトピン2を昇降させるリフトフィン昇降装置3と、が備えられる。
基板Sは基板搬送装置のフォーク4の上部に置かれた状態で搬送される。基板Sをステージ1上に載置するために、図1に示したように、リフトピン2はステージ1の上面から突出した状態のまま維持される。図2に示したように、基板搬送装置のフォーク4がステージ1の上方に位置した後、下降しながらリフトピン2の間に介挿される。次いで、基板搬送装置のフォーク4が継続的に下降し、その結果、基板搬送装置のフォーク4は基板Sの下面から離間し、基板Sの下面はリフトピン2の頂部に接触した状態で支持される。次いで、基板搬送装置のフォーク4は水平方向に移動してステージ1から抜去される。更に、図3に示したように、ステージ1の上面から空気を噴射しながら、リフトピン2がリフトフィン昇降装置3の駆動によって下降し、従って、基板Sはリフトピン2から離間しながらステージ1の上面から噴射される空気によってステージ1の上方に浮揚した状態で維持される。
このように従来のアレイテスト装置は、基板Sをステージ1上に載置するために、複数のリフトピン2及び複数のリフトピン2が一体的に連結されるリフトフィン昇降装置3を備えていた。従って、従来のアレイテスト装置は、基板Sをステージ1上に載置するためにリフトピン2を昇降または下降させる工程が必要であったので、基板Sの欠陥存否をテストするための工程が複雑で、時間が掛かるという短所があった。
また、従来のアレイテスト装置は、ステージ1に複数のリフトピン2を設け、複数のリフトピン2をリフトフィン昇降装置3に一体的に連結する工程が要求されたので、アレイテスト装置を製造する作業が複雑で、製造費用が増加する短所があった。特に、大面積の基板Sをステージ1に載置してテストするためにはリフトピン2の個数を大面積の基板Sに対応するように増加する必要があったので、アレイテスト装置の製造工程の複雑さ及び製造費用の増加がさらに大きくなるという問題点があった。
本発明は上記した従来技術の問題点を解決するためのもので、本発明の目的は、基板が載置されるローディング部及び/またはアンローディング部を、水平方向に移動できるように設けられる複数の支持プレートにより構成することで、基板を支持プレート上に載置する工程及び基板に電気信号を印加する工程を効率的且つ安定的に行い得る、アレイテスト装置を提供することである。
上記した目的を達成するための本発明に係るアレイテスト装置は、基板が載置され、所定の間隔に配置される複数の支持プレートと、複数の上記支持プレート間の間隔が調節できるように複数の上記支持プレートのうち少なくとも一つの支持プレートを移動させるプレート移動ユニットと、を含んで構成される。
ここで、上記プレート移動ユニットは、上記支持プレートが移動可能に支持されるガイド部材と、上記支持プレートに連結して上記支持プレートを移動させる駆動装置と、を含んで構成される。
本発明に係るアレイテスト装置は、上記基板に形成された電極を加圧するプローブピンを備えるプローブヘッドを更に含んで構成され、上記プローブピンが、上記基板の電極を加圧する力による上記基板の撓みを防止できるように、複数の上記支持プレートのうち少なくとも一つの支持プレートは、上記基板の電極の位置と重なる位置に移動する。
また、本発明に係るアレイテスト装置は、複数の上記支持プレート間が上記基板を上記支持プレートに搬送する基板搬送装置のフォークが介挿できる間隔に調節可能なように、複数の上記支持プレートの少なくとも一つの支持プレートを移動させることができる。
一方、上記支持プレートには、空気が噴射される空気孔が形成される。
また、本発明に係るアレイテスト装置は、上記支持プレートが移動する場合に上記基板の側端を支持する基板支持ユニットを更に含んで構成される。
ここで、上記基板支持ユニットは、支持部と、上記支持部に上記基板の側端に向かって移動可能に設けられて上記基板の側端が挿入される溝が形成されるホルダー部材と、上記支持部及び上記ホルダー部材間に設けられて上記ホルダー部材を移動させるホルダー移動装置と、を含んで構成される。
本発明に係るアレイテスト装置は、基板が載置される複数の支持プレートが互いに隣接する方向及び互いに離間する方向に移動可能に設けられるので、複数の支持プレート間に基板搬送装置のフォークが介挿される空間が形成される。従って、基板を搬送するために従来のようなリフトピン及びリフトピンを昇降させるためのリフトフィン昇降装置などの複雑な構成を必要としないので、アレイテスト装置の構成を非常に単純にすることが可能で、アレイテスト装置を運用するための時間を短縮することが可能で、アレイテスト装置を製造するための費用を節減できるという効果がある。
且つ、本発明に係るアレイテスト装置は、支持プレートを基板の電極と対応するように水平方向に移動させることができるので、プローブピンが基板の電極を加圧する場合にも、基板が撓むことなく基板を安定的に支持することができるという効果がある。
また、本発明に係るアレイテスト装置は、基板の側端を支持する基板支持ユニットを備えるので、支持プレートが水平方向に移動する場合にも、基板の位置が変動する現象を防止できるという効果がある。
以下、添付の図面を参照して本発明に係るアレイテスト装置に関する好ましい実施例に対して説明する。
図4に示したように、本発明の一実施例に係るアレイテスト装置は、フレーム10と、基板Sをテストするテスト部20と、基板Sをテスト部20へ取り付けるローディング部30と、テスト部20から基板Sを取り外すアンローディング部40と、を含んで構成される。
上記テスト部20は、基板Sの電気的欠陥存否をテストする。上記テスト部20は、上記ローディング部30により取り付けられた基板Sが配置されるテストプレート21と、上記テストプレート21上に配置された基板Sの電気的欠陥存否をテストするテストモジュール22と、上記テストプレート21上に配置された基板Sの電極S1に電気信号を印加するためのプローブモジュール23と、上記テストモジュール22及びプローブモジュール23を制御する制御ユニット(未図示)と、を含んで構成される。
上記テストモジュール22は、上記テストプレート21の上側からX軸方向に延在する支持台223にX軸方向に移動できるように設けられる。また、上記テストモジュール22は、上記支持台223の延長方向(X軸方向)に沿って複数構成することができる。上記テストモジュール22は、上記テストプレート21上に配置された基板Sの上方に配置されて基板Sの欠陥存否を検出する。上記テストモジュール22は、上記テストプレート21上に配置された基板Sに隣接するモジュレータ221と、該モジュレータ221を撮像する撮像装置222と、を含んで構成される。
このような上記テスト部20は、反射方式及び透過方式の2種類に分類される。反射方式の場合には、光源がテストモジュール22と一緒に配置され、上記テストモジュール22のモジュレータ221に反射層が備わるので、光源から発光した光がモジュレータ221へ入射した後、モジュレータ221の反射層から反射される時に反射される光の光量を測定することによって、基板Sの欠陥存否を検出する。一方、透過方式の場合には、光源がテストプレート21の下側に備わるので、光源から発光してモジュレータ221を透過する光の光量を測定することによって、基板Sの欠陥存否を検出する。本発明に係るアレイテスト装置のテスト部20には、このような反射方式及び透過方式がすべて適用される。
上記テストモジュール22のモジュレータ221には、基板Sとの間から発生する電場の大きさによって反射する光の光量(反射方式の場合)または透過する光の光量(透過方式の場合)を変化させる電光物質層(electro-optical material layer)が備えられる。電光物質層は、基板S及びモジュレータ221に電気が印加される時に発生する電場によって特定物性が変化する物質により構成されるので電光物質層に入射する光の光量が変化する。このような電光物質層としては、電場の大きさによって一定方向に配列される特性を有する物質により構成されて入射する光を偏光させる高分子分散型液晶(PDLC、 polymer dispersed liquid crystal)が挙げられる。
図5に示したように、上記プローブモジュール23は、X軸方向に延在するプローブヘッド支持台231と、該プローブヘッド支持台231にプローブヘッド支持台231の長手方向(X軸方向)に沿って所定の間隔に配置されて、複数のプローブピン232が具備されるプローブヘッド233と、該プローブヘッド233に連結してプローブヘッド233を上下方向(Z軸方向)に昇降させる昇降ユニット234と、を含んで構成される。
上記プローブヘッド支持台231は、支持台移動ユニット235に連結して、基板Sがローディング部30からテスト部20へ取り付けられる方向(Y軸方向)に移動する。そして、上記プローブヘッド233には、該プローブヘッド233をプローブヘッド支持台231の長手方向(X軸方向)に移動するヘッド移動ユニット236が設けられる。上記支持台移動ユニット235及び/またはヘッド移動ユニット236には、リニアモータまたはボールスクリューのような直線移送機構が適用される。
上記昇降ユニット234には、流体の圧力により作動するシリンダー、または電気的に作動するリニアモータなどのように上記プローブヘッド233を上昇または下降させる多様な構成が適用される。このような上記昇降ユニット234は、基板Sがテストプレート21上に配置された状態で、プローブピン232が基板Sの電極S1を加圧できるようにプローブヘッド233を下降させる役割を行う。
上記ローディング部30はテストの対象となる基板Sを支持すると共に、基板Sをテスト部20へ移送させる役割を行い、アンローディング部40はテストが終了した基板Sを支持すると共にテスト部20から移送させる役割を行う。
上記ローディング部30及びアンローディング部40には、所定間隔に離間して配置されて基板Sが載置される複数の支持プレート50と、基板Sを移送させるための基板移送ユニット60と、が具備される。
複数の上記支持プレート50には、基板Sを浮揚させるための空気を噴射する空気孔51が形成され、該空気孔51は空気を供給する正圧源(未図示)に連通する。
図6に示したように、上記基板移送ユニット60は、基板Sを移送する方向と平行する方向(Y軸方向)に延在するガイドレール61と、該ガイドレール61に移動可能に設けられる支持部材62と、該支持部材62に設けられて基板Sの下面を吸着する吸着板63と、該吸着板63を上下方向(Z軸方向)に昇降させる吸着板昇降装置64と、を含んで構成される。
このような構成によって、上記支持プレート50の上部に基板Sが搬送されると、上記吸着板63が上昇して基板Sの下面を吸着して支持する。このような状態で上記支持部材62が上記ガイドレール61に沿って移動しながら基板Sをテスト部20へ移送する。該ガイドレール61にはリニアモータのような直線移送機構が適用される。一方、上記吸着板63には空気が通過する吸着孔が形成され、吸着孔は空気を吸入する負圧源に連通する。
図7に示したように、複数の支持プレート50はそれら支持プレート50の間隔を調節できるように相互に接近する方向または相互に離間する方向に移動可能に設けられる。そのために、複数の支持プレート50のうち少なくとも一つの支持プレート50を水平方向(X軸方向)に移動させるプレート移動ユニット52が具備される。
上記プレート移動ユニット52は、上記支持プレート50が移動可能に支持するガイド部材521と、複数の支持プレート50のうち少なくとも一つの支持プレート50に連結して支持プレート50を移動させる駆動装置522と、を含んで構成される。
上記ガイド部材521は、上記支持プレート50の下側で上記フレーム10上に設けられる。上記ガイド部材521は、X軸方向に延在して支持プレート50のX軸方向の移動を案内する役割を行う。
上記駆動装置522は、水平方向(X軸方向)の線形駆動力を発生する駆動力発生装置523と、該駆動力発生装置523及び支持プレート50を連結して上記駆動力発生装置523の駆動力を上記支持プレート50に伝達する動力伝達部材524と、を含んで構成される。このような駆動装置522の例を挙げると、空気圧または油圧により動作するシリンダーが駆動力発生装置523となり、シリンダーに連結するロッドが動力伝達部材524となる構成、または、回転モータが駆動力発生装置523となり回転モータに連結するギヤが動力伝達部材524となる構成、を適用することができる。本発明はこのような構成に限定されず、駆動装置522として可動子及び固定子間の電磁気的相互作用により作動するリニアモータを採用するなど、支持プレート50を水平方向(X軸方向)に移動させるための様々な構成を適用することができる。また、図7では駆動装置522が複数の支持プレート50のすべてに設けられた構成を提示しているが、本発明はこれに限定されず、複数の支持プレート50のうち一部の支持プレート50だけに駆動装置522を設けることもできる。
以下、図8〜図14を参照して、上記のように構成される本発明の一実施例に係るアレイテスト装置の動作に対して説明する。
先ず、図8〜図11を参照して、テストの対象となる基板Sをローディング部30へ搬送する過程に対して説明する。
テストの対象となる基板Sは、基板搬送装置のフォークPの上に載置された状態で、ローディング部30の支持プレート50上に搬送される。基板搬送装置のフォークPに載置された基板Sを支持プレート50上に移動させるために、複数の支持プレート50間には基板搬送装置のフォークPが介挿される空間が形成される。
そのために、図8に示したように、複数の支持プレート50の間隔が基板搬送装置のフォークPが介挿できる間隔(W1)に調節されるように、複数の支持プレート50のうち少なくとも一つ以上の支持プレート50が、隣接する支持プレート50と離間する方向(X軸方向)に移動する。それと同時に、空気孔51を通して支持プレート50の上方向に空気(A)が噴射される。
次いで、図9に示したように、基板搬送装置のフォークPが、基板Sが載置された状態で支持プレート50の上方に位置する。次いで、図10に示したように、基板搬送装置のフォークPが複数の支持プレート50の間に介挿される状態で下降すると、基板Sは空気孔51を通して噴射される空気によって浮揚した状態でフォークPの上面から離間する。次いで、図11に示したように、基板搬送装置のフォークPが水平方向(Y軸方向)に移動して複数の支持プレート50の間の空間から取り去られると、基板搬送装置のフォークPの介挿のために離間した支持プレート50が相互に隣接する方向に移動して、複数の支持プレート50の間隔が基板Sの撓みを防止できる間隔(W2)で維持される。
この時、支持プレート50が移動する過程で基板Sの位置が変動することを防止するために、基板移送ユニット60の吸着板63は基板Sの下面を吸着して基板Sを支持した状態を維持する。
このように、基板Sが吸着板63に支持された状態で複数の支持プレート50の間隔が基板Sの撓みを防止できる間隔(W2)で維持されるように支持プレート50が移動すると、基板Sの支持プレート50上への搬送動作が終了する。
一方、基板Sが支持プレート50から搬出される場合も、複数の支持プレート50の間隔が基板搬送装置のフォークPが介挿される間隔(W1)に調節されるように、複数の支持プレート50のうち少なくとも一つの支持プレート50が水平方向(X軸方向)に移動する。
支持プレート50上に基板Sが搬送された状態で、基板移送ユニット60の吸着板63のY軸方向の移動によって基板Sがテスト部20に移動すると、テスト部20にて基板Sの欠陥存否をテストする工程が実行される。
基板Sの欠陥存否をテストするために支持プレート50の空気孔51から空気(A)の噴射が遮断されると、基板Sは支持プレート50の上面に接触した状態で支持され、プローブヘッド233が下降しながらプローブピン232が基板Sの電極S1を加圧して基板Sの電極S1に電気信号が印加される。そして、テストモジュール22が下降してモジュレータ221が基板Sの上面に隣接した状態で、モジュレータ221に電気が印加される。
この時、基板S及びモジュレータ221の間には電場が発生し、このような電場によって電光物質層を形成する電光物質の特性が変化する。従って、反射方式の場合には光源からモジュレータ221へ入射した後モジュレータ221の反射層から反射する光の光量が変化し、また、透過方式の場合には光源から出射してモジュレータ221を通過する光の光量が変化する。従って、撮像装置222が撮像したモジュレータのイメージから光の光量を分析して基板S及びモジュレータ221間で発生する電場の大きさを検出することができる。基板Sに欠陥がない場合は、基板S及びモジュレータ221間ではあらかじめ設定された範囲内の正常な電場が形成されるが、基板Sに欠陥がある場合は基板S及びモジュレータ221間で電場が形成されなない、または正常な場合よりも小さい電場が形成される。よって、検出された電場の大きさを利用して基板Sの欠陥の存否を判定することができる。
ここで、基板Sが支持プレート50の上面に接触した状態で、昇降ユニット234の駆動によりプローブヘッド233が下降し、従って、プローブピン232が基板Sの電極S1を加圧して電極S1に接触する。この時、プローブヘッド233は、ヘッド移動ユニット236の駆動によってプローブピン232が基板Sの電極S1と重なる位置に移動する。
一方、図12に示したように、基板Sの電極S1の位置と支持プレート50の位置とが垂直方向(Z軸方向)及び水平方向に正確に配置されない場合は、基板Sの電極S1が複数の支持プレート50の間隔の上方に位置することもある(図12の‘E’部分)。このような場合は、プローブピン232が基板Sの電極S1を加圧する時、プローブピン232が基板Sの電極S1を加圧する力によって、基板Sの電極S1の下方に形成される空間Eに向かって基板Sが撓む現象が発生する。このように基板Sが撓む現象が発生する場合は、プローブピン232と基板Sの電極S1とが正確に接触しないので基板Sの電極S1に電気信号が印加されず、従って、基板Sの欠陥存否を正確に判定することができない問題が発生する。
本発明に係るアレイテスト装置は、このような問題点を解決できるように支持プレート50を基板Sの電極S1の位置と重なる位置へ移動させる。
先ず、図13に示したように、基板Sが吸着板63の移動によってテスト部20に移動した後、支持プレート50の空気孔51を通した空気(A)の噴射が遮断される前に、支持プレート50が、基板Sの電極S1の位置と重なる位置へ水平方向(X軸方向)に移動する。この時、支持プレート50の水平方向の移動によって基板Sの位置が変動することを防止できるように、基板Sが吸着板63に支持される状態を維持することが好ましい。
そして、図14に示したように、支持プレート50の空気孔51を通した空気の噴射が遮断されて基板Sが支持プレート50の上面に接触した状態で支持されると、プローブヘッド233が下降してプローブピン232が基板Sの電極S1を加圧する。この時、支持プレート50は、基板Sの電極S1の位置と垂直方向(Z軸方向)及び水平方向に重なる位置に移動するので、プローブピン232が基板Sの電極S1を加圧する場合でも、プローブピン232が基板Sの電極S1を加圧する力によって、基板Sが撓む現象を防止できる。
このように、プローブピン232が基板Sの電極S1を加圧する時に、基板Sが撓む現象を防止するための支持プレート50の移動は、上述のように、基板Sがテスト部20に移動した後で行われる。また、基板Sがローディング部30の支持プレート50に搬送される過程で基板搬送装置のフォークPが抜去された後、支持プレート50が移動する時、支持プレート50を基板Sの電極S1の位置と垂直方向(Z軸方向)及び水平方向に重なる位置に移動させることができる。
上記のような本発明の一実施例に係るアレイテスト装置は、基板Sが載置される複数の支持プレート50が互いに隣接する方向及び互いに離間する方向に移動可能に設けられるので、複数の支持プレート50の間に、基板Sをローディング部30へ搬送する基板搬送装置のフォークPが介挿される空間が形成される。従って、基板Sを搬送するために従来のようにリフトピン2及びリフトピン2を昇降させるリフトフィン昇降装置3のような複雑な構成をとる必要がないので、アレイテスト装置の構成を非常に単純にすることが可能で、アレイテスト装置を運用するために必要な時間を短縮することが可能で、アレイテスト装置を製造するために必要な費用を節減することができるという効果がある。
また、本発明の一実施例に係るアレイテスト装置は、支持プレート50を基板Sの電極S1と重なる位置へ水平方向に移動させることができるので、プローブピン232が基板Sの電極S1を加圧する場合にも基板Sが撓むことがなく、基板Sを安定的に支持することができる効果がある。
以下、図15〜図17を参照して、本発明の別の実施例に係るアレイテスト装置に対して説明する。上述した本発明の一実施例で説明した部分と同一部分に対しては、同じ図面符号を使用して詳細な説明は省略する。
図15に示したように、本発明の別の実施例に係るアレイテスト装置は、基板Sの側端を支持する基板支持ユニット80を更に含んで構成される。
上記基板支持ユニット80は、支持部81と、支持部81に基板Sの側端に向かって移動可能に設けられ基板Sの側端の厚さに対応する幅を有する溝821が形成されるホルダー部材82と、支持部81及びホルダー部材82間に設けられてホルダー部材82を、ホルダー部材82の溝821に基板Sの側端を挿入する方向、またはホルダー部材82が基板Sの側端から離間する方向に移動させるホルダー移動装置83と、を含んで構成される。
上記支持部81は、フレーム10の上方に固定され、フレーム10と離間する位置に固定される。
上記ホルダー部材82は、上記支持部81に基板Sが移送される方向(Y軸方向)及び水平に直交する方向(X軸方向)にスライド移動可能に設けられる。上記ホルダー部材82は基板Sが移送される方向(Y軸方向)に所定長さに延在する形状に形成される。上記ホルダー部材82の溝821は、基板Sの側端を挿入できるようにX軸方向に所定の深さを有してY軸方向に延在するように形成される。
上記ホルダー移動装置83は上記支持部81及びホルダー部材82間に設けられ、上記ホルダー移動装置83には、リニアモータまたはボールスクリューのような直線移動機構が適用される。
このような構成によって、上記ホルダー部材82はホルダー移動装置83の駆動により水平方向(X軸方向)に移動し、従って、基板Sの側端がホルダー部材82の溝821に挿入されて基板Sが基板支持ユニット80に支持される。
図16に示したように、複数の支持プレート50の間隔が基板搬送装置のフォークPが介挿できる間隔(W1)に調節されるように支持プレート50が移動する時、または、基板搬送装置のフォークPが複数の支持プレート50間から抜去された後、複数の支持プレート50の間隔が基板Sの撓みを防止できる間隔(W2)に維持されるように支持プレート50が移動する時、または、支持プレート50が基板Sの電極S1の位置と垂直方向(Z軸方向)及び水平方向に重なる位置に移動する時、基板支持ユニット80のホルダー部材82が基板Sに向かって移動してホルダー部材82の溝821に基板Sの側端が挿入され、その結果、基板Sが基板支持ユニット80に支持される。
このように基板Sを基板支持ユニット80で支持することで、支持プレート50の移動によって基板Sの位置が変動することを防止することができる。また、支持プレート50が移動する場合、基板Sを基板移送ユニット60の吸着板63に吸着させなくても、基板Sが基板支持ユニット80により支持されるので基板Sの位置が変動することを防止することができる。一方、基板Sが吸着板63に吸着された状態で支持プレート50が移動する場合にも、基板Sが基板支持ユニット80に支持されることで支持プレート50の移動による基板Sの位置変動を防止できるので、基板S及び吸着板63間の摩擦による基板Sの損傷を防止することができる。
一方、図17に示したように、支持プレート50が移動して支持プレート50の位置が決定した後は、基板支持ユニット80のホルダー部材82が、基板Sの側端から離間するように移動するので、その結果、基板Sの側端が、ホルダー部材82の溝821から離脱する。この時、支持プレート50の空気孔51から噴射される空気が遮断されると、基板Sは支持プレート50の上面に接触した状態で支持される。
上述のような本発明の別の実施例に係るアレイテスト装置も、基板Sの側端を支持する基板支持ユニット80を備えることによって、支持プレート50が水平方向に移動する場合に、支持プレート50の移動によって基板Sの位置が変動する現象を防止することができる。
22:テストモジュール
23:プローブモジュール
50:支持プレート
52:プレート移動ユニット
60:基板移送ユニット
80:基板支持ユニット
23:プローブモジュール
50:支持プレート
52:プレート移動ユニット
60:基板移送ユニット
80:基板支持ユニット
Claims (7)
- 基板が載置され、所定の間隔に配置される複数の支持プレートと、
複数の上記支持プレート間の間隔を調節できるように、複数の上記支持プレートのうち少なくとも一つの該支持プレートを移動させるプレート移動ユニットと、を含むことを特徴とするアレイテスト装置。 - 上記プレート移動ユニットは、
上記支持プレートを移動可能に支持するガイド部材と、
上記支持プレートに連結して上記支持プレートを移動させる駆動装置と、を含むことを特徴とする請求項1に記載のアレイテスト装置。 - 上記基板に形成された電極を加圧するプローブピンを備えるプローブヘッドを更に含み、
上記プローブピンが、上記基板の電極を加圧する力による上記基板の撓みを防止できるように、複数の上記支持プレートのうち少なくとも一つの該支持プレートは、上記基板の電極の位置と重なる位置に移動することを特徴とする請求項1または2に記載のアレイテスト装置。 - 複数の上記支持プレートの間隔が、上記基板を上記支持プレートに搬送する基板搬送装置のフォークが介挿できる間隔に調節されるように、複数の上記支持プレートのうち少なくとも一つの該支持プレートが移動することを特徴とする請求項1または2に記載のアレイテスト装置。
- 複数の上記支持プレートには、空気を噴射する空気孔が形成されることを特徴とする請求項1記載のアレイテスト装置。
- 上記支持プレートが移動する場合に、上記基板の側端を支持する基板支持ユニットを更に含むことを特徴とする請求項1に記載のアレイテスト装置。
- 上記基板支持ユニットは、
支持部と、
上記支持部に上記基板の側端に向かって移動可能に設けられて上記基板の側端が挿入される溝が形成されるホルダー部材と、
上記支持部及び上記ホルダー部材間に設けられて、上記ホルダー部材を移動させるホルダー移動装置と、を含むことを特徴とする請求項6に記載のアレイテスト装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2009-0135974 | 2009-12-31 | ||
KR1020090135974A KR101115874B1 (ko) | 2009-12-31 | 2009-12-31 | 어레이 테스트 장치 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011137795A true JP2011137795A (ja) | 2011-07-14 |
Family
ID=44216334
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010141879A Pending JP2011137795A (ja) | 2009-12-31 | 2010-06-22 | アレイテスト装置{apparatusfortestingarray} |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2011137795A (ja) |
KR (1) | KR101115874B1 (ja) |
CN (1) | CN102117588A (ja) |
TW (1) | TW201123337A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105575866A (zh) * | 2016-01-06 | 2016-05-11 | 京东方科技集团股份有限公司 | 搬送装置、搬送方法及蒸镀设备 |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20130035623A (ko) * | 2011-09-30 | 2013-04-09 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 어레이 테스트 장치 |
KR101286250B1 (ko) * | 2011-11-23 | 2013-07-12 | 양 전자시스템 주식회사 | 다수의 헤드 유니트를 갖는 어레이 테스트 장치 |
CN103698630B (zh) * | 2013-12-12 | 2016-04-06 | 合肥京东方光电科技有限公司 | 一种电学阵列检测设备 |
CN104102031A (zh) * | 2014-06-17 | 2014-10-15 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种探针器件和检测装置 |
CN104597390A (zh) * | 2014-12-31 | 2015-05-06 | 苏州征之魂专利技术服务有限公司 | 多型号多插法点阵结构体测试机自动识别系统 |
CN105824093B (zh) * | 2016-05-03 | 2018-12-21 | 友达光电(苏州)有限公司 | 可调式定位治具及光学检测装置 |
KR20190036007A (ko) | 2017-09-26 | 2019-04-04 | 삼성전자주식회사 | 그립 장치 및 이를 포함하는 기판 검사 시스템 |
CN108983454A (zh) * | 2018-08-01 | 2018-12-11 | 惠科股份有限公司 | 一种测试装置及测试设备 |
KR102630588B1 (ko) * | 2018-09-21 | 2024-01-31 | 삼성디스플레이 주식회사 | 발광 표시 장치의 제조 장치 및 제조 방법 |
CN109540921B (zh) * | 2019-01-16 | 2021-11-12 | 苏州精濑光电有限公司 | 一种检测台 |
CN109884501B (zh) * | 2019-03-06 | 2022-04-19 | 惠科股份有限公司 | 一种检测机台、断线短路检测机及校正方法 |
CN110007213B (zh) * | 2019-04-19 | 2021-06-15 | 重庆慧聚成江信息技术合伙企业(有限合伙) | 一种防损伤的具有固定功能的高精度芯片检测设备 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100660785B1 (ko) * | 2005-11-30 | 2006-12-22 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 글라스 클램프 로딩 장치 |
WO2007143326A2 (en) * | 2006-05-31 | 2007-12-13 | Applied Materials, Inc. | Mini-prober for tft-lcd testing |
KR100820049B1 (ko) * | 2006-08-18 | 2008-04-07 | 주식회사 파이컴 | 액정표시패널 검사 장비의 검사 스테이지 |
KR100890282B1 (ko) * | 2007-02-09 | 2009-03-24 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 어레이 테스트 장비 |
KR20090060478A (ko) * | 2007-12-10 | 2009-06-15 | 주식회사 에이디디 | 패널 고정용 글라스 척 장치 |
-
2009
- 2009-12-31 KR KR1020090135974A patent/KR101115874B1/ko active IP Right Grant
-
2010
- 2010-06-10 TW TW099118906A patent/TW201123337A/zh unknown
- 2010-06-22 JP JP2010141879A patent/JP2011137795A/ja active Pending
- 2010-09-26 CN CN2010102918575A patent/CN102117588A/zh active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105575866A (zh) * | 2016-01-06 | 2016-05-11 | 京东方科技集团股份有限公司 | 搬送装置、搬送方法及蒸镀设备 |
US10354901B2 (en) | 2016-01-06 | 2019-07-16 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Conveying device, conveying method and evaporation apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101115874B1 (ko) | 2012-02-22 |
KR20110079024A (ko) | 2011-07-07 |
TW201123337A (en) | 2011-07-01 |
CN102117588A (zh) | 2011-07-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2011137795A (ja) | アレイテスト装置{apparatusfortestingarray} | |
KR101052490B1 (ko) | 어레이 테스트 장치 | |
KR101742506B1 (ko) | 어레이 테스트장치 및 어레이 테스트방법 | |
KR101234088B1 (ko) | 어레이 테스트 장치 | |
KR101191343B1 (ko) | 어레이 테스트 장치 | |
KR101129195B1 (ko) | 어레이 테스트 장치 | |
KR20130005128A (ko) | 글라스패널 이송장치 | |
KR20070103990A (ko) | 표시 패널의 검사 장치 및 검사 방법 | |
KR101711956B1 (ko) | 평행이동형 디스플레이 패널 측면단자 인쇄 시스템 | |
KR101711957B1 (ko) | 회전이동형 디스플레이 패널 측면단자 인쇄 시스템 | |
KR20070117188A (ko) | 표시 패널 검사 장치 및 방법 | |
KR101807195B1 (ko) | 어레이 테스트 장치 | |
KR101115879B1 (ko) | 어레이 테스트 장치 | |
KR101162912B1 (ko) | 어레이기판 검사장치 및 어레이기판 검사방법 | |
KR20120077291A (ko) | 어레이 테스트 장치 | |
KR101949331B1 (ko) | 어레이 테스트 장치 | |
KR101140257B1 (ko) | 어레이 테스트 장치 | |
JP2006098296A (ja) | 表示パネルの点灯検査装置 | |
KR101207029B1 (ko) | 어레이 테스트 장치 | |
KR101763622B1 (ko) | 글라스패널 이송장치 및 글라스패널 이송장치를 구비한 어레이 테스트 장치 | |
KR20080029097A (ko) | 패턴 검사기 | |
KR102365455B1 (ko) | 인쇄회로기판 폴딩 장치 | |
KR20040076419A (ko) | 액정표시장치의 검사장치 및 방법 | |
KR20120007328A (ko) | 어레이 테스트 장치 | |
KR20070121286A (ko) | 평판표시소자의 테스트 장치 및 그의 구동 방법 |