KR20090060478A - 패널 고정용 글라스 척 장치 - Google Patents

패널 고정용 글라스 척 장치 Download PDF

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KR20090060478A
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Abstract

디스플레이 패널이나 기판을 척 플레이트나 척에 투입하는 종래의 방식은 이전공정의 인덱스로부터 디스플레이 패널이나 기판을 이송받아 척 플레이트나 척에 직접 투입하지 못하고 별도의 중계수단을 이용하게 되므로 디스플레이 패널이나 기판을 이송하는 공정이 길어지고 이송과정에서의 변형이나 파손 위험성이 높아진다.
본 발명은 글라스 재질로 이루어지고 다수 개로 분할되어 LCD 패널을 투입하는 과정에서 그의 일부가 상하로 이동 가능한 평판 척이 그의 진공압으로 LCD 패널을 고정 및 지지함으로써 LCD 패널의 변형이나 파손 위험성을 낮추면서도 LCD 패널의 패턴 검사와 불량 부위 수정작업을 안정적이고도 빠르게 실행할 수 있다.
LCD 패널, 패턴 검사, 불량 수위 수정, 글라스 척, 진공.

Description

패널 고정용 글라스 척 장치{panel binding glass chuck}
본 발명은 LCD 패널의 패턴 검사와 불량 부위 수정을 위한 장비의 패널 고정용 글라스 척 장치에 관한 것이다. 특히 본 발명은 글라스 재질로 이루어지고 다수 개로 분할되어 LCD 패널을 투입하는 과정에서 그의 일부가 상하로 이동 가능한 평판 척이 그의 진공압으로 LCD 패널을 고정 및 지지함으로써 LCD 패널의 패턴 검사와 불량 부위 수정작업을 안정적이고도 빠르게 실행할 수 있도록 하는 패널 고정용 글라스 척 장치에 관한 것이다.
여러 제조공정을 거쳐 제조되는 LCD 패널은 통상적으로 외관검사와 전기적 점등검사 등을 통해 패턴 불량 등을 검사한다. 점등검사는 완성된 LCD 패널에 신호를 인가하여 각종 소자들이 이상 없이 작동하는지를 검사하는 방법이고, 외관검사는 작업자가 육안으로 LCD 패널을 검사하여 LCD 패널의 불량 여부를 검사하는 방법이다.
또한 LCD 패널의 검사는 패턴의 불량을 검사하는 패턴검사를 포함한다. 이러한 패턴검사는 외관검사나 점등검사와는 달리 LCD 패널을 제작하는 공정 중에 수시로 실행될 수 있다. 패턴검사는 주사전자현미경과 같은 전자현미경에 의해 실행된 다. 다시 말해 패턴검사는 전자현미경으로 LCD 패널 패턴의 형상을 검사하여 이상 여부를 검사하는 것이다.
이미 공개된 대한민국 공개특허공보 제10-2003-0092803호(2003. 12. 06, 공개)의 '척 플레이트의 디스플레이 패널 고정방법 및 이를 수행하기 위한 척 플레이트 시스템'에는 바닥면 전체를 척 플레이트로 하는 방식이 구성되어 있는데, 이는 바닥면 척 플레이트의 진공압으로 디스플레이 패널을 고정하는 방식이다. 또한 대한민국 공개특허공보 제10-2005-0068240호(2005. 07. 05, 공개)의 '액정표시장치의 공정장비의 척 구조'에는 척의 외곽에 진공 라인이 형성된 척이 개시되어 있는데, 이는 진공 라인의 진공압으로 기판을 고정하는 방식이다.
상기한 바와 같은 디스플레이 패널이나 기판을 고정하기 위한 방식은 평판 형상으로 이루어진 척 플레이트(chuck plate)나 척이 로봇 아암에 의해 이전공정의 인덱스(index)로부터 이송되는 디스플레이 패널이나 기판을 직접 받을 수 없으므로 별도의 중계수단을 구비해야 한다. 이렇게 이전공정을 마친 디스플레이 패널이나 기판을 척 플레이트나 척에 직접 투입하지 못하고 별도의 중계수단을 이용하게 되므로 디스플레이 패널이나 기판을 이송하는 공정이 길어짐은 물론이고 이송과정에서 디스플레이 패널이나 기판이 손상될 위험성이 높아진다.
본 발명은 LCD 패널을 이전 공정 인덱스에서 이송받아 LCD 패널의 변형이나 파손 없이 척(chuck)에 안정적으로 투입하여 LCD 패널의 패턴 검사와 불량 부위 수 정 작성시에 LCD 패널의 변형이나 파손 등의 위험성을 최소한으로 줄일 수 있도록 하는 데 그 목적이 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 패널 고정용 글라스 척 장치는, 진공 형성 및 공기 배출을 위한 고정용 글라스 척이 고정 프레임의 양단에 서 있는 지지 브라켓의 상부에 결합되고, 진공 형성 및 공기 배출을 위한 가동용 글라스 척이 상기 고정 프레임의 상부에 위치한 승강축에 연동해서 상하로 오르내리는 가동 프레임의 상부에 결합되어, 상기 고정용 글라스 척과 상기 가동용 글라스 척이 평면을 이룰 수 있도록 서로 교대로 배치된 것으로서, 상기 가동용 글라스 척은 LCD 패널을 투입할 때에는 동력원에 연동해서 상승하고, LCD 패널을 고정할 때에는 동력원에 연동해서 상기 고정용 글라스 척과 같은 높이로 하강할 수 있도록 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기 동력원은 모터와, 상기 모터의 회전력을 분할하는 동력 분할유닛과, 상기 동력 분할유닛에 의해 분할된 동력을 전달하는 회전축과, 상기 회전축을 통해 전달되는 회전에너지를 상기 승강축의 승강시키기 위한 회전에너지로 변환하는 동력 변환유닛으로 구성될 수 있다.
상기 고정용 글라스 척과 상기 가동용 글라스 척은 양단에 지지 브라켓 또는 가동 프레임과의 결합을 위한 고정 브라켓이 고정된 글라스 척으로서, 상기 글라스 척은 저면에 공기 통로가 형성되고 상기 공기 통로와 연결된 다수 개의 통공이 상하로 관통지게 형성된 상판과 연결구와의 연결을 위한 연결 공이 형성된 하판이 일 체형으로 부착되고, 상기 하판의 밑면 중앙에 LCD 패널의 하중을 지지하기 위한 보강판이 하판의 길이방향을 따라 부착되며, 상기 하판의 연결공에 고정구에 의해 진공 형성 및 공기 배출장치와의 연결을 위한 연결구에 접속될 수 있다.
상기 공기 통로는 상기 상판의 길이방향을 따라 다수 개가 일정간격을 두고 형성되고, 상기 하판의 연결공은 상기 상판의 공기 통로 양단과 연통되게 형성될 수 있다.
상기 고정 프레임 상면의 각 모서리에 상기 가동 프레임 밑면의 각 모서리에 맞닿는 쇽업 쇼바가 설치되어, 상기 가동 프레임의 불규칙한 하강을 막고 상기 가동 프레임의 하강 높이를 제한할 수 있도록 구성될 수 있다.
따라서 본 발명에 의하면, 본 발명은 글라스 재질로 이루어지고 다수 개로 분할되어 LCD 패널을 투입하는 과정에서 그의 일부가 상하로 이동 가능한 평판 척이 그의 진공압으로 LCD 패널을 고정 및 지지함으로써 LCD 패널의 변형이나 파손 위험성을 낮추면서도 LCD 패널의 패턴 검사와 불량 부위 수정작업을 안정적이고도 빠르게 실행할 수 있는 효과가 있다.
본 발명에 의한 패널 고정용 글라스 척 장치는 도1 내지 도4에 도시한 바와 같이 최하단에 위치한 판 형상의 고정 프레임(10) 전방과 후방에 다수 개의 지지 브라켓(11)과 승강 축(12)이 교대로 배치되고, 각 지지 브라켓(11)의 상부에 고정 브라켓(13)에 의해 LCD 패널을 고정하기 위한 고정용 글라스 척(14)이 고정되며, 다수 개의 승강 축(12)의 상부에 사각형상의 가동 프레임(15)이 고정되며, 가동 프레임(15)의 상부에 고정 브라켓(13)에 의해 LCD 패널을 고정하기 위한 가동용 글라스 척(16)이 고정되어 있다.
상기 다수 개로 분할되어 있는 고정용 글라스 척(14)과 가동용 글라스 척(16)은 진공압에 의해 LCD 패널을 고정하기 위한 것으로서 LCD 패널이 투입되는 과정에서는 가동용 글라스 척(16)이 상하로 오르내리고, LCD 패널의 투입이 완료된 후에는 고정용 글라스 척(14)과 함께 하나의 평면을 유지하면서 도시되지 않은 진공 형성 및 공기 배출장치에 의해 형성된 진공압으로 LCD 패널을 고정(흡착)할 수 있다.
특히, 도5에 도시된 얼라인먼트 유닛(38)은 고정 프레임(10)과 가동 프레임(15) 외곽의 전후좌우에 위치하여, 위와 같이 진공 형성 및 공기배출장치로부터 배출되는 공기압에 의해 LCD 패널이 고정 프레임(10) 및 가동 프레임(15) 상부에 떠있는 동안 LCD 패널을 전후좌우로 이동시켜 LCD 패널이 정위치를 유지할 수 있도록 정렬하는 구성요소이다. 즉, 얼라인먼트 유닛(38)은 LCD 패널의 정렬과정에 이루어지기 이전에는 LCD 패널의 외곽으로부터 일정거리 이격된 상태를 유지하다 정렬이 이루어짐에 따라 LCD 패널이 정위치로 이동할 수 있도록 안쪽으로 이동하면서 LCD 패널의 위치를 조정하는 역할을 한다.
여기서 진공 형성 및 공기배출장치에 의해 형성되는 공기압은 LCD 패널과 고정 프레임(10) 및 가동 프레임(15)과의 마찰을 줄여 LCD 패널을 정렬하는 과정에서 LCD 패널이 손상되지 않도록 하는 역할을 한다.
물론, LCD 패널의 위치를 정렬하는 과정에서 고정용 및 가동용 글라스 척(14)(16)은 진공압을 형성하지 않고 LCD 패널을 들어올릴 수 있는 일정압의 공기를 배출함으로써 LCD 패널의 위치를 정렬하는 과정에서 LCD 패널과 고정용 및 가동용 글라스 척(14)(16) 사이의 마찰이 줄어 LCD 패널이 손상되지 않는다.
상기 고정 프레임(10)의 모서리 부분에 쇽업 쇼바(17)가 각각 배치되어 있는데, 이는 상하로 이동하는 가동 프레임(15)이 하강할 때 LCD 패널에 가해지는 충격을 완화시켜 주기 위함이다. 즉, 쇽업 쇼바(17)는 도시되지 않은 로봇 아암 등에 의해 이전 공정으로부터 이송되어 투입되는 LCD 패널을 받기 위해 가동 프레임(15)과 함께 가동용 글라스 척(16)이 상하로 이동하는 과정에서 LCD 패널과 가동용 글라스 척(16) 또는 LCD 패널과 고정용 글라스 척(14)과의 충돌로 인한 충격을 최소한으로 줄여주는 역할을 한다.
여기서 가동용 글라스 척(16)을 포함하는 가동 프레임(15)을 상하로 이동시키기 위한 동력을 제공하는 모터 등과 같은 동력원은 고정 프레임(10)의 상면 중앙 부분의 공간을 이용하여 설치할 수 있다.
도5는 가동 프레임과 가동용 글라스 척을 상하로 이동시키기 위한 동력을 제공하는 모터 등의 설치구조를 보여 주고 있다. 상기 동력 전달구조는 바탕이 되는 고정 프레임(10)의 상면 중앙 부위에 회전력을 제공하는 모터(18)가 설치되고, 이 모터(18)의 회전력은 회전력을 두 갈래로 분할하는 동력 분할유닛(19)을 매개로 두 개의 회전축(20)(21)에 전달되며, 각 회전축(20)(21)의 회전력은 다시 동력 분할유닛(22)(23)을 매개로 각각의 회전축(24)(25)(26)(27)에 전달되어 승강축(12)을 상 하로 이동시킬 수 있는 구조이다.
또한 각 회전축(24)(25)(26)(27)의 회전 회전력은 각 회전축(24)(25)(26)(27)의 단부에 위치한 동력 변환유닛(28)을 매개로 승강축(12)의 상하운동을 위한 운동 에너지로 변환된다. 물론 모터(18)의 회전력이 4개의 승강축(12)까지 동일하게 전달되어 승강축(12) 즉, 가동 프레임(15)이 수평상태를 유지하면서 오르내릴 수 있도록 동기시켜야 함은 당연하다.
여기서 회전축(24)(25)(26)(27)은 베어링 등을 매개로 회전 가능하도록 고정 프레임(10)에 설치된다. 상기 동력 변환유닛(28)의 하나의 예로서는 랙과 피니언 등을 들 수 있다.
도6은 고정용 글라스 척(14)의 설치상태를 보인 것으로서 고정용 글라스 척(14)은 LCD 패널의 투입이나 고정(흡착)에 관계없이 일정높이를 유지하여, LCD 패널이 투입될 때 별도의 중계수단을 경유하지 않고도 척에 직접 투입될 수 있도록 가동용 글라스 척(16)이 드나들 수 있는 공간을 제공한다.
상기 고정용 글라스 척(14)은 양단에 고정용 글라스 척(14)을 고정하기 위한 고정 브라켓(13)이 부착되고 내부에 진공압 형성이나 공기 배출을 위한 구조를 갖는다. 상기 고정용 글라스 척(14)은 고정 프레임(10)의 상면 전후에 일정간격을 두고 서 있는 지지 브라켓(11)의 상부에 고정 브라켓(13)이 결합되어 있으므로 도면에서 보이는 바와 같이 일정한 높이를 유지하면서도 LCD 패널을 투입하는 과정에서 가동용 글라스 척(16)이 드나들 수 있는 공간을 충분히 확보할 수 있는 것이다.
도7은 도6에서 설명한 고정용 글라스 척(14)과 한 쌍을 이루는 가동용 글라 스 척(16)의 설치상태를 보인 것으로서 가동용 글라스 척(16)은 LCD 패널의 투입과정에서 상하로 로봇 아암 등이 들어갈 수 있는 폭만큼 이동하여, LCD 패널이 투입될 때 별도의 중계수단을 경유하지 않고도 척에 직접 투입될 수 있도록 로봇 아암 등이 들어갈 수 있는 공간을 제공한다.
상기 가동용 글라스 척(16)은 상기의 고정용 글라스 척(14)과 마찬가지로 양단에 가동용 글라스 척(16)을 고정하기 위한 고정 브라켓(13)이 부착되고 내부에 진공압 형성이나 공기 배출을 위한 구조를 갖는다. 상기 가동용 글라스 척(16)은 도1 내지 도4에서와 같이 4개의 승강축(12)의 상부에 결합된 가동 프레임(15)의 상면 전후에 일정간격을 두고 고정 브라켓(13)에 의해 결합되어 있으므로 도면에서 보이는 바와 같이 일정한 높이를 유지하면서도 LCD 패널을 투입하는 과정에서 로봇 아암이 들어갈 수 있는 공간을 충분히 확보할 수 있는 것이다.
특히 다수 개의 가동용 글라스 척(16)이 별개의 동력원에 의해 상하로 오르내리지 않고 모터와 같은 동력원에 의해 가동 프레임(15)과 함께 동시에 상하로 오르내릴 수 있도록 결합되어 있으므로 LCD 패널을 투입하는 과정에서 가동용 글라스 척(16)의 높이차이로 인한 LCD 패널의 변형이나 파손을 방지할 수 있다.
여기서 가동용 글라스 척(16)과 가동 프레임(15)은 로봇 아암이 드나들 수 있는 높이차이를 가지며, 각 가동용 글라스 척(16) 사이에는 로봇 아암이 드나들 수 있을뿐더러 가동용 글라스 척(16)이 하강하였을 때 가동용 글라스 척(16) 사이로 고정용 글라스 척(14)이 들어갈 수 있을 정도의 공간이 형성된다.
도8 내지 도10은 양단에 고정 브라켓(13)을 가지는 고정용 글라스 척(14) 및 가동용 글라스 척(16)을 보인 것으로서 고정용 글라스 척(14) 및 가동용 글라스 척(16)은 글라스나 아크릴 등과 같이 견고하면서도 투명 혹은 반투명 재질로 이루어지며 지지 브라켓(11) 및 가동 프레임(15)과의 결합을 위해 글라스 척(29)의 양단에 고정 브라켓(13)이 결합된 구조를 갖는다.
상기 고정 브라켓(13)이 글라스 척(29)의 양단을 파지한 상태에서 지지 브라켓(11) 및 가동 프레임(15) 상부에 결합되어 있으므로 가동용 글라스 척(16)과 고정용 글라스 척(14)은 일정높이로 고정된 종래의 일체형 척과는 달리 다수 개로 분할되어 가동용 글라스 척(16)의 상하 이동에도 불구하고 가동용 글라스 척(16)의 위치에 따라 하나 혹은 두 개의 수평면을 형성하게 된다.
즉, 가동용 글라스 척(16)은 상승된 상태에서 이전 공정으로부터 투입되는 LCD 패널을 직접 받는 역할을 하고, 가동용 글라스 척(16)과 고정용 글라스 척(14)은 가동용 글라스 척(16)이 하강된 상태에서 투입된 LCD 패널을 진공압으로 고정하는 역할을 한다.
가동용 글라스 척(16)과 고정용 글라스 척(14)을 구성하는 글라스 척(29)은 도9 및 도10에 도시한 바와 같이 상판(30)에 일체형으로 부착된 하판(31)의 밑면 중앙에 상판(30)과 하판(31)의 길이방향을 따라 LCD 패널 등의 하중에도 상판(30)과 하판(31)이 변형되거나 파손되지 않도록 강도를 보강하기 위한 보강판(32)이 보강된 구조를 갖는다.
LCD 패널의 고정을 위한 진공압 형성이나 LCD 패널의 정렬을 위한 공기를 배출하기 위해, 상판(30)의 저면 혹은 하판(31)의 상면에 공기(진공) 흐름을 위한 다 수 개의 공기 통로(34)가 형성되고, 상판(30)에 다수개의 공기 통로(34)와 연결된 다수 개의 통공(33)이 형성되어 있다. 상판(30)과 하판(31)이 일체형으로 부착되었을 때 공기 통로(34)와 연결되고 외부와의 연결을 위한 연결공(35)이 하판(31)에 상하로 연통되게 형성되고, 상기 연결공(35)에 고정구(36)에 의해 도시되지 않은 진공 형성 및 공기 배출장치와의 연결을 위한 연결구(37)가 결합되어 있다.
여기서 다수 개의 공기 통로(34)가 상판(30)이나 하판(31)의 길이방향을 따라 일정간격을 두고 형성되고, 상기 공기 통로(34)의 양단과 같은 위치에 있는 연결공(35)에 외부와의 연결을 위한 연결구(37)가 연결되는 것이 상판(30)의 각 통공(33)에 일정한 진공압을 형성하거나 일정량의 공기를 배출하기에 적합하다.
도11은 쇽업 쇼바(17)의 설치상태를 보인 것으로서 쇽업 쇼바(17)는 고정 프레임(10) 상면의 각 모서리에 위치하면서 가동용 글라스 척(16)을 지지하고 있는 가동 프레임(15)의 급격한 하강을 막고 가동 프레임(15)의 하강한도를 제한한다.
즉, 각 쇽업 쇼바(17)는 별도의 마이크로 스위치와 일체형으로 구성된 것으로서 모터 등과 같은 동력원에 의해 가동 프레임(15)이 일정높이까지 하강하였을 때 마이크로 스위치가 구동되어 모터 등과 같은 동력원의 구동을 차단함으로써 가동 프레임(15)이 일정높이에서 정지한다.
여기서 가동 프레임(15)이 정지하는 높이는 고정용 글라스 척(14)과 가동용 글라스 척(16)이 투입된 LCD 패널을 동시에 부양시키거나 고정할 수 있도록 하기 위해, 고정용 글라스 척(14)과 가동용 글라스 척(16)의 상면의 높이와 일치하는 높이로 하는 것이 바람직하다.
도12 내지 도14에 의해 이전 공정으로부터 가져온 LCD 패널을 다음 공정에 투입하는 과정에서 가동용 글라스 척(16)을 포함하는 패널 고정용 글라스 척 장치의 동작상태를 설명한다.
먼저, 도14에서와 같이 고정용 글라스 척(14)과 가동용 글라스 척(16)이 동일한 높이를 유지하고 있는 상태에서 이전공정으로부터 투입되는 LCD 패널을 받기 위해 모터(18)가 구동되면, 모터(18)의 회전력이 다수 개의 동력 분할유닛과 다수 개의 회전축 및 동력 변환유닛을 거쳐 승강축(12)에 전달되어 도12 및 도13에서와 같이 고정된 상태를 유지하는 고정용 글라스 척(14)은 달리 가동용 글라스 척(16)이 서서히 상승하게 된다.
도12 및 도13에서와 같이 가동용 글라스 척(16)이 고정용 글라스 척(14)과 높이차이를 갖도록 상승 완료된 상태에서 도시되지 않은 로봇 아암 등에 의해 이전 공정으로부터 LCD 패널이 이송되어 가동용 글라스 척(16)에 투입되게 된다.
이때 LCD 패널을 들고 있는 로봇 아암이 가동용 글라스 척(16)들의 사이의 공간으로 들어가 LCD 패널이 가동용 글라스 척(16)에 닿아도 로봇 아암이 LCD 패널과 가동용 글라스 척(16) 사이에 위치하지 않으므로 별도의 중계수단을 이용하지 않고 가동용 글라스 척(16)에 LCD 패널을 직접 투입하여도 로봇 아암과 LCD 패널 간의 간섭이 일어나지 않는다.
위와 같이 가동용 글라스 척(16)에 LCD 패널을 투입한 로봇 아암이 LCD 패널로부터 이격될 수 있을 정도만큼 아래로 하강한 후 가동용 글라스 척(16)의 공간으로부터 빠져나오므로 LCD 패널을 투입한 로봇 아암이 원 상태로 돌아가는 과정에서 도 로봇 아암과 LCD 패널 사이에 간섭이 일어나지 않는다.
이렇게 가동용 글라스 척(16)에 LCD 패널을 투입한 후 가동용 글라스 척(16)을 하강시키기 위해 모터(18)가 구동되면, 모터(18)의 회전력이 다수 개의 동력 분할유닛과 다수 개의 회전축 및 동력 변환유닛을 거쳐 승강축(12)에 전달되어 도14에서와 같이 고정된 상태를 유지하는 고정용 글라스 척(14)은 달리 가동용 글라스 척(16)이 서서히 하강하게 된다.
이후 도시되지 않은 진공 형성 및 공기 배출장치 등을 구동시켜 가동용 글라스 척(16)과 고정용 글라스 척(14)의 통공(33)을 통해 공기를 배출시키면서 가동용 글라스 척(16)과 고정용 글라스 척(14)에 투입된 LCD 패널을 정렬한 후 글라스 척(16)과 고정용 글라스 척(14)의 통공(33)을 통해 진공압을 형성시켜 LCD 패널을 고정하고 나서 종래의 기술에서와 마찬가지로 LCD 패널의 패턴을 검사하는 작업이나 불량 부위를 수정하는 작업을 실시한다.
더 나아가서 상술한 바와 같은 본 발명에 의한 패널 고정용 글라스 척 장치는 LCD 패널의 패턴을 검사하는 작업이나 불량 부위를 수정하는 작업에만 적용되는 것으로 한정되지 않고 LCD 패널을 제조하는 과정에서 LCD 패널을 고정해야 하는 다른 작업에도 적용할 수 있다.
도1은 본 발명에 의한 패널 고정용 글라스 척 장치의 사시도이다.
도2는 본 발명에 의한 패널 고정용 글라스 척 장치의 평면도이다.
도3은 본 발명에 의한 패널 고정용 글라스 척 장치의 정면도이다.
도4는 본 발명에 의한 패널 고정용 글라스 척 장치의 측면도이다.
도5는 도1 내지 도4의 패널 고정용 글라스 척 장치에서 글라스 척이 제거된 상태를 보인 사시도이다.
도6은 고정용 글라스 척의 설치상태를 보인 사시도이다.
도7은 가동용 글라스 척을 보인 사시도이다.
도8은 도6 및 도7에 개시된 글라스 척의 사시도이다.
도9는 도8에 개시된 글라스 척에서 고정 브라켓이 제거된 상태를 보인 사시도이다.
도10은 도9에 개시된 글라스 척의 분해 사시도이다.
도11은 쇽업 쇼바의 설치상태를 보인 사시도이다.
도12는 가동용 글라스 척이 상승된 상태를 보인 사시도이다.
도13은 가동용 글라스 척이 상승된 상태를 보인 측면도이다.
도14는 가동용 글라스 척이 하강된 상태를 보인 측면도이다.
- 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 고정 프레임 11 : 지지 브라켓
12 : 승강 축 13 : 고정 브라켓
14 : 고정용 글라스 척 15 : 가동 프레임
16 : 가동용 글라스 척 17 : 쇽업 쇼바
18 : 모터 19, 22, 23 : 동력 분할유닛
20, 21, 24, 25, 26, 27 : 회전축 28 : 동력 변환유닛
29 : 글라스 척 30 : 상판
31 : 하판 32 : 보강판
33 : 통공 34 : 연결 통로
35 : 연결공 36 : 고정구
37 : 연결구 38 : 얼라인먼트 유닛

Claims (5)

  1. 진공 형성 및 공기 배출을 위한 고정용 글라스 척이 고정 프레임의 양단에 서 있는 지지 브라켓의 상부에 결합되고, 진공 형성 및 공기 배출을 위한 가동용 글라스 척이 상기 고정 프레임의 상부에 위치한 승강축에 연동해서 상하로 오르내리는 가동 프레임의 상부에 결합되어, 상기 고정용 글라스 척과 상기 가동용 글라스 척이 평면을 이룰 수 있도록 서로 교대로 배치된 것으로서, 상기 가동용 글라스 척은 LCD 패널을 투입할 때에는 동력원에 연동해서 상승하고, LCD 패널을 고정할 때에는 동력원에 연동해서 상기 고정용 글라스 척과 같은 높이로 하강할 수 있도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 패널 고정용 글라스 척 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 동력원은 모터와, 상기 모터의 회전력을 분할하는 동력 분할유닛과, 상기 동력 분할유닛에 의해 분할된 동력을 전달하는 회전축과, 상기 회전축을 통해 전달되는 회전에너지를 상기 승강축의 승강시키기 위한 회전에너지로 변환하는 동력 변환유닛으로 구성되는 것을 특징으로 하는 패널 고정용 글라스 척 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 고정용 글라스 척과 상기 가동용 글라스 척은 양단에 지지 브라켓 또는 가동 프레임과의 결합을 위한 고정 브라켓이 고정된 글라스 척으로서, 상기 글라스 척은 저면에 공기 통로가 형성되고 상기 공기 통로와 연결된 다수 개의 통공이 상하로 관통지게 형성된 상판과 연결구와의 연결을 위한 연결 공이 형성된 하판이 일체형으로 부착되고, 상기 하판의 밑면 중앙에 LCD 패널의 하중을 지지하기 위한 보강판이 하판의 길이방향을 따라 부착되며, 상기 하판의 연결공에 고정구에 의해 진공 형성 및 공기 배출장치와의 연결을 위한 연결구에 접속되는 것을 특징으로 하는 패널 고정용 글라스 척 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 공기 통로는 상기 상판의 길이방향을 따라 다수 개가 일정간격을 두고 형성되고, 상기 하판의 연결공은 상기 상판의 공기 통로 양단과 연통되게 형성되는 것을 특징으로 하는 패널 고정용 글라스 척 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 고정 프레임 상면의 각 모서리에 상기 가동 프레임 밑면의 각 모서리에 맞닿는 쇽업 쇼바가 설치되어, 상기 가동 프레임의 불규칙한 하강을 막고 상기 가동 프레임의 하강 높이를 제한할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 패널 고정용 글라스 척 장치.
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CN102117589A (zh) * 2009-12-31 2011-07-06 塔工程有限公司 阵列测试装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102117588A (zh) * 2009-12-31 2011-07-06 塔工程有限公司 阵列测试装置
CN102117589A (zh) * 2009-12-31 2011-07-06 塔工程有限公司 阵列测试装置
KR101115874B1 (ko) * 2009-12-31 2012-02-22 주식회사 탑 엔지니어링 어레이 테스트 장치

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