JP4961957B2 - 基板組立装置の搬送方法 - Google Patents
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Description
前記基板組立装置は、架台上に、前記下チャンバと前記下基板を保持する下テーブルとが支持されているとともに、伸び縮みする上下シャフトが設けられてなる下チャンバユニットと、端部で前記下チャンバユニットでの前記上下シャフトの上端部と取り外し可能に連結され、かつ前記上下シャフトの伸び縮みにより上下移動する上フレームと、前記上フレームに吊り下げ支持された上チャンバと、前記上フレームに吊り下げ支持されて上基板を保持する上テーブルとを有する上チャンバユニットと、からなり、
前記基板組立装置を前記パネル製造工場に搬送するとき、前記基板組立装置を、前記上下シャフトから前記上フレームを取り外すことにより、前記上チャンバユニットと前記下チャンバユニットとに2分割して、搬送車に別々に搭載して搬送するものであって、前記下チャンバユニットはその状態を保持して搬送し、前記上チャンバユニットは上下に移動可能な上チャンバユニット支持部を有する搬送治具に、前記上チャンバユニットの前記上フレームを前記上チャンバユニット支持部に締結することにより、固定して搬送すると共に、搬送先で前記搬送治具に支持された状態の前記上チャンバユニットに前記下チャンバユニットを取り付けて前記基板組立装置を組み立て、前記搬送治具を装置組立治具としても使用するように構成した。
前記基板組立装置は、架台上に、下チャンバと下基板を保持する下テーブルとが支持されているとともに、伸び縮みする上下シャフトが設けられてなる下チャンバユニットと、端部で前記下チャンバユニットでの前記上下シャフトの上端部と取り外し可能に連結され、かつ前記上下シャフトの伸び縮みにより上下する上フレームと、前記上フレームに吊り下げ支持されて前記下チャンバとチャンバを形成する上チャンバと、前記上フレームに吊り下げ支持されて上基板を保持する上テーブルとを有する上チャンバユニットと、からなり、
前記基板組立装置を前記パネル製造工場に搬送するときには、前記基板組立装置を、前記上下シャフトから前記上フレームを取り外すことにより、前記上チャンバユニットと前記下チャンバユニットとに2分割して、搬送車に別々に搭載して搬送するものであって、前記下チャンバユニットはその状態を保持して搬送し、前記上チャンバユニットは仮置き架台を有する搬送治具に、前記上フレームを前記仮置き架台に固定することにより、固定して搬送するように構成した。
36を挿入する。その後、油圧ジャッキ30を駆動して更に上チャンバユニット20を上昇させる(図3(3))。この状態で第2の間座37を油圧ジャッキの軸に挿入して上チャンバユニットを支持する。第2の間座を挿入することで、下チャンバユニット25を上チャンバユニット20の下に搬入するスペースを確保すると共に、万が一上チャンバユニットを支持する油圧ジャッキの保持力がなくなっても、上チャンバユニットの降下を防止することが可能となる(図3(4))。
40に設けた締結部とボルトにより締結できるように構成されている。なお、上チャンバ8や上テーブル9が仮置き架台40上で移動しないように、仮置き架台40に振れ止め用の保持部41が設けてある。振れ止め用保持部41は仮置き架台40及び上チャンバ8をボルト等で締結できるように構成されている。また、仮置き架台40の足の部分には、上チャンバユニット20を仮置き架台40上に搭載した状態で移動可能なようにキャスタ機構が設けてある。運搬時にはこの仮置き架台40上に上チャンバユニットをそのままの状態で搭載し、仮置き架台ごと搬送する。
2 下シャフト
3 下チャンバ
4 下テーブル
5 上フレーム
6 上シャフト
7 支持軸
8 上チャンバ
9 上テーブル
10 上下シャフト
11 Z軸駆動モータ
12 ボールネジ
20 上チャンバユニット
25 下チャンバユニット
32 支持架台
33 上チャンバユニット支持部
34 支持梁
40 仮置き架台
41 保持部
42 吊り金具
43 締結部材
Claims (8)
- 下チャンバと上チャンバとからなる真空チャンバ内で下基板と上基板とを貼り合わせるための基板組立装置を装置組立工場からパネル製造工場に搬送する基板組立装置の搬送方法において、
前記基板組立装置は、
架台上に、前記下チャンバと前記下基板を保持する下テーブルとが支持されているとともに、伸び縮みする上下シャフトが設けられてなる下チャンバユニットと、
端部で前記下チャンバユニットでの前記上下シャフトの上端部と取り外し可能に連結され、かつ前記上下シャフトの伸び縮みにより上下移動する上フレームと、前記上フレームに吊り下げ支持された上チャンバと、前記上フレームに吊り下げ支持されて上基板を保持する上テーブルとを有する上チャンバユニットと
からなり、
前記基板組立装置を前記パネル製造工場に搬送するとき、前記基板組立装置を、前記上下シャフトから前記上フレームを取り外すことにより、前記上チャンバユニットと前記下チャンバユニットとに2分割して、搬送車に別々に搭載して搬送するものであって、前記下チャンバユニットはその状態を保持して搬送し、前記上チャンバユニットは上下に移動可能な上チャンバユニット支持部を有する搬送治具に、前記上チャンバユニットの前記上フレームを前記上チャンバユニット支持部に締結することにより、固定して搬送すると共に、搬送先で前記搬送治具に支持された状態の前記上チャンバユニットに前記下チャンバユニットを取り付けて前記基板組立装置を組み立て、前記搬送治具を装置組立治具としても使用する
ことを特徴とする基板組立装置の搬送方法。 - 請求項1に記載の基板組立装置の搬送方法において、
前記上チャンバユニットの上フレームには、前記下チャンバユニットの前記上下シャフトと取外し可能に連結された受け座が設けられており、
前記受け座から前記上下シャフトを取り外すことにより、前記基板組立装置を前記上チャンバユニットと前記下チャンバユニットとに分割するものである
ことを特徴とする基板組立装置の搬送方法。 - 請求項2に記載の基板組立装置の搬送方法において、
前記搬送治具は、前記上チャンバユニット支持部を前記上チャンバユニットの前記上フレームに設けられている前記受け座にボルトで締結する構造とし、固定した前記上チャンバユニットを上下に移動可能としたことを特徴とする基板組立装置の搬送方法。 - 請求項1〜3のいずれか1つに記載の基板組立装置の搬送方法において、
前記基板組立装置での前記上チャンバユニットに設けられているエアー機器への配管及び電気機器への配線を継ぎ手にて分離,結合できる構成としたことを特徴とする基板組立装置の搬送方法。 - 基板組立装置を装置組立工場からパネル製造工場に搬送する基板組立装置の搬送方法において、
前記基板組立装置は、
架台上に、下チャンバと下基板を保持する下テーブルとが支持されているとともに、伸び縮みする上下シャフトが設けられてなる下チャンバユニットと、
端部で前記下チャンバユニットでの前記上下シャフトの上端部と取り外し可能に連結され、かつ前記上下シャフトの伸び縮みにより上下する上フレームと、前記上フレームに吊り下げ支持されて前記下チャンバとチャンバを形成する上チャンバと、前記上フレームに吊り下げ支持されて上基板を保持する上テーブルとを有する上チャンバユニットと
からなり、
前記基板組立装置を前記パネル製造工場に搬送するときには、前記基板組立装置を、前記上下シャフトから前記上フレームを取り外すことにより、前記上チャンバユニットと前記下チャンバユニットとに2分割して、搬送車に別々に搭載して搬送するものであって、前記下チャンバユニットはその状態を保持して搬送し、前記上チャンバユニットは仮置き架台を有する搬送治具に、前記上フレームを前記仮置き架台に固定することにより、固定して搬送する
ことを特徴とする基板組立装置の搬送方法。 - 請求項5に記載の基板組立装置の搬送方法において、
前記上チャンバユニットの上フレームには、前記下チャンバユニットの前記上下シャフトと取外し可能に締結された受け座が設けられており、
前記受け座から前記上下シャフトを取り外すことにより、前記基板組立装置を前記上チャンバユニットと前記下チャンバユニットとに分割するものである
ことを特徴とする基板組立装置の搬送方法。 - 請求項6に記載の基板組立装置の搬送方法において、
前記搬送治具は、前記仮置き架台に、前記上チャンバユニットの前記上フレームの前記受け座にボルトで締結する締結部を設けるとともに、前記仮置き架台と前記上チャンバとにボルトで締結される前記上チャンバと前記上テーブルの移動を防止する振れ止め用の保持部を設けた
ことを特徴とする基板組立装置の搬送方法。 - 請求項6または7に記載の基板組立装置の搬送方法において、
前記受け座には、クレーンで搬送するための吊り金具が取り付けられていることを特徴とする基板組立装置の搬送方法。
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