KR20080042738A

KR20080042738A - 기판 조립 장치의 반송 지그와 반송 방법

Info

Publication number: KR20080042738A
Application number: KR1020070114153A
Authority: KR
Inventors: 다꾸야 가이즈; 유끼노리 나까야마; 기요시 이마이즈미; 히사시 이찌무라; 마사아끼 이또오
Original assignee: 가부시키가이샤 히타치플랜트테크놀로지
Priority date: 2006-11-10
Filing date: 2007-11-09
Publication date: 2008-05-15
Also published as: CN101178500B; JP2008120500A; TWI333932B; JP4961957B2; CN101178500A; KR100894944B1; TW200833596A

Abstract

액정 패널의 조립 장치에 있어서, 패널의 대형화에 수반하여 장치도 대형으로 되고, 장치 중량도 40tf를 초과하여 그 상태 그대로는 반송할 수 없게 되어 왔다.

기판 조립 장치를 상 챔버 유닛과 하 챔버 유닛으로 상하 샤프트부로 2분할하여, 하 챔버 유닛은 그 상태 그대로를 유지하며 반송하는 동시에, 상 챔버 유닛은 상 챔버 유닛을 구성하는 상 프레임부를 반송 지그에 설치하여, 반송하는 동시에, 상기 반송 지그에 상 챔버 유닛을 상하 이동하는 기구를 부가하여, 조립 지그에도 사용할 수 있도록 구성했다.

액정 패널, 조립 장치, 패널, 프레임, 샤프트

Description

기판 조립 장치의 반송 지그와 반송 방법 {TRANSFER JIG OF SUBSTRATE ASSEMBLING APPARATUS, AND TRANSFER METHOD THEREOF}

대형의 글래스 기판을 이용하여, 액정을 적하하여 진공 중에서 기판을 접합하기 위한 기판 조립 장치의 반송 지그와 상기 장치의 반송 방법에 관한 것이다.

최근, 특허 문헌1에 도시한 바와 같이 한 쪽에 액정을 적하한 기판과, 다른 쪽에 컬러 필터 등을 설치한 기판을 진공 중(진공 챔버내)에서 접합하는 기판 조립 장치를 이용하여 액정 모니터를 제조하는 방법이 채용되어, 액정 모니터의 양산화가 진행되고 있다. 이 양산화에 있어서 사용하는 글래스 기판도 2m×2m를 초과하는 것이 사용되어 왔다.

또한, 대형의 중량물을 설치할 경우, 특허 문헌2에 기재한 바와 같이 위치 맞춤 등에 고안을 필요로 한다.

<특허 문헌1> 일본 특개2004-037594호 공보

<특허 문헌2> 일본 특개2003-321195호 공보

전술한 바와 같이, 기판의 대형화에 수반하여, 기판 접합하는 기판 조립 장치도 대형화되어, 장치 제조 공장부터 패널 조립 공장까지 1대의 반송 차량으로 반송하는 것이 교통법상으로도 할 수 없는 상황으로 되어 왔다.

따라서, 장치 제조 공장에서 한번 장치를 조립하고, 다양한 검사를 행한 후에 복수의 부품으로 분해하여, 패널 공장까지 반송하고, 다시 조립하는 방법을 취하는 것도 고려되고 있다. 그러나, 이 방법으로는, 재조립에 많은 시간이 걸려 패널 조립 공장의 조업 개시를 늦추게 되어 문제였다.

본 발명의 목적은, 장치의 대형화에 수반하여, 차량 반송이 가능하고, 또한 패널 조립 공장에 있어서, 장치의 조립 시간을 그다지 필요로 하지 않고 가능한 기판 조립 장치의 반송 지그와 반송 방법을 제공하는 것에 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에서는, 기판 조립 장치를 상 챔버 유닛과 하 챔버 유닛의 상하로 2분할하여, 상기 상 챔버 유닛을 반송하기 위한 반송 지그가 상 챔버 유닛을 구성하는 상 프레임에 볼트로 체결되는 구조로 하고, 상 챔버 유닛을 상하로 이동할 수 있게 구성했다.

또한, 공장측에 크레인 설비를 구비하고 있는 경우에는, 상 챔버 유닛을 구성하는 상 프레임에 현수 금구를 설치하여 챔버측을 아래로 하고, 캐스터를 갖는 임시 거치대 상에 상 프레임의 받침 시트 부분에서 임시 거치대에 고정하는 동시에, 상 챔버부와 상 테이블이 이동하지 않도록 임시 거치대에 흔들림 방지용의 유지구를 설치한 구성으로 했다.

본 발명과 같이, 기판 조립 장치를 상 챔버 유닛과 하 챔버 유닛의 2개로 분할하여, 반송할 수 있는 구성으로 하고, 특히 상 챔버 유닛을, 조립 방향을 유지한 상태에서 반송할 수 있는 반송 지그를 이용하여 반송하고, 또한 그 반송 지그를 조립 지그에 그대로 사용할 수 있도록 함으로써, 조립 시간의 단축을 도모하고, 장치의 가동 개시를 빠르게 하는 것이 가능하게 된다.

액정 패널의 제조 장치는 최근 수년 마더 글래스 기판의 대형에 수반하여, 장치 자체도 대형화할 필요성이 높아지고 있다. 최근에는 글래스 기판이 2m×2m을 초과하고, 기판 조립 장치의 중량도 35tf 내지 40tf로 무거워져, 장치를 조립한 채로 반송할 수 없게 되어 왔다. 따라서, 한번 조립 시험 등을 행한 장치를, 반송 조립이 용이한 상태로 분할하여 반송하기로 했다. 그 경우, 장치를 세밀하게 분해 하여 반송하는 것은 용이하지만, 기껏 한번 조립한 것을 재분할하면, 장치의 구동에 많은 시간을 요하는 동시에, 재조립 시에 조립 불량이 발생할 확률이 커진다. 그 때문에 본 발명에서는 최소한의 분할로 하고, 분할한 장치를 반송을 위한 지그에 고정하여 반송하도록 했다. 이하, 본 발명의 일 실시예에 대하여 도면을 이용하여 설명한다.

<실시예1>

도1은 본 발명의 기판 조립 장치의 단면도를 도시한 것이다.

기판 조립 장치는 가대(1)와 상 프레임(5)을 강체 지지 부재로 하여, 그 내 측에 상 챔버(8)와 하 챔버(3)를 설치하는 구성으로 하고 있다. 또한, 가대(1)측에 설치한 도2에 도시하는 Z축 구동 기구를 구성하는 Z축 구동 모터(11)에 의해 볼 나사(12)를 회전 구동함으로써, 상하 샤프트(10)에 설치한 볼 나사받이부를 통하여 상하 샤프트(10)가 신축된다. 이 상하 샤프트(10)의 상단부에는 상 프레임(5)의 받침 시트(5a)가 볼트에 의해 고정 가능하게 되어 있다. 즉, 상하 샤프트(10)를 상하 방향으로 이동함으로써 상 프레임(5)이 가대(1)에 대하여 상하 이동하는 구성으로 하고 있다. 이 상하 샤프트(10)는 4조 이상 설치되어 있다. 또한, 상 프레임(5) 상에는 접합한 기판의 시일 부분에 UV광을 조사하여 가고정하기 위한 광원 등이 설치되어 있다. 또한, 상 프레임측에 부속되는 에어 기기나 전기 기기에 대한 배선이나 배관 등은, 이음매 구조로 되어 있고, 분할, 접속을 원터치로 행할 수 있도록 되어 있다. 또한, 상 프레임에 설치한 받침 시트(5a) 부분이 반송 시의 고정 시트를 겸하도록 구성되어 있다.

가대(1)의 상방에는 하 테이블(4)을 지지하기 위한 복수 하 샤프트(2)가 설치되어 있다. 각 하 샤프트(2)는 하 챔버(3)를 지지하는 동시에, 하 챔버(3) 내와 기밀성을 유지하기 위하여 진공 시일을 개재하여 하 챔버(3) 내로 돌출되어 있다. 또한 각 하 샤프트(2)와 하 테이블(4)의 사이에는 XYθ 방향으로 각각 독립적으로 가동 가능하도록 구성된 XYθ 이동 유닛이 설치되어 있다. 또한, XYθ 이동 유닛은, 상하 방향으로 고정하여 수평 방향으로 자유롭게 이동 가능한 볼 베어 등을 사용한 기구로 구성해도 된다. 하 테이블(4)의 수평 방향(X, Y 방향)으로 도시하지 않은 복수의 하 테이블 수평 구동 기구가 하 챔버(3)의 외측에 설치되어 있고, 구 동 기구에 설치한 축으로 하 테이블의 측면(하 테이블의 두께 방향)을 누름으로써 XYθ 방향의 위치 결정을 행할 수 있도록 구성되어 있다.

또한, 하 챔버(3)와 상 챔버(8)는 분할할 수 있는 구성으로 되어 있고, 그 접속부에는 도시하지 않았지만 시일 링이 설치되어 있고, 이에 따라 상하의 챔버를 합체시켜, 내부를 배기했을 때의 공기의 누설을 방지하고 있다.

상 프레임(5)과 Z축 구동 기구의 접속부에는 각각 로드 셀이 설치되어 있다. 상 프레임(5)의 내측에는, 상 챔버(8)가 설치되어 있다. 상 챔버(8)는 상 프레임(5)으로부터 복수의 지지축(7)에 의해 현수되는 구조로 되어 있다. 상 프레임(5)을 상하 이동시킴으로써 상 챔버(8)를 하 챔버(3)로부터 이격시킬 수 있다. 또한, 상 프레임(5)에는 상 테이블(9)을 지지하기 위해, 상 챔버(8) 내를 향하여 복수의 상 샤프트(6)가 설치되어 있다. 상 샤프트(6)와 상 챔버(8) 사이에는 챔버 내의 기밀을 유지하기 위하여 진공 시일로 접속되어 있다. 또한 상 테이블(9)은 상 샤프트(6)에 고정되어 있고, 기판을 가압했을 때의 힘을 로드 셀로 검지할 수 있는 구조로 된다.

또한，Z축 구동 기구는 상 프레임(5), 상 챔버(8) 및 상 테이블(9)을 상하로 이동할 수 있게 되어 있다. 그 때문에 상 챔버(8)를 상 프레임(5)에 설치한 지지축(7)과 상 테이블(9)을 상 프레임으로 지지하는 축[상 샤프트(6)]이 따로따로 설치되어 있다. 그 때문에 상 챔버(8)의 지지축(7)은, 상 챔버(8)가 하 챔버(3)에 합체하면, 상 챔버(8)로부터 하 챔버(3)로 하측으로 이동하는 힘이 작용하지 않도록, 여유가 생기는 지지 구성으로 되어 있다. 즉, 상 챔버(8) 상부에 소정의 높이 의 브래킷을 설치하고, 그 브래킷 내부에 상 챔버(8)의 지지축(7)의 선단에 플랜지부가 맞닿도록 되어 있다. 상 챔버(8)를 들어 올릴 때는 이 브래킷에 지지축(7)의 플랜지부가 접촉되어 상 챔버(8) 및 상 테이블(9)이 일체로 상방향으로 이동할 수 있다. 즉, 상하 샤프트(10)를 상승시켜, 상 테이블(9)을 상 챔버(8) 내에서 소정량 상방으로 이동하면 지지축(7)의 플랜지부가 브래킷에 접촉되고, 또한 상승시키면 상 테이블(9)과 상 챔버(8)가 모두 상방으로 이동하는 구성으로 되어 있다. 또한, 상 챔버(8)가 하측으로 이동하여 하 챔버(3)와 일체로 될 때까지는 상 챔버(8)와 상 테이블(9)은 일체로 이동하고, 상하 챔버가 일체로 된 후에는 상 테이블(9)이 하 테이블(4)측으로 단독으로 이동 가능하도록 되어 있다. 즉, 브래킷의 내부에는 지지축(7)의 플랜지부가 상하 이동할 수 있게 공간이 형성되어 있다.

또한 상기한 바와 같이 본 실시예에서는，상 테이블(9) 및 하 테이블(4)은 상 챔버(8) 및 하 챔버(3)와는 이격되어 배치되어 있기 때문에，챔버 내를 감압했을 때에 챔버는 변형되지만, 이 변형이 상하 테이블에 전달하지 않아, 기판을 수평으로 유지할 수 있다. 기판의 반입 및 반출 시에는 상 챔버와 상 테이블을 들어 올려 하 챔버와 하 테이블 사이에 간극을 형성하고 거기에, 로봇 핸드 등을 이용하여 기판을 반입하는 구성으로 되어 있다.

상 테이블(9)에는 도시하지 않았지만 철로 만든 탄성체 플레이트가 설치되어 있다. 탄성체 플레이트의 기판과 접촉하는 면 전체적으로는 탄성체가 설치되어 있다. 탄성체 플레이트는 상 테이블에 매립한 복수의 자석의 자기력과 나사 체결에 의해 고정되어, 교환 가능하게 구성되어 있다.

본 실시예에서는, 기판 조립 장치를 한번 조립하고, 다양한 검사를 행한 후에 반송하기 위해, 상하 샤프트(10)의 부분에서 하 챔버 유닛(25)과 상 챔버 유닛(20)의 2개로 분할할 수 있도록 구성했다. 여기서, 하 챔버 유닛(25)은, 가대(1), 하 샤프트(2), 하 챔버(3), 하 테이블(4), 상하 샤프트(10) 등으로 이루어지고, 상 챔버 유닛(20)은 상 프레임(5), 지지축(7), 상 샤프트(6), 상 챔버(8), 상 테이블(9) 등으로 구성되어 있다.

이와 같이, 장치를 2개로 분할하여 반송할 경우, 상 챔버 유닛(20)을 그 상태 그대로, 분할·반송할 수 있도록 전용의 반송 지그(35)로 고정하여 반송할 수 있게 하였다. 도2에 상 챔버 유닛을 반송 지그에 설치한 상태를 도시한다.

상 챔버 유닛(20)의 상 프레임(5)에 설치되어 있는 받침 시트(5a)에 볼트 체결용의 구멍을 형성하여 반송 지그(35)의 상 챔버 유닛 지지부(33)에 볼트에 의해 고정하는 구성으로 되어 있다. 반송 지그(35)는 상 챔버 유닛(20)을 4개소에서 지지하기 위해 각각 이동 가능한 캐스터(31)를 설치한 지지 가대(32)의 상부에 상 챔버 유닛 지지부(33)를 유압 잭(30)으로 상하 이동할 수 있게 구성되어 있다. 또한, 각 지지 가대(32) 사이에는 지지보(34)로 연결하여 위치 어긋남 등의 발생을 방지하도록 되어 있다. 또한, 하 챔버 유닛(25)은 상 챔버 유닛(20)을 분할함으로써 방진 등의 대책을 실시하고, 그 상태 그대로 반송 가능하게 된다. 상 챔버 유닛은 반송 지그를 포함하여 약 20tf 전후로 되고, 하 챔버 유닛의 중량은 대략 23tf 내지 25tf로 되어 반송 가능하게 된다.

다음에 분할된 상하 챔버 유닛의 조립 수순에 대하여 도3, 도4를 이용하여 설명한다. 도3에는 상 챔버 유닛을 하 챔버 유닛에 조합하기 위한 전 공정을, 도4에는 상 챔버 유닛과 하 챔버 유닛을 조립하는 후 공정을 도시하고 있다.

우선, 상 챔버 유닛은 도3의 (1)의 상태에서 반송 지그에 설치되어 반송된다. 이 상 챔버 유닛을 하 챔버 유닛에 합체하기 위해 상방으로 들어올릴 필요가 있다. 그 때문에 도면에 도시한 바와 같이 반송 지그에 설치되어 있는 유압 잭(30)을 구동하여 상 챔버 유닛(20)[상 챔버 유닛 지지부(33)]을 들어 올린다[도3의 (2)]. 다음에 유압 잭(30)이 상승시킨 축 부분에 감입되도록 슬릿을 갖는 제1 이탈 방지 피스(36)를 삽입한다. 그 후에 유압 잭(30)을 구동하여 더욱 상 챔버 유닛(20)을 상승시킨다[도3의 (3)]. 이 상태에서 제2 이탈 방지 피스(37)를 유압 잭의 축에 삽입하여 상 챔버 유닛을 지지한다. 제2 이탈 방지 피스를 삽입함으로써 하 챔버 유닛(25)을 상 챔버 유닛(20) 아래로 반입하는 스페이스를 확보하는 동시에, 만일 상 챔버 유닛을 지지하는 유압 잭의 유지력이 없어져도, 상 챔버 유닛의 강하를 방지하는 것이 가능하게 된다[도3의 (4)].

다음에 지지보(34)의 일부를 떼고, 하 챔버 유닛(25)을 상 챔버 유닛(20) 아래에 세트한다[도4의 (1)]. 하 챔버 유닛(25)의 위치 결정이 종료되면 반송 지그의 유압 잭(30)을 구동하여 상 챔버 유닛(20)을 상방으로 조금만 이동시켜 제2 이탈 방지 피스(37)를 제거한다. 제2 이탈 방지 피스(37)의 제거가 종료되면, 유압 잭을 구동하여 상 챔버 유닛 지지부를 제1 이탈 방지 피스로 지지할 수 있는 위치까지 강하시킨다[도4의 (2)]. 다음에 하 챔버 유닛(25)의 Z축 구동 기구를 구동하여 상하 샤프트(10)를 상승시켜 상 프레임(5)의 받침 시트(5a)에 접촉시켜, 상하 샤프트(10)와 상 프레임(5)의 받침 시트(5a)를 볼트에 의해 체결한다. 상하의 챔버 유닛의 체결이 완료되면, 상 챔버 유닛을 Z축 구동 기구 및 반송 지그의 유압 잭을 구동하여 조금 상승시켜 제1 이탈 방지 피스(36)를 제거한다[도4의 (3)]. 다음에 반송 지그의 상 챔버 유닛 지지부와 상 프레임의 체결을 해제한다. 반송 지그를 장치 본체로부터 제거한다[도4의 (4)].

상기의 수순으로 접합 장치를 조립하는 것이 가능하다. 상기 수순을 반대로 행함으로써, 기판 조립 장치를 반송할 수 있게 2개로 분할할 수 있다. 이상과 같이, 장치의 대형화에 수반하여 다수의 부품으로 분해하지 않고, 장치를 2분할하여 본 발명의 반송 지그를 이용하여, 상 챔버 유닛을 반송 지그에 고정하여 반송하는 동시에, 그 반송 지그를 이용하여 조립을 행할 수 있도록 하기 때문에, 2개로 분할 할 경우의 공정을, 조립하는 경우에는 반대로 행하면 되어, 작업이 간단해진다. 또한, 조립하기 위해, 현수 장치 등의 다른 설비를 준비할 필요가 없다.

<실시예2>

도5에 반송 지그의 다른 실시예를 도시한다. 본 실시예는 패널 조립 공장 내에 대형 크레인이 상비되어 있는 경우의 반송 지그의 구성이다. 본 실시예에 있어서도 기판 조립 장치의 분할 개소는 실시예1과 동일하다. 본 실시예의 경우 전술한 실시예와 다른 점은, 상 챔버 유닛(20)에 크레인으로 현수하여 이동하기 위해 현수 금구(42)를 설치한 점과, 상 챔버 유닛에 임시 거치 가대(40)를 설치한 점이다. 이 임시 거치 가대(40)는 상 챔버 유닛의 상 프레임(5)의 받침 시트(5a)에 설치되어 있는 상하 샤프트(10)에 체결하는 부분이, 임시 거치 가대(40)에 설치한 체 결부와 볼트에 의해 체결할 수 있게 구성되어 있다. 또한, 상 챔버(8)나 상 테이블(9)이 임시 거치 가대(40) 상에서 이동하지 않도록, 임시 거치 가대(40)에 흔들림 방지용의 지지부(41)가 설치되어 있다. 흔들림 방지용 지지부(41)는 임시 거치 가대(40) 및 상 챔버(8)를 볼트 등으로 체결할 수 있게 구성되어 있다. 또한, 임시 거치 가대(40)의 발의 부분에는, 상 챔버 유닛(20)을 임시 거치 가대(40) 상에 탑재한 상태에서 이동 가능하도록 캐스터 기구가 설치되어 있다. 운반 시에는 이 임시 거치 가대(40) 상에 상 챔버 유닛을 그 상태 그대로 탑재하여, 임시 거치 가대와 함께 반송한다.

본 발명에서는 상 챔버 유닛에 현수 금구를 설치하는 구성으로 하고 있다. 이 현수 금구의 설치 방법은 장치의 반입 방향으로 설치 위치가 상이하다. 기판 조립 장치는 상부로부터 보면 대략 직사각형의 형상을 하고 있다. 이로 인해, 길이 방향으로부터 반입할 수 있는 경우에는, 상 챔버 유닛의 상부에 현수 금구를 설치한다. 폭 방향으로 반입하는 경우에는 도5에 도시한 바와 같이 밸런스 면에서 상 챔버 유닛을 구성하는 상 프레임(5)의 측부에 현수 금구(42)를 설치하는 방식으로 하고 있다. 상 프레임(5)의 측부에는 현수 금구(42)를 고정하기 위한 체결 부재(43)가 복수 개소 설치할 수 있게 되어 있다.

또한, 본 실시예에서는, 장치 반입처의 공장에 크레인 설비가 설치되어 있거나, 또는 크레인을 설치할 여유가 있는 것이 필수적이다. 다음에 설비가 있는 경우의 조립 수순에 대하여 설명한다.

우선 장치 설치 장소에 하 챔버 유닛을 반입하여 설치한다. 다음에 크레인 을 상 챔버 유닛의 반입구로 이동시킨다. 이 때, 상 챔버 유닛을 고정 지지하고 있는 임시 거치 가대와의 고정을 떼어 둔다. 또한, 상 챔버(8) 등의 이동을 방지하기 위한 지지부도 상 챔버의 체결을 해제해 둔다. 다음에 현수 금구(42)를 크레인의 훅부와 체결한다. 크레인에 의해 상 챔버 유닛을 현수하고, 하 챔버 유닛 상으로 이동하여, 상하의 유닛의 위치 맞춤을 행한다. 또한, 이 때, 상하 샤프트를 소정 위치까지 상승시켜 둔다. 다음에 상 챔버 유닛을 하 챔버 상에 강하시켜, 상하 샤프트(10)부와 상 프레임을 체결한다. 체결이 완료되면 현수 금구(42)와 상 프레임의 체결을 해제하여, 크레인을 상승, 이동시킨다. 이에 의해, 반송 후의 조립이 완료된다. 상기에서는, 현수 금구를 장치 본체로부터 제거하는 구성으로 했지만, 현수 금구는 방해되지 않으면 장치 본체에 설치한 상태이어도 된다.

전술한 바와 같이 본 실시예에서는 기판 조립 장치의 대형화에 수반하여, 장치를 조립한 상태에서 사용하는 공장까지 반송하는 것이 어렵게 되어 있다. 따라서, 기판 조립 장치를 반송 가능한 상태로, 상 챔버 유닛과 하 챔버 유닛의 2개로 분할할 수 있도록 구성했다. 하 챔버 유닛측은 분할 상태를 유지하여 반송하고, 상 챔버 유닛측을 반송하는 경우에는 분할 상태를 유지하기 위해 전용의 반송 지그에 유지하여 반송하도록 했다. 공장측에 전용의 크레인 설비가 없는 경우에는, 반송 지그에 장치 조립용의 기능으로서 상 챔버 유닛을 상하로 이동하는 기구를 설치하고, 반송 지그와 조립 지그의 2개의 기능을 갖게 함으로써 조립 장치를 준비하지 않고, 조립을 가능하게 하여, 반송·조립 시간의 단축을 도모했다.

도1은 기판 조립 장치의 전체 구성을 도시한 개략도.

도2는 기판 조립 장치를 2분할한 경우의 개략도.

도3은 기판 조립 장치를 반송 후, 조립 시의 전 공정을 도시하는 도면.

도4는 기판 조립 장치의 반송 후, 조립 시의 후 공정을 도시하는 도면.

도5는 다른 반송 지그를 이용한 경우의 도면.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 가대

2 : 하 샤프트

3 : 하 챔버

4 : 하 테이블

5 : 상 프레임

6 : 상 샤프트

7 : 지지축

8 : 상 챔버

9 : 상 테이블

10 : 상하 샤프트

11 : Z축 구동 모터

12 : 볼 나사

20 : 상 챔버 유닛

25 : 하 챔버 유닛

32 : 지지 가대

33 : 상 챔버 유닛 지지부

34 : 지지보

4O : 임시 거치 가대

41 : 유지부

42 : 현수 금구

43 : 체결 부재

Claims

기판 조립 장치를 장치 조립 공장으로부터 패널 제조 공장으로 반송하는 반송 방법에 있어서,

기판 조립 장치를 상 챔버 유닛과 하 챔버 유닛으로 2분할하여, 반송차에 따로따로 탑재하여 반송할 때, 상기 하 챔버 유닛은 그 상태를 유지하며 반송하고, 상기 상 챔버 유닛은, 상하로 이동 가능한 반송 지그에 상 챔버 유닛의 상 프레임을 고정하여 반송하는 동시에, 상기 반송 지그를 장치 조립 지그로서도 사용하는 것을 특징으로 하는 기판 조립 장치의 반송 방법.
기판 조립 장치를 상 챔버 유닛과 하 챔버 유닛의 상하로 2분할하고, 상기 상 챔버 유닛을 반송하기 위한 반송 지그에 있어서, 상기 반송 지그는 상기 상 챔버 유닛의 상 프레임에 설치되어 있는 받침 시트에 볼트로 체결하는 구조로 하고, 상기 상 챔버 유닛을 상하로 이동 가능하게 구성한 기판 조립 장치의 반송 지그.
제2항에 있어서, 상기 상 챔버 유닛은 적어도 상 프레임과, 상기 상 프레임에 설치된 상 챔버와, 상기 상 챔버 내에 설치된 상 테이블을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 조립 장치의 반송 지그.
제2항에 있어서, 상기 하 챔버 유닛은 적어도 가대와, 상기 가대 상에 설치 된 하 챔버와, 상기 하 챔버 내에 설치된 하 테이블과, 상기 상 프레임을 상하 이동시키기 위한 상하 샤프트와, 상기 상하 샤프트를 구동하는 Z축 구동 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 조립 장치의 반송 지그.
제2항에 있어서, 상기 하 챔버 유닛측에 설치되어 있는 상 프레임을 상하 이동시키는 상하 샤프트와, 상기 상 챔버 유닛측의 상기 상 프레임에 설치한 받침 시트 사이로 분할하는 구성으로 한 기판 조립 장치의 반송 지그.
제2항에 있어서, 상기 상 챔버 유닛에 설치되어 있는 에어 기기에의 배관 및 전기 기기에의 배선을 이음매로 분리, 결합할 수 있는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 기판 조립 장치의 반송 지그.
기판 조립 장치를 장치 조립 공장으로부터 패널 제조 공장으로 반송하는 반송 방법에 있어서,

기판 조립 장치를 상 챔버 유닛과 하 챔버 유닛으로 2분할하고, 반송차에 따로따로 탑재하여 반송할 때, 상기 하 챔버 유닛은 그 상태를 유지하며 반송하고, 상기 상 챔버 유닛은, 반송 지그로서 임시 거치 가대에 상 챔버 유닛의 상 프레임의 받침 시트부를 고정하고, 상기 임시 거치 가대에 상기 상 챔버와 상 테이블이 진동에 의해 이동하지 않도록 유지되는 것을 특징으로 하는 기판 조립 장치의 반송 방법.
기판 조립 장치를 상 챔버 유닛과 하 챔버 유닛의 상하로 2분할하고, 상기 상 챔버 유닛을 반송하기 위한 반송 지그에 있어서, 상기 반송 지그는 상기 상 챔버 유닛의 상 프레임에 설치되어 있고 하 챔버 유닛의 상하 샤프트와 체결하는 받침 시트에 볼트로 체결하는 구조로 하고, 상기 상 챔버와 상 테이블의 이동을 방지하는 흔들림 방지용의 유지구를 설치한 구조로 한 기판 조립 장치의 반송 지그.
제8항에 있어서, 상기 받침 시트에는 크레인으로 반송하기 위한 현수 금구가 설치되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 조립 장치의 반송 지그.