KR102570673B1 - 기판 이송장치 - Google Patents

Abstract

본 실시예의 기판 이송장치는 스테이지 핀이 승강 가능하게 배치된 흡착 스테이지와; 기판을 상기 흡착 스테이지 아래로 이송하고, 자유단을 갖는 로봇 핸드와; 흡착 스테이지 아래로 이송된 로봇 핸드의 자유단에 접촉되는 접촉바디를 갖고 접촉바디를 리프팅시키는 서포터를 포함한다.

Description

기판 이송장치{Board Transfer}

본 발명은 기판 이송장치에 관한 것이다.

디스플레이 기기는 글래스기판 등의 기판(이하, 기판이라 칭함)을 포함할 수 있고, 디스플레이 기기를 제조하기 위한 장비는 기판을 이송하는 기판 이송장치를 포함한다.

디스플레이 기기의 크기가 클수록 기판의 크기가 크고, 크기가 큰 기판을 이송하기 위한 기판 이송장치도 대형화된다.

기판 이송장치의 일 예는 대한민국 공개특허공보 10-2017-0020601 A(2017년02월23일)에 개시된 기판이송 로봇 핸드가 있고, 기판이송 로봇핸드는 글라스기판의 하측면 일부 부분에 접하여 상기 글라스기판을 상측으로 받쳐 올려주는 리프트모듈(lift module); 및 다수개의 상기 리프트모듈을 장착하고 있으며, 상기 리프트모듈을 매개로하여 상기 글라스기판을 지지하는 서포터(supporter)를 포함하되, 상기 서포터는 적어도 하나 이상 마련되어 있으며, 다수개의 상기 서포터 각각의 일측에서 서로 연결되게 결합된다.

상기와 같은 기판이송 로봇 핸드는 기판의 하면에 접촉한 상태에서 기판을 이송하고, 기판의 하중이 기판이송 로봇 핸드에 작용하므로 기판의 낙하에 대한 리스크가 작은 장점이 있는 반면에, 기판의 상면에 먼지 등의 이물질(이하, 이물질이라 칭함)이 붙기 쉽고 기판의 상면에 OLED 등의 디스플레이 소자를 형성할 경우, 오염으로 인해 디스플레이 기기의 성능이 저하될 수 있다.

공개특허공보 10-2017-0020601 A(2017년02월23일)

본 발명은 먼지 등의 이물질이 자중에 의해 기판에 뭍는 것이 최소화될 수 있고, 기판의 쳐짐을 최소화하면서 기판을 신뢰성 높게 이송할 수 있는 기판 이송장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명의 실시 예에 따른 기판 이송장치는 스테이지 핀이 승강 가능하게 배치된 흡착 스테이지와; 스테이지 핀이 승강 가능하게 배치된 흡착 스테이지와; 기판을 흡착 스테이지 아래로 이송하고 자유단을 갖는 로봇 핸드와; 흡착 스테이지 아래로 이송된 로봇 핸드의 자유단에 접촉되는 접촉바디를 갖고 접촉바디를 리프팅시키는 서포터를 포함한다.

서포터는 접촉바디의 승강을 안내하는 승강 가이드를 더 포함할 수 있다.

서포터는 접촉 바디에 연결되어 접촉바디를 승강시키는 승강기구를 더 포함할 수 있다.

승강기구는 접촉바디를 상승높이로 상승시키고, 접촉 바디를 상승높이 보다 낮은 대기높이로 하강시킬 수 있다.

상승높이는 접촉바디가 로봇 핸드를 수평하게 지지하는 높이일 수 있다.

대기높이는 흡착 스테이지 아래로 이송된 로봇 핸드의 자유단과 접촉바디가 상하 방향으로 이격된 높이일 수 있다.

로봇은 로봇 핸드를 흡착 스테이지 아래의 제1위치로 이송하거나 로봇 핸드를 흡착 스테이지 아래 주변의 제2위치로 이송하는 로봇 구동부를 더 포함할 수 있다.

로봇 핸드는 로봇 구동부에 연결된 연결 바디와; 연결 바디에 연결되고 자유단을 갖는 복수개 핸드 바디와; 핸드 바디의 저면에 제공되어 기판의 상면이 흡착되는 흡착 유닛을 포함할 수 있다.

흡착 스테이지는 스테이지 핀이 관통되는 관통공이 형성된 스테이지 바디와; 스테이지 바디에 제공되어 스테이지 핀에 흡착된 기판의 상면을 스테이지 바디의 하면에 밀착시키는 복수개 진공 패드를 포함할 수 있다.

복수개 진공 패드는 스테이지 바디의 길이 방향을 따라 순차적으로 온될 수 있다.

본 발명의 실시 예에 따르면, 로봇 핸드가 기판을 흡착 스테이지 아래로 이송하고, 서포터가 로봇 핸드의 자유단을 상승시킬 수 있어, 로봇 핸드의 쳐짐을 최소화할 수 있고, 기판이 로봇 핸드에서 흡착 스테이지로 신뢰성 높게 전달될 수 있다.

또한, 기판의 하면이 하측을 향한 상태에서 기판이 로봇 핸드에서 흡착 스테이지로 전달되므로, 먼지 등의 이물질이 기판의 하면에 뭍는 것이 최소화될 수 있고, 기판의 하면에 오염물이 뭍는 경우 보다 불량율을 낮출 수 있다.

또한, 로봇 핸드의 쳐짐이 있는 상태에서 스테이지 핀이 하강될 경우 발생될 수 있는 스테이지 핀과 기판의 유격을 최소화할 수 있고, 기판의 낙하를 최소화하면서 기판을 정상적으로 흡착 스테이지에 흡착할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 이송장치가 흡착 스테이지 아래로 기판을 진입할 때의 측면도,
도 2는 도 1에 도시된 로봇 핸드가 흡착 스테이지 아래의 제1위치로 이송 완료되었을 때의 측면도,
도 3은 도 2에 도시된 서포터가 로봇 핸드의 자유단에 접촉되었을 때의 측면도,
도 4는 도 3에 도시된 서포터가 로봇 핸드를 수평하게 지지했을 때의 측면도,
도 5는 도 4에 도시된 흡착 스테이지의 스테이지 핀이 하강되어 기판의 상면을 처킹하였을 때의 측면도,
도 6은 도 5에 도시된 로봇 핸드가 기판과 분리된 후 흡착 스테이지 아래 주변의 제2위치로 이동될 때의 측면도,
도 7은 도 6에 도시된 스테이지 핀이 상승되었을 때의 측면도,
도 8은 도 7에 도시된 흡착 스테이지 및 기판이 확대 도시된 확대도,
도 9는 도 8에 도시된 제1 진공 패드가 기판을 흡착할 때의 확대도,
도 10은 도 9에 도시된 제1진공 패드 및 제2진공 패드가 기판을 흡착할 때의 확대도,
도 11은 도 9에 도시된 제1진공 패드와 제2진공 패드 및 제3진공 패드가 기판을 흡착할 때의 확대도,
도 12는 도 11에 도시된 모든 진공 패드가 기판을 흡착할 때의 확대도,
도 13은 도 12에 도시된 흡착 스테이지에 흡착된 기판을 측정할 때의 측면도이다.

이하에서는 본 발명의 구체적인 실시 예를 도면과 함께 상세히 설명하도록 한다.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 이송장치가 흡착 스테이지 아래로 기판을 진입할 때의 측면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 로봇 핸드가 흡착 스테이지 아래의 제1위치로 이송 완료되었을 때의 측면도이며, 도 3은 도 2에 도시된 서포터가 로봇 핸드의 자유단에 접촉되었을 때의 측면도이고, 도 4는 도 3에 도시된 서포터가 로봇 핸드를 수평하게 지지했을 때의 측면도이다.

기판 이송장치는 기판(1)을 신뢰성 높게 이송하기 위해, 흡착 스테이지(2)와, 로봇(3)와, 서포터(4)를 포함한다.

흡착 스테이지(2)에는 스테이지 핀(21)이 승강 가능하게 배치될 수 있다. 흡착 스테이지(2)는 스테이지 핀(21)이 승강되는 관통공(24)이 형성된 스테이지 바디(25)을 포함할 수 있다.

스테이지 핀(21)은 관통공(24)을 관통한 상태에서 스테이지 바디(25)에서 승강될 수 있다.

스테이지 핀(21)은 관통공(24)을 따라 승강되는 승강 봉(22)와, 승강 봉(22)의 하부에 배치되고 스테이드 바디(25)의 아래에서 승강 봉(22)과 함께 승강되고 기판(1)의 상면(1A)에 접촉되는 흡착 바디(23)을 포함할 수 있다.

스테이지 핀(21)에는 스테이지 핀(21)을 승강시키는 핀 승강기구가 연결될 수 있고, 흡착 바디(23)는 스테이지 바디(25)의 하면에서 하강되거나 스테이지 바디(25)의 하면으로 상승될 수 있다.

스테이지 핀(21)은 흡착 바디(23)의 하면에 점착력을 갖는 점착층이 제공되고, 기판(1)의 상면이 점착층에 부착되는 것이 가능하다.

스테이지 핀(21)에는 에어 등의 가스가 통과할 수 있는 석셕 홀이 형성되고, 스테이지 핀(21)에는 석션 홀에 진공을 형성하는 실린더나 압축기 등의 진공 형성기기가 연결될 수 있다.

흡착 스테이지(2)는 로봇(3)으로부터 기판(1)을 전달받을 수 있고, 그 위치가 변하지 않은 상태에서, 기판(1)의 하면에 금속이나 필름 등의 부착물이 부착되는 동안 기판(1)의 흡착 상태를 유지할 수 있다.

흡착 스테이지(2)는 로봇(3)으로부터 기판(1)을 전달받을 수 있고, 기판(1)을 전달받은 위치에서 주변의 타 작업 위치로 이송될 수 있으며, 기판(1)의 하면에 금속이나 필름 등의 부착물이 부착되는 동안 기판(1)의 흡착 상태를 유지할 수 있다.

로봇(3)은 로봇 구동부(5)와, 로봇 핸드(6)을 포함할 수 있다.

로봇 구동부(5)는 흡착 스테이지(2)의 저면(2B) 아래의 주변에 위치된 상태에서, 로봇 핸드(6)의 전부 또는 일부를 흡착 스테이지(2) 아래의 제1위치(P1)로 이송할 수 있다. 로봇 구동부(5)는 제1위치(P1)에 위치하는 로봇 핸드(6)를 흡착 스테이지(2) 아래 주변의 제2위치(P2)로 이송할 수 있다.

제1위치(P1)는 흡착 스테이지(2)의 저면(2B) 아래의 위치로 정의될 수 있고, 제2위치(P2)는 제1위치(P1) 주변의 위치로서 흡착 스테이지(2)의 저면(2B) 아래 주변의 위치로 정의될 수 있다.

로봇 핸드(6)는 로봇 구동부(5)에 의해 이동되거나 회전될 수 있고, 로봇 구동부(5)에 의해 기판(1)을 흡착 스테이지(2) 아래로 이송할 수 있다. 로봇 핸드(6)는 자유단(61)을 갖을 수 있다. 로봇 핸드(6)는 일측이 로봇 구동부(5)에 연결되고, 타측이 자유단(61)으로 구성될 수 있다. 로봇 핸드(6)는 외팔보와 같이, 로봇 구동부(5)에 연결될 수 있다.

로봇 핸드(6)는 로봇 구동부(5)에 연결된 연결 바디(62)를 포함할 수 있다. 연결 바디(62)는 복수개 부재의 결합체로 구성되거나 단일의 부재로 구성될 수 있다.

로봇 핸드(6)는 연결 바디(62)에 연결된 적어도 하나의 핸드 바디(63)를 포함할 수 있다. 핸드 바디(63)는 로봇 핸드(6)에 복수개 제공될 수 있고, 복수개 핸드 바디(63)는 서로 이격되게 배치될 수 있다. 복수개 핸드 바디(63)는 서로 이격되게 연결 바디(62)에 연결될 수 있다. 로봇 핸드(6)는 기판(1)이 흡착되는 흡착 유닛(64)를 포함할 수 있다.

흡착 유닛(64)는 핸드 바디(63)의 저면에 제공될 수 있고, 기판(1)의 상면은 흡착 유닛(64)에 매달리듯이 흡착될 수 있다. 흡착 유닛(64)는 핸드 바디(63)에 복수개 제공될 수 있고, 복수개 흡착 유닛(64)는 서로 이격되게 제공될 수 있다. 복수개 흡착 유닛(64)은 핸드 바디(63)의 길이 방향(X)으로 순차적으로 제공될 수 있다. 복수개 흡착 유닛(64)은 핸드 바디(63)의 길이 방향(X)으로 서로 이격될 수 있다.

흡착 유닛(64)은 흡착 유닛(64)의 하면에 점착력을 갖는 점착층이 제공되고, 기판(1)의 상면이 점착층에 부착되는 것이 가능하다.

흡착 유닛(64)에는 에어 등의 가스가 통과할 수 있는 석셕 홀이 형성되고, 흡착 유닛(64)에는 석션 홀에 진공을 형성하는 실린더나 압축기 등의 진공 형성기기가 연결될 수 있다.

연결 바디(62)는 핸드 바디(63)의 길이 방향(X)과 직교한 방향으로 길게 형성될 수 있다.

핸드 바디(63)가 좌우 방향으로 길게 형성될 경우, 연결 바디(62)는 전후 방향으로 길게 형성될 수 있고, 이 경우 복수개의 핸드 바디(63)는 전후 방향으로 서로 이격될 수 있다.

복수개 흡착 유닛(64)는 수평한 방향으로 이격되되, 핸드 바디(63)의 길이 방향(X)으로 서로 이격될 수 있다. 핸드 바디(63)가 좌우 방향으로 길게 형성될 경우, 복수개 흡착 유닛(64)은 좌우 방향으로 서로 이격될 수 있다.

복수개 핸드 바디(63)의 사이에는 스테이지 핀(21)이 상하 방향(Z)으로 통과할 수 있는 틈이 형성될 수 있고, 흡착 스테이지(2)의 스테이지 핀(21)은 인접한 핸드 바디(63) 사이의 틈을 통과하여 기판(1)의 상면으로 하강될 수 있고, 기판(1)의 상면 중 복수개 흡착 유닛(64)에 흡착된 부분의 주변 부분을 흡착할 수 있다.

로봇 핸드(6)의 자유단(61)은 핸드 바디(63) 중 연결 바디(62)의 반대편으로 정의되거나 로봇 핸드(6) 중 로봇 구동부(5)의 반대편으로 정의될 수 있다.

기판(1)이 로봇 핸드(6)에 흡착되었을 때, 기판(1)은 자유단(61)과 상하 방향으로 오버랩되지 않고, 기판(1)의 상면은 핸드 바디(63) 중 자유단(61)과 연결 바디(62)의 사이 부분을 향할 수 있다.

로봇 핸드(6)의 자유단(61)은 로봇 핸드(6)의 길이 방향(X)으로 핸드 바디(63)의 단부 및 그 주변 부분을 의미하는 것으로 정의될 수 있고, 로봇 핸드(6) 중 기판(1)의 상면과 상하 방향으로 오버랩되지 않는 부분으로 정의될 수 있다.

로봇 핸드(6)가 기판(1)을 흡착하였을 때, 로봇 핸드(6)는 그 자체의 무게 및 기판(1)의 무게에 의해 쳐질 수 있고, 자유단(61)은 연결 바디(62)를 기준으로 쳐질 수 있고, 자유단(61) 상단의 높이는 도 2에 도시된 바와 가이, 연결 바디(62)에서 수평 방향(X)으로 연장된 연장선(E)의 높이 보다 낮을 수 있다.

기판(1)이 로봇 핸드(6)에 흡착된 상태에서, 로봇 구동부(5)은 도 1에 도시된 바와 같이, 로봇 핸드(6)가 기판(1)을 흡착 스테이지(2) 아래의 제1위치(P1)로 이송하도록 로봇 핸드(6)를 회전시키거나 이동시킬 수 있다.

도 6에 도시된 바와 같이, 기판(1)이 스테이지 핀(21)에 흡착 완료된 후, 로봇 구동부(5)은 로봇 핸드(6)가 흡착 스테이지(2) 아래 주변의 제2위치(P2)로 이동 되도록 로봇 핸드(6)를 회전시키거나 이동시킬 수 있다.

로봇(3)은 도 1에 도시된 바와 같이, 로봇 핸드(6)을 제1위치(P1)로 이송시키는 진입모드로 제어되거나, 도 6에 도시된 바와 같이, 제1위치(P1)의 로봇 핸드(6)를 제2위치(P2)로 이송시키는 배출모드로 제어될 수 잇다.

서포터(4)는 도 3에 도시된 바와 같이, 제1위치(P1)로 이송된 로봇 핸드(6)을 도 4에 도시된 바와 같이, 수평하게 지지할 수 있다. 서포터(4)는 로봇(3) 특히, 로봇 구동부(5)와 이격된 상태에서 도 3 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 로봇(3)의 로봇 핸드(6)와 접촉되거나 분리될 수 있다.

서포터(4)는 로봇 핸드(6) 중 하측 방향으로 쳐진 부분을 상측 방향으로 리프팅시키도록 구성될 수 있다.

서포터(4)는 제1위치(P1)로 이송된 로봇 핸드(6)의 자유단(61)에 접촉되는 접촉바디(42)를 갖을 수 있다. 접촉바디(42)는 승강기구(44)에 연결된 하나의 바디로 연결되고, 그 상단이 로봇 핸드(6)의 자유단(61) 하면에 접촉되는 접촉단으로 구성되는 것이 가능하다.

접촉바디(42)는 복수개 부재의 결합체로 구성될 수 있고, 승강기구(44)에 연결된 승강바디(42A)와, 승강바디(42A)의 상단에 배치되고 로봇 핸드(6)의 자유단(61) 하면에 접촉되는 컨텍터(42B)를 포함하는 것도 가능하다.

서포터(4)는 접촉 바디(42)를 승강시키는 승강기구(44)를 포함할 수 있다. 서포터(4)는 접촉바디(42)의 승강을 안내하는 승강 가이드(46)를 더 포함할 수 있다.

승강기구(44)는 접촉 바디(42)에 연결되어 접촉바디(42)를 승강시킬 수 있다. 승강기구(44)는 모터 등의 구동원과, 구동원의 구동력을 접촉바디(42)로 전달하는 기어 등의 동력전달부재를 포함할 수 있다.

승강기구(44)의 구동시, 접촉바디(42)는 승강 가이드(46)의 안내를 받으면서 상하 방향(Z)으로 승강될 수 있다.

승강기구(44)는 접촉바디(42)를 상승높이(H1)로 상승시킬 수 있다. 승강기구(44)는 접촉 바디(42)를 상승높이(H1) 보다 낮은 대기높이(H2)로 하강시킬 수 있다.

상승높이(H1)는 접촉바디(42)가 로봇 핸드(6)을 수평하게 지지하는 높이일 수 있다.

대기높이(H2)는 접촉바디(42)가 로봇 핸드(6)와 접촉되지 않는 높이일 수 있다.

대기높이(H2)는 로봇 핸드(6)가 제1위치(P1)로 진입 완료되었을 때, 로봇 핸드(6)의 자유단(61)이 접촉 바디(42)에 간섭되지 않는 높이일 수 있다. 대기높이(H2)는 로봇 핸드(6)가 도 2에 도시된 바와 같이, 제1위치(P1)로 진입 완료되었을 때, 로봇 핸드(6)의 자유단(61) 하단 높이 보다 낮게 설정된 높이일 수 있다.

대기높이(H2)는 접촉바디(42)가 로봇 핸드(6)의 자유단(61)과 상하 방향(Z)으로 이격된 높이일 수 있다.

로봇 핸드(6)가 도 2에 도시된 바와 같이, 제1위치(P1)로 진입 완료되었을 때, 로봇 핸드(6) 중 자유단(61)은 접촉바디(42)의 위에 접촉바디(42)와 상하 방향(Z)으로 이격되게 위치될 수 있다. 이 경우, 로봇(3)은 로봇 핸드(6) 및 기판(1)의 손상을 최소화하면서 로봇 핸드(6) 및 기판(1)을 흡착 스테이지 아래의 제1위치(P1, 대기위치)로 이송할 수 있다.

로봇 핸드(6)가 도 2에 도시된 바와 같이, 제1위치(P1)로 진입 완료된 후, 리프터(4)는 접촉바디(42)를 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상승시킬 수 있고,

접촉바디(42)의 상단은 자유단(61)의 저면에 접촉된 후, 자유단(51)을 상측 방향으로 리프팅 시킬 수 있다.

로봇 핸드(6)의 자유단(61)은 도 4에 도시된 바와 같이, 승강기구(44)에 의해 상승높이(H1)로 상승될 수 있고, 로봇 핸드(6)의 자유단(61)이 상승 높이(H1)로 상승되면, 승강기구(44)는 정지될 수 있다.

접촉바디(42)가 도 4에 도시된 바와 같이, 상승높이(H1)로 상승 완료되었을 때, 기판(1)은 수평할 수 있고, 기판(1)의 상면(1A) 및 로봇 핸드(6)의 상면은 흡착 스테이지(2)의 하면(2B)과 나란할 수 있다.

도 5는 도 4에 도시된 흡착 스테이지의 스테이지 핀이 하강되어 기판의 상면을 처킹하였을 때의 측면도이고, 도 6은 도 5에 도시된 로봇 핸드가 기판과 분리된 후 흡착 스테이지 아래 주변의 제2위치로 이동될 때의 측면도이며, 도 7은 도 6에 도시된 스테이지 핀이 상승되었을 때의 측면도이다.

로봇 핸드(6)의 자유단(61)이 상승높이(H1)로 상승된 후, 흡착 스테이지(2)는 도 5에 도시된 바와 같이, 스테이지 핀(21)이 기판(1)의 상면(1A)로 하강될 수 있고, 기판(1)의 상면에 접촉될 수 있고, 기판(1)의 상면(1A)은 스테이지 핀(21)에 흡착될 수 있다.

기판(1)의 상면(1A)이 스테이지 핀(21)에 흡착된 후, 로봇 핸드(6)는 도 6에 도시된 바와 같이, 기판(1)의 상면(1A)과 상하 방향(Z)으로 이격될 수 있고, 로봇 핸드(6)는 기판(1)과 분리될 수 있다.

로봇 핸드(6)는 도 6에 도시된 바와 같이, 제1위치(P1)에서 제2위치(P2)로 회전되거나 이동될 수 있고, 로봇 핸드(6)는 기판(1)과 상하 방향으로 오버랩되지 않게 된다.

로봇 핸드(6)가 제1위치(P1)에서 이동되면, 흡착스테이지(2)는 스테이지 핀(21)을 상승시킬 수 있고, 스테이지 핀(21)에 흡착된 기판(1)은 도 7에 도시된 바와 같이, 스테이지 바디(25)의 하면의 높이(H3)로 상승될 수 있다.

도 8은 도 7에 도시된 흡착 스테이지 및 기판이 확대 도시된 확대도이고, 도 9는 도 8에 도시된 제1 진공 패드가 기판을 흡착할 때의 확대도이고, 도 10은 도 9에 도시된 제1진공 패드 및 제2진공 패드가 기판을 흡착할 때의 확대도이며, 도 11은 도 9에 도시된 제1진공 패드와 제2진공 패드 및 제3진공 패드가 기판을 흡착할 때의 확대도이고, 도 12는 도 11에 도시된 모든 진공 패드가 기판을 흡착할 때의 확대도이다.

기판(1)은 스테이지 핀(21)에 흡착되었을 때, 스테이지 핀(21)에 접촉되고 스테이지 핀(21)에 흡착되는 접촉 영역(C)과, 접촉 영역(C)의 주변에 위치하고 스테이지 핀(21)에 직접 접촉되지 않는 비접촉 영역(D)을 포함할 수 있고, 비접촉 영역(D)는 접촉 영역(C) 대비 하측 방향으로 쳐질 수 있다. 기판(1)은 길이 방향(X)으로 높이가 높은 접촉 영역(C)과 높이가 낮은 비접촉 영역(D)이 교대로 위치될 수 있고, 전체적으로 웨이프(Wave) 형상일 수 있다.

흡착 스테이지(2)는 스테이지 바디(25)에 제공된 복수개 진공 패드(26)를 포함할 수 있다.

복수개 진공 패드(26)는 스테이지 핀(21)에 흡착된 기판(1)의 상면(1A)을 스테이지 바디(25)의 하면(25B)에 밀착시키도록 설치될 수 있다.

복수개 진공 패드(26)는 수평 방향 특히, 스테이지 바디(25)의 길이 방향(X)으로 서로 이격될 수 있다. 복수개의 진공 패드(26)는 스테이지 바디(25)의 길이 방향(X)으로 순차적으로 온될 수 있다.

복수개 진공 패드(26)는 스테이즈 바디(25)의 일단(25A)부터 스테이즈 바디(25)의 타단(25B) 사이에 서로 이격되게 배치될 수 있고, 복수개 진공 패드(26)는 스테이즈 바디(25)의 일단(25A)에 제일 근접한 진공 패드가 가장 먼저 온 작동될 수 있고, 스테이즈 바디(25)의 일단(25A)과 가까운 진공 패드(26) 부터 순차적으로 온될 수 있다. 복수개 진공 패드(26)는 스테이즈 바디(25)의 일단(25A)과 가장 먼 진공 패드(26)가 가장 마지막에 온될 수 있다.

복수개 진공 패드(26)의 일 예는 스테이즈 바디(25)의 일단(25A)과 제일 근접한 진공 패드가 제1진공패드(26A)이고, 제1진공패드(26A) 다음으로 스테이즈 바디(25)의 일단(25A)과 근접한 진공패드가 제2진공패드(26B)이며, 제2진공패드(26B) 다음으로 스테이즈 바디(25)의 일단(25A)과 근접한 진공패드가 제3진공패드(26C)이고, 스테이즈 바디(25)의 일단(25A)에 근접한 순서로, 제4 내지 제9진공패드(26D, 26E, 26F, 26G, 26H, 26I)이며, 스테이즈 바디(25)의 일단(25A)과 가장 먼 진공패드가 제10진공패드(26J)일 수 있다.

이 경우, 복수개 진공 패드(26)는 제1진공패드(26A)가 가장 먼저 온될 수 있고, 기판(1) 중 제1진공패드(26A)를 상하방향(Z)으로 향하는 부분은 도 9에 도시된 바와 같이, 제1진공패드(26A)에 흡착되어 밀착될 수 있다.

복수개 진공 패드(26)는 제1진공패드(26A)에 의한 흡착이 계속되는 도중에 제2진공패드(26B)가 온될 수 있다. 이 경우, 기판(1) 중 제2진공패드(26B)를 상하방향(Z)으로 향하는 부분은 도 10에 도시된 바와 같이, 제2진공패드(26B)에 흡착되어 밀착될 수 있고, 기판(1)은 도 9에 도시된 바와 같이, 제1진공패드(26A)만 온일 경우 보다 평평하게 펼쳐질 수 있다.

복수개 진공 패드(26)는 제1진공패드(26A)에 의한 흡착 및 제2진공패드(26B)에 의한 흡착이 계속되는 도중에 제3진공패드(26C)가 온될 수 있다. 이 경우, 기판(1) 중 제3진공패드(26C)를 상하방향(Z)으로 향하는 부분은 도 11에 도시된 바와 같이, 제3진공패드(26C)에 흡착되어 밀착될 수 있고, 기판(1)은 도 10에 도시된 바와 같이, 제1진공패드(26A) 및 제2진공패드(26B)가 온이고, 도 3 내지 도 10 진공패드(26C, 26D, 26E, 26F, 26G, 26H, 26I, 26J)가 오프일 경우 보다 평평하게 펼쳐질 수 있다.

복수개 진공패드(26)는 시간이 경과함에 따라 제4진공패드(26D), 제5진공패드(26E), 제6진공패드(26F), 제7진공패드(26G), 제8진공패드(26H), 제9진공패드(26I)가 순차적으로 온될 수 있고, 맨 마지막에 도 112에 도시된 바와 같이, 제10진공패드(26J)가 온될 수 있다.

복수개 진공패드(26)가 제1진공패드(26A)부터 온된 후 제10진공패드(26J)까지 모두 온되면, 복수개 진공패드(26)는 그 온 상태를 유지할 수 있고, 기판(1)은 쳐지는 부분이 최소화되면서 최대한 평평하게 펼쳐질 수 있다.

상기와 같이, 복수개 진공패드(26)가 온되면, 기판(1)을 흡착 스테이지(2)에 흡착시키는 과정은 완료될 수 있고, 이후 기판(1)의 틀어짐 정도가 측정되는 과정이 실시될 수 있다.

도 13은 도 12에 도시된 흡착 스테이지에 흡착된 기판을 측정할 때의 측면도이다.

흡착 스테이지(2)의 아래나 흡착 스테이지(2)의 아래 주변에는 흡착 스테이지(2)에 흡착 완료된 기판(1)의 틀어짐을 측정하기 위한 비젼 센서(9, 도 13 참조)가 배치될 수 있다.

흡착 스테이지(2)에 흡착된 기판(1)의 틀어짐이 없거나 설정 정도 미만이면, 그 다음 공정이 실시될 수 있다.

여기서, 다음 공정의 일 예는 기판(1)의 하면(1B)에 방습 커버 기능을 할 수 있는 필름이나 금속체를 부착하는 공정일 수 있다.

다음 공정이 완료되면, 기판 이송장치는 기판(1)을 흡착 스테이지(2)에 흡착하던 순서로 역순으로 기판(1)을 배출할 수 있다.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다.

따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다.

본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

1: 기판 2: 흡착 스테이지
4: 서포터 6: 로봇 핸드
21: 스테이지 핀 42: 접촉 바디
61: 자유단

Claims (10)

1. 스테이지 핀이 승강 가능하게 배치된 흡착 스테이지와;
   기판을 상기 흡착 스테이지 아래로 이송하고, 자유단을 갖는 로봇 핸드와;
   상기 흡착 스테이지 아래로 이송된 로봇 핸드의 자유단에 접촉되는 접촉바디를 갖고 상기 접촉바디를 리프팅시키는 서포터를 포함하는 기판 이송장치.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 서포터는 상기 접촉바디의 승강을 안내하는 승강 가이드를 더 포함하는 기판 이송장치.
3. 제 1 항에 있어서,
   상기 서포터는 상기 접촉바디에 연결되어 상기 접촉바디를 승강시키는 승강기구를 더 포함하는 기판 이송장치.
4. 제 3 항에 있어서,
   상기 승강기구는 상기 접촉바디를 상승높이로 상승시키고, 상기 접촉바디를 상기 상승높이 보다 낮은 대기높이로 하강시키는 기판 이송장치.
5. 제 4 항에 있어서,
   상기 상승높이는 상기 접촉바디가 상기 로봇 핸드를 수평하게 지지하는 높이인 기판 이송장치.
6. 제 4 항에 있어서,
   상기 대기높이는
   상기 흡착 스테이지 아래로 이송된 로봇 핸드의 자유단과 상기 접촉바디가 상하 방향으로 이격된 높이인 이송장치.
7. 제 1 항에 있어서,
   상기 로봇은 상기 로봇 핸드를 상기 흡착 스테이지 아래의 제1위치로 이송하거나 상기 로봇 핸드를 상기 흡착 스테이지 아래 주변의 제2위치로 이송하는 로봇 구동부를 더 포함하는 이송장치.
8. 제 7 항에 있어서,
   상기 로봇 핸드는 상기 로봇 구동부(5)에 연결된 연결 바디와;
   상기 연결 바디에 연결되고 상기 자유단을 갖는 복수개 핸드 바디와;
   상기 핸드 바디의 저면에 제공되어 상기 기판의 상면이 흡착되는 흡착 유닛을 포함하는 기판 이송장치.
9. 제 1 항에 있어서,
   상기 흡착 스테이지는
   상기 스테이지 핀이 관통되는 관통공이 형성된 스테이지 바디와;
   상기 스테이지 바디에 제공되어 상기 스테이지 핀에 흡착된 기판의 상면을 상기 스테이지 바디의 하면에 밀착시키는 복수개 진공 패드를 포함하는 기판 이송장치.
10. 제 9 항에 있어서,
    상기 복수개 진공 패드는 상기 스테이지 바디의 길이 방향을 따라 순차적으로 온되는 기판 이송장치.

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