KR20120059218A - 플렉시블 디스플레이용 홀더의 기판 적재 방법 및 그 시스템 - Google Patents

플렉시블 디스플레이용 홀더의 기판 적재 방법 및 그 시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 디스플레이용 홀더의 기판 적재 방법은 기판(G)이 기판 이송 로봇(100)에 의해 다공 테이블(110)의 상면부로 이송되는 단계(a); 상기 다공 테이블(110) 상으로 기판(G)이 적재되는 단계(b); 상기 다공 테이블(110)의 상방에서 흡착 패드(120)가 하강하여 기판(G)의 상면부를 흡착하는 단계(c); 및 상기 흡착 패드(120)가 홀더 이송 로봇(130) 상으로 이동되고, 기판(G)이 홀더(H)에 적재되는 단계(d)를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

플렉시블 디스플레이용 홀더의 기판 적재 방법 및 그 시스템{METHOD FOR LOADING A SUBSTRATE IN For Flexible Display HOLDER And SYSTEM FOR THE SAME}
본 발명은 플렉시블 디스플레이용 홀더의 기판 적재 방법 및 그 시스템에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 보트로 이송되어 처리되는 플렉시블 기판에 대한 무아레 패턴의 발생을 방지할 수 있는 플렉시블 디스플레이용 홀더의 기판 적재 방법 및 그 시스템에 관한 것이다.
기판의 증착 공정과 열처리 공정 모두에서는 기판을 소정의 온도 이상으로 가열하여야 할 것이 요구된다. 이와 같이 기판을 소정의 온도 이상으로 가열하기 위해서, 챔버 내의 보트에 기판을 로딩시키고 챔버의 외부 또는 내부에 설치된 히터로 기판을 가열하는 방법이 주로 이용되고 있다.
기판이 보트에 로딩된 경우, 기판의 에지부 만이 보트에 의하여 지지된다면 기판의 중간 부분이 처지면서 기판의 변형을 야기할 수 있다. 이러한 경우, 기판의 변형을 방지하기 위한 홀더의 사용이 필수적으로 요구되는데, 기판이 홀더에 안착된 상태에서 기판을 가열하고 또한 기판을 냉각하는 방법이 이용되고 있다. 이러한 방법은 기판을 가열하는 챔버의 보트 내에 홀더를 미리 설치해두고 기판을 가열하는 공정에만 홀더를 사용한다.
종래의 방법은 기판이 보트에서 처리되기 전이나 처리된 후 홀더와 분리되어 적재될 수 있도록 홀더 스테이지를 사용한다. 홀더 스테이지는 기판이 안착되어 지지되는 기판 지지핀과 홀더를 지지하는 홀더 지지핀이 다층으로 설치되어 있다.
기판과 홀더는 홀더 지지핀 상에 설치된 기판 지지핀에 의해 홀더 스테이지의 내부에 적재될 때 서로 분리된다. 기판 지지핀은 홀더의 관통홀을 관통하여 기판을 지지하며, 홀더는 기판 지지핀의 하부에 있는 홀더 지지핀 상에 지지된다. 기판과 홀더는 홀더의 저면을 지지하는 로봇 암에 의해 보트에 적재되어 처리된다.
로봇 암이 홀더의 저면을 지지하여 이송할 때, 홀더는 기판 지지핀의 상방으로 이동되어 기판을 지지하게 되며, 기판은 홀더에 지지되어 보트에 적재된다. 이와 같은 종래의 홀더의 기판 적재 방법은 관통홀이 형성된 홀더가 기판을 균일하게 지지하여 기판 처리가 이루어질 수 있도록 한다.
그런데, 기판의 종류가 플렉시블 디스플레이에 사용되는 플렉시블 기판일 경우, 관통홀이 있는 홀더의 지지 부위가, 기판과 함께 기판 처리 후에 기판 상에 무아레(Moire) 패턴을 발생시키는 원인이 되었다.
이에 본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 플렉시블 기판의 기판 처리 후에 나타날 수 있는 무아레 패턴의 발생을 방지할 수 있는 플렉시블 디스플레이용 홀더의 기판 적재 방법 및 그 시스템을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 플렉시블 기판 처리 공정에서 플렉시블 기판을 지지하는 홀더의 사용이 필수적으로 요구되는 공정에만 홀더를 이용되도록 함으로써 기판 처리 공정의 효율성을 향상시킬 수 있는 플렉시블 디스플레이용 홀더의 기판 적재 방법 및 그 시스템을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 플렉시블 디스플레이용 홀더의 기판 적재 방법은 기판(G)이 기판 이송 로봇(100)에 의해 다공 테이블(110)의 상면부로 이송되는 단계(a); 상기 다공 테이블(110) 상으로 기판(G)이 적재되는 단계(b); 상기 다공 테이블(110)의 상방에서 흡착 패드(120)가 하강하여 기판(G)의 상면부를 흡착하는 단계(c); 및 상기 흡착 패드(120)가 홀더 이송 로봇(130) 상으로 이동되고, 기판(G)이 홀더(H)에 적재되는 단계(d)를 포함할 수 있다.
상기 기판(G)은 다공 테이블(110)의 상면부로 돌출 가능하게 승강되는 기판 지지핀(115) 상에 적재되고, 상기 기판 지지핀(115)의 하강에 의해 상기 다공 테이블(110) 상에 적재될 수 있다.
상기 다공 테이블(110)은 에어를 분사하여 기판(G)을 지지할 수 있다.
상기 홀더(H)는 상기 홀더 이송 로봇(130) 상에 대기 상태로 미리 배치될 수 있다.
상기 홀더 이송 로봇(130)은 상기 홀더(H) 상에 지지된 기판(G)을 기판 처리 장소로 이송할 수 있다.
본 발명에 따른 플렉시블 디스플레이용 홀더의 기판 적재 시스템은 플렉시블 기판(G)을 지지하여 기판(G)을 기판 처리하는데 이용하고 관통홀이 없는 홀더(H); 기판(G)을 기판 적재 장소에서 반출하여 기판 처리 공정의 장소로 반입하는 기판 이송 로봇(100); 상기 기판 이송 로봇(100)에 의해 반입된 기판(G)을 전달받도록 설치되며, 기판(G)을 지지하는 기판 지지핀(115)이 저면에서 상면부로 돌출되게 구성되며, 에어가 기판(G)의 저면부로 분사되도록 구성된 다공 테이블(110); 상기 다공 테이블(110)의 상부에 설치되고 기판(G)을 흡착하여 홀더(H) 측으로 이송시키는 흡착 패드(120)를 구비한 흡착 이송 로봇; 및 상기 흡착 이송 로봇의 일측에 배치되어 기판(G)을 홀더(H) 상으로 전달받고, 기판(G)이 지지된 홀더(H)를 기판 처리 장소로 이송하는 홀더 이송 로봇(130)을 포함할 수 있다.
상기 다공 테이블(110)의 하방에는 기판 지지핀(115)을 승강시키는 실린더(116)가 구비될 수 있다.
상기 다공 테이블(110)에는 상기 기판 지지핀(115)이 승강되기 위한 가이드 홀(117)이 일정한 간격으로 4열로 배치될 수 있다.
상기 기판 지지핀(115)과 상기 가이드 홀(117)은 상기 다공 테이블(110)의 양측부에 더 배치될 수 있다.
상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 플렉시블 디스플레이용 홀더의 기판 적재 방법 및 그 시스템은 플렉시블 기판이 관통홀이 없는 기판용 홀더에 지지되어 보트에 적재되어 처리되도록 함으로써 기판이 디스플레이 제품으로 조립될 때 나타나는 무아레 패턴의 발생을 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 플렉시블 기판 처리 공정에서 플렉시블 기판을 지지하는 홀더의 사용이 필수적으로 요구되는 공정에만 홀더를 이용되도록 함으로써 기판 처리 공정의 효율성을 향상시킬 수 있는 플렉시블 디스플레이용 홀더의 기판 적재 방법 및 그 시스템을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 디스플레이용 홀더의 기판 적재 방법의 공정도이다.
도 2는 도 1의 기판이 다공 테이블 상에 대기된 정면도이다.
도 3은 도 1의 다공 테이블과 기판 이송 로봇의 평면도이다.
후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예에 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭하며, 길이 및 면적, 두께 등과 그 형태는 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다.
이하에서는, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 하기 위하여, 본 발명의 바람직한 실시예들에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
본 발명에 따른 플렉시블 디스플레이용 홀더에 로딩되는 기판의 재질은 플라스틱, 폴리머 등과 같은 플렉시블한 재질로 제작된 기판이 로딩될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 디스플레이용 홀더의 기판 적재 방법의 공정도이다.
도 2는 도 1의 기판이 다공 테이블 상에 대기된 정면도이다.
도 3은 도 1의 다공 테이블과 기판 이송 로봇의 평면도이다.
도 1과 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 디스플레이용 홀더의 기판 적재 방법은 기판(G)이 기판 이송 로봇(100)에 의해 다공 테이블(110)의 상면부로 돌출된 기판 지지핀(115) 상으로 이송되는 단계(a), 기판 지지핀(115)이 하강하여 기판(G)이 다공 테이블(110)의 상으로 적재되고 다공 테이블(110)의 에어가 분사되어 기판(G)을 지지하는 단계(b), 다공 테이블(110)의 상방에서 흡착 패드(120)가 하강하여 기판(G)의 상면부를 흡착하는 단계(c), 흡착 패드(120)가 홀더(H) 상으로 이동하여 기판(G)이 홀더 이송 로봇(130) 상의 홀더(H)에 적재되는 단계(d)를 포함할 수 있다.
기판(G)은 적재된 장소로부터 기판 이송 로봇(100)에 의해서 반출되어 다공 테이블(110) 상으로 이동될 수 있다.
이후, 기판(G)은 다공 테이블(110) 상에서 기판 지지핀(115)에 의해 지지된 후, 기판 지지핀(115)의 하강에 의해 다공 테이블(110)의 상면부에 접근되는데, 다공 테이블(110)에 고르게 배치된 홀들(미도시)을 통해 배출되는 에어에 의해 미세한 높이로 지지될 수 있다.
기판(G)은 다공 테이블(110) 상에 뜬 상태로 배치되며, 흡착 이송 로봇(미도시)의 흡착 패드(120)에 의해 홀더(H)가 있는 홀더 이송 로봇(130) 상으로 이동될 수 있다.
홀더 이송 로봇(130)은 홀더 스테이지(미도시)에서 기판(G)을 지지하기 위한 홀더(H)를 반출하여 대기한 상태에서 흡착 이송 로봇(미도시)에 의해 이송된 기판(G)을 받을 수 있다.
이후, 기판(G)은 홀더(H) 상에 지지된 상태에서 홀더 이송 로봇(130)에 의해 보트(미도시)에 적재되고, 보트(미도시)에 의해 기판(G)은 공정 챔버(미도시)에서 기판 처리될 수 있다.
기판(G)이 다공 테이블(110) 상에 뜬 상태에 배치되므로 흡착 이송 로봇(미도시)의 흡착 패드(120)에 의해 기판(G)이 흡착되어 다공 테이블(110) 상에서 쉽게 분리되고 홀더(H) 상으로 이송될 수 있다.
이와 같이 기판(G)은 다공 테이블(110)과 흡착 이송 로봇(미도시)을 사용하는 공정에 의해 기판 지지핀(115)이 통과하기 위한 관통홀이 없는 홀더(H)에 의해 지지된 상태로 보트에 적재될 수 있다.
기판(G)은 관통홀이 없는 홀더(H)에 적재된 상태에서 기판 처리되므로, 기판 처리 공정 후에 관통홀 부위에 의한 무아레 패턴의 발생이 방지될 수 있다.
참고적으로, 무아레 패턴은 플렉시블한 기판(G)이 홀더(H)의 관통홀 부분과 동시에 기판 처리될 때 발생되는 현상이다.
반대로, 기판(G)은 홀더(H)와 함께 기판 처리되어 냉각된 후, 홀더 이송 로봇(130)에 의해 다공 테이블(110) 측으로 반출될 수 있다.
흡착 이송 로봇(미도시)은 홀더(H) 상에서 기판(G)을 흡착하여 기판(G)을 분리한 후, 다공 테이블(110) 상으로 이송시키고, 다공 테이블(110) 상에 적재된 기판(G)은 에어에 의해 뜬 상태에서 기판 지지핀(115)에 의해 상승된 후, 기판 이송 로봇(100)에 의해 원위치로 다시 적재될 수 있다.
다시, 도 1과 도 2를 참조하면, 상기한 바와 같은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 디스플레이용 홀더의 기판 적재 방법의 공정을 수행하기 위한 시스템은 위에도 언급된, 플렉시블 기판(G)을 지지하여 기판 처리하는데 이용하고 관통홀이 없는 홀더(H), 기판(G)을 이송하는 기판 이송 로봇(100), 기판(G)을 지지하는 기판 지지핀(115)이 저면에서 상면부로 돌출되게 작동되며 기판(G)을 지지하는 에어가 상면부에서 분사되는 다공 테이블(110), 다공 테이블(110)의 상부에 설치되고 기판(G)을 흡착하여 홀더(H) 측으로 이송시키는 흡착 이송 로봇(미도시), 기판(G)이 지지된 홀더(H)를 기판(G)이 처리되는 공정 챔버 측으로 이송하는 홀더 이송 로봇(130)을 포함할 수 있다.
다공 테이블(110)의 하방에는 기판 지지핀(115)을 승강시키는 실린더(116)가 구비될 수 있다.
도 3을 참조하면, 다공 테이블(110)에는 기판 지지핀(115)이 승강되기 위한 가이드 홀(117)이 일정한 간격으로 4개씩 4열로 배치될 수 있다.
기판 지지핀(115)과 가이드 홀(117)은 다공 테이블(110)의 양측부에 더 배치될 수 있다.
즉, 다공 테이블(110)의 양측에는 6개의 가이드 홀(117)이 구비될 수 있다.
기판 지지핀(115)과 가이드 홀(117)의 개수는 이에 한정되는 것은 아니며, 적어도 4세대 이상의 플렉시블 기판(G)을 균일하게 지지하여 받을 수 있도록 더 배치될 수 있다.
또한, 흡착 이송 로봇(미도시)의 흡착 패드(120)는 기판(G)의 양측을 흡착할 수 있도록 기판(G) 양측에 각각 대응되게 3개씩 총 6개가 배치될 수 있다.
한편, 구체적인 도면으로 도시하지는 않았으나, 본 발명의 다른 실시예에 대해 개념적으로 접근하여 기판(G)이 홀더(H) 상에 적재되는 공정과 시스템을 더 살펴보면, 기판 이송 로봇(100) 상에서 에어가 제공되게 구성되고, 흡착 이송 로봇(미도시)이 기판 이송 로봇(100)의 상방에서 승강가능하고 홀더(H) 측으로 이송 가능하게 설치될 때, 기판(G)은 기판 이송 로봇(100) 상에서 흡착 이송 로봇(미도시)에 의해 홀더 이송 로봇(130) 상의 홀더(H) 측으로 바로 적재될 수 있다.
또한, 홀더(H)가 다공 테이블(110) 상에 하나씩 배치되게 구성되고, 기판(G)이 기판 이송 로봇(100)에 의해 다공 테이블(110)의 홀더(H) 상으로 적재된 후, 홀더 이송 로봇(130)이 다공 테이블(110)의 내측으로 삽입되어 홀더(H)를 지지한 후 보트 측으로 이송시킬 수도 있다.
다공 테이블(110)은 홀더 이송 로봇(130)의 암이 기판(G)의 저면으로 삽입될 수 있는 레일형 홈을 가질 수 있다.
본 발명은 상술한 바와 같이 바람직한 실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상기 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형과 변경이 가능하다. 그러한 변형예 및 변경예는 본 발명과 첨부된 특허청구범위의 범위 내에 속하는 것으로 보아야 한다.
G: 기판
H: 홀더
100: 기판 이송 로봇
110: 다공 테이블
115: 기판 지지핀
116: 실린더
117: 가이드 홀
120: 흡착 패드
130: 홀더 이송 로봇

Claims (9)

  1. 기판(G)이 기판 이송 로봇(100)에 의해 다공 테이블(110)의 상면부로 이송되는 단계(a);
    상기 다공 테이블(110) 상으로 기판(G)이 적재되는 단계(b);
    상기 다공 테이블(110)의 상방에서 흡착 패드(120)가 하강하여 기판(G)의 상면부를 흡착하는 단계(c); 및
    상기 흡착 패드(120)가 홀더 이송 로봇(130) 상으로 이동되고, 기판(G)이 홀더(H)에 적재되는 단계(d)
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이용 홀더의 기판 적재 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 기판(G)은 다공 테이블(110)의 상면부로 돌출 가능하게 승강되는 기판 지지핀(115) 상에 적재되고, 상기 기판 지지핀(115)의 하강에 의해 상기 다공 테이블(110) 상에 적재되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이용 홀더의 기판 적재 방법.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 다공 테이블(110)은 에어를 분사하여 기판(G)을 지지하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이용 홀더의 기판 적재 방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 홀더(H)는 상기 홀더 이송 로봇(130) 상에 대기 상태로 미리 배치되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이용 홀더의 기판 적재 방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 홀더 이송 로봇(130)은 상기 홀더(H) 상에 지지된 기판(G)을 기판 처리 장소로 이송하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이용 홀더의 기판 적재 방법.
  6. 플렉시블 기판(G)을 지지하여 기판(G)을 기판 처리하는데 이용하고 관통홀이 없는 홀더(H);
    기판(G)을 기판 적재 장소에서 반출하여 기판 처리 공정의 장소로 반입하는 기판 이송 로봇(100);
    상기 기판 이송 로봇(100)에 의해 반입된 기판(G)을 전달받도록 설치되며, 기판(G)을 지지하는 기판 지지핀(115)이 저면에서 상면부로 돌출되게 구성되며, 에어가 기판(G)의 저면부로 분사되도록 구성된 다공 테이블(110);
    상기 다공 테이블(110)의 상부에 설치되고 기판(G)을 흡착하여 홀더(H) 측으로 이송시키는 흡착 패드(120)를 구비한 흡착 이송 로봇; 및
    상기 흡착 이송 로봇의 일측에 배치되어 기판(G)을 홀더(H) 상으로 전달받고, 기판(G)이 지지된 홀더(H)를 기판 처리 장소로 이송하는 홀더 이송 로봇(130)을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이용 홀더의 기판 적재 시스템.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 다공 테이블(110)의 하방에는 기판 지지핀(115)을 승강시키는 실린더(116)가 구비되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이용 홀더의 기판 적재 시스템.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 다공 테이블(110)에는 상기 기판 지지핀(115)이 승강되기 위한 가이드 홀(117)이 일정한 간격으로 4열로 배치되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이용 홀더의 기판 적재 시스템.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 기판 지지핀(115)과 상기 가이드 홀(117)은 상기 다공 테이블(110)의 양측부에 더 배치되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이용 홀더의 기판 적재 시스템.
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