JP2017228696A - 基板載置装置及び基板載置方法 - Google Patents
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Abstract
Description
しかしながら反りが生じているウエハを載置台に載置したときに反りの量が大きい場合には、吸引孔とウエハの表面との距離が大きくなってしまい、ウエハを吸引することができずウエハの矯正ができないことがある。
前記載置台の上方にある基板の下面を吸引して基板の形状を矯正するための吸引用部材と、
前記吸引用部材を昇降させる昇降機構と、を備えることを特徴とする。
前記保持ピンにより前記載置部の上方にて保持された基板の下面に吸引用部材を吸着させる工程と、
前記吸引用部材を基板に吸着させた状態で前記保持ピン及び前記吸引用部材を同期させて下降させ基板を載置台に載置する工程と、
前記吸引用部材により吸引した状態で前記吸引用部材を基板の下面から離れ、基板の形状が矯正される高さまで下降させる工程と、を含むことを特徴とする。
第1の実施の形態に係る基板載置装置を加熱装置に適用した例について図1、図2を参照して説明する。図1に示すように加熱装置は、ウエハWを載置する載置台1を備え、載置台1は図示しない筐体の底面部に相当する基台24の上に支持部材23を介して支持されている。載置台1の表面側の中心部には、ヒータ12が埋設されたウエハWを加熱するための扁平な円柱形の加熱板11が設けられている。加熱板11の表面には、図2に示すように加熱板11の中心部と、加熱板11の周縁部に周方向等間隔となる位置と、にギャップピン13が設けられ、ウエハWは、ギャップピン13上に水平に支持され、加熱板11から浮いた状態で加熱される。また図1、図2に示すように載置台1には周方向等間隔に3か所の孔部21が設けられ(図2では、便宜上孔部21が設けられる位置を×で示している。)、各孔部21には、保持ピンである昇降ピン15が設けられている。昇降ピン15は、昇降機構16により昇降し、載置台1の表面から突没するように構成されている。
吸引用部材3は、図3に示すように内部にガス吸引路30が形成された管状の部材であり、下方側の端部にフレキシブルな吸引管32の一端が接続されている。吸引管32は吸引用部材3側から吸着監視部である圧力センサ33、ダンパ34及び吸引用エアーの給断を行うためのバルブ32Aが介設され、他端側が吸引ポンプ35に接続されている。吸引圧力調整部であるダンパ34が設けられる。ダンパ34は、ダンパ34の開度により圧力損失を調整することにより吸引用部材3側の吸引圧力を、例えば2段階の大きさに調整するように構成されている。2段階の内の一方においては、吸引圧力をウエハWに吸着させる時の圧力である第1の吸引圧力となるように開度が設定され、他方においては、吸引圧力をウエハWの下面に吸着させた後、吸着を維持することができる圧力となるように開度が設定されている。また吸引用部材3は、昇降機構31に接続され、各吸引用部材3が個別に昇降するように構成されており、吸引用部材3は、上端がギャップピン13の先端よりも高い位置まで上昇するように構成されている。
プログラムは、ウエハWの受け渡しや昇降ピン15の昇降を行うと共に圧力測定値を監視し、圧力測定値と閾値とを比較して、吸引圧力の調整及び吸引用部材3の昇降を行うステップ(命令)群が組まれている。このプログラムは、例えばハードディスク、コンパクトディスク、マグネットオプティカルディスク、メモリーカード等の記憶媒体に格納され、そこからコンピュータにインストールされる。
ウエハWが吸引用部材3aに吸着すると、吸引用部材3aの先端がウエハWの下面により塞がれるため当該吸引用部材3に接続された吸引管32に設けた圧力センサ33の圧力測定値が上昇し閾値を上回る。そして制御部9は、圧力センサ33圧力測定値が閾値を越えたことを感知すると、当該吸引用部材3の吸引圧力を第2の吸引圧力に下げるように開度を切り替える信号をダンパ34出力する。
そしてすべての吸引用部材3をウエハWの下面から引き離し、かつウエハWの下面を吸引し、ウエハWの反りを矯正した状態で加熱処理を行い、ウエハWの加熱処理が終了した後で、各吸引用部材3の吸引を停止する。これにより、図10に示すようにウエハWが反った状態に戻る。
その後シャッタ17が開放され、ウエハWは、外部の基板搬送機構100と昇降ピン15との協働作用により、基板搬送機構100に受け渡されて搬出される。
さらに吸引用部材3の吸引圧力を監視し、吸引用部材3がウエハWに吸着しているかを判断し、吸引用部材3がウエハWに吸着した後に吸引圧力を下げるようにしている。そのため大きな吸引圧力を継続する必要がなく吸引ポンプ35の負荷を下げることができる。
[第2の実施の形態]
また各吸引用部材4を共通の昇降板44に固定しているため、簡易な構成としながら複数の吸引用部材4を反りの生じたウエハWに吸着させることができる。
また共通の昇降板に固定した複数の吸引用部材4の群を複数設けて、各群を各々昇降させるようにしてもよく、例えば図2に示す最も載置台1の中心部に近い位置にある吸引用部材3aと、載置台1の中心部を中心する第1の円に沿って配置された4つ吸引用部材3bの群、さらに第1の円と同心となり、第1の円の外側の第2の円に沿って配置された8つの吸引用部材3cの群、の3つ吸引用部材3a〜3cの群が各々一体的に昇降するように構成してもよい。
また本発明は、加熱装置に適用した例に限らず、露光装置に適用してもよい。例えば露光装置は、図18に示すように表面に凹凸が形成された載置台101を備え、ウエハWは、中心寄りの部位が載置台101に支持され、周縁が載置台101の外にはみ出るように載置される。そして例えば載置台101の周囲に昇降自在に構成した吸引用部材3を配置し、吸引用部材3によりウエハWの周縁を吸引して引き下げる。このような構成の場合にもウエハWの反りを矯正した状態で載置することができる。
また吸引用部材3の吸引のオンオフは、吸引圧力調整部であるダンパ34により切り替えてもよい。例えばダンパ34を第1の吸引圧力及び第2の吸引圧力に加え、吸引オフの状態の3段階に切り替えるように構成すればよい。また吸引ポンプ35に代えて、工場排気に接続した構成であってもよい。さらに吸引圧力調整部は、例えばAPCバルブであってもよい。
また吸着監視部は、流量を監視する流量センサであってもよい。さらに吸引用部材3(4)は、例えば静電エネルギーを利用してウエハWを吸着するように構成してもよい。また静電チャックにより吸着する載置台と吸引による減圧により吸着する吸引用部材であってもよく、吸引による減圧によりウエハWを載置する載置台と静電引力によりウエハを吸引する吸引用部材であってもよい。
3、4 吸引用部材
9 制御部
11 加熱板
12 ヒータ
13 ギャップピン
15 昇降ピン
16 昇降機構
32 吸引管
33 圧力センサ
34 ダンパ
35 吸引ポンプ
W ウエハ
Claims (14)
- 基板を載置する載置台と、
前記載置台の上方にある基板の下面を吸引して基板の形状を矯正するための吸引用部材と、
前記吸引用部材を昇降させる昇降機構と、を備えることを特徴とする基板載置装置。 - 前記吸引用部材は載置台内を貫通して設けられていることを特徴とする請求項1に記載の基板載置装置。
- 前記吸引用部材は、載置台の周方向に沿って複数設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の基板載置装置。
- 複数の前記吸引用部材は、個別に昇降できることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一項に記載の基板載置装置。
- 複数の前記吸引用部材は、共通の昇降部に弾性体を介して設けられていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一項に記載の基板載置装置。
- 外部の基板搬送機構と載置台との間で基板の受け渡しをするために載置台の載置面に対して突没自在な複数の保持ピンが設けられていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一項に記載の基板載置装置。
- 前記載置台には温調機構が設けられていることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか一項に記載の基板載置装置。
- 前記温調機構は、基板を加熱処理するための加熱部であることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか一項に記載の基板載置装置。
- 前記保持ピンにより前記載置部の上方にて保持された基板の下面に吸引用部材を吸着させるステップと、前記吸引用部材を基板に吸着させた状態で前記保持ピン及び前記吸引用部材を同期させて下降させ基板を載置台に載置するステップと、前記吸引用部材により吸引した状態で前記吸引用部材を基板の下面から離れ、基板の形状が矯正される高さまで下降させるステップと、を実行する制御部と、を備えることを特徴とする請求項6ないし8のいずれか一項に記載の基板載置装置。
- 前記吸引用部材の吸引圧力を調整する吸引圧力調整部を備え、
基板の下面に吸引用部材を吸着させるステップは、第1の吸引圧力にて基板の下面に吸引用部材を吸着させ、
前記吸引用部材が基板の下面から離れ、基板の形状が矯正される高さまで下降させるステップにおける前記吸引用部材の吸引圧力は、第1の吸引圧力よりも小さい第2の吸引圧力であることを特徴とする請求項9に記載の基板載置装置。 - 基板を載置する載置部と、前記載置部の上方にある基板の下面を吸引して基板の形状を矯正するための吸引用部材と、前記吸引用部材を昇降させる昇降機構と、外部の基板搬送機構と載置台との間で基板の受け渡しをするために載置台の載置面に対して突没自在な複数の保持ピンと、を備えた基板載置装置を用い、
前記保持ピンにより前記載置部の上方にて保持された基板の下面に吸引用部材を吸着させる工程と、
前記吸引用部材を基板に吸着させた状態で前記保持ピン及び前記吸引用部材を同期させて下降させ基板を載置台に載置する工程と、
前記吸引用部材により吸引した状態で前記吸引用部材を基板の下面から離れ、基板の形状が矯正される高さまで下降させる工程と、を含むことを特徴とする基板載置方法。 - 前記吸引用部材の吸引圧力を調整する吸引圧力調整部を備え、
基板の下面に吸引用部材を吸着させる工程は、第1の吸引圧力にて基板の下面に吸引用部材を吸着させ、
前記吸引用部材を基板の下面から離れ、基板の形状が矯正される高さまで下降させる工程における前記吸引用部材の吸引圧力は、第1の吸引圧力よりも小さい第2の吸引圧力であることを特徴とする請求項11に記載の基板載置方法。 - 複数の前記吸引用部材は個別に昇降し、
複数の前記吸引用部材を同じ高さ位置としながら、前記基板を下降させ、基板の下面に吸着した吸引用部材から順番に前記保持ピンと同期させて下降させることを特徴とする請求項11または12に記載の基板載置方法。 - 複数の前記吸引用部材は、共通の昇降部に弾性体を介して設けられることを特徴とする請求項11または12に記載の基板載置方法。
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Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019139731A1 (en) * | 2018-01-09 | 2019-07-18 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Lift pin system for wafer handling |
CN110391168A (zh) * | 2018-04-23 | 2019-10-29 | 东京毅力科创株式会社 | 基片载置装置和基片载置方法 |
CN110400770A (zh) * | 2018-04-25 | 2019-11-01 | 日东电工株式会社 | 粘合带输送方法和粘合带输送装置 |
CN110571183A (zh) * | 2019-09-12 | 2019-12-13 | 长江存储科技有限责任公司 | 一种静电吸盘及半导体结构的制作方法 |
JP2020185615A (ja) * | 2019-05-09 | 2020-11-19 | 東京応化工業株式会社 | 基板支持装置、基板処理装置、及び基板支持方法 |
JPWO2020246268A1 (ja) * | 2019-06-04 | 2020-12-10 | ||
JP6836003B1 (ja) * | 2020-08-27 | 2021-02-24 | 信越エンジニアリング株式会社 | ワーク分離装置及びワーク分離方法 |
KR20210079193A (ko) | 2019-12-19 | 2021-06-29 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 열처리 장치 |
CN115863220A (zh) * | 2022-12-20 | 2023-03-28 | 讯芸电子科技(中山)有限公司 | 一种吸晶装置、吸晶装置的使用方法及固晶机 |
WO2023224285A1 (ko) * | 2022-05-19 | 2023-11-23 | 피에스케이홀딩스 (주) | 와피지 제어 가능한 진공 흡착핀을 구비하는 기판 처리 장치 및 이를 이용한 기판 처리 방법 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11214486A (ja) * | 1998-01-27 | 1999-08-06 | Komatsu Ltd | 基板処理装置 |
JP2001168009A (ja) * | 1999-12-09 | 2001-06-22 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置 |
JP2003025174A (ja) * | 2001-07-11 | 2003-01-29 | Nec Yamagata Ltd | 基板吸着方法および基板吸着機構 |
JP2008087890A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Fujifilm Corp | 基板搬送方法及び基板搬送装置 |
JP2010058869A (ja) * | 2008-09-01 | 2010-03-18 | Fujifilm Corp | フイルム剥離装置及び方法 |
JP2013191601A (ja) * | 2012-03-12 | 2013-09-26 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 基板保持装置及び基板保持方法 |
JP2015018927A (ja) * | 2013-07-10 | 2015-01-29 | 株式会社ニコン | 基板保持方法及び装置、並びに露光方法及び装置 |
WO2015064613A1 (ja) * | 2013-10-30 | 2015-05-07 | 株式会社ニコン | 基板保持装置、露光装置及びデバイス製造方法 |
-
2016
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11214486A (ja) * | 1998-01-27 | 1999-08-06 | Komatsu Ltd | 基板処理装置 |
JP2001168009A (ja) * | 1999-12-09 | 2001-06-22 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置 |
JP2003025174A (ja) * | 2001-07-11 | 2003-01-29 | Nec Yamagata Ltd | 基板吸着方法および基板吸着機構 |
JP2008087890A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Fujifilm Corp | 基板搬送方法及び基板搬送装置 |
JP2010058869A (ja) * | 2008-09-01 | 2010-03-18 | Fujifilm Corp | フイルム剥離装置及び方法 |
JP2013191601A (ja) * | 2012-03-12 | 2013-09-26 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 基板保持装置及び基板保持方法 |
JP2015018927A (ja) * | 2013-07-10 | 2015-01-29 | 株式会社ニコン | 基板保持方法及び装置、並びに露光方法及び装置 |
WO2015064613A1 (ja) * | 2013-10-30 | 2015-05-07 | 株式会社ニコン | 基板保持装置、露光装置及びデバイス製造方法 |
Cited By (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019139731A1 (en) * | 2018-01-09 | 2019-07-18 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Lift pin system for wafer handling |
US10784142B2 (en) | 2018-01-09 | 2020-09-22 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Lift pin system for wafer handling |
CN110391168A (zh) * | 2018-04-23 | 2019-10-29 | 东京毅力科创株式会社 | 基片载置装置和基片载置方法 |
CN110391168B (zh) * | 2018-04-23 | 2024-03-22 | 东京毅力科创株式会社 | 基片载置装置和基片载置方法 |
CN110400770A (zh) * | 2018-04-25 | 2019-11-01 | 日东电工株式会社 | 粘合带输送方法和粘合带输送装置 |
JP2020185615A (ja) * | 2019-05-09 | 2020-11-19 | 東京応化工業株式会社 | 基板支持装置、基板処理装置、及び基板支持方法 |
JP7296536B2 (ja) | 2019-05-09 | 2023-06-23 | Aiメカテック株式会社 | 基板支持装置、基板処理装置、及び基板支持方法 |
KR20220016887A (ko) | 2019-06-04 | 2022-02-10 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 온조 장치 및 기판 온조 방법 |
WO2020246268A1 (ja) * | 2019-06-04 | 2020-12-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板温調装置及び基板温調方法 |
JP7237154B2 (ja) | 2019-06-04 | 2023-03-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板温調装置及び基板温調方法 |
JPWO2020246268A1 (ja) * | 2019-06-04 | 2020-12-10 | ||
CN110571183B (zh) * | 2019-09-12 | 2022-08-05 | 长江存储科技有限责任公司 | 一种静电吸盘及半导体结构的制作方法 |
CN110571183A (zh) * | 2019-09-12 | 2019-12-13 | 长江存储科技有限责任公司 | 一种静电吸盘及半导体结构的制作方法 |
KR20210079193A (ko) | 2019-12-19 | 2021-06-29 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 열처리 장치 |
JP6836003B1 (ja) * | 2020-08-27 | 2021-02-24 | 信越エンジニアリング株式会社 | ワーク分離装置及びワーク分離方法 |
US11251058B1 (en) | 2020-08-27 | 2022-02-15 | Shin-Etsu Engineering Co., Ltd. | Workpiece-separating device and workpiece-separating method |
JP2022039031A (ja) * | 2020-08-27 | 2022-03-10 | 信越エンジニアリング株式会社 | ワーク分離装置及びワーク分離方法 |
WO2023224285A1 (ko) * | 2022-05-19 | 2023-11-23 | 피에스케이홀딩스 (주) | 와피지 제어 가능한 진공 흡착핀을 구비하는 기판 처리 장치 및 이를 이용한 기판 처리 방법 |
CN115863220A (zh) * | 2022-12-20 | 2023-03-28 | 讯芸电子科技(中山)有限公司 | 一种吸晶装置、吸晶装置的使用方法及固晶机 |
CN115863220B (zh) * | 2022-12-20 | 2023-07-04 | 讯芸电子科技(中山)有限公司 | 一种吸晶装置、吸晶装置的使用方法及固晶机 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6711168B2 (ja) | 2020-06-17 |
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