JP2020185615A - 基板支持装置、基板処理装置、及び基板支持方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (12)
- 天面に基板を支持する支持面を有する基板支持部と、
前記基板支持部の上方に設けられ、上下方向に進退して前記支持面上に載置された前記基板を上方から押さえる基板押さえ部と、
前記支持面から上方に向かって出没可能に設けられ、前記支持面上に載置される前記基板の下面を吸着する基板吸着部と、を備える、基板支持装置。 - 前記基板吸着部は、複数配置されている、請求項1に記載の基板支持装置。
- 複数の前記基板吸着部は、前記基板支持部に載置される前記基板に対応して配置されている、請求項2に記載の基板支持装置。
- 複数の前記基板吸着部は、前記基板支持部に載置される前記基板の中央部分と、前記中央部分から放射方向に沿った複数の位置とに配置されている、請求項3に記載の基板支持装置。
- 前記基板は、矩形状であり、
複数の前記基板吸着部は、前記基板支持部に載置された前記基板の中央部分と、前記基板の4つの角部とにそれぞれ配置されている、請求項3に記載の基板支持装置。 - 複数の前記基板吸着部は、矩形状の前記基板の外縁内側に沿って所定間隔で配置されている、請求項5に記載の基板支持装置。
- 前記基板吸着部は、
前記基板支持部に対して昇降可能に設けられ、上端部に吸着パッドが形成されたパッド本体と、
前記パッド本体に対して下方に向けた弾性力を付与する弾性部と、
前記吸着パッドを前記基板の下面に吸着させるための負圧を付与する負圧供給部と、を備える、請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の基板支持装置。 - 前記基板押さえ部は、前記基板支持部に載置された前記基板に対して複数カ所で押さえる、請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の基板支持装置。
- 前記基板押さえ部は、前記基板の上面を吸着可能な吸着部を備え、前記吸着部により前記基板を吸着することにより、前記基板支持部に対する前記基板の搬入又は搬出を行う、請求項1から請求項8のいずれか一項に記載の基板支持装置。
- 前記基板押さえ部及び前記基板吸着部を制御するコントローラを備え、
前記コントローラは、
前記支持面上に載置された基板を前記基板押さえ部により上方から押さえるように指示する押圧指示部と、
前記基板吸着部により前記基板の下面を吸着するように指示する吸着指示部と、を備える、請求項1から請求項9のいずれか一項に記載の基板支持装置。 - 請求項1から請求項10のいずれか一項に記載の基板支持装置と、
前記基板支持装置の前記基板支持部に載置された前記基板を処理する基板処理部と、を備える基板処理装置。 - 基板支持部の支持面上に載置された基板を上方から押さえることと、
前記基板の下面に基板吸着部を吸着させることと、
前記基板を上方から押さえるのを解放して、前記基板に生じた反りに応じて前記基板吸着部を前記支持面から上方に突出させることと、を含む基板支持方法。
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