JP2010058869A - フイルム剥離装置及び方法 - Google Patents

Abstract

【課題】簡単な工程及び構成で、変形した基板であってもフイルムを良好に剥離することができ、効率的且つ経済的なフイルム剥離処理を行うことを可能にする。
【解決手段】支持体剥離装置１３０は、貼り付け基板２４ａを平坦状に強制的に保持する基板保持機構１３２を備える。基板保持機構１３２は、ガラス基板２４のフイルム貼り付け面とは反対の面の四隅を吸着する第１吸着部１３８と、前記ガラス基板２４のベースフイルム剥離方向の両端部を吸着する第２吸着部１４０と、前記ガラス基板２４の中央部側を吸着する第３吸着部１４２とを備える。第１吸着部１３８は、ガラス基板２４のフイルム貼り付け範囲外に配置され、それぞれシリンダ１４６を介して個別に進退可能な吸着パッド１４４ａを備える。第２吸着部１４０及び第３吸着部１４２は、それぞれ複数の吸着パッド１４４ｂ、１４４ｃを備える。
【選択図】図９

Description

本発明は、フイルムが貼り付けられた基板から、前記フイルムを剥離するフイルム剥離装置及び方法に関する。

例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、ＰＤＰパネル用基板では、感光材料（感光性樹脂）層を有する感光性シート体（感光性ウエブ）を基板表面に貼り付けて構成されている。感光性シート体は、可撓性プラスチック支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層されている。

この種の感光性シート体は、保護フイルムが部分的又は全面的に剥離された後、感光材料層がガラス基板や樹脂基板等の基板に貼り付けられている。次いで、支持体が基板から剥離されることにより、感光材料層が貼り付けられた貼り付け基板が得られている。

例えば、特許文献１に開示されているフイルムの剥離方法及び剥離装置では、図２０に示すように、ガラス基板１を吸着して移動する基板吸着ハンド２と、前記ガラス基板１に貼り付けられているフイルムＦ（外層体）を挟持して剥離する第１クランパ３と、前記第１クランパ３を、図２０中、左右に移動させるシリンダ４と、このシリンダ４を前後方向に移動させる水平ガイド５ａ、及び上下方向に移動させる垂直ガイド５ｂと、剥離した前記フイルムＦを挟持する第２クランパ６と、前記剥離された前記フイルムＦを水平方向に押し広げるフイルムプッシャ７とを備えている。

そこで、先ず、基板吸着ハンド２が、図２０中、二点鎖線で示す水平姿勢に配置されてガラス基板１が載せられると、この基板吸着ハンド２は、前記ガラス基板１を吸着して起立する。

次いで、第１クランパ３は、ガラス基板１から外部に突出するフイルムＦの一部を把持し、前記第１クランパ３がシリンダ４を介して任意の方向に移動する。このため、フイルムＦは、ガラス基板１のコーナ部から剥離される。

さらに、第１クランパ３は、水平ガイド５ａ及び垂直ガイド５ｂの案内作用下に矢印方向に移動して、ガラス基板１からフイルムＦを剥離した後、このフイルムＦが第２クランパ６に受け渡される。その際、剥離されたフイルムＦは、フイルムプッシャ７を介して水平方向に押し広げられ、各フイルムＦが重ね合わされて収容される。

特開２００２−２３４６６７号公報

上記の貼り付け基板では、フイルムＦがガラス基板１に熱圧着されるため、前記ガラス基板１が冷却される際に前記フイルムＦが収縮し易い。従って、特に、薄肉状のガラス基板１が使用される際には、フイルムＦの収縮により前記ガラス基板１に大きな変形、すなわち、反りが発生する場合がある。

しかしながら、ガラス基板１が変形した状態では、上記の特許文献１の第１クランパ３によりフイルムＦの一部を確実に把持することができないという問題がある。このため、停止故障の要因となるとともに、生産性の低下及びコストの高騰が惹起されるという問題がある。

本発明はこの種の問題を解決するものであり、簡単な工程及び構成で、変形した基板であってもフイルムを良好に剥離することができ、効率的且つ経済的なフイルム剥離処理を行うことが可能なフイルム剥離装置及び方法を提供することを目的とする。

本発明は、フイルムが貼り付けられた基板から、前記フイルムを剥離するフイルム剥離装置に関するものである。

このフイルム剥離装置は、基板を平坦状に強制的に保持する基板保持機構と、フイルムの端部を把持するフイルム把持機構と、前記フイルム把持機構を移動させることにより、前記基板保持機構に平坦状に保持された前記基板から前記フイルムを剥離させる移動機構とを備えている。

そして、基板保持機構は、基板のフイルム貼り付け面とは反対の面の四隅を吸着するとともに、前記基板に対して進退自在な第１吸着部と、前記基板のフイルム剥離方向の両端部又は前記フイルム剥離方向に交差する方向の両端部を吸着する第２吸着部と、前記基板の中央部側を吸着する第３吸着部とを備えている。

また、第１吸着部、第２吸着部及び第３吸着部は、真空吸引系に連通する吸着パッドを備えることが好ましい。

さらに、４つの第１吸着部は、それぞれ個別に進退するためにアクチュエータを備えることが好ましい。

さらにまた、第２吸着部及び第３吸着部は、一体に進退するために単一のアクチュエータを備えることが好ましい。

また、第１吸着部及び第２吸着部は、基板のフイルムが貼り付けられる領域外に対応して前記基板を吸着することが好ましい。

さらに、本発明は、フイルムが貼り付けられた基板から、前記フイルムを剥離するフイルム剥離方法に関するものである。

このフイルム剥離方法は、第１吸着部により、基板のフイルム貼り付け面とは反対の面の四隅を吸着し、前記基板を平坦状に強制的に保持する工程と、前記第１吸着部を介して前記基板を吸着した状態で、第２吸着部により、前記基板のフイルム剥離方向の両端部又は前記フイルム剥離方向に交差する方向の両端部を吸着する工程と、前記第１吸着部及び前記第２吸着部を介して前記基板を吸着した状態で、第３吸着部により、前記基板の中央部側を吸着する工程と、前記第１吸着部、前記第２吸着部及び前記第３吸着部を介して前記基板を吸着した状態で、前記フイルムを前記基板から剥離する工程とを有している。

さらにまた、４つの第１吸着部は、個別のアクチュエータを介して基板側に進出し、前記基板の四隅を吸着した状態で前記アクチュエータを介して後退することにより、前記基板を平坦状に強制的に保持することが好ましい。

また、第２吸着部により基板が吸着された後、第３吸着部により前記基板が吸着されることが好ましい。

さらに、第１吸着部、第２吸着部及び第３吸着部は、真空吸引系に連通する吸着パッドを備えることが好ましい。

さらにまた、第１吸着部及び第２吸着部は、基板のフイルムが貼り付けられる領域外に対応して前記基板を吸着することが好ましい。

本発明では、基板のフイルム貼り付け面とは反対の面の四隅を吸着するとともに、前記基板に対して進退自在な第１吸着部を備えており、前記第１吸着部を介して前記基板の四隅を確実に吸着することができる。このため、基板に反り等の変形が惹起していても、第１吸着部の吸着及び進退作用下に、前記基板を平坦状に矯正することが可能になる。

従って、フイルム把持機構は、フイルムの端部を確実に把持することができ、簡単な工程及び構成で、基板から前記フイルムを良好に剥離することが可能になり、効率的且つ経済的なフイルム剥離処理を行うことができる。

また、本発明では、先ず、第１吸着部により基板のフイルム貼り付け面とは反対の面の四隅を吸着し、前記基板を平坦状に強制的に保持している。従って、４つの吸着部のみを駆動させればよく、真空吸引系の負荷が有効に低減され、設備負荷の削減が容易に図られる。

しかも、第１吸着部は、基板の四隅を吸着するため、前記基板には、例えば、フイルムの貼り付け領域内にパッド映り等が惹起されることがない。これにより、高品質な基板を確実に得ることが可能になる。

図１は、本発明の実施形態に係るフイルム剥離装置が組み込まれる製造装置２０の概略構成図である。この製造装置２０は、液晶又は有機ＥＬ用カラーフィルタ等の製作工程で、長尺状感光性ウエブ（長尺状ウエブ）２２の感光性樹脂層２９（後述する）をガラス基板２４に熱転写する作業を行う。

図２は、製造装置２０に使用される感光性ウエブ２２の断面図である。この感光性ウエブ２２は、可撓性ベースフイルム（フイルム）２６、クッション層（熱可塑性樹脂層）２７、中間層（酸素遮断膜）２８、感光性樹脂層２９及び保護フイルム３０を積層して構成される。なお、感光性ウエブ２２は、ベースフイルム２６、感光性樹脂層２９及び保護フイルム３０により構成されていてもよい。

ベースフイルム２６は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）で形成され、クッション層２７は、エチレンと酸化ビニル共重合体で形成され、中間層２８は、ポリビニルアルコールで形成され、感光性樹脂層２９は、アルカリ可溶性バインダとモノマーと光重合開始材と着色剤を含む着色感光性樹脂組成物で形成され、保護フイルム３０は、ポリエチレンあるいはポリプロピレン等で形成される。

図１に示すように、製造装置２０は、感光性ウエブ２２をロール状に巻回した感光性ウエブロール２２ａを収容し、この感光性ウエブロール２２ａから前記感光性ウエブ２２を送り出すウエブ送り出し機構３２と、送り出された前記感光性ウエブ２２の保護フイルム３０に、幅方向に切断可能なハーフカット部位３４を形成するハーフカット機構３６と、一部に非接着部３８ａを有する接着ラベル３８（図３参照）を保護フイルム３０に接着させるラベル接着機構４０とを備える。

ラベル接着機構４０の下流には、感光性ウエブ２２をタクト送りから略連続送りに変更するためのリザーバ機構４２と、前記感光性ウエブ２２から保護フイルム３０を所定の長さ間隔で剥離させる保護フイルム剥離機構４４と、ガラス基板２４を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に搬送する加熱機構４５と、前記保護フイルム３０の剥離により露出した感光性樹脂層２９を前記ガラス基板２４に貼り付ける貼り付け機構４６とが配設される。なお、貼り付け機構４６によりガラス基板２４に感光性ウエブ２２が貼り付けられた積層体を、以下、貼り付け基板２４ａという。

貼り付け機構４６における貼り付け位置の上流近傍には、感光性ウエブ２２の境界位置であるハーフカット部位３４を直接検出する検出機構４７が配設されるとともに、前記貼り付け機構４６の下流には、各ガラス基板２４間の前記感光性ウエブ２２を切断する基板間ウエブ切断機構４８が配設される。この基板間ウエブ切断機構４８の上流には、運転開始時及び運転終了時に使用されるウエブ切断機構４８ａが設けられる。

ウエブ送り出し機構３２の下流近傍には、略使用済みの感光性ウエブ２２の後端と、新たに使用される感光性ウエブ２２の先端とを接合させる接合台４９が配設される。この接合台４９の下流には、感光性ウエブロール２２ａの巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端位置検出器５１が配設される。

ハーフカット機構３６は、ウエブ送り出し機構３２に収容巻回されている感光性ウエブロール２２ａのロール径を算出するためのローラ対５０の下流に配置される。ハーフカット機構３６は、感光性ウエブ２２の搬送方向（矢印Ａ方向）に直交する方向に進退自在なスライド台５２を備える。このスライド台５２には、回転丸刃（カッタ）５４が固着されるとともに、前記回転丸刃５４に対向する位置には、感光性ウエブ２２を挟んでカット受台５６が配設される。

図２に示すように、ハーフカット部位３４は、少なくとも保護フイルム３０を切断する必要があり、実際上、この保護フイルム３０を確実に切断するために感光性樹脂層２９乃至中間層２８まで切り込むように、回転丸刃５４の切り込み深さが設定される。

ハーフカット部位３４は、ガラス基板２４の間隔を設定するものであり、例えば、両側の前記ガラス基板２４にそれぞれ１０ｍｍずつ入り込んだ位置に設定される。ガラス基板２４間のハーフカット部位３４で挟まれた部分は、後述する貼り付け機構４６において感光性樹脂層２９を前記ガラス基板２４に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。

ラベル接着機構４０は、ガラス基板２４間に対応して保護フイルム３０の残存部分３０ｂを残すため、剥離側前方の剥離部分３０ａａと剥離側後方の剥離部分３０ａｂとを連結する接着ラベル３８を供給する。図２に示すように、保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを挟んで、先に剥離される部分を前方の剥離部分３０ａａとする一方、後に剥離される部分を後方の剥離部分３０ａｂとする。

図３に示すように、接着ラベル３８は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム３０と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル３８は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部（微粘着を含む）３８ａを有するとともに、この非接着部３８ａの両側、すなわち、前記接着ラベル３８の長手方向両端部に、前方の剥離部分３０ａａに接着される第１接着部３８ｂと、後方の剥離部分３０ａｂに接着される第２接着部３８ｃとを有する。

図１に示すように、ラベル接着機構４０は、最大７枚の接着ラベル３８を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド５８ａ〜５８ｇを備えるとともに、前記吸着パッド５８ａ〜５８ｇによる前記接着ラベル３８の貼り付け位置には、感光性ウエブ２２を下方から保持するための受台５９が昇降自在に配置される。

リザーバ機構４２は、上流側の感光性ウエブ２２のタクト搬送と、下流側の前記感光性ウエブ２２の連続搬送との速度差を吸収するが、さらにテンション変動を防ぐために、揺動自在な２連のローラ６０で構成されるダンサー６１を備えることが好ましい。

保護フイルム剥離機構４４は、リザーバ機構４２の下流に配置されるとともに、サクションドラム６２と、感光性ウエブ２２を挟んでこのサクションドラム６２に接する剥離ローラ６４とを備える。剥離ローラ６４を介して感光性ウエブ２２から鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを除いて保護フイルム巻き取り軸６６に巻き取られる。保護フイルム巻き取り軸６６は、保護フイルム３０に所定のテンションを付与するために、例えば、トルクモータ６８に連結される。

保護フイルム剥離機構４４の下流側には、感光性ウエブ２２にテンションを付与可能なテンション制御機構７６が配設される。テンション制御機構７６は、シリンダ７８を備え、このシリンダ７８の駆動作用下に、テンションピックアップローラ８０が揺動変位することにより、このテンションピックアップローラ８０が摺接する感光性ウエブ２２のテンションが調整可能である。なお、テンション制御機構７６は、必要に応じて使用すればよく、削除することもできる。

検出機構４７は、レーザセンサやフォトセンサ等の光電センサ８２を備えており、前記光電センサ８２は、ハーフカット部位３４の楔状の溝形状部や、保護フイルム３０の厚さによる段差、あるいは、これらの組み合わせによる変化を直接検出し、この検出信号を境界位置信号とする。光電センサ８２は、バックアップローラ８３に対向して配置される。

加熱機構４５は、ガラス基板２４を矢印Ｃ方向に搬送するための搬送機構８４と複数の加熱炉８６とを備え、この搬送機構８４は、矢印Ｃ方向に配列される複数の樹脂製円板状搬送ローラ８８を有する。

貼り付け機構４６は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるラミネート用ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂを備える。ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂには、バックアップローラ１１２ａ、１１２ｂが摺接するとともに、前記バックアップローラ１１２ｂは、ローラクランプ部１１４を介してゴムローラ１１０ｂ側に押圧される。

ゴムローラ１１０ａの近傍には、感光性ウエブ２２が前記ゴムローラ１１０ａに接触することを防止するための接触防止ローラ１１６が配設される。この接触防止ローラ１１６は、図示しないアクチュエータを介して移動可能である。

貼り付け機構４６と基板間ウエブ切断機構４８との間には、フイルム搬送ローラ１１８ａと基板搬送ローラ１１８ｂとが配設される。基板間ウエブ切断機構４８の下流側には、複数のローラ１２０ａが配列される搬送系１２０が設けられる。搬送系１２０の矢印Ｃ方向（下流側）の端部には、図４に示すように、貼り付け基板２４ａの搬送方向を矢印Ｃ方向から矢印Ｂ方向に変換する方向変換コンベア１２２が設けられる。

方向変換コンベア１２２の下流には、移送ロボット１２４が配設されるとともに、この移送ロボット１２４は、貼り付け基板２４ａを前記方向変換コンベア１２２から搬送系１２６に移送する。搬送系１２６は、複数のローラ１２６ａを備え、貼り付け基板２４ａを矢印Ｃ方向に搬送する。

搬送系１２６の上流には、冷却機構１２８が配置される。冷却機構１２８は、貼り付け基板２４ａに冷風を供給して冷却処理を施す。具体的には、風速が１．０〜２．０ｍ／ｍｉｎに設定されるとともに、この冷却機構１２８の下流側には、ピールステーションに対応して本実施形態に係る支持体剥離装置（フイルム剥離装置）１３０が配置される。

支持体剥離装置１３０は、図５及び図６に示すように、貼り付け基板２４ａを平坦状に強制的に保持する基板保持機構１３２と、前記貼り付け基板２４ａを構成するガラス基板２４の搬送方向両端から外部に突出するベースフイルム２６の両端部を把持するフイルム把持機構１３４と、前記フイルム把持機構１３４を矢印Ｄ方向に移動させることにより、前記ベースフイルム２６を前記貼り付け基板２４ａから剥離させる移動機構１３６とを備える。

図７〜図９に示すように、基板保持機構１３２は、ガラス基板２４のベースフイルム貼り付け面と反対の面の四隅を吸着する第１吸着部１３８と、前記ガラス基板２４のベースフイルム剥離方向（矢印Ｄ方向）の両端部を吸着する第２吸着部１４０と、前記ガラス基板２４の中央部側を吸着する第３吸着部１４２とを備える。

第１吸着部１３８は、ガラス基板２４の四隅に、より好ましくは、ベースフイルム２６（感光性ウエブ２２）の貼り付け領域外に配置される吸着パッド１４４ａを備える。各吸着パッド１４４ａは、シリンダ（アクチュエータ）１４６を介して、個別に矢印Ｅ方向に進退（昇降）自在である。

各吸着パッド１４４ａは、例えば、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）等の樹脂材又はゴム材等で形成されるとともに、吸引用孔部１４８を有し、前記吸引用孔部１４８は、図示しない真空吸引系に連通する。なお、以下に説明する各吸着パッドにおいても、同様である。

図８及び図９に示すように、第２吸着部１４０は、ガラス基板２４の矢印Ｄ方向両端に、より好ましくは、ベースフイルム２６の貼り付け領域外に位置して、それぞれ４個ずつ配置される吸着パッド１４４ｂを備える。第３吸着部１４２は、ガラス基板２４のベースフイルム２６の貼り付け領域内に配置される複数の吸着パッド１４４ｃを備える。

各吸着パッド１４４ｂ、１４４ｃは、単一の昇降台１５０に取り付けられるとともに、前記昇降台１５０は、単一のアクチュエータであるシリンダ１５１を介して、矢印Ｅ方向に進退自在である（図９参照）。

図８及び図９に示すように、基板保持機構１３２は、搬入された貼り付け基板２４ａを一旦上昇させる基板リフト機構１４７と、前記基板リフト機構１４７により上昇された前記貼り付け基板２４ａを位置決めする基板位置決め機構１４９とを備える。

基板リフト機構１４７は、ガラス基板２４側に配置される複数の基板受けローラ１４７ａを設けるとともに、前記基板受けローラ１４７ａは、シリンダ（図示せず）等のアクチュエータを介して昇降自在である。

基板位置決め機構１４９は、ガラス基板２４の四隅に対応して配置される４つの位置決めローラ１４９ａを設ける。位置決めローラ１４９ａは、図示しない駆動機構の作用下に、ガラス基板２４に対して矢印Ｄ方向に進退可能であり、２つずつの前記位置決めローラ１４９ａが前記ガラス基板２４を挟持して位置決めする。なお、位置決めローラ１４９ａは、形状の異なるガラス基板２４に対応して少なくとも２つの位置決め位置を有することが好ましい。

図５及び図６に示すように、移動機構１３６は、基板保持機構１３２から後述するフイルム廃棄機構１５２にわたり矢印Ｄ方向に延在して配置される枠部材１５４を備える。

枠部材１５４には、貼り付け基板２４ａの搬送方向（矢印Ｃ方向）に直交する矢印Ｄ方向に延在する上部ガイドレール１５６ａ、１５６ｂが互いに所定の間隔だけ離間して平行に延在する。上部ガイドレール１５６ａ、１５６ｂの下方には、これらよりも短尺な下部ガイドレール１５８ａ、１５８ｂが、同様に矢印Ｄ方向に延在して互いに平行して設けられる。上部ガイドレール１５６ａ、１５６ｂには、モータ１６０ａ、１６０ｂを介して矢印Ｄ方向に沿って進退可能な自走式可動部材１６２ａ、１６２ｂが支持される。

可動部材１６２ａ、１６２ｂは、鉛直方向（矢印Ｅ方向）に延在しており、互いに対向する側面には、鉛直方向に延在するガイドレール１６４ａ、１６４ｂが設けられる。ガイドレール１６４ａ、１６４ｂには、昇降台１６６ａ、１６６ｂが支持されるとともに、前記昇降台１６６ａ、１６６ｂは、モータ１６８ａ、１６８ｂを介して昇降可能である。

昇降台１６６ａ、１６６ｂの下端部には、フイルム把持機構１３４を構成するチャック１７０ａ、１７０ｂが固着される。チャック１７０ａ、１７０ｂは、貼り付け基板２４ａのベースフイルム剥離位置において、前記貼り付け基板２４ａを構成するガラス基板２４の搬送方向両端から外部に突出するベースフイルム２６の両側部を把持自在な位置に位置調整可能である。

モータ１６０ａ、１６０ｂ及び１６８ａ、１６８ｂは、速度又は加速度の制御が可能な種々の回転駆動源が使用される。例えば、サーボモータや直動リニアモータの他、直動ロボット等が採用される。

下部ガイドレール１５８ａ、１５８ｂには、スライドベース１７４ａ、１７４ｂが支持されるとともに、前記スライドベース１７４ａ、１７４ｂには、ピールローラ１７６の両端が昇降可能に支持される。スライドベース１７４ａ、１７４ｂは、可動部材１６２ａ、１６２ｂと一体的に矢印Ｄ方向の所定の位置間を進退可能に構成される。なお、ピールローラ１７６は、必要に応じて設けられており、不要にすることもできる。

図６に示すように、フイルム廃棄機構１５２の近傍には、ニップローラ１７８が配置される。ニップローラ１７８は、固定型の下部ローラ１７８ａと、シリンダ１８０を介して昇降自在な上部ローラ１７８ｂとを備える。上部ローラ１７８ｂが下降した際、この上部ローラ１７８ｂと下部ローラ１７８ａとの間には、所定のクリアランス（例えば、１ｍｍ〜２ｍｍ）が形成される。

図１０に示すように、基板保持機構１３２には、ベースフイルム２６を把持する位置を測定するために、前記ベースフイルム２６とガラス基板２４との搬送方向両角部を撮像する第１撮像機構１８２ａ、１８２ｂと、貼り付け基板２４ａの搬送方向先端側の貼り付け位置を計測するための第２撮像機構１８４ａ、１８４ｂとが配置される。

第１撮像機構１８２ａ、１８２ｂは、図１１に示すように、ＣＣＤカメラ１８６ａ、１８６ｂと、貼り付け基板２４ａにガラス基板２４側から照明光Ｌを照射するための照明部１８８ａ、１８８ｂとを備える。照明部１８８ａ、１８８ｂは、赤色光であり、波長はフイルム被りが惹起しない、例えば、６６０ｎｍ付近に設定される。

なお、第２撮像機構１８４ａ、１８４ｂは、上記の第１撮像機構１８２ａ、１８２ｂと同様に構成されており、その詳細な説明は省略する。

図１０に示すように、第１撮像機構１８２ａの近傍には、ガラス基板２４の搬送方向先端部を検出して減速処理を行うための減速センサ、例えば、反射型光電センサ１９０ａ、１９０ｂが配置される。反射型光電センサ１９０ｂの下流には、ガラス基板２４のオーバーランを検出するオーバーラン検出センサ、例えば、反射型光電センサ１９２が所定の位置に配置される。反射型光電センサ１９０ａ、１９０ｂ及び１９２は、ガラス基板２４の下面から下方に離間して配置される。なお、形状の異なるガラス基板２４に対応して、複数組の反射型光電センサ１９０ａ、１９０ｂ及び１９２を配設してもよい。

図１２及び図１３に示すように、フイルム廃棄機構１５２には、フイルム集積台車２００が着脱自在に設けられる。フイルム集積台車２００は、４つの車輪２０２によって走行自在であるとともに、箱状の集積部２０４を有する。集積部２０４には、複数のローラ２０６が回転自在に配設される。

集積部２０４を構成する枠板２０８は、一端部側に開閉扉２１０を有する一方、他端側に取っ手２１２が設けられる。枠板２０８の左右両側には、２つずつ支持部２１４が形成されるとともに、１つの前記支持部２１４には、位置決め用孔部２１４ａが設けられる。

フイルム廃棄機構１５２の台車セット部には、フイルム集積台車２００をセット位置に案内するために左右一対のガイド部材２１８が設けられるとともに、前記フイルム集積台車２００の左右に対応して一対のリフタ２２０ａ、２２０ｂが配設される。

リフタ２２０ａは、フイルム集積台車２００の一対の支持部２１４を支持して前記フイルム集積台車２００を昇降自在に保持するための一対の昇降ブラケット２２２ａと、前記昇降ブラケット２２２ａを昇降させるモータ２２４ａとを備える。図１４に示すように、一方の昇降ブラケット２２２ａには、位置決め用孔部２２６が設けられ、前記位置決め用孔部２２６及び位置決め用孔部２１４ａに固定ピン２２８が一体に挿入されて、フイルム集積台車２００の位置決めを行う。一方の昇降ブラケット２２２ａには、固定ピン２２８を配置するためのピンホルダ２２９が設けられる。

リフタ２２０ｂは、フイルム集積台車２００の一対の支持部２１４を支持して前記フイルム集積台車２００を昇降自在に保持するための一対の昇降ブラケット２２２ｂと、前記昇降ブラケット２２２ｂを昇降させるモータ２２４ｂとを備える。

図４に示すように、支持体剥離装置１３０の下流には、ベースフイルム２６が剥離されたか否かを検査する検査コンベア２３０と、前記ベースフイルム２６が剥離された積層体基板を次段の工程に排出する排出コンベア２３２とが、順次、設けられる。

図１に示すように、製造装置２０では、ウエブ送り出し機構３２、ハーフカット機構３６、ラベル接着機構４０、リザーバ機構４２、保護フイルム剥離機構４４、テンション制御機構７６及び検出機構４７が、貼り付け機構４６の上方に配置されているが、これとは逆に、前記ウエブ送り出し機構３２から前記検出機構４７を前記貼り付け機構４６の下方に配置し、感光性ウエブ２２の上下が逆になって感光性樹脂層２９がガラス基板２４の下側に貼り付けされてもよく、また、前記製造装置２０全体を直線上に構成してもよい。

製造装置２０内は、仕切り壁２４０を介して第１クリーンルーム２４２ａと第２クリーンルーム２４２ｂとに仕切られる。第１クリーンルーム２４２ａには、ウエブ送り出し機構３２からテンション制御機構７６までが収容されるとともに、第２クリーンルーム２４２ｂには、検出機構４７以降が収容される。第１クリーンルーム２４２ａと第２クリーンルーム２４２ｂとは、貫通部２４４を介して連通する。

このように構成される製造装置２０の動作について、本実施形態に係るフイルム剥離方法との関連で以下に説明する。

先ず、図１に示すように、ウエブ送り出し機構３２に取り付けられている感光性ウエブロール２２ａから感光性ウエブ２２が繰り出され、この感光性ウエブ２２は、ハーフカット機構３６に送られる。

ハーフカット機構３６では、スライド台５２が感光性ウエブ２２の幅方向（搬送方向に直交する方向）に移動する。このため、回転丸刃５４は、感光性ウエブ２２のハーフカット部位３４に所望の深さまで切り込んだ状態で、移動しながら回転する。これにより、感光性ウエブ２２には、保護フイルム３０から所望の深さに切り込んだハーフカット部位３４が形成される（図２参照）。

ハーフカット処理された感光性ウエブ２２は、図１に示すように、保護フイルム３０の残存部分３０ｂの寸法に対応して矢印Ａ方向に搬送された後、一旦停止されて回転丸刃５４の走行作用下に次なるハーフカット部位３４が形成される。このため、感光性ウエブ２２には、残存部分３０ｂを挟んで前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとが設けられる（図２参照）。

さらに、感光性ウエブ２２は、ラベル接着機構４０に搬送されて、保護フイルム３０の所定の貼り付け部位が受台５９上に配置される。ラベル接着機構４０では、所定枚数の接着ラベル３８が吸着パッド５８ａ〜５８ｇにより吸着保持され、各接着ラベル３８が保護フイルム３０の残存部分３０ｂを跨いで、前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとに一体的に接着される（図３参照）。

例えば、７本の接着ラベル３８が接着された感光性ウエブ２２は、図１に示すように、リザーバ機構４２を介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、保護フイルム剥離機構４４に連続的に搬送される。

保護フイルム剥離機構４４では、感光性ウエブ２２がサクションドラム６２と剥離ローラ６４とに挟持されて、前記感光性ウエブ２２のベースフイルム２６が前記サクションドラム６２に吸着保持されている。この状態で、サクションドラム６２が回転されるとともに、保護フイルム３０には、トルクモータ６８を介して所定のトルクが付与されている。

従って、保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを残して感光性ウエブ２２から剥離され、剥離ローラ６４を介して保護フイルム巻き取り軸６６に巻き取られる。なお、剥離部位には、除電エアを吹き付けることが好ましい。

保護フイルム剥離機構４４の作用下に、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残してベースフイルム２６から剥離された後、感光性ウエブ２２は、テンション制御機構７６によってテンション調整が行われ、さらに検出機構４７で光電センサ８２によりハーフカット部位３４の検出が行われる。

感光性ウエブ２２は、ハーフカット部位３４の検出情報に基づいて、運転開始時にはフイルム搬送ローラ１１８ａの回転作用下に、その後は貼り付け基板２４ａを挟持する基板搬送ローラ１１８ｂの回転作用下に、貼り付け機構４６に定量搬送される。その際、接触防止ローラ１１６が上方に待機するとともに、ゴムローラ１１０ｂが下方に配置されている。

一方、加熱機構４５では、貼り付け機構４６におけるラミネート温度に対応して各加熱炉８６内の加熱温度が設定されている。ガラス基板２４は、搬送機構８４を構成する搬送ローラ８８の回転作用下に、各加熱炉８６に、順次、タクト搬送される。このガラス基板２４は、感光性ウエブ２２の感光性樹脂層２９の貼り付け部分に対応してゴムローラ１１０ａ、１１０ｂ間に一旦配置される。

この状態で、ローラクランプ部１１４を介してバックアップローラ１１２ｂ及びゴムローラ１１０ｂを上昇させることにより、ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂ間にガラス基板２４が所定のプレス圧力で挟み込まれる。さらに、ゴムローラ１１０ａの回転作用下に、このガラス基板２４には、感光性樹脂層２９が加熱溶融により転写（ラミネート）される。

ここで、ラミネート条件としては、速度が１．０ｍ／ｍｉｎ〜１０．０ｍ／ｍｉｎ、ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂの温度が８０℃〜１５０℃、前記ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂのゴム硬度が４０度〜９０度、該ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂのプレス圧（線圧）が５０Ｎ／ｃｍ〜４００Ｎ／ｃｍである。

ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂを介してガラス基板２４に感光性ウエブ２２の１枚分のラミネートが終了すると、前記ゴムローラ１１０ａの回転が停止される。一方、ガラス基板２４に感光性ウエブ２２がラミネートされた貼り付け基板２４ａは、基板搬送ローラ１１８ｂによりクランプされる。そして、ゴムローラ１１０ｂは、ゴムローラ１１０ａから離間する方向に退避してクランプが解除される。

これにより、一枚分のラミネート処理が終了し、次なるラミネート処理が開始されるまでの時間の中で、加熱機構４５を介して所定の温度に加熱されたガラス基板２４が、ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂ間に搬送されて配置されるとともに、前記ゴムローラ１１０ａに摺接する感光性ウエブ２２の微動送りが行われる。

ガラス基板２４に感光性ウエブ２２が貼り付けられた貼り付け基板２４ａは、矢印Ｃ方向に定量搬送される。そして、各ガラス基板２４間の感光性ウエブ２２が、基板間ウエブ切断機構４８を介して切断された貼り付け基板２４ａは、搬送系１２０を介して方向変換コンベア１２２に搬送される。

図４に示すように、方向変換コンベア１２２上の貼り付け基板２４ａは、搬送方向を矢印Ｂ方向に変更させて移動された後、移送ロボット１２４に把持されて冷却機構１２８に搬入される。この冷却機構１２８で冷却された貼り付け基板２４ａは、ローラ１２６ａを有する搬送系１２６を介して矢印Ｃ方向に搬送され、支持体剥離装置１３０に移送される。

図１０に示すように、ピールステーションである基板保持機構１３２には、反射型光電センサ１９０ａ、１９０ｂが搬送方向に沿って配置されている。このため、先ず、反射型光電センサ１９０ａが矢印Ｃ方向に搬送されてくる貼り付け基板２４ａのガラス基板２４の搬送方向先端部を検出すると（図１５中、減速検出ＯＮ参照）、前記貼り付け基板２４ａに第１の減速処理が行われる。次いで、反射型光電センサ１９０ｂがガラス基板２４の搬送方向先端部を検出すると（図１５中、停止検出ＯＮ参照）、貼り付け基板２４ａがさらに減速される。ガラス基板２４の寸法が大きく、且つ、高速度で搬送されるため、慣性力が比較的大きくなっており、上記の２段減速処理が行われることにより、貼り付け基板２４ａを正確に所定の位置に停止させることができる。

そして、第１撮像機構１８２ａ、１８２ｂを介して貼り付け基板２４ａの位置をモニタリングしながら、前記貼り付け基板２４ａを所定の停止位置に停止させる。なお、貼り付け基板２４ａが所定の停止位置よりも矢印Ｃ方向にオーバーランすると、反射型光電センサ１９２により検出される。

貼り付け基板２４ａが所定の停止位置に停止されると（図１６中、ステップＳ１）、前記貼り付け基板２４ａが位置決めされる（ステップＳ２）。具体的には、基板リフト機構１４７を構成する基板受けローラ１４７ａが上昇することにより、前記基板受けローラ１４７ａが貼り付け基板２４ａをリフトアップする。この状態で、基板位置決め機構１４９を構成する４つの位置決めローラ１４９ａが貼り付け基板２４ａを構成するガラス基板２４側に移動する。従って、ガラス基板２４は、４つの位置決めローラ１４９ａに挟持されて位置決め保持される。

次いで、基板保持機構１３２が駆動される。基板保持機構１３２では、先ず、第１吸着部１３８を構成する各シリンダ１４６が駆動されて、吸着パッド１４４ａが上昇する（ステップＳ３及び図１７参照）。

各吸着パッド１３４ａは、ガラス基板２４の四隅にベースフイルム２６の貼り付け領域外に対応して配置されており、前記ガラス基板２４のベースフイルム貼り付け面とは反対側の面に接触する。その際、図示しない真空吸引系の作用下に、吸引用孔部１４８を介して吸引されるため、各吸着パッド１４４ａは、ガラス基板２４の四隅を吸着する（ステップＳ４）。

なお、吸着パッド１４４ａは、ガラス基板２４の湾曲形状に応じて傾動可能に構成してもよく、また、スプリングを設けていてもよい。

次に、ステップＳ５に進んで、位置決めローラ１４９ａがガラス基板２４から離間する方向に移動して前記ガラス基板２４の挟持が解除された後、各シリンダ１４６の駆動作用下に、吸着パッド１４４ａは、ガラス基板２４の四隅を吸着した状態で下降する（ステップＳ６）。従って、ガラス基板２４は、四隅を各吸着パッド１４４ａに吸着保持されて強制的に平坦状に保持される。ここで、第２吸着部１４０及び第３吸着部１４２は、単一のシリンダ１５１の作用下に一体に上昇している。

この状態で、第２吸着部１４０により、ガラス基板２４のベースフイルム剥離方向の両端部が吸着される（ステップＳ７）。第２吸着部１４０による吸着が開始された後、所定の時間だけ経過すると、第３吸着部１４２により、ガラス基板２４の中央部側の吸着が行われる（ステップＳ８）。このため、ガラス基板２４は、第１吸着部１３８、第２吸着部１４０及び第３吸着部１４２により、平坦状且つ確実に吸着保持される。

次いで、ベースフイルム２６の剥離処理が行われる（ステップＳ９）。具体的には、貼り付け基板２４ａが、基板保持機構１３２により強制的に平坦状に位置決め保持された状態で、ベースフイルム把持位置近傍を第１及び第２撮像機構１８２ａ、１８２ｂにより撮像する。

図１１に示すように、第１及び第２撮像機構１８２ａ、１８２ｂでは、貼り付け基板２４ａのガラス基板２４側から照明部１８８ａ、１８８ｂを介して照明光Ｌが照射されるとともに、ベースフイルム２６側に配置されているＣＣＤカメラ１８６ａ、１８６ｂは、各チャック１７０ａ、１７０ｂによるチャック位置近傍を撮像する。従って、ＣＣＤカメラ１８６ａ、１８６ｂによる撮像された画像情報に基づいて、貼り付け基板２４ａの位置が検出される。

そして、貼り付け基板２４ａが所定の停止位置範囲内に配置されていることが確認されると、フイルム把持機構１３４を構成する各チャック１７０ａ、１７０ｂの位置が調整される。さらに、チャック１７０ａ、１７０ｂは、ガラス基板２４の搬送方向両端から外方に突出するベースフイルム２６の端部を把持する（図１８中、位置Ｐ１参照）。

そこで、図５に示すように、可動部材１６２ａ、１６２ｂ及び昇降台１６６ａ、１６６ｂは、モータ１６０ａ、１６０ｂ及び１６８ａ、１６８ｂの作用下に、所定の方向に駆動制御される。これにより、チャック１７０ａ、１７０ｂは、図１８中、位置Ｐ１〜Ｐ６に示す剥離軌跡に沿って移動し、前記チャック１７０ａ、１７０ｂに把持されるベースフイルム２６は、クッション層２７から分離されて貼り付け基板２４ａから剥離される。その際、ピールローラ１７６は、可動部材１６２ａ、１６２ｂと一体的に矢印Ｄ方向に所定の位置まで移動し、ベースフイルム２６を円滑且つ良好に剥離させる。

チャック１７０ａ、１７０ｂが位置Ｐ３から位置Ｐ４に移動する際に、ニップローラ１７８では、上部ローラ１７８ｂが予め上昇している。チャック１７０ａ、１７０ｂが上部ローラ１７８ｂと下部ローラ１７８ａとの間を通過すると、シリンダ１８０が駆動されて前記上部ローラ１７８ｂが下降する。このため、下部ローラ１７８ａと上部ローラ１７８ｂとの間に所定のクリアランス（例えば、１ｍｍ〜２ｍｍ）が保持される。このクリアランスをベースフイルム２６が通過することにより、ガラス基板２４から剥離される前記ベースフイルム２６のバタツキを防止することができる。

チャック１７０ａ、１７０ｂは、位置Ｐ４を通過した後、フイルム集積台車２００の集積部２０４に移動し、この集積部２０４の底面から所定の高さＨになるまで下降し、位置Ｐ５から位置Ｐ６に移動する。

そして、チャック１７０ａ、１７０ｂは、位置Ｐ６に移動した後、ベースフイルム２６の把持作用を解除する。これによって、ベースフイルム２６は、フイルム集積台車２００の集積部２０４に設けられているフリーローラであるローラ２６０上に移載される。

なお、集積部２０４上に所定の枚数のベースフイルム２６が集積されると、リフタ２２０を介してフイルム集積台車２００が所定高さだけ下降する。従って、集積部２０４内の最上位のベースフイルム２６から各チャック１７０ａ、１７０ｂまでは、所定の距離Ｈに維持される。

ベースフイルム２６が剥離された貼り付け基板２４ａは、第１〜第３吸着部１３８、１４０及び１４２による吸着が解除された後（ステップＳ１０）、積層体基板として検査コンベア２３０に移送される。この積層体基板は、剥離状態の検査等が行われた後、排出コンベア２３２から次段の工程に払い出される（ステップＳ１１）。

この場合、支持体剥離装置１３０に搬送される貼り付け基板２４ａは、ガラス基板２４に感光性ウエブ２２が熱圧着された後、冷却処理されている。このため、特に、薄板状のガラス基板２４が使用される際には、感光性ウエブ２２の熱収縮により搬送方向に沿って反り（変形）が惹起するおそれがある。

そこで、本実施形態では、支持体剥離装置１３０を構成する基板保持機構１３２が、先ず、４つの第１吸着部１３８によりガラス基板２４の四隅を、すなわち、ベースフイルム２６の貼り付け領域外を吸着し、各シリンダ１４６を介して下降することにより、前記ガラス基板２４を平坦状に強制的に保持している。

従って、４つの吸着パッド１４４ａのみを駆動させるだけでよく、図示しない真空吸引系の負荷が有効に低減され、設備負荷の削減が容易に図られるという効果が得られる。全ての吸着パッド１４４ａ、１４４ｂ及び１４４ｃを同時に吸引すると、吸引圧不足となり易くなるとともに、設備負荷が相当に大きくなるからである。

しかも、第１吸着部１３８は、ガラス基板２４のベースフイルム２６の貼り付け領域外の四隅を吸着している。これにより、貼り付け基板２４ａには、感光性ウエブ２２の貼り付け領域内にパッド映り等が惹起されることがなく、高品質な積層体基板を確実に得ることが可能になる。

さらに、第１吸着部１３８により平坦状に強制的に保持されたガラス基板２４は、感光性ウエブ２２の貼り付け領域外に配置されている第２吸着部１４０を構成する複数の吸着パッド１４４ｂにより吸着保持された後、第３吸着部１４２を構成する複数の吸着パッド１４４ｃによる吸着が行われている。従って、貼り付け基板２４ａには、感光性ウエブ２２の貼り付け領域内にパッド映りが惹起されることを一層確実に阻止することが可能になる。

さらにまた、本実施形態では、基板保持機構１３２が貼り付け基板２４ａの寸法形状、又は反り量等の変更等にも対応することができる。すなわち、上記の貼り付け基板２４ａに対応して第１吸着部１３８、第２吸着部１４０及び第３吸着部１４２を設ける他、例えば、図１９に示すように、貼り付け基板２４ｂのベースフイルム剥離方向に交差する方向の両端部に対応して、第１吸着部１３８ａ及び第２吸着部１４０ａを備えることが好ましい。なお、第１吸着部１３８及び第２吸着部１４０と、第１吸着部１３８ａ及び第２吸着部１４０ａとは、使用されない際には、作業位置から退避可能に構成されることが好ましい。

このため、貼り付け基板２４ｂが使用される際には、先ず、第１吸着部１３８ａが駆動されてガラス基板２４の四隅を吸着パッド１４４ａにより吸着し、ガラス基板２４が平坦状に強制的に保持される。次いで、第２吸着部１４０ａを構成する各吸着パッド１４４ｂによる吸着が行われた後、第３吸着部１４２を構成する吸着パッド１４４ｃによる吸着が行われる。

これにより、貼り付け基板２４ｂでは、ガラス基板２４全体が平坦状に強制的且つ確実に保持され、上記の貼り付け基板２４ａと同様に、真空吸引系のサクション負荷を低減するとともに、パッド映りのない高品質な積層体基板が得られるという効果がある。

なお、第１吸着部１３８、１３８ａによるパッド映りの懸念がなく、剥離も有意な場合（フイルム材料等に起因する）には、図８に示すように、前記第１吸着部１３８、１３８ａに代えて、共有の第１吸着部１３８ｂを用いてもよい。従って、基板保持機構１３２の構成が一層簡素化されるという利点がある。

また、ベースフイルム２６の剥離をより確実に行うために、ガラス基板２４の四隅を強固に保持する必要がある場合には、第１吸着部１３８、１３８ａの吸着圧を、第２吸着部１４０、１４０ａ及び第３吸着部１４２の吸着圧よりも高く設定してもよい。

さらに、ガラス基板２４に反り等の変形がない場合であっても、基板保持機構１３２を介して前記ガラス基板２４全体が平坦状に強制的且つ確実に保持される。このため、ベースフイルム２６の剥離処理が良好に遂行されるとともに、高品質な積層体基板を確実に得ることが可能になる。

本発明の実施形態に係る支持体剥離装置が組み込まれる製造装置の概略構成図である。 前記製造装置に使用される長尺状感光性ウエブの断面図である。 前記長尺状感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。 前記製造装置の概略平面説明図である。 前記支持体剥離装置の概略斜視説明図である。 前記支持体剥離装置の要部側面説明図である。 前記支持体剥離装置を構成する基板保持機構の斜視説明図である。 前記基板保持機構の平面説明図である。 前記基板保持機構の概略斜視説明図である。 撮像機構の配置状態の説明図である。 前記撮像機構の構成説明図である。 前記支持体剥離装置を構成するフイルム廃棄機構の斜視説明図である。 前記フイルム廃棄機構の平面説明図である。 前記フイルム廃棄機構の一部斜視説明図である。 貼り付け基板の搬送速度制御の説明図である。 本発明に係る支持体剥離方法を説明するフローチャートである。 前記基板保持機構の動作説明図である。 前記支持体剥離装置を構成するフイルム把持機構の動作説明図である。 他の貼り付け基板の説明図である。 特許文献１に開示されているフイルムの剥離方法及び剥離装置の説明図である。

符号の説明

２０…製造装置
２２…感光性ウエブ
２２ａ…感光性ウエブロール
２４…ガラス基板
２４ａ、２４ｂ…貼り付け基板
２６…ベースフイルム
２９…感光性樹脂層
３０…保護フイルム
３２…ウエブ送り出し機構
３４…ハーフカット部位
３６…ハーフカット機構
４０…ラベル接着機構
４５…加熱機構
４６…貼り付け機構
１２２…方向変換コンベア
１２６…搬送系
１２８…冷却機構
１３０…支持体剥離装置
１３２…基板保持機構
１３４…フイルム把持機構
１３６…移動機構
１３８、１３８ａ、１３８ｂ、１４０、１４０ａ、１４２…吸着部
１４４ａ〜１４４ｃ…吸着パッド
１４６、１５１…シリンダ
１４７…基板リフト機構
１４７ａ…基板受けローラ
１４９…基板位置決め機構
１４９ａ…位置決めローラ
１５２…フイルム廃棄機構
１７０ａ、１７０ｂ…チャック
１７８…ニップローラ
１８２ａ、１８２ｂ、１８４ａ、１８４ｂ…撮像機構
１９０ａ、１９０ｂ、１９２…反射型光電センサ
２００…フイルム集積台車
２０４…集積部
２１４…支持部
２２０ａ、２２０ｂ…リフタ
２２２ａ、２２２ｂ…昇降ブラケット

Claims (10)

1. フイルムが貼り付けられた基板から、前記フイルムを剥離するフイルム剥離装置であって、
   前記基板を平坦状に強制的に保持する基板保持機構と、
   前記フイルムの端部を把持するフイルム把持機構と、
   前記フイルム把持機構を移動させることにより、前記基板保持機構に平坦状に保持された前記基板から前記フイルムを剥離させる移動機構と、
   を備え、
   前記基板保持機構は、前記基板のフイルム貼り付け面とは反対の面の四隅を吸着するとともに、前記基板に対して進退自在な第１吸着部と、
   前記基板のフイルム剥離方向の両端部又は前記フイルム剥離方向に交差する方向の両端部を吸着する第２吸着部と、
   前記基板の中央部側を吸着する第３吸着部と、
   を備えることを特徴とするフイルム剥離装置。
2. 請求項１記載のフイルム剥離装置において、前記第１吸着部、前記第２吸着部及び前記第３吸着部は、真空吸引系に連通する吸着パッドを備えることを特徴とするフイルム剥離装置。
3. 請求項１又は２記載のフイルム剥離装置において、４つの前記第１吸着部は、それぞれ個別に進退するためにアクチュエータを備えることを特徴とするフイルム剥離装置。
4. 請求項１〜３のいずれか１項に記載のフイルム剥離装置において、前記第２吸着部及び前記第３吸着部は、一体に進退するために単一のアクチュエータを備えることを特徴とするフイルム剥離装置。
5. 請求項１〜４のいずれか１項に記載のフイルム剥離装置において、前記第１吸着部及び前記第２吸着部は、前記基板の前記フイルムが貼り付けられる領域外に対応して前記基板を吸着することを特徴とするフイルム剥離装置。
6. フイルムが貼り付けられた基板から、前記フイルムを剥離するフイルム剥離方法であって、
   第１吸着部により、前記基板のフイルム貼り付け面とは反対の面の四隅を吸着し、前記基板を平坦状に強制的に保持する工程と、
   前記第１吸着部を介して前記基板を吸着した状態で、第２吸着部により、前記基板のフイルム剥離方向の両端部又は前記フイルム剥離方向に交差する方向の両端部を吸着する工程と、
   前記第１吸着部及び前記第２吸着部を介して前記基板を吸着した状態で、第３吸着部により、前記基板の中央部側を吸着する工程と、
   前記第１吸着部、前記第２吸着部及び前記第３吸着部を介して前記基板を吸着した状態で、前記フイルムを前記基板から剥離する工程と、
   を有することを特徴とするフイルム剥離方法。
7. 請求項６記載のフイルム剥離方法において、４つの前記第１吸着部は、個別のアクチュエータを介して前記基板側に進出し、前記基板の四隅を吸着した状態で前記アクチュエータを介して後退することにより、前記基板を平坦状に強制的に保持することを特徴とするフイルム剥離方法。
8. 請求項６又は７記載のフイルム剥離方法において、前記第２吸着部により前記基板が吸着された後、前記第３吸着部により前記基板が吸着されることを特徴とするフイルム剥離方法。
9. 請求項６〜８のいずれか１項に記載のフイルム剥離方法において、前記第１吸着部、前記第２吸着部及び前記第３吸着部は、真空吸引系に連通する吸着パッドを備えることを特徴とするフイルム剥離方法。
10. 請求項６〜９のいずれか１項に記載のフイルム剥離方法において、前記第１吸着部及び前記第２吸着部は、前記基板の前記フイルムが貼り付けられる領域外に対応して前記基板を吸着することを特徴とするフイルム剥離方法。

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