JP5042956B2 - 貼り付け基板用製造装置 - Google Patents

Description

本発明は、長尺状ウエブを送り出すウエブ送り出し機構と、送り出された前記長尺状ウエブと基板とを接合して貼り付け基板を形成する貼り付け機構とを備える貼り付け基板用製造装置に関する。

例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、ＰＤＰパネル用基板では、感光材料（感光性樹脂）層を有する感光性シート体（フイルム）を基板表面に貼り付けて構成されている。感光性シート体は、可撓性プラスチック支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層されている。

この種の感光性シート体は、保護フイルムが部分的又は全面的に剥離された後、感光材料層がガラス基板や樹脂基板等の基板に貼り付けられている。次いで、支持体が基板から剥離されることにより、感光材料層が貼り付けられた貼り付け基板が得られている。

ところで、上記の感光性シート体は、通常、ロール状に巻回された状態で取り扱われており、このロール状の感光性シート体が、貼り付け装置に装填されている。このため、実際上、複数の感光性シート体を接合して所望の全長を確保した状態で、前記複数の感光性シート体を連続してロール状に巻回する作業が行われている。その際、感光性シート体の端部同士は、接合テープ部材により互いに接合されているが、この接合部分は、基板に貼り付けることができず、廃棄されている。

また、感光性シート体には、例えば、点欠陥部分等の不良部分が存在している場合がある。この不良部分は、上記の接合部分と同様に、基板に貼り付けることができず、廃棄されている。

さらにまた、貼り付け基板の製造作業の開始時や設備故障後の再起動時等には、貼り付け装置内に引き出されている感光性シート体は、所定長さにわたって廃棄されている。

従って、貼り付け装置では、接合部分等の感光性シートの不良部位を検出し、不良部位がラミネートされることなく、廃棄されることが望まれている。このため、例えば、特許文献１に開示されているフイルムラミネート方法とその装置が知られている。

この特許文献１は、一定間隔をもって搬走路上を搬送されてくる各基板と、フイルム供給ロールから繰り出されたフイルムとが、該搬走路に設置してあるラミネートローラ間を通過することで、各基板表面上にフイルムを貼り付ける方法に関するものである。

そして、基板へのフイルムラミネート前にフイルムの状態を監視し、フイルムに不良部位を含むか否かを判断し、不良部位ありと判断した時は、フイルムの該不良部位を含む領域を廃棄し、良好領域を基板に貼り付けるようにしたフイルムラミネート方法において、装置内にフイルムを基板に貼り付けたラミネート済基板がない状態で、貼り付けるフイルムについてフイルム不良判断で不良部位ありと判断した時は、前記ラミネートローラを待避させてフイルムとの接触を避けた状態として不良部位を含むフイルムを送り、該フイルムを送る間にフイルムの状態を監視するとともに該不良部位を含む領域のフイルム廃棄処理を行い、次に貼り付けるフイルム状態の確認処理に戻って前記フイルム不良判断に進むことを特徴としている。

特開２００５−２１２４８８号公報

上記の特許文献１では、フイルム廃棄処理を行うため、フイルム搬送路上に配設されるフイルム廃棄ローラを備え、このフイルム廃棄ローラの下流（フイルム搬送路外）には、廃棄フイルムガイドを介して巻き取りロール及び押し当てローラが配設されている。そして、フイルム廃棄ローラの作用下に廃棄フイルムが巻き取りロールに移動し、この廃棄フイルムは、押し当てローラにより前記巻き取りロールに押し付けられている。これにより、廃棄フイルムは、巻き取りロールに外周面に巻き取られている。

ところで、貼り付け装置では、廃棄されるフイルムの長さが相当に長尺になるため、巻き取りロールの巻き取り径が、短期間で大径になってしまう。従って、特に幅広なフイルムが使用される際には、巻き取りロールが重量物となり、前記巻き取りロールの交換作業が頻繁に必要になるとともに、前記交換作業が煩雑化し、フイルム廃棄処理の効率化が図られないという問題がある。

本発明はこの種の問題を解決するものであり、不良フイルムを良好且つ容易に廃棄することができ、前記不良フイルムの廃棄処理を効率的に行うことが可能な貼り付け基板用製造装置を提供することを目的とする。

本発明に係る貼り付け基板用製造装置は、長尺状ウエブを送り出すウエブ送り出し機構と、送り出された前記長尺状ウエブと基板とを接合して貼り付け基板を形成する貼り付け機構と、前記長尺状ウエブに不良部位が存在する際に、該長尺状ウエブを前記基板に接合することなく所定の長さに切断し、不良フイルムとして除去する不良フイルム廃棄機構とを備えている。

この不良フイルム廃棄機構は、廃棄ステーションに配置され、切断された不良フイルムを集積するとともに、前記廃棄ステーションから引き出し自在な不良フイルム集積部と、前記廃棄ステーションから引き出された不良フイルム集積部に隣接して配置され、前記不良フイルム集積部に集積された前記不良フイルムを受け取る不良フイルム搬送台車とを備えている。

また、不良フイルム集積部は、不良フイルムを集積する不良フイルム集積面に回転自在な複数のローラを設けるとともに、前記不良フイルム集積面を周回する枠板の少なくとも不良フイルム搬送台車に対向する一面は、開閉自在に構成されることが好ましい。

さらに、不良フイルム搬送台車は、不良フイルムを受け取る不良フイルム受け取り面に回転自在な複数のローラを設けるとともに、前記不良フイルム受け取り面を周回する枠板の少なくとも不良フイルム集積部に対向する一面は、開閉自在又は常時開放に構成されることが好ましい。

さらにまた、不良フイルム集積部及び不良フイルム搬送台車は、内壁に帯電防止部材が設けられることが好ましい。

また、不良フイルム搬送台車は、複数のローラの並列方向が不良フイルム集積部から離間する方向に向かって下方に傾斜することが好ましい。

本発明では、廃棄ステーションに配置された不良フイルム集積部は、前記廃棄ステーションから引き出されるとともに、引き出された前記不良フイルム集積部に隣接して不良フイルム搬送台車が配置される。そして、不良フイルム集積部に集積された不良フイルムは、前記不良フイルム集積部から不良フイルム搬送台車に移送される。

その際、不良フイルム集積部は、廃棄ステーションから引き出されており、前記不良フイルム集積部の周囲には、作業用スペースが確保されている。従って、作業者は、廃棄ステーション内に入り込んで不良フイルムの取り出し作業を行う必要がない。これにより、特に、大サイズの不良フイルムが集積された重量物集積体であっても、容易且つ迅速に不良フイルム搬送台車に移送することができ、前記不良フイルムの廃棄処理を効率的に行うことが可能になる。

図１は、本発明の実施形態に係る貼り付け基板用製造装置２０の概略構成図である。この製造装置２０は、液晶又は有機ＥＬ用カラーフィルタ等の製作工程で、長尺状感光性ウエブ（長尺状ウエブ）２２の感光性樹脂層２９（後述する）をガラス基板２４に熱転写する作業を行う。

図２は、製造装置２０に使用される感光性ウエブ２２の断面図である。この感光性ウエブ２２は、可撓性ベースフイルム（フイルム）２６、クッション層（熱可塑性樹脂層）２７、中間層（酸素遮断膜）２８、感光性樹脂層２９及び保護フイルム３０を積層して構成される。なお、感光性ウエブ２２は、ベースフイルム２６、感光性樹脂層２９及び保護フイルム３０により構成されていてもよい。

ベースフイルム２６は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）で形成され、クッション層２７は、エチレンと酸化ビニル共重合体で形成され、中間層２８は、ポリビニルアルコールで形成され、感光性樹脂層２９は、アルカリ可溶性バインダとモノマーと光重合開始材と着色剤を含む着色感光性樹脂組成物で形成され、保護フイルム３０は、ポリエチレンあるいはポリプロピレン等で形成される。

図１に示すように、製造装置２０は、感光性ウエブ２２をロール状に巻回した感光性ウエブロール２２ａを収容し、この感光性ウエブロール２２ａから前記感光性ウエブ２２を送り出すウエブ送り出し機構３２と、送り出された前記感光性ウエブ２２の保護フイルム３０に、幅方向に切断可能なハーフカット部位３４を形成するハーフカット機構３６と、一部に非接着部３８ａを有する接着ラベル３８（図３参照）を保護フイルム３０に接着させるラベル接着機構４０とを備える。

ラベル接着機構４０の下流には、感光性ウエブ２２をタクト送りから略連続送りに変更するためのリザーバ機構４２と、前記感光性ウエブ２２から保護フイルム３０を所定の長さ間隔で剥離させる保護フイルム剥離機構４４と、ガラス基板２４を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に搬送する加熱機構４５と、前記保護フイルム３０の剥離により露出した感光性樹脂層２９を前記ガラス基板２４に貼り付ける貼り付け機構４６とが配設される。なお、貼り付け機構４６によりガラス基板２４に感光性ウエブ２２が貼り付けられた積層体を、以下、貼り付け基板２４ａという。

貼り付け機構４６における貼り付け位置の上流近傍には、感光性ウエブ２２の境界位置であるハーフカット部位３４を直接検出する検出機構４７が配設されるとともに、前記貼り付け機構４６の下流には、各ガラス基板２４間の前記感光性ウエブ２２を切断する基板間ウエブ切断部４８を組み込む不良フイルム廃棄機構５０が配設される。

ハーフカット機構３６は、ウエブ送り出し機構３２に収容巻回されている感光性ウエブロール２２ａのロール径を算出するためのローラ対５１の下流に配置される。ハーフカット機構３６は、感光性ウエブ２２の搬送方向（矢印Ａ方向）に直交する方向に進退自在なスライド台５２を備える。このスライド台５２には、回転丸刃（カッタ）５４が固着されるとともに、前記回転丸刃５４に対向する位置には、感光性ウエブ２２を挟んでカット受台５６が配設される。

図２に示すように、ハーフカット部位３４は、少なくとも保護フイルム３０を切断する必要があり、実際上、この保護フイルム３０を確実に切断するために感光性樹脂層２９乃至中間層２８まで切り込むように、回転丸刃５４の切り込み深さが設定される。

ハーフカット部位３４は、ガラス基板２４の間隔を設定するものであり、例えば、両側の前記ガラス基板２４にそれぞれ１０ｍｍずつ入り込んだ位置に設定される。ガラス基板２４間のハーフカット部位３４で挟まれた部分は、後述する貼り付け機構４６において感光性樹脂層２９を前記ガラス基板２４に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。

ラベル接着機構４０は、ガラス基板２４間に対応して保護フイルム３０の残存部分３０ｂを残すため、剥離側前方の剥離部分３０ａａと剥離側後方の剥離部分３０ａｂとを連結する接着ラベル３８を供給する。図２に示すように、保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを挟んで、先に剥離される部分を前方の剥離部分３０ａａとする一方、後に剥離される部分を後方の剥離部分３０ａｂとする。

図３に示すように、接着ラベル３８は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム３０と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル３８は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部（微粘着を含む）３８ａを有するとともに、この非接着部３８ａの両側、すなわち、前記接着ラベル３８の長手方向両端部に、前方の剥離部分３０ａａに接着される第１接着部３８ｂと、後方の剥離部分３０ａｂに接着される第２接着部３８ｃとを有する。

図１に示すように、ラベル接着機構４０は、最大７枚の接着ラベル３８を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド５８ａ〜５８ｇを備えるとともに、前記吸着パッド５８ａ〜５８ｇによる前記接着ラベル３８の貼り付け位置には、感光性ウエブ２２を下方から保持するための受台５９が昇降自在に配置される。

リザーバ機構４２は、上流側の感光性ウエブ２２のタクト搬送と、下流側の前記感光性ウエブ２２の連続搬送との速度差を吸収するが、さらにテンション変動を防ぐために、揺動自在な２連のローラ６０で構成されるダンサー６１を備えることが好ましい。

保護フイルム剥離機構４４は、リザーバ機構４２の下流に配置されるとともに、サクションドラム６２と、感光性ウエブ２２を挟んでこのサクションドラム６２に接する剥離ローラ６４とを備える。剥離ローラ６４を介して感光性ウエブ２２から鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを除いて保護フイルム巻き取り軸６６に巻き取られる。保護フイルム巻き取り軸６６は、保護フイルム３０に所定のテンションを付与するために、例えば、トルクモータ６８に連結される。

保護フイルム剥離機構４４の下流側には、感光性ウエブ２２にテンションを付与可能なテンション制御機構７６が配設される。テンション制御機構７６は、シリンダ７８を備え、このシリンダ７８の駆動作用下に、テンションピックアップローラ８０が揺動変位することにより、このテンションピックアップローラ８０が摺接する感光性ウエブ２２のテンションが調整可能である。なお、テンション制御機構７６は、必要に応じて使用すればよく、削除することもできる。

検出機構４７は、レーザセンサやフォトセンサ等の光電センサ８２を備えており、前記光電センサ８２は、ハーフカット部位３４の楔状の溝形状部や、保護フイルム３０の厚さによる段差、あるいは、これらの組み合わせによる変化を直接検出し、この検出信号を境界位置信号とする。光電センサ８２は、バックアップローラ８３に対向して配置される。

加熱機構４５は、ガラス基板２４を矢印Ｃ方向に搬送するための搬送機構８４と複数の加熱炉８６とを備え、この搬送機構８４は、矢印Ｃ方向に配列される複数の樹脂製円板状搬送ローラ８８を有する。

貼り付け機構４６は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるラミネート用ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂを備える。ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂには、バックアップローラ１１２ａ、１１２ｂが摺接するとともに、前記バックアップローラ１１２ｂは、ローラクランプ部１１４を介してゴムローラ１１０ｂ側に押圧される。

ゴムローラ１１０ａの近傍には、感光性ウエブ２２が前記ゴムローラ１１０ａに接触することを防止するための接触防止ローラ１１６が配設される。この接触防止ローラ１１６は、図示しないアクチュエータを介して移動可能である。

貼り付け機構４６と基板間ウエブ切断部４８との間には、フイルム搬送ローラ１１８ａと基板搬送ローラ１１８ｂとが配設されるとともに、前記基板間ウエブ切断部４８の下流には、基板搬送ローラ１１８ｃが配設される。図４に示すように、基板間ウエブ切断部４８は、感光性ウエブ２２の幅方向に進退する走行カッタ１２０と、前記走行カッタ１２０による切断時に、該走行カッタ１２０を案内する上側走行ガイド１２２ａ及び下側走行ガイド１２２ｂとを備える。上側走行ガイド１２２ａ及び下側走行ガイド１２２ｂは、それぞれ昇降可能である。

基板間ウエブ切断部４８は、貼り付け基板２４ａと同一の搬送速度で矢印Ｃ方向に移動しながら、前記貼り付け基板２４ａ間で感光性ウエブ２２を切断するために、矢印Ｃ方向に所定の距離だけ進退可能に構成される。

不良フイルム廃棄機構５０は、図５に示すように、不良部分を含む感光性ウエブ２２（以下、単に不良フイルム２２ｂともいう）を切断する基板間ウエブ切断部４８と、前記不良フイルム２２ｂを廃棄ステーションＤＳに送り出す搬送部１２４と、前記不良フイルム２２ｂの端部を把持し、該不良フイルム２２ｂを前記搬送部１２４と連動して前記廃棄ステーションＤＳに移送する把持部１２６とを備える。

不良フイルム廃棄機構５０は、図５〜図７に示すように、さらに廃棄ステーションＤＳに配置され、切断された不良フイルム２２ｂを集積するとともに、前記廃棄ステーションＤＳから引き出し自在な不良フイルム集積箱（不良フイルム集積部）１２８と、前記廃棄ステーションＤＳから引き出された前記不良フイルム集積箱１２８に隣接して配置され、前記不良フイルム集積箱１２８に集積された前記不良フイルム２２ｂを受け取る不良フイルム搬送台車１３０とを備える。

図４に示すように、搬送部１２４は、貼り付け基板２４ａの搬送路１２９上に配置され、不良フイルム２２ｂをこの搬送路１２９から廃棄路１３１に送り出す第１ニップローラ１３２ａと、前記廃棄路１３１上に配置され、該廃棄路１３１に沿って斜め方向に搬送されてくる不良フイルム２２ｂを、鉛直下方向に搬送する第２ニップローラ１３２ｂと、前記第１ニップローラ１３２ａ及び前記第２ニップローラ１３２ｂに前記不良フイルム２２ｂを案内するガイド板１３４とを備える。

第１ニップローラ１３２ａは、基板間ウエブ切断部４８と一体に矢印Ｃ方向に進退可能な駆動側ローラ１３６ａと、シリンダ１３８に装着されて前記駆動側ローラ１３６ａに対して斜め上方から進退可能な従動側ローラ１３６ｂとを備える。

第２ニップローラ１３２ｂは、同様に、駆動側ローラ１４０ａと、シリンダ１４２を介して水平方向に沿って前記駆動側ローラ１４０ａに進退可能な従動側ローラ１４０ｂとを備える。第２ニップローラ１３２ｂの下方には、不良フイルム２２ｂの先端を検出するフイルム検出センサ１４４が配置される。

把持部１２６は、不良フイルム２２ｂの端部を把持するグリッパー１４６を備える。このグリッパー１４６は、アクチュエータ１４８を介してそれぞれ互いに近接する方向及び離間する方向に旋回するアーム部１５０ａ、１５０ｂを備える。アーム部１５０ａ、１５０ｂの先端部には、爪部１５２ａ、１５２ｂが設けられる。

図５に示すように、グリッパー１４６は、可動台１５４に旋回アーム１５６を介して装着される。この旋回アーム１５６は、可動台１５４に対し回転アクチュエータ１５８を介して定角度、例えば１１０°だけ旋回可能であり、グリッパー１４６を廃棄ステーションＤＳの内方に向かって回転させる。なお、旋回アーム１５６には、複数、例えば、３基のグリッパー１４６が不良フイルム２２ｂの幅寸法に対応して取り付けられる。

可動台１５４は、矢印Ｃ方向に延在する一対のガイドレール１６０上に進退自在に配置される。この可動台１５４は、例えば、モータ１６２に連結されるラック・ピニオン機構を介して搬送部１２４から廃棄ステーションＤＳの矢印Ｃ方向先端縁部まで往復動作可能である。

不良フイルム集積箱１２８は、図５〜図７に示すように、廃棄ステーションＤＳに設けられる基台１６４上に転動自在に載置される複数の車輪１６６と、引き出し方向（矢印Ｄ方向）先端部に一対の脚部１６８を介して回転自在に支持される車輪１７０とにより、矢印Ｄ方向に進退可能である。不良フイルム集積箱１２８は、廃棄ステーションＤＳから所定の距離だけ矢印Ｄ方向に引き出されると、図示しないストッパの作用下に、さらなる引き出し動作が規制されるように構成される。

不良フイルム集積箱１２８の内部には、複数のローラ１７２が回転自在に配設され、前記ローラ１７２の外周により不良フイルム２２ｂを集積する不良フイルム集積面が構成される。

不良フイルム集積箱１２８を構成する枠板１７４は、少なくとも不良フイルム搬送台車１３０に対向する一面１７４ａが、ヒンジ１７６を介して開閉自在に構成される。この一面１７４ａには、一対の取手１７８が設けられる。枠板１７４の内壁には、帯電防止部材、例えば、帯電防止用樹脂ベルト１８０が固着される。

不良フイルム搬送台車１３０は、４つの車輪１８２によって走行自在であるとともに、箱状の集積部１８４を有する。集積部１８４には、複数のローラ１８６が回転自在に配設され、前記ローラ１８６の外周により不良フイルム２２ｂを受け取る不良フイルム受け取り面が構成される。複数のローラ１８６の並列方向はは、不良フイルム集積箱１２８から離間する方向（矢印Ｄ方向）に向かって下方に傾斜するように設定される（図６及び図７参照）。

集積部１８４を構成する枠板１８８は、少なくとも不良フイルム集積箱１２８に対向する一面１８８ａが、ヒンジ等を介して開閉自在に構成される。なお、一面１８８ａは、常時開放されていてもよい。枠板１８８には、一面１８８ａに対向する面側に取手１８９が設けられる。枠板１８８の内壁には、帯電防止部材、例えば、帯電防止用樹脂ベルト１８０が固着される。

図１に示すように、不良フイルム廃棄機構５０の下流側には、搬送路１２９を構成する複数のローラ１２９ａが配列される。搬送路１２９の矢印Ｃ方向（下流側）の端部には、図示しないが、冷却機構、ベースフイルム剥離機構及び検査機構等が配置される。

製造装置２０では、ウエブ送り出し機構３２、ハーフカット機構３６、ラベル接着機構４０、リザーバ機構４２、保護フイルム剥離機構４４、テンション制御機構７６及び検出機構４７が、貼り付け機構４６の上方に配置されているが、これとは逆に、前記ウエブ送り出し機構３２から前記検出機構４７を前記貼り付け機構４６の下方に配置し、感光性ウエブ２２の上下が逆になって感光性樹脂層２９がガラス基板２４の下側に貼り付けされてもよく、また、前記製造装置２０全体を直線上に構成してもよい。

製造装置２０内は、仕切り壁１９０を介して第１クリーンルーム１９２ａと第２クリーンルーム１９２ｂとに仕切られる。第１クリーンルーム１９２ａには、ウエブ送り出し機構３２からテンション制御機構７６までが収容されるとともに、第２クリーンルーム１９２ｂには、検出機構４７以降が収容される。第１クリーンルーム１９２ａと第２クリーンルーム１９２ｂとは、貫通部１９４を介して連通する。

このように構成される製造装置２０の動作について、以下に説明する。

先ず、図１に示すように、ウエブ送り出し機構３２に取り付けられている感光性ウエブロール２２ａから感光性ウエブ２２が繰り出され、この感光性ウエブ２２は、ハーフカット機構３６に送られる。

ハーフカット機構３６では、スライド台５２が感光性ウエブ２２の幅方向（搬送方向に直交する方向）に移動する。このため、回転丸刃５４は、感光性ウエブ２２のハーフカット部位３４に所望の深さまで切り込んだ状態で、移動しながら回転する。これにより、感光性ウエブ２２には、保護フイルム３０から所望の深さに切り込んだハーフカット部位３４が形成される（図２参照）。

ハーフカット処理された感光性ウエブ２２は、図１に示すように、保護フイルム３０の残存部分３０ｂの寸法に対応して矢印Ａ方向に搬送された後、一旦停止されて回転丸刃５４の走行作用下に次なるハーフカット部位３４が形成される。このため、感光性ウエブ２２には、残存部分３０ｂを挟んで前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとが設けられる（図２参照）。

さらに、感光性ウエブ２２は、ラベル接着機構４０に搬送されて、保護フイルム３０の所定の貼り付け部位が受台５９上に配置される。ラベル接着機構４０では、所定枚数の接着ラベル３８が吸着パッド５８ａ〜５８ｇにより吸着保持され、各接着ラベル３８が保護フイルム３０の残存部分３０ｂを跨いで、前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとに一体的に接着される（図３参照）。

例えば、７本の接着ラベル３８が接着された感光性ウエブ２２は、図１に示すように、リザーバ機構４２を介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、保護フイルム剥離機構４４に連続的に搬送される。

保護フイルム剥離機構４４では、感光性ウエブ２２がサクションドラム６２と剥離ローラ６４とに挟持されて、前記感光性ウエブ２２のベースフイルム２６が前記サクションドラム６２に吸着保持されている。この状態で、サクションドラム６２が回転されるとともに、保護フイルム３０には、トルクモータ６８を介して所定のトルクが付与されている。

従って、保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを残して感光性ウエブ２２から剥離され、剥離ローラ６４を介して保護フイルム巻き取り軸６６に巻き取られる。なお、剥離部位には、除電エアを吹き付けることが好ましい。

保護フイルム剥離機構４４の作用下に、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残してベースフイルム２６から剥離された後、感光性ウエブ２２は、テンション制御機構７６によってテンション調整が行われ、さらに検出機構４７で光電センサ８２によりハーフカット部位３４の検出が行われる。

感光性ウエブ２２は、ハーフカット部位３４の検出情報に基づいて、運転開始時にはフイルム搬送ローラ１１８ａの回転作用下に、その後は貼り付け基板２４ａを挟持する基板搬送ローラ１１８ｂの回転作用下に、貼り付け機構４６に定量搬送される。その際、接触防止ローラ１１６が上方に待機するとともに、ゴムローラ１１０ｂが下方に配置されている。

一方、加熱機構４５では、貼り付け機構４６におけるラミネート温度に対応して各加熱炉８６内の加熱温度が設定されている。ガラス基板２４は、搬送機構８４を構成する搬送ローラ８８の回転作用下に、各加熱炉８６に、順次、タクト搬送される。このガラス基板２４は、感光性ウエブ２２の感光性樹脂層２９の貼り付け部分に対応してゴムローラ１１０ａ、１１０ｂ間に一旦配置される。

この状態で、ローラクランプ部１１４を介してバックアップローラ１１２ｂ及びゴムローラ１１０ｂを上昇させることにより、ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂ間にガラス基板２４が所定のプレス圧力で挟み込まれる。さらに、ゴムローラ１１０ａの回転作用下に、このガラス基板２４には、感光性樹脂層２９が加熱溶融により転写（ラミネート）される。

ここで、ラミネート条件としては、速度が１．０ｍ／ｍｉｎ〜１０．０ｍ／ｍｉｎ、ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂの温度が８０℃〜１５０℃、前記ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂのゴム硬度が４０度〜９０度、該ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂのプレス圧（線圧）が５０Ｎ／ｃｍ〜４００Ｎ／ｃｍである。

ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂを介してガラス基板２４に感光性ウエブ２２の１枚分のラミネートが終了すると、前記ゴムローラ１１０ａの回転が停止される。一方、ガラス基板２４に感光性ウエブ２２がラミネートされた貼り付け基板２４ａは、基板搬送ローラ１１８ｂによりクランプされる。そして、ゴムローラ１１０ｂは、ゴムローラ１１０ａから離間する方向に退避してクランプが解除される。

これにより、一枚分のラミネート処理が終了し、次なるラミネート処理が開始されるまでの時間の中で、加熱機構４５を介して所定の温度に加熱されたガラス基板２４が、ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂ間に搬送されて配置されるとともに、前記ゴムローラ１１０ａに摺接する感光性ウエブ２２の微動送りが行われる。

ガラス基板２４に感光性ウエブ２２が貼り付けられた貼り付け基板２４ａは、矢印Ｃ方向に定量搬送される。そして、各ガラス基板２４間の感光性ウエブ２２が、基板間ウエブ切断部４８を介して切断された貼り付け基板２４ａは、図示しない冷却機構で冷却された後、ベースフイルム剥離機構（図示せず）に搬送される。

ベースフイルム剥離機構では、貼り付け基板２４ａが保持された状態で、ベースフイルム２６が、クッション層２７から分離されて前記貼り付け基板２４ａから剥離される。ベースフイルム２６が剥離された貼り付け基板２４ａは、積層体基板として検査機構に移送され、剥離状態の検査等が行われた後、次段の工程に払い出される。

この場合、製造装置２０では、感光性ウエブ２２の端部同士が、接合テープ部材（図示せず）により互いに接合されて所定の長さに調整された状態で、ロール状に巻回して感光性ウエブロール２２ａを構成している。このため、接合テープ部材（不良部位）による接合部分を含む部分は、不良フイルム２２ｂとなり、廃棄される。

また、感光性ウエブ２２には、例えば、点欠陥部分等の不良部位が存在している場合がある。この不良部位を含む部分は、不良フイルム２２ｂとなり、廃棄される。

さらにまた、貼り付け基板２４ａの製造作業の開始時や設備故障後の再起動時等には、製造装置２０内に引き出されている感光性ウエブ２２は、不良部位を含む不良フイルム２２ｂとして、所定長さにわたって廃棄される。

そこで、本実施形態では、上記の不良フイルム２２ｂが、不良フイルム廃棄機構５０を介して廃棄ステーションＤＳに廃棄される。

先ず、不良フイルム２２ｂが、搬送部１２４を構成する第１ニップローラ１３２ａに搬送されると、この第１ニップローラ１３２ａを構成するシリンダ１３８が駆動される。このため、図８に示すように、従動側ローラ１３６ｂは、斜め下方向に向かって駆動側ローラ１３６ａ側に移動し、前記従動側ローラ１３６ｂと前記駆動側ローラ１３６ａとにより不良フイルム２２ｂが挟持される。従って、不良フイルム２２ｂは、駆動側ローラ１３６ａの回転作用下に、搬送路１２９から廃棄路１３１側に搬送方向が変換されるとともに、ガイド板１３４の案内作用下に、第２ニップローラ１３２ｂ側に送り出される。

不良フイルム２２ｂが、第２ニップローラ１３２ｂに送り出されると、この第２ニップローラ１３２ｂを構成するシリンダ１４２が駆動される。このため、従動側ローラ１４０ｂは、水平方向に移動し、前記従動側ローラ１４０ｂと駆動側ローラ１４０ａとで、不良フイルム２２ｂが挟持される。従って、第１ニップローラ１３２ａを介して斜め下方向に送り出された不良フイルム２２ｂは、第２ニップローラ１３２ｂを介して鉛直下方向に送り出される。

鉛直下方向に送り出される不良フイルム２２ｂの先端が、フイルム検出センサ１４４により検出されると、把持部１２６が駆動される。この把持部１２６では、グリッパー１４６が第２ニップローラ１３２ｂの下方に配置されている（原点位置）。そして、フイルム検出センサ１４４が不良フイルム２２ｂの先端を検出すると、図９に示すように、アクチュエータ１４８の駆動作用下に、アーム部１５０ａ、１５０ｂが互いに近接する方向（上方向）に揺動し、爪部１５２ａ、１５２ｂにより前記不良フイルム２２ｂの先端が把持される（位置Ｐ１参照）。

次いで、図１０に示すように、旋回アーム１５６は、回転アクチュエータ１５８の作用下に、鉛直上方向から不良フイルム集積箱１２８側に所定角度、例えば、１１０°だけ回転する（位置Ｐ２参照）。さらに、モータ１６２を含む移動アクチュエータの作用下に、可動台１５４が矢印Ｃ方向に移動する。

その際、グリッパー１４６の移動速度は、搬送部１２４による不良フイルム２２ｂの送り速度よりも低速な第１速度に設定される。グリッパー１４６及び搬送部１２４は、同期して駆動されるため、不良フイルム２２ｂは、前記搬送部１２４と把持部１２６との間で引張されることがなく、弛みが形成される。従って、不良フイルム２２ｂが不要に破損したり、搬送部１２４に過大な負荷が発生したりすることを、有効に阻止することができる。

次に、不良フイルム２２ｂが、廃棄路１３１に所定の長さだけ送り出されると（位置Ｐ３参照）、基板間ウエブ切断部４８が駆動される。この基板間ウエブ切断部４８では、上側走行ガイド１２２ａ及び下側走行ガイド１２２ｂが互いに近接する方向に変位して不良フイルム２２ｂの切断部位近傍に位置される。この状態で、基板間ウエブ切断部４８は、搬送部１２４による不良フイルム２２ｂの送り出し速度と同一の搬送速度で矢印Ｃ方向に移動しながら、走行カッタ１２０により前記不良フイルム２２ｂを幅方向に切断する。

不良フイルム２２ｂが切断されると、搬送部１２４による不良フイルム２２ｂの搬送作業が停止される。すなわち、第１及び第２ニップローラ１３２ａ、１３２ｂでは、シリンダ１３８、１４２が駆動されることにより、従動側ローラ１３６ｂ、１４０ｂが駆動側ローラ１３６ａ、１４０ａから離間する方向に移動する。

第１及び第２ニップローラ１３２ａ、１３２ｂが、不良フイルム２２ｂの挟持を解除すると、グリッパー１４６による不良フイルム２２ｂの移送速度は、第１速度よりも高速の第２速度に設定され、前記グリッパー１４６は、該第２速度で位置Ｐ３から位置Ｐ４に向かって矢印Ｃ方向に移動する。

グリッパー１４６が不良フイルム２２ｂの開放位置（位置Ｐ４参照）に至ると、前記グリッパー１４６の移動が停止されるとともに、アクチュエータ１４８の作用下に、爪部１５２ａ、１５２ｂが開放されて前記不良フイルム２２ｂが開放される。このため、不良フイルム２２ｂは、廃棄ステーションＤＳに配置されている不良フイルム集積箱１２８の不良フイルム集積面上に、順次、良好且つ整然と集積される。

不良フイルム集積箱１２８に所定数の不良フイルム２２ｂが集積されると、この不良フイルム集積箱１２８は、廃棄ステーションＤＳから矢印Ｄ方向に引き出される（図６及び図７参照）。従って、不良フイルム集積箱１２８は、基台１６４上を転動する複数の車輪１６６及び脚部１６８に支持されている複数の車輪１７０の転動により、矢印Ｄ方向に所定の位置まで引き出される。この状態で、枠板１７４の一面１７４ａが、ヒンジ１７６を介して開放される。

次いで、不良フイルム搬送台車１３０は、不良フイルム集積箱１２８に近接して配置される。具体的には、不良フイルム搬送台車１３０を構成する枠板１８８の一面１８８ａは、予め開放された状態で、不良フイルム集積箱１２８を構成する枠板１７４の開放されている一面１７４ａに近接して配置される。

そこで、作業者は、例えば、不良フイルム集積箱１２８の両側から前記不良フイルム集積箱１２８内に集積されている複数の不良フイルム２２ｂを、ローラ１７２の回転作用下に不良フイルム搬送台車１３０側に移送する。このため、複数の不良フイルム２２ｂは、不良フイルム搬送台車１３０の集積部１８４に設けられている複数のローラ１８６の回転作用下に前記集積部１８４に移送される。

その際、複数のローラ１８６は、矢印Ｄ方向に向かって下方に傾斜して並列されている。これにより、複数の不良フイルム２２ｂは、ローラ１８６の傾斜に沿って集積部１８４の内方に容易且つ確実に移送される。そして、不良フイルム搬送台車１３０は、廃却場所（図示せず）まで複数の不良フイルム２２ｂを運搬した後、この廃却場所に前記複数の不良フイルム２２ｂが廃却される。

この場合、本実施形態では、不良フイルム集積箱１２８の不良フイルム集積面上に、各不良フイルム２２ｂが平坦状に集積されている。これにより、例えば、ロール状に巻回される場合のように、巻太りによるスペース効率の低下が惹起されることがない。従って、廃棄ステーションＤＳでは、積層高さを低く維持し、多数の不良フイルム２２ｂを良好に集積することができるという利点がある。

さらに、本実施形態では、廃棄ステーションＤＳに配置された不良フイルム集積箱１２８は、前記廃棄ステーションＤＳから引き出されるとともに、前記不良フイルム集積箱１２８に隣接して不良フイルム搬送台車１３０が配置されている。そして、不良フイルム集積箱１２８に集積された複数の不良フイルム２２ｂは、前記不良フイルム集積箱１２８から不良フイルム搬送台車１３０に移送されている。

その際、不良フイルム集積箱１２８は、廃棄ステーションＤＳから引き出されている（図６参照）。このため、不良フイルム集積箱１２８の周囲には、作業用スペースが確保され、作業者が廃棄ステーションＤＳ内に入り込んで複数の不良フイルム２２ｂの取り出し作業を行う必要がない。これにより、特に、大サイズの不良フイルム２２ｂが集積された重量物集積体であっても、容易且つ迅速に不良フイルム搬送台車１３０に移送することができ、前記不良フイルム２２ｂの廃棄処理を効率的に行うことが可能になるという効果が得られる。

しかも、複数の不良フイルム２２ｂが不良フイルム搬送台車１３０に移送されている。このため、不良フイルム搬送台車１３０を介して複数の不良フイルム２２ｂを廃却場所まで容易に運搬することができ、前記複数の不良フイルム２２ｂの廃却処理が効率的に遂行可能になる。

さらにまた、不良フイルム集積箱１２８を構成する枠板１７４の内壁及び不良フイルム搬送台車１３０を構成する枠板１８８の内壁には、帯電防止用樹脂ベルト１８０が固着されている。従って、不良フイルム２２ｂの帯電による作業性の低下を良好に抑制することができる。

本発明の実施形態に係る貼り付け基板用製造装置の概略構成図である。 前記製造装置に使用される長尺状感光性ウエブの断面図である。 前記長尺状感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。 前記製造装置を構成する不良フイルム廃棄機構の一部拡大説明図である。 前記不良フイルム廃棄機構の概略説明図である。 前記不良フイルム廃棄機構を構成する不良フイルム集積箱及び不良フイルム搬送台車の動作説明図である。 前記不良フイルム集積箱及び前記不良フイルム搬送台車の斜視説明図である。 前記不良フイルム廃棄機構を構成する搬送部の動作説明図である。 前記不良フイルム廃棄機構を構成する前記グリッパーにより把持動作の説明図である。 前記前記グリッパーの動作説明図である。

符号の説明

２０…製造装置 ２２…感光性ウエブ
２２ａ…感光性ウエブロール ２４…ガラス基板
２４ａ…貼り付け基板 ２６…ベースフイルム
２９…感光性樹脂層 ３０…保護フイルム
３２…ウエブ送り出し機構 ３４…ハーフカット部位
３６…ハーフカット機構 ４０…ラベル接着機構
４５…加熱機構 ４６…貼り付け機構
４８…基板間ウエブ切断部 ５０…不良フイルム廃棄機構
１２０…走行カッタ １２４…搬送部
１２６…把持部 １２８…不良フイルム集積箱
１２９…搬送路 １３０…不良フイルム搬送台車
１３１…廃棄路 １３２ａ、１３２ｂ…ニップローラ
１４４…フイルム検出センサ １４６…グリッパー
１４８…アクチュエータ １５０ａ、１５０ｂ…アーム部
１６６、１７０、１８２…車輪 １７２、１８６…ローラ
１７４、１８８…枠板 １８０…樹脂ベルト
１８４…集積部

Claims (5)

1. 長尺状ウエブを送り出すウエブ送り出し機構と、
   送り出された前記長尺状ウエブと基板とを接合して貼り付け基板を形成する貼り付け機構と、
   前記長尺状ウエブに不良部位が存在する際に、該長尺状ウエブを前記基板に接合することなく所定の長さに切断し、不良フイルムとして除去する不良フイルム廃棄機構と、
   を備え、
   前記不良フイルム廃棄機構は、廃棄ステーションに配置され、切断された前記不良フイルムを集積するとともに、前記廃棄ステーションから引き出し自在な不良フイルム集積部と、
   前記廃棄ステーションから引き出された前記不良フイルム集積部に隣接して配置され、前記不良フイルム集積部に集積された前記不良フイルムを受け取る不良フイルム搬送台車と、
   を備えることを特徴とする貼り付け基板用製造装置。
2. 請求項１記載の製造装置において、前記不良フイルム集積部は、前記不良フイルムを集積する不良フイルム集積面に回転自在な複数のローラを設けるとともに、
   前記不良フイルム集積面を周回する枠板の少なくとも前記不良フイルム搬送台車に対向する一面は、開閉自在に構成されることを特徴とする貼り付け基板用製造装置。
3. 請求項１又は２記載の製造装置において、前記不良フイルム搬送台車は、前記不良フイルムを受け取る不良フイルム受け取り面に回転自在な複数のローラを設けるとともに、
   前記不良フイルム受け取り面を周回する枠板の少なくとも前記不良フイルム集積部に対向する一面は、開閉自在又は常時開放に構成されることを特徴とする貼り付け基板用製造装置。
4. 請求項１〜３のいずれか１項に記載の製造装置において、前記不良フイルム集積部及び前記不良フイルム搬送台車は、内壁に帯電防止部材が設けられることを特徴とする貼り付け基板用製造装置。
5. 請求項３又は４記載の製造装置において、前記不良フイルム搬送台車は、前記複数のローラの並列方向が前記不良フイルム集積部から離間する方向に向かって下方に傾斜することを特徴とする貼り付け基板用製造装置。

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