JP4861873B2 - フイルム搬送装置及びフイルム搬送方法 - Google Patents

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Description

本発明は、停止しているフイルムの先端部を保持し、前記フイルムを搬送路に沿って搬送するためのフイルム搬送装置及びフイルム搬送方法に関する。
例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、PDPパネル用基板は、感光性樹脂層(感光材料層)を有する感光性シート体(感光性ウエブ)を基板表面に貼り付けて構成される。感光性シート体は、例えば、可撓性プラスチック支持体上に感光性樹脂層と保護フイルムとが順に積層されている。
この種の感光性シート体の貼り付けに使用される製造装置は、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させてラミネーションローラ間に搬送するとともに、前記基板に貼り付けられる感光性樹脂層の範囲に対応する保護フイルムを剥離した感光性シート体を前記ラミネーションローラ間に搬送する方式が採用されている。
例えば、特許文献1に開示されているドライレジストフイルムのラミネート方法では、図8に示すように、基板予熱部、ラミネート部、基板冷却部、基板上フイルム切断部及びフイルム除去部が、基板1の搬送方向に沿って、順次、配設されている。この基板1は、基板予熱部の予熱ヒータ2よって所定の温度に加熱された後、ラミネート部に送られる。
ラミネート部には、一対のラミネートローラ3a、3bが配置されており、前記ラミネートローラ3a、3b間には、基板1とドライレジストフイルム4とが送られるため、前記ドライレジストフイルム4が前記基板1に熱圧着される。なお、ドライレジストフイルム4は、予め、カバーフイルム5が剥離されており、図示しないレジスト層が基板1側に向かって熱圧着される。
さらに、ドライレジストフイルム4が熱圧着された基板1は、搬送ローラ6を介して基板冷却部に送られ、基板冷却手段7を介して冷却される。基板冷却部によりドライレジストフイルム4が冷却されることにより、このドライレジストフイルム4のレジスト層が硬化するとともに、基板1との密着力が向上する。従って、次段の基板上フイルム切断部において、ドライレジストフイルム4を切断する際に、切断の応力でレジスト層の剥離が発生することを防止する。
次いで、基板1同士を連結しているドライレジストフイルム4は、基板上フイルム切断部で、カッタを備えた基板上フイルム切断手段8により切断されるとともに、前記基板1は、フイルム除去部に送られる。このフイルム除去部では、基板1が加熱ロール9により再加熱された後、フイルム剥離手段10を介して前記基板1間を連結し且つ切断工程で形成された切断面間のドライレジストフイルム4が、前記基板1から除去される。
特開平8−183146号公報
上記の従来技術では、ドライレジストフイルム4のみを矢印方向に搬送する場合がある。例えば、自動運転によりラミネートを開始する際や、自動運転中に基板1が供給されずにラミネートローラ3a、3bによって加熱された前記ドライレジストフイルム4を1枚分搬送して除去する際や、手動操作により前記ドライレジストフイルム4を排出してカットし作業を終了する際、等である。
この種の処理が行われる場合、ドライレジストフイルム4は、基板上フイルム切断手段8により切断された状態で、停止している。そして、作業が再開される際には、ドライレジストフイルム4の先端部が、基板上フイルム切断手段8の上流側に配置された搬送ローラの回転作用下に、前記基板上フイルム切断手段8の下流側に配置された搬送ローラに送られる。
しかしながら、ドライレジストフイルム4は、直接、搬送ローラに摺接するため、剥離帯電等による静電気が発生し、前記ドライレジストフイルム4がフイルム搬送用ガイド部材(図示せず)等に接着するおそれがある。これにより、ドライレジストフイルム4は、良好に搬送されずに詰まりが惹起し易く、例えば、基板1の正常な搬送が阻止されてしまい、前記基板1が破損する等の設備故障が発生するという問題がある。
本発明はこの種の問題を解決するものであり、簡単な構成及び工程で、フイルムの詰まりを可及的に阻止することができ、停止しているフイルムの先端部を保持し、前記フイルムを搬送路に沿って円滑且つ確実に搬送することが可能なフイルム搬送装置及びフイルム搬送方法を提供することを目的とする。
本発明は、停止しているフイルムの先端部を保持し、前記フイルムを搬送路に沿って搬送するためのフイルム搬送装置に関するものである。
フイルム搬送装置は、フイルムを切断する切断機構、前記切断機構の搬送方向上流側に配置される上流側フイルム搬送ローラ対、及び前記切断機構の搬送方向下流側に配置される下流側フイルム搬送ローラ対が収容されるユニット本体と、前記切断機構により切断された前記フイルムの先端部を、前記下流側フイルム搬送ローラ対で挟持させる際に、前記フイルムが停止された状態で、前記ユニット本体を前記搬送路に沿って搬送方向とは逆の反搬送方向に移動させる駆動機構と、前記ユニット本体が前記反搬送方向に移動する際に、前記上流側フイルム搬送ローラ対及び前記下流側フイルム搬送ローラ対に対し、前記フイルムを前記搬送方向に送り出すためのフイルム送り方向に回転トルクを付与するトルクモータとを備えている。
また、本発明は、停止しているフイルムの先端部を保持し、前記フイルムを搬送路に沿って搬送するためのフイルム搬送方法に関するものである。
フイルム搬送方法は、フイルムを停止させた状態で、フイルム搬送ローラ対を、フイルム送り方向に回転させながら搬送方向とは逆の反搬送方向に移動させる工程と、前記フイルム搬送ローラ対で前記フイルムの先端部を挟持するとともに、前記フイルム搬送ローラの回転作用下に、前記フイルムを前記搬送方向に送り出す工程とを有している。
さらに、ユニット本体は、下流側フイルム搬送ローラ対の下流に配置され、前記下流側フイルム搬送ローラ対の回転作用下に搬送路に沿って送り出されるフイルムの先端部を、前記搬送路から分岐する集積路に案内する回転ローラを備えることが好ましい。
さらにまた、集積路には、フイルムを集積部位に搬送するフイルム送り機構が配設されることが好ましい。
また、フイルム搬送装置は、下流側フイルム搬送ローラ対の出口近傍に配置される第1フイルム検出センサと、フイルム送り機構に配置される第2フイルム検出センサとを備えることが好ましい。
さらに、フイルムは、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層される長尺状感光性ウエブであり、ユニット本体は、前記保護フイルムの剥離部分を剥離した前記長尺状感光性ウエブを、加熱された一対の圧着ローラ間に送り出して基板に貼り付けるラミネート機構の下流に配置されることが好ましい。
本発明では、フイルムが停止された状態で、フイルム搬送ローラ対が、フイルム送り方向に回転しながら搬送方向とは逆の反搬送方向に移動する。このため、フイルムをフイルム搬送ローラ対に向かって搬送させる場合に比べ、前記フイルムを所望の平面形状に維持することができ、前記フイルムの詰まりを可及的に阻止することが可能になる。これにより、簡単な構成及び工程で、フイルムの先端部を確実に保持し、前記フイルムを搬送路に沿って円滑且つ良好に搬送することができる。
図1は、本発明の実施形態に係るフイルム搬送装置を組み込む感光性積層体の製造システム20の概略構成図である。この製造システム20は、液晶又は有機EL用カラーフィルタ等の製作工程で、所定の幅寸法からなる長尺状感光性ウエブ22の感光性樹脂層28(後述する)をガラス基板24に熱転写(ラミネート)する作業を行う。
図2は、製造システム20に使用される長尺状感光性ウエブ22の断面図である。この長尺状感光性ウエブ22は、可撓性ベースフイルム(支持体)26と、感光性樹脂層(感光材料層)28と、保護フイルム30とを積層して構成される。
図1に示すように、製造システム20は、長尺状感光性ウエブ22をロール状に巻回した感光性ウエブロール23を収容し、前記感光性ウエブロール23から前記長尺状感光性ウエブ22を送り出し可能なウエブ送り出し機構32と、送り出された前記長尺状感光性ウエブ22の保護フイルム30及び感光性樹脂層28の幅方向に切断可能な2個所の境界部分であるハーフカット部位34a、34b(図2参照)を形成する加工機構36と、一部に非接着部38aを有する接着ラベル38(図3参照)を前記保護フイルム30に接着させるラベル接着機構40とを備える。
ラベル接着機構40の下流には、長尺状感光性ウエブ22をタクト送りから連続送りに変更するためのリザーバ機構42と、前記長尺状感光性ウエブ22から保護フイルム30を所定の長さ間隔で剥離させる剥離機構44とが配設される。
剥離機構44の下流には、ガラス基板24を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に供給する基板供給機構45と、保護フイルム30の剥離により露出した感光性樹脂層28を前記ガラス基板24に一体的に貼り付ける貼り付け機構46と、本実施形態に係るフイルム搬送装置48とが配設される。
ウエブ送り出し機構32の下流近傍には、略使用済みの長尺状感光性ウエブ22の後端と、新たに使用される長尺状感光性ウエブ22の先端とを貼り付ける貼り付け台49が配設される。貼り付け台49の下流には、感光性ウエブロール23の巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端末位置検出器53が配設される。
加工機構36は、ウエブ送り出し機構32に収容巻回されている感光性ウエブロール23のロール径を算出するためのローラ対50の下流に配置される。加工機構36は、距離M(図2参照)だけ離間した一対の丸刃52a、52bを備える。丸刃52a、52bは、長尺状感光性ウエブ22の幅方向に走行して、保護フイルム30の残存部分Bを挟んだ所定の2個所の位置にハーフカット部位34a、34bを形成する(図2参照)。
ハーフカット部位34a、34bは、少なくとも保護フイルム30及び感光性樹脂層28を切断する必要があり、実際上、可撓性ベースフイルム26まで切り込むように丸刃52a、52bの切り込み深さが設定される。丸刃52a、52bは、回転することなく固定された状態で、長尺状感光性ウエブ22の幅方向に移動してハーフカット部位34a、34bを形成する方式や、前記長尺状感光性ウエブ22上を滑ることなく回転しながら前記幅方向に移動して前記ハーフカット部位34a、34bを形成する方式が採用される。
ハーフカット部位34a、34bは、感光性樹脂層28をガラス基板24に貼り付けた際、例えば、前記ガラス基板24の両端部からそれぞれ10mmずつ内側に入り込んだ位置となるように設定される。なお、ガラス基板24間の保護フイルム30の残存部分Bは、後述する貼り付け機構46において感光性樹脂層28を前記ガラス基板24に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。
ラベル接着機構40は、ガラス基板24間に対応して保護フイルム30の残存部分Bを残すため、ハーフカット部位34b側の剥離部分Aとハーフカット部位34a側の剥離部分Aとを連結する接着ラベル38を供給する。
図3に示すように、接着ラベル38は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム30と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル38は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部(微粘着を含む)38aを有するとともに、この非接着部38aの両側、すなわち、前記接着ラベル38の長手方向両端部に、前方の剥離部分Aに接着される第1接着部38bと、後方の剥離部分Aに接着される第2接着部38cとを有する。
図1に示すように、ラベル接着機構40は、最大7枚の接着ラベル38を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド54a〜54gを備えるとともに、前記吸着パッド54a〜54gによる前記接着ラベル38の貼り付け位置には、長尺状感光性ウエブ22を下方から保持するための受け台56が昇降自在に配置される。
リザーバ機構42は、上流側の長尺状感光性ウエブ22のタクト搬送と、下流側の前記長尺状感光性ウエブ22の連続搬送との速度差を吸収するために、矢印方向に揺動自在なダンサーローラ60を備える。
リザーバ機構42の下流に配置される剥離機構44は、長尺状感光性ウエブ22の送り出し側のテンション変動を遮断し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム62を備える。サクションドラム62の近傍には、剥離ローラ63が配置されるとともに、この剥離ローラ63を介して長尺状感光性ウエブ22から鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム30は、残存部分Bを除いて保護フイルム巻き取り部64に巻き取られる。
剥離機構44の下流側には、長尺状感光性ウエブ22にテンションを付与可能なテンション制御機構66が配設される。テンション制御機構66は、シリンダ68の駆動作用下にテンションダンサー70が揺動変位することにより、長尺状感光性ウエブ22のテンションが調整可能である。なお、テンション制御機構66は、必要に応じて使用すればよく、削除することもできる。
基板供給機構45は、ガラス基板24を挟持するように配設される基板加熱部(例えば、ヒータ)74と、このガラス基板24を矢印Y方向に搬送する搬送部76と、前記ガラス基板24の後端部の停止位置を検出する停止位置検出センサ78とを備える。基板加熱部74では、ガラス基板24の温度を常時監視し、異常時には、搬送部76の停止や警報を発生するとともに、異常情報を発信して異常なガラス基板24を後工程でNG排出、品質管理又は生産管理等に活用することができる。搬送部76には、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板24が浮上されて矢印Y方向に搬送される。ガラス基板24の搬送は、ローラコンベアでも行える。
ガラス基板24の温度測定は、基板加熱部74内又は貼り付け位置直前で行うことが好ましい。測定方法としては、接触式(例えば、熱電対)の他、非接触式であってもよい。
貼り付け機構46は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるゴムローラ(圧着ローラ)80a、80bを備える。ゴムローラ80a、80bには、バックアップローラ82a、82bが摺接する。一方のバックアップローラ82bは、ローラクランプ部83を構成する加圧シリンダ84によりゴムローラ80b側に押圧される。
ガラス基板24は、貼り付け機構46から矢印Y方向に延在する搬送路88を介して搬送される。この搬送路88には、フイルム搬送ローラ90a、90b及び基板搬送ローラ92が配設される。ゴムローラ80a、80bと基板搬送ローラ92との間隔は、ガラス基板24の一枚分の長さ以下に設定されることが好ましい。
図4に示すように、フイルム搬送装置48は、ユニット本体94を備え、このユニット本体94は、駆動機構96を介して搬送方向(矢印Y方向)及び反搬送方向(矢印Z方向)に移動可能である。駆動機構96は、架台98に装着されるモータ100を備え、このモータ100に連結されて水平方向に延在するボールねじ102は、架台98に回転自在に支持される。ボールねじ102は、ユニット本体94の下部に設けられるナット部104に螺合するとともに、前記ユニット本体94は、ガイドレール105上に進退可能に載置される。なお、駆動機構96は、ユニット本体94に装着される自走式駆動部により構成してもよい。
ユニット本体94内には、各ガラス基板24間の長尺状感光性ウエブ22を切断する基板間切断機構106が収容される。この切断機構106は、長尺状感光性ウエブ22を幅方向に切断するカッタ108と、前記カッタ108に対向して昇降自在なフイルム押さえ110とを備える。
切断機構106の搬送方向(矢印Y方向)上流側には、第1フイルム搬送ローラ対112a及び第2フイルム搬送ローラ対112bが配置されるとともに、前記切断機構106の搬送方向下流側には、第3フイルム搬送ローラ対112cが配置される。
第1フイルム搬送ローラ対112a〜第3フイルム搬送ローラ対112cは、駆動ローラ114a、114b及び114cと、従動ローラ116a、116b及び116cとを備える。駆動ローラ114a〜114cには、長尺状感光性ウエブ22を搬送方向に送り出すためのフイルム送り出し方向(矢印C方向)に回転トルクを付与するトルクモータ118a〜118cが連結される。従動ローラ116a〜116cは、シリンダ120a〜120cを介して、駆動ローラ114a〜114cに対し近接及び離間する方向に変位可能である。
第1フイルム搬送ローラ対112aと第3フイルム搬送ローラ対112cとの間には、搬送路88に沿ってガイド板122a、122bが切断機構106を挟んで配設される。切断機構106の下流側に配置されるガイド板122b上には、長尺状感光性ウエブ22が摺接する上面部に対応してベルト材124が貼り付けられる。ベルト材124は、例えば、ポリエステル帆布にウレタンをコーティングするとともに、表面に網目状の微細な凹凸が形成されている。ガイド板122bの上方には、除電バー126が必要に応じて配設される。
第3フイルム搬送ローラ対112cの下流近傍には、回転ローラ128が配設される。回転ローラ128は、モータ130を介して回転駆動されるとともに、シリンダ132の作用下に昇降可能であり、排出される長尺状感光性ウエブ22(以下、排出フイルム22aともいう)を搬送路88から分岐する集積路134に案内する。
集積路134には、排出フイルム22aを集積箱(集積部位)136に搬送するフイルム送り機構138が配設される。フイルム送り機構138は、それぞれモータ140a、140bを介して、周回走行される案内ベルト142a、142bを備える。集積箱136内には、帯電接着防止材144が設けられるとともに、底面には傾斜面146が形成される。
ユニット本体94内には、第3フイルム搬送ローラ対112cの出口近傍に、第1フイルム検出センサ148が配置されるとともに、フイルム送り機構138の下部側には、第2フイルム検出センサ150が配設される。第1フイルム検出センサ148及び第2フイルム検出センサ150は、例えば、透過型の光センサであり、ON(遮光)されることによって長尺状感光性ウエブ22の存在を検出する。
図1に示すように、製造システム20では、ウエブ送り出し機構32、加工機構36、ラベル接着機構40、リザーバ機構42、剥離機構44及びテンション制御機構66が、貼り付け機構46の上方に配置されているが、これとは逆に、前記ウエブ送り出し機構32から前記テンション制御機構66までを前記貼り付け機構46の下方に配置し、長尺状感光性ウエブ22の上下が逆になって感光性樹脂層28をガラス基板24の下側に貼り付ける構成であってもよく、また、長尺状感光性ウエブ22の搬送路を直線状に構成してもよい。
製造システム20内は、仕切り壁160を介して第1クリーンルーム162aと第2クリーンルーム162bとに仕切られる。第1クリーンルーム162aと第2クリーンルーム162bとは、貫通部164を介して連通する。製造システム20は、制御部166を介して制御される。
このように構成される製造システム20の動作について、本実施形態に係る搬送方法との関連で説明する。
先ず、ウエブ送り出し機構32に取り付けられている感光性ウエブロール23から長尺状感光性ウエブ22が送り出される。長尺状感光性ウエブ22は、加工機構36に搬送される。
加工機構36では、丸刃52a、52bが長尺状感光性ウエブ22の幅方向に移動して、前記長尺状感光性ウエブ22を保護フイルム30から感光性樹脂層28乃至可撓性ベースフイルム26まで切り込む。これにより、保護フイルム30の残存部分Bの幅Mだけ離間するハーフカット部位34a、34bが形成され、長尺状感光性ウエブ22には、前記残存部分Bを挟んで前方の剥離部分Aと後方の剥離部分Aとが設けられる(図2参照)。
次いで、長尺状感光性ウエブ22は、ラベル接着機構40に搬送されて、保護フイルム30の所定の貼り付け部位が受け台56上に配置される。ラベル接着機構40では、所定枚数の接着ラベル38が吸着パッド54b〜54gにより吸着保持される。そして、各接着ラベル38は、保護フイルム30の残存部分Bを跨いで、前方の剥離部分Aと後方の剥離部分Aとに一体的に接着される(図3参照)。
例えば、7枚の接着ラベル38が接着された長尺状感光性ウエブ22は、図1に示すように、リザーバ機構42を介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、剥離機構44に連続的に搬送される。剥離機構44では、長尺状感光性ウエブ22の可撓性ベースフイルム26がサクションドラム62に吸着保持されるとともに、保護フイルム30が残存部分Bを残して前記長尺状感光性ウエブ22から剥離される。この保護フイルム30は、剥離ローラ63を介して剥離されて保護フイルム巻き取り部64に巻き取られる(図1参照)。
剥離機構44の作用下に、保護フイルム30が残存部分Bを残して可撓性ベースフイルム26から剥離された後、長尺状感光性ウエブ22は、テンション制御機構66によってテンション調整が行われる。
次いで、長尺状感光性ウエブ22は、貼り付け機構46に搬送されることで、ガラス基板24に対する感光性樹脂層28の熱転写処理(ラミネート)が行われる。貼り付け機構46では、予めゴムローラ80a、80bが離間した状態に設定されている。そして、ゴムローラ80a、80b間の所定位置に、長尺状感光性ウエブ22のハーフカット部位34aが位置決めされた状態で、前記長尺状感光性ウエブ22の搬送が一旦停止される。
さらに、基板供給機構45を構成する基板加熱部74によって所定温度に加熱されたガラス基板24の先端部が、搬送部76によってゴムローラ80a、80b間に搬入されると、加圧シリンダ84の作用下にバックアップローラ82b及びゴムローラ80bが上昇する。従って、ガラス基板24及び長尺状感光性ウエブ22は、ゴムローラ80a、80b間に所定のプレス圧力で挟み込まれる。なお、ゴムローラ80a、80bは、所定のラミネート温度に加熱されている。
次に、ゴムローラ80a、80bが回転し、ガラス基板24及び長尺状感光性ウエブ22が矢印Y方向に搬送される。これにより、感光性樹脂層28が加熱溶融されてガラス基板24に熱転写(ラミネート)される。
なお、ラミネート条件としては、速度が1.0m/min〜10.0m/min、ゴムローラ80a、80bの温度が80℃〜140℃、前記ゴムローラ80a、80bのゴム硬度が40度〜90度、該ゴムローラ80a、80bのプレス圧(線圧)が50N/cm〜400N/cmである。
ガラス基板24に対して長尺状感光性ウエブ22の一枚分のラミネートが終了すると、ゴムローラ80a、80bの回転が停止される。一方、長尺状感光性ウエブ22がラミネートされたガラス基板24である感光性積層体170の先端部は、基板搬送ローラ92によりクランプされる。このとき、ゴムローラ80a、80b間の所定位置には、ハーフカット部位34bが配置される。
そして、ゴムローラ80bは、ゴムローラ80aから離間する方向に退避してクランプが解除されるとともに、基板搬送ローラ92の回転が低速で再び開始される。感光性積層体170は、矢印Y方向に保護フイルム30の残存部分Bの幅Mに対応する距離だけ搬送され、次のハーフカット部位34aがゴムローラ80aの下方付近の所定位置に搬送された後、ゴムローラ80a、80bの回転が停止される。
一方、前記の状態において、基板供給機構45を介して次なるガラス基板24が貼り付け位置に向かって搬送される。以上の動作が繰り返されることにより、感光性積層体170が連続的に製造される。
貼り付け機構46でラミネートされた感光性積層体170は、ユニット本体94内に収容されている切断機構106によってガラス基板24間の長尺状感光性ウエブ22が切断されることで分離される。分離された感光性積層体170には、可撓性ベースフイルム26が装着されており、この可撓性ベースフイルム26がガラス基板24間の保護フイルム30とともに剥離された後、次の処理工程に供給される。
ところで、上記の製造システム20では、長尺状感光性ウエブ22のみを搬送路88に沿って搬送する場合がある。例えば、自動運転によりラミネートを開始する際には、所定枚数分の長尺状感光性ウエブ22を集積箱136に廃棄するとともに、切断機構106により切断し、前記長尺状感光性ウエブ22の先端部を前記切断機構106に対応して配置する場合である。
一方、自動運転を中断するために、ラミネート処理を一旦停止させ、ラミネート後のガラス基板24を払い出した直後に、自動運転を開始する場合も同様である。
また、上記の自動運転中に、ガラス基板24が基板供給機構45から貼り付け機構46に供給されない際、ゴムローラ80aにより加熱された長尺状感光性ウエブ22を、例えば、1枚分除去するために搬送する場合である。
さらにまた、手動操作によって長尺状感光性ウエブ22を集積箱136に排出させた後、前記長尺状感光性ウエブ22を切断機構106により切断する場合である。
そして、この種の処理が行われる場合、長尺状感光性ウエブ22は、切断機構106により切断された状態で停止している。このため、前記長尺状感光性ウエブ22の先端部は、図5に示すように、第2フイルム搬送ローラ対112bと第3フイルム搬送ローラ対112cとの間に配置されている。
そこで、本実施形態では、長尺状感光性ウエブ22を停止させた状態で、ユニット本体94が、駆動機構96を構成するモータ100の回転作用下に、反搬送方向(矢印Z方向)に移動を開始する。その際、図6に示すように、第1フイルム搬送ローラ対112a〜第3フイルム搬送ローラ対112cは、トルクモータ118a〜118cが駆動されることにより、各駆動ローラ114a〜114cが矢印C方向(フイルム送り方向)に回転駆動されている。このため、第1フイルム搬送ローラ対112a及び第2フイルム搬送ローラ対112bでは、駆動ローラ114a、114bが停止している長尺状感光性ウエブ22上を滑ることなく回転しており、剥離帯電を防止することができる。
一方、ユニット本体94が矢印Z方向に移動する際、回転ローラ128及び案内ベルト142a、142bは、それぞれ回転駆動されている。また、フイルム押さえ110は、一旦上昇しており、長尺状感光性ウエブ22と接触することを防止している。
ユニット本体94が矢印Z方向に移動することにより、第3フイルム搬送ローラ対112cは、回転しながら長尺状感光性ウエブ22の先端部を挟持する。従って、長尺状感光性ウエブ22の先端部は、第3フイルム搬送ローラ対112cに対して矢印Y方向に相対的に引き出される。
ここで、第3フイルム搬送ローラ対112cの出口近傍に配置されている第1フイルム検出センサ148が遮光(ON)されると、この第1フイルム検出センサ148の遮光タイミングから図示しないタイマにより計時が行われる。そして、所定の時間だけ経過した後、回転ローラ128がシリンダ132の作用下に下降する(図7参照)。
なお、このタイマは、回転ローラ128を下降させるタイミングを設定することにより、長尺状感光性ウエブ22の先端部の突出量を適正な範囲内に維持する機能を有する一方、前記長尺状感光性ウエブ22の詰まりによる設備の停止を行うための異常検出手段としての機能をも有する。
回転ローラ128が下降するタイミングで、ユニット本体94の矢印Z方向への移動を停止させるとともに、フイルム搬送ローラ90a、90bが駆動されて長尺状感光性ウエブ22の矢印Y方向への搬送を開始する。回転ローラ128は、排出フイルム22aが切断機構106で切断された後、第1フイルム検出センサ148がOFF(透過)した際に、シリンダ132を介して上昇される。
一方、回転ローラ128を介して搬送路88から集積路134に送られる排出フイルム22aの先端部は、案内ベルト142a、142b間に搬送される。従って、排出フイルム22aは、案内ベルト142a、142bの案内作用下に、集積箱136内に送られるとともに、この集積箱136内の傾斜面146の傾斜に沿って良好に集積される。その際、集積箱136の内面側には、帯電接着防止材144が設けられており、前記集積箱136内に排出フイルム22aを所望の集積姿勢で確実に集積することができる。
案内ベルト142a、142bの下部側には、第2フイルム検出センサ150が設けられている。この第2フイルム検出センサ150を介して、案内ベルト142a、142b間に規定量の排出フイルム22aが搬送されたことが検出されると、フイルム搬送ローラ90a、90bによるウエブ送りが、一旦停止される。案内ベルト142a、142b間に所定量以上の排出フイルム22aが搬送されると、この排出フイルム22aが集積箱136からはみ出す等の不具合が発生するからである。
この場合、本実施形態では、先端部が切断機構106に対応して配置されている排出フイルム22aを集積箱136に排出する際、この排出フイルム22aが停止された状態で、第1フイルム搬送ローラ対112a〜第3フイルム搬送ローラ対112cをフイルム送り方向に回転させながら、ユニット本体94が反搬送方向(矢印Z方向)に移動している。
このため、ユニット本体94を停止させた状態で、第1フイルム搬送ローラ対112a及び第2フイルム搬送ローラ対112bの回転作用下に、排出フイルム22aを矢印Y方向に搬送する場合に比べ、剥離帯電等を良好に防止するとともに、前記排出フイルム22aを所望の平面形状に維持することができる。従って、排出フイルム22aの先端部を、第3フイルム搬送ローラ対112cにより確実に把持することが可能になり、前記排出フイルム22aの詰まりを可及的に阻止することができる。
これにより、フイルム搬送装置48は、簡単な構成及び工程で、排出フイルム22aの先端部を確実に保持し、前記排出フイルム22aを搬送路88から集積路134に沿って円滑且つ確実に搬送することが可能になるという効果が得られる。なお、上記の処理は、長尺状感光性ウエブ22(排出フイルム22a)だけを搬送する動作が必要な各種の状況において、同様に行われる。
また、第1フイルム検出センサ148及び第2フイルム検出センサ150を用いることにより、以下に示す各種の機能を有することができる。
先ず、第1フイルム検出センサ148と第2フイルム検出センサ150とが、共に排出フイルム22aを検出した際(ON)には、ユニット本体94の矢印Z方向への移動を停止するとともに、フイルム搬送ローラ90a、90bを駆動させて前記排出フイルム22aの送り動作を可能にする。
また、第1フイルム検出センサ148のみがONされた場合、原点復帰動作を行って、第2フイルム検出センサ150がONするか否かを検出する。そして、一定時間だけ経過しても、第2フイルム検出センサ150がONしない場合には、集積路134で排出フイルム22aに詰まり異常が発生していると判断する。
さらにまた、第1フイルム検出センサ148がOFF(透過)で且つ第2フイルム検出センサ150がON(遮光)の場合には、集積路134に排出フイルム22aの詰まり異常が発生していると判断される。
また、排出フイルム22aを案内ベルト142a、142b側に搬送する動作が行われた後、一定時間だけ経過しても、第1フイルム検出センサ148と第2フイルム検出センサ150とがそれぞれのタイミングでONしなかった場合、前記排出フイルム22aに詰まり異常が発生していると判断される。
さらに、集積箱136の上部に排出フイルム詰まり検出及び満杯検出を行うセンサ172を配置することができる。このセンサ172は、排出フイルム22aの排出動作中はON(遮光)しており、この排出フイルム22aの送り完了後に基板間カットを行い、タイマからのタイミングによりOFF(透過)しない場合に警報を発する。なお、タイマからのタイミングは、第3フイルム搬送ローラ対112cと案内ベルト142a、142bとを介して、排出フイルム22aの後端が集積箱136に落下する程度の時間に設定される。
また、本実施形態では、排出フイルム22aが静電気により接触する部分に対応して、静電対策が行われている。例えば、ガイド板122bの上面には、静電対策用のベルト材124が設けられており、排出フイルム22aの静電吸着を阻止することができる。
本発明の実施形態に係るフイルム搬送装置を組み込む感光性積層体の製造システムの概略構成図である。 前記製造システムに使用される長尺状感光性ウエブの断面図である。 長尺状感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。 前記フイルム搬送装置の概略構成説明図である。 前記フイルム搬送装置の動作説明図である。 前記フイルム搬送装置の動作説明図である。 前記フイルム搬送装置の動作説明図である。 従来技術に係るドライレジストフイルムのラミネート方法の説明図である。
符号の説明
20…製造システム 22…長尺状感光性ウエブ
24…ガラス基板 26…可撓性ベースフイルム
28…感光性樹脂層 30…保護フイルム
34a、34b…ハーフカット部位 36…加工機構
45…基板供給機構 46…貼り付け機構
48…フイルム搬送装置 94…ユニット本体
96…駆動機構
100、130、140a、140b…モータ
106…切断機構 108…カッタ
110…フイルム押さえ
112a〜112c…フイルム搬送ローラ対
114a〜114c…駆動ローラ 116a〜116c…従動ローラ
118a〜118c…トルクモータ
120a〜120c、132…シリンダ
122a、122b…ガイド板 124…ベルト材
128…回転ローラ 134…集積路
136…集積箱 138…フイルム送り機構
142a、142b…案内ベルト 146…傾斜面
148、150…フイルム検出センサ

Claims (11)

  1. 停止しているフイルムの先端部を保持し、前記フイルムを搬送路に沿って搬送するためのフイルム搬送装置であって、
    前記フイルムを切断する切断機構、前記切断機構の搬送方向上流側に配置される上流側フイルム搬送ローラ対、及び前記切断機構の搬送方向下流側に配置される下流側フイルム搬送ローラ対が収容されるユニット本体と、
    前記切断機構により切断された前記フイルムの先端部を、前記下流側フイルム搬送ローラ対で挟持させる際に、前記フイルムが停止された状態で、前記ユニット本体を前記搬送路に沿って搬送方向とは逆の反搬送方向に移動させる駆動機構と、
    前記ユニット本体が前記反搬送方向に移動する際に、前記上流側フイルム搬送ローラ対及び前記下流側フイルム搬送ローラ対に対し、前記フイルムを前記搬送方向に送り出すためのフイルム送り方向に回転トルクを付与するトルクモータと、
    を備えることを特徴とするフイルム搬送装置。
  2. 請求項1記載のフイルム搬送装置において、前記ユニット本体は、前記下流側フイルム搬送ローラ対の下流に配置され、前記下流側フイルム搬送ローラ対の回転作用下に前記搬送路に沿って送り出される前記フイルムの先端部を、前記搬送路から分岐する集積路に案内する回転ローラを備えることを特徴とするフイルム搬送装置。
  3. 請求項2記載のフイルム搬送装置において、前記集積路には、前記フイルムを集積部位に搬送するフイルム送り機構が配設されることを特徴とするフイルム搬送装置。
  4. 請求項3記載のフイルム搬送装置において、前記下流側フイルム搬送ローラ対の出口近傍に配置される第1フイルム検出センサと、
    前記フイルム送り機構に配置される第2フイルム検出センサと、
    を備えることを特徴とするフイルム搬送装置。
  5. 請求項1〜4のいずれか1項に記載のフイルム搬送装置において、前記フイルムは、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層される長尺状感光性ウエブであり、
    前記ユニット本体は、前記保護フイルムの剥離部分を剥離した前記長尺状感光性ウエブを、加熱された一対の圧着ローラ間に送り出して基板に貼り付けるラミネート機構の下流に配置されることを特徴とするフイルム搬送装置。
  6. 停止しているフイルムの先端部を保持し、前記フイルムを搬送路に沿って搬送するためのフイルム搬送方法であって、
    前記フイルムを停止させた状態で、フイルム搬送ローラ対を、フイルム送り方向に回転させながら搬送方向とは逆の反搬送方向に移動させる工程と、
    前記フイルム搬送ローラ対で前記フイルムの先端部を挟持するとともに、前記フイルム搬送ローラの回転作用下に、前記フイルムを前記搬送方向に送り出す工程と、
    を有することを特徴とするフイルム搬送方法。
  7. 請求項6記載のフイルム搬送方法において、前記フイルムを切断する切断機構、前記切断機構の搬送方向上流側に配置される上流側フイルム搬送ローラ対、及び前記切断機構の搬送方向下流側に配置される下流側フイルム搬送ローラ対が収容されるユニット本体を、前記反搬送方向に移動させながら、前記上流側フイルム搬送ローラ対及び前記下流側フイルム搬送ローラ対に対し、前記フイルムを前記搬送方向に送り出すためのフイルム送り方向に回転トルクを付与することを特徴とするフイルム搬送方法。
  8. 請求項6又は7記載のフイルム搬送方法において、前記下流側フイルム搬送ローラ対の回転作用下に、前記フイルムを前記搬送方向に送り出す一方、前記フイルムの先端部を、回転ローラの押圧及び回転作用下に前記搬送路から分岐する集積路に案内することを特徴とするフイルム搬送方法。
  9. 請求項8記載のフイルム搬送方法において、前記回転ローラにより前記集積路に案内される前記フイルムを、フイルム送り機構を介して集積部位に搬送することを特徴とするフイルム搬送方法。
  10. 請求項9記載のフイルム搬送方法において、前記下流側フイルム搬送ローラ対の出口近傍に配置される第1フイルム検出センサにより前記フイルムの有無を検出する工程と、
    前記フイルム送り機構に配置される第2フイルム検出センサにより前記フイルムの有無を検出する工程と、
    を有することを特徴とするフイルム搬送方法。
  11. 請求項6〜10のいずれか1項に記載のフイルム搬送方法において、前記フイルムは、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層される長尺状感光性ウエブであり、
    前記保護フイルムの剥離部分を剥離した前記長尺状感光性ウエブを、加熱された一対の圧着ローラ間に送り出して基板に貼り付けるラミネート機構の下流で、前記ユニット本体が前記搬送方向及び前記反搬送方向に移動することを特徴とするフイルム搬送方法。
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