JP2008137193A - 感光性ウエブの貼り付け装置 - Google Patents

Abstract

【課題】簡単な構成で、長期間にわたって安定したラミネート処理を容易且つ確実に行うことを可能にする。
【解決手段】貼り付け装置４６は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂとガラス基板２４とを加熱挟持してラミネートするラミネートローラ対８０を備える。ラミネートローラ対８０は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂに摺接する第１加熱ローラ８０ａと、ガラス基板２４に摺接する第２加熱ローラ８０ｂとを有する。貼り付け装置４６は、ラミネート時に第２加熱ローラ８０ｂのみを回転駆動させる駆動機構８２を有している。
【選択図】図１

Description

本発明は、支持体上に少なくとも感光材料層が積層される感光性ウエブを、前記感光材料層側が基板に向かうようにして前記基板に貼り付ける感光性ウエブの貼り付け装置に関する。

例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、ＰＤＰパネル用基板では、感光材料（感光性樹脂）層を有する感光性シート体（感光性ウエブ）を基板表面に貼り付けて構成されている。感光性シート体は、可撓性プラスチック支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層されている。

そこで、この種の感光性シート体の貼り付けに使用される貼り付け装置は、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させて搬送するとともに、前記基板に貼り付けられる感光材料層の範囲に対応して、前記感光性シート体から保護フイルムを剥離する方式が採用されている。

例えば、特許文献１に開示されているフイルム張付方法及び装置では、図８に示すように、フイルムロール１から繰り出される積層体フイルム（感光性シート体）１ａは、ガイドロール２ａ、２ｂに巻き付けられて水平のフイルム搬送面に沿って延在している。このガイドロール２ｂには、積層体フイルム１ａの送り量に応じた数のパルス信号を出力するロータリエンコーダ３が取り付けられている。

水平のフイルム搬送面に沿って延在する積層体フイルム１ａは、サクションロール４に巻き掛けられるとともに、前記ガイドロール２ｂと前記サクションロール４との間には、ハーフカッタ５とカバーフイルム剥離装置６とが設けられている。

ハーフカッタ５は、一対のディスクカッタ５ａ、５ｂを備えている。ディスクカッタ５ａ、５ｂは、積層体フイルム１ａのフイルム幅方向に沿って移動することにより、前記積層体フイルム１ａのカバーフイルム（図示せず）をその裏側の感光性樹脂層（図示せず）と一体に切断する。

カバーフイルム剥離装置６は、粘着テープロール７から繰り出される粘着テープ７ａを押圧ロール８ａ、８ｂ間でカバーフイルムに強く圧着させた後、巻き取りロール９によって巻き取る。これにより、カバーフイルムは、感光性樹脂層から剥離されて粘着テープ７ａと共に巻き取りロール９に巻き取られる。

サクションロール４の下流には、基板搬送装置１０によって、順次、間欠的に搬送される複数の基板１１の上面に、積層体フイルム１ａを重ねて圧着するラミネーションロール１２ａ、１２ｂが配設されている。このラミネーションロール１２ａ、１２ｂの下流側には、支持フイルム巻き取りロール１３が配置されている。基板１１に貼り付けられている透光性支持フイルム（図示せず）は、支持フイルム巻き取りロール１３に巻き取られる。

特開平１１−３４２８０号公報（図１）

ところで、上記の特許文献１では、ラミネーションロール１２ａが回転駆動されることにより、基板１１の上面に積層体フイルム１ａがラミネートされている。その際、積層体フイルム１ａのフイルムバック面（基板１１にラミネートされるフイルム面とは反対の面）がラミネーションロール１２ａの周面に接触し、前記ラミネーションロール１２ａの周面には、前記フイルムバック面からの転写物、例えば、硬膜剤（メラミン又はメラミン樹脂等）が付着し易い。

ラミネーションロール１２ａの周面に硬膜剤が付着すると、このラミネーションロール１２ａの摩擦係数が変化し、積層体フイルム１ａがラミネートされた基板１１を安定して搬送することができないおそれがある。これにより、基板１１と積層体フイルム１ａとの貼り付け位置精度が低下し、良好なラミネート処理が遂行されないという問題がある。

本発明はこの種の問題を解決するものであり、簡単な構成で、長期間にわたって安定したラミネート処理を容易且つ確実に行うことが可能な感光性ウエブの貼り付け装置を提供することを目的とする。

本発明は、支持体上に少なくとも感光材料層が積層される感光性ウエブを、前記感光材料層側が基板に向かうようにして前記基板に貼り付ける感光性ウエブの貼り付け装置に関するものである。

貼り付け装置は、感光性ウエブと基板とを加熱挟持してラミネートするラミネートローラ対を備え、前記ラミネートローラ対は、前記感光性ウエブに摺接する第１加熱ローラと、前記基板に摺接する第２加熱ローラと、ラミネート時に前記第２加熱ローラのみを回転駆動させる駆動機構とを有している。

本発明では、基板に摺接する第２加熱ローラが回転駆動されることにより、感光性ウエブに摺接する第１加熱ローラと前記第２加熱ローラとで、前記感光性ウエブと前記基板とを挟持してラミネート処理が行われている。その際、駆動ローラである第２加熱ローラには、感光性ウエブに比べて基板から転写物が付着し難くなる。

従って、第２加熱ローラは、転写物により、表面の摩擦係数が変化することを抑制することができ、感光性ウエブがラミネートされた基板を安定して搬送することが可能になる。これにより、簡単な構成で、長期間にわたって安定したラミネート処理を容易且つ確実に行うことができる。

図１は、本発明の第１の実施形態に係る感光性ウエブの貼り付け装置を組み込む製造装置２０の概略構成図である。この製造装置２０は、液晶又は有機ＥＬ用カラーフィルタの製作工程で、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの各感光性樹脂層２８（後述する）を並列してガラス基板２４に熱転写する作業を行う。以下、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂがラミネートされたガラス基板２４を貼り付け基板２４ａともいう。感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、それぞれ所定の幅寸法に設定されており、例えば、前記感光性ウエブ２２ａが前記感光性ウエブ２２ｂよりも幅広に構成されている。

図２は、製造装置２０に使用される感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの断面図である。この感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、基本的には、可撓性ベースフイルム（支持体）２６、クッション層（熱可塑性樹脂層）２７、中間層（酸素遮断膜）２９、感光性樹脂層（感光材料層）２８及び保護フイルム３０を積層して構成される。

ベースフイルム２６は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）で形成されるとともに、主に硬膜剤（例えば、メラミン又はメラミン樹脂）を含むフイルムバック面２６ａを有する。クッション層２７は、エチレンと酸化ビニル共重合体で形成され、中間層２９は、ポリビニルアルコールで形成され、感光性樹脂層２８は、アルカリ可溶性バインダとモノマーと光重合開始材と着色剤を含む着色感光性樹脂組成物で形成され、保護フイルム３０は、ポリプロピレンで形成される。

図１に示すように、製造装置２０は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをロール状に巻回した２本（２本以上であればよい）の感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを収容し、各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂから前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを同期して送り出し可能な第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂと、送り出された各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの保護フイルム３０に幅方向に切断可能な境界位置であるハーフカット部位３４を形成する第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂと、一部に非接着部３８ａを有する接着ラベル３８（図３参照）を各保護フイルム３０に接着させる第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂとを備える。

第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂの下流には、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをタクト送りから連続送りに変更するための第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂと、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから保護フイルム３０を所定の長さ間隔で剥離させる第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂと、ガラス基板２４を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に搬送する基板搬送機構４５と、前記保護フイルム３０の剥離により露出した感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に一体的且つ並列に貼り付ける第１の実施形態に係る貼り付け装置４６とが配設される。

貼り付け装置４６における貼り付け位置の上流近傍には、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの境界位置であるそれぞれのハーフカット部位３４を直接検出する第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂが配設される。

第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂの下流近傍には、略使用済みの感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの後端と、新たに使用される感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの先端とを貼り付けるそれぞれの貼り付け台４９が配設される。貼り付け台４９の下流には、感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂの巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端末位置検出器５１が配設される。

第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂに収容巻回されている各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂのロール径を算出するためのローラ対５０の下流に配置される。第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、それぞれ単一の丸刃５２を備え、この丸刃５２は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に走行して前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの所定の位置にハーフカット部位３４を形成する。

図２に示すように、ハーフカット部位３４は、少なくとも保護フイルム３０を切断する必要があり、実際上、この保護フイルム３０を確実に切断するために感光性樹脂層２８乃至ベースフイルム２６まで切り込むように丸刃５２の切り込み深さが設定される。丸刃５２は、回転することなく固定された状態で、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に移動してハーフカット部位３４を形成する方式や、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂ上を滑ることなく回転しながら前記幅方向に移動して前記ハーフカット部位３４を形成する方式が採用される。

なお、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、それぞれ感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの搬送方向（矢印Ａ方向）に所定の距離だけ離間して２台配設し、残存部分３０ｂを挟んで２つのハーフカット部位３４を同時に形成してもよい。

ハーフカット部位３４は、例えば、両側のガラス基板２４にそれぞれ１０ｍｍずつ入り込んだ位置に設定される。ガラス基板２４間のハーフカット部位３４で挟まれた部分は、後述する貼り付け装置４６において感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。

第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂは、ガラス基板２４間に対応して保護フイルム３０の残存部分３０ｂを残すため、剥離側前方の剥離部分３０ａａと剥離側後方の剥離部分３０ａｂとを連結する接着ラベル３８を供給する。図２に示すように、保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを挟んで、先に剥離される部分を前方の剥離部分３０ａａとする一方、後に剥離される部分を後方の剥離部分３０ａｂとする。

図３に示すように、接着ラベル３８は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム３０と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル３８は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部（微粘着を含む）３８ａを有するとともに、この非接着部３８ａの両側、すなわち、前記接着ラベル３８の長手方向両端部に、前方の剥離部分３０ａａに接着される第１接着部３８ｂと、後方の剥離部分３０ａｂに接着される第２接着部３８ｃとを有する。

図１に示すように、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂは、それぞれ最大７枚の接着ラベル３８を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド５４ａ〜５４ｇを備えるとともに、前記吸着パッド５４ａ〜５４ｇによる前記接着ラベル３８の貼り付け位置には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを下方から保持するための受け台５６が昇降自在に配置される。

第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂは、上流側の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのタクト搬送と、下流側の前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの連続搬送との速度差を吸収するために、揺動自在なダンサーローラ６０を備える。第２リザーバ機構４２ｂには、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから送り出される各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが貼り付け装置４６に至るまでの各搬送路長を同一に調整するためのダンサーローラ６１が配設される。

第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂの下流に配置される第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂは、それぞれ感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの送り出し側のテンション変動を遮断し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム６２を備える。各サクションドラム６２の近傍には、剥離ローラ６３が配置されるとともに、この剥離ローラ６３を介して感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから剥離される保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを除いてそれぞれ保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる。

第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂの下流側には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂにテンションを付与可能な第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂが配設される。第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂは、それぞれシリンダ６８を備え、前記シリンダ６８の駆動作用下に、それぞれテンションダンサー７０が揺動変位することにより、各テンションダンサー７０が摺接する感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのテンションが調整可能である。

第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂは、レーザセンサやフォトセンサ等の光電センサ７２ａ、７２ｂを備えており、前記光電センサ７２ａ、７２ｂは、ハーフカット部位３４の楔状の溝形状部や、保護フイルム３０の厚さによる段差、あるいは、これらの組み合わせによる変化を直接検出し、この検出信号を境界位置信号とする。光電センサ７２ａ、７２ｂは、バックアップローラ７３ａ、７３ｂに対向して配置される。

基板搬送機構４５は、ガラス基板２４を挟持するように配設される複数組の基板加熱部（例えば、ヒータ）７４と、このガラス基板２４を矢印Ｃ方向に搬送する搬送部７６とを備える。基板加熱部７４では、ガラス基板２４の温度を常時監視し、異常時には、搬送部７６の停止や警報を発生するとともに、異常情報を発信して異常なガラス基板２４を後工程でＮＧ排出、品質管理又は生産管理等に活用することができる。搬送部７６には、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板２４が浮上されて矢印Ｃ方向に搬送される。ガラス基板２４の搬送は、ローラコンベアでも行える。

基板加熱部７４の上流には、複数のガラス基板２４が収容される基板ストッカー７１が設けられる。この基板ストッカー７１に収容されている各ガラス基板２４は、ロボット７５のハンド部７５ａに設けられた吸着パッド７９に吸着されて取り出され、基板加熱部７４に挿入される。

貼り付け装置４６は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂとガラス基板２４とを加熱挟持してラミネートするラミネートローラ対８０を備える。このラミネートローラ対８０は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂに摺接する第１加熱ローラ（ゴムローラ）８０ａと、ガラス基板２４に摺接する第２加熱ローラ（ゴムローラ）８０ｂとを有する。

貼り付け装置４６は、ラミネート時に第２加熱ローラ８０ｂのみを回転駆動させる駆動機構８２を有する。図４に示すように、駆動機構８２は、サーボモータ等のモータ８４を備え、このモータ８４には、前記モータ８４による送り量を検出するためのロータリエンコーダ８６が軸着される。モータ８４の軸８４ａには、第１歯車８８が固定され、前記第１歯車８８に第２歯車９０が噛合する。第２歯車９０は、第３歯車９２に噛合するとともに、前記第３歯車９２と第２加熱ローラ８０ｂとの間には、軸方向を交差させる歯車列（例えば、かさ歯車等）９４が設けられる。

なお、モータ８４の軸８４ａと第２加熱ローラ８０ｂとを同軸上且つ直接に連結する構成を採用してもよい。

第１加熱ローラ８０ａは、図示しないが、例えば、トルクモータに連結されており、第２加熱ローラ８０ｂが回転する際に、連れ回り可能に構成されることが好ましい。

図１に示すように、第１及び第２加熱ローラ８０ａ、８０ｂには、バックアップローラ９６ａ、９６ｂが摺接するとともに、前記バックアップローラ９６ｂは、ローラクランプ部９８を構成する加圧シリンダ１００ａ、１００ｂにより第２加熱ローラ８０ｂ側に押圧される。

第１加熱ローラ８０ａの近傍には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが前記第１加熱ローラ８０ａに接触することを防止するための接触防止ローラ１０２が移動可能に配設される。貼り付け装置４６の上流近傍には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを予め所定温度に予備加熱するための予備加熱部１０４が配設される。この予備加熱部１０４は、例えば、赤外線バーヒータ等の加熱手段を備える。

ガラス基板２４は、貼り付け装置４６から搬送路１０６を介して矢印Ｃ方向に搬送される。この搬送路１０６には、フイルム搬送ローラ１０８ａ、１０８ｂと基板搬送ローラ１１０とが配設される。第１及び第２加熱ローラ８０ａ、８０ｂと基板搬送ローラ１１０との間隔は、ガラス基板２４の一枚分の長さ以下に設定されることが好ましい。

貼り付け装置４６の下流に、冷却機構１２２とベース自動剥離機構１４２とが設けられる。ベース自動剥離機構１４２は、各ガラス基板２４が所定間隔ずつ離間して貼り付けられている長尺なベースフイルム２６を連続して剥離するものであり、プレ剥離部１４４と比較的小径な剥離ローラ１４６と巻き取り軸１４８とを備えている。

巻き取り軸１４８は、駆動時にトルク制御してベースフイルム２６に張力を付与する一方、例えば、剥離ローラ１４６に張力検出器（図示せず）を設けることにより、張力のフィードバック制御を行うことが好ましい。プレ剥離部１４４は、剥離バー１５６とを備えるとともに、前記剥離バー１５６は、ガラス基板２４間で昇降可能である。

ベース自動剥離機構１４２の下流には、ガラス基板２４に実際に貼り付けられた感光性樹脂層２８のエリア位置を測定する測定器１５８が配設される。この測定器１５８は、例えば、ＣＣＤ等のカメラ１６０を備え、感光性樹脂層２８が貼り付けられたガラス基板２４を撮影するために前記カメラ１６０が配設される。

ベース自動剥離機構１１４の下流には、複数の感光性積層体２０８が収容される感光性積層体ストッカー１９０が設けられる。ベース自動剥離機構１１４で貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６及び残存部分３０ｂが剥離された感光性積層体２０８は、ロボット１９２のハンド部１９２ａに設けられた吸着パッド１９４に吸着されて取り出され、感光性積層体ストッカー１９０に収容される。

製造装置２０では、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂ、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂ、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂ、第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂ、第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂ、第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂ並びに第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂが、貼り付け装置４６の上方に配置されているが、これとは逆に、前記第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから前記第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂまでを前記貼り付け装置４６の下方に配置し、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの上下が逆になって感光性樹脂層２８がガラス基板２４の下側に貼り付けてもよく、また、前記製造装置２０全体を直線上に構成してもよい。

製造装置２０は、ラミネート工程制御部２００を介して全体制御されており、この製造装置２０の各機能部毎に、例えば、ラミネート制御部２０２、基板加熱制御部２０４及びベース剥離制御部２０６等が設けられ、これらが工程内ネットワークにより繋がっている。ラミネート工程制御部２００は、工場ネットワークに繋がっており、図示しない工場ＣＰＵからの指示情報（条件設定や生産情報）の生産管理や稼動管理等、生産のための情報処理を行う。

基板加熱制御部２０４は、上流工程からガラス基板２４を受け入れ、このガラス基板２４を所望の温度まで加熱して貼り付け装置４６に供給する動作及び該ガラス基板２４の情報のハンドリング等を制御する。

ラミネート制御部２０２は、工程全体のマスターとして、各機能部の制御を行うものであり、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂにより検出された感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのハーフカット部位３４の位置情報に基づいて、貼り付け位置における各境界位置とガラス基板２４との相対位置及び各境界位置同士の相対位置を制御可能な制御機構を構成している。

ベース剥離制御部２０６は、貼り付け装置４６から供給される貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６を剥離し、さらに下流工程に感光性積層体２０８を排出する動作の制御を行うとともに、前記貼り付け基板２４ａ及び前記感光性積層体２０８の情報をハンドリング制御する。

製造装置２０内は、仕切り壁２１０を介して第１クリーンルーム２１２ａと第２クリーンルーム２１２ｂとに仕切られる。第１クリーンルーム２１２ａには、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂまでが収容されるとともに、第２クリーンルーム２１２ｂには、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂ以降が収容される。第１クリーンルーム２１２ａと第２クリーンルーム２１２ｂとは、貫通部２１４を介して連通する。

このように構成される製造装置２０の動作について、以下に説明する。

先ず、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂに取り付けられている各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂから感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが送り出される。感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂに搬送される。

第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂでは、丸刃５２が感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に移動して、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを保護フイルム３０から感光性樹脂層２８乃至ベースフイルム２６まで切り込んでハーフカット部位３４を形成する（図２参照）。さらに、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、図１に示すように、保護フイルム３０の残存部分３０ｂの寸法に対応して矢印Ａ方向に搬送された後に停止され、丸刃５２の走行作用下にハーフカット部位３４が形成される。これにより、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂには、残存部分３０ｂを挟んで前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとが設けられる（図２参照）。

次いで、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂに搬送されて、保護フイルム３０の所定の貼り付け部位が受け台５６上に配置される。第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂでは、所定枚数の接着ラベル３８が吸着パッド５４ａ〜５４ｇにより吸着保持され、各接着ラベル３８が保護フイルム３０の残存部分３０ｂを跨いで、前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとに一体的に接着される（図３参照）。

例えば、７本の接着ラベル３８が接着された感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、図１に示すように、第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂを介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂに連続的に搬送される。第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂでは、図５に示すように、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのベースフイルム２６がサクションドラム６２に吸着保持されるとともに、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残して前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから剥離される。この保護フイルム３０は、剥離ローラ６３を介して剥離されて保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる（図１参照）。

第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂの作用下に、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残してベースフイルム２６から剥離された後、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂによってテンション調整が行われ、さらに第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂで光電センサ７２ａ、７２ｂによりハーフカット部位３４の検出が行われる。

各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、ハーフカット部位３４の検出情報に基づいて、フイルム搬送ローラ１０８ａ、１０８ｂの回転作用下に、それぞれ貼り付け装置４６に定量搬送される。一方、ガラス基板２４は、基板搬送機構４５の作用下に、予め加熱された状態で貼り付け位置に搬送される。このガラス基板２４は、並列されている感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの感光性樹脂層２８の貼り付け部分に対応して第１及び第２加熱ローラ８０ａ、８０ｂ間に一旦配置される。

この状態で、バックアップローラ９６ｂ及び第２加熱ローラ８０ｂを上昇させることにより、第１及び第２加熱ローラ８０ａ、８０ｂ間にガラス基板２４が所定のプレス圧力で挟み込まれる。さらに、駆動機構８２を構成するモータ８４の駆動により第２加熱ローラ８０ｂが回転駆動され、前記第２加熱ローラ８０ｂ及び第１加熱ローラ８０ａの挟持作用下に、ガラス基板２４には、並列されている各感光性樹脂層２８が転写（ラミネート）される。

ここで、ラミネート条件としては、速度が１．０ｍ／ｍｉｎ〜１０．０ｍ／ｍｉｎ、第１及び第２加熱ローラ８０ａ、８０ｂの温度が８０℃〜１４０℃、前記第１及び第２加熱ローラ８０ａ、８０ｂのゴム硬度が４０度〜９０度、該第１及び第２加熱ローラ８０ａ、８０ｂのプレス圧（線圧）が５０Ｎ／ｃｍ〜４００Ｎ／ｃｍである。

第１及び第２加熱ローラ８０ａ、８０ｂを介してガラス基板２４に感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの一枚分のラミネートが終了すると、前記第１加熱ローラ８０ａの回転が停止される一方、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂがラミネートされた前記ガラス基板２４、すなわち、貼り付け基板２４ａが基板搬送ローラ１１０によりクランプされる。

そして、第２加熱ローラ８０ｂが、第１加熱ローラ８０ａから離間する方向に退避してクランプが解除されるとともに、基板搬送ローラ１１０の回転が開始されて、貼り付け基板２４ａが矢印Ｃ方向に定量搬送され、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの基板間位置が第１加熱ローラ８０ａの下方付近の所定位置に移動する。一方、基板搬送機構４５を介して次なるガラス基板２４が貼り付け位置に向かって搬送される。

この次なるガラス基板２４の先端が第１及び第２加熱ローラ８０ａ、８０ｂ間に配置されると、前記第２加熱ローラ８０ｂが上昇して、前記第１及び第２加熱ローラ８０ａ、８０ｂにより前記次なるガラス基板２４と感光性ウエブ２２ａ、２２ｂとがクランプされる。そして、第２加熱ローラ８０ｂと基板搬送ローラ１１０の回転作用下にラミネートが開始されるとともに、貼り付け基板２４ａが矢印Ｃ方向に搬送される。

その際、貼り付け基板２４ａは、図６に示すように、それぞれの端部同士が残存部分３０ｂによって覆われている。従って、感光性樹脂層２８がガラス基板２４に転写される際、第１及び第２加熱ローラ８０ａ、８０ｂが前記感光性樹脂層２８により汚れることがない。

貼り付け装置４６でラミネートされた貼り付け基板２４ａは、冷却機構１２２を通って冷却された後、プレ剥離部１４４に移送される。このプレ剥離部１４４では、剥離バー１５６が上昇することにより、保護フイルム３０を隣接するガラス基板２４の後端及び先端から剥離することができる。次いで、ベース自動剥離機構１４２では、巻き取り軸１４８の回転作用下に、貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６が連続して巻き取られる。

ベースフイルム２６が剥離されたガラス基板２４は、測定器１５８に対応する検査ステーションに配置される。この検査ステーションでは、ガラス基板２４が位置決め固定された状態で、カメラ１６０によりガラス基板２４と感光性樹脂層２８の画像を取り込む。そして、画像処理が施されることにより、貼り付け位置が演算されるとともに、貼り付け状態が検査される。

この場合、第１の実施形態では、貼り付け装置４６が、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂに摺接する第１加熱ローラ８０ａと、ガラス基板２４に摺接する第２加熱ローラ８０ｂと、ラミネート時に前記第２加熱ローラ８０ｂのみを回転駆動させる駆動機構８２とを有している。

このように、ガラス基板２４に摺接する第２加熱ローラ８０ｂのみが回転駆動されることにより、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂに摺接する第１加熱ローラ８０ａと前記第２加熱ローラ８０ｂとで、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂと前記ガラス基板２４とを加熱挟持してラミネート処理が行われている。

その際、駆動ローラである第２加熱ローラ８０ｂには、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂに比べてガラス基板２４から転写物が付着し難くなる。感光性ウエブ２２ａ、２２ｂでは、第１加熱ローラ８０ａに摺接するフイルムバック面２６ａに主として硬膜剤が含まれており、この硬膜剤が前記第１加熱ローラ８０ａに付着し易いのに対して、ガラス基板２４から第２加熱ローラ８０ｂへの転写物が殆どないからである。

従って、第２加熱ローラ８０ｂは、転写物により表面の摩擦係数が変化することを抑制することができ、ガラス基板２４に感光性ウエブ２２ａ、２２ｂがラミネートされた貼り付け基板２４ａを安定して搬送することが可能になる。これにより、簡単な構成で、長期間にわたって安定したラミネート処理を容易且つ確実に行うことができるという効果が得られる。

しかも、第２加熱ローラ８０ｂは、ガラス基板２４に摺接して貼り付け基板２４ａを搬送するため、モータ８４に連結されているロータリエンコーダ８６から得られるパルス信号に基づいて、前記貼り付け基板２４ａの送り量が高精度に検出されるという利点がある。ガラス基板２４では、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂに比べて熱膨張等による寸法の変化を殆ど無視することが可能であるからである。

なお、第１の実施形態では、２本の感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを用いているが、これに限定されるものではなく、１本の感光性ウエブロールや、３本以上の感光性ウエブロールを採用してもよい。また、以下に説明する第２の実施形態においても、同様である。

図７は、本発明の第２の実施形態に係る感光性ウエブの貼り付け装置を組み込む製造装置３００の概略構成図である。なお、第１の実施形態に係る製造装置２０と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。

製造装置３００は、貼り付け装置４６の下流に配置され、各ガラス基板２４間の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを一体的に切断可能な基板間ウエブ切断機構３０２を備える。

このように構成される製造装置３００では、上記の第１の実施形態と同様に貼り付け装置４６でラミネートされた貼り付け基板２４ａは、矢印Ｃ方向に搬送される。そして、貼り付け基板２４ａ間が基板間ウエブ切断機構３０２に対応する位置に至ると、この基板間ウエブ切断機構３０２は、前記貼り付け基板２４ａと同一の搬送速度で矢印Ｃ方向に移動しながら、該貼り付け基板２４ａ間で２本の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを一体的に切断する。

この切断後に、基板間ウエブ切断機構３０２は、所定の待機位置に戻される一方、貼り付け基板２４ａでは、ベースフイルム２６及び残存部分３０ｂが順次剥離（枚葉剥離）されて感光性積層体２０８が製造される。

本発明の第１の実施形態に係る感光性ウエブの貼り付け装置を組み込む製造装置の概略構成図である。 前記製造装置に使用される長尺状感光性ウエブの断面図である。 前記長尺状感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。 前記貼り付け装置を構成する駆動機構の概略斜視説明図である。 前記感光性ウエブから保護フイルムを剥離する際の説明図である。 前記ガラス基板に感光性樹脂層が転写された状態の説明図である。 本発明の第２の実施形態に係る感光性ウエブの貼り付け装置を組み込む製造装置の概略構成図である。 特許文献１のフイルム張付装置の概略構成図である。

符号の説明

２０、３００…製造装置 ２２ａ、２２ｂ…感光性ウエブ
２３ａ、２３ｂ…感光性ウエブロール ２４…ガラス基板
２４ａ…貼り付け基板 ２６…ベースフイルム
２８…感光性樹脂層 ３０…保護フイルム
３２ａ、３２ｂ…ウエブ送り出し機構 ３４…ハーフカット部位
３６ａ、３６ｂ…加工機構 ４４ａ、４４ｂ…剥離機構
４５…基板搬送機構 ４６…貼り付け装置
４７ａ、４７ｂ…検出機構 ７４…基板加熱部
７６…搬送部 ８０…ラミネートローラ対
８０ａ、８０ｂ…加熱ローラ ８２…駆動機構
８４…モータ ８６…ロータリエンコーダ
１０８ａ、１０８ｂ…フイルム搬送ローラ １１０…基板搬送ローラ
３０２…基板間ウエブ切断機構

Claims (1)

1. 支持体上に少なくとも感光材料層が積層される感光性ウエブを、前記感光材料層側が基板に向かうようにして前記基板に貼り付ける感光性ウエブの貼り付け装置であって、
   前記感光性ウエブと前記基板とを加熱挟持してラミネートするラミネートローラ対を備え、
   前記ラミネートローラ対は、前記感光性ウエブに摺接する第１加熱ローラと、
   前記基板に摺接する第２加熱ローラと、
   ラミネート時に前記第２加熱ローラのみを回転駆動させる駆動機構と、
   を有することを特徴とする感光性ウエブの貼り付け装置。

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