JP4674142B2 - 感光性積層体の製造装置及び製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層される長尺状感光性ウエブを備え、前記保護フイルムは、所定の長さ毎に剥離されるとともに、該保護フイルムの剥離により露出した前記感光材料層が基板に貼り付けられる感光性積層体の製造装置及び製造方法に関する。

例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、ＰＤＰパネル用基板では、感光材料（感光性樹脂）層を有する感光性シート体（感光性ウエブ）を基板表面に貼り付けて構成される。感光性シート体は、可撓性プラスチック支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層されたものである。

そこで、この種の感光性シート体の貼り付けに使用される貼り付け装置は、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させて搬送するとともに、前記基板に貼り付けられる感光材料層の範囲に対応して、前記感光性シート体から保護フイルムを剥離する方式が採用されている。

例えば、特許文献１に開示されているフイルム張付方法及び装置では、図１６に示すように、フイルムロール１から繰り出される積層体フイルム１ａは、ガイドロール２ａ、２ｂに巻き付けられて水平のフイルム搬送面に沿って延在されている。

水平のフイルム搬送面に沿って延在する積層体フイルム１ａは、サクションロール４に巻き掛けられるとともに、前記ガイドロール２ｂと前記サクションロール４との間には、ハーフカッタ５とカバーフイルム剥離装置６とが設けられている。

ハーフカッタ５は、一対のディスクカッタ５ａ、５ｂを備えている。ディスクカッタ５ａ、５ｂは、積層体フイルム１ａのフイルム幅方向に沿って移動することにより、前記積層体フイルム１ａのカバーフイルム（図示せず）をその裏側の感光性樹脂層（図示せず）と一体に切断する。

カバーフイルム剥離装置６は、粘着テープロール７から繰り出される粘着テープ７ａを押圧ロール８ａ、８ｂ間でカバーフイルムに強く圧着させた後、巻き取りロール９によって巻き取る。カバーフイルムは、一対のディスクカッタ５ａ、５ｂにより形成された残存部分を残して感光性樹脂層から剥離され、粘着テープ７ａと共に巻き取りロール９に巻き取られる。

サクションロール４の下流には、基板搬送装置１０によって、順次、間欠的に搬送される複数の基板１１の上面に、カバーフイルムの剥離された積層体フイルム１ａを重ねて加熱圧着するラミネーションロール１２ａ、１２ｂが配設されている。このラミネーションロール１２ａ、１２ｂの下流側には、支持フイルム巻き取りロール１３が配置されている。基板１１に貼り付けられている透光性支持フイルム（図示せず）は、支持フイルム巻き取りロール１３に巻き取られる。

ここで、ディスクカッタ５ａ、５ｂを積層体フイルム１ａの搬送方向と直交する方向に移動させて切断処理を行うには、以下の方法が適用可能である。

積層体フイルム１ａをラミネーションロール１２ａ、１２ｂに連続的に供給しながら基板１１に貼り付ける場合には、ハーフカッタ５を積層体フイルム１ａの搬送速度に同期させて搬送方向に移動させながら切断処理を行うか、あるいは、ハーフカッタ５とラミネーションロール１２ａ、１２ｂとの間にフイルムリザーバを設け、フイルムリザーバの下流側で積層体フイルム１ａをラミネーションロール１２ａ、１２ｂに連続的に供給する一方、フイルムリザーバの上流側で積層体フイルム１ａの搬送を停止させて切断処理を行うことが可能である。

また、積層体フイルム１ａをラミネーションロール１２ａ、１２ｂに間欠的に供給しながら基板１１に貼り付ける場合には、積層体フイルム１ａの搬送停止中にハーフカッタ５を駆動して切断処理を行うか、あるいは、積層体フイルム１ａをラミネーションロール１２ａ、１２ｂに連続的に供給する場合と同様に、フイルムリザーバを介してラミネーションロール１２ａ、１２ｂによる貼り付け処理とハーフカッタ５による切断処理とを独立に行うことが可能である。

特開平１１−３４２８０号公報（図１）

ところで、積層体フイルム１ａをラミネーションロール１２ａ、１２ｂに連続的に供給して貼り付け処理を行う場合、カバーフイルムの残存する積層体フイルム１ａ及び基板１１をラミネーションロール１２ａ、１２ｂに供給するタイミングの調整が難しく、製品不良の発生するおそれがある。また、ハーフカッタ５を積層体フイルム１ａの搬送方向に移動させる機構、あるいは、フイルムリザーバが必要となるため、構成が複雑となる。さらに、積層体フイルム１ａの搬送方向に対するハーフカッタ５の移動スペースやフイルムリザーバの設置スペースを確保しなければならず、その分、装置が大型化する不具合がある。さらにまた、積層体フイルム１ａのハーフカッタ５による切断処理等によって発生するテンション変動が貼り付け処理部に伝達されると、積層体フイルム１ａと基板１１との貼り付け状態に影響が生じ、製品品質が低下する。

一方、積層体フイルム１ａをラミネーションロール１２ａ、１２ｂに間欠的に供給して貼り付け処理を行う場合、カバーフイルムの残存する積層体フイルム１ａと基板１１との位置決め精度を比較的容易に確保することが可能であり、また、ハーフカッタ５の移動機構やフイルムリザーバを不要にできるため、連続的に処理する場合に比較すると、製品不良の発生の低下、装置構成の簡易化並びに小型化が可能となる。

しかしながら、積層体フイルム１ａがラミネーションロール１２ａ、１２ｂに接触した状態で停止する時間が長くなると、ラミネーションロール１２ａ、１２ｂからの熱の影響により、ラミネーションロール１２ａ、１２ｂに接触する部分と、接触していない部分との間にスジ状のムラが発生し、あるいは、接触部分の感光性樹脂層に熱カブリが発生する等、積層体フイルム１ａの品質の低下することが懸念される。

一方、これらの問題を回避するため、ラミネーションロール１２ａ、１２ｂでの積層体フイルム１ａの停止時間をできるだけ短くすることも考えられる。しかしながら、カバーフイルムを幅方向に切断するためには、所定の時間が必要であり、特に、製品の大型化に伴って積層体フイルム１ａの幅が大きくなると、その分、切断処理に長時間を要するため、停止時間を短縮することが困難となる場合がある。

本発明はこの種の問題を解決するものであり、簡単な工程及び構成で、長尺状感光性ウエブを基板に正確に貼り付けることができるとともに、高品質な感光性積層体を効率的に得ることが可能な感光性積層体の製造装置及び製造方法を提供することを目的とする。

本発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層される長尺状感光性ウエブの少なくとも前記保護フイルムに、剥離部分と残存部分との境界位置に対応して幅方向に切断可能な加工部位を形成する加工部と、
前記残存部分を残して前記長尺状感光性ウエブから前記剥離部分を剥離させる剥離部と、
基板を所定の間隔で貼り付け位置に搬送する基板搬送部と、
前記貼り付け位置で、前記残存部分を前記基板間に配設する一方、前記剥離部分が剥離されて露出した前記感光材料層を所定温度に加熱し、前記基板に貼り付けて貼り付け基板を得る貼り付け部と、
前記残存部分が前記貼り付け部を移動する第１速度を低速に制御し、露出した前記感光材料層が前記貼り付け部を移動する第２速度を前記第１速度よりも速い高速に制御する速度制御部と、
を備え、前記第１速度による制御を行う間、前記貼り付け部における前記基板と露出した前記感光材料層との位置決め制御を行うとともに、少なくとも前記加工部による前記加工部位の形成処理を行い、前記第２速度による制御を行う間、前記感光材料層を前記基板に貼り付ける貼り付け処理を行うことを特徴とする。

また、本発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層される長尺状感光性ウエブを送り出す工程と、
送り出された前記長尺状感光性ウエブの少なくとも前記保護フイルムに、剥離部分と残存部分との境界位置に対応して幅方向に切断可能な加工部位を形成する工程と、
前記残存部分を残して前記長尺状感光性ウエブから前記剥離部分を剥離させて前記感光材料層を露出させる工程と、
基板を所定の間隔で貼り付け位置に搬送する工程と、
前記加工部位を形成する間、前記貼り付け位置で前記残存部分を第１速度で移動させ、前記基板と露出した前記感光材料層との位置決め制御を行う工程と、
前記貼り付け位置を前記残存部分が通過した後、前記長尺状感光性ウエブを前記第１速度よりも速い第２速度で移動させ、露出した前記感光材料層を所定温度に加熱して前記基板に貼り付け、貼り付け基板を得る工程と、
を有することを特徴とする。

この場合、基板と感光材料層との位置決め制御が低速の第１速度で高精度に行われるとともに、基板に対する感光材料層の貼り付け処理が行われないこの間に、長尺状感光性ウエブの搬送方向に対する加工部の移動範囲を必要最小限として加工部位の形成処理が行われる。また、基板に感光材料層を貼り付ける際には、長尺状感光性ウエブに対する加工部位の形成処理を行わず、第１速度よりも高速の第２速度で長尺状感光性ウエブ及び基板を搬送し、前記形成処理によって発生するテンション変動等の影響を受けることのない状態で効率的且つ高精度に貼り付け基板が製造される。

なお、製造された貼り付け基板は、貼り付け部の下流に配設された切断部において、低速の第１速度で長尺状感光性ウエブ及び基板を搬送する間に切り離すことができる。

また、低速の第１速度で長尺状感光性ウエブ及び基板を搬送する間に、加工部位が形成された長尺状感光性ウエブの剥離部分に接着ラベルを接着する処理を行うことができる。

速度制御部による速度制御は、貼り付け部の上流に配設された検出部によって加工部位を検出し、その検出情報に従った貼り付け部と加工部位との位置関係に基づいて行うことができる。

ここで、長尺状感光性ウエブが貼り付け部に停止している時間が所定時間以上になると、長尺状感光性ウエブの貼り付け部に接触する部分と接触しない部分との間に熱の影響によるスジ状のむらが発生する。また、長尺状感光性ウエブが貼り付け部を通過するのに要する時間が所定時間以上になると、感光材料層に熱カブリが発生する。従って、これらの時間を考慮して、低速の第１速度を設定する。

この場合、前記第１速度は、スジ状のむら及び熱カブリの発生しない時間の範囲で、前記長尺状感光性ウエブの搬送を所定時間停止させる停止速度と、前記長尺状感光性ウエブを低速で移動させる低速移動速度との組み合わせとして設定することができる。

なお、長尺状感光性ウエブに形成された加工部位を貼り付け部に配置して基板を位置決め制御する間、加工部において加工部位の形成処理を行うためには、加工部から貼り付け部に至る長尺状感光性ウエブの搬送距離を、剥離部分の両側に位置する残存部分間の距離の略整数倍の距離に設定する。

本発明では、貼り付け部において長尺状感光性ウエブを低速の第１速度で搬送することにより、長尺状感光性ウエブと基板とを高精度に位置決めすることができる。

また、低速の第１速度で長尺状感光性ウエブを搬送する間に加工部を駆動して加工部位を形成するため、長尺状感光性ウエブの搬送方向に対する加工部の移動距離が少なく、従って、装置の小型化が容易に達成される。

また、低速の第１速度で長尺状感光性ウエブが搬送されるため、加工部での加工処理に要する時間を十分に確保することができる。そのため、幅員の大きな長尺状感光性ウエブの加工処理に対しても容易に対応することができる。

さらに、長尺状感光性ウエブを低速の第１速度で搬送している間、長尺状感光性ウエブの剥離部分間を連結する接着ラベルの接着処理、製造された貼り付け基板間の切断処理等を、加工部位の形成処理と並行して効率的に行うことができる。

そして、第１速度よりも高速の第２速度で長尺状感光性ウエブを搬送させ、加工部位の形成処理、接着ラベルの接着処理、貼り付け基板間の切断処理等を行わない間に、基板に対する感光材料層の貼り付け処理を行うことにより、貼り付け処理を除く前記各処理に起因する外乱によるテンション変動等の影響を受けることなく、貼り付け基板を効率的且つ高精度に製造することができる。

なお、長尺状感光性ウエブが貼り付け部に停止している時間及び通過するのに要する時間が所定時間以上とならないように第１速度を設定することで、感光材料層にスジ状のむらや熱カブリが発生することがなく、貼り付け基板を一層高精度に製造することができる。

図１は、本実施形態に係る感光性積層体の製造装置２０の概略構成図であり、この製造装置２０は、液晶又は有機ＥＬ用カラーフィルタの製作工程で、長尺状感光性ウエブ２２の感光性樹脂層２８（後述する）をガラス基板２４に熱転写する作業を行う。

図２は、製造装置２０に使用される感光性ウエブ２２の断面図である。この感光性ウエブ２２は、可撓性ベースフイルム（支持体）２６と、感光性樹脂層（感光材料層）２８と、保護フイルム３０とを積層して構成される。

図１に示すように、製造装置２０は、感光性ウエブ２２をロール状に巻回した感光性ウエブロール２２ａを収容し、この感光性ウエブロール２２ａから前記感光性ウエブ２２を送り出すウエブ送り出し機構３２と、送り出された前記感光性ウエブ２２の保護フイルム３０に幅方向に切断可能なハーフカット部位（加工部位）３４を形成するハーフカット機構３６（加工部）と、一部に非接着部３８ａを有する接着ラベル３８（図３参照）を保護フイルム３０に接着させるラベル接着機構４０（ラベル接着部）とを備える。

ラベル接着機構４０の下流には、前記感光性ウエブ２２から保護フイルム３０を所定の長さ間隔で剥離させる剥離機構４４（剥離部）と、ガラス基板２４を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に搬送する基板搬送機構４５（基板搬送部）と、前記保護フイルム３０の剥離により露出した感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に貼り付ける貼り付け機構４６（貼り付け部）とが配設される。

貼り付け機構４６における貼り付け位置の上流近傍には、感光性ウエブ２２の境界位置であるハーフカット部位３４を直接検出する検出機構４７（検出部）が配設され、前記貼り付け機構４６の下流には、各ガラス基板２４間の前記感光性ウエブ２２を切断する基板間ウエブ切断機構４８（切断部）が配設される。この基板間ウエブ切断機構４８の上流には、運転開始時に使用されるウエブ先端切断機構４８ａが設けられる。

ウエブ送り出し機構３２の下流近傍には、略使用済みの感光性ウエブ２２の後端と、新たに使用される感光性ウエブ２２の先端とを貼り付ける貼り付け台４９が配設される。この貼り付け台４９の下流には、感光性ウエブロール２２ａの巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端位置検出器５１が配設される。ここで、フイルム端位置調整は、ウエブ送り出し機構３２を幅方向に移動させて行うが、ローラを組み合わせた位置調整機構を付設して行ってもよい。なお、ウエブ送り出し機構３２は、複数の感光性ウエブロール２２ａを幅方向に配列して装填し、これらの複数の感光性ウエブロール２２ａを同時に繰り出し可能に構成してもよい。

ハーフカット機構３６は、ウエブ送り出し機構３２に収容巻回されている感光性ウエブロール２２ａのロール径を算出するためのローラ対５０の下流に配置され、感光性ウエブ２２の搬送方向（矢印Ａ方向）に移動可能に構成される。このハーフカット機構３６は、感光性ウエブ２２の搬送方向（矢印Ａ方向）に所定の距離だけ離間して配設される２枚の丸刃５２ａ、５２ｂと、丸刃５２ａ、５２ｂに対向配置され、感光性ウエブ２２を下方向から吸着する吸着プレート５３とを備える。丸刃５２ａ、５２ｂは、感光性ウエブ２２の幅方向に走行して前記感光性ウエブ２２の所定の位置にハーフカット部位３４を形成する。ハーフカット機構３６が配設される位置は、ハーフカット機構３６から貼り付け機構４６に至る感光性ウエブ２２の搬送路の長さがガラス基板２４の両端部に配置されるハーフカット部位３４間の距離の略整数倍となるように設定される。

図２に示すように、ハーフカット部位３４は、少なくとも保護フイルム３０を切断する必要があり、実際上、この保護フイルム３０を確実に切断するために感光性樹脂層２８乃至ベースフイルム２６まで切り込むよう、丸刃５２ａ、５２ｂの切り込み深さが設定される。丸刃５２ａ、５２ｂは、回転することなく固定された状態で、感光性ウエブ２２の幅方向に移動してハーフカット部位３４を形成する方式や、前記感光性ウエブ２２上を滑ることなく回転しながら前記幅方向に移動して前記ハーフカット部位３４を形成する方式が採用される。このハーフカット部位３４は、丸刃５２ａ、５２ｂに代替して、例えば、レーザ光や超音波を用いたカット方式の他、ナイフ刃、押し切り刃（トムソン刃）等で形成する方式を採用してもよい。

ハーフカット部位３４は、ガラス基板２４の間隔を設定するものであり、例えば、両側の前記ガラス基板２４にそれぞれ１０ｍｍずつ入り込んだ位置に設定される。ガラス基板２４間のハーフカット部位３４で挟まれた部分は、後述する貼り付け機構４６において感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。

ラベル接着機構４０は、ガラス基板２４間に対応して保護フイルム３０の残存部分３０ｂを残すため、剥離側前方の剥離部分３０ａａと剥離側後方の剥離部分３０ａｂとを連結する接着ラベル３８を供給する。図２に示すように、保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを挟んで、先に剥離される部分を前方の剥離部分３０ａａとする一方、後に剥離される部分を後方の剥離部分３０ａｂとする。

図３に示すように、接着ラベル３８は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム３０と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル３８は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部（微粘着を含む）３８ａを有するとともに、この非接着部３８ａの両側、すなわち、前記接着ラベル３８の長手方向両端部に、前方の剥離部分３０ａａに接着される第１接着部３８ｂと、後方の剥離部分３０ａｂに接着される第２接着部３８ｃとを有する。

図１に示すように、ラベル接着機構４０は、ハーフカット機構３６とともに感光性ウエブ２２の搬送方向（矢印Ａ方向）に移動可能に構成され、複数の接着ラベル３８を最大約２５０ｍｍ以下の間隔で離間して貼り付け可能な吸着パッド５４ａ〜５４ｅと、吸着パッド５４ａ〜５４ｅに対向配置され、感光性ウエブ２２を下方向から吸着する吸着プレート５５とを備える。

剥離機構４４は、感光性ウエブ２２の送り出し側のテンション変動を低減し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム６２を備える。サクションドラム６２の近傍には、剥離ローラ６３が配置されるとともに、この剥離ローラ６３を介して感光性ウエブ２２から鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを除いて保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる。

剥離機構４４の下流側には、感光性ウエブ２２にテンションを付与可能なテンション制御機構６６が配設される。テンション制御機構６６は、シリンダ６８を備え、このシリンダ６８の駆動作用下に、テンションダンサー７０が揺動変位することにより、このテンションダンサー７０が摺接する感光性ウエブ２２のテンションが調整可能である。なお、テンション制御機構６６は、必要に応じて使用すればよく、削除することもできる。

検出機構４７は、レーザセンサやフォトセンサ等の光電センサ７２を備えており、前記光電センサ７２は、ハーフカット部位３４の楔状の溝形状部や、保護フイルム３０の厚さによる段差、あるいは、これらの組み合わせによる変化を直接検出し、この検出信号を境界位置信号とする。光電センサ７２は、バックアップローラ７３に対向して配置される。なお、光電センサ７２に代えて、非接触変位計やＣＣＤカメラ等の画像検査手段等を用いてもよい。

検出機構４７により検出されるハーフカット部位３４の位置データは、リアルタイムで統計処理及びグラフ化が可能であり、ばらつき異常や偏りの発生時に警報を出すことができる。

また、ハーフカット部位３４を直接検出するのではなく、このハーフカット部位３４の近傍に孔部や切り欠きを形成したり、レーザ加工やアクアジェット加工による孔開けや切り込みを設けたり、インクジェットやプリンタ等によるマーキングを設けたりしてマーク部を形成し、このマーク部を検出して境界位置信号としてもよい。

基板搬送機構４５は、ガラス基板２４を挟持するように配設される複数組の基板加熱部（例えば、ヒータ）７４と、このガラス基板２４を矢印Ｃ方向に搬送する搬送部７６とを備える。基板加熱部７４では、ガラス基板２４の温度を常時監視し、異常時には、搬送部７６の停止や警報を発生するとともに、異常情報を発信して異常なガラス基板２４を後工程でＮＧ排出、品質管理又は生産管理等に活用することができる。搬送部７６には、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板２４が浮上されて矢印Ｃ方向に搬送される。ガラス基板２４の搬送は、ローラコンベアでも行える。

ガラス基板２４の温度測定は、基板加熱部７４内さらには貼り付け位置直前で行うことが好ましい。測定方法としては、接触式（例えば、熱電対）の他、非接触式であってもよい。

基板加熱部７４の上流には、複数のガラス基板２４が収容される基板ストッカー７１が設けられる。この基板ストッカー７１に収容されている各ガラス基板２４は、ロボット７５のハンド部７５ａに設けられた吸着パッド７９に吸着されて取り出され、基板加熱部７４に挿入される。

基板加熱部７４の下流には、ガラス基板２４の先端に当接してこのガラス基板２４を保持するストッパ７７と、前記ガラス基板２４の先端位置を検出する位置センサ７８とが配設される。位置センサ７８は、ガラス基板２４が貼り付け位置に向かう途中でガラス基板先端を検出し、そこから定量送ることで、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間の所定の位置に位置決めするためにある。ここで、位置センサ７８は、複数個配設して各位置におけるガラス基板２４の到着タイミングを監視し、基板搬送開始時のスリップ等による遅れをチェックするのが好ましい。なお、ガラス基板２４の加熱は、上記のような搬送加熱の他、バッチ式のオーブンを使用してロボット搬送してもよい。

貼り付け機構４６は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるゴムローラ８０ａ、８０ｂを備える。ゴムローラ８０ａ、８０ｂには、バックアップローラ８２ａ、８２ｂが摺接するとともに、前記バックアップローラ８２ｂは、ローラクランプ部８３を介してゴムローラ８０ｂ側に押圧される。

図４に示すように、ローラクランプ部８３は、駆動モータ９３を備え、この駆動モータ９３の駆動軸に連結された減速機９３ａの駆動軸９３ｂにボールねじ９４が軸着される。ボールねじ９４には、ナット部材９５が螺合するとともに、このナット部材９５は、スライドベース９６に固定される。スライドベース９６のウエブ幅方向（矢印Ｂ方向）両端には、テーパカム９７ａ、９７ｂが固着される。テーパカム９７ａ、９７ｂの高さは、矢印Ｂ１方向に向かって高くなるように設定される。テーパカム９７ａ、９７ｂ上には、ローラ９８ａ、９８ｂが載置されており、このローラ９８ａ、９８ｂは、加圧シリンダ８４ａ、８４ｂの下部に保持されている。

図１に示すように、ゴムローラ８０ａの近傍には、感光性ウエブ２２が前記ゴムローラ８０ａに接触することを防止するための接触防止ローラ８６が移動可能に配設される。貼り付け機構４６の上流近傍には、感光性ウエブ２２を予め所定温度に予備加熱するための予備加熱部８７が配設される。この予備加熱部８７は、例えば、赤外線ヒータや温風加熱器等の熱加熱手段を備える。

ガラス基板２４は、貼り付け機構４６から基板間ウエブ切断機構４８を通ってさらに矢印Ｃ方向に延在する搬送路８８を介して矢印Ｃ方向に搬送される。この搬送路８８には、フイルム搬送ローラ９０と基板搬送ローラ９２とが、ウエブ先端切断機構４８ａを介装して配設される。ゴムローラ８０ａ、８０ｂと基板搬送ローラ９２との間隔は、ガラス基板２４の一枚分の長さ以下に設定されることが好ましい。

基板間ウエブ切断機構４８及びウエブ先端切断機構４８ａは、感光性ウエブ２２及びガラス基板２４の搬送方向（矢印Ｃ方向）に移動可能に構成され、感光性ウエブ２２の幅方向に移動する切刃８９、８９ａと、切刃８９、８９ａに対向配置され、感光性ウエブ２２を上方向から吸着する吸着プレート９１、９１ａとを備える。

製造装置２０では、ウエブ送り出し機構３２、ハーフカット機構３６、ラベル接着機構４０、剥離機構４４、テンション制御機構６６及び検出機構４７が、貼り付け機構４６の上方に配置されているが、これとは逆に、前記ウエブ送り出し機構３２から前記検出機構４７を前記貼り付け機構４６の下方に配置し、感光性ウエブ２２の上下が逆になって感光性樹脂層２８がガラス基板２４の下側に貼り付けられてもよく、また、前記製造装置２０全体を直線状に構成してもよい。

製造装置２０は、図５に示すように、工程制御部１００（速度制御部）を介して全体が制御されており、この製造装置２０の各機能部毎に、基板加熱制御部１０２、ハーフカット制御部１０４、ラベル接着制御部１０６、ラミネート制御部１０８、フイルム切断制御部１１０等が設けられる。これらは、工程内ネットワーク１１２を介して工程制御部１００に接続され、工程制御部１００は、工場ネットワークを介して図示しない管理コンピュータから指示情報（条件設定や生産情報）を受け取り、生産管理や稼動管理等、生産のための情報処理を行う。

基板加熱制御部１０２は、上流工程からガラス基板２４を受け入れ、このガラス基板２４を所望の温度まで加熱して貼り付け機構４６に供給する基板搬送機構４５の動作及び該ガラス基板２４の情報のハンドリング等を制御する。

ハーフカット制御部１０４は、ハーフカット機構３６を所定のタイミングで駆動し、感光性ウエブ２２にハーフカット部位３４を形成する処理を制御し、ラベル接着制御部１０６は、ラベル接着機構４０を所定のタイミングで駆動し、感光性ウエブ２２に接着ラベル３８を接着する処理を制御する。

ラミネート制御部１０８は、検出機構４７により検出された感光性ウエブ２２のハーフカット部位３４の位置情報に基づき、貼り付け機構４６を制御する。

フイルム切断制御部１１０は、基板間ウエブ切断機構４８及びウエブ先端切断機構４８ａを所定のタイミングで駆動し、ガラス基板２４間の感光性ウエブ２２を切断し、あるいは、先端部分の不要な感光性ウエブ２２を切断する処理を制御する。

製造装置２０内は、仕切り壁１１１を介して第１クリーンルーム１１２ａと第２クリーンルーム１１２ｂとに仕切られる。第１クリーンルーム１１２ａには、ウエブ送り出し機構３２からテンション制御機構６６までの機構が収容されるとともに、第２クリーンルーム１１２ｂには、検出機構４７以降の機構が収容される。第１クリーンルーム１１２ａと第２クリーンルーム１１２ｂとは、貫通部１１４を介して連通する。

製造装置２０内は、仕切り壁１１１を設けることにより、貼り付け機構４６での加熱による熱気が上昇して感光性ウエブ２２への熱影響、例えば、表面の皺、変形、熱収縮又は延びを防止する。さらに、塵埃の発生や該塵埃が落下し易い上部（第１クリーンルーム１１２ａ）と下部（第２クリーンルーム１１２ｂ）とを遮断して、特に貼り付け機構４６のクリーン度を確保する。なお、第２クリーンルーム１１２ｂの圧力を第１クリーンルーム１１２ａの圧力よりも高圧に設定し、前記第２クリーンルーム１１２ｂに塵埃が流入することを阻止することが望ましい。

このように構成される製造装置２０の動作について、本発明に係る製造方法との関連で以下に説明する。

先ず、イニシャル（頭出し）開始時には、ウエブ送り出し機構３２に取り付けられている感光性ウエブロール２２ａから感光性ウエブ２２を繰り出し、ハーフカット機構３６、ラベル接着機構４０、剥離機構４４及び貼り付け機構４６を通してフイルム搬送ローラ９０に先端部を挟持させる（図６参照）。この場合、接触防止ローラ８６が矢印で示す方向に変位しており、感光性ウエブ２２が加熱されているゴムローラ８０ａ、８０ｂに接触しない状態に保持される。これにより、ガラス基板２４に貼り付けられる前の感光性ウエブ２２が過剰に加熱されて品質低下の惹起する事態を回避することができる。

次に、ラミネート運転時における製造装置２０を構成する各機能部の動作につき、図７に示すタイミングチャートに基づいて説明する。

先ず、図８に示すように、接触防止ローラ８６が矢印方向に上昇するとともに、フイルム搬送ローラ９０及びゴムローラ８０ａが回転駆動され、感光性ウエブ２２がゴムローラ８０ａに沿って矢印Ｃ方向に速度Ｖ１で搬送される。

このとき、ハーフカット制御部１０４により制御されるハーフカット機構３６は、吸着プレート５３が矢印方向に上昇して感光性ウエブ２２を吸着するとともに、感光性ウエブ２２の搬送速度に同期して矢印Ａ方向に速度Ｖ１で移動し、その状態において、丸刃５２ａ、５２ｂが感光性ウエブ２２の幅方向に速度Ｖ３で移動して、この感光性ウエブ２２を保護フイルム３０から感光性樹脂層２８乃至ベースフイルム２６まで切り込み、残存部分３０ｂの寸法に対応する２個所のハーフカット部位３４を形成する。これにより、感光性ウエブ２２には、残存部分３０ｂを挟んで前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとが設けられる（図２参照）。ハーフカット部位３４が形成されると、吸着プレート５３が下降して感光性ウエブ２２から離間し、ハーフカット機構３６が元の位置に復帰する。

なお、丸刃５２ａ、５２ｂが感光性ウエブ２２の幅方向に移動する速度Ｖ３は、感光性ウエブ２２が矢印Ａ方向に速度Ｖ１以下で移動している間にハーフカット部位３４の形成を完了できる速度に設定されている。また、ハーフカット部位３４を形成している間、ゴムローラ８０ｂは下降した状態になっており、貼り付け機構４６におけるガラス基板２４に対する感光性ウエブ２２の貼り付け処理は行われない。

次に、ハーフカット部位３４の形成された感光性ウエブ２２は、速度Ｖ１で連続的にラベル接着機構４０に搬送される。ラベル接着制御部１０６により制御されるラベル接着機構４０は、ハーフカット部位３４が到達した時点で吸着プレート５５が図８に示す矢印方向に上昇し、感光性ウエブ２２に形成された残存部分３０ｂ近傍のベースフイルム２６を吸着するとともに、感光性ウエブ２２に同期して矢印Ａ方向に速度Ｖ１で移動し、その状態において、吸着パッド５４ａ〜５４ｅに吸着保持された所定枚数の接着ラベル３８が保護フイルム３０の残存部分３０ｂを跨いで、前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとに一体的に接着される（図３参照）。接着ラベル３８が接着されると、吸着プレート５５が下降して感光性ウエブ２２から離間し、ラベル接着機構４０が元の位置に復帰する。

なお、ラベル接着機構４０による接着処理は、感光性ウエブ２２が矢印Ａ方向に速度Ｖ１以下で移動している間に完了するものとする。また、接着処理を行う間、貼り付け機構４６における感光性ウエブ２２の貼り付け処理は行われない。

接着ラベル３８が接着された感光性ウエブ２２は、図１に示すように、剥離機構４４に連続的に搬送される。剥離機構４４では、感光性ウエブ２２のベースフイルム２６がサクションドラム６２に吸着保持されるとともに、接着ラベル３８によって連結された保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残して前記感光性ウエブ２２から剥離される。この保護フイルム３０は、剥離ローラ６３を介して鋭角の剥離角で剥離されて保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる。

その際、感光性ウエブ２２は、サクションドラム６２により強固に保持されており、この感光性ウエブ２２から保護フイルム３０を剥離する時の衝撃が下流の前記感光性ウエブ２２に作用することがない。これにより、貼り付け機構４６に剥離の衝撃が伝わることがなく、後述するラミネート処理において、ガラス基板２４のラミネート部分にスジ状の不良個所等が発生することを良好に阻止することができる。

剥離機構４４の作用下に、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残してベースフイルム２６から剥離された後、感光性ウエブ２２は、テンション制御機構６６によってテンション調整が行われ、さらに検出機構４７で光電センサ７２によりハーフカット部位３４の検出が行われる。

感光性ウエブ２２は、ハーフカット部位３４の検出情報に基づいて、フイルム搬送ローラ９０の回転作用下に、貼り付け機構４６に定量搬送される。

一方、ガラス基板２４は、基板加熱制御部１０２により制御される基板加熱部７４によって所定温度に加熱されており、検出機構４７の光電センサ７２からの検出情報に従った所定のタイミングで基板搬送機構４５により搬送され、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間の所定の位置に臨入する。

前記の状態から、ラミネート制御部１０８の制御下に、図４に示すように、駆動モータ９３に連結された減速機９３ａの作用下にボールねじ９４が所定方向に回転すると、このボールねじ９４に螺合するナット部材９５と一体的にスライドベース９６が矢印Ｂ２方向に移動する。このため、テーパカム９７ａ、９７ｂは、ローラ９８ａ、９８ｂとの接触面が高くなり、前記ローラ９８ａ、９８ｂを上方に変位させる。従って、加圧シリンダ８４ａ、８４ｂが上昇し、バックアップローラ８２ｂ及びゴムローラ８０ｂを上昇させることにより、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間にガラス基板２４が所定のプレス圧力で挟み込まれる（図９参照）。その際、プレス圧力は、加圧シリンダ８４ａ、８４ｂのエア圧力により調整される。

このようにして感光性ウエブ２２及びガラス基板２４がゴムローラ８０ａ、８０ｂによって挟持された後、上部のゴムローラ８０ａ及びフイルム搬送ローラ９０が速度Ｖ２（Ｖ２＞Ｖ１）で回転制御されて感光性ウエブ２２及びガラス基板２４を矢印Ｃ方向に搬送し、ガラス基板２４に感光性樹脂層２８が加熱溶融されて転写（ラミネート）される。このラミネート処理の間、上流側のハーフカット機構３６及びラベル接着機構４では、ハーフカット処理及び接着処理が行われず、これらの処理によるテンション変動等がラミネート処理に影響を及ぼすことがなく、良好な状態でラミネート処理が遂行される。

なお、ラミネート条件としては、速度が１．０ｍ／ｍｉｎ〜１０．０ｍ／ｍｉｎ、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの温度が１００℃〜１５０℃、前記ゴムローラ８０ａ、８０ｂのゴム硬度が４０度〜８０度、該ゴムローラ８０ａ、８０ｂのプレス圧（線圧）が５０Ｎ／ｃｍ〜４００Ｎ／ｃｍである。

そして、図１０に示すように、ガラス基板２４の先端がフイルム搬送ローラ９０の近傍に至ると、このフイルム搬送ローラ９０が前記ガラス基板２４から離間する方向に移動する。さらに、ガラス基板２４から前方（矢印Ｃ方向）に突出する感光性ウエブ２２の先端が、ウエブ先端切断機構４８ａに対して所定の位置に至ると、フイルム切断制御部１１０の制御下に、吸着プレート９１ａが下降して感光性ウエブ２２を吸着保持する一方、切刃８９ａが感光性ウエブ２２の幅方向に移動し、不要部分である前記感光性ウエブ２２の先端が切断される。この場合、ウエブ先端切断機構４８ａは、感光性ウエブ２２に同期して矢印Ｃ方向に速度Ｖ２で移動しながら、感光性ウエブ２２を切断する。ウエブ先端切断機構４８ａは、感光性ウエブ２２の先端部を切断した後、元の待機位置に復帰し、通常運転時には使用されない。

図１１に示すように、ゴムローラ８０ａ、８０ｂを介してガラス基板２４に感光性ウエブ２２の１枚分のラミネートが終了すると、前記ゴムローラ８０ａの回転が停止される（図７、区間ａ１参照）。ゴムローラ８０ａの回転停止により感光性ウエブ２２が停止状態になった後、前記感光性ウエブ２２がラミネートされた前記ガラス基板２４（以下、貼り付け基板２４ａともいう）が基板搬送ローラ９２によりクランプされる。

そして、ゴムローラ８０ｂが、ゴムローラ８０ａから離間する方向に退避してクランプが解除される。具体的には、図４に示すように、駆動モータ９３に連結された減速機９３ａが前記とは逆方向に回転駆動され、ボールねじ９４及びナット部材９５を介してスライドベース９６が矢印Ｂ１方向に移動する。このため、テーパカム９７ａ、９７ｂは、ローラ９８ａ、９８ｂに接触する面の高さが低くなり、加圧シリンダ８４ａ、８４ｂが下降する。これにより、バックアップローラ８２ｂ及びゴムローラ８０ｂが下降してクランプの解除が行われる。

なお、ゴムローラ８０ａの回転停止に先立つ所定時間前において、ストッパ７７によるガラス基板２４の停止状態が解除され、基板搬送機構４５の搬送部７６によってガラス基板２４が速度Ｖ４で搬送され、位置センサ７８を介してアンクランプ状態となっているゴムローラ８０ａ、８０ｂ間の所定位置に臨入して待機する。

ゴムローラ８０ａの停止から所定時間（例えば、１秒）が経過した後、ゴムローラ８０ａ及び基板搬送ローラ９２の回転が開始され、ラミネート時の速度Ｖ２よりも遅い速度Ｖ１で、所定時間（例えば、３秒、図７、区間ａ２参照）、感光性ウエブ２２及び貼り付け基板２４ａが矢印Ｃ方向に搬送され、次いで、ゴムローラ８０ａ及び基板搬送ローラ９２の回転を所定時間（例えば、１秒）停止する（図７、区間ａ３参照）。このとき、感光性ウエブ２２の基板間位置２２ｂがゴムローラ８０ａの下方付近の所定位置に移動する。

ここで、貼り付け基板２４ａが作成されてから、次の貼り付け基板２４ａの作成が開始されるまでの間（区間ａ１〜ａ３）、感光性ウエブ２２は、ゴムローラ８０ａに当接した状態で搬送が停止され、あるいは、低速（搬送速度Ｖ１）で搬送されている。

この場合、搬送停止状態が短く設定されているため（例えば、１秒）、感光性樹脂層２８がゴムローラ８０ａからの熱によって悪影響を受けることがなく、ゴムローラ８０ａに接する部分と接していない部分との境界部分にスジ状のむらの発生するおそれがない。なお、感光性ウエブ２２は、低速であっても搬送状態が継続されている限り、品質上問題となるようなスジ状のむらの発生しないことが確認されている。

また、区間ａ１〜ａ３の時間を、例えば、５秒以内に制限することにより、感光性ウエブ２２の感光性樹脂層２８が熱の影響によって変質（熱カブリ）してしまうこともなく、良好な状態を維持することができる。

一方、ゴムローラ８０ａ、８０ｂによる１枚目の貼り付け基板２４ａのラミネートが終了し、感光性ウエブ２２の一部がゴムローラ８０ａに接触した状態で停止し、次いで、速度Ｖ１で移動して再び停止するまでの間（図７、区間ａ１〜ａ３）、ハーフカット機構３６を構成する吸着プレート５３が上昇して感光性ウエブ２２を吸着した後、感光性ウエブ２２と同期した速度Ｖ１で矢印Ａ方向（図１）に移動するとともに、丸刃５２ａ、５２ｂが感光性ウエブ２２の幅方向に走行し、感光性ウエブ２２にハーフカット部位３４を形成する。

なお、ハーフカット機構３６から貼り付け機構４６に至る感光性ウエブ２２の搬送路の長さは、隣接する残存部分３０ｂ間の距離（図３参照）の略整数倍となるように設定されており、ハーフカット機構３６においてハーフカット部位３４を形成している間に、貼り付け機構４６にラミネート処理を行わない残存部分３０ｂを配置させることができる。

同様にして、ラベル接着機構４０を構成する吸着プレート５５が上昇して感光性ウエブ２２を吸着した後、感光性ウエブ２２と同期した速度Ｖ１で矢印Ａ方向（図１）に移動するとともに、吸着パッド５４ａ〜５４ｅに吸着された接着ラベル３８がハーフカット機構３６によって形成されたハーフカット部位３４に接着される（図４参照）。なお、ラベル接着機構４０によるラベル接着処理は、ハーフカット機構３６によるハーフカット部位３４の形成処理と並行して行われる。

この場合、区間ａ１〜ａ３では、感光性ウエブ２２が停止し、あるいは、ラミネート時よりも低速の速度Ｖ１で搬送されているため、ハーフカット機構３６及びラベル接着機構４０の矢印Ａ方向への移動範囲が少なく、従って、これらの機構を感光性ウエブ２２の搬送方向に移動させる場合であっても、装置が大型化する懸念はない。

また、感光性ウエブ２２の搬送動作に同期して移動しながら、ハーフカット部位３４の形成及び接着ラベル３８の接着処理が行われるため、感光性ウエブ２２にテンション変動の生じるおそれがない。従って、例えば、ラベル接着機構４０と剥離機構４４との間にリザーバを設ける必要もなく、その分、装置構成を簡素化することができる。

さらに、ハーフカット機構３６及びラベル接着機構４０による処理が行われている間、貼り付け機構４６には、感光性ウエブ２２の残存部分３０ｂが配置され、ラミネート処理が行われないため、貼り付け機構４６の上流側での各処理によってテンション変動が生じたとしても、貼り付け機構４６の感光性ウエブ２２に悪影響を与えることがない。

ハーフカット機構３６及びラベル接着機構４０による処理が終了すると、吸着プレート５３、５５による感光性ウエブ２２の吸着が解除されるとともに、ハーフカット機構３６及びラベル接着機構４０の矢印Ａ方向への移動が停止され、元の位置に復帰する。

次いで、ゴムローラ８０ｂが上昇し、ゴムローラ８０ａ、８０ｂにより次なるガラス基板２４と感光性ウエブ２２とがクランプされる。そして、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ及び基板搬送ローラ９２の回転作用下にガラス基板２４及び感光性ウエブ２２が速度Ｖ２で搬送されてラミネートが開始されるとともに、貼り付け基板２４ａが矢印Ｃ方向に搬送される（図１２参照）。貼り付け基板２４ａは、図１３に示すように、それぞれの端部同士が残存部分３０ｂによって覆われている。従って、感光性樹脂層２８がガラス基板２４に転写される際、額縁状に転写を行うことができる。

この場合、ガラス基板２４に対する感光性ウエブ２２のラミネート処理が行われている間、ハーフカット機構３６によるハーフカット部位３４の形成処理、及び、ラベル接着機構４０による接着ラベル３８の接着処理は行われないため、テンション変動等の影響を受けることなく、ラミネート処理を高精度に行うことができる。また、ハーフカット部位３４の形成処理及び接着ラベル３８の接着処理に要する時間を考慮する必要がなく、感光性ウエブ２２及びガラス基板２４をラミネート処理可能な速度Ｖ２で高速搬送することができるため、貼り付け基板２４ａを効率的に製造することができる。

１枚目の貼り付け基板２４ａの搬送方向後端部が基板搬送ローラ９２に至ると、前記基板搬送ローラ９２を構成する上方ローラが上昇してクランプを解除するとともに、下方ローラと搬送路８８の回転が継続されて前記貼り付け基板２４ａが搬送される。次いで、図１４に示すように、２枚目の貼り付け基板２４ａの後端部がゴムローラ８０ａ、８０ｂの近傍に至ると、再び、前記ゴムローラ８０ａ、８０ｂ及び基板搬送ローラ９２の回転が停止される（図７、区間ａ１参照）。そして、図１５に示すように、基板搬送ローラ９２の上方ローラが下降して２枚目の貼り付け基板２４ａをクランプする一方、ゴムローラ８０ｂが下降してクランプを解除する。その後、ゴムローラ８０ａ及び基板搬送ローラ９２がラミネート時の速度Ｖ２よりも遅い速度Ｖ１で２枚目の貼り付け基板２４ａ及び感光性ウエブ２２を搬送する。

このとき、基板搬送ローラ９２を通過した１枚目の貼り付け基板２４ａと２枚目の貼り付け基板２４ａとの間の基板間位置２２ｂが基板間ウエブ切断機構４８に至ると、基板間位置２２ｂの感光性ウエブ２２が基板間ウエブ切断機構４８を構成する吸着プレート９１によって吸着される。そして、基板間ウエブ切断機構４８は、吸着プレート９１を感光性ウエブ２２とともに矢印Ｃ方向に速度Ｖ１で移動しながら切刃８９を幅方向に走行させ、貼り付け基板２４ａ間で感光性ウエブ２２を切断する。感光性ウエブ２２を切断した基板間ウエブ切断機構４８は、元の位置に戻される。

なお、貼り付け機構４６から基板間ウエブ切断機構４８に至る搬送路の長さは、貼り付け基板２４ａの搬送方向の長さの略整数倍となるように設定されており、貼り付け機構４６にラミネート処理を行わない残存部分３０ｂが配置されている間に、基板間ウエブ切断機構４８によって切断処理を行うことができる。従って、切断処理によるテンション変動等が貼り付け基板２４ａの製造に影響を与えることはない。

なお、基板間ウエブ切断機構４８が感光性ウエブ２２を切断する間、上流側に配設されたハーフカット機構３６及びラベル接着機構４０は、感光性ウエブ２２に対するハーフカット部位３４の形成処理及び接着ラベル３８の接着処理を並行して行う。

以上の処理は、３枚目以降の貼り付け基板２４ａに対して同様にして行われる。そして、貼り付け基板２４ａ間が切断された後、ベースフイルム２６及び残存部分３０ｂが貼り付け基板２４ａから剥離されて感光性積層体１１６（図１）が製造される。

なお、上述した実施形態では、貼り付け基板２４ａ間の感光性ウエブ２２を基板間ウエブ切断機構４８によって切断した後、個々の貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６及び残存部分３０ｂを剥離して感光性積層体１１６を製造するようにしているが、貼り付け基板２４ａ間の感光性ウエブ２２を切断することなく、ベースフイルム２６を連続的に巻き取るとともに、残存部分３０ｂを剥離して感光性積層体１１６を製造するようにしてもよい。この場合、基板間ウエブ切断機構４８は、不要である。

本実施形態に係る製造装置の概略構成図である。 前記製造装置に使用される長尺状感光性ウエブの断面図である。 前記長尺状感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。 前記製造装置を構成する貼り付け機構の正面説明図である。 前記製造装置の制御ブロック図である。 感光性ウエブを前記製造装置に設定する初期状態の一部説明図である。 前記製造装置の動作のタイミングチャートである。 イニシャル開始状態を示す前記製造装置の一部説明図である。 ラミネートの開始状態を示す前記製造装置の一部説明図である。 ラミネート開始後におけるウエブ先端の切断状態を示す前記製造装置の一部説明図である。 １枚目のラミネート終了時の状態を示す前記製造装置の一部説明図である。 ２枚目のラミネート開始状態を示す前記製造装置の一部説明図である。 前記ガラス基板に感光性樹脂層が転写された状態の説明図である。 ２枚目のラミネート終了時の状態を示す前記製造装置の一部説明図である。 貼り付け基板間の前記感光性ウエブを切断する動作を示す前記製造装置の一部説明図である。 特許文献１のフイルム貼り付け装置の概略構成図である。

符号の説明

２０…製造装置 ２２…感光性ウエブ
２４…ガラス基板 ２６…ベースフイルム
２８…感光性樹脂層 ３０…保護フイルム
３２…ウエブ送り出し機構 ３４…ハーフカット部位
３６…ハーフカット機構 ３８…接着ラベル
４０…ラベル接着機構 ４４…剥離機構
４５…基板搬送機構 ４６…貼り付け機構
４７…検出機構 ４８…基板間ウエブ切断機構
６６…テンション制御機構 ８０ａ、８０ｂ…ゴムローラ
８６…接触防止ローラ ９０…フイルム搬送ローラ
９２…基板搬送ローラ １００…工程制御部
１０２…基板加熱制御部 １０４…ハーフカット制御部
１０６…ラベル接着制御部 １０８…ラミネート制御部
１１０…フイルム切断制御部

Claims (12)

1. 支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層される長尺状感光性ウエブの少なくとも前記保護フイルムに、剥離部分と残存部分との境界位置に対応して幅方向に切断可能な加工部位を形成する加工部と、
   前記残存部分を残して前記長尺状感光性ウエブから前記剥離部分を剥離させる剥離部と、
   基板を所定の間隔で貼り付け位置に搬送する基板搬送部と、
   前記貼り付け位置で、前記残存部分を前記基板間に配設する一方、前記剥離部分が剥離されて露出した前記感光材料層を所定温度に加熱し、前記基板に貼り付けて貼り付け基板を得る貼り付け部と、
   前記残存部分が前記貼り付け部を移動する第１速度を低速に制御し、露出した前記感光材料層が前記貼り付け部を移動する第２速度を前記第１速度よりも速い高速に制御する速度制御部と、
   を備え、前記第１速度による制御を行う間、前記貼り付け部における前記基板と露出した前記感光材料層との位置決め制御を行うとともに、少なくとも前記加工部による前記加工部位の形成処理を行い、前記第２速度による制御を行う間、前記感光材料層を前記基板に貼り付ける貼り付け処理を行うことを特徴とする感光性積層体の製造装置。
2. 請求項１記載の製造装置において、
   前記貼り付け部の下流には、前記残存部分及び前記支持体を前記貼り付け基板間で切断する切断部が配設され、前記切断部は、前記第１速度による制御を行う間に切断処理を行うことを特徴とする感光性積層体の製造装置。
3. 請求項１記載の製造装置において、
   前記加工部の下流には、前記残存部分の両側に位置する前記剥離部分を連結する接着ラベルを接着するラベル接着部が配設され、前記ラベル接着部は、前記第１速度による制御を行う間に前記接着ラベルの前記剥離部分への接着処理を行うことを特徴とする感光性積層体の製造装置。
4. 請求項１〜３のいずれか１項に記載の製造装置において、
   前記貼り付け部の上流には、前記加工部位を検出する検出部が配設され、前記速度制御部は、前記検出部により検出された前記加工部位の検出情報に従い、前記第１速度及び前記第２速度を制御することを特徴とする感光性積層体の製造装置。
5. 請求項１〜４のいずれか１項に記載の製造装置において、
   前記第１速度による制御は、少なくとも前記加工部による前記加工部位の形成処理に要する時間を確保し、且つ、前記貼り付け部における前記感光材料層に対する熱の影響が生じない時間以内で行われることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
6. 請求項５記載の製造装置において、
   前記第１速度は、前記長尺状感光性ウエブの搬送を所定時間停止させる停止速度と、前記長尺状感光性ウエブを低速で移動させる低速移動速度との組み合わせとして設定されることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
7. 請求項１〜６のいずれか１項に記載の製造装置において、
   前記加工部から前記貼り付け部に至る前記長尺状感光性ウエブの搬送距離は、前記剥離部分の両側に位置する前記残存部分間の距離の略整数倍に設定されることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
8. 支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層される長尺状感光性ウエブを送り出す工程と、
   送り出された前記長尺状感光性ウエブの少なくとも前記保護フイルムに、剥離部分と残存部分との境界位置に対応して幅方向に切断可能な加工部位を形成する工程と、
   前記残存部分を残して前記長尺状感光性ウエブから前記剥離部分を剥離させて前記感光材料層を露出させる工程と、
   基板を所定の間隔で貼り付け位置に搬送する工程と、
   前記加工部位を形成する間、前記貼り付け位置で前記残存部分を第１速度で移動させ、前記基板と露出した前記感光材料層との位置決め制御を行う工程と、
   前記貼り付け位置を前記残存部分が通過した後、前記長尺状感光性ウエブを前記第１速度よりも速い第２速度で移動させ、露出した前記感光材料層を所定温度に加熱して前記基板に貼り付け、貼り付け基板を得る工程と、
   を有することを特徴とする感光性積層体の製造方法。
9. 請求項８記載の製造方法において、
   前記長尺状感光性ウエブを前記第１速度で移動させる間、前記残存部分及び前記支持体を前記貼り付け基板間で切断する工程を有することを特徴とする感光性積層体の製造方法。
10. 請求項８記載の製造方法において、
    前記長尺状感光性ウエブを前記第１速度で移動させる間、前記残存部分の両側に位置する前記剥離部分を連結する接着ラベルを接着する工程を有することを特徴とする感光性積層体の製造方法。
11. 請求項８〜１０のいずれか１項に記載の製造方法において、
    前記第１速度による制御は、少なくとも前記加工部位の形成処理に要する時間を確保し、且つ、前記貼り付け位置における前記感光材料層に対する熱の影響が生じない時間以内で行われることを特徴とする感光性積層体の製造方法。
12. 請求項１１記載の製造方法において、
    前記第１速度は、前記長尺状感光性ウエブの搬送を所定時間停止させる停止速度と、前記長尺状感光性ウエブを低速で移動させる低速移動速度との組み合わせとして設定されることを特徴とする感光性積層体の製造方法。

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