JP2000085011A

JP2000085011A - フィルム張付装置

Info

Publication number: JP2000085011A
Application number: JP10224771A
Authority: JP
Inventors: Kenji Kitagawa; 健次北川; Shigeru Yamamoto; 山本　　茂
Original assignee: Somar Corp
Current assignee: Somar Corp
Priority date: 1998-07-16
Filing date: 1998-08-07
Publication date: 2000-03-28
Also published as: TW505565B; EP0973066A1

Abstract

(57)【要約】【課題】フィルム張付装置において、張り付けられた
積層体フィルムと基板との間での気泡の抱き込み等を防
止する。【解決手段】フィルム張付装置１０は、予備接着ロー
ル２０Ａ、２０Ｂ及びラミネーティングロール２１Ａ、
２１Ｂを備え、フィルムロール１８から巻き出された積
層体フィルム１２を、基板搬送装置１４によって搬送さ
れてくる基板１６と共に、これら上記ロール間を通して
圧着するものであり、予備接着ロール２０Ａ、２０Ｂ
は、その直径をラミネーティングロール２１Ａ、２１Ｂ
の直径よりも小さくし、且つ予備接着ロール２０Ａ、２
０Ｂによる基板１６、積層体フィルム１２の挟み込み開
始時の、ロール表面の弾性変形域Ｓ１の範囲を小さくす
ることにより、空気抱き込み等発生可能範囲を小さく限
定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、プリント配線板
用基板あるいは液晶表示装置、プラズマ表示装置のガラ
ス基板に例示される基板の表面にラミネーティングロー
ルによりフィルムを張付けるためのフィルム張付装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】コンピュータ等の電子機器に使用される
プリント配線板の製造過程において、プリント配線板用
基板の（基板幅は通常６１０ｍｍ、最大でも６５０ｍ
ｍ）表面の導電層に、透光性支持フィルム（通常はポリ
エステルに代表される樹脂フィルム）上に感光性樹脂層
が形成され、且つ、これがカバーフィルムによって覆わ
れた積層体フィルムを、カバーフィルムを剥して張付け
る。そして、この後、配線パターンフィルムを重ね、こ
の配線パターンフィルム及び前記透光性支持フィルムを
通して、感光性樹脂層を所定時間露光する。次いで、透
光性支持フィルムを剥した後、露光された感光性樹脂層
を現像してエッチングマスクパターンを形成し、この
後、前記導電層の不必要部分をエッチングにより除去
し、これにより、所定の配線パターンを有するプリント
配線板が形成される。又、液晶表示装置、プラズマ表示
装置のガラス基板に表示セルを形成する工程で同様の積
層体フィルムが張付けられる。

【０００３】上記のような積層体フィルムを張付けるた
めのフィルム張付装置は、フィルム供給ロールに装填さ
れている連続フィルムを、フィルム分離部材によりカバ
ーフィルムを剥した後に、搬送手段により搬送されてく
る基板の先端に感光性樹脂層が該基板側となるように導
き、基板に対して近接及び離反移動可能な仮付け部材に
よって該基板の先端に仮付けした後、ラミネーティング
ロールにより、フィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬
送するようにされているものがある。基板へのフィルム
圧着張付けは、張付け長さが基板長にほぼ対応した長さ
となるように行われており、その長さとなるように供給
フィルムはフィルム仮付け部材自体又はその近傍の部材
に設けられたフィルム切断手段で切断される。

【０００４】前記フィルム仮付け部材は、例えば特公平
４−９６５６号公報に開示されるように、表面にフィル
ムを吸着するための複数の吸着孔（溝）が設けられたメ
インバキュームプレートと、このメインバキュームプレ
ートのフィルム供給方向先端側に設けられた円弧形状又
は三角形状のフィルム仮付け部材本体とから構成され、
全体として、フィルムの供給及び仮付け動作が行えるよ
うに、基板に対して近接および離反移動するようにされ
ている。

【０００５】他の圧着方式として、基板を一定間隔で順
次搬送しつつ、これに沿って積層体フィルムを切断する
ことなく連続的に並行して供給し、両者を回転する一対
のラミネーティングロール間に送り込み、熱圧着する連
続張りタイプのものがある。

【０００６】連続張りタイプのフィルム張付装置におい
ては、フィルム供給ロールから積層体フィルムを巻き出
し、カバーフィルムを連続的に剥離しつつラミネーティ
ングロール方向に送り込むので、積層体フィルムの巻き
出し先端部は、予めカバーフィルムを剥離した状態で、
ラミネーティングロール入側のガイドロール、及びラミ
ネーティングロールを通して、通常、ラミネーティング
ロール出側に配置されているピンチロールによって挟み
込んでから、あるいは、前述の仮付部材により先頭基板
の先端に仮付けしてから張付作業を開始することにな
る。

【０００７】上記のような、一対のラミネーティングロ
ールによって積層体フィルムを基板に圧着する場合、ラ
ミネーティングロールは誘導加熱等の手段によって所定
温度（１３０℃前後）に加熱されていて、積層体フィル
ムにおける感光性樹脂層の加熱と基板への熱圧着とを同
時に行うようにしているので、基板に張り付けられた状
態での積層体フィルムにしわや弛みや空気の抱き込みが
生じてしまうことがあるという問題点があった。

【０００８】これに対して、特開昭５７−１９８６９３
号公報、あるいは特公平２−６１０２４号公報には、プ
リント配線板用基板用ラミネータにおいてラミネーティ
ングロールを２段構成とし、第１段において熱圧着温度
より低い温度で圧着して予備接着し、第２段において熱
圧着温度で加圧して接着を完成するようにした２段フィ
ルム張付方法が提案されている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ここで、近年、例えば
プラズマディスプレイ用基板の場合、そのサイズが７０
０ｍｍ×９００ｍｍあるいは８００ｍｍ×１１００ｍｍ
等の非常に大型化し、これに対応して、当然ラミネーテ
ィングロールのロール面長（基板を押圧する領域の軸方
向長さ）も、７００ｍｍ、８００ｍｍを超える長大なも
のとなっている。

【００１０】このように、ラミネーティングロールの長
さ（スパン）を大きくした場合、ラミネーティングロー
ルの径も大きくなる。

【００１１】このラミネーティングロールは通常、金属
ロールの外周にゴムを張り付けて形成されていて、基板
にフィルムを張り付ける際には、圧下力によりフィルム
との接触面が平面状に弾性変形する。

【００１２】ここで、前記一対のラミネーティングロー
ルは、連続張りの場合、及び、仮付部材によってフィル
ム先端を基板に張り付けする場合のいずれにおいても、
基板の先端が圧着位置に入り込むまで、回転しつつ
「開」状態で基板搬送面から離間した位置に待機してい
て、基板の先端が一対のラミネーティングロールの軸間
点をわずかに越える圧着位置に搬入されたとき、その先
端を挟み込むようにして「閉」状態となり、圧着を開始
する。

【００１３】これは、ラミネーティングロールが、基板
先端の角部に衝突して基板を押し戻したり、ロール外周
が損傷したりすることを防止するものであるが、一対の
ラミネーティングロールが基板及びフィルムの挟み込み
を開始したときに、ラミネーティングロールの外周に張
付けられているゴムライニングが、前述のように主とし
てフィルム厚さ方向に弾性変形して、フィルムと基板間
の空気を押し出したり、しわ伸ばしする方向の変形が少
ないので、基板挟み込み時に弾性変形する部分に接触す
る範囲で、張付後に、積層体フィルムにしわ、弛み、空
気の抱き込みが生じ易く、上記２段フィルム張付方法で
も解決できなかった。

【００１４】このため、前述のように、基板が非常に大
型化し、これに対応してラミネーティングロールの外径
が大きくなると、前記空気抱き込み等が生じ易い範囲も
当然大きくなり、基板の全面積に対するパターン露光可
能領域の面積が小さくなり、著しく有効面積率が低下し
てしまうという問題点を生じている。

【００１５】更に、連続張りタイプのフィルム張付装置
での空気抱き込み等が生じ易い範囲において、各基板の
端縁近傍位置で、カバーフィルムと感光性樹脂層をフィ
ルム幅方向にハーフカットし、基板間に対応する部分の
カバーフィルムを残して基板に張り付けるようにしたも
のがあるが、この場合、前記ハーフカット線を、前記空
気抱き込み等が生じ易い範囲に設定するのが不適当であ
るので、パータン露光領域とならない基板部分及びフィ
ルム部分が増大して無駄が多くなるという問題点があ
る。

【００１６】この発明は、上記従来の問題点に鑑みてな
されたものであって、上記のような張付後に、積層体フ
ィルムにしわ、弛み、空気の抱き込みが生じる範囲を小
さく抑制できるようにしたフィルム張付装置を提供する
ことを目的とする。

【００１７】

【課題を解決するための手段】この発明は、請求項１の
ように、基板搬送面に沿って、複数の基板を間隔をもっ
て順次搬送する基板搬送装置と、透光性支持フィルムに
少なくとも感光性樹脂層を積層してなる前記基板幅と略
等しい幅の積層体フィルムを、露出された前記感光性樹
脂層が前記搬送されてくる基板の一方の面に向けた状態
で、該基板に向けて案内するフィルムガイド手段と、外
周に弾性材料が積層されていて、加熱されつつ回転し、
前記積層体フィルム及び基板を挟み込んで送りつつ、熱
圧着温度でこれらを熱圧着する一対のラミネーティング
ロールと、を有してなるフィルム張付装置において、前
記ラミネーティングロールの上流側に、外周に弾性材料
が積層されていて、前記積層体フィルムと基板とを挟み
込んで送りつつ、これらを熱圧着温度よりも低い温度で
圧着して予備接着するための回転する一対の予備接着ロ
ールを設け、前記積層体フィルムを基板に圧着する側
の、前記予備接着ロールにおける、その直径、及び、積
層体フィルム及び基板を挟み込んだときの圧下力を、ロ
ール表面のフィルムを介して基板に接触して平面状に弾
性変形する範囲が、基板搬送方向に５ｍｍ以下となるよ
うにして上記目的を達成するものである。

【００１８】又、この発明は、請求項２のように、基板
搬送面に沿って、複数の基板を間隔をもって順次搬送す
る基板搬送装置と、透光性支持フィルムに少なくとも感
光性樹脂層を積層してなる前記基板幅と略等しい幅の積
層体フィルムを、露出された前記感光性樹脂層が前記搬
送されてくる基板の一方の面に向けた状態で、該基板に
向けて案内するフィルムガイド手段と、ロール面長が７
００ｍｍ以上で、外周に弾性材料が積層されていて、加
熱されつつ回転し、前記積層体フィルム及び基板を挟み
込んで送りつつ、熱圧着温度でこれらを熱圧着する一対
のラミネーティングロールと、を有してなるフィルム張
付装置において、前記ラミネーティングロールの上流側
に、外周に弾性材料が積層されていて、前記積層体フィ
ルムと基板とを挟み込んで送りつつ、これらを熱圧着温
度よりも低い温度で圧着して予備接着するための回転す
る一対の予備接着ロールを設け、前記積層体フィルムを
基板に圧着する側の、前記予備接着ロールにおける、そ
の直径、及び、積層体フィルム及び基板を挟み込んだと
きの圧下力を、ロール表面のフィルムを介して基板に接
触して平面状に弾性変形する範囲が、基板搬送方向に５
ｍｍ以下となるようにして上記目的を達成するものであ
る。

【００１９】又、この発明は請求項３のように、基板搬
送面に沿って、複数の基板を間隔をもって順次搬送する
基板搬送装置と、透光性支持フィルムに少なくとも感光
性樹脂層を積層してなる前記基板幅と略等しい幅の積層
体フィルムを、露出された前記感光性樹脂層が前記搬送
されてくる基板の一方の面に向けた状態で、該基板に向
けて案内するフィルムガイド手段と、ロール面長が８０
０ｍｍ以上で、外周に弾性材料が積層されていて、加熱
されつつ回転し、前記積層体フィルム及び基板を挟み込
んで送りつつ、熱圧着温度でこれらを熱圧着する一対の
ラミネーティングロールと、を有してなるフィルム張付
装置において、前記ラミネーティングロールの上流側
に、外周に弾性材料が積層されていて、前記積層体フィ
ルムと基板とを挟み込んで送りつつ、これらを熱圧着温
度よりも低い温度で圧着して予備接着するための回転す
る一対の予備接着ロールを設け、前記積層体フィルムを
基板に圧着する側の前記予備接着ロールにおける、その
直径、及び、積層体フィルム及び基板を挟み込んだとき
の圧下力を、ロール表面のフィルムを介して基板に接触
して平面状に弾性変形する範囲が、基板搬送方向に５ｍ
ｍ以下となるようにして上記目的を達成するものであ
る。

【００２０】前記フィルム張付装置において、前記予備
接着ロールの直径を５０〜１２０ｍｍとしてもよい。

【００２１】又、前記予備接着ロールの直径をラミネー
ティングロールの直径の０．１〜０．８倍としてもよ
い。

【００２２】更に、前記ラミネーティングロールの直径
を１１０ｍｍ〜３００ｍｍとしてもよい。

【００２３】前記フィルム張付装置において、前記ラミ
ネーティングロールは直径が１１０ｍｍ〜３００ｍｍで
あり、前記予備接着ロールの直径は、ラミネーティング
ロールの直径の０．１〜０．８倍としてもよい。

【００２４】前記フィルム張付装置において、前記予備
接着ロールを非加熱ロールとしてもよい。

【００２５】又、前記フィルム張付装置において、前記
予備接着ロールに、基板と反対側から平行に転接するバ
ックアップロールを設けてもよい。

【００２６】前記フィルム張付装置において、前記ラミ
ネーティングロールの下流側に、基板及びこれに張り付
けられている積層体フィルムを搬送しつつ、基板の前後
端から突出した位置で前記積層体フィルムを幅方向に切
断するフィルム切断装置を設けてもよい。

【００２７】前記フィルム張付装置において、前記予備
接着ロールと前記ラミネーティングロールとの間の位置
に、基板及びこれに張り付けられている積層体フィルム
を搬送しつつ、基板の前後端から突出した位置で前記積
層体フィルムを幅方向に切断するフィルム切断装置を設
けると共に、このフィルム切断装置及び前記予備接着ロ
ールに対して、前記ラミネーティングロールを着脱自在
としてもよい。

【００２８】更に、前記フィルム張付装置において、前
記フィルムガイド手段を前記基板搬送面の上下に設け、
前記積層体フィルムが、前記上下のフィルムガイド手段
により前記基板の上面及び下面に別個に案内され、基板
の上面及び下面に同時に張付けられるようにしてもよ
い。

【００２９】この発明においては、予備接着ロールを、
基板にフィルムを押圧するときのロール外周の弾性変形
域の範囲が小さくなるように設定することによって、し
わ、弛み、空気の抱き込みが発生し易い範囲が少ない状
態で予備接着し、この予備接着での上記範囲以外には、
空気の抱き込みが生じない状態としておいて、所定のラ
ミネーティングロールでの熱圧着により接着を完了す
る。又、ラミネーティングロールは、仮付部材等の他の
部材から離間した位置に設けることができるので、その
外径を十分大きなものとして、確実なフィルム接着をす
ることができる。

【００３０】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態の例につ
いて図面を参照して詳細に説明する。

【００３１】図１は、本発明の実施の形態の例に係るフ
ィルム張付装置１０を示す。

【００３２】このフィルム張付装置１０は、基板搬送面
１４Ａに沿って幅が８００ｍｍ以上の複数の基板１６を
一定間隔で順次搬送する基板搬送装置１４と、前述のよ
うな積層体フィルム１２をロールにしてなるフィルムロ
ール１８と、このフィルムロール１８と予備接着ロール
２０Ａ、２０Ｂとの間にフィルムロール１８側から、ハ
ーフカッター２２、カバーフィルム剥離装置２４、サク
ションロール２６、フリー回転のガイドロール２８Ａ、
フィルムガイドロール５２をこの順で配置し、フィルム
ロール１８から巻き出した積層体フィルム１２の、カバ
ーフィルム１２Ｃを所定位置で、前記ハーフカッター２
２によって切断してハーフカット線を形成し、次に、カ
バーフィルム剥離装置２４によって、カバーフィルム１
２Ｃの、各ハーフカット線間部分のうち基板１６に張付
けるべき部分のみを間欠的に剥離し、感光性樹脂層１２
Ｂを露出させた状態で、前記予備接着ロール２０Ａ、２
０Ｂ間に送り込み、ここで、基板搬送装置１４によって
搬送されてくる基板１６の対応箇所に露出された感光性
樹脂層１２Ｂが重なるようにして、前記予備接着ロール
２０Ａ、２０Ｂにより圧着して予備接着した後に、更
に、一対のラミネーティングロール２１Ａ、２１Ｂ間に
通して熱圧着して、完全に接着するものである。

【００３３】前記予備接着ロール２０Ａ、２０Ｂとラミ
ネーティングロール２１Ａ、２１Ｂのロール面長（基板
を押圧する領域の軸方向長さ）は各々、基盤の幅よりも
長くされている。

【００３４】これら予備接着ロール２０Ａ、２０Ｂ及び
ラミネーティングロール２１Ａ、２１Ｂは、金属製ロー
ルの外周に、シリコーンゴム、あるいは表面がフッ素樹
脂等の非粘着性被膜で被覆されたシリコーンゴム等の弾
性材料２３を設けて構成され、又、熱誘導加熱装置のよ
うなヒーター（図示省略）を内蔵し、装置の運転開始に
先立って、ラミネーティングロール２１Ａ、２１Ｂは表
面が熱圧着温度（１００°〜１５０℃）にまで加熱さ
れ、運転中は常時回転されている。

【００３５】前記弾性材料２３は、これがゴムの場合は
厚さ１．５〜３ｍｍ、ゴム硬度は、５０°〜８５°（Ｊ
ＩＳ法；Ａ型硬度計による）、圧下力は、予備接着ロー
ル２０Ａ、２０Ｂにおいて１〜３０ｋｇ／ｃｍ²とされ
ている。

【００３６】ラミネーティングロール２１Ａ、２１Ｂに
おいては、単独で積層体フィルム１２を基板に接着でき
る範囲で、圧下力が３〜５０ｋｇ／ｃｍ²、直径が１１
０〜３００ｍｍと十分に大きく、単独で積層体フィルム
１２を基板１６に熱圧着して完全に接着できるようにさ
れている。これに対して予備接着ロール２０Ａ、２０Ｂ
は、ラミネーティングロール２１Ａ、２１Ｂより小径
で、且つ、直径と圧下力が、基板１６と積層体フィルム
１２とを挟み込んだときの、ロール表面の平面状に弾性
変形する範囲が基板搬送方向に５ｍｍ以下となるように
されている。

【００３７】前記のように平面状に弾性変形する範囲が
５ｍｍ以下となるようにする場合には、予備接着ロール
２０Ａの直径が大きくても圧下力を小さくすればよい
が、圧下力が小さいと予備接着ができないことがあるの
で、予備接着ロール２０Ａの直径をラミネーティングロ
ール２１Ａの直径の０．１〜０．８倍あるいは５０〜１
２０ｍｍとし、これらと圧下力の選択によるとよい。

【００３８】具体的には、基板１６の幅が８００ｍｍの
とき、予備接着ロール２０Ａ、２０Ｂとラミネーティン
グロール２１Ａ、２１Ｂの直径を、８４ｍｍと１１０ｍ
ｍ（径比０．７６４）、１１０ｍｍと１６０ｍｍ（径比
０．６８８）、１１０ｍｍと２００ｍｍ（径比０．５
５）のようにする。

【００３９】又、予備接着ロール２０Ａ、２０Ｂも運転
中は常時回転されると共に、ヒータにより、その表面
が、ラミネーティングロール２１Ａ、２１Ｂよりも低い
温度、例えば６０℃前後に加熱されるようになってい
る。

【００４０】前記積層体フィルム１２は、透光性支持フ
ィルム１２Ａ上に前記感光性樹脂層１２Ｂ及びカバーフ
ィルム１２Ｃをこの順で積層したものである。

【００４１】前記透光性支持フィルム１２としては、一
般にポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリプレ
ピレンその他のポリマーから作られた帯状フィルム（一
般に１０〜２００μｍの厚さを有する）が使用できる。
前記感光性樹脂層１２Ｂは、一般に厚さ１０〜５０μｍ
のポリビニルアルコール等の中間層を含んでおり（含ま
ないこともある）、この中間層に１〜５０μｍの厚さの
光重合性レジスト層を形成したものであり、中間層は透
光性支持フィルム１２Ａとの接着力よりも強い接着力で
光重合性レジスト層に接着している。なお、光重合性レ
ジストの材料は特に限定されない。カバーフィルム１２
Ｃは厚さ１０〜５０μｍのＰＥＴフィルム等からなり、
感光性樹脂層１２Ｂに弱く接着されている。

【００４２】前記ラミネーティングロール２１Ａ、２１
Ｂの出側には、第１ニップロール３０、フルカッター３
２、及び、第２ニップロール３４が、ラミネーティング
ロール２１Ａ、２１Ｂ側からこの順で基板搬送方向に配
置されている。

【００４３】前記フィルムロール１８の出側近傍には上
下一対のフリーロール３６Ａ、３６Ｂが配置され、上側
のフリーロール３６Ａの上端と、前記サクションロール
２６の上端とがほぼ同一水平面上に位置するようにされ
ている。

【００４４】又、前記サクションロール２６は、その表
面に多数の吸引孔（図示省略）が形成され、ここに印加
される負圧によって、巻き掛けられている積層体フィル
ム１２を吸着し、前記フリーロール３６Ａ、３６Ｂとの
間及び予備接着ロール２０Ａ、２０Ｂとの間で積層体フ
ィルム１２に所定の張力を付与できるようにされてい
る。

【００４５】なお、前記フィルムロール１８に、トルク
モータ１８Ａによりフィルム巻取り方向のトルクがかけ
られた状態で積層体フィルム１２が巻き出されることに
より、積層体フィルム１２に引張力（後述のサクション
ロール２６との間での張力は、積層体フィルム１２の幅
が１０００ｍｍのとき、２〜１０Ｋｇ好ましくは５Ｋｇ
前後がよい）が発生するようにされている。

【００４６】又、前記フリーロール３６Ａには、ロータ
リエンコーダ３８が接続され、積層体フィルム１２がサ
クションロール２６方向に送られるときのフリーロール
３６Ａの回転数に応じたパルスを制御装置４０（図２参
照）に出力するようにされている。

【００４７】前記ハーフカッター２２は、図３及び図４
に示されるように、前記サクションロール２６とフリー
ロール３６Ａとの間で水平に送られる積層体フィルム１
２の送り面とほぼ一致する吸着面４２Ａを備えたカッタ
ー台４２と、このカッター台４２の上面に沿ってフィル
ム幅方向に往復動自在の一対のディスクカッター４４
Ａ、４４Ｂとを有して構成され、これらカッター台４２
及びディスクカッター４４Ａ、４４Ｂを、積層体フィル
ム１２と等速でその送り方向に移動させつつ、該ディス
クカッター４４Ａ、４４Ｂをフィルム幅方向に移動し
て、積層体フィルム１２の図において上面側のカバーフ
ィルム１２Ｃ及び感光性樹脂層１２Ｂを、透光性支持フ
ィルム１２Ａの厚さ方向一部を残して切断するようにさ
れている。

【００４８】前記一対のディスクカッター４４Ａ、４４
Ｂは、積層体フィルム１２の送り方向に離間して設けら
れ、且つその距離は、図５に示されるように、前記基板
搬送面１４Ａ上を搬送される先行基板１６の後端と後行
基板１６の先端間の距離よりもわずかに大きくなるよう
にされている。

【００４９】前記カッター台４２及びディスクカッター
４４Ａ、４４Ｂの、積層体フィルム送り方向の往復動は
ラックアンドピニオン機構４６により、又、ディスクカ
ッター４４Ａ、４４Ｂのフィルム幅方向の往復動は、一
軸ロボット４８によってそれぞれなされ、これらラック
アンドピニオン機構４６及び一軸ロボット４８は、前記
制御装置４０によって制御される。

【００５０】前記ラックアンドピニオン機構４６は、カ
ッター台４２と一体のラック４６Ａと、このラック４６
Ａをフィルム送り方向、且つ、水平に往復動自在に支持
するレール４６Ｂと、前記ラック４６Ａと噛み合って、
これをレール４６Ｂに沿って駆動するピニオン４６Ｃ
と、を含んで構成されている。前記制御装置４０はピニ
オン４６Ｃの入力軸に連結されたパルスーモータ（図示
省略）を制御するようにされている。

【００５１】前記カッター台４２はフィルム幅方向に長
く配置され、その上面に、前記ディスクカッター４４
Ａ、４４Ｂの刃先を受ける、例えば合成樹脂からなる棒
状のカッター受け４５Ａ、４５Ｂがフィルム幅方向に埋
込み配置されている。

【００５２】前記ラック４６Ａ上には前記一軸ロボット
４８が配置され、この一軸ロボット４８はボールねじ機
構（図示省略）を有し、前記ディスクカッター４４Ａ、
４４Ｂを支持する支持台４５をフィルム幅方向に駆動す
るようにされている。

【００５３】前記カバーフィルム剥離装置２４は、図
１、図６に示されるように、前記ハーフカッター２２と
サクションロール２６の間の位置で、フィルム通過面１
３における積層体フィルム１２の下側に接触する受けロ
ール２４Ａ、２４Ｂと、サクションロール２６に近い側
の前記受けロール２４Ｂに上方から離接自在のタッチロ
ール２４Ｃと、片面に粘着層が形成され、その粘着層を
図１、図６において下側にして、前記タッチロール２４
Ｃに巻き掛けられた粘着テープ２４Ｄと、この粘着テー
プ２４Ｄの先端を巻き取る巻取り装置２４Ｅと、を備え
ている。

【００５４】符号２４Ｆは、前記受けロール２４Ａの上
側位置で、受けロール２４Ａと共に自重により、積層体
フィルム１２を挟み込み、カバーフィルム１２Ｃが上向
きに引張られるときに積層体フィルム１２が浮き上がる
ことを防止するためのニップロール、２４Ｇは、粘着テ
ープ２４Ｄの供給源であるテープロール２４Ｈに巻出し
抵抗を付与することによって、粘着テープ２４Ｄに張力
を与えるためのテープブレーキ、２４Ｉ、２４Ｊは、タ
ッチロール２４Ｃと巻取り装置２４Ｅとの間で粘着テー
プ２４Ｄを挟み込むニップロール、２４Ｋは、ニップロ
ール２４Ｊを前記積層体フィルム１２の送り速度と等速
で、粘着テープ２４Ｄを巻取る方向に駆動させるモー
タ、２４Ｌは、巻取り装置２４Ｅにおける巻取りロール
を駆動するためのトルクモータ、２４Ｍは、前記タッチ
ロール２４Ｃを受けロール２４Ｂに離接自在に支持する
揺動レバー、２４Ｎは揺動レバー２４Ｍを駆動するため
のタッチシリンダをそれぞれ示す。

【００５５】前記ニップロール２４Ｉは、その表面が粗
面化された（通常、表面粗さＲａが１０μｍ程度）ロー
ルであり、詳細には、外周が金属であり、且つ、この金
属表面がブラスト処理されると共にフッ素樹脂、シリコ
ーン樹脂等の離型性コーティングがなされていて、粘着
テープ２４の粘着層、カバーフィルム１２Ｃに付着して
いる感光性樹脂が粘着しないようにされている。

【００５６】前記タッチシリンダ２４Ｎは、前記制御装
置４０によって制御され、前記ハーフカッター２２によ
って切断されたカバーフィルム１２Ｃの、ディスクカッ
ター４４Ａ、４４Ｂ間部分の、フィルム送り方向（図６
の矢印方向）の略前半部には粘着テープ２４が接触しな
いようにし、且つ、フィルム送り方向の略後半部から、
後側のディスクカッター４４Ａのハーフカット線４９Ａ
（図６において右側）を含む部分に接触して、該ハーフ
カット線４９Ａからカバーフィルム１２Ｃの剥離を開始
し、次のディスクカッター４４Ｂのハーフカット線４９
Ｂの手前までの間、カバーフィルム１２Ｃに粘着テープ
２４Ｄを粘着させるように揺動レバー２４Ｍを介してタ
ッチロール２４Ｃを駆動するようにされている。

【００５７】粘着テープ２４Ｄは、これに粘着されたカ
バーフィルム１２Ｃと共にニップロール２４Ｉ、２４Ｊ
を経て巻取り装置２４Ｅにより巻き取られることによ
り、カバーフィルム１２Ｃを感光性樹脂層１２Ｂから剥
離するようにされている。

【００５８】従って、透光性支持フィルム１２Ａ上に
は、図５、図６に示されるように、基板１６の搬送ピッ
チと等しいピッチで、ディスクカッター４４Ａ、４４Ｂ
間に等しい長さのカバーフィルム１２Ｃが残されること
になる。

【００５９】なお、図７に示されるように、タッチロー
ル２４Ｃは受けロール２４Ｂの頂点よりも図においてわ
ずかに左側にずれた位置で、積層体フィルム１２の進行
方向前方からカバーフィルム１２Ｃを押圧するようにさ
れている。

【００６０】図６の符号２４Ｐはニップロール２４Ｉを
揺動自在に支持するレバー、２４Ｑは、レバー２４Ｐ
を、ニップロール２４Ｉがニップロール２４Ｊに圧接す
る方向に付勢するためのばね、２４Ｒはガイドロール、
２４Ｓは、粘着テープ２４Ｄに剥離されたカバーフィル
ム１２Ｃが付着しているか否かを確認するための剥離確
認センサ、２４Ｔは前記揺動レバー２４を揺動自在に支
持する支持軸、２４Ｕは支持軸２４Ｔに回転自在に支持
され、テープロール２４Ｈから巻き出された粘着テープ
２４Ｄの非粘着面側が巻き掛けられるガイドロールをそ
れぞれ示す。

【００６１】又、符号２４Ｘは両端が装置フレーム（図
示省略）に取付けられ、前記受けロール２４Ａ、２４Ｂ
等と平行に配置された支持バーを示す。この支持バー２
４Ｘは、前記タッチシリンダ２４Ｎを支持すると共に、
略Ｕ字形状の板ばね２４Ｙを介して前記ガイドロール２
４Ｒを回転自在に支持している。

【００６２】ガイドロール２４Ｒは、板ばね２４Ｙが弾
力的に変形することにより、粘着テープ２４Ｄにたるみ
が生じないようにしている。

【００６３】前記予備接着ロール２０Ａ、２０Ｂ、ラミ
ネーティングロール２１Ａ、２１Ｂのうち、上側の予備
接着ロール２０Ａ、ラミネーティングロール２１Ａは、
ロールクランプシリンダ５０、５１によって、下側の予
備接着ロール２０Ｂ、ラミネーティングロール２１Ｂと
の間で基板１６及び積層体フィルム１２を圧下する
「閉」位置、及び、両者間を通る基板１６及び積層体フ
ィルム１２に非接触となり得るように上方に離間した
「開」位置との間で駆動されるようになっている。

【００６４】前記第１及び第２ニップロール３０、３４
は、それぞれ第１クランプシリンダ３０Ａ、第２クラン
プシリンダ３４Ａによって下側の搬送ロール１５Ａに対
して上方から離接自在とされている。搬送ロール１５Ａ
は常時回転していて、基板１６が第１又は第２ニップロ
ール３０、３４の位置に移動したとき、これらが圧下し
て、搬送ロール１５Ａ又はこれに巻回されるベルト１５
Ｃとの間に積層体フィルム１２又は積層体フィルム１２
と基板１６を挟み込むことにより、搬送ロール１５Ａの
回転によってこれらを図１において右方向に搬送できる
ようにされている。なお、第１、第２ニップロール３
０、３４間の距離は基板１６が搬送されてきたとき、少
なくとも一方が基板１６を挟み込むことができるよう
に、基板１６の長さとの関係で調整されている。

【００６５】図１、図８の符号１５Ｂは、予備接着ロー
ル２０Ａ、２０Ｂの前側及びラミネーティングロール２
１Ａ、２１Ｂの後側にそれぞれ配置され、前記搬送ロー
ル１５Ａと同期して等速で回転される搬送ロールを示
す。

【００６６】フルカッター３２は、基板搬送面１４Ａの
下側に沿って基板搬送方向に同期して移動すると共に、
反対方向に戻るように往復動されるカッター台３２Ａ
と、このカッター台３２Ａと共に基板搬送方向に往復動
し、且つ、基板搬送面１４Ａに沿って搬送される基板１
６に対してカッター台３２Ａが同期して走行する間に、
フィルム幅方向に走行して、カッター台３２Ａとの間で
積層体フィルム１２を切断するカッター刃３２Ｂと、こ
のカッター刃３２Ｂを基板幅方向に走行させるための走
行駆動装置３２Ｃと、前記カッター台３２Ａ、カッター
刃３２Ｂ、走行駆動装置３２Ｃを、基板搬送方向に同期
して走行（往動）させるために基板搬送装置１４に電磁
クラッチ（図示省略）を介して連動されるラックアンド
ピニオン機構（図示省略）、及び、走行駆動装置３２Ｃ
を急速に逆方向に走行（復動）させる走行シリンダ３２
Ｄと、を備えて構成されている。なお復動時には、前記
ラックアンドピニオン機構と基板搬送装置１４との間の
前記電磁クラッチが「断」とされる。

【００６７】又、図１の符号５４は、予備接着ロール２
０Ａ、２０Ｂの入側に配置され、積層体フィルム１２を
加熱するためのフィルムヒータを示す。このフィルムヒ
ータ５４は、熱線ランプであるが、熱量不足の場合は、
回転するヒートロールあるいは発熱面積の大きいヒート
板（面発熱体）に代える。

【００６８】前記フィルムガイドロール５２は、前記フ
ィルムヒータ５４の上流側に配置され、積層体フィルム
１２のフィルムパスを、前記予備接着ロール２０Ａ、２
０Ｂ、ラミネーティングロール２１Ａ、２１Ｂの両方に
非接触となる中立位置に変更すると共に、予備接着ロー
ル２０Ａ、２０Ｂによりフィルム張付動作中は積層体フ
ィルム１２と非接触となるように、揺動自在に配置され
ている。

【００６９】前記基板搬送面１４Ａの下側には、前記予
備接着ロール２０Ａ、２０Ｂの入側近傍位置に基板後端
センサを兼ねる後続基板スタートセンサ５６及びこれよ
り上流側に離間した位置に基板先端センサを兼ねる基板
待機センサ５８が、更に、後続基板スタートセンサ５６
の上流側に基板搬送面１４Ａの一部を構成するフリーロ
ール５９が配置されている。

【００７０】図１の符号６０は、基板搬送装置１４にお
けるコンベアロール１４Ｃ及びその上流の搬送ロール列
１４Ｂを駆動するためのコンベアロール駆動用のサーボ
モータ、６２は、コンベアロール１４Ｃとの間に基板１
６を挟み込んで基板の搬送を安定させるためのニップロ
ール、６２Ａは、ニップロール６２を開閉させるための
シリンダ、６４は、基板搬送面１４Ａ上を搬送中の基板
１６が過剰に温度低下しないように加熱するための保温
ヒータをそれぞれ示す。

【００７１】前記基板搬送面１４Ａに沿って、前記保温
ヒータ６４の上流側には、図９に示されるように、基板
幅寄せ装置６８が配置され、更に上流側には基板ヒータ
（図示省略）が配置されている。

【００７２】前記基板幅寄せ装置６８は、搬送ロール列
６８Ａ、この搬送ロール列６８Ａ上に搬送されてきた基
板１６を持ち上げてから前記保温ヒータ６４の下方に水
平に送り込み、下降して搬送ロール列１４Ｂ上に基板１
６を移載し、搬送ローラ列６８Ａの下側位置に戻るロボ
ット６８Ｂと、前記ロボット６８Ｂにより搬送ロール列
６８Ａの上方に持ち上げられている基板１６を、左右か
ら押すことにより幅方向のセンタリングをする幅寄せロ
ール列６８Ｃと、を有して構成されている。

【００７３】図９の符号６８Ｄは搬送ロール列６８Ａの
入側に配置された基板位置検出センサ、６８Ｅは出側に
配置された基板位置検出センサをそれぞれ示す。

【００７４】前記ロボット６８Ｂは、基板１６を載置す
るための、基板搬送方向に長い水平の基板載置面を備
え、この基板載置面には、負圧が印加され、基板１６を
吸着して水平に保持する複数の吸着孔（図示省略）が設
けられると共に、基板１６の部分的冷却を抑制するため
にヒーター（図示省略）が設けられている。

【００７５】前記基板載置面は金属面とされ、必要であ
れば、その金属面をフッ素樹脂等の非粘着性被膜で被覆
してもよい。

【００７６】ここで、前記第１、第２ニップロール３
０、３４及び、ニップロール６２は金属性ロールの外周
に、シリコーンゴム、あるいは表面がフッ素樹脂等の非
粘着性被膜で被覆されたシリコーンゴム等の弾性材料を
設けて構成されている。

【００７７】前記ニップロール６２は、前記基板待機セ
ンサ５８が基板の先端を検出したときの出力信号に基づ
いて、前記制御装置４０を介して、シリンダ６２Ａによ
って下降され、コンベアロール１４Ｃとの間で基板１６
を挟持できるようにされている。

【００７８】前記サーボモータ６０は後続基板スタート
センサ５６が、基板搬送面１４Ａ上に送り込まれた基板
の先端を検出したとき、制御装置４０により速度「零」
とされ、一時基板を停止させ、次に、基板１６が積層体
フィルム１２と同期するようなタイミング及び速度で回
転されるようになっている。

【００７９】なお、前記ラミネーティングロール２１
Ａ、２１Ｂよりも下流側の搬送ロール１５Ａと、上流側
のコンベアロール１４Ｃ及び搬送ロール列１４Ｂと、搬
送ロール列６８Ａとは相互に別個独立して、その回転、
停止を制御装置４０により制御されるようになってい
る。

【００８０】又、前記サクションロール２６の負圧は、
ガイドロール２８Ａに加わる力をロードセル２７により
検出して、この検出値、即ち積層体フィルム１２にかか
る張力が一定になるように制御装置４０により調整され
る。

【００８１】図１の符号１８Ｂは、フィルムロール１８
のフィルム残量センサ、２４Ｖは巻き取り装置２４Ｅに
おけるフィルム巻き取り量センサを示す。これらのセン
サ１８Ｂ、２４Ｖはともに、ロールの半径方向に複数の
光センサを配置してなるラインセンサであり、フィルム
残量、フィルム巻き取り量に対応して信号を出力するよ
うにされている。

【００８２】次に、上記フィルム張付装置１０におい
て、積層体フィルム１２の先端をフィルムロール１８か
ら巻き出して予備接着ロール２０Ａ、２０Ｂ、ラミネー
ティングロール２１Ａ、２１Ｂ間に通してセットし、次
に基板１６に張付けていく過程について説明する。

【００８３】積層体フィルム１２の巻き出しに先立ち、
前記カバーフィルム剥離装置２４のタッチロール２４Ｃ
は、カバーフィルム１２Ｃに接触しない位置としてお
き、又、前記フィルムガイドロール５２は、積層体フィ
ルム１２が予備接着ロール２０Ａ、２０Ｂに非接触とな
る位置に揺動しておく。又、トルクモータ１８ＡをＯＮ
とし、積層体フィルム１２の巻き出し時に引張力が生じ
るようにしておく。

【００８４】なお、カバーフィルム剥離装置２４では、
粘着テープ２４Ｄをテープロール２４Ａから引き出し、
タッチロール２４Ｃを経由して、ニップロール２４Ｉ、
２４Ｊに挟み込み、巻き取り装置２４Ｅでの巻き取りロ
ールを駆動するためのトルクモータ２４Ｌの、後述のタ
イミングでのＯＮにより、粘着テープ２４Ｄが積層体フ
ィルム２４Ｄの走行時と略等速、同方向に走行できるよ
うにしておく。

【００８５】更に、フィルムヒータ５４、前記保温ヒー
タ６４を所定温度に昇温させ、又、その上流側の基板ヒ
ータにより基板１６を所定温度（１００〜１５０℃）に
加熱しておき、ラミネーティングロールロール２１Ａ、
２１Ｂも同程度に昇温させると共に常時回転状態として
おく。又、予備接着ロール２０Ａ、２０Ｂは前記所定温
度よりも低い温度に加熱しておく。

【００８６】フィルムロール１８から巻き出した積層体
フィルム１２の先端は、図８に示されるように、予め開
かれている予備接着ロール２０Ａ、２０Ｂ、ラミネーテ
ィングロール２１Ａ、２１Ｂ間を通って第１及び第２ニ
ップロール３０、３４の位置まで引張り、この状態で第
１及び第２クランプシリンダ３０Ａ、３４Ａにより、第
１、第２ニップロール３０、３４を下降させて、搬送ロ
ール１５Ａとの間に挟み込む。

【００８７】フィルム張付作業の開始に際しては、ラミ
ネーティングロール２１Ａ、２１Ｂの下流側の搬送ロー
ラ１５Ａ、サクションロール２６を駆動させ、積層体フ
ィルム１２をフィルムロール１８から巻き出して送りを
かける。

【００８８】同時に、ハーフカッター２２を積層体フィ
ルム１２と同期して走行させつつ、ディスクカッター４
４Ａ、４４Ｂをフィルム幅方向に駆動し、カバーフィル
ム１２Ｃ、及び感光性樹脂層１２Ｂを切断する。

【００８９】なお、このとき、ディスクカッター４４
Ａ、４４Ｂによるカバーフィルム１２Ｃ及び感光性樹脂
層１２Ｂの切断を完全にするためには、ディスクカッタ
ー４４Ａ、４４Ｂを透光性支持フィルム１２Ａにわずか
に食い込むようにするとよい。

【００９０】前記ハーフカッター２２によるカバーフィ
ルム１２Ｃのハーフカット線の位置は、ロータリエンコ
ーダ３８から出力されるパルス信号の数によって分か
り、又、このパルス信号によって図１において右側のデ
ィスクカッター４４Ａによるハーフカット線４９Ａが、
前記カバーフィルム剥離装置２４におけるタッチロール
２４Ｃの位置に到達するタイミングが分かる。

【００９１】従って、このタイミングの少し前の時点
（前述のタイミング）で制御装置４０により、前記トル
クモータ２４Ｌ及びモータ２４ＫをＯＮにして、粘着テ
ープ２４Ｄを、所定速度で送られる積層体フィルム１２
と略等速、同方向に走行させ、次にタッチシリンダ２４
Ｎを介してタッチロール２４Ｃを下降させ、該タッチロ
ール２４Ｃに巻き掛けられている粘着テープ２４Ｄの粘
着面のカバーフィルム１２Ｃへの押付けを、カバーフィ
ルム１２Ｃにおける剥離部のフィルム送り方向中央位置
から前記ディスクカッター４４Ａによるハーフカット線
４９Ａの直前位置までの間で開始する。

【００９２】なお、トルクモータ２４Ｌ、モータ２４Ｋ
は、テープロール２４Ｈ又はフィルムロール１８の交換
まで常時ＯＮとしてもよく、あるいは、粘着テープ２４
Ｄの節約のためタッチロール２４Ｃの昇降に合わせてＯ
ＦＦ／ＯＮとしてもよい。

【００９３】前記受けロール２４Ｂの回転中心軸は、こ
の受けロール２４Ｂの外周に積層体フィルム１２及び粘
着テープ２４Ｄを介して接触する状態の前記タッチロー
ル２４Ｃの中心軸線よりも、積層体フィルム送り方向後
側にわずかにずれているので、受けロール２４Ｂに接触
する積層体フィルム１２は、カバーフィルム１２Ｃ側が
凸の湾曲面となり、ハーフカット線４９Ａ部分が開かれ
るようになる。

【００９４】従って、このハーフカット線４９Ａの前方
側から粘着テープ２４Ｄの粘着面が接触してくると、カ
バーフィルム１２Ｃは、前記ディスクカッター４４Ａに
よるハーフカット線４９Ａの位置から容易に剥離が開始
され、粘着テープ２４Ｄと共に巻取り装置２４Ｅに巻き
取られる。

【００９５】ここで、前記粘着テープ２４Ｄは、トルク
モータ２４Ｌによって駆動されるニップロール２４Ｊに
より、積層体フィルム１２Ｃと等速で且つ、タッチロー
ル２４Ｃの位置では同方向に引張られているので、粘着
テープ２４Ｄがカバーフィルム１２Ｃに離接することに
より積層体フィルム１２に与えられる張力変動を極めて
小さくすることができる。

【００９６】なお、粘着テープ２４Ｄの粘着面のカバー
フィルム１２Ｃへの押付け開始タイミングが、上記より
早すぎると非剥離部のカバーフィルム１２Ｃが剥がされ
てしまい、又、遅すぎると剥離不能となる。

【００９７】次に、前記粘着テープ２４Ｄと共に剥離さ
れたカバーフィルム１２Ｃが前記ニップロール２４Ｉ、
２４Ｊに挟み込まれるタイミングから、ハーフカッター
２２による次の切断によって生じた、ディスクカッター
４４Ｂによるハーフカット線４９Ｂがタッチロール２４
Ｃの位置に到達する直前までの間に、制御装置４０によ
ってタッチロール２４Ｃは積層体フィルム１２から離間
する方向に駆動され、粘着テープ２４Ｄに粘着したカバ
ーフィルム１２Ｃは、ディスクカッター４４Ｂによるハ
ーフカット線位置で積層体フィルム１２から離れる。

【００９８】これにより、ディスクカッター４４Ａ、４
４Ｂによるハーフカット線４９Ａ、４９Ｂ間部分のカバ
ーフィルム１２Ｃは、剥離されることなく透光性支持フ
ィルム１２Ａ及び感光性樹脂層１２Ｂ上に残され、サク
ションロール２６を経て予備接着ロール２０Ａ、２０Ｂ
方向に送られる。

【００９９】なお、タッチロール２４Ｃを積層体フィル
ム１２から離間させるタイミングが前記よりも早すぎる
と、粘着テープ２４Ｄに粘着していたカバーフィルム１
２Ｃが積層体フィルム１２に引張られて、粘着テープ２
４Ｄから剥離してしまうことがある。又、遅すぎると、
粘着テープ２４Ｄが次の非剥離部のカバーフィルム１２
Ｃに粘着して、これを剥がしてしまうことがある。

【０１００】前記最初の切断によるカバーフィルム１２
Ｃ上のディスクカッター４４Ａによるハーフカット線４
９Ａが、予備接着ロール２０Ａ、２０Ｂに接近する前に
基板幅寄せ装置６８を経て保温ヒータ６４下方の搬送ロ
ーラ列１４Ｂ上に先頭の基板１６を搬送しておく。基板
１６の先端が基板待機センサ５８により検出されると、
基板１６の先端に合致するタイミングでニップロール６
２が制御装置４０により下降されて基板１６をコンベア
ロール１４Ｃとの間に挟持する。

【０１０１】搬送ロール列１４Ｂ及びコンベアロール１
４Ｃはサーボモータ６０により、搬送速度「零」とされ
た後、前記カバーフィルム１２Ｃ上のハーフカット線４
９Ａが先頭基板１６の送り方向先端からわずかに後ろ寄
りの位置に一致するタイミング及び速度で積層体フィル
ム１２に同期して基板１６が基板搬送装置１４により予
備接着ロール２０Ａ、２０Ｂ間に送り込まれる。

【０１０２】この先頭の基板１６の先端部分が、予備接
着ロール２０Ａ、２０Ｂ及びラミネーティングロール２
１Ａ、２１Ｂに到達するタイミングは、前記基板待機セ
ンサ５８の位置と予備接着ロール２０Ａ、２０Ｂ、ラミ
ネーティングロール２１Ａ、２１Ｂ間の距離、及び、サ
ーボモータ６０による搬送速度との関係から割り出され
る。

【０１０３】又、このようにして割り出された基板１６
の先端が、予備接着ロールロール２０Ａ、２０Ｂに到達
するタイミングで、ロールクランプシリンダ５０によっ
て上側の予備接着ロール２０Ａが下降され、下降した予
備接着ロール２０Ａと下側の予備接着ロール２０Ｂ間に
先頭の基板１６の先端が積層体フィルム１２と共に挟み
込まれ、且つ予備接着ロール２０Ａ、２０Ｂの回転によ
って、圧着（予備接着）されつつ、図１において右方向
に送られる。

【０１０４】上記上側の予備接着ロール２０Ａを下降す
るタイミングで、前記フィルムガイドロール５２は図１
において積層体フィルム１２から離間する方向に駆動さ
れる。これによって、積層体フィルム１２は予備接着ロ
ール２０Ａ、２０Ｂによって挟持されるようになる。

【０１０５】次に、予備接着ロール２０Ａ、２０Ｂを通
った先頭基板１６の先端が、ラミネーティングロール２
１Ａ、２１Ｂに到達するタイミングで、ロールクランプ
シリンダ５１によって上側のラミネーティングロール２
１Ａが下降され、基板１６の先端が積層体フィルム１２
と共に、ラミネーティングロール２１Ａ、２１Ｂ間に挟
み込まれ、且つこれらの回転によって所定温度で熱圧着
されつつ、図１において右方向に送り出されてフィルム
張付けが終了する。

【０１０６】図１０に示されるように、予備接着ロール
２０Ａ、２０Ｂは、その直径が、ラミネーティングロー
ル２１Ａ、２１Ｂよりも小さく、且つ、直径及び圧下力
が、基板１６及び積層体フィルム１２を挟み込んだ際の
予備接着ロール２０Ａ、２０Ｂ外周における弾性材料２
３の、積層体フィルム１２との接触面が偏平に変形し始
める弾性変形域Ｓ１の範囲が基板進行方向に５ｍｍ以下
となるようにされているので気泡の抱き込み、しわ、弛
みの発生可能領域が小さく、予備接着される。

【０１０７】前記予備接着ロール２０Ａ、２０Ｂの温度
は、熱圧着温度よりも低く設定されているので、この予
備接着ロール２０Ａ、２０Ｂを通過する際に基板１６と
積層体フィルム１２が固定的に接着されることがない。

【０１０８】予備接着ロール２０Ａ、２０Ｂによって予
備接着された基板１６及び積層体フィルム１２は、前述
のように、所定温度に加熱されているラミネーティング
ロール２１Ａ、２１Ｂによって挟み込まれ、両者間を通
過する際に、熱圧着によって完全に接着されるが、この
とき、予備接着ロール２０Ａ、２０Ｂによる予備接着に
よって、基板１６と積層体フィルム１２とが、弾性材料
２３の弾性変形域Ｓ１より後の領域では、強力ではない
が均一に密着されているので、ラミネーティングロール
２１Ａ、２１Ｂの弾性材料２３が変形を開始する弾性変
形域Ｓ２内でも、空気の抱き込み等がなく、充分な密着
力により、積層体フィルム１２が基板１６間に張り付け
られる。

【０１０９】従って、予備接着ロール２０Ａ、２０Ｂの
弾性変形域Ｓ１のみが空気抱き込み等を生じ易い範囲と
なり、パターン露光領域の減少が少ない。

【０１１０】又、カバーフィルム１２Ｃのハーフカット
線４９Ａの位置を、基板１６の先端から大きく後側にず
らす必要がなく、無駄がない。

【０１１１】なお、ラミネーティングロール２１Ａ、２
１Ｂの単独で積層体フィルム１２を基板１６に圧着する
場合、接着に充分な圧下力にすると、ラミネーティング
ロール２１Ａ、２１Ｂの弾性材料２３における弾性変形
域Ｓ２の基板進行方向の範囲は、ロール径が１１０ｍｍ
のとき約６ｍｍ、３００ｍｍのとき約２０ｍｍである。

【０１１２】先頭基板１６に続く２番目以降の基板１６
については、先頭基板１６に続いて所定間隔で基板搬送
装置１４により搬送しつつ、且つ、カバーフィルム剥離
装置２４によって基板１６に張り付けられる部分のカバ
ーフィルム１２Ｃを順次剥離し、前記予備接着ロール２
０Ａ、２０Ｂ及びラミネーティングロール２１Ａ、２１
Ｂ間を通して両者を熱圧着する。前記上側の予備接着ロ
ール２０Ａ及びラミネーティングロール２１Ａは、間欠
的に搬送されてくる基板１６間の隙間位置では、ロール
クランプシリンダ５０、５１によって「開」状態とさ
れ、基板１６の先端が到達した時点で、下降されて
「閉」状態とされる。

【０１１３】なお、基板１６に張り付けられた部分より
も送り方向先端側の積層体フィルム１２は、カバーフィ
ルム１２Ｃが張り付けられたまま第２ニップロール３４
の位置から基板搬送面１４Ａよりも下側に送られ、先頭
基板１６の先端よりもやや前方位置で、積層体フィルム
１２が前記フルカッター３２によって切断されるとき、
第２ニップロール３４から下方に廃棄される。

【０１１４】従って、フィルムロール１８から巻き出し
た積層体フィルム１２の巻き出し先端から、これを第２
ニップロール３４を通った位置にセットしたときのハー
フカッター２２によるカット位置までの間の部分を、カ
バーフィルム１２Ｃが張り付けられたままとしているの
で、感光性樹脂層１２Ｂが露出することがなく、露出し
た感光性樹脂層１２Ｂがニップロール等に付着して、運
転開始後にこれに巻き付いたりすることがない。

【０１１５】従来は、フィルムロール１８から巻き出し
た積層体フィルム１２の巻き出し先端からカバーフィル
ム１２Ｃを剥離し、感光性樹脂層１２Ｂを露出した状態
でセットしていたが、感光性樹脂層１２Ｂは、カバーフ
ィルム１２Ｃを剥離した後、３０秒程度経過すると空気
中の酸素によって変質してしまうので、この範囲では、
基板１６に張り付けたりすることなく廃棄していた。

【０１１６】上記実施の形態の例において、予備接着ロ
ール２０Ａ、２０Ｂは、その直径を最小５０ｍｍとす
る。これは、ラミネーティングロールを加熱する場合、
その内部に誘導加熱装置等のヒータを設けなければなら
ないことから決定される。ヒータを設けない場合の最小
径は３０ｍｍであり、これは、圧下力による撓みを一定
値以下とする限界値であり、これ以上細径とすると、撓
みが発生し易くなる。

【０１１７】又、予備接着ロールにヒータを設けない場
合あるいは設ける場合のいずれでも、例えば図１１に示
されるように、細径の予備接着ロール２０Ｃ、２０Ｄ
を、太径のバックアップロール７０Ａ、７０Ｂにより、
予備接着ロール２０Ｃ、２０Ｄを上下から支える構造と
することができる。

【０１１８】この場合、予備接着ロール２０Ｃ、２０Ｄ
は、前記予備接着ロール２０Ａ、２０Ｂと同様に、金属
ロールの外側にゴムを被覆したものとし、バックアップ
ロール７０Ａ、７０Ｂは金属表面とすることができる。

【０１１９】なお、前記上側のラミネーティングロール
２０Ｃとバックアップロール７０Ａとは、個別に同期し
て回転駆動されると共に、ロールクランプシリンダ５０
により同時に「開」位置及び「閉」位置に駆動されるよ
うになっている。

【０１２０】前記細径の予備接着ロール２０Ｃ、２０Ｄ
は、単独の場合は圧下の際に撓み易いが、太径のバック
アップロール７０Ａ、７０Ｂによってバックアップされ
ているので撓みが発生することがない。

【０１２１】従来、積層体フィルム１２に直接接触する
ラミネーティングロールの外周をゴム等の摩耗し易い弾
性体によって形成するが、短期間で摩耗するので、ラミ
ネーティングロールを頻繁に取り替えなければならず、
ランニングコストが過大となるという問題点があった。

【０１２２】これに対して、図１１のバックアップロー
ル７０Ａ、７０Ｂは、直接積層体フィルム１２に接触す
るのではないので、全体を金属から構成し、耐摩耗性を
大幅に向上させることができる。なお、この場合、ゴム
被覆された細径の予備接着ロール２０Ｃ、２０Ｄは、短
期間で交換しなければならないが、細径であるので、コ
ストが低く、且つ、交換も容易である。

【０１２３】又、基板幅が８００ｍｍを超えるような場
合は、ラミネーティングロール２１Ａ、２１Ｂにバック
アップロールを設けてもよい。

【０１２４】又、前記図１における予備接着ロール２０
Ａ、２０Ｂ、図１１の予備接着ロール２０Ｃ、２０Ｄ
は、共に上下同一径とされているが、本発明はこれに限
定されるものでなく、積層体フィルム１２に接触する側
のみを細径としてもよい。

【０１２５】又、上記フィルム張付装置１０の場合、フ
ィルムロール１８から巻き出した積層体フィルム１２の
巻き出し先端部分をニップロールにより挟持してセット
しているが、これは上側の予備接着ロール２０Ａを下降
して、下側の予備接着ロール２０Ｂとの間に積層体フィ
ルム１２を挟持させてもよい。

【０１２６】更に、予備接着ロール２０Ａに対する積層
体フィルム１２の巻き掛け角度は、図１に示されるよう
に、約３０°であるが、これは３０°以上１２０°程度
の範囲で大きくしてもよい。従来は、フィルムが薄い場
合、ラミネーティングロールの熱によりフィルムが悪影
響を受けるため、できるだけ巻き掛け角度を小さくして
いたが、本発明では予備接着ロール２０Ａの温度を熱圧
着温度よりも低くできるので巻き掛け角度を大きくでき
る。なお、巻き掛け角度が９０°以上の場合、フィルム
ガイドロール５２は、予備接着ロール２０Ａの中心軸線
廻りに変位して、待機時に積層体フィルム１２と干渉し
ないようにする。

【０１２７】更に又、上記フィルム張付装置１０は、ラ
ミネーティングロール２１Ａ、２１Ｂと予備接着ロール
２０Ａ、２０Ｂとの関係が固定的であるが、ラミネーテ
ィングロール２１Ａ、２１Ｂを着脱自在としてもよい。

【０１２８】これは、例えば図１２に示されるように、
従来のプリント基板用のフィルム張付装置における小径
のラミネーティングロールを、本発明における予備接着
ロール２０Ｅ、２０Ｆとし、大径のラミネーティングロ
ール２１Ｃ、２１Ｄを、このフィルム張付装置の出側に
接続配置して本発明のフィルム張付装置１１を構成して
もよい。

【０１２９】この場合、フルカッター（フィルム切断装
置）３３は、予備接着ロール２０Ｅ、２０Ｆの出側に配
置される。ラミネーティングロール２１Ｃ、２１Ｄは、
後付けでフルカッター３３の出側に取り付けられるか、
又は、他のフレーム（基台）に取り付けられ、フルカッ
ター３３の出側に配置される。

【０１３０】又、カバーフィルム１２Ｃの剥離手段は粘
着テープに限定されるものでなく、粘着性ロールあるい
は負圧による吸引装置、例えば負圧が印加される多数の
吸引孔が形成された吸引ロールを用いたものであっても
よい。

【０１３１】又、上記フィルム張付装置１０は、ハーフ
カッター２２によってカバーフィルム１２Ｃを切断して
から、間欠的にカバーフィルム１２Ｃを剥離するように
しているが、本発明はこれに限定されるものでなく、全
部のカバーフィルム１２Ｃを連続的に剥離して基板１６
に張り付ける場合についても適用されるものである。

【０１３２】この場合、ハーフカッター２２はフィルム
セット後の最初の１回の切断動作により、カバーフィル
ム１２Ｃを１個所で幅方向に切断して、剥離開始線を形
成し、且つこの切断は、１本のフィルムロール１８につ
いて１回のみである。

【０１３３】又、上記フィルム張付装置１０は、一定間
隔で連続的に搬送されてくる基板１６に対して、積層体
フィルム１２を連続的に張り付けるようにした、いわゆ
る連続張りタイプのものであるが、本発明はこれに限定
されるものでなく、図１３に示されるような、積層体フ
ィルムを基板長さに応じて、張り付けられる基板毎にカ
ッターによって切断し、張り付けていくタイプのフィル
ム張付装置にも適用されるものである。

【０１３４】このようなタイプのフィルム張付装置１１
０は、フィルムロール１８から巻き出された積層体フィ
ルム１２を、フィルム分離部材１１２によりカバーフィ
ルム１２Ｃを連続的に剥離した後、基板搬送装置１４に
より搬送されてくる各基板１６の先端に、感光性樹脂層
１２Ｂが基板側となるように導き、基板１６に対して近
接及び離反移動可能な仮付部材１１４によって積層体フ
ィルム１２の先端部を吸着し、該仮付部材１１４の先端
によって基板１６の先端に積層体フィルム１２の先端を
仮付けした後、予備接着ロール２０Ａ、２０Ｂ及びラミ
ネーティングロール２１Ａ、２１Ｂによってフィルムを
基板１６に熱圧着しつつ、基板１６を積層体フィルム１
２と共に搬送するようにされている。

【０１３５】前述のように、基板１６への積層体フィル
ム圧着張付は、張付長さが基板長に対応した長さとなる
ように行われ、その長さとなるように積層体フィルム１
２はフィルム仮付部材１１４自体、又はその近傍の部材
に設けられたロータリーカッター１１６等のフィルム切
断手段で切断される。

【０１３６】又、上記各実施の形態の例では、ラミネー
ティングロールは単段構成であるがこれは２段以上であ
ってもよい。

【０１３７】更に、上記各実施の形態の例では、ラミネ
ーティングロール及び予備接着ロールの軸長、基板幅が
８００ｍｍ以上とされているが本発明はこれに限定され
るものでなく、８００ｍｍ未満、例えば７００ｍｍ以
上、８００ｍｍ未満であって、フィルム張付のためのラ
ミネーティングロールの圧下力が大きく、ロール表面
の、基板を押圧して平面状に弾性変形する範囲が大きい
場合にも適用されるものである。

【０１３８】本発明者の知見によれば、基板幅が７００
ｍｍ以上、８００ｍｍ未満の範囲でも、基板幅が８００
ｍｍ以上の場合ほどではないが、ロール表面の、基板を
押圧して平面状に弾性変形する範囲が大きく、空気の抱
き込み等が生じることがあり、この範囲でも本発明の効
果があった。

【０１３９】更に、前記各実施の形態の例は、基板の上
面のみに積層体フィルムを張付る場合についてのもので
あるが、本発明はこれに限定されるものでなく、基板の
下面にのみ、あるいは上下両面に、張付る場合にも適用
されるものである。

【０１４０】基板の下面のみに、積層体フィルムを張付
る場合は、図１においてフィルムロール１８からフィル
ムガイドロール５２までの各装置を基板搬送面１４Ａの
下側に配置し、又、両面に張付る場合は、図１４に示さ
れるように、図１においてフィルムロール１８からフィ
ルムガイドロール５２までの各装置を基板搬送面１４Ａ
の上下に配置する。

【０１４１】

【発明の効果】本発明は上記のように構成したので、積
層体フィルムをラミネーティングロールによって基板に
張り付ける前に、予備接着ロールにより、その外周の弾
性変形域の範囲を小さくして、空気抱き込み等の発生可
能範囲を限定して予備接着することにより、パターン露
光領域の縮小を抑制することができるという優れた効果
を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態の例に係るフィルム張付装
置を示す略示側面図

【図２】同フィルム張付装置における制御系を示すブロ
ック図

【図３】同フィルム張付装置におけるハーフカッターを
拡大して示す平面図

【図４】図３のIV−IV線視図

【図５】同ハーフカッターによる切断位置と基板と位置
関係を拡大して示す略示側面図

【図６】同フィルム張付装置におけるカバーフィルム剥
離装置の作用を拡大して示す略示側面図

【図７】同カバーフィルム剥離装置におけるタッチロー
ルと積層体フィルムとの関係を拡大して示す側面図

【図８】同フィルム張付装置における積層体フィルムの
巻き出し先端部のセット状態を示す略示側面図

【図９】同フィルム張付装置における基板幅寄せ装置及
び保温ヒータを示す略示側面図

【図１０】フィルム張付装置における予備接着ロール及
びラミネーティングロールの弾性変形域と基板との関係
を示す略示側面図

【図１１】フィルム張付装置における予備接着ロールの
他の実施の形態の例を示す斜視図

【図１２】フィルム張付装置の、更に他の実施の形態の
例の要部を示す略示側面図

【図１３】フィルム張付装置の他の実施の形態の例を示
す略示側面図

【図１４】フィルム張付装置の更に又他の実施の形態の
例を示す略示側面図

【符号の説明】

Ｓ１…弾性変形域１０、１１、１１０…フィルム張付装置１２…積層体フィルム１２Ａ…透光性支持フィルム１２Ｂ…感光性樹脂層１２Ｃ…カバーフィルム１４…基板搬送装置１４Ａ…基板搬送面１６…基板１８…フィルムロール２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄ、２０Ｅ、２０Ｆ…予
備接着ロール２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃ、２１Ｄ…ラミネーティングロ
ール２２…ハーフカッター２３…弾性材料２４…カバーフィルム剥離装置２６…サクションロール３０…第１ニップロール３２…フルカッター３４…第２ニップロール３８…ロータリエンコーダ４０…制御装置５０、５１…ロールクランプシリンダ７０Ａ、７０Ｂ…バックアップロール

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 4F100 AG00 AK01B AT00C BA03 BA10A BA10C EC18 EJ19 EJ32 EJ42 EJ99 EK03 EK06 GB43 JL04 JN01A JN17B 4F211 AH36 SA07 SC05 SD01 SD11 SD16 SH06 SH19 SJ13 SP05 SP09 SP45 SW23

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板搬送面に沿って複数の基板を間隔をも
って順次搬送する基板搬送装置と、透光性支持フィルム
に少なくとも感光性樹脂層を積層してなる前記基板幅と
略等しい幅の積層体フィルムを、露出された前記感光性
樹脂層が前記搬送されてくる基板の一方の面に向けた状
態で、該基板に向けて案内するフィルムガイド手段と、
外周に弾性材料が積層されていて、加熱されつつ回転
し、前記積層体フィルム及び基板を挟み込んで送りつ
つ、熱圧着温度でこれらを熱圧着する一対のラミネーテ
ィングロールと、を有してなるフィルム張付装置におい
て、前記ラミネーティングロールの上流側に、外周に弾
性材料が積層されていて、前記積層体フィルムと基板と
を挟み込んで送りつつ、これらを熱圧着温度よりも低い
温度で圧着して予備接着するための回転する一対の予備
接着ロールを設け、前記積層体フィルムを基板に圧着す
る側の前記予備接着ロールにおける、その直径、及び、
積層体フィルム及び基板を挟み込んだときの圧下力を、
ロール表面のフィルムを介して基板に接触して平面状に
弾性変形する範囲が、基板搬送方向に５ｍｍ以下となる
ようにしたことを特徴とするフィルム張付装置。
【請求項２】基板搬送面に沿って、複数の基板を間隔を
もって順次搬送する基板搬送装置と、透光性支持フィル
ムに少なくとも感光性樹脂層を積層してなる前記基板幅
と略等しい幅の積層体フィルムを、露出された前記感光
性樹脂層が前記搬送されてくる基板の一方の面に向けた
状態で、該基板に向けて案内するフィルムガイド手段
と、ロール面長が７００ｍｍ以上で、外周に弾性材料が
積層されていて、加熱されつつ回転し、前記積層体フィ
ルム及び基板を挟み込んで送りつつ、熱圧着温度でこれ
らを熱圧着する一対のラミネーティングロールと、を有
してなるフィルム張付装置において、前記ラミネーティ
ングロールの上流側に、外周に弾性材料が積層されてい
て、前記積層体フィルムと基板とを挟み込んで送りつ
つ、これらを熱圧着温度よりも低い温度で圧着して予備
接着するための回転する一対の予備接着ロールを設け、
前記積層体フィルムを基板に圧着する側の前記予備接着
ロールにおける、その直径、及び、積層体フィルム及び
基板を挟み込んだときの圧下力を、ロール表面のフィル
ムを介して基板に接触して平面状に弾性変形する範囲
が、基板搬送方向に５ｍｍ以下となるようにしたことを
特徴とするフィルム張付装置。
【請求項３】基板搬送面に沿って、複数の基板を間隔を
もって順次搬送する基板搬送装置と、透光性支持フィル
ムに少なくとも感光性樹脂層を積層してなる前記基板幅
と略等しい幅の積層体フィルムを、露出された前記感光
性樹脂層が前記搬送されてくる基板の一方の面に向けた
状態で、該基板に向けて案内するフィルムガイド手段
と、ロール面長が８００ｍｍ以上で、外周に弾性材料が
積層されていて、加熱されつつ回転し、前記積層体フィ
ルム及び基板を挟み込んで送りつつ、熱圧着温度でこれ
らを熱圧着する一対のラミネーティングロールと、を有
してなるフィルム張付装置において、前記ラミネーティ
ングロールの上流側に、外周に弾性材料が積層されてい
て、前記積層体フィルムと基板とを挟み込んで送りつ
つ、これらを熱圧着温度よりも低い温度で圧着して予備
接着するための回転する一対の予備接着ロールを設け、
前記積層体フィルムを基板に圧着する側の前記予備接着
ロールにおける、その直径、及び、積層体フィルム及び
基板を挟み込んだときの圧下力を、ロール表面のフィル
ムを介して基板に接触して平面状に弾性変形する範囲
が、基板搬送方向に５ｍｍ以下となるようにしたことを
特徴とするフィルム張付装置。
【請求項４】請求項１、２又は３において、前記予備接
着ロールの直径を５０〜１２０ｍｍとしたことを特徴と
するフィルム張付装置。
【請求項５】請求項１乃至４のいずれかにおいて、前記
予備接着ロールの直径をラミネーティングロールの直径
の０．１〜０．８倍としたことを特徴とするフィルム張
付装置。
【請求項６】請求項１乃至４のいずれかにおいて、前記
ラミネーティングロールの直径を１１０ｍｍ〜３００ｍ
ｍとしたことを特徴とするフィルム張付装置。
【請求項７】請求項１乃至４のいずれかにおいて、前記
ラミネーティングロールの直径は１１０ｍｍ〜３００ｍ
ｍであり、前記予備接着ロールの直径は、ラミネーティ
ングロールの直径の０．１〜０．８倍とされたことを特
徴とするフィルム張付装置。
【請求項８】請求項１乃至７のいずれかにおいて、前記
予備接着ロールを非加熱ロールとしたことを特徴とする
フィルム張付装置。
【請求項９】請求項１乃至８のいずれかにおいて、前記
予備接着ロールに、基板と反対側から平行に転接するバ
ックアップロールを設けたことを特徴とするフィルム張
付装置。
【請求項１０】請求項１乃至９のいずれかにおいて、前
記ラミネーティングロールの下流側に、基板及びこれに
張り付けられている積層体フィルムを搬送しつつ、基板
の前後端から突出した位置で前記積層体フィルムを幅方
向に切断するフィルム切断装置を設けたことを特徴とす
るフィルム張付装置。
【請求項１１】請求項１乃至１０のいずれかにおいて、
前記予備接着ロールと前記ラミネーティングロールとの
間の位置に、基板及びこれに張り付けられている積層体
フィルムを搬送しつつ、基板の前後端から突出した位置
で前記積層体フィルムを幅方向に切断するフィルム切断
装置を設けると共に、このフィルム切断装置及び前記予
備接着ロールに対して、前記ラミネーティングロールを
着脱自在としたことを特徴とするフィルム張付装置。
【請求項１２】請求項１乃至１１のいずれかにおいて、
前記フィルムガイド手段は前記基板搬送面の上下に設け
られ、前記積層体フィルムは、前記上下のフィルムガイ
ド手段により前記基板の上面及び下面に別個に案内さ
れ、基板の上面及び下面に同時に張付けられるようにさ
れたことを特徴とするフィルム張付装置。