JPH08323915A - 感光性フィルムの積層方法及び積層装置 - Google Patents
感光性フィルムの積層方法及び積層装置Info
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- JPH08323915A JPH08323915A JP13236295A JP13236295A JPH08323915A JP H08323915 A JPH08323915 A JP H08323915A JP 13236295 A JP13236295 A JP 13236295A JP 13236295 A JP13236295 A JP 13236295A JP H08323915 A JPH08323915 A JP H08323915A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 金属面を有する基材に感光性フィルムを歩留
り良く積層する感光性フィルムの積層方法及び積層装置
を提供する。 【構成】 支持体上に熱可塑性の感光層を有する感光性
フィルムを、表面に金属面を有する基板上に、減圧下で
加熱し、積層した後、直ちに常圧下で、加熱圧着するこ
とを特徴とする感光性フィルムの積層方法及び積層装
置。
り良く積層する感光性フィルムの積層方法及び積層装置
を提供する。 【構成】 支持体上に熱可塑性の感光層を有する感光性
フィルムを、表面に金属面を有する基板上に、減圧下で
加熱し、積層した後、直ちに常圧下で、加熱圧着するこ
とを特徴とする感光性フィルムの積層方法及び積層装
置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は感光性フィルムの積層方
法及び積層装置に関し、更に詳しくは、基材上へ感光性
フィルムを歩留り良く積層する方法及びその装置に関す
る。
法及び積層装置に関し、更に詳しくは、基材上へ感光性
フィルムを歩留り良く積層する方法及びその装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】感光性フィルムを金属表面を有する基材
上に感光性フィルムを積層する方法として、常圧ラミネ
ート法、減圧下で感光性フィルムの積層を行う真空ラミ
ネート法が知られている。真空ラミネート法は、特公昭
５３−３１６７０号公報、特開昭５１−６３７０２号公
報等に見られる様に、導体パターン間への気泡巻き込み
防止法として有効である。また、特公昭５９−３７４０
号公報には連続式の真空ラミネート法が示されており、
この方法では連続式にラミネートされるため効率が良好
である。しかし、これらの方法をもってしても、感光性
フィルムの感光層に５μｍ以上の凹みがあった場合、基
材との追従性が悪く、結局レジスト浮きの現象となり、
レジスト形成に不利である。
上に感光性フィルムを積層する方法として、常圧ラミネ
ート法、減圧下で感光性フィルムの積層を行う真空ラミ
ネート法が知られている。真空ラミネート法は、特公昭
５３−３１６７０号公報、特開昭５１−６３７０２号公
報等に見られる様に、導体パターン間への気泡巻き込み
防止法として有効である。また、特公昭５９−３７４０
号公報には連続式の真空ラミネート法が示されており、
この方法では連続式にラミネートされるため効率が良好
である。しかし、これらの方法をもってしても、感光性
フィルムの感光層に５μｍ以上の凹みがあった場合、基
材との追従性が悪く、結局レジスト浮きの現象となり、
レジスト形成に不利である。
【０００３】この様な現象の対策として、特開平１−３
１４１４４号公報に示される様に真空ラミネート後、常
圧下で熱圧着ロールで圧着する方法もあるが、この方法
では２台の装置が必要であり不経済となる。また、熱圧
着ロール径が大きいとうまく追従できない。
１４１４４号公報に示される様に真空ラミネート後、常
圧下で熱圧着ロールで圧着する方法もあるが、この方法
では２台の装置が必要であり不経済となる。また、熱圧
着ロール径が大きいとうまく追従できない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記した従
来の技術の問題を解消し、金属面を有する基材に感光性
フィルムを歩留り良く積層する感光性フィルムの積層方
法及び積層装置を提供するものである。
来の技術の問題を解消し、金属面を有する基材に感光性
フィルムを歩留り良く積層する感光性フィルムの積層方
法及び積層装置を提供するものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、支持体上に熱
可塑性の感光層を有する感光性フィルムを、表面に金属
面を有する基板上に、減圧下で加熱し、積層した後、直
ちに常圧下で、加熱圧着することを特徴とする感光性フ
ィルムの積層方法に関する。
可塑性の感光層を有する感光性フィルムを、表面に金属
面を有する基板上に、減圧下で加熱し、積層した後、直
ちに常圧下で、加熱圧着することを特徴とする感光性フ
ィルムの積層方法に関する。
【０００６】また、本発明は、（ａ）真空保持用チャン
バー、（ｂ）真空保持用チャンバー内を減圧する排気ポ
ンプ、（ｃ）真空保持用チャンバー内とその外との境界
にあり、真空保持用チャンバー内の減圧度を保ちながら
真空保持用チャンバー内に基板を供給するシールロー
ル、（ｄ）真空保持用チャンバー内にあり、支持体上に
熱可塑性の感光層を有する感光性フィルムを、基板上に
減圧下で加熱し、積層するラミネートロール、（ｅ）真
空保持用チャンバー内とその外との境界にあり、真空保
持用チャンバー内の減圧度を保ちながら真空保持用チャ
ンバー外に基板を排出するシールロール及び（ｆ）真空
保持用チャンバー外にあり、上記（ｄ）のラミネートロ
ールにより減圧下で基板上に積層された支持体上に熱可
塑性の感光層を有する感光性フィルムを、常圧下で加熱
圧着するための加圧ロールを備えてなる積層装置に関す
る。
バー、（ｂ）真空保持用チャンバー内を減圧する排気ポ
ンプ、（ｃ）真空保持用チャンバー内とその外との境界
にあり、真空保持用チャンバー内の減圧度を保ちながら
真空保持用チャンバー内に基板を供給するシールロー
ル、（ｄ）真空保持用チャンバー内にあり、支持体上に
熱可塑性の感光層を有する感光性フィルムを、基板上に
減圧下で加熱し、積層するラミネートロール、（ｅ）真
空保持用チャンバー内とその外との境界にあり、真空保
持用チャンバー内の減圧度を保ちながら真空保持用チャ
ンバー外に基板を排出するシールロール及び（ｆ）真空
保持用チャンバー外にあり、上記（ｄ）のラミネートロ
ールにより減圧下で基板上に積層された支持体上に熱可
塑性の感光層を有する感光性フィルムを、常圧下で加熱
圧着するための加圧ロールを備えてなる積層装置に関す
る。
【０００７】また、本発明は、真空保持用チャンバー
（１）に排気ポンプ（２）を設け、真空保持用チャンバ
ー（１）の内側と外側との境界に基板（３）を供給する
シールロール（４）、基板（３）を排出するシールロー
ル（５）を設けて、真空保持用チャンバー（１）内に、
供給された基板（３）を送る搬送ロール（６）、感光性
フィルム（７）、保護フィルム（８）を巻取る保護フィ
ルム巻取ロール（９）、感光層（１０）を送る送りロー
ル（１１）、感光層（１０）を基板（３）に加熱して積
層するラミネートロール（１２）を設けて、真空保持用
チャンバー（１）の外に、感光層が積層された基板（１
３）を加熱圧着させる熱圧着ロール（１４）を設けた積
層装置に関する。
（１）に排気ポンプ（２）を設け、真空保持用チャンバ
ー（１）の内側と外側との境界に基板（３）を供給する
シールロール（４）、基板（３）を排出するシールロー
ル（５）を設けて、真空保持用チャンバー（１）内に、
供給された基板（３）を送る搬送ロール（６）、感光性
フィルム（７）、保護フィルム（８）を巻取る保護フィ
ルム巻取ロール（９）、感光層（１０）を送る送りロー
ル（１１）、感光層（１０）を基板（３）に加熱して積
層するラミネートロール（１２）を設けて、真空保持用
チャンバー（１）の外に、感光層が積層された基板（１
３）を加熱圧着させる熱圧着ロール（１４）を設けた積
層装置に関する。
【０００８】本発明の感光性フィルムの積層方法は、支
持体上に熱可塑性の感光層を有する感光性フィルムを、
表面に金属面を有する基板上に、減圧下で加熱し、積層
した後、直ちに常圧下で、加熱圧着する方法である。
持体上に熱可塑性の感光層を有する感光性フィルムを、
表面に金属面を有する基板上に、減圧下で加熱し、積層
した後、直ちに常圧下で、加熱圧着する方法である。
【０００９】本発明における支持体としては、例えば、
ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリプロピレン
フィルム、塩化ビニルフィルム、ポリエチレンフィル
ム、ナイロンフィルム等が挙げられる。支持体の厚み
は、５〜４０μｍとすることが好ましく、１５〜２０μ
ｍとすることがより好ましい。この厚みが、５μｍ未満
であると、ラミネートする際に切断する傾向があり、４
０μｍを超えると、基板の凹凸に追従しにくい傾向があ
る。
ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリプロピレン
フィルム、塩化ビニルフィルム、ポリエチレンフィル
ム、ナイロンフィルム等が挙げられる。支持体の厚み
は、５〜４０μｍとすることが好ましく、１５〜２０μ
ｍとすることがより好ましい。この厚みが、５μｍ未満
であると、ラミネートする際に切断する傾向があり、４
０μｍを超えると、基板の凹凸に追従しにくい傾向があ
る。
【００１０】本発明における感光性フィルムは、汎用の
ものを用いれば良く、特に制限はない。
ものを用いれば良く、特に制限はない。
【００１１】本発明の積層装置は、（ａ）真空保持用チ
ャンバー、（ｂ）真空保持用チャンバー内を減圧する排
気ポンプ、（ｃ）真空保持用チャンバー内とその外との
境界にあり、真空保持用チャンバー内の減圧度を保ちな
がら真空保持用チャンバー内に基板を供給するシールロ
ール、（ｄ）真空保持用チャンバー内にあり、支持体上
に熱可塑性の感光層を有する感光性フィルムを、基板上
に減圧下で加熱し、積層するラミネートロール、（ｅ）
真空保持用チャンバー内とその外との境界にあり、真空
保持用チャンバー内の減圧度を保ちながら真空保持用チ
ャンバー外に基板を排出するシールロール及び（ｆ）真
空保持用チャンバー外にあり、上記（ｄ）のラミネート
ロールにより減圧下で基板上に積層された支持体上に熱
可塑性の感光層を有する感光性フィルムを、常圧下で加
熱圧着するための加圧ロールを備えたものである。
ャンバー、（ｂ）真空保持用チャンバー内を減圧する排
気ポンプ、（ｃ）真空保持用チャンバー内とその外との
境界にあり、真空保持用チャンバー内の減圧度を保ちな
がら真空保持用チャンバー内に基板を供給するシールロ
ール、（ｄ）真空保持用チャンバー内にあり、支持体上
に熱可塑性の感光層を有する感光性フィルムを、基板上
に減圧下で加熱し、積層するラミネートロール、（ｅ）
真空保持用チャンバー内とその外との境界にあり、真空
保持用チャンバー内の減圧度を保ちながら真空保持用チ
ャンバー外に基板を排出するシールロール及び（ｆ）真
空保持用チャンバー外にあり、上記（ｄ）のラミネート
ロールにより減圧下で基板上に積層された支持体上に熱
可塑性の感光層を有する感光性フィルムを、常圧下で加
熱圧着するための加圧ロールを備えたものである。
【００１２】本発明の積層装置としては、例えば、図１
に示す装置等が挙げられる。以下、図１に示す装置につ
いて説明する。図１に示す装置は、真空保持用チャンバ
ー（１）に排気ポンプ（２）を設け、真空保持用チャン
バー（１）の内側と外側との境界に基板（３）を供給す
るシールロール（４）、基板（３）を排出するシールロ
ール（５）を設けて、真空保持用チャンバー（１）内
に、供給された基板（３）を送る搬送ロール（６）、感
光性フィルム（７）、保護フィルム（８）を巻取る保護
フィルム巻取ロール（９）、感光層（１０）を送る送り
ロール（１１）、感光層（１０）を基板（３）に加熱
し、積層するラミネートロール（１２）を設けて、真空
保持用チャンバー（１）の外に、感光層が積層された基
板（１３）を加熱圧着させる熱圧着ロール（１４）を設
置したものである。
に示す装置等が挙げられる。以下、図１に示す装置につ
いて説明する。図１に示す装置は、真空保持用チャンバ
ー（１）に排気ポンプ（２）を設け、真空保持用チャン
バー（１）の内側と外側との境界に基板（３）を供給す
るシールロール（４）、基板（３）を排出するシールロ
ール（５）を設けて、真空保持用チャンバー（１）内
に、供給された基板（３）を送る搬送ロール（６）、感
光性フィルム（７）、保護フィルム（８）を巻取る保護
フィルム巻取ロール（９）、感光層（１０）を送る送り
ロール（１１）、感光層（１０）を基板（３）に加熱
し、積層するラミネートロール（１２）を設けて、真空
保持用チャンバー（１）の外に、感光層が積層された基
板（１３）を加熱圧着させる熱圧着ロール（１４）を設
置したものである。
【００１３】基板（３）を、あらかじめ排気ポンプ
（２）で真空状態とした真空保持用チャンバー（１）
に、真空保持用チャンバー（１）の内側と外側との境界
に設置された供給用シールロール（４）を通して投入す
る。真空保持用チャンバー（１）に投入された基板
（３）は、搬送ロール（６）に送られ、ラミネートロー
ル（１２）に接触する。真空保持用チャンバー（１）内
では、あらかじめ感光性フィルム（７）が設置され、感
光性フィルム（７）の保護フィルム（８）を、保護フィ
ルム巻取ロール（９）により巻取り、支持体を含む感光
層（１０）を、送りロール（１１）でラミネートロール
（１２）に送る。
（２）で真空状態とした真空保持用チャンバー（１）
に、真空保持用チャンバー（１）の内側と外側との境界
に設置された供給用シールロール（４）を通して投入す
る。真空保持用チャンバー（１）に投入された基板
（３）は、搬送ロール（６）に送られ、ラミネートロー
ル（１２）に接触する。真空保持用チャンバー（１）内
では、あらかじめ感光性フィルム（７）が設置され、感
光性フィルム（７）の保護フィルム（８）を、保護フィ
ルム巻取ロール（９）により巻取り、支持体を含む感光
層（１０）を、送りロール（１１）でラミネートロール
（１２）に送る。
【００１４】搬送ロール（６）により送られた基板
（３）は、ラミネートロール（１２）へ送られた支持体
を含む感光層（１０）に接触し、ラミネートロール（１
２）により、支持体を含む感光層（１０）が減圧下で加
熱、積層される。感光層が積層された基板（１３）は、
真空保持用チャンバー（１）の内側と外側との境界に設
置された排出用シールロール（５）を通して、真空保持
用チャンバー（１）の外に排出される。真空保持用チャ
ンバー（１）の外に排出された感光層が積層された基板
（１３）は、熱圧着ロール（１４）により常圧下で加熱
圧着される。
（３）は、ラミネートロール（１２）へ送られた支持体
を含む感光層（１０）に接触し、ラミネートロール（１
２）により、支持体を含む感光層（１０）が減圧下で加
熱、積層される。感光層が積層された基板（１３）は、
真空保持用チャンバー（１）の内側と外側との境界に設
置された排出用シールロール（５）を通して、真空保持
用チャンバー（１）の外に排出される。真空保持用チャ
ンバー（１）の外に排出された感光層が積層された基板
（１３）は、熱圧着ロール（１４）により常圧下で加熱
圧着される。
【００１５】ラミネートロール（１２）及び熱圧着ロー
ル（１４）としては、ゴム製のロールであることが好ま
しい。ラミネートロール（１２）の直径は、３０〜９０
mmφとすることが好ましく、５０〜８０mmφとすること
がより好ましい。この直径が、３０mmφ未満では、ヒー
ター加熱が困難となる傾向があり、基板にかかる圧力が
高くなりすぎる傾向がある。また、９０mmφを超える
と、真空保持用チャンバー内への収納が困難となる傾向
がある。ラミネートロール（１２）の加熱温度は、７０
〜１３０℃とすることが好ましく、圧力は、０．５〜５
kg・f/cm2とすることが好ましい。
ル（１４）としては、ゴム製のロールであることが好ま
しい。ラミネートロール（１２）の直径は、３０〜９０
mmφとすることが好ましく、５０〜８０mmφとすること
がより好ましい。この直径が、３０mmφ未満では、ヒー
ター加熱が困難となる傾向があり、基板にかかる圧力が
高くなりすぎる傾向がある。また、９０mmφを超える
と、真空保持用チャンバー内への収納が困難となる傾向
がある。ラミネートロール（１２）の加熱温度は、７０
〜１３０℃とすることが好ましく、圧力は、０．５〜５
kg・f/cm2とすることが好ましい。
【００１６】熱圧着ロール（１４）の直径は、４０〜９
０mmφとすることが好ましく、６０〜８０mmφとするこ
とがより好ましい。この直径が、４０mmφ未満では、ヒ
ータ加熱が困難となる傾向があり、基板にかかる圧力が
高くなりすぎる傾向がある。また、９０mmφを超える
と、加熱圧着時に基板にかかる圧力が低くなりすぎる傾
向がある。熱圧着ロール（１４）の加熱温度は、１００
〜１５０℃とすることが好ましい。この加熱温度が、１
００℃未満では、所望する効果が得られない傾向があ
り、１５０℃を超えると、感光性フィルムが熱重合し易
くなる傾向がある。熱圧着ロール（１４）の圧力は、３
〜６kg・f/cm2とすることが好ましい。この圧力が、３kg
・f/cm2未満では、所望する効果が得られない傾向があ
り、６kg・f/cm2を超えると、基板の厚みによるロールの
曲がりが発生し、圧力が均一にかからない傾向がある。
０mmφとすることが好ましく、６０〜８０mmφとするこ
とがより好ましい。この直径が、４０mmφ未満では、ヒ
ータ加熱が困難となる傾向があり、基板にかかる圧力が
高くなりすぎる傾向がある。また、９０mmφを超える
と、加熱圧着時に基板にかかる圧力が低くなりすぎる傾
向がある。熱圧着ロール（１４）の加熱温度は、１００
〜１５０℃とすることが好ましい。この加熱温度が、１
００℃未満では、所望する効果が得られない傾向があ
り、１５０℃を超えると、感光性フィルムが熱重合し易
くなる傾向がある。熱圧着ロール（１４）の圧力は、３
〜６kg・f/cm2とすることが好ましい。この圧力が、３kg
・f/cm2未満では、所望する効果が得られない傾向があ
り、６kg・f/cm2を超えると、基板の厚みによるロールの
曲がりが発生し、圧力が均一にかからない傾向がある。
【００１７】また、ラミネートスピードは、真空ラミネ
ートと連動して行われることが好ましく、０．８〜３．
０ｍ／分とすることが好ましい。このラミネートスピー
ドが、０．８ｍ／分未満では、生産性が低下する傾向が
あり、３．０ｍ／分を超えると、基板との追従性が悪く
なる傾向がある。
ートと連動して行われることが好ましく、０．８〜３．
０ｍ／分とすることが好ましい。このラミネートスピー
ドが、０．８ｍ／分未満では、生産性が低下する傾向が
あり、３．０ｍ／分を超えると、基板との追従性が悪く
なる傾向がある。
【００１８】
【作用】真空保持用チャンバー（１）内を真空状態とし
て、感光層（１０）をラミネートロール（１２）にて、
減圧下で加熱、積層することにより、基板（３）と積層
された感光層（１０）の間に、空気が入り込むことがな
く、基板（３）への追従性が良好となる。感光層が積層
された基板（１３）は、真空状態の真空保持用チャンバ
ー（１）内から排出されることにより、常圧下となり、
常圧により基板（３）と感光層（１０）の密着性が強く
なり、排出されると直ちに熱圧着ロール（１４）にて、
加熱圧着されることにより、密着性がより強くなる。ま
た、感光性フィルムに凹みがあった場合でも、積層時に
一時的に発生していた空洞（ボイド）が消失し、積層歩
留りが向上する。
て、感光層（１０）をラミネートロール（１２）にて、
減圧下で加熱、積層することにより、基板（３）と積層
された感光層（１０）の間に、空気が入り込むことがな
く、基板（３）への追従性が良好となる。感光層が積層
された基板（１３）は、真空状態の真空保持用チャンバ
ー（１）内から排出されることにより、常圧下となり、
常圧により基板（３）と感光層（１０）の密着性が強く
なり、排出されると直ちに熱圧着ロール（１４）にて、
加熱圧着されることにより、密着性がより強くなる。ま
た、感光性フィルムに凹みがあった場合でも、積層時に
一時的に発生していた空洞（ボイド）が消失し、積層歩
留りが向上する。
【００１９】
【実施例】以下、実施例により本発明を説明する。 実施例１ 図１に示す積層装置を使用して、感光層（１０）に、１
００μｍφ、５μｍφの凹みを、１０コ／ｍ2設けた感
光性フィルム（７）を、金属基板（３）（ＹＥＦ−４
２、日立金属(株)製、厚さ０．２５mt）に積層した。積
層条件として、真空保持用チャンバー（１）内の気圧を
３０mmHgとし、ラミネートロール（１２）の温度を１０
０℃、圧力を４kg・f/cm2とし、ラミネートスピードを１
ｍ／分とし、熱圧着ロール（１４）の温度を１１０℃、
圧力を５kg・f/cm2とした。得られた感光層が積層された
基板（１３）を、拡大鏡を用いて、ラミネートボイド
（空洞）を観察し、結果を表１に示した。
００μｍφ、５μｍφの凹みを、１０コ／ｍ2設けた感
光性フィルム（７）を、金属基板（３）（ＹＥＦ−４
２、日立金属(株)製、厚さ０．２５mt）に積層した。積
層条件として、真空保持用チャンバー（１）内の気圧を
３０mmHgとし、ラミネートロール（１２）の温度を１０
０℃、圧力を４kg・f/cm2とし、ラミネートスピードを１
ｍ／分とし、熱圧着ロール（１４）の温度を１１０℃、
圧力を５kg・f/cm2とした。得られた感光層が積層された
基板（１３）を、拡大鏡を用いて、ラミネートボイド
（空洞）を観察し、結果を表１に示した。
【００２０】比較例１ 真空保持用チャンバー（１）内の気圧を常圧とした以外
は、実施例１と同様にして、感光層（１０）を金属基板
（３）に積層した。得られた感光層が積層された基板
（１３）を、実施例１と同様にして、ラミネートボイド
（空洞）を観察し、結果を表１に示した。
は、実施例１と同様にして、感光層（１０）を金属基板
（３）に積層した。得られた感光層が積層された基板
（１３）を、実施例１と同様にして、ラミネートボイド
（空洞）を観察し、結果を表１に示した。
【００２１】比較例２ 熱圧着ロール（１４）を取り除き、作動させなかった以
外は、実施例１と同様にして、感光層（１０）を金属基
板（３）に積層した。得られた感光層が積層された基板
（１３）を、実施例１と同様にして、ラミネートボイド
（空洞）を観察し、結果を表１に示した。
外は、実施例１と同様にして、感光層（１０）を金属基
板（３）に積層した。得られた感光層が積層された基板
（１３）を、実施例１と同様にして、ラミネートボイド
（空洞）を観察し、結果を表１に示した。
【００２２】
【表１】
【００２３】
【発明の効果】請求項１記載の感光性フィルムの積層方
法は、追従性及び密着性が優れ、積層歩留りを大幅に向
上した感光層が積層された基板が得られる。請求項２及
び３記載の積層装置は、作業性、操作性、追従性及び密
着性が優れ、積層歩留りを大幅に向上した感光層が積層
された基板を得ることができる装置である。
法は、追従性及び密着性が優れ、積層歩留りを大幅に向
上した感光層が積層された基板が得られる。請求項２及
び３記載の積層装置は、作業性、操作性、追従性及び密
着性が優れ、積層歩留りを大幅に向上した感光層が積層
された基板を得ることができる装置である。
【図１】本発明の感光性フィルムの積層装置の一例を示
す模式図である。
す模式図である。
１ 真空保持用チャンバー ２ 排気ポンプ ３ 基板 ４ 供給用シールロール ５ 排出用シールロール ６ 搬送ロール ７ 感光性フィルム ８ 保護フィルム ９ 保護フィルム巻取ロール １０ 感光層 １１ 送りロール １２ ラミネートロール １３ 感光層が積層された基板 １４ 熱圧着ロール
Claims (3)
- 【請求項１】 支持体上に熱可塑性の感光層を有する感
光性フィルムを、表面に金属面を有する基板上に、減圧
下で加熱し、積層した後、直ちに常圧下で、加熱圧着す
ることを特徴とする感光性フィルムの積層方法。 - 【請求項２】 （ａ）真空保持用チャンバー、（ｂ）真
空保持用チャンバー内を減圧する排気ポンプ、（ｃ）真
空保持用チャンバー内とその外との境界にあり、真空保
持用チャンバー内の減圧度を保ちながら真空保持用チャ
ンバー内に基板を供給するシールロール、（ｄ）真空保
持用チャンバー内にあり、支持体上に熱可塑性の感光層
を有する感光性フィルムを、基板上に減圧下で加熱し、
積層するラミネートロール、（ｅ）真空保持用チャンバ
ー内とその外との境界にあり、真空保持用チャンバー内
の減圧度を保ちながら真空保持用チャンバー外に基板を
排出するシールロール及び（ｆ）真空保持用チャンバー
外にあり、上記（ｄ）のラミネートロールにより減圧下
で基板上に積層された支持体上に熱可塑性の感光層を有
する感光性フィルムを、常圧下で加熱圧着するための加
圧ロールを備えてなる積層装置。 - 【請求項３】 真空保持用チャンバー（１）に排気ポン
プ（２）を設け、真空保持用チャンバー（１）の内側と
外側との境界に基板（３）を供給するシールロール
（４）、基板（３）を排出するシールロール（５）を設
けて、真空保持用チャンバー（１）内に、供給された基
板（３）を送る搬送ロール（６）、感光性フィルム
（７）、保護フィルム（８）を巻取る保護フィルム巻取
ロール（９）、感光層（１０）を送る送りロール（１
１）、感光層（１０）を基板（３）に加熱して積層する
ラミネートロール（１２）を設けて、真空保持用チャン
バー（１）の外に、感光層が積層された基板（１３）を
加熱圧着させる熱圧着ロール（１４）を設けた積層装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13236295A JPH08323915A (ja) | 1995-05-30 | 1995-05-30 | 感光性フィルムの積層方法及び積層装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13236295A JPH08323915A (ja) | 1995-05-30 | 1995-05-30 | 感光性フィルムの積層方法及び積層装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08323915A true JPH08323915A (ja) | 1996-12-10 |
Family
ID=15079600
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13236295A Pending JPH08323915A (ja) | 1995-05-30 | 1995-05-30 | 感光性フィルムの積層方法及び積層装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08323915A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0973066A1 (en) * | 1998-07-16 | 2000-01-19 | Somar Corporation | Film applying apparatus |
| US6176286B1 (en) | 1998-07-16 | 2001-01-23 | Somar Corporation | Film applying apparatus |
| JP2002299792A (ja) * | 2001-03-29 | 2002-10-11 | Dainippon Printing Co Ltd | ウェットエッチングを採用した電子部品の製造方法、電子部品及びハードディスク用サスペンション |
| JP2010012656A (ja) * | 2008-07-02 | 2010-01-21 | Hitachi Chem Co Ltd | 真空ラミネート装置 |
-
1995
- 1995-05-30 JP JP13236295A patent/JPH08323915A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0973066A1 (en) * | 1998-07-16 | 2000-01-19 | Somar Corporation | Film applying apparatus |
| US6176286B1 (en) | 1998-07-16 | 2001-01-23 | Somar Corporation | Film applying apparatus |
| JP2002299792A (ja) * | 2001-03-29 | 2002-10-11 | Dainippon Printing Co Ltd | ウェットエッチングを採用した電子部品の製造方法、電子部品及びハードディスク用サスペンション |
| JP2010012656A (ja) * | 2008-07-02 | 2010-01-21 | Hitachi Chem Co Ltd | 真空ラミネート装置 |
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