KR20210088714A

KR20210088714A - 전자부품의 제조 방법

Info

Publication number: KR20210088714A
Application number: KR1020217018304A
Authority: KR
Inventors: 츠네마사 이리에; 아키라 하시모토; 타케시 우에무라
Original assignee: 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼
Priority date: 2019-02-08
Filing date: 2020-02-07
Publication date: 2021-07-14
Also published as: WO2020162578A1; JPWO2020162578A1; KR102507757B1; JP7201009B2

Abstract

직사각형상의 그린시트(4)를 캐리어 필름(2)으로부터 양호하게 박리할 수 있는 전자부품의 제조 방법을 제공한다.
직사각형상으로 절단된 그린시트(4)가 형성된 장척상의 캐리어 필름(2)을 준비하는 준비 공정과, 캐리어 필름(2)을 제1 롤러(5)와, 표면에 통기 구멍(6a)이 형성된 제2 롤러(6) 사이에 반송시키고, 그린시트(4)를 통기 구멍(6a)에 의해 흡인하여 캐리어 필름(2)으로부터 박리하며, 제2 롤러(6)의 표면에 유지하는 박리 공정을 포함하고, 박리 공정에서 그린시트(4)가 박리된 후의 캐리어 필름(2)은 제1 롤러(5) 측에 구부려서 견인되어 회수되며, 제2 롤러(6)의 표면 온도는 열원(6b)에 의해 가열됨으로써, 실온보다도 높으면서 120℃보다도 낮게 유지되는 것으로 한다.

Description

전자부품의 제조 방법

본 발명은 전자부품의 제조 방법에 관한 것이고, 더 상세하게는 직사각형상으로 절단된 그린시트가 표면에 형성된 장척상(長尺狀)의 캐리어 필름을 준비하는 공정과, 그린시트를 캐리어 필름으로부터 박리하는 공정을 포함한 전자부품의 제조 방법에 관한 것이다.

종래부터 널리 실시되고 있는 전자부품의 제조 방법이 특허문헌 1(일본 공개특허공보 특개평8-162364호)에 개시되어 있다. 특허문헌 1에 개시된 전자부품의 제조 방법은 직사각형상으로 절단된 그린시트가 표면에 형성된 장척상의 캐리어 필름을 준비하는 공정과, 그린시트를 캐리어 필름으로부터 박리하는 공정을 포함한다. 특허문헌 1에 개시된 전자부품의 제조 방법을 도 10(A)~(C)를 참조하여 설명한다.

우선, 도 10(A)에 나타내는 바와 같이, 주면(主面)에 장척상의 그린시트(101)가 형성된 장척상의 캐리어 필름(캐리어 테이프)(102)을, 펀칭 테이블(103)과 반송 유닛(104) 사이에 공급한다.

펀칭 테이블(103)에는 캐리어 필름(102)을 흡인하기 위한 통기 구멍(흡기구)(103a)과, 펀칭 테이블(103) 자체를 가열하는 열원(전열 히터)(103b)이 형성된다.

반송 유닛(104)에는 양측에 1쌍의 커팅 날(직사각형 날)(104a)이 형성된다. 또한, 반송 유닛(104)에는 바닥면에 통기 구멍(흡기구)(104b)이 형성된다.

다음으로, 도 10(B)에 나타내는 바와 같이, 반송 유닛(104)을 펀칭 테이블(103)을 향해 강하시킨다. 이 결과, 커팅 날(104a)에 의해, 장척상의 그린시트(101)가 절단되고, 캐리어 필름(102) 상에 직사각형상의 그린시트(105)가 형성된다.

다음으로, 도 10(C)에 나타내는 바와 같이, 펀칭 테이블(103)을 반송 유닛(104)으로부터 멀어지는 방향(도 10(C)에서의 왼쪽 방향)으로 수평 이동시킨다. 이 결과, 통기 구멍(104b)에 흡인되어서 반송 유닛(104)의 바닥면에 유지된 그린시트(105)가 캐리어 필름(102)으로부터 박리된다.

상술한 바와 같이, 특허문헌 1의 제조 방법에서는 펀칭 테이블(103)이 열원(103b)에 의해 가열된다. 펀칭 테이블(103)을 가열하는 이유에 대해서는 몇 가지의 이유를 생각할 수 있다.

첫 번째 이유로서, 그린시트(105)의 바인더를 펀칭 테이블(103)의 열에 의해 연화시키고, 절단을 용이하게 하는 것을 들 수 있다.

두 번째 이유로서, 가열된 펀칭 테이블(103)에 의해, 캐리어 필름(102)과 그린시트(105)를 가열하고, 그린시트(105)의 캐리어 필름(102)으로부터의 박리를 용이하게 한다고 생각된다. 즉, 그린시트(105)의 캐리어 필름(102)으로부터의 박리의 용이함은 그린시트(105)의 온도에 의존하여 변화된다. 구체적으로는, 실온(예를 들면 25℃)으로부터 그린시트(105)의 유리 전이점(Tg)까지의 온도에서는 그린시트(105)의 온도가 높아질수록 그린시트(105)의 캐리어 필름(102)으로부터의 박리가 용이해진다(단, 실온＜Tg로 함). 한편, 그린시트(105)의 유리 전이점(Tg)보다도 높은 온도에서는 그린시트(105)의 온도가 높아질수록 그린시트(105)의 캐리어 필름(102)으로부터의 박리가 어려워진다. 특허문헌 1의 방법에서는 펀칭 테이블(103)을 가열하고, 펀칭 테이블(103)에 의해 그린시트(105)를 가열하고, 그린시트(105)의 온도를 유리 전이점(Tg)에 가깝게 함으로써, 그린시트(105)의 캐리어 필름(102)으로부터의 박리를 용이하게 한 것으로 생각된다.

세 번째 이유로서, 뒤에 실시되는 적층 공정에서 그린시트(105)의 가열 압착을 양호하게 실시하기 위함이라고 생각된다. 즉, 그린시트(105)는 뒤의 적층 공정에서 적층되고 가열 압착되어서 적층체가 제작된다. 그러나 그린시트(105)가 상온 그대로이면, 적층 공정에서, 적층되는 그린시트(105)가 이미 적층된 적층체로부터 열을 빼앗고, 가열 압착이 양호하게 실시되지 않을 우려가 있다. 따라서, 특허문헌 1의 방법에서는 펀칭 테이블(103)에 의해 그린시트(105)를 가열(예열)하고, 적층 공정에서의 가열 압착을 양호하게 한 것으로 생각된다.

일본 공개특허공보 특개평8-162364호

특허문헌 1에 개시된 전자부품의 제조 방법에는 다음과 같은 문제가 있었다.

우선, 특허문헌 1에 개시된 제조 방법에는, 캐리어 필름(102)으로부터 박리되고, 반송 유닛(104)의 바닥면에 유지된 그린시트(105)가 부분에 따라 다른 온도가 되어버려, 부분적인 온도 불균일이 발생한다는 문제가 있었다. 즉, 그린시트(105)는 절단을 위해, 일정 시간 펀칭 테이블(103) 상에 정지하기 때문에, 펀칭 테이블(103)에 의해 가열되어서 전체 온도가 거의 균일하게 상승한다. 그러나 그 후의 도 10(C)에 나타내는 박리 공정에서는 그린시트(105)의 선단 측(도 10(C)에서의 오른쪽)이 후단 측(도 10(C)에서의 왼쪽)보다도 먼저 펀칭 테이블(103)로부터 멀어진다. 그리고 선단 측부터 순서대로 온도가 저하되어 간다. 이 결과, 반송 유닛(104)의 바닥면에 유지된 그린시트(105)의 온도는 선단 측에서 낮고 후단 측에서 높아져, 부분적인 온도 불균일이 발생한다.

그리고 반송 유닛(104)의 바닥면에 유지된 그린시트(105)에 부분적인 온도 불균일이 발생하면, 뒤의 공정인 적층 공정의 가열 압착에서 부분적인 접착력의 불균일이 발생하는 경우가 있었다. 즉, 적층 공정의 가열 압착은 온도에 의해 접착력이 변화되기 때문에, 층간의 접착력을 균일하게 유지하도록 엄격하게 온도관리를 하여 실시된다. 그러나 반송 유닛(104)의 바닥면에 유지된 그린시트(105)에 부분적인 온도 불균일이 발생하면, 부분적인 접착력의 불균일이 발생하고, 제작된 적층체의 품질이 저하되거나 제작된 적층체가 불량품이 되는 경우가 있었다.

또한, 특허문헌 1에 개시된 제조 방법에는 캐리어 필름(102)이, 열원(103b)에 의해 가열된 펀칭 테이블(103) 상에 일정 긴 시간 정지하기 때문에, 열에 의해 캐리어 필름(102)이 파손되거나 캐리어 필름(102)에 주름이 발생하는 문제가 있었다.

그리고 캐리어 필름(102)이 파손되면 캐리어 필름(102)의 반송을 할 수 없게 되어, 전자부품의 제조가 불능해지는 경우가 있었다.

또한, 캐리어 필름(102)에 주름이 발생하면 그 위에 형성된 그린시트(105)에도 주름이 발생해 버리는 경우가 있었다. 그리고 주름이 발생한 그린시트(105)를 적층하고 가열 압착하여 적층체를 제작함으로써, 제작된 적층체의 품질이 저하되거나 제작된 적층체가 불량품이 되는 경우가 있었다.

본 발명은 상술한 종래의 과제를 해결하기 위해 이루어진 것이며, 그 수단으로서, 본 발명의 한 실시양태에 따른 전자부품의 제조 방법은 직사각형상으로 절단된 그린시트가 표면에 형성된 장척상의 캐리어 필름을 준비하는 준비 공정과, 그린시트가 형성된 캐리어 필름을 제1 롤러와, 표면에 통기 구멍이 형성된 제2 롤러 사이에 반송시키고, 그린시트를, 통기 구멍에 의해 흡인하여 캐리어 필름으로부터 박리하며, 제2 롤러의 표면에 유지하는 박리 공정을 포함하고, 박리 공정에서 그린시트가 박리된 후의 캐리어 필름은 제1 롤러 측에 구부려서 견인되어 회수되며, 제2 롤러의 표면 온도는 제2 롤러의 내부에 마련된 열원에 의해 가열됨으로써, 실온보다도 높으면서 120℃보다도 낮게 유지되는 것으로 한다.

본 발명의 전자부품의 제조 방법에 따르면, 직사각형상의 그린시트를 캐리어 필름으로부터 양호하게 박리할 수 있다.

또한, 본 발명의 전자부품의 제조 방법에 따르면, 박리된 그린시트에 부분적인 온도 불균일이 발생하기 어렵고, 또한 주름이 발생하기 어렵기 때문에 뒤의 적층 공정에서 품질이 높은 적층체를 제작할 수 있다.

도 1(A)~(C)는 각각 제1 실시형태에서 실시되는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 2(D), (E)는 도 1(C)의 연속이며, 각각 제1 실시형태에서 실시되는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 3(F), (G)는 도 2(E)의 연속이며, 각각 제1 실시형태에서 실시되는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 4는 박리 각도(SA)의 차이에 의한, 캐리어 필름(2)으로부터 그린시트(4)를 박리하는 난이도의 차이를 나타내는 설명도이다.
도 5는 접촉 각도(HA)의 차이에 의한, 캐리어 필름(2)으로부터 그린시트(4)를 박리하는 난이도의 차이를 나타내는 설명도이다.
도 6은 제2 실시형태에서 실시되는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 7은 제3 실시형태에서 실시되는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 8은 제4 실시형태에서 실시되는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 9는 제5 실시형태에서 실시되는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 10(A)~(C)는 각각 특허문헌 1에 개시된 전자부품의 제조 방법에서 실시되는 공정을 나타내는 단면도이다.

이하, 도면과 함께, 본 발명을 실시하기 위한 형태에 대해 설명한다. 한편, 각 실시형태는 본 발명의 실시형태를 예시적으로 나타낸 것이며, 본 발명이 실시형태의 내용에 한정되는 것은 아니다. 또한, 다른 실시형태에 기재된 내용을 조합하여 실시하는 것도 가능하고, 그 경우의 실시내용도 본 발명에 포함된다. 또한, 도면은 명세서의 이해를 돕기 위한 것으로서, 모식적으로 묘화된 경우가 있고, 묘화된 구성 요소 또는 구성 요소간의 치수의 비율이 명세서에 기재된 그들의 치수의 비율과 일치하지 않는 경우가 있다. 또한, 명세서에 기재된 구성 요소가 도면에서 생략된 경우나, 개수를 생략하여 묘화된 경우 등이 있다.

[제1 실시형태]

도 1(A)~도 3(G)를 참조하면서, 제1 실시형태에 따른 전자부품의 제조 방법에 대해 설명한다. 한편, 제조하는 전자부품의 종류는 임의인데, 본 실시형태에서는 일례로서 적층 세라믹 콘덴서를 제조한다.

처음으로, 도 1(A)에 나타내는, 한쪽의 주면에 장척상의 그린시트(1)가 형성된 장척상의 캐리어 필름(2)을 제작한다.

우선, 캐리어 필름(2)을 준비한다. 캐리어 필름(2)의 재질은 임의이지만, 예를 들면, PET를 사용할 수 있다. 또한, 캐리어 필름(2)의 길이, 폭, 두께 등의 치수는 임의이며, 원하는 것을 사용할 수 있다.

다음으로, 제조하는 전자부품에 따른 재질, 입경 등으로 이루어지는 유전체 세라믹스의 분말, 바인더 수지, 용제 등을 준비하고, 이들을 습식 혼합하여 세라믹 슬러리를 제작한다.

다음으로, 캐리어 필름(2) 상에, 세라믹 슬러리를 다이코터, 그라비어 코터, 마이크로 그라비어 코터 등을 이용하여 시트 형상으로 도포하고 건조시킨다. 한편, 도포하는 세라믹 슬러리의 두께는 임의이며, 원하는 그린시트(1)의 두께에 따라 적절히 설정한다. 이상에 의해, 한쪽의 주면에 장척상의 그린시트(1)가 형성된 장척상의 캐리어 필름(2)이 완성된다.

다음으로, 도시는 생략하지만, 필요에 따라 내부전극을 형성하기 위해, 장척상의 그린시트(1)의 주면에 도전성 페이스트를 원하는 패턴으로 인쇄한다.

다음으로, 도 1(B)에 나타내는 바와 같이, 한쪽의 주면에 장척상의 그린시트(1)가 형성된 장척상의 캐리어 필름(2)을 간헐적으로 반송하면서, 장척상의 그린시트(1)를 직사각형상의 그린시트(4)로 절단한다. 구체적으로는, 우선 캐리어 필름(2)의 반송을 정지시킨다. 다음으로, 미리 준비된 커팅 날(3a, 3b)을 하강시키고, 장척상의 그린시트(1)를 원하는 치수의 직사각형상의 그린시트(4)로 절단한다. 이때, 커팅 날(3a, 3b)은 그린시트(1)만 절단하고 캐리어 필름(2)을 절단하지 않도록 한다. 이 결과, 장척상의 캐리어 필름(2) 상에 직사각형상의 그린시트(4)가 형성된다.

다음으로, 캐리어 필름(2)을 간헐적으로 반송하고, 절단된 직사각형상의 그린시트(4)를 다음 공정으로 보냄과 함께, 커팅 날(3a, 3b)이 마련된 위치에, 장척상의 그린시트(1) 다음으로 절단해야 할 부분을 배치시킨다. 이상의 장척상의 그린시트(1)의 직사각형상의 그린시트(4)로의 절단과, 캐리어 필름(2)의 간헐적인 반송을 순차 반복한다.

한편, 먼저 절단된 직사각형상의 그린시트(4)와 다음에 절단된 직사각형상의 그린시트(4) 사이의 캐리어 필름(2) 상에, 장척상의 그린시트(1)의 불(不)사용 부분(직사각형상의 그린시트(4)로서 절단하지 않은 부분)이 남는 경우가 있는데, 도면에서는 이러한 불사용 부분의 도시를 생략했다.

다음으로, 도 1(C)에 나타내는 바와 같이, 직사각형상의 그린시트(4)가 형성된 캐리어 필름(2)을 제1 롤러(5)와 제2 롤러(6) 사이에 반송시킨다. 이때, 캐리어 필름(2)을 제1 롤러(5) 측으로 하고, 그린시트(4)를 제2 롤러(6) 측으로 한다. 제2 롤러(6)는 그린시트(4)를 박리하고 유지하기 위한 박리 롤러이다. 한편, 본 실시형태에서는 후술하는 바와 같이, 제2 롤러(6)는 박리 롤러일 뿐만 아니라, 적층 롤러를 겸한다.

제1 롤러(5)의 재질은 임의인데, 예를 들면, 알루미늄, 카본, SUS 등을 사용할 수 있다. 제1 롤러(5)의 직경은 제2 롤러(6)의 직경보다도 작다. 제1 롤러(5)의 직경은 임의이지만, 예를 들면, φ20~φ100 정도로 한다.

본 실시형태에서는 제1 롤러(5)는 열원을 포함하지 않는다. 단, 제1 롤러(5)는 열원을 포함하고, 일정 온도로 유지되는 것이어도 된다.

제2 롤러(6)의 재질은 임의인데, 예를 들면, 알루미늄, 카본, SUS 등을 사용할 수 있다. 제2 롤러(6)의 직경은 임의인데, 예를 들면, φ200~φ700 정도로 한다. 제1 롤러(5)의 직경과 제2 롤러의 직경의 비는 1:2~1:35 정도로 한다.

본 실시형태에서는 제2 롤러(6)의 바깥둘레의 대략 1/3의 영역에 복수개의 통기 구멍(6a)이 형성된다. 통기 구멍(6a)은 각각 제2 롤러(6)에 마련된 소정의 통기관에 접속된다. 한편, 본 실시형태에서는 직사각형상의 그린시트(4)의 길이에 적합하게 하여, 제2 롤러(6)의 바깥둘레의 대략 1/3의 영역에 통기 구멍(6a)을 마련했는데, 통기 구멍(6a)을 마련하는 영역의 넓이는 임의이며, 예를 들면, 바깥둘레의 대략 1/2에 통기 구멍(6a)을 마련해도 되고, 바깥둘레의 전체 둘레에 통기 구멍(6a)를 마련해도 된다. 한편, 도 1(C) 등에서는 제2 롤러(6)의 바깥둘레를 따라 마련된 통기 구멍(6a)이 나타나 있는데, 통기 구멍(6a)은 제2 롤러(6)의 폭방향으로도 마련된다.

본 실시형태에서는 제2 롤러(6)가 멀티챔버 석션 롤러 구조를 포함하고, 제2 롤러(6)의 표면의 영역마다 또한 시간의 경과마다, 통기 구멍(6a)의 상태를 흡인 상태, 배기 상태(블로우 상태), 대기 개방 상태 등의 임의의 상태로 할 수 있다. 또한, 흡인 상태나 배기 상태는 제2 롤러(6)의 표면의 영역마다 강약을 붙일 수 있다. 단, 제2 롤러(6)는 최저한, 흡인 기능을 포함하면 되고, 멀티챔버 석션 롤러가 아닌 흡인 전용 석션 롤러여도 된다.

제1 롤러(5)와 제2 롤러(6) 사이에 반송된, 직사각형상의 그린시트(4)가 형성된 캐리어 필름(2)은 흡인 유지 가능 영역(A1)에서 그린시트(4)가 통기 구멍(6a)에 의해 흡인되고, 제2 롤러(6)의 표면에 유지된다. 흡인 유지 가능 영역(A1)은 제1 롤러(5)와 제2 롤러(6) 사이에 끼임으로써, 캐리어 필름(2) 상에 형성된 그린시트(4)에 의해 통기 구멍(6a)이 막히고, 그린시트(4)가 통기 구멍(6a)에 의해 흡인되는 영역이다. 그 후, 그린시트(4)는 계속해서 통기 구멍(6a)에 의해 흡인되고, 제2 롤러(6)의 표면에 유지된다. 흡인 유지 가능 영역(A1)은 가압된 그린시트(4)가 통기 구멍(6a)을 막고, 그린시트(4)가 통기 구멍(6a)에 의해 흡인되며, 그린시트(4)가 제2 롤러(6)에 유지되는 데에 기인하는 영역이기 때문에, 면적이 클수록 그린시트(4)를 확실하게 흡인하고 유지할 수 있다.

또한, 제2 롤러(6)에는 박리한 그린시트(4)를 가열(예열)하기 위해, 열원(6b)이 마련된다. 열원(6b)의 종류는 임의인데, 예를 들면, 카트리지 히터, 플레이트 히터 등의 저항 가열 방식, 유도 가열, 유전 가열 방식, 열매(熱媒)를 이용한 히트펌프 방식 등을 사용할 수 있다.

제2 롤러(6)에서 열원(6b)에 의해 그린시트(4)를 가열하는 것은 뒤의 적층 공정에서, 새롭게 적층되는 그린시트(4)가 이미 적층된 적층체로부터 열을 빼앗지 않도록 하기 위함이다. 즉, 적층 공정에서의 가열 압착에서는 층간의 접착력을 균질하게 유지하기 위해 엄격하게 온도와 압력의 관리가 실시된다. 예를 들면, 적층공정에서의 가열 압착의 설정 온도가 80℃인 경우에는 이미 적층된 적층체, 및 적층체 상에 새롭게 적층되는 그린시트(4)는 예를 들면, 80℃±3℃의 범위에 들어가도록 관리된다. 열원(6b)은 새롭게 적층되는 그린시트(4)의 온도를 적절한 온도로 하기 위해, 그린시트(4)를 가열하는 것이다.

열원(6b)에 의해, 제2 롤러(6)의 표면은 바람직하게는 실온보다도 높으면서 120℃보다도 낮은 소정 온도로 유지된다. 120℃보다도 낮게 하는 것은 열에 의해 캐리어 필름(2)이 파손되지 않도록 하기 위함이다. 또한, 보다 바람직하게는 제2 롤러(6)의 표면은 열원(6b)에 의해 40℃보다도 높으면서 100℃보다도 낮은 소정 온도로 유지된다. 40℃보다도 높게 하는 것은 그린시트(4)를 효과적으로 가열하기 위함이다. 100℃보다 낮게 하는 것은 캐리어 필름(2)의 파손을 확실하게 회피하기 위함이다.

한편, 본건 출원 서류에서 실온이란, 전자부품을 제조하는 공간의 온도를 말하고, 대체로 25℃를 기준으로 한다.

이어서, 도 2(D)에 나타내는 바와 같이, 제2 롤러(6)를 회전시킴으로써, 직사각형상의 그린시트(4)를 캐리어 필름(2)으로부터 박리하고, 제2 롤러(6)의 표면에 유지해 간다.

이때, 캐리어 필름(2)은 제1 롤러(5) 측에 구부려서 견인되어 회수된다. 캐리어 필름(2)을 제1 롤러(5) 측에 구부린다는 것은 그린시트(4)를 박리함으로써 그린시트(4)와 캐리어 필름(2)이 분리되는 점을 지나는 제2 롤러(6)의 접선(L1)과 캐리어 필름이 견인되는 방향 사이에 형성되는 각도인 박리 각도(SA)가 0°보다도 큰 것을 말한다. 단, 접선(L1)은 정확하게는 제2 롤러(6)의 표면에 그린시트(4)를 개재시킨 후의 접선이다.

본 실시형태에서는 박리 각도(SA)를 대략 45°로 설정했다. 박리 각도(SA)의 크기에 따라, 박리의 난이도가 변화된다. 즉, 박리 각도(SA)가 커질수록 박리되기 쉬워지고, 박리 각도(SA)가 작을수록 박리되기 어려워진다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 박리 각도(SA)가 45°일 때의 쪽이 박리 각도가 10°일 때보다도 박리되기 쉽다.

박리 각도(SA)의 크기는 필요에 따라 조정하는 것이 바람직하다. 본 실시형태에서는 제2 롤러(6)에 열원(6b)이 마련되고, 그린시트(4)가 가열된다. 따라서, 예를 들면, 제2 롤러(6)에 접한 그린시트(4)의 온도가 급격하게 상승하고, 유리 전이점(Tg)을 넘고, 그린시트(4)가 캐리어 필름(2)으로부터 박리되기 어려워지는 바와 같은 경우에는 박리 각도(SA)를 크게 하여, 박리되기 쉬워지도록 조정하는 것이 바람직하다.

또한, 제1 롤러(5)의 캐리어 필름(2)에 대한 접촉 각도(HA)도 그린시트(4)의 캐리어 필름(2)으로부터의 박리의 난이도에 영향을 준다. 한편, 접촉 각도(HA)란, 제1 롤러(5)의 축을 중심으로 해서 본, 제1 롤러(5)의 바깥둘레의 캐리어 필름(2)이 접하는 영역이 이루는 각도이다. 접촉 각도(HA)는 커질수록 박리되기 쉬워지고, 작을수록 박리되기 어려워진다. 도 5에 나타내는 바와 같이, 접촉 각도(HA)가 180°일 때의 쪽이 접촉 각도(HA)가 40°일 때보다도 박리되기 쉽다. 제1 롤러(5)의 캐리어 필름(2)에 대한 접촉 각도(HA)는 30° 이상, 180° 이하 정도가 바람직하다. 접촉 각도(HA)가 30°보다 작으면, 그린시트(4)를 캐리어 필름(2)으로부터 박리하기 어려워지기 때문이다. 접촉 각도(HA)가 180°를 넘으면, 캐리어 필름(2)의 반송이 어려워지기 때문이다.

이어서, 도 2(E)에 나타내는 바와 같이, 제2 롤러(6)를 더 회전시킴으로써, 직사각형상의 그린시트(4)를 캐리어 필름(2)으로부터 완전히 박리시키고, 제2 롤러(6)의 표면에 유지시킨다.

다음으로, 제2 롤러(6)의 표면에 유지된 직사각형상의 그린시트(4)의 적층 공정을 실시한다. 한편, 상술한 바와 같이, 본 실시형태에서는 제2 롤러(6)가 적층 롤러를 겸한다. 또한, 그린시트(4)의 적층 공정은 내부에 열원(7a)이 마련된 적층 스테이지(7) 상에서 실시한다.

우선, 도 3(F)에 나타내는 바와 같이, 제작 도중의 적층체(8)가 탑재된 적층 스테이지(7)를 준비한다. 다음으로, 제2 롤러(6)의 최하부에서, 제2 롤러(6)에 유지된 그린시트(4)의 선단과, 적층체(8)의 최상층에 이미 적층된 그린시트(4)의 선단의 위치 맞춤을 실시한다. 이 시점에서는, 제2 롤러(6)의 통기 구멍(6a)은 흡인 상태에 있고, 그린시트(4)는 제2 롤러(6)의 표면에 흡인되어서 유지된다. 한편, 도 3(F)에서는 적층 스테이지(7)에 제작 도중의 적층체(8)가 탑재되는데, 첫 번째 층의 그린시트(4)를 적층할 때에는 적층 스테이지(7) 상에 적층체(8)는 존재하지 않는다.

다음으로, 도 3(G)에 나타내는 바와 같이, 제2 롤러(6)를 적층 스테이지(7)의 방향으로 가압한 상태로 제2 롤러(6)를 회전시키고, 그것에 동기시켜서, 적층 스테이지(7)를 회전과 동일한 방향(도 3(G)에서의 오른쪽 방향)으로 이동시킨다. 상술한 바와 같이, 제2 롤러(6)는 멀티챔버 석션 롤러 구조를 포함하고, 통기 구멍(6a)의 상태를 영역마다 또한 시간의 경과마다, 흡인 상태, 배기 상태(블로우 상태), 대기 개방 상태 중 어느 하나로 바꿀 수 있다. 이 공정에서는 이 기능이 사용되고, 통기 구멍(6a)은 제2 롤러(6)의 회전에 따라, 제2 롤러(6)의 최하부를 통과하면, 순차, 흡인 상태로부터 배기 상태(또는 대기 개방 상태)로 바뀐다. 즉, 영역(A2)에 있는 통기 구멍(6a)은 흡인 상태에 있고, 영역(A3)에 있는 통기 구멍(6a)은 배기 상태(또는 대기 개방 상태)에 있다. 이 결과, 제2 롤러(6)의 회전과 적층 스테이지(7)의 이동에 따라, 제2 롤러(6)에 유지된 그린시트(4)가 적층 스테이지(7) 상의 적층체(8)의 최상층에 적층되고, 가열 압착된다.

이때, 적층 스테이지(7) 상의 적층체(8)는 열원(7a)에 의해 가열 압착의 설정 온도로 가열된다. 또한, 새롭게 적층되는 그린시트(4)는 제2 롤러(6)의 열원(6b)에 의해 가열 압착의 설정 온도로 가열된다. 이 결과, 그린시트(4)는 목표와 같은 접착력으로 적층체(8)의 최상층에 양호하게 가열 압착된다.

이상의 직사각형 그린시트(4)의 적층, 가열 압착을 원하는 횟수 반복하고, 적층체(8)를 완성시킨다.

한편, 본 실시형태에서는 박리 롤러인 제2 롤러(6)가 적층 롤러를 겸하는데, 박리 롤러인 제2 롤러(6)와 적층 롤러를 따로따로 하여, 제2 롤러(6)에 유지된 그린시트(4)를 적층 롤러에 주고받고, 적층 롤러를 사용하여 그린시트(4)를 적층하고, 가열 압착하도록 해도 된다.

다음으로, 필요에 따라, 적층체(8)를 복수개의 개편의 미소성 세라믹 소체로 분할한다.

다음으로, 미소성 세라믹 소체를 소정 프로파일로 소성하고, 세라믹 소체를 제작한다. 이때, 그린시트(4)의 층간에 마련된 도전성 페이스트도 소성되고, 세라믹 소체의 층간에 내부전극이 형성된다.

다음으로, 세라믹 소체의 표면에 외부전극을 형성하여, 본 실시형태에 따른 전자부품(적층 세라믹 콘덴서)이 완성된다.

본 발명의 전자부품의 제조 방법에 따르면, 직사각형상의 그린시트(4)를 캐리어 필름(2)으로부터 양호하게 박리할 수 있다.

또한, 본 발명의 전자부품의 제조 방법에 따르면, 그린시트(4)의 각 부가, 가열된 제2 롤러(6)에 접하는(유지되는) 시간이 동일하기 때문에, 그린시트(4)에 부분적인 온도 불균일이 발생하지 않고, 적층 공정에서 그린시트(4)는 양호하게 가열 압착되며, 적층체(8)의 품질이 저하될 일이 없다.

또한, 본 발명의 전자부품의 제조 방법에 따르면, 캐리어 필름(2)이, 가열된 제2 롤러(6)에 접하는 시간이 극히 짧으면서 그린시트(4)를 사이에 끼워서 간접적으로 접하기 때문에, 캐리어 필름(2)이 열에 의해 파손될 일이 없고, 전자부품의 제조가 불능해질 일이 없다.

또한, 본 발명의 전자부품의 제조 방법에 따르면, 캐리어 필름(2)이, 가열된 제2 롤러(6)에 접하는 시간이 극히 짧으면서, 그린시트(4)를 사이에 끼워서 간접적으로 접하기 때문에, 캐리어 필름(2)에 주름이 발생할 일이 없고, 그 영향에 의해 그린시트(4)에 주름이 발생할 일도 없기 때문에, 적층 공정에서 제작된 적층체(8)의 품질이 저하될 일이 없다.

[제2 실시형태]

제1 실시형태의 구성의 일부에 변경을 가하여, 제2 실시형태에 따른 전자부품의 제조 방법을 실시했다. 도 6을 참조하여 설명한다.

제2 실시형태는 제1 실시형태의 박리 공정에 변경을 가했다. 구체적으로는, 제1 실시형태에서는 박리 공정에 알루미늄제의 제1 롤러(5)를 사용했었다. 제2 실시형태에서는 이 대신에 도 5에 나타내는 바와 같이, 표면이 고무제인 제1 롤러(25)를 사용했다. 제2 실시형태의 기타 구성에 대해서는 제1 실시형태와 동일하게 했다.

제2 실시형태에서는 제1 롤러(5)가 그린시트(4)가 형성된 캐리어 필름(2)을 통해 탄성을 가져서, 약간 변형된 상태로 제2 롤러(6)에 접한다. 그 때문에, 제2 실시형태에서는 흡인 유지 가능 영역(A21)의 면적이 제1 실시형태의 흡인 유지 가능 영역(A1)의 면적보다도 크다. 그 때문에, 제2 실시형태에서는 제1 실시형태보다도 보다 확실하게 제2 롤러(6)에 의해 그린시트(4)를 박리하고 유지할 수 있다.

[제3 실시형태]

제1 실시형태에 구성을 추가하여, 제3 실시형태에 따른 전자부품의 제조 방법을 실시했다. 도 7을 참조하여 설명한다.

제3 실시형태는 제1 실시형태의 박리 공정에 구성을 추가했다. 구체적으로는, 제1 실시형태에서는 제1 롤러(5)와 제2 롤러(6)의 2개의 롤러를 사용했었지만, 제3 실시형태에서는 이들에 추가로 제3 롤러(37)를 하나 더 추가했다. 도 6에 나타내는 바와 같이, 제3 롤러(37)는 캐리어 필름(2)의 반송로에서, 제1 롤러(5)보다도 뒤에 마련되고, 그린시트(4)가 형성된 캐리어 필름(2)은 제1 롤러(5)와 제2 롤러(6) 사이, 및 제3 롤러(37)와 제2 롤러(6) 사이에 반송된다. 한편, 제3 실시형태에서는 그린시트(4)가 박리된 후의 캐리어 필름(2)은 제1 롤러(5) 및 제3 롤러(37) 측에 구부려서 견인되어 회수된다. 제3 실시형태의 기타 구성에 대해서는 제1 실시형태와 동일하게 했다.

제3 실시형태에서는 제3 롤러(37)를 추가함으로써, 제1 실시형태의 흡인 유지 가능 영역(A1)이나 제2 실시형태의 흡인 유지 가능 영역(A21)에 비해, 흡인 유지 가능 영역(A31)의 면적이 상당히 커졌다. 그 때문에, 제3 실시형태에서는 제1 실시형태나 제2 실시형태보다도 더 확실하게 제2 롤러(6)에 의해 그린시트(4)를 박리하고 유지할 수 있다.

[제4 실시형태]

제3 실시형태의 구성의 일부에 변경을 가하여, 제4 실시형태에 따른 전자부품의 제조 방법을 실시했다. 도 8을 참조하여 설명한다.

제4 실시형태에서는 제3 실시형태에서 사용한 제3 롤러(37)를 나이프 에지(48)로 치환했다. 나이프 에지(48)란, 캐리어 필름(2)의 반송 방향을 바꿀 수 있는, 예각의 에지를 갖춘 금속 부재이다. 제4 실시형태의 기타 구성에 대해서는 제3 실시형태와 동일하게 했다.

제4 실시형태에서도 흡인 유지 가능 영역(A41)의 면적이 상당히 커졌다. 그 때문에, 제4 실시형태에서도 제1 실시형태나 제2 실시형태보다도 더 확실하게 제2 롤러(6)에 의해 그린시트(4)를 박리하고 유지할 수 있다.

[제5 실시형태]

제3 실시형태의 구성의 일부에 변경을 가하여, 제5 실시형태에 따른 전자부품의 제조 방법을 실시했다. 도 9를 참조하여 설명한다.

제5 실시형태에서는 제3 실시형태에서 사용한 제3 롤러(37)를 냉각 기능을 포함한 제3 롤러(57)로 치환했다. 제5 실시형태의 기타 구성에 대해서는 제3 실시형태와 동일하게 했다.

제3 롤러(57)는 냉각 기능에 의해, 캐리어 필름(2) 및 그린시트(4)의 온도를 낮출 수 있다. 즉, 상술한 바와 같이, 그린시트(4)의 온도가 유리 전이점(Tg) 이상인 경우에는 그린시트(4)의 온도가 높아질수록, 그린시트(4)는 캐리어 필름(2)으로부터 박리되기 어려워진다. 한편, 제2 롤러(6)의 표면에 유지된 그린시트(4)는 뒤에 실시되는 적층 공정의 가열 압착을 양호하게 실시하기 위해, 열원(6b)에 의해 가열된다. 그리고 제2 롤러(6)의 표면에 유지된 그린시트(4)는 통상 유리 전이점(Tg)보다도 높은 온도가 되었다. 따라서, 제5 실시형태에서는 그린시트(4)와 캐리어 필름(2)이 분리되는 점의 근처에 배치된 제3 롤러(57)에 냉각 기능을 가지게 함으로써, 그린시트(4)의 온도를 일시적이면서 부분적으로 내리고, 유리 전이점(Tg)에 가깝게 함으로써, 그린시트(4)의 캐리어 필름(2)으로부터의 박리를 용이하게 하도록 했다.

제5 실시형태에서는 제3 롤러(57)가 냉각 기능을 포함하고, 그린시트(4)의 온도를 내릴 수 있기 때문에, 그린시트(4)를 캐리어 필름(2)으로부터 용이하게 박리할 수 있다.

이상, 제1 실시형태~제5 실시형태에 따른 전자부품의 제조 방법에 대해 설명했다. 그러나 본 발명이 상술한 내용에 한정되는 것은 아니며, 발명의 취지를 따라 다양한 변경을 할 수 있다.

예를 들면, 상기 실시형태에서는 전자부품으로서 적층 세라믹 콘덴서를 제작했는데, 제작하는 전자부품의 종류는 임의이며, 적층 세라믹 서미스터, 적층 세라믹 인덕터, 적층 세라믹 복합 부품 등, 다른 종류의 전자부품이어도 된다.

또한, 상기 실시형태에서는 박리 롤러인 제2 롤러(6)가 적층 롤러를 겸하지만, 박리 롤러인 제2 롤러(6)와 적층 롤러를 따로따로 하여, 제2 롤러(6)에 유지된 그린시트(4)를 적층 롤러에 주고 받고, 적층 롤러를 사용하여 그린시트(4)를 적층하고, 가열 압착하도록 해도 된다. 또한, 이 경우에, 박리 롤러인 제2 롤러(6)와 전용 적층 롤러 사이에 그린시트(4)의 주고 받음에 사용하는 중계 롤러를 마련해도 된다.

본 발명의 한 실시양태에 따른 전자부품의 제조 방법은 "과제를 해결하기 위한 수단"의 란에 기재한 바와 같다.

이 전자부품의 제조 방법에서, 제2 롤러의 표면 온도가 제2 롤러의 내부에 마련된 열원에 의해 가열됨으로써, 40℃보다도 높으면서 100℃보다도 낮게 유지되도록 해도 된다. 40℃보다도 높게 하는 것은 그린시트를 효과적으로 가열하기 위함이다. 100℃보다 낮게 하는 것은 캐리어 필름의 파손을 확실하게 회피하기 위함이다.

또한, 제1 롤러가 표면이 고무에 의해 제작된 고무 롤러여도 된다. 이 경우에는 제1 롤러가 그린시트가 형성된 캐리어 필름을 통해 탄성을 가져서, 약간 변형된 상태로 제2 롤러에 접한다. 그 때문에, 흡인 유지 가능 영역의 면적이 커져, 보다 확실하게 제2 롤러에 의해 그린시트를 박리하고 유지하는 것이 가능해진다.

또한, 캐리어 필름의 반송로에서 제1 롤러보다도 뒤에 제3 롤러가 마련되고, 그린시트가 형성된 캐리어 필름을 제1 롤러와 제2 롤러 사이, 및 제3 롤러와 제2 롤러 사이에 반송시키도록 해도 된다. 이 경우에는 흡인 유지 가능 영역의 면적이 상당히 커지기 때문에, 더 확실하게 제2 롤러에 의해 그린시트를 박리하고, 유지하는 것이 가능해진다.

이 경우에 제3 롤러가 냉각되고, 제3 롤러에 의해 캐리어 필름 및 그린시트가 냉각되도록 해도 된다. 이 경우에는 제2 롤러의 열원에 의해 가열된 그린시트의 온도를 낮출 수 있기 때문에, 그린시트를 캐리어 필름으로부터 용이하게 박리할 수 있다.

또한, 캐리어 필름의 반송로에서, 제1 롤러보다도 뒤에 나이프 에지가 마련되고, 그린시트가 형성된 캐리어 필름을 제1 롤러와 제2 롤러 사이, 및 나이프 에지와 제2 롤러 사이에 반송시키도록 해도 된다. 이 경우에도 흡인 유지 가능 영역의 면적이 상당히 커지기 때문에, 더 확실하게 제2 롤러에 의해 그린시트를 박리하고, 유지하는 것이 가능해진다.

박리 공정 후에 그린시트를 적층하는 적층 공정을 포함해도 된다. 이 적층 공정은 예를 들면, 제2 롤러를 사용하여 실시할 수 있다. 혹은 이 적층 공정은 전용 적층 롤러를 사용하여 실시할 수 있다.

1: 장척상의 그린시트
2: 캐리어 필름
3a, 3b: 커팅 날
4: 직사각형상의 그린시트
5, 25: 제1 롤러
6: 제2 롤러
6a: 통기 구멍
6b: 열원
37, 57: 제3 롤러
48: 나이프 에지
A1, A21, A31, A41, A51: 흡인 유지 가능 영역
A2: 통기 구멍(6a)이 흡인 상태에 있는 영역
A3: 통기 구멍(6a)이 배기 상태(또는 대기 개방 상태)에 있는 영역
L1: 제2 롤러(6)의 접선
SA: 박리 각도
HA: 접촉 각도

Claims

전자부품의 제조 방법으로서,
직사각형상으로 절단된 그린시트가 표면에 형성된 장척상(長尺狀)의 캐리어 필름을 준비하는 준비 공정과,
상기 그린시트가 형성된 상기 캐리어 필름을 제1 롤러와, 표면에 통기 구멍이 형성된 제2 롤러 사이에 반송시키고, 상기 그린시트를 상기 통기 구멍에 의해 흡인하여 상기 캐리어 필름으로부터 박리하고, 상기 제2 롤러의 표면에 유지하는 박리 공정을 포함하고,
상기 박리 공정에서,
상기 그린시트가 박리된 후의 상기 캐리어 필름은 상기 제1 롤러 측에 구부려서 견인되어 회수되며,
상기 제2 롤러의 표면 온도는 상기 제2 롤러의 내부에 마련된 열원에 의해 가열됨으로써, 실온보다도 높으면서 120℃보다도 낮게 유지되는, 전자부품의 제조 방법.
제1항에 있어서,
상기 제2 롤러의 표면 온도가 상기 제2 롤러의 내부에 마련된 열원에 의해 가열됨으로써, 40℃보다도 높으면서 100℃보다도 낮게 유지되는, 전자부품의 제조 방법.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1 롤러가 표면이 고무에 의해 제작된 고무 롤러인, 전자부품의 제조 방법.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 캐리어 필름의 반송로에서, 상기 제1 롤러보다도 뒤에 제3 롤러가 마련되고,
상기 그린시트가 형성된 상기 캐리어 필름을 상기 제1 롤러와 상기 제2 롤러 사이, 및 상기 제3 롤러와 상기 제2 롤러 사이에 반송시키는, 전자부품의 제조 방법.
제4항에 있어서,
상기 제3 롤러가 냉각되고, 상기 제3 롤러에 의해 상기 캐리어 필름 및 상기 그린시트가 냉각되는, 전자부품의 제조 방법.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 캐리어 필름의 반송로에서, 상기 제1 롤러보다도 뒤에 나이프 에지가 마련되고,
상기 그린시트가 형성된 상기 캐리어 필름을 상기 제1 롤러와 상기 제2 롤러 사이, 및 상기 나이프 에지와 상기 제2 롤러 사이에 반송시키는, 전자부품의 제조 방법.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 박리 공정의 뒤에, 상기 그린시트를 적층하는 적층 공정을 포함한, 전자부품의 제조 방법.
제7항에 있어서,
상기 적층 공정이 상기 제2 롤러를 사용하여 실시되는, 전자부품의 제조 방법.
제7항에 있어서,
상기 적층 공정이 전용 적층 롤러를 사용하여 실시되는, 전자부품의 제조 방법.
제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
제조되는 전자부품이 적층 세라믹 콘덴서인, 전자부품의 제조 방법.