JP2000246718A - セラミックグリーンシートの積層方法及び積層装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 キャリアフィルム上のセラミックグリーンシ
ートを、破れや変形を生じたり、積層シート間に空気が
入り込んだりすることなく、確実に積層することが可能
なセラミックグリーンシートの積層方法及び積層装置を
提供する。 【解決手段】 被圧着体（積層体）１０を冷却するため
の冷却手段２ａを備えたテーブル２を用い、キャリアフ
ィルム３上のセラミックグリーンシート１を、加熱ロー
ル５によりキャリアフィルム３を介して、テーブル２上
で冷却されている圧着体（積層体）１０に押圧、加熱す
ることにより、テーブル２上の被圧着体（積層体）１０
上にセラミックグリーンシートを転写、圧着した後、キ
ャリアフィルム３を所定の剥離角で方向転換させること
によりセラミックグリーンシート１からキャリアフィル
ム３を剥離する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本願発明は、積層セラミック
コンデンサのような積層セラミック電子部品の製造工程
などにおいて用いられるセラミックグリーンシートの積
層方法及びそれに用いられる積層装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】積層セラミックコンデンサなどの積層セ
ラミック電子部品を製造する工程には、セラミックグリ
ーンシートを積層する工程が含まれている。

【０００３】ところで、従来のセラミックグリーンシー
トの積層方法には、 図８に示すように、テーブル５１上にベースフィルム
（キャリアフィルム）５２を介して支持された、セラミ
ックグリーンシートの積層体５３（電極５４が内部に配
設されている）上に、別のキャリアフィルム５２ａ上に
支持されたセラミックグリーンシート５５を、キャリア
フィルム５２ａ側から熱盤５６を押し当てて面プレスす
ることにより、積層体５３上に一層ずつ圧着する方法
（特開平２−１１４６１４号，第３図及び第４図）、 図９に示すように、テーブル５１上にキャリアフィル
ム５２を介して支持された、セラミックグリーンシート
の積層体５３（電極５４が内部に配設されている）上
に、別のキャリアフィルム５２ａ上に支持されたセラミ
ックグリーンシート５５を、キャリアフィルム５２ａ上
から熱ローラ５７を押し当てることにより、積層体５３
上に一層ずつ圧着する方法（特開平２−１１４６１４
号，第５図） などの種々の方法がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の方法
の場合、(ａ)熱盤を用いて面プレスすることによりセラ
ミックグリーンシートを積層体に圧着するようにしてい
るので、セラミックグリーンシートと積層体の間に入り
込んだ空気の逃げ場所がなく、積層シート間に残留して
デラミネーションなどの原因となる、(ｂ)プレス面内の
圧力ばらつきが大きく接着状態が不均一になる (ｃ)圧着に必要な圧力を得るために必要な総圧が大きく
なり、設備の大型化を招く、(ｄ)キャリアフィルムの剥
離は、熱盤により面プレスを行った後、キャリアフィル
ムを垂直に引き上げることにより行われるが、この方法
の場合、確実に剥離しようとすると大きな剥離力を与え
なければならず、積層したセラミックグリーンシートの
破れや変形を生じやすいというような問題点がある。

【０００５】また、上記の方法では、積層体（被圧着
体）が熱ローラにより、繰り返して何度も加熱及び加圧
されるため、積層体が変形する（薄くなり平面面積が大
きくなる）という問題点がある。例えば、積層セラミッ
クコンデンサにおいて、大容量化を図ろうとすると、薄
層多層の積層体を形成することが必要になり、１００層
以上のセラミックグリーンシートを積層することが行わ
れるが、そのような場合には、加熱及び加圧が多数回繰
り返して行われるため、変形の度合いが大きくなる。

【０００６】なお、被圧着体からキャリアフィルムを剥
離する方法に関しては、特開平６−３１２４１７号公報
の方法のように、加熱圧着後、キャリアフィルムを剥離
する前に、最上層のセラミックグリーンシートの表面
（具体的にはキャリアフィルムの表面）に冷却ジャケッ
トを滑らせて、最上層のセラミックグリーンシートを冷
却する方法も提案されているが、その場合、通常は、加
熱圧着と剥離（すなわち冷却、剥離）とを別の場所で行
わなければならず、生産効率が悪いという問題点があ
り、また、加熱圧着と剥離とを同一場所で行おうとする
と、テーブルが冷却されるまで待たなければならず、こ
れも極めて効率が悪く、現実的ではないという問題点が
ある。また、冷却ジャケットがキャリアフィルムの表面
と擦れ合うため、静電気が発生し、大きな剥離力が必要
になるため、セラミックグリーンシートの破れや変形を
招くという問題点がある。

【０００７】本願発明は、上記問題点を解決するもので
あり、大型設備を必要とせず、積層シート間に空気が入
り込むことを防止しつつ、キャリアフィルム上のセラミ
ックグリーンシートを、破れや変形を生じることなく確
実に積層してセラミックグリーンシートの積層体を形成
することが可能なセラミックグリーンシートの積層方法
及び積層装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願発明（請求項１）のセラミックグリーンシート
の積層方法は、キャリアフィルム上に保持されて搬送さ
れるセラミックグリーンシートを、回転可能な加熱ロー
ルにより加熱するとともに、テーブル上のセラミックグ
リーンシート又はセラミックグリーンシートの積層体
（被圧着体）に押圧して、転写、圧着することによりセ
ラミックグリーンシートを積層するセラミックグリーン
シートの積層方法であって、前記テーブルとして、その
上面に載置される被圧着体を冷却する冷却手段を備えた
テーブルを用い、加熱ロールをセラミックグリーンシー
トの搬送方向に対応する方向に、かつセラミックグリー
ンシートの搬送速度と略同一の周速度で回転させるとと
もに、テーブルをセラミックグリーンシートの搬送方向
と同一方向に略同一速度で移動させることにより、キャ
リアフィルム上に保持されたセラミックグリーンシート
をテーブル上で冷却されている被圧着体に転写、圧着し
た後、テーブルをさらに同じ方向に移動させながら、剥
離手段を構成する方向転換用当接治具を支点（方向転換
点）として、キャリアフィルムを所定の角度（剥離角）
で方向転換させることにより、被圧着体に圧着されたセ
ラミックグリーンシートから剥離させることを特徴とし
ている。

【０００９】被圧着体を冷却する冷却手段を備えたテー
ブル上に被圧着体を保持することにより、被圧着体を冷
却しつつ、セラミックグリーンシートを、加熱ロールに
より、キャリアフィルムを介してテーブル上で冷却され
ている被圧着体に押圧し、キャリアフィルム上のセラミ
ックグリーンシートを被圧着体に転写、圧着した後、剥
離手段を構成する方向転換用当接治具を支点（方向転換
点）として、キャリアフィルムを所定の剥離角となるよ
うに方向転換させてセラミックグリーンシートから剥離
することにより、被圧着体の破れや変形を防止しつつセ
ラミックグリーンシートを効率よく積層することが可能
になる。

【００１０】すなわち、冷却手段を備えたテーブルを用
い、被圧着体（積層体）を冷却することにより、被圧着
体の流動性を抑制し、圧着時の加熱及び加圧による被圧
着体の変形を抑制することが可能になる。また、テーブ
ルに保持された状態のまま被圧着体が冷却されるため、
冷却手段とキャリアフィルムの摩擦による静電気の発生
やセラミックグリーンシートの変形を招いたりすること
がない。したがって、小さな剥離力で、セラミックグリ
ーンシートの破れや変形を引き起こしたりすることなく
キャリアフィルムを確実に剥離することができる。

【００１１】また、請求項２のセラミックグリーンシー
トの積層方法は、前記テーブルとして、往復動可能なテ
ーブルが用いられており、圧着領域において、キャリア
フィルム上に保持されて搬送されてきたセラミックグリ
ーンシートが転写、圧着された被圧着体を、前記テーブ
ルを移動させて、圧着領域から剥離領域に搬送するとと
もに、剥離領域において、キャリアフィルムを、被圧着
体に圧着されたセラミックグリーンシートから剥離した
後、前記テーブルを移動させて、キャリアフィルムが剥
離された被圧着体を圧着領域に戻すことにより、(ａ)前
記セラミックグリーンシートの被圧着体への転写、圧
着、(ｂ)前記セラミックグリーンシートが圧着された被
圧着体の剥離領域への搬送、及び(ｃ)前記キャリアフィ
ルムの剥離の工程を繰り返して行い、複数のセラミック
グリーンシートを順次積層することを特徴としている。

【００１２】前記テーブルとして往復動可能なテーブル
を用い、圧着領域と剥離領域の間の被圧着体の搬送を、
往復動可能なテーブルによって行うことにより、設備の
構成やセラミックグリーンシートを積層する場合の諸工
程を簡略化して、効率よくセラミックグリーンシートを
積層することが可能になり、本願発明をより実効あらし
めることができる。

【００１３】また、請求項３のセラミックグリーンシー
トの積層方法は、 加熱ロールとは別に設けた予備加熱
手段により、被圧着体と被圧着体に圧着されるべきキャ
リアフィルム上のセラミックグリーンシートを予備的に
加熱するとともに、前記加熱ロールにより、キャリアフ
ィルムを介して、前記加熱されたセラミックグリーンシ
ートを加熱された被圧着体に押圧して圧着するようにし
たことを特徴としている。

【００１４】加熱ロールとは別に設けた予備加熱手段に
より、被圧着体とセラミックグリーンシートを予備的に
加熱するとともに、加熱ロールにより、キャリアフィル
ムを介してセラミックグリーンシートを被圧着体に押圧
して圧着するようにした場合、被圧着体及びセラミック
グリーンシートの圧着すべき部分を十分に加熱して、確
実に圧着することが可能になるとともに、被圧着体の下
層側が冷却されているため、被圧着体の全体としての変
形が効率よく防止されることになり、セラミックグリー
ンシートを、望ましくない変形を抑制しつつ効率よく確
実に積層することが可能になる。

【００１５】また、請求項４のセラミックグリーンシー
トの積層方法は、前記キャリアフィルムを方向転換させ
る際にキャリアフィルムに当接する、剥離手段の方向転
換用当接治具を冷却することを特徴としている。

【００１６】キャリアフィルムに当接する、剥離手段の
方向転換用当接治具を冷却することにより、剥離部にお
けるキャリアフィルムとセラミックグリーンシートの接
着力（付着力）を低下させ、かつ、セラミックグリーン
シートどうし及びセラミックグリーンシートと電極との
接着力を向上させて、剥離を確実に生じさせることが可
能になり、より安定した剥離を行うことが可能になる。

【００１７】また、請求項５のセラミックグリーンシー
トの積層装置は、表面にセラミックグリーンシートを保
持するキャリアフィルムを連続的に一方向に搬送する搬
送手段と、上面に載置される被圧着体を冷却する冷却手
段を備えており、キャリアフィルム上に保持されて搬送
されるセラミックグリーンシートが被圧着体に転写、圧
着される圧着領域と、被圧着体に圧着されたセラミック
グリーンシートからキャリアフィルムを剥離させる剥離
領域との間を移動するテーブルと、セラミックグリーン
シートの搬送方向に対応する方向に、かつセラミックグ
リーンシートの搬送速度と略同一の周速度で回転し、キ
ャリアフィルム上に保持されたセラミックグリーンシー
トを加熱するとともに、キャリアフィルムを介してテー
ブル上の被圧着体に押圧することにより、セラミックグ
リーンシートをテーブル上の被圧着体に転写、圧着する
加熱ロールと、前記剥離領域において、キャリアフィル
ムを方向転換させるための支点（方向変換点）となる方
向転換用当接治具をキャリアフィルムに当接させ、キャ
リアフィルムを所定の角度（剥離角）で方向転換させる
ことにより、前記被圧着体に圧着されたセラミックグリ
ーンシートからキャリアフィルムを剥離させる剥離手段
とを具備することを特徴としている。

【００１８】上述のように、搬送手段と、冷却手段を備
えたテーブルと、加熱ロールと、剥離手段とを備えた構
成とすることにより、本願請求項１のセラミックグリー
ンシートの積層方法を確実に実施して、セラミックグリ
ーンシートを、破れや変形を招いたりすることなく効率
よく積層することが可能になる。

【００１９】また、請求項６のセラミックグリーンシー
トの積層装置は、加熱ロールとは別に設けられ、被圧着
体と被圧着体に圧着されるべきキャリアフィルム上のセ
ラミックグリーンシートを予備的に加熱する予備加熱手
段を備えていることを特徴としている。

【００２０】加熱ロールとは別に予備加熱手段を設けた
構成とすることにより、被圧着体及びセラミックグリー
ンシートの圧着すべき部分を十分に加熱して、両者をよ
り確実に圧着することが可能になり、本願発明をより実
効あらしめることができる。

【００２１】また、請求項７のセラミックグリーンシー
トの積層装置は、前記キャリアフィルムを方向転換させ
る際にキャリアフィルムに当接する、剥離手段の方向転
換用当接治具を冷却する治具冷却手段を備えていること
を特徴としている。

【００２２】剥離手段の方向転換用当接治具を冷却する
治具冷却手段を備えた構成とすることにより、剥離部に
おけるキャリアフィルムとセラミックグリーンシートの
接着力（付着力）を低下させ、かつ、セラミックグリー
ンシートどうし及びセラミックグリーンシートと電極と
の接着力を向上させて、剥離を確実に生じさせることが
可能になり、より安定した剥離を行うことが可能にな
る。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本願発明の実施の形態を示
してその特徴とするところをさらに詳しく説明する。

【００２４】［実施形態１］図１は本願発明の一実施形
態にかかるセラミックグリーンシートの積層装置の要部
構成を示す図である。このセラミックグリーンシートの
積層装置は、図１に示すように、セラミックグリーンシ
ート１の積層体（被圧着体）１０を支持し、圧着領域Ａ
と剥離領域Ｂを往復動するとともに、上面に載置される
積層体１０を冷却する冷却手段２ａを備えたテーブル２
と、表面に電極９が印刷されたセラミックグリーンシー
ト１を保持するキャリアフィルム３を連続的に搬送する
搬送手段４と、キャリアフィルム３上のセラミックグリ
ーンシート１の位置を検知するためのイメージセンサ１
５と、キャリアフィルム３上に保持されて搬送されるセ
ラミックグリーンシート１を、回転しながらキャリアフ
ィルム３を介して加熱するとともに、テーブル２上のセ
ラミックグリーンシート１の積層体１０に押圧して圧着
する加熱ロール５と、キャリアフィルム３を方向転換さ
せるための支点となる方向転換用当接治具（ここでは剥
離爪）６をキャリアフィルム３に当接させ、キャリアフ
ィルム３を方向転換させて、積層体１０に圧着されたセ
ラミックグリーンシート１から剥離するように構成され
た剥離手段７とを備えている。なお、テーブル２の冷却
手段としては、例えば、冷却水を循環することにより冷
却するように構成されたものや、ヒートパイプを用いた
ものなど、種々の構成のものを用いることが可能であ
る。

【００２５】また、キャリアフィルム３は、剥離爪６に
より積層体１０の最上層のセラミックグリーンシート１
から剥離された後、ローラ８を経て、搬送手段４により
搬送されるように構成されている。

【００２６】次に、上記のように構成されたセラミック
グリーンシートの積層装置の動作を、図２，３及び４を
参照しつつ説明する。 まず、冷却手段により冷却したテーブルに、電極の形
成されていないセラミックグリーンシート、すなわち、
最外層用のセラミックグリーンシートを載せて冷却して
おく。 次に、図２に示すように、加熱ロール５により、キャ
リアフィルム３を介して、キャリアフィルム３に保持さ
れた電極付のセラミックグリーンシート１を押圧し、テ
ーブル２上の最外層用のセラミックグリーンシート（被
圧着体）１ａ上に転写、圧着する。なお、このとき、加
熱ロール５を電極付のセラミックグリーンシート１の搬
送方向（矢印Ｙの方向）に対応する方向に、電極付のセ
ラミックグリーンシート１の搬送速度と略同一の周速度
で回転させるとともに、テーブル２を電極付のセラミッ
クグリーンシート１の搬送方向（Ｙ方向）と同一方向に
略同一速度で移動させることにより、キャリアフィルム
３上に保持された電極付のセラミックグリーンシート１
をテーブル２上の最外層用のセラミックグリーンシート
（被圧着体）１ａに転写、圧着する。 それから、図３及び図４に示すように、テーブルをさ
らに矢印Ｙの方向に移動させながら、方向転換用当接治
具（剥離爪）６及びローラ８により、キャリアフィルム
３を所定の剥離角θ（ここでは、約１２０゜）となるよ
うに方向転換させながら搬送することにより、最外層用
のセラミックグリーンシート１ａに圧着された電極付の
セラミックグリーンシート１からキャリアフィルム３を
剥離させる。 それから、テーブル２を圧着領域Ａ（図１）に戻し
て、上記及びを繰り返し、さらに最外層用のセラミ
ックグリーンシートを積層することにより、セラミック
グリーンシートの積層体が完成する。

【００２７】なお、この実施形態における各種の条件は
以下の通りとした。 (ａ)キャリアフィルム サイズ：幅１２０mm×厚み０．０５mm 材質 ：ＰＥＴ製フィルム (ｂ)積層に供したカット済みのセラミックグリーンシー
ト サイズ：１００mm×１００mm×０．０１mm（厚み） 電極 ：印刷済み (ｃ)加熱ロール ・直径 ：１５０mm ・加熱方式 ：ヒータ加熱 ・加熱温度範囲：８０〜１８０℃の範囲で可変。セラミ
ックグリーンシートのバインダーの含有率や種類などに
より調整する（すなわち、バインダーのガラス転移点以
上の温度とする）。 ・荷重 ：１００Ｎ／cm ・材質 ：ステンレス ・加熱ロールの周速度：１０mm／s（ただし、下記のテ
ーブルの移動速度及びキャリアフィルム（セラミックグ
リーンシート）の搬送速度に同調させる。 (ｄ)テーブル ・移動速度 ： １０mm／s ・冷却されたテーブルの温度 ：５〜１０℃ (ｅ)キャリアフィルム（セラミックグリーンシート）の
搬送速度 ・１０mm／ｓ (ｆ)剥離手段 ・剥離角 ：約１２０゜ ・剥離爪の材質：ステンレス

【００２８】上記実施形態のセラミックグリーンシート
の積層方法（積層装置）においては、冷却手段を備えた
テーブルを用い、被圧着体（積層体）を冷却するように
しているので、被圧着体の流動性を抑制し、圧着時の加
熱及び加圧による被圧着体の変形を防止することが可能
になる。また、テーブルに保持された状態のまま被圧着
体が冷却されるため、冷却手段とキャリアフィルムの摩
擦による静電気の発生やセラミックグリーンシートの変
形を招いたりすることを防止するとともに、小さな剥離
力で、セラミックグリーンシートの破れや変形を引き起
こしたりすることなくキャリアフィルムを剥離すること
が可能になる。その結果、変形を生じたりすることな
く、効率よくセラミックグリーンシートの積層体を形成
することができる。

【００２９】また、この実施形態のセラミックグリーン
シートの積層装置（積層方法）は、上記の他にも、以下
に述べるような効果を奏する。セラミックグリーンシー
トを加熱ロールに沿わせて圧着することにより、しわな
どの発生を防止して、セラミックグリーンシート間に空
気がかみこまれることを抑制することができる。

【００３０】また、セラミックグリーンシートを加熱ロ
ールで加熱しながら圧着するようにしているので、セラ
ミックグリーンシートどうし及びセラミックグリーンシ
ートと電極とを確実に接着させることができる。

【００３１】また、圧着と剥離という手段を明確に分離
したことにより、圧着と剥離を確実に行うことが可能に
なる。一方、圧着領域Ａと剥離領域Ｂを近接した位置に
配設しており、テーブルを矢印Ｙの方向に移動させるだ
けで、圧着と剥離を一連の動作で行うことが可能にな
り、生産性の低下を招くことがない。

【００３２】また、圧着と剥離を別の装置で行うように
した場合、圧着後に時間が経過すると接着力が変動して
しまうという問題点があるが、上記実施形態の積層装置
では、一定時間経過後に（すなわち、テーブルが所定距
離移動した時点で）必ずキャリアフィルムが剥離される
ことになるため、一定の剥離力で安定した剥離を行うこ
とが可能になる。

【００３３】なお、上記実施形態では、方向転換用当接
治具として剥離爪６を用いているが、本願発明において
は、図５(ａ)に示すように、方向転換用当接治具とし
て、剥離板６ａを用い、剥離角θが９０゜以下（例え
ば、図５(ａ)では約４５゜）となるような構成とするこ
とも可能である。なお、剥離板の代わりに、剥離ロール
を用いることも可能であり、また、剥離角を９０゜以
上、１８０°未満の範囲で任意に選択することが可能で
ある。図５(ｂ)は、図５(ａ)の剥離板６ａの代わりに剥
離ロール６ｂを用いて剥離角を約４５゜とした例を示し
ている。

【００３４】［実施形態２］この実施形態のセラミック
グリーンシートの積層装置は、図６に示すように、加熱
ロール５によりセラミックグリーンシートを被圧着体１
０に転写、圧着する前に、被圧着体１０と被圧着体１０
に圧着されるべきキャリアフィルム３上のセラミックグ
リーンシート１を予備的に加熱するための予備加熱手段
１１を備えている。なお、ここでは、予備加熱手段１１
として、赤外線ヒータが用いられている。ただし、予備
加熱手段１１としては、これに限らず、他の種類の加熱
手段を用いることも可能である。なお、その他の構成
は、上記実施形態１の場合と同様であることから、重複
を避けるため、説明を省略する。

【００３５】この実施形態２のセラミックグリーンシー
トの積層装置は、上述のように予備加熱手段を備えてい
るので、被圧着体及びセラミックグリーンシートの圧着
すべき部分を十分に加熱して、両者をより確実に圧着す
ることが可能になり、本願発明をより実効あらしめるこ
とができる。すなわち、本願発明のセラミックグリーン
シートの積層装置においては、テーブルにより被圧着体
が冷却されているので、圧着部分である被圧着体の上面
側も冷却されてしまうことになるが、予備加熱手段によ
り予備的な加熱を行うことにより、セラミックグリーン
シートが圧着される被圧着体の上面側の部分が局部的に
加熱されるため、セラミックグリーンシートを確実に圧
着することができる。ただし、加熱は局部的でかつ短時
間であることから、被圧着体（積層体）の変形を引き起
こすおそれはない。

【００３６】［実施形態３］この実施形態のセラミック
グリーンシートの積層装置は、図７に示すように、冷却
手段（剥離爪冷却手段）１２を備えた剥離爪１６が、方
向転換用当接治具（ここでは剥離爪）として用いられて
いる。なお、剥離爪冷却手段１２としては、水冷式のも
のやヒートパイプ式のものなど種々の構成のものを用い
ることが可能である。

【００３７】この実施形態３のセラミックグリーンシー
トの積層装置では、剥離爪冷却手段１２により剥離爪６
を冷却するようにしているので、キャリアフィルム３を
剥離させるその箇所におけるキャリアフィルム３とセラ
ミックグリーンシート１の接着力（付着力）を低下さ
せ、かつ、セラミックグリーンシートどうし及びセラミ
ックグリーンシートと電極との接着力を向上させて、剥
離を確実に生じさせることが可能になり、より安定した
剥離を行うことができる。

【００３８】また、方向転換用当接治具としてロール状
の治具（剥離ロール）を用い、この剥離ロールを冷却手
段により冷却するように構成することも可能である。

【００３９】本願発明は、上記実施形態に限定されるも
のではなく、キャリアフィルムとともにセラミックグリ
ーンシートを搬送する搬送手段の構成、テーブルの動作
態様、加熱ロールの加熱条件や加圧条件、予備加熱手段
の種類や配設態様、方向転換用当接治具の具体的な構成
などに関し、発明の要旨の範囲内において種々の応用、
変形を加えることが可能である。

【００４０】

【発明の効果】上述のように、本願（請求項１）のセラ
ミックグリーンシートの積層方法は、被圧着体を冷却す
る冷却手段を備えたテーブル上に被圧着体を保持するこ
とにより、被圧着体を冷却しつつ、セラミックグリーン
シートを、加熱ロールにより、キャリアフィルムを介し
てテーブル上で冷却されている被圧着体に押圧し、キャ
リアフィルム上のセラミックグリーンシートを被圧着体
に転写、圧着した後、剥離手段を構成する方向転換用当
接治具を支点として、キャリアフィルムを所定の剥離角
となるように方向転換させてセラミックグリーンシート
から剥離するようにしているので、被圧着体の流動性を
抑制し、圧着時の加熱及び加圧による被圧着体の変形を
抑制することが可能になる。また、テーブルに保持され
た状態のまま被圧着体が冷却されるため、冷却手段とキ
ャリアフィルムの摩擦による静電気の発生やセラミック
グリーンシートの変形を招いたりすることを防止すると
ともに、小さな剥離力で、セラミックグリーンシートの
破れや変形を引き起こしたりすることなくキャリアフィ
ルムを剥離することが可能になる。その結果、変形を生
じたりすることなく、効率よくセラミックグリーンシー
トの積層体を形成することが可能になる。

【００４１】また、請求項２のセラミックグリーンシー
トの積層方法のように、テーブルとして往復動可能なテ
ーブルを用い、圧着領域と剥離領域の間の被圧着体の搬
送を、往復動可能なテーブルによって行うことにより、
設備の構成やセラミックグリーンシートを積層する場合
の諸工程を簡略化して、効率よくセラミックグリーンシ
ートを積層することが可能になり、本願発明をより実効
あらしめることができる。

【００４２】また、請求項３のセラミックグリーンシー
トの積層方法のように、加熱ロールとは別に設けた予備
加熱手段により、被圧着体とセラミックグリーンシート
を予備的に加熱するとともに、加熱ロールにより、キャ
リアフィルムを介してセラミックグリーンシートを被圧
着体に押圧して圧着するようにした場合、被圧着体及び
セラミックグリーンシートの圧着すべき部分を十分に加
熱して、確実に圧着することが可能になるとともに、被
圧着体の下層側が冷却されているため、被圧着体の全体
としての変形が効率よく防止されることになり、セラミ
ックグリーンシートを、望ましくない変形を抑制しつつ
効率よく確実に積層することが可能になる。

【００４３】また、請求項４のセラミックグリーンシー
トの積層方法のように、キャリアフィルムに当接する、
剥離手段の方向転換用当接治具を冷却するようにした場
合、剥離部におけるキャリアフィルムとセラミックグリ
ーンシートの接着力（付着力）を低下させ、かつ、セラ
ミックグリーンシートどうし及びセラミックグリーンシ
ートと電極との接着力を向上させて、剥離を確実に生じ
させることが可能になり、より安定した剥離を行うこと
が可能になる。

【００４４】また、本願発明（請求項５）のセラミック
グリーンシートの積層装置は、上述のように、搬送手段
と、冷却手段を備えたテーブルと、加熱ロールと、剥離
手段とを備えた構成を有しており、本願請求項１のセラ
ミックグリーンシートの積層方法を確実に実施して、セ
ラミックグリーンシートを、変形を招いたりすることな
く効率よく積層することができる。

【００４５】また、請求項６のセラミックグリーンシー
トの積層装置のように、加熱ロールとは別に予備加熱手
段を設けた構成とした場合、被圧着体及びセラミックグ
リーンシートの圧着すべき部分を十分に加熱して、両者
をより確実に圧着することが可能になり、本願発明をよ
り実効あらしめることができる。

【００４６】また、請求項７のセラミックグリーンシー
トの積層装置のように、剥離手段の方向転換用当接治具
を冷却する治具冷却手段を備えた構成とした場合、剥離
部におけるキャリアフィルムとセラミックグリーンシー
トの接着力（付着力）を低下させ、かつ、セラミックグ
リーンシートどうし及びセラミックグリーンシートと電
極との接着力を向上させて、剥離を確実に生じさせるこ
とが可能になり、より安定した剥離を行うことができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本願発明の一実施形態（実施形態１）にかかる
セラミックグリーンシートの積層装置の要部構成を示す
図である。

【図２】本願発明の一実施形態（実施形態１）にかかる
セラミックグリーンシートの積層装置の動作を説明する
図である。

【図３】本願発明の一実施形態（実施形態１）にかかる
セラミックグリーンシートの積層装置の動作を説明する
図である。

【図４】本願発明の一実施形態（実施形態１）にかかる
セラミックグリーンシートの積層装置の動作を説明する
図である。

【図５】(ａ)，(ｂ)は本願発明の一実施形態（実施形態
１）にかかるセラミックグリーンシートの積層装置の変
形例を示す図である。

【図６】本願発明の他の実施形態（実施形態２）にかか
るセラミックグリーンシートの積層装置を示す図であ
る。

【図７】本願発明の他の実施形態（実施形態３）にかか
るセラミックグリーンシートの積層装置の変形例を示す
図である。

【図８】従来のセラミックグリーンシートの積層装置を
示す図である。

【図９】従来の他のセラミックグリーンシートの積層装
置を示す図である。

【符号の説明】

１ セラミックグリーンシート １ａ 最外層用のセラミックグリーンシート ２ テーブル ２ａ 冷却手段 ３ キャリアフィルム ４ 搬送手段 ５ 加熱ロール ６，１６ 方向転換用当接治具（剥離爪） ６ａ 剥離板 ６ｂ 剥離ロール ７ 剥離手段 ８ ローラ ９ 電極 １０ 積層体（積層ブロック） １１ 予備加熱手段 １２ 剥離爪冷却手段 １５ イメージセンサ Ａ 圧着領域 Ｂ 剥離領域 θ 剥離角

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｇ 4/30 ３１１ Ｈ０１Ｇ 4/30 ３１１Ｆ Ｆターム(参考） 4F100 AD00A BA01 BA11 EC042 EG002 EJ192 EJ302 EJ421 EJ422 EJ501 EJ912 EK00 EK032 GB41 JL02 JL04 4G054 BC12 DA06 4G055 AA08 AB01 AC01 BA38 BA40 5E001 AA01 AB03 AD04 AH05 AJ02 5E082 AB03 FF05 FG06 FG26 LL02 MM11 MM17 MM21 MM22

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】キャリアフィルム上に保持されて搬送され
   るセラミックグリーンシートを、回転可能な加熱ロール
   により加熱するとともに、テーブル上のセラミックグリ
   ーンシート又はセラミックグリーンシートの積層体（以
   下、「被圧着体」という）に押圧して、転写、圧着する
   ことによりセラミックグリーンシートを積層するセラミ
   ックグリーンシートの積層方法であって、 前記テーブルとして、その上面に載置される被圧着体を
   冷却する冷却手段を備えたテーブルを用い、 加熱ロールをセラミックグリーンシートの搬送方向に対
   応する方向に、かつセラミックグリーンシートの搬送速
   度と略同一の周速度で回転させるとともに、テーブルを
   セラミックグリーンシートの搬送方向と同一方向に略同
   一速度で移動させることにより、キャリアフィルム上に
   保持されたセラミックグリーンシートをテーブル上で冷
   却されている被圧着体に転写、圧着した後、 テーブルをさらに同じ方向に移動させながら、剥離手段
   を構成する方向転換用当接治具を支点（方向転換点）と
   して、キャリアフィルムを所定の角度（剥離角）で方向
   転換させることにより、被圧着体に圧着されたセラミッ
   クグリーンシートから剥離させることを特徴とするセラ
   ミックグリーンシートの積層方法。
2. 【請求項２】前記テーブルとして、往復動可能なテーブ
   ルが用いられており、 圧着領域において、キャリアフィルム上に保持されて搬
   送されてきたセラミックグリーンシートが転写、圧着さ
   れた被圧着体を、前記テーブルを移動させて、圧着領域
   から剥離領域に搬送するとともに、 剥離領域において、キャリアフィルムを、被圧着体に圧
   着されたセラミックグリーンシートから剥離した後、 前記テーブルを移動させて、キャリアフィルムが剥離さ
   れた被圧着体を圧着領域に戻すことにより、 (ａ)前記セラミックグリーンシートの被圧着体への転
   写、圧着、 (ｂ)前記セラミックグリーンシートが圧着された被圧着
   体の剥離領域への搬送、及び (ｃ)前記キャリアフィルムの剥離 の工程を繰り返して行い、複数のセラミックグリーンシ
   ートを順次積層することを特徴とする請求項１記載のセ
   ラミックグリーンシートの積層方法。
3. 【請求項３】加熱ロールとは別に設けた予備加熱手段に
   より、被圧着体と被圧着体に圧着されるべきキャリアフ
   ィルム上のセラミックグリーンシートを予備的に加熱す
   るとともに、前記加熱ロールにより、キャリアフィルム
   を介して、前記加熱されたセラミックグリーンシートを
   加熱された被圧着体に押圧して圧着するようにしたこと
   を特徴とする請求項１又は２記載のセラミックグリーン
   シートの積層方法。
4. 【請求項４】前記キャリアフィルムを方向転換させる際
   にキャリアフィルムに当接する、剥離手段の方向転換用
   当接治具を冷却することを特徴とする請求項１，２又は
   ３記載のセラミックグリーンシートの積層方法。
5. 【請求項５】表面にセラミックグリーンシートを保持す
   るキャリアフィルムを連続的に一方向に搬送する搬送手
   段と、 上面に載置される被圧着体を冷却する冷却手段を備えて
   おり、キャリアフィルム上に保持されて搬送されるセラ
   ミックグリーンシートが被圧着体に転写、圧着される圧
   着領域と、被圧着体に圧着されたセラミックグリーンシ
   ートからキャリアフィルムを剥離させる剥離領域との間
   を移動するテーブルと、 セラミックグリーンシートの搬送方向に対応する方向
   に、かつセラミックグリーンシートの搬送速度と略同一
   の周速度で回転し、キャリアフィルム上に保持されたセ
   ラミックグリーンシートを加熱するとともに、キャリア
   フィルムを介してテーブル上の被圧着体に押圧すること
   により、セラミックグリーンシートをテーブル上の被圧
   着体に転写、圧着する加熱ロールと、 前記剥離領域において、キャリアフィルムを方向転換さ
   せるための支点（方向変換点）となる方向転換用当接治
   具をキャリアフィルムに当接させ、キャリアフィルムを
   所定の角度（剥離角）で方向転換させることにより、前
   記被圧着体に圧着されたセラミックグリーンシートから
   キャリアフィルムを剥離させる剥離手段とを具備するこ
   とを特徴とするセラミックグリーンシートの積層装置。
6. 【請求項６】加熱ロールとは別に設けられ、被圧着体と
   被圧着体に圧着されるべきキャリアフィルム上のセラミ
   ックグリーンシートを予備的に加熱する予備加熱手段を
   備えていることを特徴とする請求項５記載のセラミック
   グリーンシートの積層装置。
7. 【請求項７】前記キャリアフィルムを方向転換させる際
   にキャリアフィルムに当接する、剥離手段の方向転換用
   当接治具を冷却する治具冷却手段を備えていることを特
   徴とする請求項５又は６記載のセラミックグリーンシー
   トの積層装置。