JP2024009562A - 電子部品の製造装置及び製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】簡易な構成で、ステージ上にセラミックグリーンシートを着脱可能に保持することができる電子部品の製造装置を提供する。【解決手段】電子部品の製造装置１は、複数のセラミックグリーンシートを積層したセラミック積層体を有する電子部品の製造装置であって、複数のセラミックグリーンシートが積層される載置面６を有するステージ５を予熱する予熱手段２と、予熱手段２によって予熱されたステージ５の載置面６に、加熱により粘着力が発現する長尺の保持シート２０を加熱しつつ貼り付ける貼り付け手段３と、長尺の保持シート２０から載置面６に貼り付けられた部分を切断する切断手段４と、を備える。【選択図】図１

Description

本発明は、電子部品の製造装置及び製造方法に関し、特に、複数のセラミックグリーンシートを積層したセラミック積層体を有する電子部品の製造装置及び製造方法に関する。

従来、積層セラミックコンデンサなどの電子部品を製造する際には、ステージ上に、内部電極が印刷されたセラミックグリーンシートを複数枚積層する工程がある。この工程では、内部電極の積層方向の位置を合わせることが必要であるので、セラミックグリーンシートが積層されるステージには高い平坦性が求められている。また、セラミックグリーンシートの積層時において、ステージ上をセラミックグリーンシートがずれ動かないように、ステージ上にセラミックグリーンシートを着脱可能に保持することが求められている。

下記特許文献１には、グリーンシートが積層される第１金型の上面に真空吸着機構板を設けることが開示されている。従って、下記特許文献１に記載の発明では、真空吸着機構板上にグリーンシートが吸着可能となっているので、第１金型上にグリーンシートを着脱可能に保持することができる。

特開２０１０－２８７７０８号公報

しかしながら、特許文献１に記載の発明の場合、第１金型に真空吸着機構板が設けられる構成であるので、積層セラミックコンデンサの製造装置の構成が複雑となる上、製造装置の第１金型が設けられる箇所の周囲の機器の配置に影響を与えるおそれがある。

本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、簡易な構成で、ステージ上にセラミックグリーンシートを着脱可能に保持することができる電子部品の製造装置及び製造方法を提供することを目的とする。

本発明の電子部品の製造装置は、複数のセラミックグリーンシートを積層したセラミック積層体を有する電子部品の製造装置であって、前記複数のセラミックグリーンシートが積層される載置面を有するステージを予熱する予熱手段と、前記予熱手段によって予熱された前記ステージの前記載置面に、加熱により粘着力が発現する長尺の保持シートを加熱しつつ貼り付ける貼り付け手段と、長尺の前記保持シートから前記載置面に貼り付けられた部分を切断する切断手段と、を備える。

本発明の電子部品の製造方法は、複数のセラミックグリーンシートを積層したセラミック積層体を有する電子部品の製造方法であって、前記複数のセラミックグリーンシートが積層される載置面を有するステージを予熱手段によって予熱する予熱工程と、前記予熱工程において予熱された前記ステージの前記載置面に、加熱により粘着力が発現する長尺の保持シートを貼り付け手段によって加熱しつつ貼り付ける貼り付け工程と、を含む。

本発明によれば、簡易な構成で、ステージ上にセラミックグリーンシートを着脱可能に保持することができる電子部品の製造装置及び製造方法を提供することができる。

本発明の一実施形態に係る電子部品の製造装置の概略構成を示す右側面図である。 本発明の一実施形態に係る電子部品の製造装置の概略構成を示す平面図であり、一部を省略して示している。 セラミックグリーンシートをキャリアフィルムから剥離する剥離装置の概略構成を示す右側面図である。 キャリアフィルムから剥離したセラミックグリーンシートをステージに積層する状態を示す説明図である。 電子部品の概略斜視図である。 図５のＡ－Ａ断面図である。

以下、本発明の具体的な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。

図１及び図２は、本発明の一実施形態に係る電子部品の製造装置の概略構成を示す図であり、図１は右側面図、図２は一部を省略して示す平面図である。本実施形態の電子部品の製造装置１は、複数のセラミックグリーンシートを積層したセラミック積層体を有する電子部品の製造装置であって、予熱手段２、貼り付け手段３及び切断手段４を備える。以下、これら各手段について、順に説明する。

予熱手段２は、複数のセラミックグリーンシートが積層されるステージ５を予熱する手段である。ステージ５は、金属製の板状である。本実施形態では、ステージ５は、ＳＵＳ製で、平面視略四角形の板状である。板状のステージ５の厚みは、約０．５ｍｍである。ステージ５の厚みは、約０．５ｍｍに限定されるものではなく、例えば、約０．５ｍｍ以上約２．０ｍｍ以下であればよい。ステージ５の厚みが約０．５ｍｍより小さい場合、ハンドリング装置によるハンドリングが難しいので、ステージ５を移動させ難い。ステージ５の厚みが約２．０ｍｍより大きい場合、面圧のばらつきが生じる。ステージ５は、複数のセラミックグリーンシートが積層される載置面６を有する。この載置面６は、板状のステージ５の一方の板面である。本実施形態では、予熱手段２は、ステージ５を挟み込み可能な一対の加熱板７，７と、一対の加熱板７，７を加熱する図示しない加熱板用ヒーターとを有する。

一対の加熱板７，７はそれぞれ、金属製で、平面視略四角形の板状である。一対の加熱板７，７の厚みはそれぞれ、熱容量を確保するために、１０ｍｍ以上であるのが好ましい。一対の加熱板７，７は、板面が上下に向いた状態で、上下に配置される。一対の加熱板７，７は、図示しない駆動手段によって上下方向に移動可能とされている。従って、一対の加熱板７，７は、ステージ５を挟み込むことができる。一対の加熱板７，７にはそれぞれ、加熱板用ヒーターが内蔵されている。なお、加熱板用ヒーターは、加熱板７に外付けしてもよい。

上下一対の加熱板７，７のうち、下側に位置する加熱板７は、ステージ５を搬送するベルトコンベア８内に上下動可能に配置される。ベルトコンベア８は、従来公知の構成である。具体的には、ベルトコンベア８は、左側に位置する左コンベア部９と、右側に位置する右コンベア部１０とを有する。左コンベア部９は、軸心を左右方向に配置した２本の受動軸１１，１１と、軸心を左右方向に配置した図示しない駆動軸とを有する。２本の受動軸１１，１１は、前後方向に離隔して配置される。駆動軸は、２本の受動軸１１，１１の間の下方に配置される。このように配置された２本の受動軸１１，１１及び駆動軸には、ベルト１２が掛け回されている。ベルト１２は、図示しないテンションローラーによって引っ張り具合が調整されている。右コンベア部１０は、軸心を左右方向に配置した２本の受動軸１３，１３と、軸心を左右方向に配置した図示しない駆動軸とを有する。２本の受動軸１３，１３は、前後方向に離隔して配置される。駆動軸は、２本の受動軸１３，１３の間の下方に配置される。このように配置された２本の受動軸１３，１３及び駆動軸には、ベルト１４が掛け回されている。ベルト１４は、図示しないテンションローラーによって引っ張り具合が調整されている。左コンベア部９の駆動軸及び右コンベア部１０の駆動軸は、図示しないモーターに接続されている。従って、モーターを駆動させることで、ベルト１２，１４上のステージ５を搬送することができる。

左コンベア部９と右コンベア部１０との間の空間には、下側に位置する加熱板７が上下動可能に配置される。一方、上側に位置する加熱板７は、下側に位置する加熱板７と対面するようにして、ベルトコンベア８の上方に上下動可能に配置される。このような構成であるので、上下一対の加熱板７，７は、停止したベルトコンベア８に載置されたステージ５を挟み込むことができる。前述したように、一対の加熱板７，７は、加熱板用ヒーターによって加熱可能である。従って、加熱された一対の加熱板７，７でステージ５を挟み込むことで、ステージ５を予熱することができる。

本実施形態では、ステージ５は、ベルトコンベア１５によって予熱手段２に取り入れられる。ベルトコンベア１５は、予熱手段２の前側に位置している。ベルトコンベア１５は、従来公知の構成である。具体的には、ベルトコンベア１５は、軸心を左右方向に配置した２本の受動軸１６，１６と、軸心を左右方向に配置した図示しない駆動軸とを有する。２本の受動軸１６，１６は、前後方向に離隔して配置される。駆動軸は、２本の受動軸１６，１６の間の下方に配置される。このように配置された２本の受動軸１６，１６及び駆動軸には、ベルト１７が掛け回されている。ベルト１７は、図示しないテンションローラーによって引っ張り具合が調整されている。ベルトコンベア１５の駆動軸は、図示しないモーターに接続されている。従って、モーターを駆動させることで、ベルト１７上のステージ５を搬送することができる。

ベルトコンベア１５と予熱手段２との間には、一対のローラー１８，１８及び一対のローラー１９，１９が配置されている。一対のローラー１８，１８は、上下に配置される。この際、上側に位置するローラー１８と下側に位置するローラー１８との間には、隙間が形成される。一対のローラー１８，１８はそれぞれ、軸方向が左右方向に沿うようにして配置される。一対のローラー１８，１８はそれぞれ、その軸まわりに回転可能である。一対のローラー１９，１９は、上下に配置される。この際、上側に位置するローラー１９と下側に位置するローラー１９との間には、隙間が形成される。一対のローラー１９，１９はそれぞれ、軸方向が左右方向に沿うようにして配置される。一対のローラー１９，１９はそれぞれ、その軸まわりに回転可能である。

一対のローラー１８，１８は、一対のローラー１９，１９の前側に配置されている。このような構成であるので、ステージ５は、ベルトコンベア１５によって、ベルトコンベア１５から一対のローラー１８，１８の間及び一対のローラー１９，１９の間を通って、ベルトコンベア８に搬送される。ベルトコンベア８に搬送されたステージ５は、ベルトコンベア８によって、一対の加熱板７，７の間に搬送される。ステージ５が一対の加熱板７，７の間に配置されると、ベルトコンベア８が停止される。そして、ステージ５は、予熱手段２によって加熱される。予熱されたステージ５は、ベルトコンベア８によって、貼り付け手段３に供給される。

予熱手段２が設けられたベルトコンベア８のステージ搬送方向先端側である後側には、貼り付け手段３が設けられる。貼り付け手段３は、予熱手段２によって予熱されたステージ５の載置面６に長尺の保持シート２０を貼り付ける手段である。保持シート２０は、加熱により粘着力が発現する。例えば、保持シート２０は、４０℃以上に加熱することで、粘着力が発現する。なお、保持シート２０の粘着力が発現する温度は、４０℃以上に限定されない。保持シート２０の厚みは、約０．１ｍｍであるが、これに限定されない。

保持シート２０は、保持シート２０が有する粘着力によって、ステージ５の載置面６に貼り付けられる。従って、貼り付け手段３は、ステージ５の載置面６に、保持シート２０を加熱しつつ貼り付ける。そのため、本実施形態では、貼り付け手段３は、一対の加熱ローラー２１，２１と、一対の加熱ローラー２１，２１を加熱する図示しないローラー用ヒーターとを有する。一対の加熱ローラー２１，２１は、上下に配置される。この際、上側に位置する加熱ローラー２１と下側に位置する加熱ローラー２１との間には、隙間が形成される。一対の加熱ローラー２１，２１はそれぞれ、金属製のローラー本体２２と、ローラー本体２２に設けられる筒状の弾性材２３とを有する。ローラー本体２２は、軸方向が左右方向に沿うようにして配置される。ローラー本体２２は、その軸まわりに回転可能である。ローラー本体２２には、モーターが接続されている。従って、モーターを駆動することで、ローラー本体２２をその軸まわりに回転させることができる。ローラー本体２２には、ローラー用ヒーターが内蔵されている。弾性材２３は、円筒状で、ローラー本体２２の外周面を覆うようにして、ローラー本体２２に回転不能に設けられる。弾性材２３は、例えばゴム製である。

上下一対の加熱ローラー２１，２１の間の隙間には、ベルトコンベア８によって搬送されたステージ５が供給される。ステージ５の載置面６には、一対の加熱ローラー２１，２１が回転することで、一対の加熱ローラー２１，２１間の隙間にロール２４を介して供給された長尺の保持シート２０が接触される。このように一対の加熱ローラー２１，２１は、ステージ５と保持シート２０とを挟み込んで載置面６に保持シート２０を接触させることができる。前述したように、一対の加熱ローラー２１，２１は、ローラー用ヒーターによって加熱可能である。従って、ローラー用ヒーターによって加熱された一対の加熱ローラー２１，２１でステージ５と保持シート２０とを挟み込むことで、保持シート２０に粘着力を発現させて、ステージ５の載置面６に保持シート２０を貼り付けることができる。保持シート２０が貼り付けられたステージ５は、一対の加熱ローラー２１，２１の回転によって、一対の加熱ローラー２１，２１の間の隙間から取り出される。

本実施形態では、保持シート２０が貼り付けられたステージ５は、ベルトコンベア２５に取り出される。ベルトコンベア２５は、貼り付け手段３の後側に位置している。ベルトコンベア２５は、従来公知の構成である。具体的には、ベルトコンベア２５は、軸心を左右方向に配置した２本の受動軸２６，２６と、軸心を左右方向に配置した図示しない駆動軸とを有する。２本の受動軸２６，２６は、前後方向に離隔して配置される。駆動軸は、２本の受動軸２６，２６の間の下方に配置される。このように配置された２本の受動軸２６，２６及び駆動軸には、ベルト２７が掛け回されている。ベルト２７は、図示しないテンションローラーによって引っ張り具合が調整されている。ベルトコンベア２５の駆動軸は、図示しないモーターに接続されている。従って、モーターを駆動させることで、ベルト２７上のステージ５を搬送することができる。

ベルトコンベア２５と貼り付け手段３との間には、一対のローラー２８，２８が配置されている。一対のローラー２８，２８は、上下に配置される。この際、上側に位置するローラー２８と下側に位置するローラー２８との間には、隙間が形成される。一対のローラー２８，２８はそれぞれ、軸方向が左右方向に沿うようにして配置される。一対のローラー２８，２８はそれぞれ、その軸まわりに回転可能である。このような構成であるので、保持シート２０が貼り付けられたステージ５は、貼り付け手段３から一対のローラー２８，２８の間を通って、ベルトコンベア２５に搬送される。

ステージ５がベルトコンベア２５に搬送された後、長尺の保持シート２０からステージ５の載置面６に貼り付けられた部分が切断手段４によって切断される。切断手段４は、貼り付け手段３の後側に配置される。具体的には、切断手段４は、貼り付け手段３と一対のローラー２８，２８との間に配置される。切断手段４は、保持シート２０を切断するカット刃２９を有している。カット刃２９は、上下動可能である。カット刃２９は、モーターに接続されている。従って、モーターを駆動させることで、カット刃２９を上下動させることができる。このような構成であるので、ステージ５が貼り付け手段３を通過した後、カット刃２９を下方に移動させて保持シート２０に押し付けることで、保持シート２０を切断することができる。なお、本実施形態では、カット刃２９の押切によって保持シート２０が切断されたが、これに限定されない。例えば、カット刃の回転によって保持シート２０を切断してもよいし、カット刃の引き切りによって保持シート２０を切断してもよい。

保持シート２０の切断後、保持シート２０が貼り付けられたステージ５は、ベルトコンベア２５によって、ベルトコンベア２５の前側からベルトコンベア２５の後側に搬送される。ベルトコンベア２５の後側に搬送されたステージ５は、後述する剥離装置に設置される。

図３は、剥離装置の概略構成を示す右側面図である。図４は、キャリアフィルムから剥離したセラミックグリーンシートをステージに積層する状態を示す説明図である。剥離装置３０は、セラミックグリーンシート３１をキャリアフィルム３２から剥離する装置である。剥離装置３０は、カットステージ３３、カット刃３４及び剥離ヘッド３５を備える。

カットステージ３３には、複合シート３６が保持される。複合シート３６は、キャリアフィルム３２と、キャリアフィルム３２上に形成されたセラミックグリーンシート３１とを有する。複合シート３６は、カットステージ３３上にキャリアフィルム３２が接触した状態で、カットステージ３３に保持される。

カット刃３４は、カットステージ３３の上方に配置される。カット刃３４は、カットステージ３３上に保持された複合シート３６に向かって移動することによって、キャリアフィルム３２上のセラミックグリーンシート３１をカットすることができる。

剥離ヘッド３５は、複合シート３６の上方に配置される。剥離ヘッド３５は、カット刃３４によりカットされたセラミックグリーンシート３１を吸引保持することができる。剥離ヘッド３５の下方には、保持シート２０が貼り付けられたステージ５が設置される。

また、剥離装置３０は、搬送ロール３７及び剥離ロール３８を備える。搬送ロール３７は、複合シート３６を搬送することができる。本実施形態では、搬送ロール３７は、間欠的に複合シート３６を搬送することができるように構成されている。剥離ロール３８は、剥離ヘッド３５に保持されたセラミックグリーンシート３１からキャリアフィルム３２を剥離させることができる。そのため、剥離ロール３８は、複合シート３６の搬送方向とは逆の方向に移動させることができるように構成されている。

次に、剥離装置３０を用いて電子部品を製造する方法について説明する。ここでは、電子部品の一例である積層セラミックコンデンサを製造する場合について説明する。なお、電子部品は、積層セラミックコンデンサに限定されない。

積層セラミックコンデンサを製造する際には、まず、キャリアフィルム３２上に、誘電体セラミック粉末、バインダ及び溶剤を含むスラリーをシート状に成形する。これにより、キャリアフィルム３２上にセラミックグリーンシート３１が保持された複合シート３６を作製することができる。複合シート３６の作製後、セラミックグリーンシート３１上に、スクリーン印刷などにより、所定のパターンで内部電極形成用種導電性ペーストを印刷し、内部電極のパターンを形成する。そして、剥離装置３０を用いて、内部電極パターンが形成されたセラミックグリーンシート３１や内部電極パターンが形成されていないセラミックグリーンシート３１を積層する。

具体的には、まず、搬送ロール３７によって、セラミックグリーンシート３１の所定領域がカットステージ３３上に配置されるように、複合シート３６を搬送する。セラミックグリーンシート３１の所定領域がカットステージ３３上に配置されると、搬送ロール３７を一時的に停止して、複合シート３６の搬送を停止する。搬送ロール３７の停止後、カット刃３４を下方に移動させて、キャリアフィルム３２上のセラミックグリーンシート３１をカットする。そして、搬送ロール３７によって、切断されたセラミックグリーンシート３１が剥離ヘッド３５の下方に配置されるように、複合シート３６を搬送する。切断されたセラミックグリーンシート３１が剥離ヘッド３５の下方に配置されると、剥離ヘッド３５を下方に移動させて、切断されたセラミックグリーンシート３１を剥離ヘッド３５で吸引する。切断されたセラミックグリーンシート３１を剥離ヘッド３５で吸引した状態で、剥離ロール３８を複合シート３６の搬送方向とは逆方向に移動させる。これにより、切断されたセラミックグリーンシート３１からキャリアフィルム３２を剥離することができる。その後、剥離ヘッド３５を下方に移動させて、ステージ５の保持シート２０上にセラミックグリーンシート３１を積層する。この作業を複数回繰り返して、ステージ５の保持シート２０上に複数のセラミックグリーンシート３１を積層する。これにより、複数のセラミックグリーンシート３１が積層された積層ブロックを形成することができる。このようにして、剥離装置３０は、積層ブロックを作製する。

積層ブロックの形成後、積層ブロックから複数の積層チップを切り出す。そして、積層チップを焼成してセラミック積層体を形成する。セラミック積層体の形成後、セラミック積層体の外表面に導電性ペーストを塗布して、セラミック積層体に導電性ペースト層を形成する。導電性ペーストの形成後、導電性ペースト層を焼成して、セラミック積層体に外部電極を形成する。これにより、以下のような構成の積層セラミックコンデンサを得ることができる。なお、積層ブロックから積層チップを切り出した後、積層チップに導電性ペースト層を形成し、積層チップ及び導電性ペースト層を焼成して、セラミック積層体を有する積層セラミックコンデンサを製造してもよい。

図５及び図６は、電子部品である積層セラミックコンデンサを示す図であり、図５は概略斜視図、図６は図５のＡ－Ａ断面図である。積層セラミックコンデンサ３９のセラミック積層体４０の内部には、隣接する内部電極４１及び内部電極４２の一部同士がセラミック層を介して対向するように、内部電極４１及び内部電極４２が配置される。セラミック積層体４０の一方の端面には、内部電極４１に接続される外部電極４３が形成される。セラミック積層体４０の他方の端面には、内部電極４２に接続される外部電極４４が形成される。

このような構成の積層セラミックコンデンサ３９は、上述した製造方法により作製される。この際、セラミックグリーンシート３１が積層されるステージ５には、保持シート２０が貼り付けられる。以下では、電子部品の製造方法において、ステージ５に保持シート２０を貼り付ける手順について説明する。なお、本実施形態の電子部品の製造方法では、上述した製造装置１が用いられる。

本実施形態の電子部品の製造方法は、複数のセラミックグリーンシート３１を積層したセラミック積層体４０を有する電子部品の製造方法である。本実施形態では、予熱工程、貼り付け工程及び切断工程が順次に実行される。なお、予熱工程の前には、ステージ５及び保持シート２０が準備される。具体的には、ステージ５は、ベルトコンベア１５に載せられる。保持シート２０は、貼り付け手段３によってステージ５に貼り付けられるように、製造装置１にセットされる。このようにしてステージ５及び保持シート２０を準備する工程後、ステージ５は、ベルトコンベア１５により隣接するベルトコンベア８に搬送される。そして、ステージ５は、ベルトコンベア８によって、一対の加熱板７，７の間に配置される。

予熱工程は、複数のセラミックグリーンシート３１が積層される載置面６を有するステージ５を予熱手段２によって予熱する工程である。予熱工程では、加熱板用ヒーターで加熱された一対の加熱板７，７でステージ５を挟み込むことで、ステージ５が加熱される。予熱手段２の一対の加熱板７，７の温度は、５０℃以上７０℃以下であるのが好ましい。予熱工程後、ステージ５は、ベルトコンベア８によって一対の加熱ローラー２１，２１の間に搬送される。

貼り付け工程は、予熱工程において予熱されたステージ５の載置面６に、加熱により粘着力が発現する長尺の保持シート２０を貼り付け手段３によって加熱しつつ貼り付ける工程である。貼り付け工程では、ローラー用ヒーターによって加熱された一対の加熱ローラー２１，２１でステージ５と保持シート２０とを挟み込むことで、保持シート２０に粘着力を発現させて、ステージ５の載置面６に保持シート２０が貼り付けられる。貼り付け手段３の一対の加熱ローラー２１，２１の温度は、好ましくは４０℃以上９０℃以下、より好ましくは５０℃以上７０℃以下である。貼り付け手段３の温度が４０℃より低い場合には、保持シート２０の粘着力を発現させることができないおそれがある。貼り付け手段３の温度が９０℃より高い場合には、板状のステージ５が反ってしまうおそれがある。

貼り付け工程後、ステージ５は、一対の加熱ローラー２１，２１の回転によって、一対の加熱ローラー２１，２１の間の隙間からベルトコンベア２５に取り出される。ステージ５がベルトコンベア２５に取り出された際、後続のステージ５には貼り付け手段３によって保持シート２０が貼り付けられる。従って、ベルトコンベア２５に取り出されたステージ５に貼り付けられた保持シート２０と、後続のステージ５に貼り付けられた保持シート２０とは、連続している。

切断工程は、長尺の保持シート２０からステージ５の載置面６に貼り付けられた部分を切断手段４によって切断する工程である。切断工程では、ステージ５が貼り付け手段３を通過した後、カット刃２９を下方に移動させて保持シート２０に押し付けることで、保持シート２０が切断される。これにより、長尺の保持シート２０は、ベルトコンベア２５に取り出されたステージ５と後続のステージ５との間で切断される。なお、後続のステージ５がない場合には、ステージ５は、ベルトコンベア２５に取り出されない。

切断工程後、保持シート２０が貼り付けられたステージ５は、ベルトコンベア２５によって、ベルトコンベア２５の前側からベルトコンベア２５の後側に搬送される。本実施形態では、複数の連続するステージ５に保持シート２０が貼り付けられる。ベルトコンベア２５の後側に搬送されたステージ５は、剥離装置３０に設置される。そして、剥離装置３０は、ステージ５の保持シート２０上に、複数のセラミックグリーンシート３１を積層する。

本実施形態の場合、加熱により粘着力が発現する保持シート２０は、予熱されたステージ５に、加熱しつつ貼り付けられる。従って、保持シート２０上にセラミックグリーンシート３１が積層される際、セラミックグリーンシート３１は、保持シート２０の粘着力によって、ステージ５に保持される。そのため、セラミックグリーンシート３１の積層時において、セラミックグリーンシート３１がステージ５上をずれ動くことが防止される。そして、保持シート２０の温度が下がると、保持シート２０の粘着力が失われるので、積層された複数のセラミックグリーンシート３１をステージ５から容易に外すことができる。このように本実施形態によれば、簡易な構成で、ステージ５上にセラミックグリーンシート３１を着脱可能に保持することができる。

本実施形態の場合、予熱手段２は、一対の加熱板７，７と、一対の加熱板７，７を加熱する加熱板用ヒーターとを有する。貼り付け手段３は、一対の加熱ローラー２１，２１と、一対の加熱ローラー２１，２１を加熱するローラー用ヒーターとを有する。従って、本実施形態の電子部品の製造装置１によれば、より簡易な構成の装置とすることができる。本実施形態の場合、一対の加熱板７，７の厚みはそれぞれ、１０ｍｍ以上である。従って、本実施形態の電子部品の製造装置１によれば、加熱板７の熱容量が高いため、ステージ５に熱が奪われても、ステージ５を一様に加熱することができる。

本実施形態の場合、加熱ローラー２１は、ローラー本体２２及び弾性材２３を備える。従って、一対の加熱ローラー２１，２１による加熱をムラなく図ることができる。本実施形態の場合、一対の加熱板７，７でステージ５を挟み込むことで、ステージ５を予熱することができる。従って、板状のステージ５の反りを防止することができる。本実施形態の場合、ステージ５が予め予熱されるので、貼り付け手段３によってステージ５に保持シート２０を貼り付ける際に、ステージ５に保持シート２０を貼り付けムラなく一様に貼り付けることができる。

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良は本発明に含まれる。

例えば、予熱手段２、貼り付け手段３及び切断手段４は、前記実施形態の構成に限定されない。

１ 電子部品の製造装置
２ 予熱手段
３ 貼り付け手段
４ 切断手段
５ ステージ
６ 載置面
７ 加熱板
２０ 保持シート
２１ 加熱ローラー
２２ ローラー本体
２３ 弾性材
３１ セラミックグリーンシート
４０ セラミック積層体

Claims (6)

1. 複数のセラミックグリーンシートを積層したセラミック積層体を有する電子部品の製造装置であって、
   前記複数のセラミックグリーンシートが積層される載置面を有するステージを予熱する予熱手段と、
   前記予熱手段によって予熱された前記ステージの前記載置面に、加熱により粘着力が発現する長尺の保持シートを加熱しつつ貼り付ける貼り付け手段と、
   長尺の前記保持シートから前記載置面に貼り付けられた部分を切断する切断手段と、を備える電子部品の製造装置。
2. 前記予熱手段は、前記ステージを挟み込み可能な一対の金属製の加熱板と、前記一対の加熱板を加熱する加熱板用ヒーターと、を有し、
   前記貼り付け手段は、前記ステージと前記保持シートとを挟み込んで前記載置面に前記保持シートを接触させる一対の加熱ローラーと、前記一対の加熱ローラーを加熱するローラー用ヒーターと、を有する、請求項１に記載の電子部品の製造装置。
3. 前記一対の加熱板の厚みはそれぞれ、１０ｍｍ以上である、請求項２に記載の電子部品の製造装置。
4. 前記一対の加熱ローラーはそれぞれ、ローラー本体と、ローラー本体の外周面を覆う筒状の弾性材と、を有する、請求項２又は３に記載の電子部品の製造装置。
5. 複数のセラミックグリーンシートを積層したセラミック積層体を有する電子部品の製造方法であって、
   前記複数のセラミックグリーンシートが積層される載置面を有するステージを予熱手段によって予熱する予熱工程と、
   前記予熱工程において予熱された前記ステージの前記載置面に、加熱により粘着力が発現する長尺の保持シートを貼り付け手段によって加熱しつつ貼り付ける貼り付け工程と、を含む電子部品の製造方法。
6. 前記予熱手段の温度及び前記貼り付け手段の温度は、５０℃以上７０℃以下である、請求項５に記載の電子部品の製造方法。

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