JP7180555B2 - 電子部品の製造方法および電子部品製造装置 - Google Patents

Description

本発明は、電子部品の製造方法に関し、更に詳しくは、複数のグリーンシートが積層されたグリーンシート積層体を作製する工程を備えた電子部品の製造方法に関する。また、本発明は、本発明の電子部品の製造方法を実施する際に使用するのに適した、電子部品製造装置に関する。

セラミック層が積層されたセラミック積層体を備えた電子部品の製造方法においては、通常、複数のセラミックのグリーンシートを積層し、加熱圧着して、グリーンシート積層体を作製する工程を備えている。

たとえば、特許文献１（特開２００５-２１７２７８号公報）には、圧着ローラの外周面に保持されたグリーンシートを、積層テーブルの上に積層し、加熱圧着して、複数のグリーンシートが積層されたグリーンシート積層体を作製する工程を備えた電子部品の製造方法が開示されている。また、特許文献２（特許第２９９８５０３号公報）には、圧着ヘッドの底面に保持されたグリーンシートを、積層テーブルの上に積層し、加熱圧着して、複数のグリーンシートが積層されたグリーンシート積層体を作製する工程を備えた電子部品の製造方法が開示されている。

特開２００５-２１７２７８号公報 特許第２９９８５０３号公報

複数のグリーンシートが相互に良好に加熱圧着された、品質の高いグリーンシート積層体を製造するためには、加熱圧着の温度、圧力、時間の条件を適正に設定する必要がある。

しかしながら、加熱圧着の温度、圧力と、加熱圧着に要する時間とは、相反する関係にあり、加熱圧着に要する時間を短くするためには、加熱圧着の温度を高くしたり、加熱圧着の圧力を大きくしたりする必要があった。逆に、加熱圧着の温度を低くしたり、加熱圧着の圧力を小さくしたりするためには、加熱圧着の時間を長くする必要があった。一方、加熱圧着の温度を高くし過ぎたり、加熱圧着の圧力を大きくし過ぎたりすると、グリーンシート積層体に過度なストレスがかかり、グリーンシート積層体に歪が発生する虞がある。そのため、加熱圧着の温度を高くしたり、加熱圧着の圧力を大きくしたりするのには限界があり、加熱圧着の時間を短くするのには限界があった。

そこで、本発明は、加熱圧着の温度を高くしたり、加熱圧着の圧力を高くしたり、加熱圧着の時間を長くしたりする以外の方法によって、グリーンシート積層体のグリーンシート相互間の接合強度を高めることができる、電子部品の製造方法を提供することを目的とする。

本発明の一実施態様にかかる電子部品の製造方法は、従来の課題を解決するために、圧着ローラの外周面にグリーンシートを保持させる工程と、グリーンシートを、加工点において、圧着ローラから積層テーブルに受け渡し、加熱圧着して、積層テーブル上に、複数のグリーンシートが積層されたグリーンシート積層体を作製する工程と、を備え、少なくとも、圧着ローラに保持されたグリーンシートの加工点に至る直前の部分、および、積層テーブル上に作製されたグリーンシート積層体の最上層に積層されたグリーンシートの加工点に至る直前の部分に、プラズマを照射するものとする。

また、本発明の別の実施態様にかかる電子部品の製造方法は、圧着ヘッドの底面にグリーンシートを保持させる工程と、グリーンシートを圧着ヘッドから積層テーブルに受け渡し、加熱圧着して、積層テーブル上に、複数のグリーンシートが積層されたグリーンシート積層体を作製する工程と、を備え、少なくとも、圧着ヘッドに保持されたグリーンシート、および、積層テーブル上に作製されたグリーンシート積層体の最上層に積層されたグリーンシートに、プラズマを照射するものとする。

また、本発明の更に別の実施態様にかかる電子部品の製造方法は、キャリアフィルム上に形成されたグリーンシートを、キャリアフィルムから剥離する工程と、剥離されたキャリアフィルムを積層テーブル上に積層し、加熱圧着して、複数のグリーンシートが積層されたグリーンシート積層体を作製する工程と、を備え、グリーンシートをキャリアフィルムから剥離するよりも前の時点において、キャリアフィルム上に形成されたグリーンシートに、プラズマを照射するものとする。

また、本発明の一実施態様にかかる電子部品の製造装置は、圧着ローラと、積層テーブルと、を備え、圧着ローラの外周面にグリーンシートを保持させ、グリーンシートを加工点において圧着ローラから積層テーブルに受け渡し、加熱圧着して、積層テーブル上に、複数のグリーンシートが積層されたグリーンシート積層体を作製する、電子部品製造装置であって、少なくとも、圧着ローラに保持されたグリーンシートの加工点に至る直前の部分、および、グリーンシート積層体の最上層に積層されたグリーンシートの加工点に至る直前の部分にプラズマを照射する、第１プラズマ照射装置を更に備えたものとする。

また、本発明の別の実施態様にかかる電子部品の製造装置は、圧着ヘッドと、積層テーブルと、を備え、圧着ヘッドの底面にグリーンシートを保持させ、グリーンシートを圧着ヘッドから積層テーブルに受け渡し、加熱圧着して、積層テーブル上に、複数のグリーンシートが積層されたグリーンシート積層体を作製する、電子部品製造装置であって、圧着ヘッドに保持されたグリーンシートにプラズマを照射する、第２プラズマ照射装置と、圧着ヘッドに取付けられ、圧着ヘッドとともに移動し、積層テーブル上に作製されたグリーンシート積層体の最上層に積層されたグリーンシートにプラズマを照射する、第３プラズマ照射装置と、を更に備えたものとする。

また、本発明の更に別の実施態様にかかる電子部品の製造装置は、キャリアフィルムを搬送する搬送ローラと、圧着ヘッドと、積層テーブルと、を備え、圧着ヘッドの底面にグリーンシートを保持させ、グリーンシートを圧着ヘッドから積層テーブルに受け渡し、加熱圧着して、積層テーブル上に、複数のグリーンシートが積層されたグリーンシート積層体を作製する、電子部品製造装置であって、搬送ローラに取付けられ、搬送ローラとともに移動し、圧着ヘッドに保持されたグリーンシートにプラズマを照射する、第４プラズマ照射装置と、搬送ローラに取付けられ、搬送ローラとともに移動し、積層テーブル上に作製されたグリーンシート積層体の最上層に積層されたグリーンシートにプラズマを照射する、第５プラズマ照射装置と、を更に備えたものとする。

本発明の電子部品の製造方法によれば、グリーンシートが相互に良好に加熱圧着された、品質の高いグリーンシート積層体を作製することができる。

また、本発明の電子部品の製造方法によれば、グリーンシートが相互に良好に加熱圧着された品質の高いグリーンシート積層体を作製するにあたり、加熱圧着の温度および圧力が同じであれば、加熱圧着に要する時間を短くすることができる。また、加熱圧着の時間が同じであれば、加熱圧着の温度および圧力の少なくとも一方を、低くまたは小さくすることができる。また、同時に、加熱圧着の時間を短くし、加熱圧着の温度を低くし、加熱圧着の圧力を小さくすることもできる。

本発明の電子部品製造装置を使用すれば、本発明の電子部品の製造方法を容易に実施することができる。

第１実施形態の電子部品の製造方法において使用する電子部品製造装置１０００の要部概略図である。 電子部品製造装置１０００の圧着ローラ４を示す断面図である。 図３（Ａ）～（Ｃ）は、それぞれ、第１実施形態にかかる電子部品の製造方法における剥離工程を示す正面図である。 図４（Ａ）～（Ｃ）は、それぞれ、第１実施形態にかかる電子部品の製造方法における剥離工程を示す説明図である。 図５（Ａ）～（Ｃ）は、それぞれ、第１実施形態にかかる電子部品の製造方法における積層工程を示す正面図である。 図６（Ａ）～（Ｃ）は、それぞれ、第１実施形態にかかる電子部品の製造方法における積層工程を示す説明図である。 第２実施形態の電子部品の製造方法において使用する電子部品製造装置２０００の要部概略図である。 図８（Ａ）～（Ｃ）は、それぞれ、第２実施形態の電子部品の製造方法におけるプラズマの照射を示す正面図である。 第３実施形態の電子部品の製造方法において使用する電子部品製造装置３０００の要部概略図である。 図１０（Ａ）～（Ｃ）は、それぞれ、第３実施形態の電子部品の製造方法におけるプラズマの照射を示す正面図である。 第４実施形態の電子部品の製造方法において使用する電子部品製造装置４０００の要部概略図である。

以下、図面とともに、本発明を実施するための形態について説明する。

なお、各実施形態は、本発明の実施の形態を例示的に示したものであり、本発明が実施形態の内容に限定されることはない。また、異なる実施形態に記載された内容を組合せて実施することも可能であり、その場合の実施内容も本発明に含まれる。また、図面は、明細書の理解を助けるためのものであって、模式的に描画されている場合があり、描画された構成要素または構成要素間の寸法の比率が、明細書に記載されたそれらの寸法の比率と一致していない場合がある。また、明細書に記載されている構成要素が、図面において省略されている場合や、個数を省略して描画されている場合などがある。

［第１実施形態］
以下においては、まず、第１実施形態の電子部品の製造方法の概略について説明し、その後に各工程の詳細について説明する。なお、製造する電子部品の種類は任意であるが、本実施形態においては、一例として積層セラミックコンデンサを製造する。

図１に、第１実施形態にかかる電子部品の製造方法において使用する電子部品製造装置１０００の要部概略図を示す。

電子部品製造装置１０００は、カット領域Ａ１と、剥離領域Ａ２と、積層領域Ａ３とを備えている。

電子部品製造装置１０００は、後述する、主面にマザーグリーンシート５が形成されたキャリアフィルム６を搬送する搬送ローラ１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄを備えている。搬送ローラ１ａ～１ｄは、キャリアフィルム６を搬送するとともに、キャリアフィルム６に張力を与えたり、キャリアフィルム６の搬送方向を変更したりする機能を有している。なお、搬送ローラ１ａ～１ｄのうち、搬送ローラ１ａ、１ｄは、自ら回転して、キャリアフィルム６を駆動する機能を有する駆動ローラである。

搬送ローラ１ａ～１ｄによって、主面に長尺状のマザーグリーンシート５が形成されたキャリアフィルム６が、カット領域Ａ１および剥離領域Ａ２に搬送される。

カット領域Ａ１において、キャリアフィルム６の搬送が停止され、カット刃３ａ、３ｂによって、マザーグリーンシート５が矩形状のグリーンシート７にカットされる。

カットされたグリーンシート７およびキャリアフィルム６が、搬送ローラ１ａ～１ｄによって、剥離領域Ａ２に搬送される。

電子部品製造装置１０００は、剥離領域Ａ２および積層領域Ａ３に、両者の間を往復移動する圧着ローラ４を備えている。

圧着ローラ４は、剥離領域Ａ２において、キャリアフィルム６からグリーンシート７を剥離し、剥離したグリーンシート７を自らの外周面に保持する。そして、グリーンシート７を保持した圧着ローラ４は、積層領域Ａ３に移動する。

電子部品製造装置１０００は、積層領域Ａ３に、水平方向に往復移動する積層テーブル９を備えている。また、電子部品製造装置１０００は、積層領域Ａ３に、プラズマ照射装置（第１プラズマ照射装置）１１を備えている。

積層領域Ａ３において、圧着ローラ４は、保持していたグリーンシート７を積層テーブル９に受け渡す。そして、積層テーブル９の上面に、圧着ローラ４から受け渡された複数のグリーンシート７が、順次、積層され、加熱圧着されて、グリーンシート積層体１０が作製される。なお、加熱圧着に先立ち、プラズマ照射装置１１によって、圧着ローラ４に保持されたグリーンシート７と、グリーンシート積層体１０の最上層に積層されたグリーンシート７とに対し、プラズマが照射される。

次に、グリーンシート積層体１０が複数の電子部品分のグリーンシート積層体を含んでいる場合は、グリーンシート積層体１０を複数の個片のグリーンシート積層体に分割する。

次に、グリーンシート積層体１０、または、個片に分割されたグリーンシート積層体を、所定のプロファイルで焼成し、セラミック積層体（図示せず）を作製する。

最後に、セラミック積層体の外表面に外部電極を形成して、本実施形態にかかる電子部品（積層セラミックコンデンサ）が完成する。

以上、本実施形態の電子部品の製造方法の概略について説明した。次に、各工程の詳細について説明する。

まず、キャリアフィルム６を用意する。キャリアフィルム６の材質は任意であるが、たとえば、ＰＥＴ（polyethylene terephthalate；ポリエチレンテレフタレート）、ＰＰ（polypropylene；ポリプロピレン）、ＰＥＮ（polymethylpentene；ポリメチルペンテン）などを使用することができる。また、キャリアフィルム６の長さ、幅、厚みなどの寸法は任意であり、所望のものを使用することができる。

次に、製造する電子部品に応じた材質、粒径などからなるセラミックスの粉末、バインダ樹脂、溶剤、必要に応じて可塑剤などを用意し、これらを湿式混合してセラミックスラリーを作製する。本実施形態においては一例として積層セラミックコンデンサを製造するため、セラミックスに、誘電体セラミックスを使用する。

次に、キャリアフィルム６上に、セラミックスラリーを、ダイコータ、グラビアコーター、マイクログラビアコーターなどを用いてシート状に塗布し、乾燥させる。なお、塗布するセラミックスラリーの厚みは任意であり、所望するマザーグリーンシート５の厚みにより、適宜、設定する。また、セラミックスラリーの塗布方法も任意であり、コーターに代えて、ドクターブレードなどを使用してもよい。

以上により、一方の主面に長尺状のマザーグリーンシート５が形成されたキャリアフィルム６が完成する。

次に、内部電極を形成するために、マザーグリーンシート５の上側の主面に、導電性ペーストを所望のパターンに印刷する。なお、マザーグリーンシート５において、積層セラミックコンデンサの上下の保護層となるグリーンシートを作製する部分には、導電性ペーストは印刷しない。なお、本願の図面においては、煩雑になって見にくくなることを避けるために、マザーグリーンシート５およびグリーンシート７に印刷された導電性ペーストは、図示を省略している。

次に、図１に示すように、マザーグリーンシート５が形成されたキャリアフィルム６を、電子部品製造装置１０００に供給する。マザーグリーンシート５が形成されたキャリアフィルム６は、搬送ローラ１ａ～１ｄによって、カット領域Ａ１および剥離領域Ａ２に搬送される。

次に、カット領域Ａ１において、長尺状のマザーグリーンシート５を矩形状のグリーンシート７にカットする。具体的には、まず、マザーグリーンシート５が形成されたキャリアフィルム６の搬送を停止する。次に、カット刃３ａ、３ｂを下降させ、マザーグリーンシート５をグリーンシート７にカットする。

次に、搬送ローラ１ａ～１ｄによって、キャリアフィルム６を間欠的に搬送し、カットされたグリーンシート７を剥離領域Ａ２に搬送するとともに、カット領域Ａ１にマザーグリーンシート５の次にカットすべき部分を搬送する。

上述したとおり、電子部品製造装置１０００は、剥離領域Ａ２および積層領域Ａ３に、両者の間を往復移動する圧着ローラ４を備えている。本実施形態においては、圧着ローラ４は、積層領域Ａ３において積層されたグリーンシート７を圧着するだけではなく、剥離領域Ａ２においてグリーンシート７をキャリアフィルム６から剥離して保持するとともに、保持したグリーンシート７を剥離領域Ａ２から積層領域Ａ３に搬送する。すなわち、本実施形態においては、圧着ローラ４は、剥離ローラおよび搬送ローラを兼ねている。

本実施形態においては、圧着ローラ４は、図２に示すように、外周面に通気孔４ａが形成され、マルチチャンバーサクションローラ構造を備えている。圧着ローラ４は、外周面の領域ごとに、また時間の経過ごとに、通気孔４ａの状態を、吸引状態、排気状態（ブロー状態）、大気開放状態などの任意の状態にすることができる。

また、本実施形態においては、圧着ローラ４には、保持したグリーンシート７を加熱するために、熱源４ｂが設けられている。熱源４ｂの種類は任意であるが、たとえば、カートリッジヒータ、プレートヒータなどの抵抗加熱方式、誘導加熱、誘電加熱方式、熱媒を利用したヒートポンプ方式などを使用することができる。

圧着ローラ４の材質は任意であるが、たとえば、アルミ、カーボン、ＳＵＳなどを使用することができる。圧着ローラ４の直径は任意であるが、たとえば、５０ｍｍ以上、１０００ｍｍ以下とすることができる。

次に、図３（Ａ）～（Ｃ）、図４（Ａ）～（Ｃ）に示すように、剥離領域Ａ２において、圧着ローラ４によって、キャリアフィルム６上に形成されたグリーンシート７をキャリアフィルム６から剥離し、剥離したグリーンシート７を、圧着ローラ４の外周面に保持する。なお、図３（Ａ）～（Ｃ）は正面図である。また、図４（Ａ）～（Ｃ）は説明図であり、圧着ローラ４の通気孔４ａの状態（吸引状態、大気開放状態、排気状態）を示している。なお、図３（Ａ）と図４（Ａ）、図３（Ｂ）と図４（Ｂ）、図３（Ｃ）と図４（Ｃ）は、それぞれ、同じ時点を示している。

まず、図３（Ａ）、図４（Ａ）に示すように、キャリアフィルム６によって、矩形状のグリーンシート７が剥離領域Ａ２に搬送され、その先端が圧着ローラ４の最下部に当接する。この時点では、圧着ローラ４の通気孔４ａは大気開放状態（又は排気状態）にあり、吸引はしていない。

次に、図３（Ｂ）、図４（Ｂ）に示すように、キャリアフィルム６によってグリーンシート７を更に搬送し、それに同期させて圧着ローラ４を回転させる。このとき、通気孔４ａは、圧着ローラ４の最下部を越えると、順次、大気開放状態（又は排気状態）から吸引状態に切り替わり、グリーンシート７を吸引する。そして、圧着ローラ４の回転に伴って、グリーンシート７がキャリアフィルム６から剥離される。

次に、図３（Ｃ）、図４（Ｃ）に示すように、グリーンシート７がキャリアフィルム６から完全に剥離され、グリーンシート７が圧着ローラ４の外周面に保持される。

本実施形態においては、圧着ローラ４の外周面に保持されたグリーンシート７が、圧着ローラ４の熱源４ｂによって加熱される。

次に、グリーンシート７を保持した圧着ローラ４が、図１に示すように、積層領域Ａ３に移動する。ただし、圧着ローラ４を積層領域Ａ３に移動させる代わりに、搬送ローラ１ｂをキャリアフィルム６とともに水平方向に退避させたうえ（図１における左側に退避させたうえ）、圧着ローラ４の直下に積層テーブル９を配置してもよい。すなわち、剥離領域Ａ２と同じ位置に、積層領域Ａ３を設けてもよい。

上述したとおり、電子部品製造装置１０００は、積層領域Ａ３に、積層テーブル９を備えている。積層テーブル９は、水平方向に往復移動する。

本実施形態においては、積層テーブル９には、グリーンシート積層体１０を加熱するために、熱源９ａが設けられている。熱源９ａの種類は任意であるが、たとえば、カートリッジヒータ、プレートヒータなどの抵抗加熱方式、誘導加熱、誘電加熱方式、熱媒を利用したヒートポンプ方式などを使用することができる。

また、上述したとおり、電子部品製造装置１０００は、積層領域Ａ３に、プラズマ照射装置（第１プラズマ照射装置）１１を備えている。

図５（Ａ）～（Ｃ）、図６（Ａ）～（Ｃ）に、積層領域Ａ３において、グリーンシート７を積層してグリーンシート積層体１０を作製する工程を示す。なお、図５（Ａ）～（Ｃ）は正面図である。また、図６（Ａ）～（Ｃ）は説明図であり、圧着ローラ４の通気孔４ａの状態（吸引状態、大気開放状態、排気状態）を示している。なお、図５（Ａ）と図６（Ａ）、図５（Ｂ）と図６（Ｂ）、図５（Ｃ）と図６（Ｃ）は、それぞれ、同じ時点を示している。

まず、図５（Ａ）、図６（Ａ）に示すように、グリーンシート７が保持された、圧着ローラ４の下に、積層テーブル９を移動させる。なお、図５（Ａ）、図６（Ａ）においては、積層テーブル９上に、既に複数のグリーンシート７が積層され、加熱圧着されて、作製途中のグリーンシート積層体１０が存在している。ただし、１層目のグリーンシート７を積層する場合には、積層テーブル９上にグリーンシート積層体１０（グリーンシート７）は存在していない。

図５（Ａ）、図６（Ａ）は、加工点Ｐにおいて、圧着ローラ４に保持されたグリーンシート７の先端と、作製途中のグリーンシート積層体１０の最上層に積層されたグリーンシート７の先端とが、接した時点を示している。加工点Ｐとは、圧着ローラ４に保持されたグリーンシート７が圧着ローラ４から積層テーブル９に受け渡され、圧着ローラ４と積層テーブル９とで、受け渡されたグリーンシート７の下側主面を、作製途中のグリーンシート積層体１０の最上層に積層されたグリーンシート７の上側主面に加熱圧着する点をいう。

図５（Ａ）、図６（Ａ）に示す時点においては、圧着ローラ４の通気孔４ａは吸引状態にあり、グリーンシート７は圧着ローラ４に保持されている。

本実施形態においては、積層テーブル９上の（作製途中または作製後の）グリーンシート積層体１０が、積層テーブル９の熱源９ａによって加熱される。

積層領域Ａ３においては、プラズマ照射装置（第１プラズマ照射装置）１１によって、少なくとも、圧着ローラ４に保持されたグリーンシート７の加工点Ｐに至る直前の部分、および、作製途中のグリーンシート積層体１０の最上層に積層されたグリーンシート７の加工点Ｐに至る直前の部分に、プラズマを照射する。プラズマを照射するのは、グリーンシート７の表面に親水基（カルボキシル基、水酸基、アミノ基、カルボニル基など）を付与し、作製途中のグリーンシート積層体１０の最上層に積層されたグリーンシート７と、新たに積層されるグリーンシート７との接合力を向上させるためである。

プラズマ照射装置１１の種類は任意であるが、たとえば、汎用されている大気圧プラズマ照射装置を使用することができる。また、プラズマの照射に、たとえば窒素やアルゴンなどのガスを使用してもよい。

グリーンシート７の表面は、プラズマを照射することにより、親水性が高まる。親水性は水の接触角で評価することができるが、プラズマを照射することにより、グリーンシート７の表面の水の接触角は小さくなる。プラズマを照射した後のグリーンシート７の表面の具体的な接触角の大きさは任意であるが、たとえば、グリーンシート７の電極膜（導電性ペースト）が形成されていない部分において、７５°以上、８５°以下であることが好ましい。また、グリーンシート７の電極膜（導電性ペースト）が形成されている部分において、８０°以上、９０°以下であることが好ましい。これらの場合には、グリーンシート７どうしの接合力を格段に向上させることができる。

次に、図５（Ｂ）、図６（Ｂ）に示すように、圧着ローラ４を回転させ、それに同期させて、積層テーブル９を回転と同じ方向（図５（Ｂ）、図６（Ｂ）における右方向）に移動させる。このとき、通気孔４ａは、圧着ローラ４の最下部（加工点Ｐ）を越えると、順次、吸引状態から排気状態（又は大気開放状態）に切り替わる。この結果、圧着ローラ４に保持されたグリーンシート７が、積層テーブル９上の作製途中のグリーンシート積層体１０の最上層に積層され、加熱圧着される。

次に、図５（Ｃ）、図６（Ｃ）に示すように、グリーンシート７がグリーンシート積層体１０に完全に加熱圧着されて、当該グリーンシート７の積層が完了する。

以上のグリーンシート７の積層、加熱圧着を、予定の回数繰り返すことによって、グリーンシート積層体１０が完成する。

次に、必要に応じて、グリーンシート積層体１０を複数の個片のグリーンシート積層体に分割する。

次に、グリーンシート積層体１０、または、個片に分割されたグリーンシート積層体を、所定のプロファイルで焼成し、セラミック積層体（図示せず）を作製する。このとき、層間に設けられた導電性ペーストも焼成され、セラミック積層体の層間に内部電極が形成される。

最後に、セラミック積層体の外表面に外部電極を形成して、本実施形態にかかる電子部品（積層セラミックコンデンサ）が完成する。

本実施形態の電子部品の製造方法においては、加熱圧着の工程において、圧着ローラ４に保持されたグリーンシート７の加工点Ｐに至る直前の部分、および、作製途中のグリーンシート積層体１０の最上層に積層されたグリーンシート７の加工点Ｐに至る直前の部分にプラズマを照射するため、グリーンシート７どうしの接合力が向上している。したがって、本実施形態の電子部品の製造方法によれば、加熱圧着の温度および圧力が同じであれば、加熱圧着に要する時間を短くすることができる。そして、その結果、電子部品を製造する生産性を向上させることができる。また、加熱圧着の時間が同じであれば、加熱圧着の温度および圧力の少なくとも一方を、低くまたは小さくすることができる。そして、その結果、グリーンシート積層体１０に発生する歪を抑制することができ、品質の高い電子部品を製造することができる。

なお、プラズマの照射によるグリーンシート７の表面の親水性の向上は、時間の経過とともに効力が低下する。しかしながら、本実施形態においては、加熱圧着の直前にグリーンシート７の表面にプラズマを照射しているため、グリーンシート７どうしが高い接合力で加熱圧着される。

［第２実施形態］
図７に、第２実施形態にかかる電子部品の製造方法において使用する電子部品製造装置２０００の要部概略図を示す。

電子部品製造装置２０００は、第１実施形態において使用した電子部品製造装置１０００の構成の一部に変更を加えた。

具体的には、電子部品製造装置１０００では、剥離領域Ａ２におけるキャリアフィルム６からのグリーンシート７の剥離と、剥離領域Ａ２から積層領域Ａ３へのグリーンシート７の搬送と、積層領域Ａ３におけるグリーンシート７の積層に、圧着ローラ４を使用した。電子部品製造装置２０００は、これを変更し、剥離領域Ａ２におけるキャリアフィルム６からのグリーンシート７の剥離と、剥離領域Ａ２から積層領域Ａ３へのグリーンシート７の搬送と、積層領域Ａ３におけるグリーンシート７の積層に、圧着ヘッド２４を使用する。圧着ヘッド２４は、底面に通気孔２４ａが形成されており、時間ごとに、通気孔２４ａの状態を、吸引状態、排気状態（ブロー状態）、大気開放状態などの任意の状態にすることができる。また、圧着ヘッド２４は、保持したグリーンシート７を加熱するために、熱源２４ｂが設けられている。圧着ヘッド２４は、剥離領域Ａ２と積層領域Ａ３との間を往復移動する。

また、電子部品製造装置１０００では、積層領域Ａ３に、水平方向に往復移動する積層テーブル９を備えていた。電子部品製造装置２０００は、これを変更し、積層領域Ａ３に、水平方向に往復移動しない積層テーブル２９を設けている。積層テーブル２９には、積層テーブル２９上に作製されたグリーンシート積層体１０を加熱するために、熱源２９ａが設けられている。

また、電子部品製造装置１０００では、積層領域Ａ３に、圧着ローラ４に保持されたグリーンシート７と、グリーンシート積層体１０の最上層に積層されたグリーンシート７とに対しプラズマを照射する、プラズマ照射装置（第１プラズマ装置）１１を備えていた。電子部品製造装置２０００は、これを変更し、剥離領域Ａ２と積層領域Ａ３との間に、圧着ヘッド２４に保持されたグリーンシート７にプラズマを照射するプラズマ照射装置（第２プラズマ照射装置）３２を設けるとともに、圧着ヘッド２４に、圧着ヘッド２４とともに移動し、積層テーブル２９上に作製されたグリーンシート積層体１０の最上層に積層されたグリーンシート７にプラズマを照射するプラズマ照射装置（第３プラズマ照射装置）３３を取付けている。

本実施形態においては、剥離領域Ａ２において、圧着ヘッド２４によって、キャリアフィルム６からのグリーンシート７を剥離する。具体的には、まず、剥離領域Ａ２において、キャリアフィルム６の搬送を停止させる。次に、圧着ヘッド２４を下降させ、底面を、キャリアフィルム６上に設けられたグリーンシート７に当接させ、通気孔２４ａによってグリーンシート７を吸引する。次に、圧着ヘッド２４を上昇させることにより、グリーンシート７がキャリアフィルム６から剥離される。剥離されたグリーンシート７は、通気孔２４ａによる吸引によって、圧着ヘッド２４の底面に保持される。

次に、図８（Ａ）～（Ｃ）に示すように、底面にグリーンシート７を保持した圧着ヘッド２４を、剥離領域Ａ２から積層領域Ａ３へ移動させる。なお、図８（Ａ）～（Ｃ）は、プラズマの照射を示す正面図である。

この圧着ヘッド２４の剥離領域Ａ２から積層領域Ａ３への移動において、まず、図８（Ａ）に示すように、プラズマ照射装置３２によって、圧着ヘッド２４の底面に保持されたグリーンシート７にプラズマが照射される。

次に、圧着ヘッド２４が積層領域Ａ３の方向へ進むと、図８（Ｂ）に示すように、圧着ヘッド２４に取付けられたプラズマ照射装置３３によって、積層テーブル２９上に作製されたグリーンシート積層体１０の最上層に積層されたグリーンシート７にプラズマが照射される。

次に、圧着ヘッド２４が積層領域Ａ３の方向へ更に進むと、図８（Ｃ）に示すように、プラズマ照射装置３２による圧着ヘッド２４の底面に保持されたグリーンシート７へのプラズマの照射が終了する。そして、図示しないが、圧着ヘッド２４が積層領域Ａ３に到着すると、プラズマ照射装置３３による積層テーブル２９上に作製されたグリーンシート積層体１０の最上層に積層されたグリーンシート７へのプラズマの照射が終了する。

次に、図示しないが、積層領域Ａ３において、圧着ヘッド２４を下降させ、圧着ヘッド２４の底面に保持されたグリーンシート７を、積層テーブル２９上に作製されたグリーンシート積層体１０の最上層に積層し、加熱圧着する。次に、圧着ヘッド２４の通気孔２４ａを、吸引状態から、排気状態（ブロー状態）または大気開放状態に切替えたうえで、圧着ヘッド２４を上昇させることによって、圧着ヘッド２４に保持されたグリーンシート７の積層テーブル２９上に作製されたグリーンシート積層体１０への加熱圧着が完了する。なお、加熱圧着の工程においては、圧着ヘッド２４を下降させる代わりに、積層テーブル２９を上昇させてもよい。あるいは、圧着ヘッド２４を下降させるのに加えて、積層テーブル２９を上昇させてもよい。

第２実施形態においても、加熱圧着の直前にグリーンシート７の表面にプラズマを照射しているため、グリーンシート７どうしが高い接合力で加熱圧着される。

［第３実施形態］
図９に、第３実施形態にかかる電子部品の製造方法において使用する電子部品製造装置３０００の要部概略図を示す。

電子部品製造装置３０００は、第２実施形態において使用した電子部品製造装置２０００の構成の一部に変更を加えた。

具体的には、電子部品製造装置２０００では、剥離領域Ａ２と積層領域Ａ３とが、水平方向において別の位置に存在した。電子部品製造装置２０００では、これを変更し、剥離領域Ａ２と積層領域Ａ３とを水平方向において同じ位置に設定した。

剥離領域Ａ２と積層領域Ａ３を水平方向において同じ位置に設定したことにともない、電子部品製造装置３０００の圧着ヘッド３４は、水平方向には移動しない。また、積層テーブル３９が、圧着ヘッド３４の直下に配置されている。なお、圧着ヘッド３４には、底面に通気孔３４ａが形成され、内部に熱源３４ｂが形成されている。また、積層テーブル３９には、内部に熱源３９ａが形成されている。

また、電子部品製造装置３０００は、剥離領域Ａ２と積層領域Ａ３を水平方向において同じ位置に設定したことにともない、搬送ローラ１ｂが、キャリアフィルム６とともに、水平方向（図９における左側）に退避するようになっている。

また、電子部品製造装置３０００は、搬送ローラ１ｂに、搬送ローラ１ｂとともに移動し、圧着ヘッド３４に保持されたグリーンシート７にプラズマを照射するプラズマ照射装置（第４プラズマ照射装置）４４と、積層テーブル３９上に作製されたグリーンシート積層体１０の最上層に積層されたグリーンシート７にプラズマを照射するプラズマ照射装置（第５プラズマ照射装置）４５とが、取付けられている。

第３実施形態においても、図１０（Ａ）に示すように、剥離領域Ａ２（積層領域Ａ３でもある）において、第２実施形態と同様に、圧着ヘッド３４によって、キャリアフィルム６からグリーンシート７を剥離し、底面に保持する。

次に、図１０（Ｂ）に示すように、搬送ローラ１ｂを、キャリアフィルム６とともに、水平方向（図１０における左側）に退避させる。このとき、プラズマ照射装置４４によって、圧着ヘッド３４に保持されたグリーンシート７にプラズマを照射し、プラズマ照射装置４５によって、積層テーブル３９上に作製されたグリーンシート積層体１０の最上層に積層されたグリーンシート７にプラズマを照射する。

次に、図１０（Ｃ）に示すように、搬送ローラ１ｂの退避が完了すると、プラズマ照射装置４４によるプラズマ照射、および、プラズマ照射装置４５によるプラズマ照射を、それぞれ終了させる。そして、第２実施形態と同様に、圧着ヘッド３４を下降させて、圧着ヘッド３４の底面に保持されたグリーンシート７を、積層テーブル３９上に作製されたグリーンシート積層体１０の最上層に積層し、加熱圧着させる。なお、加熱圧着の工程においては、圧着ヘッド３４を下降させる代わりに、積層テーブル３９を上昇させてもよい。あるいは、圧着ヘッド３４を下降させるのに加えて、積層テーブル３９を上昇させてもよい。

第３実施形態においても、加熱圧着の直前にグリーンシート７の表面にプラズマを照射しているため、グリーンシート７どうしが高い接合力で加熱圧着される。

［第４実施形態］
図１１に、第４実施形態にかかる電子部品の製造方法において使用する電子部品製造装置４０００の要部概略図を示す。

上述した第１実施形態～第３実施形態では、グリーンシート７を積層して加熱圧着する直前において、グリーンシート７の表面にプラズマを照射した。第４実施形態においては、これを変更し、カット領域Ａ１において、キャリアフィルム６上に形成された長尺状のマザーグリーンシート５を、矩形状のグリーンシート７にカットするよりも前の段階において、グリーンシート７の表面にプラズマを照射するようにした。

具体的には、電子部品製造装置４０００では、図１１に示すように、キャリアフィルム６の搬送路において、搬送ローラ１ａの前にコンペンセータローラ５２が設けられ、コンペンセータローラ５２の前に搬送ローラ５１ｅが設けられ、搬送ローラ５１ｅの前にプラズマ照射装置（第６プラズマ照射装置）５６が設けられている。電子部品製造装置４０００の他の構成は、電子部品製造装置１０００と同じにした。

電子部品製造装置４０００においては、コンペンセータローラ５２よりも前では、キャリアフィルム６が連続的に搬送され、コンペンセータローラ５２よりも後では、マザーグリーンシート５をグリーンシート７にカットする必要などから、キャリアフィルム６が間欠的に搬送される。

電子部品製造装置４０００においては、キャリアフィルム６が連続的に搬送される領域において、プラズマ照射装置５６によって、長尺状のマザーグリーンシート５にプラズマが照射される。なお、プラズマ照射装置５６によるプラズマの照射は、マザーグリーンシート５の主面に導電性ペーストを印刷して内部電極用の電極膜を形成する前であってもよく、後であってもよい。ただし、電極膜（導電性ペースト）の表面の親水性を高めるためには、内部電極用の電極膜を形成した後にプラズマを照射することが好ましい。

電子部品製造装置４０００においては、グリーンシート７を積層して加熱圧着する直前においては、グリーンシート７へのプラズマの照射はおこなわない。ただし、グリーンシート７を積層して加熱圧着する直前においても、再度、グリーンシート７へプラズマを照射するようにしてもよい。

第４実施形態においては、キャリアフィルム６が連続的に搬送される領域において、プラズマ照射装置５６によって、マザーグリーンシート５にプラズマが安定的に照射されるため、マザーグリーンシート５の表面の親水性を均一に向上させることができる。

第４実施形態においても、グリーンシート７にプラズマが照射されているため、グリーンシート７どうしが高い接合力で加熱圧着される。

以上、第１実施形態～第４実施形態にかかる電子部品の製造方法について説明した。また、第１実施形態～第４実施形態において使用する電子部品製造装置１０００、２０００、３０００、４０００について説明した。しかしながら、本発明が上述した内容に限定されることはなく、発明の趣旨に沿って種々の変更をなすことができる。

たとえば、上記実施形態では、電子部品として積層セラミックコンデンサを製造したが、製造する電子部品は積層セラミックコンデンサには限られず、他の種類の電子部品であってもよい。

また、上記実施形態では、圧着ローラ４に熱源４ｂ、圧着ヘッド２４、３４に熱源２４ｂ、３４ｂを設けるとともに、積層テーブル９、２９、３９に熱源９ａ、２９ａ、３９ａを設けたが、熱源４ｂ、２４ｂ、３４ｂか、または、熱源９ａ、２９ａ、３９ａかのいずれか一方を省略することも可能である。

また、上記実施形態では、搬送ローラ１ａ～１ｄのうち、搬送ローラ１ａ、１ｄを自ら回転してキャリアフィルム６を駆動する駆動ローラとしたが、どの搬送ローラを駆動ローラとするかは任意であり、上記のものには限られない。

また、電子部品製造装置１０００、４０００では、圧着ローラ４が通気孔４ａを備えたサクションローラであったが、圧着ローラ４は通気孔を備えないローラであってもよい。また、電子部品製造装置２０００、３０００において、圧着ヘッド２４、３４から、通気孔２４ａ、３４ａを省略することも可能である。

本発明の一実施態様、別の実施態様、更に別の実施態様にかかる電子部品の製造方法は、それぞれ、「課題を解決するための手段」の欄に記載したとおりである。

これらの電子部品の製造方法において、プラズマが照射された後のグリーンシートの表面における水の接触角が、７５°以上、８５°以下であることも好ましい。また、これらの電子部品の製造方法において、更に、グリーンシートの主面上に導電性ペーストを塗布して電極膜を形成する工程を備え、プラズマが照射された後の電極膜の表面における水の接触角が、８０°以上、９０°以下であることも好ましい。これらの場合には、グリーンシートどうしの接合力を格段に向上させることができる。

１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、５１ｅ・・・搬送ローラ
３ａ、３ｂ・・・カット刃
４・・・圧着ローラ
４ａ・・・通気孔
４ｂ・・・熱源
５・・・マザーグリーンシート
６・・・キャリアフィルム
７・・・グリーンシート
９、２９、３９・・・積層テーブル
９ａ、２９ａ、３９ａ・・・熱源
１０・・・グリーンシート積層体
１１・・・プラズマ照射装置（第１プラズマ照射装置）
２４、３４・・・圧着ヘッド
２４ａ、３４ａ・・・通気孔
２４ｂ、３４ｂ・・・熱源
３２・・・プラズマ照射装置（第２プラズマ照射装置）
３３・・・プラズマ照射装置（第３プラズマ照射装置）
４４・・・プラズマ照射装置（第４プラズマ照射装置）
４５・・・プラズマ照射装置（第５プラズマ照射装置）
５２・・・コンペンセータローラ
５６・・・プラズマ照射装置（第６プラズマ照射装置）
Ａ１・・・カット領域
Ａ２・・・剥離領域
Ａ３・・・積層領域
Ｐ・・・加工点

Claims (6)

1. 圧着ヘッドの底面にグリーンシートを保持させる工程と、
   前記グリーンシートを前記圧着ヘッドから積層テーブルに受け渡し、加熱圧着して、前記積層テーブル上に、複数の前記グリーンシートが積層されたグリーンシート積層体を作製する工程と、を備え、
   少なくとも、前記圧着ヘッドに保持された前記グリーンシート、および、前記積層テーブル上に作製された前記グリーンシート積層体の最上層に積層された前記グリーンシートに、プラズマを照射する、電子部品の製造方法。
2. キャリアフィルム上に形成されたグリーンシートを、前記キャリアフィルムから剥離する工程と、
   剥離された前記グリーンシートを積層テーブル上に積層し、加熱圧着して、複数の前記グリーンシートが積層されたグリーンシート積層体を作製する工程と、を備え、
   前記グリーンシートを前記キャリアフィルムから剥離するよりも前の時点において、前記キャリアフィルム上に形成された前記グリーンシートに、プラズマを照射する、電子部品の製造方法。
3. 前記プラズマが照射された後の前記グリーンシートの表面における水の接触角が、７５°以上、８５°以下である、請求項１または２に記載された電子部品の製造方法。
4. 前記グリーンシートの主面上に導電性ペーストを塗布して電極膜を形成する工程を備え、
   前記プラズマが照射された後の前記電極膜の表面における水の接触角が、８０°以上、９０°以下である、請求項１ないし３のいずれか１項に記載された電子部品の製造方法。
5. 圧着ヘッドと、積層テーブルと、を備え、
   前記圧着ヘッドの底面にグリーンシートを保持させ、
   前記グリーンシートを前記圧着ヘッドから積層テーブルに受け渡し、加熱圧着して、前記積層テーブル上に、複数の前記グリーンシートが積層されたグリーンシート積層体を作製する、電子部品製造装置であって、
   前記圧着ヘッドに保持された前記グリーンシートにプラズマを照射する、第２プラズマ照射装置と、
   前記圧着ヘッドに取付けられ、前記圧着ヘッドとともに移動し、前記積層テーブル上に作製された前記グリーンシート積層体の最上層に積層された前記グリーンシートにプラズマを照射する、第３プラズマ照射装置と、を更に備えた、電子部品製造装置。
6. キャリアフィルムを搬送する搬送ローラと、圧着ヘッドと、積層テーブルと、を備え、
   前記圧着ヘッドの底面にグリーンシートを保持させ、
   前記グリーンシートを前記圧着ヘッドから積層テーブルに受け渡し、加熱圧着して、前記積層テーブル上に、複数の前記グリーンシートが積層されたグリーンシート積層体を作製する、電子部品製造装置であって、
   前記搬送ローラに取付けられ、前記搬送ローラとともに移動し、前記圧着ヘッドに保持された前記グリーンシートにプラズマを照射する、第４プラズマ照射装置と、
   前記搬送ローラに取付けられ、前記搬送ローラとともに移動し、前記積層テーブル上に作製された前記グリーンシート積層体の最上層に積層された前記グリーンシートにプラズマを照射する、第５プラズマ照射装置と、を更に備えた、電子部品製造装置。

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