JP2843264B2 - グリーンシートの積層方法および積層装置 - Google Patents
グリーンシートの積層方法および積層装置Info
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- JP2843264B2 JP2843264B2 JP24398194A JP24398194A JP2843264B2 JP 2843264 B2 JP2843264 B2 JP 2843264B2 JP 24398194 A JP24398194 A JP 24398194A JP 24398194 A JP24398194 A JP 24398194A JP 2843264 B2 JP2843264 B2 JP 2843264B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、複数のグリーンシート
を積層してなるグリーンシート積層体を得るのに好適な
グリーンシートの積層方法および積層装置に関するもの
である。
を積層してなるグリーンシート積層体を得るのに好適な
グリーンシートの積層方法および積層装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来から、セラミックス等からなるグリ
ーンシートを積み重ねてなるグリーンシート積層体は、
多層プリント配線板等に使用されている。従来、セラミ
ックス等からなるグリーンシートを複数枚積層してなる
グリーンシート積層体としては、グリーンシートの片面
に共素地の材料を印刷、積層、乾燥した後熱圧着する共
素地法、および溶剤とバインダーとからなる接着剤をグ
リーンシートの片面にスプレーまたはローラーで塗布
し、接着剤を片面に塗布したグリーンシートを所定の枚
数だけ積層した後、熱圧着する溶剤法を利用するのが一
般的であった。
ーンシートを積み重ねてなるグリーンシート積層体は、
多層プリント配線板等に使用されている。従来、セラミ
ックス等からなるグリーンシートを複数枚積層してなる
グリーンシート積層体としては、グリーンシートの片面
に共素地の材料を印刷、積層、乾燥した後熱圧着する共
素地法、および溶剤とバインダーとからなる接着剤をグ
リーンシートの片面にスプレーまたはローラーで塗布
し、接着剤を片面に塗布したグリーンシートを所定の枚
数だけ積層した後、熱圧着する溶剤法を利用するのが一
般的であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た共素地法では、共素地の材料の印刷、乾燥工程が事前
に必要となるとともに、共素地の材料の印刷、乾燥によ
り、グリーンシートに反りが発生し、その後の取扱いが
悪くなる問題があった。また、上述した溶剤法では、ス
プレー塗布法およびローラー塗布法ともに接着剤の厚さ
が厚くなり塗布後すぐに積層できず、一分以上のレベリ
ング時間が必要であるため、自動化が難しい問題があっ
た。
た共素地法では、共素地の材料の印刷、乾燥工程が事前
に必要となるとともに、共素地の材料の印刷、乾燥によ
り、グリーンシートに反りが発生し、その後の取扱いが
悪くなる問題があった。また、上述した溶剤法では、ス
プレー塗布法およびローラー塗布法ともに接着剤の厚さ
が厚くなり塗布後すぐに積層できず、一分以上のレベリ
ング時間が必要であるため、自動化が難しい問題があっ
た。
【０００４】本発明の目的は上述した課題を解消して、
接着剤塗布後すぐに積層することができ、自動化にも対
応できるグリーンシートの積層方法および積層装置を提
供しようとするものである。
接着剤塗布後すぐに積層することができ、自動化にも対
応できるグリーンシートの積層方法および積層装置を提
供しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のグリーンシート
の積層方法は、複数のグリーンシートを積層してなるグ
リーンシート積層体の積層方法において、グリーンシー
トの片面に、接着剤をグラビアオフセット印刷した後、
積層、仮圧着することを特徴とするものである。
の積層方法は、複数のグリーンシートを積層してなるグ
リーンシート積層体の積層方法において、グリーンシー
トの片面に、接着剤をグラビアオフセット印刷した後、
積層、仮圧着することを特徴とするものである。
【０００６】また、本発明のグリーンシートの積層装置
は、上述したグリーンシートの積層方法を実施するグリ
ーンシートの積層装置であって、複数のグリーンシート
を連続して供給可能な供給手段と、供給手段から供給さ
れるグリーンシートの片面に接着剤をグラビアオフセッ
ト印刷する印刷手段と、印刷手段で片面に接着剤を印刷
したグリーンシートを積層した後仮圧着する積層手段
と、前記供給手段、印刷手段および積層手段の間を、グ
リーンシートを保持して移動する搬送手段とからなるこ
とを特徴とするものである。
は、上述したグリーンシートの積層方法を実施するグリ
ーンシートの積層装置であって、複数のグリーンシート
を連続して供給可能な供給手段と、供給手段から供給さ
れるグリーンシートの片面に接着剤をグラビアオフセッ
ト印刷する印刷手段と、印刷手段で片面に接着剤を印刷
したグリーンシートを積層した後仮圧着する積層手段
と、前記供給手段、印刷手段および積層手段の間を、グ
リーンシートを保持して移動する搬送手段とからなるこ
とを特徴とするものである。
【０００７】
【作用】上述した構成において、まず本発明のグリーン
シートの積層方法では、接着剤をグラビアオフセット印
刷によりグリーンシートの片面に印刷することで、接着
剤の厚さを例えば１〜６μｍと薄く均一に印刷でき、接
着力が直ちに発現され、これにより印刷直後に積層、仮
圧着することができる。そのため、グリーンシートの積
層を自動化することが可能となる。なお、本発明のグラ
ビアオフセット印刷としては、従来から公知の技術を使
用することができる。
シートの積層方法では、接着剤をグラビアオフセット印
刷によりグリーンシートの片面に印刷することで、接着
剤の厚さを例えば１〜６μｍと薄く均一に印刷でき、接
着力が直ちに発現され、これにより印刷直後に積層、仮
圧着することができる。そのため、グリーンシートの積
層を自動化することが可能となる。なお、本発明のグラ
ビアオフセット印刷としては、従来から公知の技術を使
用することができる。
【０００８】接着剤としては、グラビアオフセット印刷
に使用できるものであれば特に制限なく使用できるが、
積層、仮圧着を完全に行うことができる点で、３〜８重
量％のブチラール樹脂と残部２エチルヘキサノールとか
らなる接着剤を使用することが好ましい。この接着剤を
使用する場合は、ブチラール樹脂が８重量％を超えると
焼結接合しないとともに、３重量％未満であるとハンド
リング時にハガレが起きるため、ブチラール樹脂は３〜
８重量％である必要がある。また、グラビアオフセット
印刷による接着剤の印刷厚についても印刷できれば特に
限定するものではないが、積層、仮圧着を完全に行うこ
とができる点で、印刷厚が１〜６μｍであると好まし
く、２〜３μｍであるとさらに好ましい。
に使用できるものであれば特に制限なく使用できるが、
積層、仮圧着を完全に行うことができる点で、３〜８重
量％のブチラール樹脂と残部２エチルヘキサノールとか
らなる接着剤を使用することが好ましい。この接着剤を
使用する場合は、ブチラール樹脂が８重量％を超えると
焼結接合しないとともに、３重量％未満であるとハンド
リング時にハガレが起きるため、ブチラール樹脂は３〜
８重量％である必要がある。また、グラビアオフセット
印刷による接着剤の印刷厚についても印刷できれば特に
限定するものではないが、積層、仮圧着を完全に行うこ
とができる点で、印刷厚が１〜６μｍであると好まし
く、２〜３μｍであるとさらに好ましい。
【０００９】また、本発明のグリーンシートの積層装置
では、上述したグリーンシートの積層方法において印刷
直後に積層できることを前提として、グリーンシートの
供給手段、印刷手段、積層手段、搬送手段から装置を構
成することで、グリーンシート積層工程の自動化を達成
できる。そのため、その後の積層体を圧着する装置と組
み合わせることで、グリーンシート積層体作製の自動化
を達成できる。
では、上述したグリーンシートの積層方法において印刷
直後に積層できることを前提として、グリーンシートの
供給手段、印刷手段、積層手段、搬送手段から装置を構
成することで、グリーンシート積層工程の自動化を達成
できる。そのため、その後の積層体を圧着する装置と組
み合わせることで、グリーンシート積層体作製の自動化
を達成できる。
【００１０】
【実施例】図１は本発明のグリーンシートの積層方法の
一例を説明するためのフローチャートである。図１に沿
って本発明のグリーンシートの積層方法を説明すると、
まずグリーンシートと接着剤とを準備する。グリーンシ
ートは従来から公知の例えばドクターブレード法等の方
法で製造でき、所定の厚みで所定の寸法に成形したグリ
ーンシートを複数枚準備する。接着剤は従来から公知の
ものを使用できるが、３〜８重量％のブチラール樹脂と
残部２エチルヘキサノールとからなる接着剤を使用する
ことが好ましい。
一例を説明するためのフローチャートである。図１に沿
って本発明のグリーンシートの積層方法を説明すると、
まずグリーンシートと接着剤とを準備する。グリーンシ
ートは従来から公知の例えばドクターブレード法等の方
法で製造でき、所定の厚みで所定の寸法に成形したグリ
ーンシートを複数枚準備する。接着剤は従来から公知の
ものを使用できるが、３〜８重量％のブチラール樹脂と
残部２エチルヘキサノールとからなる接着剤を使用する
ことが好ましい。
【００１１】次に、準備したグリーンシートの片面に、
準備した接着剤をグラビアオフセット印刷する。その際
の接着剤の印刷厚は、１〜６μｍが好ましく、２〜３μ
ｍがさらに好ましい。その後、片面に接着剤をグラビア
オフセット印刷したグリーンシートを１枚ずつ順次積層
し、機械的なプレス等の手段で仮圧着する。目標のグリ
ーンシート積層数まで仮圧着された段階で積層品を取り
出し、次工程で熱圧着することでグリーンシートの積層
を終了する。
準備した接着剤をグラビアオフセット印刷する。その際
の接着剤の印刷厚は、１〜６μｍが好ましく、２〜３μ
ｍがさらに好ましい。その後、片面に接着剤をグラビア
オフセット印刷したグリーンシートを１枚ずつ順次積層
し、機械的なプレス等の手段で仮圧着する。目標のグリ
ーンシート積層数まで仮圧着された段階で積層品を取り
出し、次工程で熱圧着することでグリーンシートの積層
を終了する。
【００１２】本発明で利用するグラビアオフセット印刷
は従来から公知の技術を使用できる。図２はグラビアオ
フセット印刷の一例を説明するための図である。図２に
おいて、１は円筒形状の凹版ローラ（グラビアロー
ラ）、２はドクターブレード、３はシリコンゴム等より
なる転写ローラ、４は被印刷物ここではグリーンシー
ト、５は接着剤である。図２において、各部材はすべて
矢印方向に移動する。グラビアオフセット印刷は、凹版
ローラ１に接着剤５を供給し、ドクターブレード２でか
きとり、凹版ローラ１の凹部１ａに接着剤５を充填す
る。次に、凹部１ａに残された接着剤５を転写ローラ２
に一度転写し、転写ローラ２をグリーンシート４に接触
させて、接着剤５をグリーンシート４に印刷している。
は従来から公知の技術を使用できる。図２はグラビアオ
フセット印刷の一例を説明するための図である。図２に
おいて、１は円筒形状の凹版ローラ（グラビアロー
ラ）、２はドクターブレード、３はシリコンゴム等より
なる転写ローラ、４は被印刷物ここではグリーンシー
ト、５は接着剤である。図２において、各部材はすべて
矢印方向に移動する。グラビアオフセット印刷は、凹版
ローラ１に接着剤５を供給し、ドクターブレード２でか
きとり、凹版ローラ１の凹部１ａに接着剤５を充填す
る。次に、凹部１ａに残された接着剤５を転写ローラ２
に一度転写し、転写ローラ２をグリーンシート４に接触
させて、接着剤５をグリーンシート４に印刷している。
【００１３】図３〜図５は上述したグリーンシートの積
層方法を実施するグリーンシートの積層装置の一例を説
明するための平面図、正面図および側面図である。図３
〜図５において、グリーンシート積層装置１１は、基台
１２上に、複数のグリーンシートを保持して供給可能な
供給手段としてのカセット２１と、カセット２１から供
給されるグリーンシートの片面に接着剤をグラビアオフ
セット印刷する印刷手段としてのグラビアオフセット印
刷装置３１と、グラビアオフセット印刷装置３１で片面
に接着剤を印刷したグリーンシート４１と、カセット２
１、グラビアオフセット印刷装置３１、プレス装置４１
の間をグリーンシートを保持して移動する搬送手段とし
ての搬送装置５１とを設けた構成している。
層方法を実施するグリーンシートの積層装置の一例を説
明するための平面図、正面図および側面図である。図３
〜図５において、グリーンシート積層装置１１は、基台
１２上に、複数のグリーンシートを保持して供給可能な
供給手段としてのカセット２１と、カセット２１から供
給されるグリーンシートの片面に接着剤をグラビアオフ
セット印刷する印刷手段としてのグラビアオフセット印
刷装置３１と、グラビアオフセット印刷装置３１で片面
に接着剤を印刷したグリーンシート４１と、カセット２
１、グラビアオフセット印刷装置３１、プレス装置４１
の間をグリーンシートを保持して移動する搬送手段とし
ての搬送装置５１とを設けた構成している。
【００１４】カセット２１は、複数のグリーンシートを
例えば縦方向に積み重ねて保持可能であるとともに、常
に最上部に次に印刷するグリーンシートが位置するよう
構成している。
例えば縦方向に積み重ねて保持可能であるとともに、常
に最上部に次に印刷するグリーンシートが位置するよう
構成している。
【００１５】グラビアオフセット印刷装置３１は、駆動
装置３２と、この駆動装置３２により駆動される転写ロ
ーラ３３、凹版ローラ３４、接着剤供給ローラ３５と、
接着剤供給ローラ３５に接着剤を供給する接着剤供給槽
３６とから構成されている。転写ローラ３３と凹版ロー
ラ３４および凹版ローラ３４と接着剤供給ローラ３５
は、それぞれ互いに接触可能な位置に配置している。転
写ローラ３３は、印刷時は凹版ローラ３４と接触する位
置にあり、印刷をしない待機時は凹版ローラ３４の上方
に退避した位置にあるよう構成されている。接着剤の印
刷は、回転する転写ローラ３３上をグリーンシートが接
触しながら移動することで行われる。この際、転写ロー
ラ３３の回転速度とグリーンシートの移動速度が同一速
度となって、転写ローラ３３とグリーンシートとの接触
部分がずれないよう制御している。
装置３２と、この駆動装置３２により駆動される転写ロ
ーラ３３、凹版ローラ３４、接着剤供給ローラ３５と、
接着剤供給ローラ３５に接着剤を供給する接着剤供給槽
３６とから構成されている。転写ローラ３３と凹版ロー
ラ３４および凹版ローラ３４と接着剤供給ローラ３５
は、それぞれ互いに接触可能な位置に配置している。転
写ローラ３３は、印刷時は凹版ローラ３４と接触する位
置にあり、印刷をしない待機時は凹版ローラ３４の上方
に退避した位置にあるよう構成されている。接着剤の印
刷は、回転する転写ローラ３３上をグリーンシートが接
触しながら移動することで行われる。この際、転写ロー
ラ３３の回転速度とグリーンシートの移動速度が同一速
度となって、転写ローラ３３とグリーンシートとの接触
部分がずれないよう制御している。
【００１６】プレス装置４１は、支持台４２に、上型４
３を先端に接続した上型ラム４４と、下型４５を先端に
接続した下型ラム４６とを設けて構成している。下型４
５上に、片面に接着剤を印刷したグリーンシートを順次
積層する。そのため、下型４５上には、積層するグリー
ンシート間の位置決めを行うための図示しない位置決め
ピンを設けている。上型４３には、半球状のシリコンゴ
ムからなる間座４７を設けている。間座４７を設けるこ
とで、仮圧着の際グリーンシート積層体に加わる圧力が
中心から周辺部へ順次かかることで、接着剤中の気泡等
がグリーンシート積層体から除去できるよう構成してい
る。仮圧着は、上型４３と下型４５との間にグリーンシ
ート積層体をはさみ、上型ラム４４と下型ラム４６とを
駆動してグリーンシート積層体に圧力をかけることで行
っている。
３を先端に接続した上型ラム４４と、下型４５を先端に
接続した下型ラム４６とを設けて構成している。下型４
５上に、片面に接着剤を印刷したグリーンシートを順次
積層する。そのため、下型４５上には、積層するグリー
ンシート間の位置決めを行うための図示しない位置決め
ピンを設けている。上型４３には、半球状のシリコンゴ
ムからなる間座４７を設けている。間座４７を設けるこ
とで、仮圧着の際グリーンシート積層体に加わる圧力が
中心から周辺部へ順次かかることで、接着剤中の気泡等
がグリーンシート積層体から除去できるよう構成してい
る。仮圧着は、上型４３と下型４５との間にグリーンシ
ート積層体をはさみ、上型ラム４４と下型ラム４６とを
駆動してグリーンシート積層体に圧力をかけることで行
っている。
【００１７】搬送装置５１は、基台１２上に設けた搬送
路５２と、搬送路５２上に設けた駆動装置５３と、駆動
装置５３に取り付けたグリーンシートを吸着保持する保
持部５４とから構成される。駆動装置５３の駆動によ
り、保持部５４がグリーンシートを保持した状態で、搬
送路５２上をＸ方向に移動できるとともに、上下方向
（Ｙ方向）にも移動できるよう構成している。これによ
り、カセット１２からグリーンシートを保持し、グラビ
アオフセット印刷装置３１で印刷を行った後、プレス装
置４１の下型４５上にグリーンシートを積層することが
可能となる。保持部５４は、図示しない例えば焼結金属
からなる多孔板を備え、この多孔板を介してエアの送給
を制御することで、グリーンシートを吸着保持すること
が可能となる。
路５２と、搬送路５２上に設けた駆動装置５３と、駆動
装置５３に取り付けたグリーンシートを吸着保持する保
持部５４とから構成される。駆動装置５３の駆動によ
り、保持部５４がグリーンシートを保持した状態で、搬
送路５２上をＸ方向に移動できるとともに、上下方向
（Ｙ方向）にも移動できるよう構成している。これによ
り、カセット１２からグリーンシートを保持し、グラビ
アオフセット印刷装置３１で印刷を行った後、プレス装
置４１の下型４５上にグリーンシートを積層することが
可能となる。保持部５４は、図示しない例えば焼結金属
からなる多孔板を備え、この多孔板を介してエアの送給
を制御することで、グリーンシートを吸着保持すること
が可能となる。
【００１８】上述した本発明のグリーンシートの積層装
置におけるグリーンシート積層は、以下のようにして行
われる。まず、搬送装置５１をカセット２１の位置に移
動する。ここで、保持部５４にグリーンシートを吸着保
持する。次に、保持部５４にグリーンシートを吸着保持
した状態で、搬送装置５１をグラビアオフセット印刷装
置３１の位置に移動する。そして、搬送装置５１をさら
にＸ方向に移動させる間に、グリーンシートが近づいた
とき転写ローラ３３を印刷位置にセットし、その後グリ
ーンシートと転写ローラ３３とが接触すると同時に、搬
送装置５１を移動させることによりグリーンシートの移
動に同期して転写ローラ３３を回転させて、グリーンシ
ートの下側の片面に接着剤をグラビアオフセット印刷す
る。
置におけるグリーンシート積層は、以下のようにして行
われる。まず、搬送装置５１をカセット２１の位置に移
動する。ここで、保持部５４にグリーンシートを吸着保
持する。次に、保持部５４にグリーンシートを吸着保持
した状態で、搬送装置５１をグラビアオフセット印刷装
置３１の位置に移動する。そして、搬送装置５１をさら
にＸ方向に移動させる間に、グリーンシートが近づいた
とき転写ローラ３３を印刷位置にセットし、その後グリ
ーンシートと転写ローラ３３とが接触すると同時に、搬
送装置５１を移動させることによりグリーンシートの移
動に同期して転写ローラ３３を回転させて、グリーンシ
ートの下側の片面に接着剤をグラビアオフセット印刷す
る。
【００１９】次に、接着剤を印刷したグリーンシートを
吸着保持した状態で、搬送装置５１をプレス装置４１の
位置に移動する。そして、プレス装置４１の下型４５上
にすでに積層されているグリーンシート上に、位置決め
ピンを利用して搬送してきたグリーンシートを位置さ
せ、ここで保持部５４のグリーンシートの吸着保持を中
止することにより、位置決めピンにより位置が決められ
積層される。搬送装置５１が移動後、プレス装置４１で
順次仮圧着する。そして、目標の枚数まで上記積層動作
を繰り返しグリーンシートの積層を終了する。
吸着保持した状態で、搬送装置５１をプレス装置４１の
位置に移動する。そして、プレス装置４１の下型４５上
にすでに積層されているグリーンシート上に、位置決め
ピンを利用して搬送してきたグリーンシートを位置さ
せ、ここで保持部５４のグリーンシートの吸着保持を中
止することにより、位置決めピンにより位置が決められ
積層される。搬送装置５１が移動後、プレス装置４１で
順次仮圧着する。そして、目標の枚数まで上記積層動作
を繰り返しグリーンシートの積層を終了する。
【００２０】本発明は上述した実施例にのみ限定される
ものでなく、幾多の変形、変更が可能である。例えば、
上述した実施例で示した基台１２上のカセット２１、グ
ラビアオフセット印刷装置３１、プレス装置４１、搬送
装置５１の位置はその一例を示すものであって、それぞ
れの部材を他の位置に配置しても良いことはいうまでも
ない。
ものでなく、幾多の変形、変更が可能である。例えば、
上述した実施例で示した基台１２上のカセット２１、グ
ラビアオフセット印刷装置３１、プレス装置４１、搬送
装置５１の位置はその一例を示すものであって、それぞ
れの部材を他の位置に配置しても良いことはいうまでも
ない。
【００２１】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
のグリーンシートの積層方法によれば、接着剤をグラビ
アオフセット印刷によりグリーンシートの片面に印刷し
ているため、接着剤を例えば１〜６μｍと薄く均一に印
刷でき、これにより印刷直後に積層、仮圧着することが
できる。そのため、グリーンシートの積層を自動化する
ことが可能となる。
のグリーンシートの積層方法によれば、接着剤をグラビ
アオフセット印刷によりグリーンシートの片面に印刷し
ているため、接着剤を例えば１〜６μｍと薄く均一に印
刷でき、これにより印刷直後に積層、仮圧着することが
できる。そのため、グリーンシートの積層を自動化する
ことが可能となる。
【００２２】また、本発明のグリーンシートの積層装置
によれば、上述したグリーンシートの積層方法において
印刷直後に積層できることを前提として、グリーンシー
トの供給手段、印刷手段、積層手段、搬送手段から装置
を構成しているため、グリーンシート積層工程の自動化
を達成できる。そのため、その後の積層体を圧着する装
置と組み合わせることで、グリーンシート積層体作製の
自動化を達成できる。
によれば、上述したグリーンシートの積層方法において
印刷直後に積層できることを前提として、グリーンシー
トの供給手段、印刷手段、積層手段、搬送手段から装置
を構成しているため、グリーンシート積層工程の自動化
を達成できる。そのため、その後の積層体を圧着する装
置と組み合わせることで、グリーンシート積層体作製の
自動化を達成できる。
【図１】本発明のグリーンシートの積層方法の一例を説
明するためのフローチャートである。
明するためのフローチャートである。
【図２】グラビアオフセット印刷の一例を説明するため
の図である。
の図である。
【図３】本発明のグリーンシートの積層装置の一例の構
成を示す平面図である。
成を示す平面図である。
【図４】図３に示すグリーンシートの積層装置の正面図
である。
である。
【図５】図３に示すグリーンシートの積層装置の側面図
である。
である。
１１ グリーンシート積層装置、２１ カセット、３１
グラビアオフセット印刷装置、４１ プレス装置、５
１ 搬送装置
グラビアオフセット印刷装置、４１ プレス装置、５
１ 搬送装置
Claims (4)
- 【請求項１】複数のグリーンシートを積層してなるグリ
ーンシート積層体の積層方法において、グリーンシート
の片面に、接着剤をグラビアオフセット印刷した後、積
層、仮圧着することを特徴とするグリーンシートの積層
方法。 - 【請求項２】前記接着剤が、３〜８重量％のブチラール
樹脂と残部２エチルヘキサノールとからなる請求項１記
載のグリーンシートの積層方法。 - 【請求項３】前記接着剤の印刷厚が１〜６μｍである請
求項１または２記載のグリーンシートの積層方法。 - 【請求項４】請求項１〜３のいずれか１項に記載のグリ
ーンシートの積層方法を実施するグリーンシートの積層
装置であって、複数のグリーンシートを連続して供給可
能な供給手段と、供給手段から供給されるグリーンシー
トの片面に接着剤をグラビアオフセット印刷する印刷手
段と、印刷手段で片面に接着剤を印刷したグリーンシー
トを積層した後仮圧着する積層手段と、前記供給手段、
印刷手段および積層手段の間を、グリーンシートを保持
して移動する搬送手段とからなることを特徴とするグリ
ーンシートの積層装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24398194A JP2843264B2 (ja) | 1994-10-07 | 1994-10-07 | グリーンシートの積層方法および積層装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24398194A JP2843264B2 (ja) | 1994-10-07 | 1994-10-07 | グリーンシートの積層方法および積層装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08108422A JPH08108422A (ja) | 1996-04-30 |
| JP2843264B2 true JP2843264B2 (ja) | 1999-01-06 |
Family
ID=17111936
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24398194A Expired - Lifetime JP2843264B2 (ja) | 1994-10-07 | 1994-10-07 | グリーンシートの積層方法および積層装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2843264B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6572830B1 (en) | 1998-10-09 | 2003-06-03 | Motorola, Inc. | Integrated multilayered microfludic devices and methods for making the same |
| US6592696B1 (en) * | 1998-10-09 | 2003-07-15 | Motorola, Inc. | Method for fabricating a multilayered structure and the structures formed by the method |
-
1994
- 1994-10-07 JP JP24398194A patent/JP2843264B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| JPH08108422A (ja) | 1996-04-30 |
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