JP5158109B2 - 積層セラミック電子部品の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、例えば、積層セラミックコンデンサなどの積層セラミック電子部品の製造方法に関し、より詳細には、キャリアフィルムに支持された長尺状のセラミックグリーンシートをキャリアフィルムを剥離しつつ積層する工程を備えた積層セラミック電子部品の製造方法に関する。

従来、積層セラミックコンデンサなどの積層セラミック電子部品の製造に際しては、数枚のマザーのセラミックグリーンシートが積層されて、マザーの積層体が得られている。このようなマザーの積層体を得る工程を含む積層セラミック電子部品の製造方法の一例が、下記の特許文献１に開示されている。

図１０は、特許文献１に記載のマザーのセラミックグリーンシートの積層工程を説明するための正面断面図である。

図１０に示すように、キャリアフィルム１０１上に長尺状のマザーのセラミックグリーンシート１０２が支持されている。マザーのセラミックグリーンシート１０２上には、内部電極１０３が印刷されている。長尺状のマザーのセラミックグリーンシート１０２は、キャリアフィルム１０１に支持されたまま、加熱ロール１０４に供給される。加熱ロール１０４は、マザーのセラミックグリーンシート１０２を矢印Ａで示すように、積層ステージ１０５側に押圧する。このようにして、マザーのセラミックグリーンシート１０２が、先に積層されているマザーのセラミックグリーンシート１０２Ａに熱圧着される。

しかる後、剥離爪１０６及び剥離ロール１０７を用いて、積層体上部からキャリアフィルム１０１が剥離される。

この先行技術に記載の製造方法では、キャリアフィルム１０１を剥離爪１０６を用いて積層体の上面と所定の剥離角をなすように方向転換させて剥離することにより、セラミックグリーンシート１０２からキャリアフィルム１０１を無理なく剥離することが可能であるとされている。

他方、下記の特許文献２には、図１１に示すマザーの積層体の製造工程が示されている。図１１に示すように、ここでは、キャリアフィルムに支持されたマザーのセラミックグリーンシート１２１が、繰り出しロール１２２から供給される。上記キャリアフィルムに支持された長尺状のセラミックグリーンシート１２１は、積層ロール１２３と剥離ロール１２４との間に供給される。そして、セラミックグリーンシート１２１が積層ロール１２３に先に積層されていたセラミックグリーンシート上に熱圧着されるとともに、キャリアフィルム１２５が、セラミックグリーンシート１２１から剥離され、巻取りロール１２６に巻き取られる。

また、積層ロール１２３上において、印刷装置１２７により内部電極パターンが印刷される。このようにして、内部電極パターンが印刷されたセラミックグリーンシートが積層ロール１２３上において順次積層され、マザーの積層体が得られる。なお、所定の枚数のマザーのセラミックグリーンシートが積層された後、積層ロール１２３からマザーの積層体が取り外される。次に、このマザーの積層体は、平面状に延ばされ、切断される。

特開２０００−２５２１６１号公報 特開平９−１２９４８３号公報

特許文献１及び特許文献２に記載の製造方法では、長尺状のマザーのセラミックグリーンシートが積層されるため、マザーの積層体の製造効率を高めることができる。また、長尺状のマザーのセラミックグリーンシートの送り方向を制御するだけでよいため、長方形のマザーのセラミックグリーンシートを積層する場合に比べて、積層装置等を簡略化することができる。

さらに、先に積層されていたマザーのセラミックグリーンシート上に次のマザーのセラミックグリーンシートを積層していく場合、直線状の圧着部分が順次移動することになるため、面的に圧着する場合に比べて、圧着力を低くすることができる。従って、圧着力の小さい製造設備を用いて積層を行なうことができる。加えて、直線状の圧着部分がセラミックグリーンシートの長さ方向に移動して積層が行なわれるため、セラミックグリーンシート間にエアーの噛み込みが生じ難く、セラミックグリーンシートの損傷が生じ難い。

しかしながら、特許文献１や特許文献２に記載の方法では、積層に際して、セラミックグリーンシートはキャリアフィルムに支持した状態で取り扱われていた。そのため、セラミックグリーンシートを積層した後に、セラミックグリーンシートからキャリアフィルムを剥離しなければならなかった。

すなわち、マザーのセラミックグリーンシートがキャリアフィルムに支持された状態で、先に積層されていたマザーのセラミックグリーンシートに圧着した後、キャリアフィルムがマザーのセラミックグリーンシートから剥離されていた。従って、キャリアフィルムの剥離を行なうために、上記圧着工程及び剥離工程を実施しなければならなかった。また、セラミックグリーンシート同士の密着力を、セラミックグリーンシートとキャリアフィルムとの間の密着力よりも高くしなければならなかった。その結果、圧着ローラーなどによる仮圧着に際しての圧力及び温度を高く設定しなければならず、そのため、既に積層されていたセラミックグリーンシートに高温下で高い圧力が何度も加えられていた。従って、既に積層されていたマザーのセラミックグリーンシートが圧着方向と直交する方向に展延され、内部電極パターンの面方向の位置ずれが生じるという問題があった。

また、上記のように、何度も、圧着−剥離工程を実施しなければならないため、製造装置が複雑になりがちであった。加えて、キャリアフィルムとマザーのセラミックグリーンシートとの密着力に比べて、マザーのセラミックグリーンシート同士の密着力を高くしなければならないため、セラミックグリーンシートの組成にも制限があった。

本発明の目的は、上述した従来技術の欠点を解消し、キャリアフィルムに支持された長尺状のセラミックグリーンシートを用いて、マザーの積層体を高精度にかつ効率よく得ることができる工程を備えた積層セラミック電子部品の製造方法を提供することにある。

本発明は、長尺状のキャリアフィルム上に保持された長尺状のセラミックグリーンシートを用意する工程と、前記長尺状のキャリアフィルムに保持された長尺状のセラミックグリーンシートを、回転可能であり、かつ前記セラミックグリーンシートを保持し得る保持ロールに保持しながら、前記セラミックグリーンシートから前記キャリアフィルムを剥離する工程と、前記保持ロールに保持されているセラミックグリーンシートを、前記保持ロールを回転させることで、積層部において前記保持ロールにて仮圧着することにより積層し、マザーの積層体を得る工程と、マザーの積層体から個々の積層セラミック電子部品単位の積層体を得るために、マザーの積層体を切断する工程と、切断により得られた積層体を焼成する工程とを備えた積層セラミック電子部品の製造方法である。

上記保持ロールにセラミックグリーンシートを保持しながらキャリアフィルムをセラミックグリーンシートから剥離する工程においては、セラミックグリーンシートが保持ロールに保持された状態でセラミックグリーンシートからキャリアフィルムが剥離される限り、セラミックグリーンシートが保持されている保持ロール上の位置と、キャリアフィルムがセラミックグリーンシートから剥離される位置は、いずれが上流側であっても下流側であってもよい。

本発明のある特定の局面では、前記保持ロールにセラミックグリーンシートを保持しながら、該セラミックグリーンシートからキャリアフィルムを剥離する工程において、セラミックグリーンシートが保持ロールに先ず保持され、該セラミックグリーンシートが保持されている位置範囲内のいずれかの位置でキャリアフィルムの剥離が開始される。

この場合、保持ロール上にセラミックグリーンシートの保持を開始した位置において、キャリアフィルムの剥離が開始されてもよいが、好ましくは、キャリアフィルム開始位置が、セラミックグリーンシートの保持開始位置よりも保持ロールの外周面において下流側に位置される。それによって、キャリアフィルムの剥離をより確実に行うことができる。

本発明のある特定の局面では、前記セラミックグリーンシートを保持し、前記キャリアフィルムを剥離し、積層部への積層のためにセラミックグリーンシートを保持ロールから剥離する各工程が、前記保持ロールの外周面において同時にまたは連続的に行なわれる。

本発明の他の特定の局面では、前記保持ロールがサクションロールまたは外周面が粘着性を有する粘着ロールである。

本発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法のさらに他の特定の局面では、前記セラミックグリーンシートの積層部における積層が、前記セラミックグリーンシートを積層部において保持ロールにより仮圧着し、しかる後、保持ロールから剥離することにより行なわれる。

本発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法のさらに別の特定の局面では、前記セラミックグリーンシートが積層部で保持ロールから剥離されて積層された後に、前記保持ロール以外の圧着用ロールによりセラミックグリーンシート同士の仮圧着が行なわれる。

本発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法の他の特定の局面では、前記積層部が加熱されており、積層部において複数枚のセラミックグリーンシート同士が熱圧着される。

本発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法のさらに別の特定の局面では、前記保持ロールに保持されているセラミックグリーンシートが冷却される。

本発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法のさらに他の特定の局面では、１つの積層部に対し、複数の前記保持ロールが用いられる。

本発明の積層セラミック電子部品の製造方法のさらに別の特定の局面では、前記複数の保持ロールのうち、奇数個目の保持ロールによる積層方向と、偶数個目の保持ロールによる積層方向とが１８０°異ならされている。

本発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法のさらに他の特定の局面では、積層部における積層に際しての圧着力をＡ（Ｐａ）、積層後のグリーンシート同士の密着力をＢ（Ｐａ）、積層体を変形させる最低圧力をＣ（Ｐａ）としたときに、Ｃ＞Ａ＞Ｂとされている。

本発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法のさらに別の特定の局面では、積層部は、外周面上でセラミックグリーンシートが積層される積層ロールを有する。

本発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法のさらに他の特定の局面によれば、前記保持ロールの周速と、前記積層ロールの周速とが同一とされている。

本発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法のさらに別の特定の局面では、前記セラミックグリーンシートの長さ方向において、該キセラミックグリーンシートのテンションが、セラミックグリーンシートを圧着する部分の曲率の上昇に応じて徐々に高められている。

本発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法さらに他の特定の局面では、前記積層部が、平板状の積層ステージを用いて構成されている。

本発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法のさらに他の特定の局面によれば、前記積層ステージが、セラミックグリーンシートの長さ方向に沿って移動されるように構成されており、該積層ステージの移動速度と、前記保持ロールの周速とが等しくされている。
本発明に係る積層セラミック電子部品の製造装置のある広い局面によれば、長尺状のキャリアフィルム上に保持された長尺状のセラミックグリーンシートを積層して積層体を得る積層セラミック電子部品の製造装置であって、回転可能に設けられ、その外周面上でセラミックグリーンシートを保持する保持ロールと、前記セラミックグリーンシートを介して前記保持ロールと外周面同士が当接するように回転可能に設けられ、前記保持ロールから前記セラミックグリーンシートをその外周面上に受け取るとともに、前記セラミックグリーンシートをその外周面上または外周面上に積層されたセラミックグリーンシート上に連続的に積層する積層ロールと、前記保持ロールと外周面同士が前記キャリアフィルム及び前記セラミックグリーンシートを介して当接するように回転可能に設けられ、その外周面上で前記キャリアフィルムを保持して、前記保持ロールに保持された前記セラミックグリーンシートから前記キャリアフィルムを剥離し、搬送する剥離ロールとを備え、前記剥離ロールで搬送しつつ、前記保持ロールを回転させることで、前記剥離ロールで搬送されたセラミックグリーンシートを剥離し、前記保持ロールで保持し、さらに回転させることで保持されたセラミックグリーンシートを前記積層ステージ上に積層する積層セラミック電子部品の製造装置が提供される。
本発明に係る積層セラミック電子部品の製造装置の他の広い局面によれば、長尺状のキャリアフィルム上に保持されたセラミックグリーンシートを積層して積層体を得る積層セラミック電子部品の製造装置であって、回転可能に設けられ、その外周面上でセラミックグリーンシートを保持する保持ロールと、前記セラミックグリーンシートを介して前記保持ロールの外周面とその主面とが当接するように設けられ、前記保持ロールから前記セラミックグリーンシートをその主面上に受け取るとともに、前記セラミックグリーンシートをその主面上または主面上に積層されたセラミックグリーンシート上に積層する積層テーブルと、前記セラミックグリーンシート及び前記キャリアフィルムを介して前記保持ロールと外周面同士が当接するように回転可能に設けられ、その外周面上で前記キャリアフィルムを保持して、前記保持ロールに保持された前記セラミックグリーンシートから前記キャリアフィルムを剥離し、搬送する剥離ロールとを備え、前記剥離ロールで搬送しつつ、前記保持ロールを回転させることで、前記剥離ロールで搬送されたセラミックグリーンシートを剥離し、前記保持ロールで保持し、さらに回転させることで保持されたセラミックグリーンシートを前記積層ステージ上に積層する積層セラミック電子部品の製造装置が提供される。

本発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法では、キャリアフィルムに保持された長尺状のセラミックグリーンシートを保持ロールに保持しながら、セラミックグリーンシートからキャリアフィルムが剥離される。そして、保持ロールに保持されているセラミックグリーンシートが、該保持ロールから剥離されて積層部において積層され、マザーの積層体が得られる。積層に際し、キャリアフィルムに支持されたセラミックグリーンシートを先に積層されていたセラミックグリーンシートに圧着し、キャリアフィルムを剥離する従来法では、キャリアフィルムを剥離する必要があるため、圧着に際し、高温下において大きな圧力を加えねばならなかった。これに対して、本発明では、上記のように積層部における積層に先立って、キャリアフィルムがセラミックグリーンシートから分離される。従って、長尺状のセラミックグリーンシートのみを積層部において積層すればよいため、積層に際しての圧着力を低減することができる。よって、セラミックグリーンシートに高温下において大きな圧力が何度も加わり難いため、セラミックグリーンシートが展延され難い。また、マザーの積層体における内部電極の面方向の位置ずれや積層ずれが生じ難い。従って、精度が高く、信頼性に優れた積層セラミック電子部品を提供することができる。

先に積層されていたセラミックグリーンシートに、キャリアフィルムに支持されたセラミックグリーンシートを圧着し、キャリアフィルムを剥離する従来法では、セラミックグリーンシート同士の密着力を、キャリアフィルムとセラミックグリーンシートとの密着力よりも高くなるように設定しなければならなかった。これに対して、本発明では、キャリアフィルムが積層に先立ちセラミックグリーンシートから分離されているため、キャリアフィルムとセラミックグリーンシートとの密着力よりもセラミックグリーンシート同士の密着力を重くする必要がない。従って、様々な組成のセラミックグリーンシートを用いることができる。

本発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法において、先ずセラミックグリーンシートが保持ロールに保持され、該セラミックグリーンシートが保持ロール上に保持されている位置範囲内においてキャリアフィルムの剥離が開始される場合には、膜厚が薄いセラミックグリーンシートを用いた場合であっても、セラミックグリーンシートに損傷を与えることなく、キャリアフィルムを確実かつ容易に剥離することが可能となる。

キャリアフィルムに保持された長尺状のセラミックグリーンシートが、保持ロールに保持されるとともに、セラミックグリーンシートからキャリアフィルムが剥離される。そして、保持ロールに保持されているセラミックグリーンシートのみが、該保持ロールから剥離されて積層部において積層され、マザーの積層体が得られる。積層に際し、キャリアフィルムに支持されたセラミックグリーンシートを先に積層されていたセラミックグリーンシートに圧着し、キャリアフィルムを剥離する従来法では、キャリアフィルムを剥離する必要があるため、圧着に際し、高温下において大きな圧力を加えねばならなかった。これに対して、本発明では、上記のように積層部における積層に先立って、キャリアフィルムがセラミックグリーンシートから分離される。従って、長尺状のセラミックグリーンシートのみを積層部において積層すればよいため、積層に際しての圧着力を低減することができる。よって、セラミックグリーンシートに高温下において大きな圧力が何度も加わり難いため、セラミックグリーンシートが展延され難い。また、マザーの積層体における内部電極の面方向の位置ずれや積層ずれが生じ難い。従って、精度が高く、信頼性に優れた積層セラミック電子部品を提供することができる。また、先に積層されていたセラミックグリーンシートに、キャリアフィルムに支持されたセラミックグリーンシートを圧着し、キャリアフィルムを剥離する従来法では、セラミックグリーンシート同士の密着力を、キャリアフィルムとセラミックグリーンシートとの密着力よりも高くなるように設定しなければならなかったのに対し、本発明では、キャリアフィルムが積層に先立ちセラミックグリーンシートから分離されているため、キャリアフィルムとセラミックグリーンシートとの密着力に比べてセラミックグリーンシート同士の密着力を高くする必要がない。従って、様々な組成のセラミックグリーンシートを用いることができる。

セラミックグリーンシートを保持し、キャリアフィルムを剥離し、積層部への積層のためにセラミックグリーンシートを保持ロールから剥離する各工程が、保持ロールの外周面に対して同時にまたは連続的に行なわれる場合には、本発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法の生産性を高めることができる。

保持ロールがサクションロールまたは外周面が粘着性を有する粘着ロールである場合には、吸引または粘着力を利用して、保持ロールの外周面にセラミックグリーンシートを確実に保持することができる。

セラミックグリーンシートの積層部における積層が、積層部において先に積層されていたセラミックグリーンシートに保持ロールに保持されているセラミックグリーンシートを仮圧着し、しかる後、保持ロールから該セラミックグリーンシートを剥離することにより行なわれる場合には、セラミックグリーンシート同士を確実に密着させることができる。なお、この場合においても、キャリアフィルムを剥離する必要がないため、仮圧着力を従来法における圧着力よりも低くすることができる。従って、得られるマザーの積層体における積層ずれや内部電極の位置ずれが生じ難い。

セラミックグリーンシートが積層部で保持ロールから剥離されて積層された後に、保持ロール以外の圧着用ロールによりセラミックグリーンシート同士の圧着が行なわれる場合には、該圧着用ロールを用いてセラミックグリーンシート同士が確実に密着される。この場合にも、圧着用ロールによる圧着力は、従来の製造方法の場合の圧着力に比べて低くてよいため、マザーの積層体における積層ずれや内部電極の位置ずれは生じ難い。

積層部は加熱されていてもよく、従って、該積層部において複数枚のセラミックグリーンシート同士が熱圧着されてもよい。このように、複数枚のセラミックグリーンシート同士が熱圧着された場合には、セラミックグリーンシート同士の密着力を高めることができる。

保持ロールに保持されているセラミックグリーンシートが冷却される場合には、保持ロール上におけるセラミックグリーンシートの伸び等を抑制することができ、寸法精度に優れたセラミックグリーンシートを保持ロールから積層部に供給することができる。

一つの積層部に対し、複数の保持ロールが用いられてもよく、その場合には複数の保持ロールからセラミックグリーンシートをそれぞれ積層部に供給することにより、様々な内部電極パターン等を有するセラミックグリーンシートを積層することができる。

複数の保持ロールの内、奇数個目の保持ロールにおける積層方向と、偶数個目の保持ロールによる積層方向を１８０°異ならせた場合には、積層部の両側からセラミックグリーンシートを積層することができ、積層工程の効率を高めることができる。

積層部における積層に際しての圧力をＡ（Ｐａ）、積層後の積層後のグリーンシート同士の密着力をＢ（Ｐａ）、積層体を変形させる最低圧力をＣ（Ｐａ）としたときに、Ｃ＞Ａ＞Ｂとされている場合には、マザーの積層体の変形を生じることなく、圧着によりセラミックグリーンシート同士を確実に密着させることができる。

積層部が、外周面上でセラミックグリーンシートが積層される積層ロールを有する場合には、積層ロール上において、複数枚のセラミックグリーンシートが積層されたマザーの積層体を効率よく得ることができ、かつ積層ロールからマザーの積層体を連続的に取り出すことができる。

保持ロールの周速と、積層ロールの周速が同一とされている場合には、保持ロールの外周面からセラミックグリーンシートを確実に積層ロールの外周面に連続的に積層することができる。

セラミックグリーンシートの長さ方向においてセラミックグリーンシートのテンションが、セラミックグリーンシートを圧着する部分の曲率の上昇に応じて徐々に高められている場合には、セラミックグリーンシートが圧着される部分、すなわち先に積層されている圧着する部分の表面の曲率が大きくなっていた場合、該曲率に応じて、セラミックグリーンシートが延ばされて積層される。従って、積層ロール上において、複数層のセラミックグリーンシートを高精度に積層することができる。

積層部が、平板状の積層ステージを用いて構成されている場合には、平板状の積層ステージ上において、マザーの積層体が得られる。従って、混ざっていない状態のマザーの積層体を直ちに得ることができ、マザーの積層体の曲がりを強制する必要がない。

積層ステージが、セラミックグリーンシートの長さ方向に沿って構成されており、該積層ステージの移動速度と、保持ロールの周速とが等しくされている場合には、保持ロールを回転させつつ、保持ロールを効率よくセラミックグリーンシートを積層ステージにおいて積層することができる。
本発明に係る積層セラミック電子部品の製造装置では、回転可能に設けられ、その外周面でセラミックグリーンシートを保持する保持ロールと、前記保持ロールからセラミックグリーンシートを受け取るように設けられた上記積層ロールまたは積層テーブルを備えるため、本発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法に従って積層セラミック電子部品を製造することが可能となる。すなわち、積層に先立ち、フィルムをセラミックグリーンシートから分離し、しかる後、セラミックグリーンシートを積層することができ、セラミックグリーンシートのみを積層ロールまたは積層テーブルにおいて積層することが可能となる。よって、高精度であって、信頼性に優れた積層セラミック電子部品を製造することが可能となる。
本発明の製造装置において、上記剥離ロールが備えられているので、積層に先立ち、セラミックグリーンシートからキャリアフィルムを容易にかつ確実に剥離することができる。

本発明の第１の実施形態に係る積層セラミック電子部品の製造方法を説明するための概略構成図。 第１の実施形態で供給されるマザーのキャリアフィルム及びマザーのキャリアフィルムに支持された第１のマザーのセラミックグリーンシートを示す部分切欠正面図。 図１の二点鎖線Ｂで示す部分を拡大して示す略図的部分切欠正面図。 第２の実施形態に係る積層セラミック電子部品の製造方法を説明するための略図的正面図。 本発明の第３の実施形態に係る積層セラミック電子部品の製造方法を説明するための略図的正面図。 図５に示した製造方法の変形例を説明するための略図的正面図。 図６に示した製造装置を用いた積層工程を説明するための略図的正面図。 図６に示した製造装置の変形例を用いた製造方法を説明するための略図的正面図。 図１に示した積層セラミックコンデンサの製造方法の変形例を説明するための略図的正面図。 従来の積層セラミックコンデンサの製造方法の一例を説明するための部分切欠正面断面図。 従来の積層セラミックコンデンサの製造方法の他の例を説明するための略図的正面図。

以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。

図１は、本発明の一実施形態に係る積層セラミック電子部品の製造方法を説明するための積層装置の概略構成図である。

本実施形態では、キャリアフィルムに支持された長尺状の第１，第２のマザーのセラミックグリーンシート１，３が図示の矢印Ａ１，Ｂ１で示す方向に供給される。図２に示すように、第１のマザーのセラミックグリーンシート１は、長尺状の第１のキャリアフィルム２に支持されている。第１のマザーのセラミックグリーンシート１上には、内部電極パターン５が形成されている。内部電極パターン５は、導電ペーストのスクリーン印刷等によりセラミックグリーンシート１上に形成されている。本実施形態では、積層セラミック電子部品として積層セラミックコンデンサが製造される。従って内部電極パターン５は、積層セラミックコンデンサの内部電極を構成するために設けられている。

他方、第２のマザーのセラミックグリーンシート３は、積層セラミックコンデンサの外層部分すなわち、内部電極が形成されていないセラミック層部分を構成するために積層される。従って、マザーのセラミックグリーンシート３上には内部電極パターンは印刷されていない。

図１に示すように、第１のマザーのセラミックグリーンシート１は、ロール６ａとカッター６ｂとの間を経て、保持ロール７と剥離ロール８との間に供給される。カッター６ｂは、マザーのセラミックグリーンシート１の両側縁の外側の余剰部分を切断するために設けられている。剥離ロール８は、保持ロール７の外周面にマザーのセラミックグリーンシート１を押しつけるように作用する。

保持ロール７は、その外周面にマザーのセラミックグリーンシート１を一旦保持するために用意されており、図示のように時計方向に回転されている。保持ロール７は、マザーのセラミックグリーンシート１をその外周面に保持するために用いられているものであるため、好ましくは、外周面に開いた多数の吸引孔を有するように構成されている。吸引孔から吸引することにより、マザーのセラミックグリーンシート１を確実に保持ロール７の外周面に吸引・保持することができる。あるいは、保持ロール７の外周面は粘着面とされていてもよく、粘着面の粘着力を利用してマザーのセラミックグリーンシート１を保持してもよい。もっとも、保持ロール７の外周面には、吸引孔が設けられずともよく、また粘着面が形成される必要も必ずしもない。すなわち保持ロール７の外周面にマザーのセラミックグリーンシート１を保持し得る限り、保持ロール７の外周面は様々な形態とされ得る。

剥離ロール８によりマザーのセラミックグリーンシート１が保持ロール７の外周面に押しつけられ、かつマザーのセラミックグリーンシート１を支持していたキャリアフィルム２が剥離される。キャリアフィルム２は、ロール９を経て巻き取られる。

他方、保持ロール７の外周面上には、キャリアフィルム２が剥離された長尺状のマザーのセラミックグリーンシート１のみが保持される。なお、保持ロール７の周方向の所定位置に、カッター１０が配置されている。カッター１０は、セラミックグリーンシート１を積層に供される長さに切断するために配置されている。

他方、第２のマザーのセラミックグリーンシート３も同様に、第２のキャリアフィルム４に支持された状態で、ロール１１ａとカッター１１ｂとの間を通過される。このカッター１１ｂにより、マザーのセラミックグリーンシート３の両側縁の外側の余剰部分が切断される。

しかる後、キャリアフィルムに支持されたマザーのセラミックグリーンシート３は、保持ロール１２と剥離ロール１３との間に供給され、保持ロール１２に、マザーのセラミックグリーンシート３が圧着される。そして、剥離ロール１３により、マザーのセラミックグリーンシート３を支持しているキャリアフィルム４が剥離される。キャリアフィルム４は、ロール１４を経て巻き取られる。

保持ロール１２の外周面においては、マザーのセラミックグリーンシート３のみが保持され、かつ保持ロール１２の周方向のある位置に設けられたカッター１５により、第２のセラミックグリーンシート３が積層部において積層される長さに切断される。

第１の保持ロール７と、第２の保持ロール１２との間に、積層部を構成している積層ロール１６が配置されている。積層ロール１６の外周面１６ａ上において、保持ロール７の外周面に保持されており、積層に適当な長さに切断された第１のマザーのセラミックグリーンシート１Ａ（図３参照）と、第２の保持ロール１２の外周面に保持されており、かつ積層に適した長さに切断されている第２のマザーのセラミックグリーンシート３Ａ（図３参照）とが積層される。

積層ロール１６の外周面１６ａには、適宜の間隔を経て積層ロールの軸方向に平行に伸びる複数の溝１６ｂが設けられている。溝１６ｂ，１６ｂ間が、１つのマザーの積層体が積層される積層ステージを構成している。すなわち、溝１６ｂ，１６ｂ間の積層ロール外周面部分において、マザーのセラミックグリーンシート１Ａ及びマザーのセラミックグリーンシート３Ａが積層される。

積層ロール１６の外周面には外周面１６ａから取り外し可能にアンダーフィルム１６ｄが貼り付けられている。

アンダーフィルム１６ｄは、積層後のマザーの積層体の積層ロール１６の外周面からの取り外しを容易とするために設けられている。このようなアンダーフィルム１６ｄとしては、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどのこしが強いプラスチックフィルムを用いることが望ましい。もっとも、アンダーフィルム１６ｄは、マザーのセラミック積層体を取り出し得る限り、ポリエチレンテレフタレート以外の他の樹脂フィルムにより構成されていてもよい。

また、一般に、セラミックグリーンシートは、キャリアフィルムから剥離された後に収縮する傾向にある。従って、上記アンダーフィルム１６ｄ上においてマザーのセラミックグリーンシート１Ａ，３Ａが積層された場合、積層後のセラミックグリーンシート１Ａ，３Ａの収縮量と、アンダーフィルムの収縮量とが一致しないため、積層したセラミックグリーンシート側に凸となるような変形が生じるおそれがある。このような変形を抑制するには積層ロール１６ａ上にアンダーフィルムを固定する際に、上記収縮差の部分を補正するためのテンションをアンダーフィルム１６ｄに掛けて固定しておけばよい。

さらに、アンダーフィルム１６ｄ上へのセラミックグリーンシート１Ａの固定力を高めるために、アンダーフィルム１６ｄの表面の表面粗さを粗くしたり、アンダーフィルム１６ｄ表面に接着剤を塗布する方法などのアンカー処理を施してもよい。

積層に際しては、先ず外層部を構成するために、第２の保持ロール１２上に保持されていた適宜の枚数の第２のマザーのセラミックグリーンシートが積層ロール１６の外周面上で積層された後、第１の保持ロール７に保持されていた適宜の枚数の第１のマザーのセラミックグリーンシート１Ａが同様にして圧着・積層され、最後に第２の保持ロール１２の外周面に保持されていた第２のマザーのセラミックグリーンシート３Ａが再度適宜の枚数積層される。

図１では、第１の保持ロール７の外周面に保持されている第１のマザーのセラミックグリーンシート１Ａが積層ロール１６の外周面に積層される工程が図示されている。この状態では、第１の保持ロール７の外周面に保持されていたマザーのセラミックグリーンシート１Ａが、積層ロール１６の外周面１６ａに圧着されるように、第１の保持ロール７が矢印Ｘ１で示す方向に移動されている。

他方、第２の保持ロール１２上の第２のマザーのセラミックグリーンシート３Ａを積層する場合には、図１の矢印Ｘ２で示すように、第２の保持ロール１２の外周面が積層ロール１６の外周面１６ａに近接される。

なお、積層ロール１６の下方には、圧着ロール１７が配置されている。圧着ロール１７は、積層ロール１６の外周面で積層されているマザーの積層体を圧着し、セラミックグリーンシート同士を強固に密着させるために設けられている。従って、圧着ロール１７は、矢印Ｘ３で示すように、積層ロール１６の外周面１６ａ側に向かって移動され得るように構成されている。

なお、カメラ１８ａ，１８ｂは、第１の保持ロール７の外周面に保持されているマザーのセラミックグリーンシートの位置を確認するために設けられている。

上記のようにして、本実施形態では、積層ロール１６の外周面１６ａ上においてマザーの積層体が構成される。図３は、図１の二点鎖線Ｂで示す部分を拡大して示す部分切欠正面図であり、ここでは、積層ロール１６の外周面１６ａ上において、適当な長さに切断されていた第２のマザーのセラミックグリーンシート３Ａ上に、適当な長さに切断されていた第１のマザーのセラミックグリーンシート１Ａが複数枚積層されている状態が示されている。

このように、本実施形態では、積層ロール１６上において、マザーの積層体が構成される。得られたマザーの積層体は、アンダーフィルム１６ｄによる固定を外すことにより、積層ロール１６の外周面１６ａから取り出される。しかる後、マザーの積層体を平坦なステージ上に載置した後、積層セラミックコンデンサ単位の積層体に切断する。そして、該積層体を焼成することにより、焼結体が得られ、得られたセラミック焼結体の外表面に外部電極を形成することにより、積層セラミックコンデンサを得ることができる。なお、焼成に先立ち積層体の外表面に導電ペーストを塗布し、焼成にともなって外部電極の焼付けを行なうことにより外部電極が形成されてもよい。

本実施形態では、保持ロール７，１２に、マザーのセラミックグリーンシート１，３が一旦保持され、該マザーのセラミックグリーンシート１，３の保持と同時にキャリアフィルム２，４が剥離される。従って、積層部である積層ロール１６において、マザーのセラミックグリーンシート１Ａ，３Ａを積層する段階においては、マザーのセラミックグリーンシート１Ａ，３Ａはキャリアフィルムにより支持されていない。よって、軽い圧着力でマザーのセラミックグリーンシート１Ａ，３Ａを積層することができる。従って、内部電極パターン５の位置ずれが生じ難い。

よって、好ましくは、積層部である積層ロール１６における積層に際しての圧着力Ａ（Ｐａ）、積層後のマザーのセラミックグリーンシート同士の密着力Ｂ（Ｐａ）、マザーの積層体を変形させる最低圧力Ｃ（Ｐａ）としたときに、Ｃ＞Ａ＞Ｂとされる。

また、軽い圧着力でマザーのセラミックグリーンシート１Ａ，３Ａを積層することができ、必ずしも高温下において強く圧着する必要はない。従って、セラミックグリーンシートの歪みや展延も生じ難い。よって精度に優れた積層セラミックコンデンサを得ることができる。

上記積層に際しての仮圧着力は、０．５〜３ＭＰａ程度と小さな圧着力でよい。また、仮圧着に際して加熱する必要は必ずしもないが、積層ロール１６の外周面１６ａを４０〜８０℃程度の温度に加熱し、加熱下において圧着することにより、セラミックグリーンシート同士の圧着力を高めることができる。もっとも、４０〜８０℃の温度及び０．５〜３ＭＰａの条件は、キャリアフィルムに支持されたマザーのセラミックグリーンシートを圧着し、積層し、キャリアフィルムを剥離する従来法の場合に比べて、かなり穏やかな条件である。従って、セラミックグリーンシートの熱による歪み、圧着に際しての展延または内部電極パターンの位置ずれは生じ難い。

本実施形態では、好ましくは、上記溝１６ｂ，１６ｂ間にマザーのセラミックグリーンシート１Ａを確実に積層するために、前記カメラ１８ａ，１８ｂによりマザーのセラミックグリーンシート１Ａの位置が検出されると同時に、カメラ１８ｃにより溝１６ｂの位置、すなわち積層ロール１６の周方向位置が検出される。そして、保持ロール７の周速と、積層ロール１６が反時計方向に回転している場合の周速とが等しくされている。上記カメラ１８ａ〜１８ｃから検出された情報に基づいて、マザーのセラミックグリーンシート１Ａが、確実に溝１６ｂと、次の溝１６ｂとの間の外周面部分内において積層される。第２のマザーのセラミックグリーンシート３Ａの積層に際しても、同様にして図示しないカメラを用いて位置の制御が行なわれる。

なお、溝１６ｂ上においてセラミックグリーンシートを積層しないために、溝１６ｂが保持ロール７と積層ロール１６との接点部分に位置した場合に保持ロール７の回転を一旦停止し、溝１６ｂが接点を通過した直後から保持ロール７を回転するように構成してもよい。

また、溝１６ｂと次の溝１６ｂとの間の沿面距離は、マザーのセラミックグリーンシート１Ａの長さよりも長くすることが望ましく、それによって、溝１６ｂと溝１６ｂとの間の外周面部分に余裕をもってマザーのセラミックグリーンシート１Ａを圧着することができる。

また、上記複数の内部電極パターン５を高精度に積層するには、第１のマザーのセラミックグリーンシート１Ａ上の内部電極パターン５あるいは内部電極パターン５とは別に設けられた位置決めマークをカメラ１８ａ，１８ｂにより検出し、該内部電極パターン５または検出マークにより得られた内部電極パターン５の保持ロール７上における周方向位置に基づいて、保持ロール７から積層ロール１６の外周面にマザーのセラミックグリーンシート１Ａを圧着させる圧着開始位置を求め、該圧着開始位置に基づいてマザーのセラミックグリーンシート１Ａの圧着を開始してもよい。

この場合、上記のように、溝１６ｂにおける圧着を防止するために、一旦保持ロール７の回転を停止し、溝１６ｂが接点を通過した後に、保持ロール７を回転させる方法を採用する場合には、この停止時間を利用して上記圧着位置の補正を行なえばよい。また、同時に内部電極パターン５と、次の層に積層される内部電極パターン５との位置をずらす必要がある場合には、内部電極パターン５，５間のずらしについても、上記圧着開始位置の補正と同様にして行なうことができる。

他方、保持ロール７の回転方向における補正は、保持ロール７の再回転のタイミングもしくは積層ロール１６の位相補正により行なうことができる。さらに幅方向の補正は、保持ロール７及び／または積層ロール１６の幅方向の位置を変化させることにより行なわれ得る。第２の保持ロール１２の回転方向及び幅方向の補正についても、第１の保持ロール７の場合と同様に行なわれ得る。

前述したように、本実施形態では、キャリアフィルムに支持されたマザーのセラミックグリーンシート１，３が保持ロール７，１２に保持されると同時に、キャリアフィルム２，４が剥離されていた。しかしながら、本発明においては、上記タイミングでセラミックグリーンシートからキャリアフィルムを剥離する必要は必ずしもない。すなわち、セラミックグリーンシートが保持ロールにセラミックグリーンシートとキャリアフィルムとの密着力以上の密着力で保持された状態でセラミックグリーンシートからキャリアフィルムが剥離される限り、上記セラミックグリーンシートが保持される位置と、キャリアフィルムが剥離される位置の関係は特に限定されず、いずれが上流側にあってもよく、いずれが下流側にあってもよい。

また、好ましくは、セラミックグリーンシートが保持ロールに先ず保持され、該セラミックグリーンシートが保持ロールに保持されている保持ロールの外周面の位置範囲内において、キャリアフィルムの剥離が開始される。この場合には、セラミックグリーンシートが保持ロール上に確実に保持されている位置範囲でキャリアフィルムの剥離が開始される。従って、膜厚の薄いセラミックグリーンシートを用いた場合においても、セラミックグリーンシートに損傷を与えることなく、キャリアフィルムを容易にかつ確実に剥離することができる。

図４は、本発明の第２の実施形態に係る積層セラミック電子部品の製造方法を説明するための概略構成図である。第２の実施形態では、積層装置は、第１の実施形態の積層装置と同様に構成されている。もっとも、異なるところは、第１，第２の保持ロール７，１２の外周面で第１，第２のマザーのセラミックグリーンシート１，３が短冊状に切断されず、長尺状のまま積層ロール１６Ａに供給され、積層ロール１６Ａの外周面において積層されていく点にある。

図４において図１と同一部分については、同一の参照番号を付することにより、図１を参照して行なった説明を援用することにより省略する。

第２の実施形態では、長尺状の第１，第２のマザーのセラミックグリーンシート１，３は、第１の実施形態と同様にして長尺状のキャリアフィルム２，４にそれぞれ支持された状態で用意され、かつそれぞれ、第１，第２の保持ロール７，１２に供給される。そして、第２の実施形態においても、第１，第２のマザーのセラミックグリーンシート１，３は、保持ロール７，１２に保持されるに際して、キャリアフィルム２，４から剥離される。

図４に示すように、第１のマザーのセラミックグリーンシート１は、保持ロール７の外周面に連続的に供給されるが、マザーのセラミックグリーンシート１は短冊状に切断されずに、積層ロール１６Ａの外周面１６ａにおいて積層される。積層ロール１６Ａの外周面には、溝１６ｂ（図１参照）は設けられていない。また、積層ロール１６Ａの外周面１６ａ上には、図示しないアンダーフィルムが取り外し可能に貼り付けられている。このアンダーフィルムは、第１の実施形態で用いたアンダーフィルム１６ｄと同様に構成され得る。本実施形態においても、保持ロール７，１２上に、マザーのセラミックグリーンシート１，３が本実施形態の場合と同様にして保持される。

本実施形態においても、最初に、第２の保持ロール１２の外周面に供給された第２のマザーのセラミックグリーンシート３が積層され、しかる後、内部電極パターンが印刷されている第１のマザーのセラミックグリーンシート１が図４に示すように積層されていく。

本実施形態においても、保持ロール７，１２上に、マザーのセラミックグリーンシート１，３が本実施形態の場合と同様にして保持される。

また、積層ロール１６Ａの外周面１６ａ上には、図示しないアンダーフィルムが取り外し可能に貼り付けられている。このアンダーフィルムは、第１の実施形態で用いたアンダーフィルム１６ｄと同様に構成され得る。

積層に際しては、外層部分を構成する第２のマザーのセラミックグリーンシート３が先ず外周面１６ａ上において積層される。この場合、矢印Ｘ２で示すように、第２の保持ロール１２が積層ロール１６の外周面１６ａに近接され、第２の保持ロール１２の外周面に保持されていた第２のマザーのセラミックグリーンシート３が積層ロール１６の外周面１６ａに積層されていく。この場合、第２のマザーのセラミックグリーンシート３は所定の長さに切断されていない。従って、外周面１６ａ上において、第２のマザーのセラミックグリーンシート３の積層数に応じて順次積層されていく。言い換えれば、第２のマザーのセラミックグリーンシート３は、積層ロール１６の外周面１６ａ上において、数周に渡り積層され得る。

なお、積層に際しては、マザーのセラミックグリーンシート３が積層ロール１６の外周面１６ａ上に保持される最低限の圧力を加えればよい。すなわち、仮圧着ロール１７による仮圧着に際しての力は、比較的低くてよい。

第２のマザーのセラミックグリーンシート３が外周面１６ａ上において所定の積層数積層された後、第２の保持ロール１２が、積層ロール１６から遠ざけられる。代わりに、第１の保持ロール７が、積層ロール１６側に矢印Ｘ１で示すように移動され、第１のマザーのセラミックグリーンシート１の積層が行なわれる。この場合、第１の保持ロール７の近傍において、カメラ１８ａ，１８ｂにより、第１のマザーのセラミックグリーンシート１の上面に設けられている内部電極パターンの位置が検出される。検出された位置情報に基づいて、第１のマザーのセラミックグリーンシート１の積層ロール１６の外周面１６ａ上の周方向位置が求められる。そして、この求められた周方向位置に基づいて第１のマザーのセラミックグリーンシート１が積層ロール１６の外周面１６ａに圧着され、積層されていく。

ところで、マザーのセラミックグリーンシート１は、内部電極パターンの積層数に応じて、積層ロール１６の外周面１６ａ上において、適宜の積層数となるように巻回・圧着されていく。この場合、積層が進行するにつれて、マザーのセラミックグリーンシート１が積層される部分の外径が大きくなる。すなわち、先に積層されているマザーのセラミックグリーンシート１の積層数が増大するにつれ、積層ステージの外径、すなわち積層される部分の曲率が大きくなる。ここで、積層ステージとは、積層ロール１６、並びに該積層ロール１６の外周面に先に積層されているマザーのセラミックグリーンシート３及び第２のマザーのセラミックグリーンシート１を含めた構造をいうものとする。

従って、第１のマザーのセラミックグリーンシート１を積層していく場合、上記積層ステージの外径の増大、すなわち積層される部分の曲率に応じて、第１のセラミックグリーンシート１の搬送方向の位置を補正することが望ましい。この補正は、積層ステージの外径の増大に併せて、供給される第１のマザーのセラミックグリーンシート１の搬送方向のテンションを増大させ、該第１のマザーのセラミックグリーンシート１の長さを伸ばすことにより行なわれ得る。なお、積層される第１のマザーのセラミックグリーンシート１の搬送方向の微調整は、積層ロール１６上において圧着されたセラミックグリーンシート１のカメラ１８ｃから得られた位置情報に基づいてフィードバック制御を行なうことにより行なわれ得る。

また、第１のマザーのセラミックグリーンシート１の積層に際しての幅方向の位置の補正は、保持ロール７及び／または積層ロール１６の幅方向の位置を変化させ得ることにより行ない得る。

さらに、積層セラミックコンデンサを構成するために、上下の内部電極パターンの位置をずらす必要があるが、このずらし量の補正については、積層ロール１６の周長を内部電極ピッチ×（ｎ＋１／２）に設定しておけばよい。

また、印刷工程において、予め第１のマザーのセラミックグリーンシート１上への内部電極パターン５の印刷位置を上記ずらし量に対応するようにずらしておいてもよい。

本実施形態においては、第１の実施形態の場合と同様に、保持ロール７，１２からセラミックグリーンシート１，３を積層ロール１６側に積層するに際しては、セラミックグリーンシート１，３が積層ロール１６の外周面１６ａ上において保持され得る最低限の圧力を加えて転写すればよい。そして、圧着ロール１７による圧着力は前述したように比較的低くてよい。好ましくは、圧着が促進されるように、積層ロール１６及び圧着ロール１７は昇温しておくことが望ましい。保持ロール７，１２については、マザーのセラミックグリーンシート１，３の変形を抑制するために常温下に配置されていることが望ましい。特に、積層中に、積層ステージからの熱伝導により保持ロール７，１２が昇温するおそれがある場合には、場合によっては保持ロール７，１２を冷却してもよい。

本実施形態では、積層ロール１６の外周面において、第１のマザーのセラミックグリーンシート１が所定の積層数となるように積層された後、再度第２のマザーのセラミックグリーンシート３が所定の積層数となるように積層される。

しかる後、積層ロール１６の外周面において、周方向において適当な長さ毎に積層体が切断され、アンダーフィルムによる積層体の固定が外され、積層体が取り出される。このようにして得られた積層体を、個々の積層セラミックコンデンサ単位の積層体となるように厚み方向に切断し、得られた積層体を用いて、第１の実施形態と同様に積層セラミックコンデンサを得ることができる。

なお、積層ロール１６上における切断に際し、積層ロール１６上において個々の積層セラミックコンデンサ単位の積層体となるように切断を行ない、該積層体を積層ロール１６の外周面から取り出してもよい。

もっとも、好ましくは、切断を容易に行ない得るため上記のように、積層ロール１６の外周面において、周方向に所定の長さ毎に切断し、マザーの積層体を得た後に、マザーの積層体を積層ロール１６外でさらに個々の積層セラミックコンデンサ単位の積層体に切断することが望ましい。

第２の実施形態においても、上記のように、第１，第２のマザーのセラミックグリーンシート１，３の積層に際しては、比較的低い圧力でマザーのセラミックグリーンシート１，３を積層することができる。従って、内部電極パターンの位置ずれが生じ難く、かつ第１，第２のマザーのセラミックグリーンシート１，３を高精度に積層することができる。また、第１の実施形態に比べて、長尺状のマザーのセラミックグリーンシート１，３を予め切断することなく積層ロール１６上で積層するため、積層効率を高めることができる。

図５は、本発明の第３の実施形態に係る積層セラミック電子部品の製造方法を説明するための略図的正面図である。第３の実施形態では、平板状の積層ステージ３１が用いられる。平板状の積層ステージ３１の上面３１ａ上において、アンダーフィルム３２が配置されている。このアンダーフィルム３２としては、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどの比較的こしが強いプラスチックフィルムを適宜用いることができる。もっとも、アンダーフィルム３２は、ポリエチレンテレフタレートフィルム以外の他の樹脂フィルムによって構成されてもよい。

また、アンダーフィルム３２上において、後述するように、マザーのセラミックグリーンシートが積層されるが、一般にセラミックグリーンシートはキャリアフィルムから剥離した後に収縮する。従って、アンダーフィルム３２上において、セラミックグリーンシートが積層されると、積層後のセラミックグリーンシートの収縮量と、アンダーフィルム３２の収縮量とが一致しないため、積層したセラミックグリーンシート側が凸となるような変形が生じることがある。このような変形を抑制するためには、積層ステージ３１の上面３１ａ上にアンダーフィルム３２を固定するに際し、上記収縮差を補正するためのテンションをアンダーフィルム３２に掛けてアンダーフィルム３２を固定することが望ましい。

さらに、アンダーフィルム３２上へのセラミックグリーンシートの密着力を高めるために、アンダーフィルム３２の上面の表面粗さを大きくしたり、アンダーフィルム３２の表面に接着剤を塗布するなどのアンカー処理を施してもよい。図５に示すように、アンダーフィルム３２上において、適宜の枚数の第２のマザーのセラミックグリーンシート３Ａと、適宜の枚数の第１のマザーのセラミックグリーンシート１Ａとが積層されている。第１のマザーのセラミックグリーンシート１Ａは、上面に複数の内部電極パターン５を有する。

図５に示すように、本実施形態においても、長尺状のマザーのセラミックグリーンシート１が矢印Ｃで示すように供給される。このマザーのセラミックグリーンシート１上には、上記のように複数の内部電極パターン５が形成されている。また、長尺状の第１のマザーのセラミックグリーンシート１は、長尺状の第１のキャリアフィルム２により支持されている。このように、キャリアフィルム２に支持されたマザーのセラミックグリーンシート１がロール６ａと、カッター６ｂとの間を通過され、カッター６ｂにより第１のマザーのセラミックグリーンシート１の両側縁外側の余剰部分が除去される。しかる後、長尺状のマザーのセラミックグリーンシート１は、第１の保持ロール７と、剥離ロール８との間に供給される。そして、第１の実施形態の場合と同様に、第１の保持ロール７の外周面にマザーのセラミックグリーンシート１が圧着されるとともに、キャリアフィルム２が剥離される。キャリアフィルム２は、ロール９を経て巻き取られる。

他方、第１のマザーのセラミックグリーンシート１は、第１の保持ロール７の外周面に圧着され、かつ第１の保持ロール７の外周面において、カッター１０により所定の長さの矩形のマザーのセラミックグリーンシート１Ａとなるように切断される。また、第１の保持ロール７の外周面近傍には、カメラ１８ａ，１８ｂが配置されている。

本実施形態では、第１の保持ロール７から所定の長さに切断された第１のマザーのセラミックグリーンシート１Ａが積層ステージ３１上において積層されていく。カメラ１８ａ，１８ｂは、第１のマザーのセラミックグリーンシート１Ａを積層するに際して、内部電極パターン５，５の積層位置を制御するために用いられている。すなわち、カメラ１８ａ，１８ｂにより、内部電極パターン５または内部電極パターン５に関連して設けられた検出マークが撮影され、それによって内部電極パターン５の位置が得られる。このようにして得られた位置情報に基づいて内部電極パターン５が所定の位置に積層されるようにマザーのセラミックグリーンシート１Ａが積層されていく。上記位置情報に基づく積層位置の補正は、マザーのセラミックグリーンシート１Ａを積層ステージ上において圧着させ、積層させていく際の圧着開始位置を調整することにより、あるいは積層ステージ３１をその面方向に移動させることにより行ない得る。

本実施形態では、上記第１のマザーのセラミックグリーンシート１Ａの圧着は、圧着後にキャリアフィルムを剥離する必要がないため、０．０５〜３ＭＰａ程度の低い圧力を加えて行なうことができる。そして、積層ステージ３１が、矢印Ｘで示すように移動されて圧着が進行する。積層ステージ３１を矢印Ｘ方向に移動する方法に代えて、前記保持ロール７、剥離ロール８を含む構造を矢印Ｘとは反対方向に移動させてマザーのセラミックグリーンシート１Ａを積層してもよい。もっとも、積層装置の簡略化を図る上では、積層ステージ３１を矢印Ｘ方向に移動させることが望ましい。

積層に際しての積層ステージの矢印Ｘ方向の移動速度と、保持ロール７の時計方向の回転に際しての周速は一致させておくことが望ましい。

また、マザーのセラミックグリーンシート１Ａの積層に際しては、積層されているセラミックグリーンシート同士を十分に密着させるには昇温することが望ましい。従って、積層ステージ３１を、４０〜８０℃程度の温度に昇温しておくことが望ましい。

もっとも、保持ロール７の外周面においては、マザーのセラミックグリーンシート１Ａが昇温されると、内部電極パターン５の位置ずれが生じたりする。従って、図５に示す冷却ロール３３を配置してマザーのセラミックグリーンシート１Ａを保持ロール７の外周面上において冷却してもよい。

しかしながら、マザーのセラミックグリーンシート１Ａの組成や厚み等によっては、積層後のマザーのセラミックグリーンシート同士の圧着力を高めるために、保持ロール７の外周面においてもマザーのセラミックグリーンシート１Ａを４０〜８０℃程度の温度に昇温してもよい。

なお、剥離ロール８においては、マザーのセラミックグリーンシート１の変形を抑制するために、剥離ロール８は常温下に配置されていることが望ましい。

本実施形態では、上記のように、積層ロールに代えて、矢印Ｘ方向に移動される平板状の積層ステージ３１が用いられていることを除いては、第１の実施形態と同様にして積層が行なわれる。従って、第２のマザーのセラミックグリーンシート３Ａを適宜の枚数積層した後、上記のようにして複数枚の第１のマザーのセラミックグリーンシート１Ａを積層し、さらに再度外層部分を構成する所定の長さの第２のマザーのセラミックグリーンシート３Ａを積層することにより、マザーの積層体が得られる。そして、このようにして得られたマザーの積層体を用いて、第１の実施形態の場合と同様にして、積層セラミックコンデンサが得られる。

第３の実施形態においても、第１の保持ロール７においてマザーのセラミックグリーンシート１のみが先ず保持され、かつ所定の長さに切断されたマザーのセラミックグリーンシート１Ａが積層ステージ３１上に積層されているマザーのセラミックグリーンシート３Ａまたはマザーのセラミックグリーンシート１Ａ上に圧着されて積層が進行する。従って、圧着に際しての圧着力を比較的低くすることができ、よって内部電極パターン５，５間の位置ずれを抑制することができ、高精度にマザーのセラミックグリーンシート１Ａ，３Ａを積層することができる。

また、第１，第２の実施形態と同様に、第３の実施形態においても、セラミックグリーンシート１Ａ，３Ａの圧着・積層に際しては、線状の圧着部分が徐々にセラミックグリーンシート１Ａ，３Ａの長さ方向に移動しつつ圧着が行なわれる。従って、矩形のセラミックグリーンシートを積層し、圧着する従来法に比べて、セラミックグリーンシート同士を確実に密着させることができる。また、セラミックグリーンシート間の間における空気などの噛み込みも生じ難い。

図６及び図７は、第３の実施形態の積層セラミック電子部品の製造方法の変形例を示すための構成的正面断面図である。積層セラミックコンデンサの製造に際しては、外層部分を構成するマザーのセラミックグリーンシートを積層した後に、内部電極パターンを印刷されたマザーのセラミックグリーンシートが積層される。この場合、上記の内部電極パターンの位置をずらせるように、図６に示されているように、第１の内部電極パターン５Ａ，５Ａが印刷された第１のマザーのセラミックグリーンシートの１Ａと、第２のマザーの内部電極パターン５Ｂ，５Ｂが印刷された第１のマザーのセラミックグリーンシート１Ｃとを交互に積層することがある。ここでは、積層ステージ３１の上面３１ａ上において、所定の枚数の第２のマザーのセラミックグリーンシート３Ａが積層された後に、上記第１のマザーのセラミックグリーンシート１Ｂ，１Ｃが交互に積層されていく。そして、このような積層を実現するために、第１のマザーのセラミックグリーンシート１Ｂが、第１の保持ロール７Ａに、第１のマザーのセラミックグリーンシート１Ｃが、もう一つの第１の保持ロール７Ｂに供給されるように構成されている。言い換えれば、図５に示した剥離ロール８及び第１の保持ロール７を有する第１のマザーのセラミックグリーンシート供給機構が二組配置されており、一方の供給機構から第１のマザーのセラミックグリーンシート１Ｂが供給され、もう１つの供給機構から第１のマザーのセラミックグリーンシート１Ｃが供給され、交互に第１，第２のマザーのセラミックグリーンシート１Ｂ，１Ｃが積層されるように構成されている。なお、第１のマザーのセラミックグリーンシート１Ｂ及び第１のマザーのセラミックグリーンシート１Ｃは、いずれも、保持ロール７Ａ、７Ｂ上において、カッター１０Ａ，１０Ｂを用いて所定の長さとなるように切断されている。

また、第１の保持ロール７Ｂの回転方向は、図示のように反時計方向とされている。従って、積層に際しては、図７に示すように、第１のマザーのセラミックグリーンシート１Ｂを積層するに際しては、保持ロール７Ａが時計歩行に回転されるため、積層ステージ３２は、図示の矢印Ｘ方向に移動される。他方、第１のマザーのセラミックグリーンシート１Ｃの積層に際しては、保持ロール７Ｂが反時計方向に回転されているため、積層ステージ３１が矢印Ｘとは反対方向である−Ｘ方向に移動される。このように、第１の保持ロール７Ａから第１のマザーのセラミックグリーンシート１Ｂを積層する工程と、第１の保持ロール７Ｂ上の第１のマザーのセラミックグリーンシート１Ｃを積層する工程とを繰り返すことにより、第１のマザーのセラミックグリーンシート１Ｂと、第１のマザーのセラミックグリーンシート１Ｃとが交互に積層されていく。従って、図６に示されているように、上下の内部電極パターン５Ａ，５Ｂのずらし量を、積層セラミックコンデンサを得るためのずらし量となるように内部電極パターン５Ａ，５Ｂ配置することができる。

このように、本発明においては、内部電極パターンが印刷されたマザーのセラミックグリーンシートを積層するためのマザーのセラミックグリーンシート供給機構を複数種用い、それによって、複数の内部電極パターンを所定の位置関係となるように積層することができる。

なお、本実施形態では、第１のマザーのセラミックグリーンシート１Ｂと、第１のマザーのセラミックグリーンシート１Ｃとは、１８０°異なる方向から圧着されていくため、得られる積層体における圧着方向に沿う歪みを抑制することができるとともに、かつ図６における矢印Ｘ方向両端における歪みの量を均一化することができる。

なお、図６及び図７に示した構成では、内部電極パターン５Ａが形成されている第１のマザーのセラミックグリーンシート１Ｂと、内部電極パターン５Ｂが形成されている第１のマザーのセラミックグリーンシート１Ｃとを交互に積層するために、二組のマザーのセラミックグリーンシート供給機構が用いられていたが、一方を内部電極パターン５が印刷された第１のマザーのセラミックグリーンシート１を供給するための機構として用い、他方を第２のマザーのセラミックグリーンシート３Ａを供給するためのマザーのセラミックグリーンシート供給機構として用いてもよい。

図８は、本発明の積層セラミック電子部品の製造方法のさらに他の変形例を説明するための略図的正面図である。図６及び図７に示した構成に加えて、さらに、図８に示すように第３のマザーのセラミックグリーンシート供給機構４１を配置してもよい。すなわち、積層ステージ３１上において、先ず第３のマザーのセラミックグリーンシート供給機構４１から第２のマザーのセラミックグリーンシート３Ａを供給し、適宜の枚数のマザーのセラミックグリーンシート３Ａが積層される。しかる後、図８の左方に配置されているように、図６及び図７に示した変形例と同様に、第１のマザーのセラミックグリーンシート１Ｂと、第１のマザーのセラミックグリーンシート１Ｃとが交互に積層される。しかる後、図８の矢印Ｘ３で示すように、積層ステージ３１が再度第３の供給機構４３の下方に移動される。そして、第３のマザーのセラミックグリーンシート供給機構４１から、所定の長さの第２のマザーのセラミックグリーンシート３Ａが再度積層される。

このように、３種類のマザーのセラミックグリーンシートを圧着するために３種類のマザーのセラミックグリーンシート供給機構を用いてもよい。

同様に、図１に示したように、積層ロールを用いた製造方法においても、複数のマザーのセラミックグリーンシート供給機構を配置してもよい。図９はこのような変形例を示す略図的正面図である。図９に示す製造装置では、積層ロール１６の周囲に４つのマザーのセラミックグリーンシート供給機構５１〜５４が配置されている。各マザーのセラミックグリーンシート供給機構５１〜５４は、それぞれ、キャリアフィルムから剥離されたマザーのセラミックグリーンシートのみを外周面に保持する保持ロール５１ａ〜５１ｄを有する。従って、本変形例においても、マザーのセラミックグリーンシートが、積層ロール１６の外周面１６ａ上においてより大きな圧着力を加えることなく、圧着により積層することができる。

上記のように、本発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法においては、マザーのセラミックグリーンシートをキャリアフィルムから剥離する剥離ロールと、剥離されたマザーのセラミックグリーンシートのみを有するマザーのセラミックグリーンシート供給機構は２以上の適宜の数だけ設けられてもよい。

さらに、本発明においては、マザーのセラミックグリーンシートからキャリアフィルムを剥離するタイミングについては上記のように保持ロールにマザーのセラミックグリーンシートを圧着すると同時にキャリアフィルムをマザーのセラミックグリーンシートから剥離してもよく、あるいは保持ロールにマザーのセラミックグリーンシートを圧着させた後に、キャリアフィルムを該キャリアフィルムのセラミックグリーンシートから剥離してもよい。

いずれにしても、保持ロール上に保持されているのは、マザーのセラミックグリーンシートのみとなり、従ってマザーのセラミックグリーンシートを積層ステージにおいて、比較的穏やかな条件で圧着し、積層することができる。

なお、本発明は、積層セラミックコンデンサの製造方法に限定されず、セラミック多層基板などの様々な積層セラミック電子部品の製造方法に利用することができる。

１…第１のマザーのセラミックグリーンシート
１Ａ…第１のマザーのセラミックグリーンシート
１Ｂ…第１のマザーのセラミックグリーンシート
１Ｃ…第１のマザーのセラミックグリーンシート
２…キャリアフィルム
３…第２のマザーのセラミックグリーンシート
３Ａ…第２のマザーのセラミックグリーンシート
４…キャリアフィルム
５…内部電極パターン
５Ａ，５Ｂ…内部電極パターン
６ａ…ロール
６ｂ…カッター
７…第１の保持ロール
８…剥離ロール
９…ロール
１０…カッター
１１ａ…ロール
１１ｂ…カッター
１２…第２の保持ロール
１３…剥離ロール
１４…ロール
１５…カッター
１６，１６Ａ…積層ロール
１６ａ…外周面
１６ｂ…溝
１６ｄ…アンダーフィルム
１７…圧着ロール
１８ａ〜１８ｃ…カメラ
３１…積層ステージ
３１ａ…上面
３２…アンダーフィルム
３３…冷却ロール
４１…マザーのセラミックグリーンシート供給機構
５１〜５４…マザーのセラミックグリーンシート供給機構

Claims (17)

1. 長尺状のキャリアフィルム上に保持された長尺状のセラミックグリーンシートを用意する工程と、
   前記長尺状のキャリアフィルムに保持された長尺状のセラミックグリーンシートを、回転可能であり、かつ前記セラミックグリーンシートを保持し得る保持ロールに保持しながら、前記セラミックグリーンシートから前記キャリアフィルムを剥離する工程と、
   前記保持ロールに保持されているセラミックグリーンシートを、前記保持ロールを回転させることで、積層部において前記保持ロールにて仮圧着することにより積層し、マザーの積層体を得る工程と、
   マザーの積層体から個々の積層セラミック電子部品単位の積層体を得るために、マザーの積層体を切断する工程と、
   切断により得られた積層体を焼成する工程とを備える、積層セラミック電子部品の製造方法。
2. 前記保持ロールにセラミックグリーンシートを保持しながら、該セラミックグリーンシートからキャリアフィルムを剥離する工程において、セラミックグリーンシートが保持ロールに先ず保持され、該セラミックグリーンシートが保持されている位置範囲内のいずれかの位置でキャリアフィルムの剥離が開始される、請求項１に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
3. 前記セラミックグリーンシートを保持し、前記キャリアフィルムを剥離し、積層のためにセラミックグリーンシートを前記保持ロールから剥離する各工程が、前記保持ロールの外周面において同時にまたは連続的に行なわれる、請求項１または２に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
4. 前記保持ロールがサクションロールまたは外周面が粘着性を有する粘着ロールである、請求項１〜３のいずれか１項に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
5. 前記セラミックグリーンシートが積層部で保持ロールから剥離されて積層された後に、前記保持ロール以外の圧着用ロールによりセラミックグリーンシート同士の仮圧着が行なわれる、請求項１〜４のいずれか１項に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
6. 前記積層部が加熱されており、積層部において複数枚のセラミックグリーンシート同士が熱圧着される、請求項１〜５のいずれか１項に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
7. 前記保持ロールに保持されているセラミックグリーンシートが冷却される、請求項１〜６のいずれか１項に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
8. １つの積層部に対し、複数の前記保持ロールが用いられる、請求項１〜７のいずれか１項に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
9. 前記複数の保持ロールのうち、奇数個目の保持ロールによる積層方向と、偶数個目の保持ロールによる積層方向とを１８０°異ならせる、請求項８に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
10. 積層部における積層に際しての圧着力をＡ（Ｐａ）、積層後のグリーンシート同士の密着力をＢ（Ｐａ）、積層体を変形させる最低圧力をＣ（Ｐａ）としたときに、Ｃ＞Ａ＞Ｂとされている、請求項１〜９のいずれか１項に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
11. 前記積層部が、外周面上でセラミックグリーンシートが積層される積層ロールを有する、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
12. 前記保持ロールの周速と、前記積層ロールの周速とが同一とされている、請求項１１に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
13. 前記セラミックグリーンシートの長さ方向において、該セラミックグリーンシートのテンションが、セラミックグリーンシートを圧着する部分の曲率の上昇に応じて徐々に高められている、請求項１１または１２に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
14. 前記積層部が、平板状の積層ステージを用いて構成されている、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
15. 前記積層ステージが、セラミックグリーンシートの長さ方向に沿って移動されるように構成されており、該積層ステージの移動速度と、前記保持ロールの周速とが等しくされている、請求項１４に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
16. 長尺状のキャリアフィルム上に保持された長尺状のセラミックグリーンシートを積層して積層体を得る積層セラミック電子部品の製造装置であって、
    回転可能に設けられ、その外周面上でセラミックグリーンシートを保持する保持ロールと、
    前記セラミックグリーンシートを介して前記保持ロールと外周面同士が当接するように回転可能に設けられ、前記保持ロールから前記セラミックグリーンシートをその外周面上に受け取るとともに、前記セラミックグリーンシートをその外周面上または外周面上に積層されたセラミックグリーンシート上に連続的に積層する積層ロールと、
    前記保持ロールと外周面同士が前記キャリアフィルム及び前記セラミックグリーンシートを介して当接するように回転可能に設けられ、その外周面上で前記キャリアフィルムを保持して、前記保持ロールに保持された前記セラミックグリーンシートから前記キャリアフィルムを剥離し、搬送する剥離ロールとを備え、
    前記剥離ロールで搬送しつつ、前記保持ロールを回転させることで、前記剥離ロールで搬送されたセラミックグリーンシートを剥離し、前記保持ロールで保持し、さらに回転させることで保持されたセラミックグリーンシートを前記積層ステージ上に積層する積層セラミック電子部品の製造装置。
17. 長尺状のキャリアフィルム上に保持されたセラミックグリーンシートを積層して積層体を得る積層セラミック電子部品の製造装置であって、
    回転可能に設けられ、その外周面上でセラミックグリーンシートを保持する保持ロールと、
    前記セラミックグリーンシートを介して前記保持ロールの外周面とその主面とが当接するように設けられ、前記保持ロールから前記セラミックグリーンシートをその主面上に受け取るとともに、前記セラミックグリーンシートをその主面上または主面上に積層されたセラミックグリーンシート上に積層する積層テーブルと、
    前記セラミックグリーンシート及び前記キャリアフィルムを介して前記保持ロールと外周面同士が当接するように回転可能に設けられ、その外周面上で前記キャリアフィルムを保持して、前記保持ロールに保持された前記セラミックグリーンシートから前記キャリアフィルムを剥離し、搬送する剥離ロールとを備え、
    前記剥離ロールで搬送しつつ、前記保持ロールを回転させることで、前記剥離ロールで搬送されたセラミックグリーンシートを剥離し、前記保持ロールで保持し、さらに回転させることで保持されたセラミックグリーンシートを前記積層ステージ上に積層する積層セラミック電子部品の製造装置。

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