JP7298384B2 - 電子部品の製造方法および電子部品製造装置 - Google Patents

Description

本発明は、電子部品の製造方法に関し、詳しくは、グリーンシートを積層テーブル上に積層してグリーンシート積層体を作製する工程を備えた電子部品の製造方法に関する。また、本発明は、本発明の電子部品の製造方法を実施する際に使用するのに適した、電子部品製造装置に関する。

セラミック層が積層されたセラミック積層体を備えた電子部品の製造方法においては、通常、複数のセラミックのグリーンシートを積層テーブル上に積層し、加熱圧着して、グリーンシート積層体を作製する工程を備えている。

たとえば、特許文献１（特開２００５-２１７２７８号公報）には、積層ローラの外周面に保持されたグリーンシートを、積層テーブルの上に積層し、加熱圧着して、複数のグリーンシートが積層されたグリーンシート積層体を作製する工程を備えた電子部品の製造方法が開示されている。また、特許文献２（特許第２９９８５０３号公報）には、積層ヘッドの底面に保持されたグリーンシートを、積層テーブルの上に積層し、加熱圧着して、複数のグリーンシートが積層されたグリーンシート積層体を作製する工程を備えた電子部品の製造方法が開示されている。

また、セラミック層が積層されたセラミック積層体を備えた電子部品の製造方法においては、積層テーブル上に作製されたグリーンシート積層体を、積層テーブルから取り外し、カットテーブル上において、複数の分割グリーンシート積層体に分割する場合がある。

また、セラミック層が積層されたセラミック積層体を備えた電子部品の製造方法においては、通常、積層テーブルから取り外したグリーンシート積層体、あるいは、上述した分割グリーンシート積層体を、プレステーブル上において、セラミック積層体を作製したときよりも大きな圧力で、本プレスする。

特開２００５-２１７２７８号公報 特許第２９９８５０３号公報

特許文献１および特許文献２に開示された従来の電子部品の製造方法には、グリーンシートを積層テーブルの上に積層し、加熱圧着して、複数のグリーンシートが積層されたグリーンシート積層体を作製する工程において、グリーンシート積層体に大きな圧力を加えることが難しいという問題があった。

すなわち、特許文献１および特許文献２に開示された電子部品の製造方法では、通常、積層テーブルの上において、作製中のグリーンシート積層体を熱源によって加熱しながらグリーンシートの積層をおこなうため、グリーンシート積層体に大きな圧力を加えると、グリーンシート積層体が変形するという問題があった。

たとえば、特許文献１に開示された電子部品の製造方法では、積層テーブルと積層ローラとの間に大きな圧力を加えると、作製中のグリーンシート積層体が、グリーンシート積層体の一方の端部方向に絞り出され、グリーンシート積層体が変形してしまう虞があった。そのため、積層テーブルと積層ローラとの間に加える圧力の大きさを、小さく抑制しなければならなかった。

また、特許文献２に開示された電子部品の製造方法では、積層テーブルと積層ヘッドとの間に大きな圧力を加えると、作製中のグリーンシート積層体が、平面方向において、中央から、４つの辺の方向に向かってそれぞれ膨らみ、グリーンシート積層体が変形してしまう虞があった。そのため、積層テーブルと積層ヘッドとの間に加える圧力の大きさを、小さく抑制しなければならなかった。

そして、特許文献１および特許文献２に開示された電子部品の製造方法では、グリーンシートを積層する工程においてグリーンシート積層体に十分な圧力が加えられておらず、グリーンシート積層体が強固に一体化されていないため、グリーンシート積層体を積層テーブルから取外すとき、取外したグリーンシート積層体を持運ぶとき、グリーンシート積層体を複数の分割グリーンシート積層体に分割するとき、グリーンシート積層体または分割グリーンシート積層体を大きな圧力で本プレスするときなどに、グリーンシート積層体が破損するという問題があった。

具体的には、グリーンシート積層体には、通常、層間に、内部電極用の導電膜が設けられているが、グリーンシートを積層する工程においてグリーンシート積層体に十分な圧力が加えられておらず、グリーンシート積層体が強固に一体化されていないため、上述したグリーンシート積層体を積層テーブルから取外すときなどに、グリーンシートが破れたり、導電膜が断線したり、極性の異なる内部電極用の導電膜どうしが短絡したりする虞があった。すなわち、グリーンシート積層体が破損する虞があった。

また、特許文献１および特許文献２に開示された電子部品の製造方法では、後で本プレス工程を実施するときに、グリーンシート積層体の層間に設けられた内部電極用の導電膜が流動する問題があった。

すなわち、グリーンシート積層体は、上述したように、通常、層間に、内部電極用の導電膜が設けられている。そして、グリーンシート積層体をグリーンシートの積層方向に見たとき、導電膜が積層された領域と、導電膜が積層されていない領域とが存在する場合がある。そして、導電膜が積層された領域にも、多数の導電膜が積層された領域と、少数の導電膜が積層された領域とが存在する場合がある。

このような構造のグリーンシート積層体に対して、グリーンシートを積層する工程において十分に大きな圧力を加えないまま、本プレス工程において大きな圧力を加えると、多数の導電膜が積層された領域にかかる圧力が、少数の導電膜しか積層されていない領域や、導電膜が形成されていない領域にかかる圧力よりも大きくなる。多数の導電膜が積層された領域と、少数の導電膜しか積層されていない領域との両領域にわたって設けられた導電膜において、この圧力の差に起因して、多数の導電膜が積層された領域から、少数の導電膜しか積層されていない領域に、導電膜が押出されて流動してしまう場合があった。そして、少数の導電膜しか積層されていない領域に元々あった導電膜が押されて形状が波打ち、たとえば、断面においてＭ字型に変形してしまう場合があった。

そして、導電膜が流動し、形状が変形することによって、製造された電子部品が初期不良品であったり、製造された電子部品の電気的な特性が劣化したり、同時に製造された電子部品の間で電気的な特性がばらついたりするという問題があった。

また、特許文献１および特許文献２に開示された電子部品の製造方法では、グリーンシートを積層する工程において、グリーンシート積層体に十分に大きな圧力を加えることができず、グリーンシート積層体が強固に一体化されていないため、作製したグリーンシート積層体を積層テーブルから取外し、時間が経過して加熱されていたグリーンシート積層体の温度が低下すると、グリーンシート積層体に反りが発生する場合があった。そして、グリーンシート積層体の分割グリーンシート積層体への分割工程や、本プレス工程などの後の工程において、反りが発生したグリーンシート積層体を平らに戻そうとすることによって、無理な応力が加わり、グリーンシート積層体が破損する場合があった。

本発明は、上述した従来の問題を解決するためになされたものであり、積層工程に使用する積層テーブル上において、グリーンシート積層体の形状を変形させることなく、グリーンシート積層体を強固に一体化させることができる、電子部品の製造方法を提供することを目的とする。

また、本発明は、上述した本発明の電子部品の製造方法を実施するのに適した、電子部品製造装置を提供することを目的とする。

本発明の一実施態様にかかる電子部品の製造方法は、上述した従来の問題を解決するため、複数のセラミックのグリーンシートを作製する、グリーンシート作製工程と、複数のグリーンシートを積層テーブル上に積層してグリーンシート積層体を作製する、グリーンシート積層体作製工程と、グリーンシート積層体を焼成してセラミック素体を作製する、焼成工程と、を備えた電子部品の製造方法であって、積層テーブル上において、作製中のグリーンシート積層体、または、作製されたグリーンシート積層体に対して、局所的なプレスを、位置を変えて繰返して実施する、ピッチプレス工程を更に備えたものとする。

また、本発明の一実施態様にかかる電子部品製造装置は、外周面に保持したグリーンシートを積層テーブル上に積層する積層ローラを備えた電子部品製造装置であって、積層ローラの外周面に、ピッチプレス治具が設けられたものとする。

本発明の電子部品の製造方法によれば、積層工程に使用する積層テーブル上において、グリーンシート積層体の形状を変形させることなく、グリーンシート積層体を強固に一体化させることができる。

また、本発明の電子部品製造装置によれば、容易に、本発明の電子部品の製造方法を実施することができる。

第１実施形態の電子部品の製造方法において使用する電子部品製造装置１０００の要部概略図である。 電子部品製造装置１０００の積層ローラ４を示す断面図である。 図３（Ａ）～（Ｃ）は、それぞれ、第１実施形態にかかる電子部品の製造方法における剥離工程を示す正面図である。 図４（Ａ）～（Ｃ）は、それぞれ、第１実施形態にかかる電子部品の製造方法における剥離工程を示す説明図である。 図５（Ａ）～（Ｃ）は、それぞれ、第１実施形態にかかる電子部品の製造方法における積層工程を示す正面図である。 図６（Ａ）～（Ｃ）は、それぞれ、第１実施形態にかかる電子部品の製造方法における積層工程を示す説明図である。 図７（Ａ）は、ピッチプレス治具８の正面図である。図７（Ｂ）は、ピッチプレス治具８の底面図である。図７（Ｃ）は、ピッチプレス治具８の平面図である。 ピッチプレス治具８の要部正面図である。 図９（Ａ）～（Ｃ）は、それぞれ、第１実施形態にかかる電子部品の製造方法におけるピッチプレス工程を示す正面図である。 図１０（Ａ）は、実施例および比較例の初期ショート不良率を示すグラフである。図１０（Ｂ）は、実施例および比較例の反り量を示すグラフである。 第１実施形態の変形例１で使用するピッチプレス治具１８の要部正面図である。 第２実施形態の電子部品の製造方法において使用する電子部品製造装置２０００の要部概略図である。

以下、図面とともに、本発明を実施するための形態について説明する。

なお、各実施形態は、本発明の実施の形態を例示的に示したものであり、本発明が実施形態の内容に限定されることはない。また、異なる実施形態に記載された内容を組合せて実施することも可能であり、その場合の実施内容も本発明に含まれる。また、図面は、明細書の理解を助けるためのものであって、模式的に描画されている場合があり、描画された構成要素または構成要素間の寸法の比率が、明細書に記載されたそれらの寸法の比率と一致していない場合がある。また、明細書に記載されている構成要素が、図面において省略されている場合や、個数を省略して描画されている場合などがある。

［第１実施形態］
以下においては、まず、第１実施形態の電子部品の製造方法の概略について説明し、その後に各工程の詳細について説明する。なお、製造する電子部品の種類は任意であるが、本実施形態においては、一例として積層セラミックコンデンサを製造する。

図１に、第１実施形態にかかる電子部品の製造方法において使用する電子部品製造装置１０００の要部概略図を示す。

電子部品製造装置１０００は、カット領域Ａ１と、剥離領域Ａ２と、積層領域Ａ３と、ピッチプレス領域Ａ４とを備えている。なお、本実施形態の電子部品製造装置１０００は、積層領域Ａ３とピッチプレス領域Ａ４とが同じ位置であるが、図１においては、便宜上、積層領域Ａ３を上にして、ピッチプレス領域Ａ４を下にして、両者を上下に並べて示している。

電子部品製造装置１０００は、後述する、主面にマザーグリーンシート５が形成されたキャリアフィルム６を搬送する搬送ローラ１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄを備えている。搬送ローラ１ａ～１ｄは、キャリアフィルム６を搬送するとともに、キャリアフィルム６に張力を与えたり、キャリアフィルム６の搬送方向を変更したりする機能を有している。なお、搬送ローラ１ａ～１ｄのうち、搬送ローラ１ａ、１ｄは、自ら回転して、キャリアフィルム６を駆動する機能を有する駆動ローラである。

搬送ローラ１ａ～１ｄによって、主面に長尺状のマザーグリーンシート５が形成されたキャリアフィルム６が、カット領域Ａ１および剥離領域Ａ２に搬送される。

カット領域Ａ１において、キャリアフィルム６の搬送が停止され、カット刃３ａ、３ｂによって、マザーグリーンシート５が矩形状のグリーンシート７にカットされる。

カットされたグリーンシート７およびキャリアフィルム６が、搬送ローラ１ａ～１ｄによって、剥離領域Ａ２に搬送される。

電子部品製造装置１０００は、剥離領域Ａ２および積層領域Ａ３に、両者の間を往復移動する積層ローラ４を備えている。積層ローラ４には、外周面に、ピッチプレス工程において使用する、ピッチプレス治具８が設けられている。

積層ローラ４は、剥離領域Ａ２において、キャリアフィルム６からグリーンシート７を剥離し、剥離したグリーンシート７を、自らの外周面のピッチプレス治具８が設けられていない領域に保持する。そして、グリーンシート７を保持した積層ローラ４は、積層領域Ａ３に移動する。

電子部品製造装置１０００は、積層領域Ａ３に、水平方向に往復移動する積層テーブル９を備えている。

積層領域Ａ３において、積層ローラ４は、保持していたグリーンシート７を積層テーブル９に受け渡す。そして、積層テーブル９の上面に、積層ローラ４から受け渡された複数のグリーンシート７が、順次、積層され、加熱圧着される。なお、グリーンシート７を積層するときには、積層テーブル９は、水平方向に連続移動する。

所定の枚数のグリーンシート７が積層され、加熱圧着されることによって、グリーンシート積層体１０が完成する。

次に、ピッチプレス領域Ａ４において、完成したグリーンシート積層体１０に対して、ピッチプレスを実施する。なお、上述したとおり、本実施形態においては、積層領域Ａ３とピッチプレス領域Ａ４とが同じ位置である。

ピッチプレスは、積層テーブル９の上において実施する。ピッチプレスは、積層テーブル９と、ピッチプレス治具８とで、グリーンシート積層体１０を上下方向から局所的にプレスすることによっておこなう。ピッチプレスは、積層テーブル９を水平方向に間欠移動させ、グリーンシート積層体１０をずらしながらおこなう。グリーンシート積層体１０の全面をプレスすることによって、ピッチプレスが完了する。

次に、ピッチプレスが完了したグリーンシート積層体１０を、積層テーブル９から取外す。

次に、必要に応じて、グリーンシート積層体１０を、カットテーブルの上において、複数の分割グリーンシート積層体に分割する。

次に、積層テーブル９から取外したグリーンシート積層体１０、または、分割グリーンシート積層体に対し、プレステーブルとプレスヘッドとによって、本プレスを実施する。

次に、本プレスを完了したグリーンシート積層体１０、または、分割グリーンシート積層体を、複数の個片のグリーンシート積層体に分割する。

次に、個片に分割されたグリーンシート積層体を、所定のプロファイルで焼成し、セラミック積層体を作製する。

最後に、セラミック積層体の外表面に外部電極を形成して、本実施形態にかかる電子部品（積層セラミックコンデンサ）が完成する。

以上、本実施形態の電子部品の製造方法の概略について説明した。次に、各工程の詳細について説明する。

まず、キャリアフィルム６を用意する。キャリアフィルム６の材質は任意であるが、たとえば、ＰＥＴ（polyethylene terephthalate；ポリエチレンテレフタレート）、ＰＰ（polypropylene；ポリプロピレン）、ＰＥＮ（polymethylpentene；ポリメチルペンテン）などを使用することができる。また、キャリアフィルム６の長さ、幅、厚みなどの寸法は任意であり、所望のものを使用することができる。

次に、製造する電子部品に応じた材質、粒径などからなるセラミックスの粉末、バインダ樹脂、溶剤、必要に応じて可塑剤などを用意し、これらを湿式混合してセラミックスラリーを作製する。本実施形態においては一例として積層セラミックコンデンサを製造するため、セラミックスに、誘電体セラミックスを使用する。

次に、キャリアフィルム６上に、セラミックスラリーを、ダイコータ、グラビアコータ、マイクログラビアコータなどを用いてシート状に塗布し、乾燥させる。なお、塗布するセラミックスラリーの厚みは任意であり、所望するマザーグリーンシート５の厚みにより、適宜、設定する。また、セラミックスラリーの塗布方法も任意であり、コータに代えて、ドクターブレードなどを使用してもよい。

以上により、一方の主面に長尺状のマザーグリーンシート５が形成されたキャリアフィルム６が完成する。

次に、内部電極を形成するために、マザーグリーンシート５の上側の主面に、導電性ペーストを所望のパターンに印刷して導電膜を形成する。なお、マザーグリーンシート５において、積層セラミックコンデンサの上下の保護層となるグリーンシートを作製する部分には、導電膜は形成しない。なお、本願の図面においては、煩雑になって見にくくなることを避けるために、マザーグリーンシート５およびグリーンシート７に形成された導電膜は、図示を省略している。

次に、図１に示すように、マザーグリーンシート５が形成されたキャリアフィルム６を、電子部品製造装置１０００に供給する。マザーグリーンシート５が形成されたキャリアフィルム６は、搬送ローラ１ａ～１ｄによって、カット領域Ａ１および剥離領域Ａ２に搬送される。

次に、カット領域Ａ１において、長尺状のマザーグリーンシート５を矩形状のグリーンシート７にカットする。具体的には、まず、マザーグリーンシート５が形成されたキャリアフィルム６の搬送を停止する。次に、カット刃３ａ、３ｂを下降させ、マザーグリーンシート５をグリーンシート７にカットする。

次に、搬送ローラ１ａ～１ｄによって、キャリアフィルム６を間欠的に搬送し、カットされたグリーンシート７を剥離領域Ａ２に搬送するとともに、カット領域Ａ１にマザーグリーンシート５の次にカットすべき部分を搬送する。

上述したとおり、電子部品製造装置１０００は、剥離領域Ａ２および積層領域Ａ３に、両者の間を往復移動する積層ローラ４を備えている。本実施形態においては、積層ローラ４は、積層領域Ａ３において積層されたグリーンシート７を積層するだけではなく、剥離領域Ａ２においてグリーンシート７をキャリアフィルム６から剥離して保持するとともに、保持したグリーンシート７を剥離領域Ａ２から積層領域Ａ３に搬送する。すなわち、本実施形態においては、積層ローラ４は、剥離ローラおよび搬送ローラを兼ねている。

本実施形態においては、積層ローラ４は、図２に示すように、外周面に通気孔４ａが形成され、マルチチャンバーサクションローラ構造を備えている。積層ローラ４は、外周面の領域ごとに、また時間の経過ごとに、通気孔４ａの状態を、吸引状態、排気状態（ブロー状態）、大気開放状態などの任意の状態にすることができる。

また、本実施形態においては、積層ローラ４には、保持したグリーンシート７を加熱するために、熱源４ｂが設けられている。熱源４ｂの種類は任意であるが、たとえば、カートリッジヒータ、プレートヒータなどの抵抗加熱方式、誘導加熱、誘電加熱方式、熱媒を利用したヒートポンプ方式などを使用することができる。

積層ローラ４の材質は任意であるが、たとえば、アルミ、カーボン、ＳＵＳなどを使用することができる。積層ローラ４の直径は任意であるが、たとえば、５０ｍｍ以上、１０００ｍｍ以下程度とすることができる。

次に、図３（Ａ）～（Ｃ）、図４（Ａ）～（Ｃ）に示すように、剥離領域Ａ２において、積層ローラ４によって、キャリアフィルム６上に形成されたグリーンシート７をキャリアフィルム６から剥離し、剥離したグリーンシート７を、積層ローラ４の外周面に保持する。なお、図３（Ａ）～（Ｃ）は正面図である。また、図４（Ａ）～（Ｃ）は説明図であり、積層ローラ４の通気孔４ａの状態（吸引状態、大気開放状態、排気状態）を示している。なお、図３（Ａ）と図４（Ａ）、図３（Ｂ）と図４（Ｂ）、図３（Ｃ）と図４（Ｃ）は、それぞれ、同じ時点を示している。

まず、図３（Ａ）、図４（Ａ）に示すように、キャリアフィルム６によって、矩形状のグリーンシート７が剥離領域Ａ２に搬送され、その先端が積層ローラ４の最下部に当接する。この時点では、積層ローラ４の通気孔４ａは大気開放状態（又は排気状態）にあり、吸引はしていない。

次に、図３（Ｂ）、図４（Ｂ）に示すように、キャリアフィルム６によってグリーンシート７を更に搬送し、それに同期させて積層ローラ４を回転させる。このとき、通気孔４ａは、積層ローラ４の最下部を越えると、順次、大気開放状態（又は排気状態）から吸引状態に切り替わり、グリーンシート７を吸引する。そして、積層ローラ４の回転に伴って、グリーンシート７がキャリアフィルム６から剥離される。

次に、図３（Ｃ）、図４（Ｃ）に示すように、グリーンシート７がキャリアフィルム６から完全に剥離され、グリーンシート７が積層ローラ４の外周面に保持される。なお、上述したとおり、グリーンシート７は、積層ローラ４の外周面のピッチプレス治具８が設けられていない領域に保持される。

本実施形態においては、積層ローラ４の外周面に保持されたグリーンシート７が、積層ローラ４の熱源４ｂによって加熱される。

次に、グリーンシート７を保持した積層ローラ４が、図１に示すように、積層領域Ａ３に移動する。ただし、積層ローラ４を積層領域Ａ３に移動させる代わりに、搬送ローラ１ｂをキャリアフィルム６とともに水平方向に退避させたうえ（図１における左側に退避させたうえ）、積層ローラ４の直下に積層テーブル９を配置してもよい。すなわち、剥離領域Ａ２と同じ位置に、積層領域Ａ３を設けてもよい。

上述したとおり、電子部品製造装置１０００は、積層領域Ａ３に、積層テーブル９を備えている。積層テーブル９は、水平方向に往復移動する。

本実施形態においては、積層テーブル９には、グリーンシート積層体１０を加熱するために、熱源９ａが設けられている。熱源９ａの種類は任意であるが、たとえば、カートリッジヒータ、プレートヒータなどの抵抗加熱方式、誘導加熱、誘電加熱方式、熱媒を利用したヒートポンプ方式などを使用することができる。

図５（Ａ）～（Ｃ）、図６（Ａ）～（Ｃ）に、積層領域Ａ３において、グリーンシート７を積層してグリーンシート積層体１０を作製する工程を示す。なお、図５（Ａ）～（Ｃ）は正面図である。また、図６（Ａ）～（Ｃ）は説明図であり、積層ローラ４の通気孔４ａの状態（吸引状態、大気開放状態、排気状態）を示している。なお、図３（Ａ）と図４（Ａ）、図３（Ｂ）と図４（Ｂ）、図３（Ｃ）と図４（Ｃ）は、それぞれ、同じ時点を示している。

まず、図５（Ａ）、図６（Ａ）に示すように、グリーンシート７が保持された、積層ローラ４の下に、積層テーブル９を移動させる。なお、図５（Ａ）、図６（Ａ）においては、積層テーブル９の上に、既に複数のグリーンシート７が積層され、加熱圧着されて、作製途中のグリーンシート積層体１０が存在している。ただし、１層目のグリーンシート７を積層する場合には、積層テーブル９の上にグリーンシート積層体１０（グリーンシート７）は存在していない。

なお、グリーンシート７は、積層テーブル９の上に直接に積層するのではなく、たとえば、積層テーブル９の上に金属製の平板状の治具を置き、その治具の上に積層するようにしてもよい。この場合において、積層テーブル９の主面に通気孔を設け、その通気孔によって治具を吸引するようにしてもよい。また、治具とグリーンシート７との間に、フィルムを介在させてもよい。なお、金属製の平板状の治具は、グリーンシート積層体１０に反りが発生するのを抑制する効果を有している。

図５（Ａ）、図６（Ａ）は、加工点Ｐにおいて、積層ローラ４に保持されたグリーンシート７の先端と、作製途中のグリーンシート積層体１０の最上層に積層されたグリーンシート７の先端とが、接した時点を示している。加工点Ｐとは、積層ローラ４に保持されたグリーンシート７が積層ローラ４から積層テーブル９に受け渡され、積層テーブル９と積層ローラ４とで、受け渡されたグリーンシート７の下側主面を、作製途中のグリーンシート積層体１０の最上層に積層されたグリーンシート７の上側主面に加熱圧着する点をいう。

図５（Ａ）、図６（Ａ）に示す時点においては、積層ローラ４の通気孔４ａは吸引状態にあり、グリーンシート７は積層ローラ４に保持されている。

本実施形態においては、積層テーブル９の上の（作製途中または作製後の）グリーンシート積層体１０が、積層テーブル９の熱源９ａによって加熱される。

次に、図５（Ｂ）、図６（Ｂ）に示すように、積層ローラ４を回転させ、それに同期させて、積層テーブル９を回転と同じ方向（図５（Ｂ）、図６（Ｂ）における右方向）に移動させる。このとき、通気孔４ａは、積層ローラ４の最下部（加工点Ｐ）を越えると、順次、吸引状態から排気状態（又は大気開放状態）に切り替わる。この結果、積層ローラ４に保持されたグリーンシート７が、積層テーブル９の上の作製途中のグリーンシート積層体１０の最上層に積層され、加熱圧着される。

次に、図５（Ｃ）、図６（Ｃ）に示すように、グリーンシート７がグリーンシート積層体１０に完全に加熱圧着されて、当該グリーンシート７の積層が完了する。

なお、本実施形態のグリーンシート７の積層工程においては、積層テーブル９と積層ローラ４との間に、あまり大きな圧力は加えない。大きな圧力を加えると、作製中のグリーンシート積層体１０が、グリーンシート積層体１０の一方の端部方向に絞り出され、グリーンシート積層体１０が変形してしまう虞があるからである。圧力の大きさは任意であるが、たとえば、１ＭＰａ以上、２０ＭＰａ以下程度とする。

以上のグリーンシート７の積層、加熱圧着を、予定の回数繰り返すことによって、グリーンシート積層体１０が完成する。

次に、ピッチプレス領域Ａ４において、完成したグリーンシート積層体１０に対して、ピッチプレスを実施する。ピッチプレスには、積層ローラ４の外周面に設けられたピッチプレス治具８を使用する。図７（Ａ）～（Ｃ）、図８に、それぞれ、ピッチプレス治具８を示す。ただし、図７（Ａ）は、ピッチプレス治具８の正面図である。図７（Ｂ）は、ピッチプレス治具８の底面図である。図７（Ｃ）は、ピッチプレス治具８の平面図である。図８は、ピッチプレス治具８の要部正面図である。なお、各図においては、積層ローラ４も併せて示している。また、図７（Ｃ）には、ピッチプレスされるグリーンシート積層体１０も併せて示している。

ピッチプレス治具８は、底面にラバー８ａが設けられている。ラバー８ａは、グリーンシート積層体１０に、多数の導電膜が積層された領域や、少数の導電膜が積層された領域や、導電膜が積層されていない領域が存在していても、各領域に加える圧力をできるだけ均一に近づけるために設けられている。ラバー８ａの厚みは任意であるが、たとえば、５０μｍ以上、５００μｍ以下程度とすることができる。また、ラバー８ａの硬さも任意であり、適宜、設定することができる。

ピッチプレス治具８は、底面にプレス面８ｂを備えている。プレス面８ｂは、１対の長辺８ｃと１対の短辺８ｄとを備え、矩形状をしている。

ピッチプレス治具８は、図７（Ｃ）に示すように、グリーンシート積層体１０を間欠移動させて、ずらしながら、順次、グリーンシート積層体１０を局所的にプレスしてゆく。グリーンシート７の積層方向に見たとき、グリーンシート積層体１０は、第１方向Ｄ１に伸びる１対の辺１０ａと第２方向Ｄ２に伸びる１対の辺１０ｂとを備え、矩形状をしている。本実施形態においては、辺１０ａの長さと、辺１０ｂの長さとが等しく、グリーンシート７の積層方向に見たとき、グリーンシート積層体１０は正方形をしている。ただし、辺１０ａの長さと、辺１０ｂの長さとを異ならせ、グリーンシート７の積層方向に見たとき、グリーンシート積層体１０を長方形にしてもよい。

ピッチプレスは、ピッチプレス治具８のプレス面８ｂの長辺８ｃを、第２方向Ｄ２に配置して実施する。また、ピッチプレスは、グリーンシート積層体１０を、第１方向Ｄ１に間欠移動させて、ずらしながら、ピッチプレス治具８によって、順次、積層テーブル９の上のグリーンシート積層体１０を局所的にプレスすることによって実施する。なお、グリーンシート積層体１０を第１方向Ｄ１に間欠移動させる代わりに、ピッチプレス治具８を第１方向Ｄ１に間欠移動させてもよい。

本実施形態においては、ピッチプレス治具８は、プレス面８ｂの１対の長辺８ｃの外側に、それぞれ、テーパ部８ｅが設けられている。この結果、第２方向Ｄ２に直交するピッチプレス治具８の断面を見たとき、先端が下底および上底を有する台形状になっており、上底がプレス面８ｂを構成している。ピッチプレス治具８は、プレス面８ｂの１対の長辺８ｃの外側に、それぞれ、テーパ部８ｅが設けられているため、プレス面８ｂに圧力を集中させることができ、大きい圧力で、グリーンシート積層体１０を局所的にプレスすることができる。

ピッチプレス治具８のプレス面８ｂの短辺８ｄの長さは、１ｍｍ以上、５０ｍｍ以下であることが好ましい。ピッチプレス治具８のプレス面８ｂの短辺８ｄの長さが１ｍｍ未満であると、１つのグリーンシート積層体１０をピッチプレスするのに、多くの回数の局所的なプレスが必要になるからである。また、ピッチプレス治具８のプレス面８ｂの短辺８ｄの長さが５０ｍｍを超えると、ピッチプレス治具８のプレス面８ｂよって、大きな圧力でグリーンシート積層体１０をプレスすることが難しくなるからである。

ピッチプレス治具８のプレス面８ｂの長辺８ｃの長さ、短辺８ｄの長さは、それぞれ任意であるが、本実施形態においては、長辺８ｃの長さを４００ｍｍ、短辺８ｄの長さを５ｍｍとした。また、グリーンシート積層体１０の辺１０ａの長さ、辺１０ｂの長さも、それぞれ任意であるが、本実施形態においては、辺１０ａの長さ、および、辺１０ｂの長さを、それぞれ、４００ｍｍとした。

ピッチプレス工程のより具体的な実施内容を、図９（Ａ）～（Ｃ）を参照して説明する。なお、図９（Ａ）～（Ｃ）は、それぞれ、ピッチプレス工程を示す正面図である。

まず、図９（Ａ）に示すように、ピッチプレス治具８を、グリーンシート積層体１０の一方の端部（一方の辺１０ｂの近傍）に下降させ、グリーンシート積層体１０を局所的にプレスする。プレスの圧力の大きさは任意であるが、たとえば、１ＭＰａ以上、２０ＭＰａ以下程度とする。

本実施形態においては、ピッチプレス治具８により、大きな圧力で、グリーンシート積層体１０を局所的にプレスするが、局所的であるため、グリーンシート積層体１０の全体的な形状が変形してしまうことはない。

次に、図示しないが、ピッチプレス治具８を、いったん上昇させたうえ、積層テーブル９を、図における右方向に、５ｍｍ、水平方向に間欠移動させる。この結果、積層テーブル９の上のグリーンシート積層体１０が、図における右方向に、５ｍｍ、水平方向に間欠移動する。なお、積層テーブル９およびグリーンシート積層体１０の間欠移動の大きさを５ｍｍにしたのは、ピッチプレス治具８のプレス面８ｂの短辺８ｄの長さが５ｍｍであるからである。

次に、図示しないが、ピッチプレス治具８を、グリーンシート積層体１０の上に下降させ、２回目の局所的なプレスをおこなう。以降、積層テーブル９およびグリーンシート積層体１０の間欠移動と、ピッチプレス治具８によるグリーンシート積層体１０の局所的なプレス（ピッチプレス）とを交互に繰り返す。

図９（Ｂ）は、４０回の局所的なプレスを終え、積層テーブル９およびグリーンシート積層体１０を第２方向Ｄ２に合計２００ｍｍ移動させ、グリーンシート積層体１０の半分に対して、局所的なプレスを終えたところである。この後、更に、積層テーブル９およびグリーンシート積層体１０の間欠移動と、ピッチプレス治具８によるグリーンシート積層体１０の局所的なプレスを交互に繰り返す。

図９（Ｃ）は、８０回の局所的なプレスを終え、積層テーブル９およびグリーンシート積層体１０を第２方向Ｄ２に合計４００ｍｍ移動させ、グリーンシート積層体１０の全体の局所的なプレスを終え、ピッチプレス工程が終了したところである。

次に、ピッチプレス工程を終えたグリーンシート積層体１０を、積層テーブル９から取外す。本実施形態においては、既に、ピッチプレス工程において、大きな圧力でグリーンシート積層体１０をプレスし、グリーンシート積層体１０が強固に一体化されているため、グリーンシート積層体１０を積層テーブル９から取外すときに、グリーンシート積層体１０が破損することがない。

次に、図示しないが、グリーンシート積層体１０を、カットテーブル上において、複数の分割グリーンシート積層体に分割する。本実施形態においては、縦寸法が４００ｍｍ、横寸法が４００ｍｍのグリーンシート積層体１０を、縦寸法が２００ｍｍ、横寸法が２００ｍｍの４つの分割グリーンシート積層体に分割する。この分割工程においても、既にグリーンシート積層体１０が強固に一体化されているため、グリーンシート積層体１０および分割グリーンシート積層体が破損することがない。

次に、分割グリーンシート積層体に、本プレスを実施する。本プレスは、プレステーブルの上に設けられた枠組みの中に分割グリーンシート積層体を入れ、プレステーブルとプレスヘッドとによって、分割グリーンシート積層体をプレスすることによっておこなう。本プレスは、ピッチプレスよりも、単位面積当たりの圧力を大きくしておこなう。本プレスにおけるプレスの圧力の大きさは任意であるが、たとえば、１０ＭＰａ以上、１００ＭＰａ以下程度とする。この結果、分割グリーンシート積層体が、更に強固に一体化される。この本プレス工程においても、既に分割グリーンシート積層体が強固に一体化されているため、分割グリーンシート積層体が破損することがない。また、分割グリーンシート積層体の層間に設けられた導電膜が流動することがない。

次に、本プレスを終えた分割グリーンシート積層体を、複数の個片のグリーンシート積層体に分割する。

次に、個片に分割されたグリーンシート積層体を、所定のプロファイルで焼成し、セラミック積層体（図示せず）を作製する。

最後に、セラミック積層体の外表面に外部電極を形成して、本実施形態にかかる電子部品（積層セラミックコンデンサ）が完成する。

（実験）
本発明の有効性を確認するために、次の実験をおこなった。

上述した第１実施形態にかかる電子部品の製造方法によって、実施例として、１３００００個の積層セラミックコンデンサを作製した。また、比較のために、上述した第１実施形態にかかる電子部品の製造方法から、ピッチプレス工程だけを省略して、比較例として、１３００００個の積層セラミックコンデンサを作製した。

そして、実施例にかかる積層セラミックコンデンサ、および、比較例にかかる積層セラミックコンデンサについて、それぞれ、初期ショート不良率を調べた。図１０（Ａ）に、実施例および比較例の初期ショート不良率を、それぞれ示す。図１０（Ａ）に示すように、ピッチプレス工程を備えない比較例にかかる積層セラミックコンデンサの初期ショート不良率が約２４％であるのに対し、ピッチプレス工程を備える実施例にかかる積層セラミックコンデンサの初期ショート不良率は約１７％であり、ピッチプレス工程を実施することにより、初期ショート不良率を大きく低減できることが分かった。

また、実施例にかかる積層セラミックコンデンサの製造途中、および、比較例にかかる積層セラミックコンデンサの製造途中に、それぞれ、セラミックグリーンシート積層体の反りの大きさを調べた。具体的には、ピッチプレス工程を経た実施例にかかるセラミックグリーンシート積層体、および、ピッチプレス工程を経ていない比較例にかかるセラミックグリーンシート積層体を、それぞれ、積層テーブル９から取り外し、常温になるまで自然冷却した。次に、縦寸法が４００ｍｍ、横寸法が４００ｍｍの正方形の各グリーンシート積層体を、それぞれ、任意に選んだ１つの辺の近傍において水平に固定した。そして、各グリーンシート積層体の固定した辺に対向する辺が、固定した辺を基準としてどれだけ浮き上がっているかを測定した。図１０（Ｂ）に、実施例および比較例の反り量を、それぞれ示す。図１０（Ｂ）に示すように、ピッチプレス工程を備えない比較例にかかる積層セラミックコンデンサの反り量が約１５．５ｍｍであるのに対し、ピッチプレス工程を経た実施例にかかる積層セラミックコンデンサの反り量は約５．５ｍｍであり、ピッチプレス工程を実施することにより、反り量を大きく低減できることが分かった。

以上の実験結果から、本発明の有効性が確認できた。

第１実施形態にかかる電子部品の製造方法によれば、ピッチプレス工程によって、グリーンシート積層体１０が大きな圧力でプレスされ、グリーンシート積層体１０が強固に一体化される。なお、ピッチプレス工程においては、大きな圧力でグリーンシート積層体１０をプレスするが、局所的であるため、グリーンシート積層体１０の全体的な形状が変形することはない。

そして、第１実施形態にかかる電子部品の製造方法によれば、ピッチプレス工程によって、グリーンシート積層体１０が強固に一体化されるため、グリーンシート積層体１０を積層テーブル９から取外すとき、取外したグリーンシート積層体１０を持運ぶとき、グリーンシート積層体１０を複数の分割グリーンシート積層体に分割するとき、グリーンシート積層体１０または分割グリーンシート積層体を大きな圧力で本プレスするときなどに、グリーンシート積層体１０または分割グリーンシート積層体が破損することがない。

また、第１実施形態にかかる電子部品の製造方法によれば、ピッチプレス工程によって、グリーンシート積層体１０が強固に一体化されるため、本プレス工程における、グリーンシート積層体１０または分割グリーンシート積層体の層間に設けられた導電膜の流動が抑制される。

（第１実施形態の変形例１）
第１実施形態においては、ピッチプレス工程において、図８（Ａ）に示す、先端の断面が台形状で、プレス面８ｂの短辺８ｄが５ｍｍのピッチプレス治具８を使用した。変形例１においては、ピッチプレス治具８に代えて、図１１に示す、先端の断面が矩形状のピッチプレス治具１８を使用する。ピッチプレス治具１８のプレス面１８ｂの短辺１８ｄの長さは、２０ｍｍとした。

変形例１においては、１つのグリーンシート積層体に対するピッチプレス工程のプレス回数を少なくすることができ、電子部品を製造する生産性を向上させることができる。

（第１実施形態の変形例２）
第１実施形態においては、積層工程において、積層テーブル９の上にグリーンシート積層体１０が完成してから、完成したグリーンシート積層体１０に対してピッチプレス工程を実施した。変形例２は、完成したグリーンシート積層体１０に対するピッチプレス工程に加えて、作製途中のグリーンシート積層体１０に対するピッチプレス工程を追加する。具体的には、グリーンシート積層体１０を作製している途中において、たとえば、予定したグリーンシート７の積層枚数の半分になったところで、いったん、作製途中のグリーンシート積層体１０に対するピッチプレス工程を実施する。そして、その後、残りのグリーンシート７を積層し、グリーンシート積層体１０を完成させて、改めて、完成したグリーンシート積層体１０に対するピッチプレス工程を実施する。

変形例２においては、グリーンシート積層体１０を、更に強固に一体化させることができる。

（第１実施形態の変形例３）
第１実施形態においては、ピッチプレス工程において、グリーンシート積層体１０の一方の辺から、対向する他方の辺に向かって、順に、局所的なプレスを実施した。変形例３においては、これに代えて、コンピュータ制御によって、グリーンシート積層体１０の全面を一通りプレスするまで、ランダムな位置（領域）に対して、局所的なプレスを実施する。

変形例３においては、ピッチプレス後のグリーンシート積層体１０の形状を、第１実施形態よりも、より均質にすることができる。

（第１実施形態の変形例４）
第１実施形態においては、ピッチプレス工程においては、グリーンシート積層体１０の一方の辺から、対向する他方の辺に向かって、順に、局所的なプレスを実施した。変形例４においては、これに代えて、グリーンシート積層体１０の一方の辺から、順に、グリーンシート積層体１０の半分をプレスし、その後、対向する他方の辺から、順に、グリーンシート積層体１０の残りの半分をプレスする。

変形例４においても、ピッチプレス後のグリーンシート積層体１０の形状を、第１実施形態よりも、より均質にすることができる。

［第２実施形態］
図１２に、第２実施形態にかかる電子部品の製造方法において使用する電子部品製造装置２０００の要部概略図を示す。

電子部品製造装置２０００は、第１実施形態において使用した電子部品製造装置１０００の構成の一部に変更を加えた。

具体的には、電子部品製造装置１０００では、剥離領域Ａ２におけるキャリアフィルム６からのグリーンシート７の剥離と、剥離領域Ａ２から積層領域Ａ３へのグリーンシート７の搬送と、積層領域Ａ３におけるグリーンシート７の積層に、積層ローラ４を使用した。電子部品製造装置２０００は、これを変更し、剥離領域Ａ２におけるキャリアフィルム６からのグリーンシート７の剥離と、剥離領域Ａ２から積層領域Ａ３へのグリーンシート７の搬送と、積層領域Ａ３におけるグリーンシート７の積層に、積層ヘッド２４を使用する。積層ヘッド２４は、底面に通気孔２４ａが形成されており、時間ごとに、通気孔２４ａの状態を、吸引状態、排気状態（ブロー状態）、大気開放状態などの任意の状態にすることができる。また、積層ヘッド２４は、保持したグリーンシート７を加熱するために、熱源２４ｂが設けられている。積層ヘッド２４は、剥離領域Ａ２と積層領域Ａ３との間を往復移動する。

また、電子部品製造装置１０００では、積層領域Ａ３に、水平方向に往復移動する積層テーブル９を備えていた。電子部品製造装置２０００は、これを変更し、積層領域Ａ３に、水平方向に往復移動しない積層テーブル２９を設けている。積層テーブル２９には、積層テーブル２９上に作製されたグリーンシート積層体１０を加熱するために、熱源２９ａが設けられている。

本実施形態においては、剥離領域Ａ２において、積層ヘッド２４によって、キャリアフィルム６からグリーンシート７を剥離する。具体的には、まず、剥離領域Ａ２において、キャリアフィルム６の搬送を停止させる。次に、積層ヘッド２４を下降させ、底面を、キャリアフィルム６上に設けられたグリーンシート７に当接させ、通気孔２４ａによってグリーンシート７を吸引する。次に、積層ヘッド２４を上昇させることにより、グリーンシート７がキャリアフィルム６から剥離される。剥離されたグリーンシート７は、通気孔２４ａによる吸引によって、積層ヘッド２４の底面に保持される。

次に、図示しないが、積層領域Ａ３において、積層ヘッド２４を下降させ、積層ヘッド２４の底面に保持されたグリーンシート７を、積層テーブル２９の上に作製されたグリーンシート積層体１０の最上層に積層し、加熱圧着する。次に、積層ヘッド２４の通気孔２４ａを、吸引状態から、排気状態（ブロー状態）または大気開放状態に切替えたうえで、積層ヘッド２４を上昇させることによって、積層ヘッド２４に保持されたグリーンシート７の積層テーブル２９の上に作製されたグリーンシート積層体１０への加熱圧着が完了する。なお、加熱圧着の工程においては、積層ヘッド２４を下降させる代わりに、積層テーブル２９を上昇させてもよい。あるいは、積層ヘッド２４を下降させるのに加えて、積層テーブル２９を上昇させてもよい。

次に、ピッチプレス領域Ａ４において、完成したグリーンシート積層体１０に対して、ピッチプレスを実施する。なお、本実施形態においても、積層領域Ａ３とピッチプレス領域Ａ４とは同じ位置である。

第２実施形態においては、ピッチプレス工程に、専用のピッチプレス治具２８を使用する。ピッチプレス治具２８は、第１実施形態のピッチプレス治具８のように積層ローラ４の外周面に取付けられたものではないが、その他の構成については、ピッチプレス治具８と同じになっている。すなわち、ピッチプレス治具２８は、底面にラバーの設けられたプレス面を有している。また、ピッチプレス治具２８は、プレス面が、１対の長辺と１対の短辺とを備えた矩形状をしている。また、ピッチプレス治具２８は、プレス面の１対の長辺の外側に、それぞれ、テーパ部８ｅが設けられており、先端の断面が台形状をしている。

第２実施形態のその他の構成については、第１実施形態と同じにする。

第２実施形態においても、第１実施形態と同様に、ピッチプレス工程によって、グリーンシート積層体１０を強固に一体化させることができる。

以上、第１実施形態、第２実施形態にかかる電子部品の製造方法について説明した。また、第１実施形態、第２実施形態において使用する電子部品製造装置１０００、２０００について説明した。しかしながら、本発明が上述した内容に限定されることはなく、発明の趣旨に沿って種々の変更をなすことができる。

たとえば、上記実施形態では、電子部品として積層セラミックコンデンサを製造したが、製造する電子部品は積層セラミックコンデンサには限られず、他の種類の電子部品であってもよい。

また、上記実施形態では、ピッチプレス工程において、先におこなった局所的なプレスのプレス面と、次の局所的なプレスのプレス面との間に、重なりを設けなかったが、両者の間に重なりを設けてもよい。あるいは、逆に、先におこなった局所的なプレスのプレス面と、次の局所的なプレスのプレス面との間に、プレスをおこなわない領域を設けてもよい。

また、上記実施形態では、ピッチプレス工程において、ピッチプレスを受けるグリーンシート積層体１０を間欠的に移動させてずらしたが、これに代えて、ピッチプレス治具８、１８、２８を間欠的に移動させてずらしてもよい。

また、上記実施形態では、積層ローラ４に熱源４ｂ、積層ヘッド２４に熱源２４ｂを設けるとともに、積層テーブル９、２９に熱源９ａ、２９ａを設けたが、熱源４ｂ、２４ｂか、または、熱源９ａ、２９ａかのいずれか一方を省略してもよい。

また、電子部品製造装置１０００では、積層ローラ４が通気孔４ａを備えたサクションローラであったが、積層ローラ４は通気孔を備えないローラであってもよい。また、電子部品製造装置２０００において、積層ヘッド２４から、通気孔２４ａを省略してもよい。

上述したとおり、本発明の一実施形態にかかる電子部品の製造方法は、複数のセラミックのグリーンシートを作製する、グリーンシート作製工程と、複数のグリーンシートを積層テーブル上に積層してグリーンシート積層体を作製する、グリーンシート積層体作製工程と、グリーンシート積層体を焼成してセラミック素体を作製する、焼成工程と、を備えた電子部品の製造方法であって、積層テーブル上において、作製中のグリーンシート積層体、または、作製されたグリーンシート積層体に対して、局所的なプレスを、位置を変えて繰返して実施する、ピッチプレス工程を更に備えたものとする。

この電子部品の製造方法において、グリーンシート作製工程において、特定のグリーンシート上に導電膜を形成してもよい。この場合には、導電膜が、完成した電子部品の内部電極になる。

また、グリーンシート積層体作製工程が、積層ローラを使用して実施され、ピッチプレス工程が、積層ローラの外周面に設けられたピッチプレス治具を使用して実施されるものであってもよい。この場合には、別途、専用のピッチプレス治具を設けなくても、ピッチプレス工程を実施することができる。

あるいは、グリーンシート積層体作製工程が、積層ヘッドを使用して実施され、ピッチプレス工程が、別途設けられたピッチプレス治具を使用して実施されるものであってもよい。

また、グリーンシート積層体は、グリーンシートの積層方向に見たとき、第１方向に伸びる１対の辺と第２方向に伸びる１対の辺とを備えた矩形状であり、ピッチプレス工程は、グリーンシート積層体、または、ピッチプレス治具の底面に設けられたプレス面を、第１方向に移動させながら、局所的なプレスを繰返して実施するものであってもよい。

また、ピッチプレス治具のプレス面が、１対の長辺および１対の短辺を備えた矩形状であり、ピッチプレス工程は、ピッチプレス治具のプレス面の長辺を、第２方向に配置して実施するものであってもよい。

また、ピッチプレス治具のプレス面の長辺の長さが、グリーンシート積層体の第２方向に伸びる１対の辺の長さと同じであるか、または、グリーンシート積層体の第２方向に伸びる１対の辺の長さよりも大きいものであってもよい。

ピッチプレス治具のプレス面の短辺の長さは、１ｍｍ以上、５０ｍｍ以下であることが好ましい。１ｍｍ未満であると、１つのグリーンシート積層体のピッチプレスに、多くの回数の局所的なプレスが必要になってしまうからである。また、５０ｍｍを超えると、ピッチプレス治具のプレス面よって、大きな圧力でグリーンシート積層体をプレスすることが難しくなるからである。

また、ピッチプレス治具のプレス面にラバーが設けられることも好ましい。この場合には、グリーンシート積層体に、多数の導電膜が積層された領域や、少数の導電膜が積層された領域や、導電膜が積層されていない領域が存在していても、各領域に加える圧力を均一に近づけることができる。

また、第２方向に直交するピッチプレス治具の断面を見たとき、先端が矩形状であってもよい。あるいは、先端が下底および上底を有する台形状であり、上底がプレス面を構成するものであってもよい。

また、ピッチプレス工程は、ピッチプレス治具を、第１方向にランダムに移動させながら、局所的なプレスを繰返して実施するものであることも好ましい。この場合には、ピッチプレス後のグリーンシート積層体の形状を均質にすることができる。

あるいは、ピッチプレス工程は、前半工程と後半工程とを含み、前半工程は、グリーンシート積層体の第２方向に伸びる１対の辺のうちの一方側から、第２方向に伸びる１対の辺のうちの他方側に向かって、ピッチプレス治具を第１方向に、順次、移動させて局所的なプレスを繰返して実施し、グリーンシート積層体の所定の面積をプレスするものであり、後半工程は、グリーンシート積層体の第２方向に伸びる１対の辺のうちの他方側から、第２方向に伸びる１対の辺のうちの一方側に向かって、ピッチプレス治具を第１方向に、順次、移動させて局所的なプレスを繰返して実施し、グリーンシート積層体の残りの面積をプレスするものであることも好ましい。この場合にも、ピッチプレス後のグリーンシート積層体の形状を均質にすることができる。

また、積層テーブルから取外したグリーンシート積層体を、複数の分割グリーンシート積層体に分割する、分割工程を更に備えてもよい。

また、積層テーブルから取外したグリーンシート積層体、または、分割グリーンシート積層体に対して、単位面積あたりにおいて、ピッチプレス工程よりも大きな圧力でプレスを実施する、本プレス工程を更に備えてもよい。

１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ・・・搬送ローラ
３ａ、３ｂ・・・カット刃
４・・・積層ローラ
４ａ・・・通気孔
４ｂ・・・熱源
５・・・マザーグリーンシート
６・・・キャリアフィルム
７・・・グリーンシート
８、１８、２８・・・ピッチプレス治具
８ａ、１８ａ・・・ラバー
８ｂ、１８ｂ・・・プレス面
８ｃ・・・長辺
８ｄ・・・短辺
８ｅ・・・テーパ部
９、２９・・・積層テーブル
９ａ、２９ａ・・・熱源

Claims (16)

1. 複数のセラミックのグリーンシートを作製する、グリーンシート作製工程と、
   複数の前記グリーンシートを積層テーブル上に積層してグリーンシート積層体を作製する、グリーンシート積層体作製工程と、
   前記グリーンシート積層体を焼成してセラミック素体を作製する、焼成工程と、を備えた電子部品の製造方法であって、
   前記積層テーブル上において、
   作製中の前記グリーンシート積層体、または、作製された前記グリーンシート積層体に対して、
   局所的なプレスを、位置を変えて繰返して実施する、ピッチプレス工程を更に備えた、
   電子部品の製造方法。
2. 前記グリーンシート作製工程において、
   特定の前記グリーンシート上に導電膜を形成する、
   請求項１に記載された電子部品の製造方法。
3. 前記グリーンシート積層体作製工程が、積層ローラを使用して実施され、
   前記ピッチプレス工程が、前記積層ローラの外周面に設けられたピッチプレス治具を使用して実施される、
   請求項１または２に記載された電子部品の製造方法。
4. 前記グリーンシート積層体作製工程が、積層ヘッドを使用して実施され、
   前記ピッチプレス工程が、別途設けられたピッチプレス治具を使用して実施される、
   請求項１または２に記載された電子部品の製造方法。
5. 前記グリーンシート積層体は、前記グリーンシートの積層方向に見たとき、第１方向に伸びる１対の辺と第２方向に伸びる１対の辺とを備えた矩形状であり、
   前記ピッチプレス工程は、前記グリーンシート積層体、または、前記ピッチプレス治具の底面に設けられたプレス面を、前記第１方向に移動させながら、局所的なプレスを繰返して実施するものである、
   請求項３または４に記載された電子部品の製造方法。
6. 前記ピッチプレス治具の前記プレス面が、１対の長辺および１対の短辺を備えた矩形状であり、
   前記ピッチプレス工程は、前記ピッチプレス治具の前記プレス面の前記長辺を、前記第２方向に配置して実施するものである、
   請求項５に記載された電子部品の製造方法。
7. 前記ピッチプレス治具の前記プレス面の前記長辺の長さが、
   前記グリーンシート積層体の前記第２方向に伸びる前記１対の辺の長さと同じであるか、または、前記グリーンシート積層体の前記第２方向に伸びる前記１対の辺の長さよりも大きい、
   請求項６に記載された電子部品の製造方法。
8. 前記ピッチプレス治具の前記プレス面の前記短辺の長さが、１ｍｍ以上、５０ｍｍ以下である、
   請求項６または７に記載された電子部品の製造方法。
9. 前記ピッチプレス治具の前記プレス面にラバーが設けられた、
   請求項５ないし８のいずれか１項に記載された電子部品の製造方法。
10. 前記第２方向に直交する前記ピッチプレス治具の断面を見たとき、先端が矩形状である、
    請求項５ないし９のいずれか１項に記載された電子部品の製造方法。
11. 前記第２方向に直交する前記ピッチプレス治具の断面を見たとき、先端が下底および上底を有する台形状であり、前記上底が前記プレス面を構成する、
    請求項５ないし９のいずれか１項に記載された電子部品の製造方法。
12. 前記ピッチプレス工程は、前記ピッチプレス治具を、前記第１方向にランダムに移動させながら、局所的なプレスを繰返して実施するものである、
    請求項５ないし１１のいずれか１項に記載された電子部品の製造方法。
13. 前記ピッチプレス工程は、前半工程と後半工程とを含み、
    前記前半工程は、前記グリーンシート積層体の前記第２方向に伸びる前記１対の辺のうちの一方側から、前記第２方向に伸びる前記１対の辺のうちの他方側に向かって、前記ピッチプレス治具を前記第１方向に、順次、移動させて局所的なプレスを繰返して実施し、前記グリーンシート積層体の所定の面積をプレスするものであり、
    前記後半工程は、前記グリーンシート積層体の前記第２方向に伸びる前記１対の辺のうちの他方側から、前記第２方向に伸びる前記１対の辺のうちの一方側に向かって、前記ピッチプレス治具を前記第１方向に、順次、移動させて局所的なプレスを繰返して実施し、前記グリーンシート積層体の残りの面積をプレスするものである、
    請求項５ないし１１のいずれか１項に記載された電子部品の製造方法。
14. 前記積層テーブルから取外した前記グリーンシート積層体を、複数の分割グリーンシート積層体に分割する、分割工程を更に備えた、
    請求項１ないし１３のいずれか１項に記載された電子部品の製造方法。
15. 前記積層テーブルから取外した前記グリーンシート積層体、または、前記分割グリーンシート積層体に対して、
    単位面積あたりにおいて、前記ピッチプレス工程よりも大きな圧力でプレスを実施する、本プレス工程を更に備えた、
    請求項１ないし１４のいずれか１項に記載された電子部品の製造方法。
16. 外周面に保持したグリーンシートを積層テーブル上に積層する積層ローラを備えた電子部品製造装置であって、
    前記積層ローラの前記外周面に、ピッチプレス治具が設けられた、
    電子部品製造装置。

Images