JP2001044072A - 積層セラミック電子部品のためのセラミック積層体の製造方法および装置 - Google Patents
積層セラミック電子部品のためのセラミック積層体の製造方法および装置Info
- Publication number
- JP2001044072A JP2001044072A JP11215011A JP21501199A JP2001044072A JP 2001044072 A JP2001044072 A JP 2001044072A JP 11215011 A JP11215011 A JP 11215011A JP 21501199 A JP21501199 A JP 21501199A JP 2001044072 A JP2001044072 A JP 2001044072A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- endless belt
- ceramic
- ceramic green
- green sheet
- ceramic laminate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Belt Conveyors (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 セラミックグリーンシートの積み重ねと内部
電極のための導電性ペーストの印刷および加熱乾燥とを
繰り返して積層セラミック電子部品のためのセラミック
積層体を得ようとするとき、グリーンシートの積み重ね
を実施するための台の熱容量が大きいと、加熱乾燥工程
の後での残熱量によってグリーンシートが過度に収縮
し、品質の優れたセラミック積層体を得られないことが
ある。 【解決手段】 多角柱状ホイール12,13に巻掛けさ
れた搬送用エンドレスベルト16を周回させながら、エ
ンドレスベルト16上で、供給手段23によるセラミッ
クグリーンシート22の供給、ペースト付与手段38に
よる内部電極のための導電性ペーストの付与、乾燥手段
41による導電性ペーストの乾燥を繰り返して行なうよ
うにしながら、搬送用エンドレスベルト16において金
属箔を用い、その熱容量を小さいものとする。
電極のための導電性ペーストの印刷および加熱乾燥とを
繰り返して積層セラミック電子部品のためのセラミック
積層体を得ようとするとき、グリーンシートの積み重ね
を実施するための台の熱容量が大きいと、加熱乾燥工程
の後での残熱量によってグリーンシートが過度に収縮
し、品質の優れたセラミック積層体を得られないことが
ある。 【解決手段】 多角柱状ホイール12,13に巻掛けさ
れた搬送用エンドレスベルト16を周回させながら、エ
ンドレスベルト16上で、供給手段23によるセラミッ
クグリーンシート22の供給、ペースト付与手段38に
よる内部電極のための導電性ペーストの付与、乾燥手段
41による導電性ペーストの乾燥を繰り返して行なうよ
うにしながら、搬送用エンドレスベルト16において金
属箔を用い、その熱容量を小さいものとする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、積層セラミック
電子部品のためのセラミック積層体の製造方法および装
置に関するものである。
電子部品のためのセラミック積層体の製造方法および装
置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図4には、この発明にとって興味ある積
層セラミック電子部品の一例としての積層セラミックコ
ンデンサ1が断面図で示されている。
層セラミック電子部品の一例としての積層セラミックコ
ンデンサ1が断面図で示されている。
【0003】積層セラミックコンデンサ1は、セラミッ
ク積層体2を備える。セラミック積層体2の積層方向に
おける中間部には、複数の内部電極3がそれぞれセラミ
ック層4を介して積層されている内部電極形成部5が形
成され、同じく積層方向における両外側部には、内部電
極3が形成されずセラミック層4のみが積層されている
外層部6および7が形成される。
ク積層体2を備える。セラミック積層体2の積層方向に
おける中間部には、複数の内部電極3がそれぞれセラミ
ック層4を介して積層されている内部電極形成部5が形
成され、同じく積層方向における両外側部には、内部電
極3が形成されずセラミック層4のみが積層されている
外層部6および7が形成される。
【0004】上述の内部電極3には、セラミック積層体
2の一方の端面8にまで引き出されるものと、他方の端
面9にまで引き出されるものとがあり、これらは交互に
配置されている。また、これら端面8および9をそれぞ
れ覆うように、外部電極10および11が形成され、そ
れによって、内部電極3は、端面8または9上におい
て、いずれかの外部電極10または11に接続される。
2の一方の端面8にまで引き出されるものと、他方の端
面9にまで引き出されるものとがあり、これらは交互に
配置されている。また、これら端面8および9をそれぞ
れ覆うように、外部電極10および11が形成され、そ
れによって、内部電極3は、端面8または9上におい
て、いずれかの外部電極10または11に接続される。
【0005】このような積層セラミックコンデンサ1の
ためのセラミック積層体2を得るため、従来、生のセラ
ミック積層体が製造され、この生のセラミック積層体を
製造するため、たとえば、金属のような剛体からなる搬
送プレートを用い、この搬送プレートを台として、その
上で、セラミック層4となる複数のセラミックグリーン
シートの積み重ねを行なうとともに、内部電極形成部5
においては、セラミックグリーンシートの積み重ねと内
部電極3となるべき導電性ペーストの印刷とを繰り返
し、また、この導電性ペーストの各印刷後に加熱乾燥す
ることが行なわれている。また、積み重ねられた複数の
セラミックグリーンシート相互間の密着性を高めるた
め、各セラミックグリーンシートの積み重ねにあたっ
て、搬送プレート等を通じてセラミックグリーンシート
が加熱される。
ためのセラミック積層体2を得るため、従来、生のセラ
ミック積層体が製造され、この生のセラミック積層体を
製造するため、たとえば、金属のような剛体からなる搬
送プレートを用い、この搬送プレートを台として、その
上で、セラミック層4となる複数のセラミックグリーン
シートの積み重ねを行なうとともに、内部電極形成部5
においては、セラミックグリーンシートの積み重ねと内
部電極3となるべき導電性ペーストの印刷とを繰り返
し、また、この導電性ペーストの各印刷後に加熱乾燥す
ることが行なわれている。また、積み重ねられた複数の
セラミックグリーンシート相互間の密着性を高めるた
め、各セラミックグリーンシートの積み重ねにあたっ
て、搬送プレート等を通じてセラミックグリーンシート
が加熱される。
【0006】このように、搬送プレートとして、剛体か
らなるものが用いられるのは、次の理由による。
らなるものが用いられるのは、次の理由による。
【0007】前述のように、複数のセラミックグリーン
シートの積み重ねおよび内部電極3の形成の各工程を繰
り返し実施することによって、生のセラミック積層体を
得ようとする場合、高い位置精度をもって内部電極3を
形成するためには、搬送プレートの位置決め精度を高め
る必要がある。したがって、搬送プレートとしては、歪
みが少なく、かつ高精度の位置決めが容易なものである
ことが望ましく、そのため、剛体からなるものが採用さ
れる。
シートの積み重ねおよび内部電極3の形成の各工程を繰
り返し実施することによって、生のセラミック積層体を
得ようとする場合、高い位置精度をもって内部電極3を
形成するためには、搬送プレートの位置決め精度を高め
る必要がある。したがって、搬送プレートとしては、歪
みが少なく、かつ高精度の位置決めが容易なものである
ことが望ましく、そのため、剛体からなるものが採用さ
れる。
【0008】また、生のセラミック積層体の製造過程で
曲げなどの応力を受けると、その内部において層剥がれ
などの欠陥が生じ、デラミネーションなどの不良を引き
起こす原因となる。このような曲げなどの応力を、生の
セラミック積層体が、その製造過程において受けないよ
うにするためには、搬送プレートが容易に変形するもの
であってはならず、そのため、剛体からなる搬送プレー
トを採用している。
曲げなどの応力を受けると、その内部において層剥がれ
などの欠陥が生じ、デラミネーションなどの不良を引き
起こす原因となる。このような曲げなどの応力を、生の
セラミック積層体が、その製造過程において受けないよ
うにするためには、搬送プレートが容易に変形するもの
であってはならず、そのため、剛体からなる搬送プレー
トを採用している。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た生のセラミック積層体を得るための製造過程で取り扱
われるセラミックグリーンシートは、加熱により収縮す
る性質を有している。また、剛体からなる搬送プレート
は、比較的大きな熱容量を有している。
た生のセラミック積層体を得るための製造過程で取り扱
われるセラミックグリーンシートは、加熱により収縮す
る性質を有している。また、剛体からなる搬送プレート
は、比較的大きな熱容量を有している。
【0010】このようなことから、内部電極3のための
導電性ペーストを印刷後に加熱乾燥しようとするとき、
搬送プレートの熱容量が比較的大きいため、搬送プレー
ト上のセラミックグリーンシートの温度上昇が比較的遅
くなるばかりでなく、残熱量も比較的大きいことから、
温度下降も比較的遅くなる。
導電性ペーストを印刷後に加熱乾燥しようとするとき、
搬送プレートの熱容量が比較的大きいため、搬送プレー
ト上のセラミックグリーンシートの温度上昇が比較的遅
くなるばかりでなく、残熱量も比較的大きいことから、
温度下降も比較的遅くなる。
【0011】その結果、積み重ねられた複数のセラミッ
クグリーンシートが受ける熱量は、内部電極3のための
導電性ペーストの乾燥にとって必要な熱量を超えてしま
う。同様のことが、積み重ねられた複数のセラミックグ
リーンシート間の密着性を高めるために搬送プレートを
通してセラミックグリーンシートに及ぼされる熱につい
ても言える。
クグリーンシートが受ける熱量は、内部電極3のための
導電性ペーストの乾燥にとって必要な熱量を超えてしま
う。同様のことが、積み重ねられた複数のセラミックグ
リーンシート間の密着性を高めるために搬送プレートを
通してセラミックグリーンシートに及ぼされる熱につい
ても言える。
【0012】前述したように、セラミックグリーンシー
トは、加熱により収縮する性質を有しているが、上述し
たような過剰な熱がセラミックグリーンシートに及ぼさ
れることにより、次のような不都合がもたらされること
がある。
トは、加熱により収縮する性質を有しているが、上述し
たような過剰な熱がセラミックグリーンシートに及ぼさ
れることにより、次のような不都合がもたらされること
がある。
【0013】搬送プレート上でセラミックグリーンシー
トが積み重ねられるとき、搬送プレートにより近い側に
位置するセラミックグリーンシートほど、搬送プレート
を通じて加熱される時間が長くなり、応じて、搬送プレ
ートから及ぼされる熱量が大きくなり、そのため、収縮
の度合いも大きくなる。その結果、搬送プレート上で得
られた生のセラミック積層体において、それを構成する
複数のセラミックグリーンシートの各々の収縮度合いに
差が生じ、内部電極3の位置ずれが生じたり、極端な場
合には、生のセラミック積層体の断面が逆台形状に変形
してしまうこともある。
トが積み重ねられるとき、搬送プレートにより近い側に
位置するセラミックグリーンシートほど、搬送プレート
を通じて加熱される時間が長くなり、応じて、搬送プレ
ートから及ぼされる熱量が大きくなり、そのため、収縮
の度合いも大きくなる。その結果、搬送プレート上で得
られた生のセラミック積層体において、それを構成する
複数のセラミックグリーンシートの各々の収縮度合いに
差が生じ、内部電極3の位置ずれが生じたり、極端な場
合には、生のセラミック積層体の断面が逆台形状に変形
してしまうこともある。
【0014】そこで、この発明の目的は、上述したよう
な問題を解決し得る、積層セラミック電子部品のための
セラミック積層体の製造方法および装置を提供しようと
することである。
な問題を解決し得る、積層セラミック電子部品のための
セラミック積層体の製造方法および装置を提供しようと
することである。
【0015】
【課題を解決するための手段】この発明は、まず、積み
重ねられた複数のセラミックグリーンシートおよびこれ
らセラミックグリーンシートの所定の界面に沿って形成
された内部電極を備える、積層セラミック電子部品のた
めのセラミック積層体を製造する方法に向けられるもの
であって、上述した技術的課題を解決するため、次のよ
うな構成を備えることを特徴としている。
重ねられた複数のセラミックグリーンシートおよびこれ
らセラミックグリーンシートの所定の界面に沿って形成
された内部電極を備える、積層セラミック電子部品のた
めのセラミック積層体を製造する方法に向けられるもの
であって、上述した技術的課題を解決するため、次のよ
うな構成を備えることを特徴としている。
【0016】すなわち、この発明を実施するにあたり、
周面上に複数の平面部分が周方向に連なって形成されか
つ軸線を互いに平行に向けた状態で配置される少なくと
も2つの多角柱状ホイールと、これら多角柱状ホイール
の周面に巻掛けされかつ多角柱状ホイールの回転を伴っ
て周回する金属箔からなる搬送用エンドレスベルトとを
備える装置が用意される。この装置において、搬送用エ
ンドレスベルトが周回する間、当該搬送用エンドレスベ
ルトにおける一定の領域が各多角柱状ホイールの周面上
の各平面部分に接触するように設定される。
周面上に複数の平面部分が周方向に連なって形成されか
つ軸線を互いに平行に向けた状態で配置される少なくと
も2つの多角柱状ホイールと、これら多角柱状ホイール
の周面に巻掛けされかつ多角柱状ホイールの回転を伴っ
て周回する金属箔からなる搬送用エンドレスベルトとを
備える装置が用意される。この装置において、搬送用エ
ンドレスベルトが周回する間、当該搬送用エンドレスベ
ルトにおける一定の領域が各多角柱状ホイールの周面上
の各平面部分に接触するように設定される。
【0017】そして、搬送用エンドレスベルトを周回さ
せ、かつ予め成形された長尺のセラミックグリーンシー
トを搬送用エンドレスベルト上へ供給する、供給工程
と、搬送用エンドレスベルト上のセラミックグリーンシ
ートを、多角柱状ホイールの各平面部分上に位置する部
分毎にカットする、カット工程と、セラミックグリーン
シート上に所定のパターンを有する内部電極を形成する
ため、導電性ペーストをセラミックグリーンシート上に
付与する、ペースト付与工程と、搬送用エンドレスベル
トを周回させながら、導電性ペーストを加熱乾燥する、
乾燥工程とが実施される。
せ、かつ予め成形された長尺のセラミックグリーンシー
トを搬送用エンドレスベルト上へ供給する、供給工程
と、搬送用エンドレスベルト上のセラミックグリーンシ
ートを、多角柱状ホイールの各平面部分上に位置する部
分毎にカットする、カット工程と、セラミックグリーン
シート上に所定のパターンを有する内部電極を形成する
ため、導電性ペーストをセラミックグリーンシート上に
付与する、ペースト付与工程と、搬送用エンドレスベル
トを周回させながら、導電性ペーストを加熱乾燥する、
乾燥工程とが実施される。
【0018】また、上述した供給工程とカット工程とペ
ースト付与工程と乾燥工程とは繰り返し実施され、それ
によって、複数のセラミックグリーンシートおよび内部
電極を備える生のセラミック積層体を、多角柱状ホイー
ルの各平面部分に接触する搬送用エンドレスベルトの各
領域上で作製する工程と、多角柱状ホイールの各平面部
分に接触する搬送用エンドレスベルトの各領域上の生の
セラミック積層体を取り出す工程とが実施される。
ースト付与工程と乾燥工程とは繰り返し実施され、それ
によって、複数のセラミックグリーンシートおよび内部
電極を備える生のセラミック積層体を、多角柱状ホイー
ルの各平面部分に接触する搬送用エンドレスベルトの各
領域上で作製する工程と、多角柱状ホイールの各平面部
分に接触する搬送用エンドレスベルトの各領域上の生の
セラミック積層体を取り出す工程とが実施される。
【0019】この発明は、また、積み重ねられた複数の
セラミックグリーンシートおよびこれらセラミックグリ
ーンシートの所定の界面に沿って形成された内部電極を
備える、積層セラミック電子部品のためのセラミック積
層体を製造する装置にも向けられる。この製造装置は、
上述した技術的課題を解決するため、次のような構成を
備えることを特徴としている。
セラミックグリーンシートおよびこれらセラミックグリ
ーンシートの所定の界面に沿って形成された内部電極を
備える、積層セラミック電子部品のためのセラミック積
層体を製造する装置にも向けられる。この製造装置は、
上述した技術的課題を解決するため、次のような構成を
備えることを特徴としている。
【0020】すなわち、この発明に係る製造装置は、周
面上に複数の平面部分が周方向に連なって形成されかつ
軸線を互いに平行に向けた状態で配置される少なくとも
2つの多角柱状ホイールと、これら多角柱状ホイールの
周面に巻掛けされかつ多角柱状ホイールの回転を伴って
周回する金属箔からなる搬送用エンドレスベルトとを備
える。ここにおいて、搬送用エンドレスベルトが周回す
る間、当該搬送用エンドレスベルトにおける一定の領域
が各多角柱状ホイールの周面上の各平面部分に接触する
ように設定される。
面上に複数の平面部分が周方向に連なって形成されかつ
軸線を互いに平行に向けた状態で配置される少なくとも
2つの多角柱状ホイールと、これら多角柱状ホイールの
周面に巻掛けされかつ多角柱状ホイールの回転を伴って
周回する金属箔からなる搬送用エンドレスベルトとを備
える。ここにおいて、搬送用エンドレスベルトが周回す
る間、当該搬送用エンドレスベルトにおける一定の領域
が各多角柱状ホイールの周面上の各平面部分に接触する
ように設定される。
【0021】さらに、この製造装置は、搬送用エンドレ
スベルトの周回経路上の第1の固定位置において、予め
成形された長尺のセラミックグリーンシートを搬送用エ
ンドレスベルト上へ供給することによって、セラミック
グリーンシートを搬送用エンドレスベルト上で積層する
ための供給手段と、搬送用エンドレスベルトの周回経路
上の第2の固定位置において、搬送用エンドレスベルト
上のセラミックグリーンシートを、多角柱状ホイールの
各平面部分上に位置する部分毎にカットするためのカッ
ト手段と、搬送用エンドレスベルトの周回経路上の第3
の固定位置において、セラミックグリーンシート上に所
定のパターンを有する内部電極を形成するため、導電性
ペーストをセラミックグリーンシート上に付与するため
のペースト付与手段と、搬送用エンドレスベルトを周回
させながら、導電性ペーストを加熱乾燥するための乾燥
手段と、多角柱状ホイールの各平面部分に接触する搬送
用エンドレスベルトの各領域上で得られた、複数のセラ
ミックグリーンシートおよび内部電極を備える生のセラ
ミック積層体を取り出すための取り出し手段とを備えて
いる。
スベルトの周回経路上の第1の固定位置において、予め
成形された長尺のセラミックグリーンシートを搬送用エ
ンドレスベルト上へ供給することによって、セラミック
グリーンシートを搬送用エンドレスベルト上で積層する
ための供給手段と、搬送用エンドレスベルトの周回経路
上の第2の固定位置において、搬送用エンドレスベルト
上のセラミックグリーンシートを、多角柱状ホイールの
各平面部分上に位置する部分毎にカットするためのカッ
ト手段と、搬送用エンドレスベルトの周回経路上の第3
の固定位置において、セラミックグリーンシート上に所
定のパターンを有する内部電極を形成するため、導電性
ペーストをセラミックグリーンシート上に付与するため
のペースト付与手段と、搬送用エンドレスベルトを周回
させながら、導電性ペーストを加熱乾燥するための乾燥
手段と、多角柱状ホイールの各平面部分に接触する搬送
用エンドレスベルトの各領域上で得られた、複数のセラ
ミックグリーンシートおよび内部電極を備える生のセラ
ミック積層体を取り出すための取り出し手段とを備えて
いる。
【0022】この発明において、上述のように、セラミ
ックグリーンシートを搬送用エンドレスベルト上へ供給
するとき、セラミックグリーンシートを加熱しながら搬
送用エンドレスベルト上へ供給するようにすることが好
ましい。
ックグリーンシートを搬送用エンドレスベルト上へ供給
するとき、セラミックグリーンシートを加熱しながら搬
送用エンドレスベルト上へ供給するようにすることが好
ましい。
【0023】また、この発明は、キャリアフィルムによ
って裏打ちされていないセラミックグリーンシートを取
り扱う場合に特に有利に適用される。この場合、搬送用
エンドレスベルト上へ供給されるセラミックグリーンシ
ートは、キャリヤフィルムによって裏打ちされていない
状態であり、この発明に係る製造装置は、好ましくは、
セラミックグリーンシートを搬送用エンドレスベルト上
へ供給するように送るための送り用エンドレスベルトを
さらに備え、セラミックグリーンシートは、送り用エン
ドレスベルトによって保持された状態で送られることに
よって、搬送用エンドレスベルト上へ供給される。
って裏打ちされていないセラミックグリーンシートを取
り扱う場合に特に有利に適用される。この場合、搬送用
エンドレスベルト上へ供給されるセラミックグリーンシ
ートは、キャリヤフィルムによって裏打ちされていない
状態であり、この発明に係る製造装置は、好ましくは、
セラミックグリーンシートを搬送用エンドレスベルト上
へ供給するように送るための送り用エンドレスベルトを
さらに備え、セラミックグリーンシートは、送り用エン
ドレスベルトによって保持された状態で送られることに
よって、搬送用エンドレスベルト上へ供給される。
【0024】この発明に係る製造装置において、供給手
段によって搬送用エンドレスベルト上へ供給されるセラ
ミックグリーンシートを、この搬送用エンドレスベルト
上へ供給する前に予め加熱するための予備加熱手段をさ
らに備えていることが好ましい。このように、搬送用エ
ンドレスベルト上へ供給する前に、セラミックグリーン
シートを予め加熱すれば、この段階でセラミックグリー
ンシートをある程度収縮させることになる。
段によって搬送用エンドレスベルト上へ供給されるセラ
ミックグリーンシートを、この搬送用エンドレスベルト
上へ供給する前に予め加熱するための予備加熱手段をさ
らに備えていることが好ましい。このように、搬送用エ
ンドレスベルト上へ供給する前に、セラミックグリーン
シートを予め加熱すれば、この段階でセラミックグリー
ンシートをある程度収縮させることになる。
【0025】また、この発明に係る製造方法において、
カット工程は、1回の供給工程を終えて1層のセラミッ
クグリーンシートが供給される毎に実施されるのが好ま
しい。
カット工程は、1回の供給工程を終えて1層のセラミッ
クグリーンシートが供給される毎に実施されるのが好ま
しい。
【0026】また、この発明において、生のセラミック
積層体を取り出すため、生のセラミック積層体を真空吸
引に基づき吸着しかつ保持するための吸着ヘッドが用い
られるとき、搬送用エンドレスベルトを、吸着ヘッドに
よって吸着されようとする生のセラミック積層体を保持
している部分において生のセラミック積層体から離れる
方向に湾曲させるようにすることが好ましい。
積層体を取り出すため、生のセラミック積層体を真空吸
引に基づき吸着しかつ保持するための吸着ヘッドが用い
られるとき、搬送用エンドレスベルトを、吸着ヘッドに
よって吸着されようとする生のセラミック積層体を保持
している部分において生のセラミック積層体から離れる
方向に湾曲させるようにすることが好ましい。
【0027】また、この発明において、導電性ペースト
をセラミックグリーンシート上へ付与する毎に、導電性
ペーストを付与する位置を変えるようにしてもよい。
をセラミックグリーンシート上へ付与する毎に、導電性
ペーストを付与する位置を変えるようにしてもよい。
【0028】また、この発明において、セラミックグリ
ーンシート上に導電性ペーストを付与した位置を画像処
理によって検出し、この検出された位置情報に基づい
て、次の導電性ペーストを付与すべき位置を決定するよ
うにしてもよい。
ーンシート上に導電性ペーストを付与した位置を画像処
理によって検出し、この検出された位置情報に基づい
て、次の導電性ペーストを付与すべき位置を決定するよ
うにしてもよい。
【0029】
【発明の実施の形態】以下に、この発明を、図4に示し
たような積層セラミックコンデンサ1のためのセラミッ
ク積層体2の製造に適用した実施形態に関連して説明す
る。
たような積層セラミックコンデンサ1のためのセラミッ
ク積層体2の製造に適用した実施形態に関連して説明す
る。
【0030】図1は、この発明の一実施形態によるセラ
ミック積層体の製造装置を示している。
ミック積層体の製造装置を示している。
【0031】図1を参照して、2つの多角柱状ホイール
12および13が軸線を互いに平行に向けた状態で配置
される。これら多角柱状ホイール12および13の周面
上には、それぞれ、複数の平面部分14および15が周
方向に連なって形成されている。なお、図示の実施形態
では、多角柱状ホイール12および13は、ともに六角
柱状であり、各々6つの平面部分14および15を形成
しているが、他の多角柱状に変更されてもよく、また、
多角柱状ホイール12および13は互いに異なる形状で
あってもよい。また、このような多角柱状ホイールは、
必要に応じて、3つ以上設けられてもよい。
12および13が軸線を互いに平行に向けた状態で配置
される。これら多角柱状ホイール12および13の周面
上には、それぞれ、複数の平面部分14および15が周
方向に連なって形成されている。なお、図示の実施形態
では、多角柱状ホイール12および13は、ともに六角
柱状であり、各々6つの平面部分14および15を形成
しているが、他の多角柱状に変更されてもよく、また、
多角柱状ホイール12および13は互いに異なる形状で
あってもよい。また、このような多角柱状ホイールは、
必要に応じて、3つ以上設けられてもよい。
【0032】上述した多角柱状ホイール12および13
の周面には、搬送用エンドレスベルト16が巻掛けされ
る。搬送用エンドレスベルト16は、熱容量を小さくす
るため、たとえばステンレス鋼のような金属を材質とす
る金属箔から構成される。
の周面には、搬送用エンドレスベルト16が巻掛けされ
る。搬送用エンドレスベルト16は、熱容量を小さくす
るため、たとえばステンレス鋼のような金属を材質とす
る金属箔から構成される。
【0033】搬送用エンドレスベルト16は、多角柱状
ホイール12および13の回転を伴って矢印17方向に
周回する。このエンドレスベルト16の周回の間、エン
ドレスベルト16の一定の領域18が多角柱状ホイール
12および13の各々の周面上の各平面部分14および
15に接触するようにされる。すなわち、エンドレスベ
ルト16における、平面部分14および15に接触する
各領域18は、多角柱状ホイール12および13の回転
にかかわらず、一定の位置にあるように、平面部分14
および15の寸法、多角柱状ホイール12および13間
の距離等が設定される。
ホイール12および13の回転を伴って矢印17方向に
周回する。このエンドレスベルト16の周回の間、エン
ドレスベルト16の一定の領域18が多角柱状ホイール
12および13の各々の周面上の各平面部分14および
15に接触するようにされる。すなわち、エンドレスベ
ルト16における、平面部分14および15に接触する
各領域18は、多角柱状ホイール12および13の回転
にかかわらず、一定の位置にあるように、平面部分14
および15の寸法、多角柱状ホイール12および13間
の距離等が設定される。
【0034】また、上述した設定をより確実なものとす
るため、エンドレスベルト16の両側縁に沿って、複数
の送り穴19が長さ方向に等間隔に分布するように設け
られ、他方、多角柱状ホイール12および13の周面に
は、それぞれ、これら送り穴19によって受け入れられ
る位置合わせ突起20および21が設けられることが好
ましい。
るため、エンドレスベルト16の両側縁に沿って、複数
の送り穴19が長さ方向に等間隔に分布するように設け
られ、他方、多角柱状ホイール12および13の周面に
は、それぞれ、これら送り穴19によって受け入れられ
る位置合わせ突起20および21が設けられることが好
ましい。
【0035】搬送用エンドレスベルト16の周回経路上
の第1の固定位置には、予め成形された長尺のセラミッ
クグリーンシート22を加熱しながら、このセラミック
グリーンシート22を搬送用エンドレスベルト16上へ
供給し、それによって、セラミックグリーンシート22
を搬送用エンドレスベルト16上で積層するための供給
手段23が設けられている。
の第1の固定位置には、予め成形された長尺のセラミッ
クグリーンシート22を加熱しながら、このセラミック
グリーンシート22を搬送用エンドレスベルト16上へ
供給し、それによって、セラミックグリーンシート22
を搬送用エンドレスベルト16上で積層するための供給
手段23が設けられている。
【0036】より詳細には、この装置に適用されるセラ
ミックグリーンシート22は、予め成形されていて、キ
ャリアフィルムによって裏打ちされていない状態で、供
給ロール24を構成するように巻回されている。供給ロ
ール24から引き出された長尺のセラミックグリーンシ
ート22は、テンションコントローラ25および26を
経由して、送り用エンドレスベルト27上へ供給され
る。送り用エンドレスベルト27は、4つのローラ2
8、29、30および31によって保持されながら、矢
印32方向へ周回される。ローラ28に対向して、圧着
ローラ33が設けられ、この圧着ローラ33からの押圧
により、セラミックグリーンシート22は、送り用エン
ドレスベルト27上に一時的に保持された状態とされ、
この送り用エンドレスベルト27の矢印32方向への周
回に応じて、搬送用エンドレスベルト16上にまで搬送
される。
ミックグリーンシート22は、予め成形されていて、キ
ャリアフィルムによって裏打ちされていない状態で、供
給ロール24を構成するように巻回されている。供給ロ
ール24から引き出された長尺のセラミックグリーンシ
ート22は、テンションコントローラ25および26を
経由して、送り用エンドレスベルト27上へ供給され
る。送り用エンドレスベルト27は、4つのローラ2
8、29、30および31によって保持されながら、矢
印32方向へ周回される。ローラ28に対向して、圧着
ローラ33が設けられ、この圧着ローラ33からの押圧
により、セラミックグリーンシート22は、送り用エン
ドレスベルト27上に一時的に保持された状態とされ、
この送り用エンドレスベルト27の矢印32方向への周
回に応じて、搬送用エンドレスベルト16上にまで搬送
される。
【0037】ローラ29および30の間には、加熱プレ
スヘッド34が配置され、この加熱プレスヘッド34に
対して、搬送用エンドレスベルト16および送り用エン
ドレスベルト27を介して対向するように、ベッド35
が配置される。加熱プレスヘッド34がベッド35に向
かって押圧動作することにより、送り用エンドレスベル
ト27上のセラミックグリーンシート22は、加熱され
ながら、搬送用エンドレスベルト16に、あるいは、こ
の搬送用エンドレスベルト16上にすでにセラミックグ
リーンシート22が保持されている場合には、このセラ
ミックグリーンシート22に接着または粘着し、搬送用
エンドレスベルト16側に保持された状態となる。
スヘッド34が配置され、この加熱プレスヘッド34に
対して、搬送用エンドレスベルト16および送り用エン
ドレスベルト27を介して対向するように、ベッド35
が配置される。加熱プレスヘッド34がベッド35に向
かって押圧動作することにより、送り用エンドレスベル
ト27上のセラミックグリーンシート22は、加熱され
ながら、搬送用エンドレスベルト16に、あるいは、こ
の搬送用エンドレスベルト16上にすでにセラミックグ
リーンシート22が保持されている場合には、このセラ
ミックグリーンシート22に接着または粘着し、搬送用
エンドレスベルト16側に保持された状態となる。
【0038】搬送用エンドレスベルト16の周回経路上
の第2の固定位置には、この搬送用エンドレスベルト1
6上のセラミックグリーンシート22を、多角柱状ホイ
ール12および13の各平面部分14および15上に位
置する部分毎にカットするためのカット手段36が設け
られる。
の第2の固定位置には、この搬送用エンドレスベルト1
6上のセラミックグリーンシート22を、多角柱状ホイ
ール12および13の各平面部分14および15上に位
置する部分毎にカットするためのカット手段36が設け
られる。
【0039】より具体的には、カット手段36は、図示
したようなナイフ37または回転刃によって構成され、
搬送用エンドレスベルト16を間欠的に周回させなが
ら、停止のタイミングにおいて、セラミックグリーンシ
ート22をカットする。このように、セラミックグリー
ンシート22をカットすることにより、搬送用エンドレ
スベルト16が多角柱状ホイール12および13の各々
に沿って屈曲されても、この曲げ応力がセラミックグリ
ーンシート22にかからないようにすることができる。
したようなナイフ37または回転刃によって構成され、
搬送用エンドレスベルト16を間欠的に周回させなが
ら、停止のタイミングにおいて、セラミックグリーンシ
ート22をカットする。このように、セラミックグリー
ンシート22をカットすることにより、搬送用エンドレ
スベルト16が多角柱状ホイール12および13の各々
に沿って屈曲されても、この曲げ応力がセラミックグリ
ーンシート22にかからないようにすることができる。
【0040】搬送用エンドレスベルト16の周回経路上
の第3の固定位置には、セラミックグリーンシート22
上に所定のパターンを有する内部電極3を形成するた
め、導電性ペーストをセラミックグリーンシート22に
付与するためのペースト付与手段38が設けられる。
の第3の固定位置には、セラミックグリーンシート22
上に所定のパターンを有する内部電極3を形成するた
め、導電性ペーストをセラミックグリーンシート22に
付与するためのペースト付与手段38が設けられる。
【0041】より具体的には、ペースト付与手段38
は、導電性ペーストをスクリーン印刷によってセラミッ
クグリーンシート22上に印刷するための手段を備え、
図1では、このスクリーン印刷のためのスクリーン39
およびスクリーン39に対して搬送用エンドレスベルト
16を介して対向するように配置される印刷ベッド40
が図示されている。なお、ペースト付与手段38として
は、たとえば、転写技術を利用するものに置き換えられ
てもよい。
は、導電性ペーストをスクリーン印刷によってセラミッ
クグリーンシート22上に印刷するための手段を備え、
図1では、このスクリーン印刷のためのスクリーン39
およびスクリーン39に対して搬送用エンドレスベルト
16を介して対向するように配置される印刷ベッド40
が図示されている。なお、ペースト付与手段38として
は、たとえば、転写技術を利用するものに置き換えられ
てもよい。
【0042】また、搬送用エンドレスベルト16を周回
させながら、上述の導電性ペーストを加熱乾燥するため
の乾燥手段41が設けられる。
させながら、上述の導電性ペーストを加熱乾燥するため
の乾燥手段41が設けられる。
【0043】より具体的には、乾燥手段41は、多角柱
状ホイール13を取り囲むように配置されるヒータ42
を備えている。これによって、搬送用エンドレスベルト
16の周回経路の一部に沿って加熱乾燥ゾーンが形成さ
れる。
状ホイール13を取り囲むように配置されるヒータ42
を備えている。これによって、搬送用エンドレスベルト
16の周回経路の一部に沿って加熱乾燥ゾーンが形成さ
れる。
【0044】以上説明したような供給手段23によるセ
ラミックグリーンシート22の供給工程とカット手段3
6によるセラミックグリーンシート22のカット工程と
ペースト付与手段38による導電性ペーストの付与工程
と乾燥手段41による導電性ペーストの乾燥工程とを繰
り返すことによって、複数のセラミックグリーンシート
22および内部電極3を備える生のセラミック積層体
(図3に生のセラミック積層体50が図示されてい
る。)が、多角柱状ホイール12および13の各平面部
分14および15に接する搬送用エンドレスベルト16
の各領域上で作製される。
ラミックグリーンシート22の供給工程とカット手段3
6によるセラミックグリーンシート22のカット工程と
ペースト付与手段38による導電性ペーストの付与工程
と乾燥手段41による導電性ペーストの乾燥工程とを繰
り返すことによって、複数のセラミックグリーンシート
22および内部電極3を備える生のセラミック積層体
(図3に生のセラミック積層体50が図示されてい
る。)が、多角柱状ホイール12および13の各平面部
分14および15に接する搬送用エンドレスベルト16
の各領域上で作製される。
【0045】この製造装置には、さらに、上述のように
して得られた生のセラミック積層体を取り出すための取
り出し手段43が設けられる。
して得られた生のセラミック積層体を取り出すための取
り出し手段43が設けられる。
【0046】より具体的には、取り出し手段43は、生
のセラミック積層体を真空吸引に基づき吸着しかつ保持
するための吸着ヘッド44を備えている。吸着ヘッド4
4は、搬送用エンドレスベルト16の周回経路上の任意
の位置に設けられ、搬送用エンドレスベルト16に対し
て近接・離隔可能かつ図示しない別の作業位置まで移動
可能に設けられ、このような動作に従って、搬送用エン
ドレスベルト16上に形成された生のセラミック積層体
を真空吸引に基づき吸着して保持し、これを別の作業位
置まで搬送する。
のセラミック積層体を真空吸引に基づき吸着しかつ保持
するための吸着ヘッド44を備えている。吸着ヘッド4
4は、搬送用エンドレスベルト16の周回経路上の任意
の位置に設けられ、搬送用エンドレスベルト16に対し
て近接・離隔可能かつ図示しない別の作業位置まで移動
可能に設けられ、このような動作に従って、搬送用エン
ドレスベルト16上に形成された生のセラミック積層体
を真空吸引に基づき吸着して保持し、これを別の作業位
置まで搬送する。
【0047】このような図1に示した製造装置を用い
て、図4に示したセラミック積層体2が次のように製造
される。
て、図4に示したセラミック積層体2が次のように製造
される。
【0048】すなわち、まず、図4に示したセラミック
積層体2の外層部6に対応する部分を得るため、搬送用
エンドレスベルト16が周回しながら、供給ロール24
から引き出されたセラミックグリーンシートは、供給手
段23によって、搬送用エンドレスベルト16上へ供給
され、次いで、カット手段36によって、この搬送用エ
ンドレスベルト16上のセラミックグリーンシート22
が、多角柱状ホイール12および13の各平面部分14
および15上に位置する部分毎にカットされる。この操
作は、所望の積層数をもってセラミックグリーンシート
22が積層されるまで実施される。
積層体2の外層部6に対応する部分を得るため、搬送用
エンドレスベルト16が周回しながら、供給ロール24
から引き出されたセラミックグリーンシートは、供給手
段23によって、搬送用エンドレスベルト16上へ供給
され、次いで、カット手段36によって、この搬送用エ
ンドレスベルト16上のセラミックグリーンシート22
が、多角柱状ホイール12および13の各平面部分14
および15上に位置する部分毎にカットされる。この操
作は、所望の積層数をもってセラミックグリーンシート
22が積層されるまで実施される。
【0049】次に、図4に示したセラミック積層体2の
内部電極形成部5に対応する部分を得るため、上述した
供給工程とカット工程とに加えて、ペースト付与工程と
乾燥工程とが実施される。すなわち、供給手段23によ
って搬送用エンドレスベルト16上に供給されたセラミ
ックグリーンシート22に対して、カット手段36によ
るカット工程が実施された後、ペースト付与手段38に
よって、内部電極3を形成するための導電性ペーストが
付与され、次いで、乾燥手段41によって、この導電性
ペーストが加熱乾燥される。この操作は、内部電極3が
所望の積層数に達するまで実施される。なお、ペースト
付与工程においては、互いに重畳される内部電極3を、
幾分面方向にずらせる必要があるため、適宜、画像処理
技術を用いて位置決めさせることが行なわれる。
内部電極形成部5に対応する部分を得るため、上述した
供給工程とカット工程とに加えて、ペースト付与工程と
乾燥工程とが実施される。すなわち、供給手段23によ
って搬送用エンドレスベルト16上に供給されたセラミ
ックグリーンシート22に対して、カット手段36によ
るカット工程が実施された後、ペースト付与手段38に
よって、内部電極3を形成するための導電性ペーストが
付与され、次いで、乾燥手段41によって、この導電性
ペーストが加熱乾燥される。この操作は、内部電極3が
所望の積層数に達するまで実施される。なお、ペースト
付与工程においては、互いに重畳される内部電極3を、
幾分面方向にずらせる必要があるため、適宜、画像処理
技術を用いて位置決めさせることが行なわれる。
【0050】次に、図4に示したセラミック積層体2の
他方の外層部7に対応する部分を得るため、上述した供
給工程およびカット工程が実施される。この操作におい
ても、セラミックグリーンシート22が所望の積層数を
もって積層されるまで実施される。
他方の外層部7に対応する部分を得るため、上述した供
給工程およびカット工程が実施される。この操作におい
ても、セラミックグリーンシート22が所望の積層数を
もって積層されるまで実施される。
【0051】このようにして、多角柱状ホイール12お
よび13の各平面部分14および15に接触する搬送用
エンドレスベルト16の各領域上において、図4に示し
たセラミック積層体2となるべき生のセラミック積層体
が形成され、この生のセラミック積層体が、取り出し手
段43によって取り出され、別の作業位置まで搬送され
る。
よび13の各平面部分14および15に接触する搬送用
エンドレスベルト16の各領域上において、図4に示し
たセラミック積層体2となるべき生のセラミック積層体
が形成され、この生のセラミック積層体が、取り出し手
段43によって取り出され、別の作業位置まで搬送され
る。
【0052】上述の作業位置において、生のセラミック
積層体は、必要に応じて、カットされ、次いで、焼成さ
れ、それによって、図4に示すような積層セラミックコ
ンデンサ1のためのセラミック積層体2が得られる。
積層体は、必要に応じて、カットされ、次いで、焼成さ
れ、それによって、図4に示すような積層セラミックコ
ンデンサ1のためのセラミック積層体2が得られる。
【0053】なお、上述した説明では、図4に示したセ
ラミック積層体2の内部電極形成部5に対応する部分を
得るための工程においてだけ、乾燥手段41による加熱
乾燥が実施されるとされたが、セラミック積層体2の外
層部6および7に対応する各部分を得るための工程にお
いても、すなわち、全工程において、乾燥手段41によ
る加熱乾燥が実施されてもよい。
ラミック積層体2の内部電極形成部5に対応する部分を
得るための工程においてだけ、乾燥手段41による加熱
乾燥が実施されるとされたが、セラミック積層体2の外
層部6および7に対応する各部分を得るための工程にお
いても、すなわち、全工程において、乾燥手段41によ
る加熱乾燥が実施されてもよい。
【0054】図2は、この発明の他の実施形態を説明す
るためのもので、図1に示した供給手段23に対応する
部分を示している。図2において、図1に示した要素に
相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明
は省略する。
るためのもので、図1に示した供給手段23に対応する
部分を示している。図2において、図1に示した要素に
相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明
は省略する。
【0055】図2を参照して、この実施形態は、供給ロ
ール24から引き出されたセラミックグリーンシート2
2を、搬送用エンドレスベルト16(図2では図示され
ない。)上へ供給する前に予め加熱するための予備加熱
手段45を備えることを特徴としている。
ール24から引き出されたセラミックグリーンシート2
2を、搬送用エンドレスベルト16(図2では図示され
ない。)上へ供給する前に予め加熱するための予備加熱
手段45を備えることを特徴としている。
【0056】より具体的には、予備加熱手段45は、ホ
ットプレート46を備える。図1に示した一方のテンシ
ョンコントローラ25は、セラミックグリーンシート2
2を挟む1対のニップローラ47および48に置き換え
られ、これらニップローラ47および48より上流側に
ガイドローラ49が配置され、このガイドローラ49と
ニップローラ47および48との間に、ホットプレート
46が位置される。
ットプレート46を備える。図1に示した一方のテンシ
ョンコントローラ25は、セラミックグリーンシート2
2を挟む1対のニップローラ47および48に置き換え
られ、これらニップローラ47および48より上流側に
ガイドローラ49が配置され、このガイドローラ49と
ニップローラ47および48との間に、ホットプレート
46が位置される。
【0057】ホットプレート46は、セラミックグリー
ンシート22を加熱することによって、これを予備的に
収縮させるとともに、セラミックグリーンシート22の
内部に残留する歪みを除去するように作用する。このよ
うに、予め収縮されかつ歪みが除去されたセラミックグ
リーンシート22に対して、テンションコントローラ2
6によってテンションをコントロールしながら送り用エ
ンドレスベルト27上に供給することによって、搬送用
エンドレスベルト16上での生のセラミック積層体にお
いて生じ得る不所望な熱変形を低減させることができ、
その結果、高品質のセラミック積層体2を得ることが可
能になる。
ンシート22を加熱することによって、これを予備的に
収縮させるとともに、セラミックグリーンシート22の
内部に残留する歪みを除去するように作用する。このよ
うに、予め収縮されかつ歪みが除去されたセラミックグ
リーンシート22に対して、テンションコントローラ2
6によってテンションをコントロールしながら送り用エ
ンドレスベルト27上に供給することによって、搬送用
エンドレスベルト16上での生のセラミック積層体にお
いて生じ得る不所望な熱変形を低減させることができ、
その結果、高品質のセラミック積層体2を得ることが可
能になる。
【0058】図3は、この発明のさらに他の実施形態を
説明するためのもので、図1に示した取り出し手段43
において採用される好ましい構成を示している。図3に
おいて、図1に示した要素に相当する要素には同様の参
照符号を付し、重複する説明は省略する。
説明するためのもので、図1に示した取り出し手段43
において採用される好ましい構成を示している。図3に
おいて、図1に示した要素に相当する要素には同様の参
照符号を付し、重複する説明は省略する。
【0059】図3を参照して、この実施形態は、搬送用
エンドレスベルト16を、吸着ヘッド44によって吸着
されようとする生のセラミック積層体50を保持してい
る部分においてセラミック積層体50から離れる方向に
湾曲させる手段51を備えることを特徴としている。
エンドレスベルト16を、吸着ヘッド44によって吸着
されようとする生のセラミック積層体50を保持してい
る部分においてセラミック積層体50から離れる方向に
湾曲させる手段51を備えることを特徴としている。
【0060】より具体的には、湾曲させる手段51は、
湾曲用ローラ52とオフセットローラ53とによって構
成され、オフセットローラ53によって搬送用エンドレ
スベルト16の経路が湾曲用ローラ52の下方側へ片寄
せられ、それによって、搬送用エンドレスベルト16
は、湾曲用ローラ52の周面に沿ってセラミック積層体
50から離れる方向に湾曲される。
湾曲用ローラ52とオフセットローラ53とによって構
成され、オフセットローラ53によって搬送用エンドレ
スベルト16の経路が湾曲用ローラ52の下方側へ片寄
せられ、それによって、搬送用エンドレスベルト16
は、湾曲用ローラ52の周面に沿ってセラミック積層体
50から離れる方向に湾曲される。
【0061】このような湾曲させる手段51を備える
と、吸着ヘッド44によって生のセラミック積層体50
を吸着させた状態で、オフセットローラ53を矢印54
で示す方向へ変位させることによって、搬送用エンドレ
スベルト16を生のセラミック積層体50から容易に剥
がすことができ、吸着ヘッド44によってセラミック積
層体50を安定して保持することができる。なお、この
湾曲操作は、積層体50の剥離時にのみ実施されること
が好ましい。
と、吸着ヘッド44によって生のセラミック積層体50
を吸着させた状態で、オフセットローラ53を矢印54
で示す方向へ変位させることによって、搬送用エンドレ
スベルト16を生のセラミック積層体50から容易に剥
がすことができ、吸着ヘッド44によってセラミック積
層体50を安定して保持することができる。なお、この
湾曲操作は、積層体50の剥離時にのみ実施されること
が好ましい。
【0062】また、上述のように、搬送用エンドレスベ
ルト16を湾曲させるとき、生のセラミック積層体50
は、吸着ヘッド44によって予め吸着された状態にある
ので、搬送用エンドレスベルト16を生のセラミック積
層体50から剥がす動作に伴って、このセラミック積層
体50に曲げ応力がかかることがなく、そのため、セラ
ミック積層体50に不所望な変形が生じることを防止す
ることができる。
ルト16を湾曲させるとき、生のセラミック積層体50
は、吸着ヘッド44によって予め吸着された状態にある
ので、搬送用エンドレスベルト16を生のセラミック積
層体50から剥がす動作に伴って、このセラミック積層
体50に曲げ応力がかかることがなく、そのため、セラ
ミック積層体50に不所望な変形が生じることを防止す
ることができる。
【0063】以上、この発明を図示した実施形態に関連
して説明したが、この発明の範囲内において、その他、
種々の実施形態が可能である。
して説明したが、この発明の範囲内において、その他、
種々の実施形態が可能である。
【0064】たとえば、図示の実施形態では、供給手段
23が送り用エンドレスベルト27を備え、供給ロール
24から引き出されたセラミックグリーンシート22
は、この送り用エンドレスベルト27を介して搬送用エ
ンドレスベルト16上に供給されたが、セラミックグリ
ーンシート22を、直接、搬送用エンドレスベルト16
上に供給するような構成を採用してもよい。
23が送り用エンドレスベルト27を備え、供給ロール
24から引き出されたセラミックグリーンシート22
は、この送り用エンドレスベルト27を介して搬送用エ
ンドレスベルト16上に供給されたが、セラミックグリ
ーンシート22を、直接、搬送用エンドレスベルト16
上に供給するような構成を採用してもよい。
【0065】また、図示の実施形態では、取り扱われる
セラミックグリーンシート22は、キャリアフィルムに
よって裏打ちされていない状態であったが、キャリアフ
ィルムによって裏打ちされた状態にあるセラミックグリ
ーンシートが用いられてもよい。この場合には、たとえ
ば、セラミックグリーンシートを搬送用エンドレスベル
ト16上に供給した後に、キャリアフィルムを剥がすこ
とが好ましい。
セラミックグリーンシート22は、キャリアフィルムに
よって裏打ちされていない状態であったが、キャリアフ
ィルムによって裏打ちされた状態にあるセラミックグリ
ーンシートが用いられてもよい。この場合には、たとえ
ば、セラミックグリーンシートを搬送用エンドレスベル
ト16上に供給した後に、キャリアフィルムを剥がすこ
とが好ましい。
【0066】また、図示の実施形態では、カット手段3
6によるカット工程が、1回の供給工程を終えて1層の
セラミックグリーンシートが供給される毎に実施された
が、たとえば、2回の供給工程というように、複数回の
供給工程を終えて複数層のセラミックグリーンシートが
供給される毎に実施されてもよい。また、カット手段3
6の位置も図示の位置に限らない。
6によるカット工程が、1回の供給工程を終えて1層の
セラミックグリーンシートが供給される毎に実施された
が、たとえば、2回の供給工程というように、複数回の
供給工程を終えて複数層のセラミックグリーンシートが
供給される毎に実施されてもよい。また、カット手段3
6の位置も図示の位置に限らない。
【0067】また、図示の実施形態では、生のセラミッ
ク積層体を得るため、セラミックグリーンシート22の
搬送用エンドレスベルト16上への供給工程とセラミッ
クグリーンシート22のカット工程と導電性ペーストの
付与工程と導電性ペーストの乾燥工程とが順次実施さ
れ、これらの工程をそれぞれ実施するための供給手段2
3とカット手段36とペースト付与手段38と乾燥手段
41とが、この順序で、搬送用エンドレスベルト16の
周回経路に沿って配置された。これら手段23、36、
38および41は、この順序で配置されることが前述し
た各工程を能率的に進めることができる点で好ましい
が、この順序で配置されることを限定するものではな
い。すなわち、搬送用エンドレスベルト16は循環する
ものであるので、たとえば、カット手段36とペースト
付与手段38との配置順序を入れ換えることによって、
ペースト付与手段38をカット手段36より上流側に配
置しても、カット手段36によるカット工程を実施した
後、セラミックグリーンシート22を搬送用エンドレス
ベルト16の周回経路に沿ってほぼ1周させてからペー
スト付与手段38によるペースト付与工程を実施するこ
とも可能である。
ク積層体を得るため、セラミックグリーンシート22の
搬送用エンドレスベルト16上への供給工程とセラミッ
クグリーンシート22のカット工程と導電性ペーストの
付与工程と導電性ペーストの乾燥工程とが順次実施さ
れ、これらの工程をそれぞれ実施するための供給手段2
3とカット手段36とペースト付与手段38と乾燥手段
41とが、この順序で、搬送用エンドレスベルト16の
周回経路に沿って配置された。これら手段23、36、
38および41は、この順序で配置されることが前述し
た各工程を能率的に進めることができる点で好ましい
が、この順序で配置されることを限定するものではな
い。すなわち、搬送用エンドレスベルト16は循環する
ものであるので、たとえば、カット手段36とペースト
付与手段38との配置順序を入れ換えることによって、
ペースト付与手段38をカット手段36より上流側に配
置しても、カット手段36によるカット工程を実施した
後、セラミックグリーンシート22を搬送用エンドレス
ベルト16の周回経路に沿ってほぼ1周させてからペー
スト付与手段38によるペースト付与工程を実施するこ
とも可能である。
【0068】また、この発明は、図示した実施形態のよ
うに、積層セラミックコンデンサ1のためのセラミック
積層体2の製造だけでなく、たとえば、積層セラミック
バリスタ、積層セラミックインダクタ、セラミック多層
回路基板等の他の積層セラミック電子部品のためのセラ
ミック積層体の製造にも適用することができる。したが
って、積層セラミック電子部品のためのセラミック積層
体に備える内部電極は、コンデンサのための内部電極を
構成するものに限らず、バリスタのための内部電極を構
成するもの、抵抗を構成するもの、インダクタを構成す
るもの等であってもよい。
うに、積層セラミックコンデンサ1のためのセラミック
積層体2の製造だけでなく、たとえば、積層セラミック
バリスタ、積層セラミックインダクタ、セラミック多層
回路基板等の他の積層セラミック電子部品のためのセラ
ミック積層体の製造にも適用することができる。したが
って、積層セラミック電子部品のためのセラミック積層
体に備える内部電極は、コンデンサのための内部電極を
構成するものに限らず、バリスタのための内部電極を構
成するもの、抵抗を構成するもの、インダクタを構成す
るもの等であってもよい。
【0069】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、金属
箔からなる搬送用エンドレスベルトを用い、この搬送用
エンドレスベルトを周回させながら、搬送用エンドレス
ベルト上に供給されたセラミックグリーンシート上に内
部電極のための導電性ペーストを付与し、これを加熱乾
燥することが行なわれるので、乾燥工程における温度上
昇およびその後の温度下降に対して、搬送用エンドレス
ベルトの温度が迅速に追従し得るので、特に乾燥後にお
ける残熱量によって、セラミックグリーンシートが過度
に収縮してしまい、得られた生のセラミック積層体にお
いて不所望な変形が生じたり、内部電極の位置ずれが生
じたりすることを防止できる。
箔からなる搬送用エンドレスベルトを用い、この搬送用
エンドレスベルトを周回させながら、搬送用エンドレス
ベルト上に供給されたセラミックグリーンシート上に内
部電極のための導電性ペーストを付与し、これを加熱乾
燥することが行なわれるので、乾燥工程における温度上
昇およびその後の温度下降に対して、搬送用エンドレス
ベルトの温度が迅速に追従し得るので、特に乾燥後にお
ける残熱量によって、セラミックグリーンシートが過度
に収縮してしまい、得られた生のセラミック積層体にお
いて不所望な変形が生じたり、内部電極の位置ずれが生
じたりすることを防止できる。
【0070】また、この発明によれば、搬送用エンドレ
スベルトを巻掛けするために多角柱状ホイールが用いら
れ、搬送用エンドレスベルトが周回する間、この搬送用
エンドレスベルトにおける一定の領域が各多角柱状ホイ
ールの周面上の各平面部分に接触するように設定されて
いて、各多角柱状ホイールの周面上の各平面部分に接触
する搬送用エンドレスベルトの各領域上で、目的とする
生のセラミック積層体を作製しかつ取り出すようにして
いる。すなわち、目的とする生のセラミック積層体は、
搬送用エンドレスベルトの周回の間、平面状態のまま取
り扱われ、曲げおよびテンションが及ぼされないように
している。
スベルトを巻掛けするために多角柱状ホイールが用いら
れ、搬送用エンドレスベルトが周回する間、この搬送用
エンドレスベルトにおける一定の領域が各多角柱状ホイ
ールの周面上の各平面部分に接触するように設定されて
いて、各多角柱状ホイールの周面上の各平面部分に接触
する搬送用エンドレスベルトの各領域上で、目的とする
生のセラミック積層体を作製しかつ取り出すようにして
いる。すなわち、目的とする生のセラミック積層体は、
搬送用エンドレスベルトの周回の間、平面状態のまま取
り扱われ、曲げおよびテンションが及ぼされないように
している。
【0071】また、この発明によれば、搬送用エンドレ
スベルト上のセラミックグリーンシートを、多角柱状ホ
イールの各平面部分上に位置する部分ごとにカットする
ことが行なわれる。
スベルト上のセラミックグリーンシートを、多角柱状ホ
イールの各平面部分上に位置する部分ごとにカットする
ことが行なわれる。
【0072】これらのことから、取り出された生のセラ
ミック積層体には、曲げまたはテンションによる不所望
な応力が付与されていないので、品質の優れたセラミッ
ク積層体を得ることができる。
ミック積層体には、曲げまたはテンションによる不所望
な応力が付与されていないので、品質の優れたセラミッ
ク積層体を得ることができる。
【0073】この発明において、セラミックグリーンシ
ートを搬送用エンドレスベルト上へ供給するとき、セラ
ミックグリーンシートを加熱しながら搬送用エンドレス
ベルト上へ供給するようにすれば、熱収縮性を有するセ
ラミックグリーンシートを皺なく平面状態を保ったま
ま、搬送用エンドレスベルト上へ移すことが容易にな
る。
ートを搬送用エンドレスベルト上へ供給するとき、セラ
ミックグリーンシートを加熱しながら搬送用エンドレス
ベルト上へ供給するようにすれば、熱収縮性を有するセ
ラミックグリーンシートを皺なく平面状態を保ったま
ま、搬送用エンドレスベルト上へ移すことが容易にな
る。
【0074】また、この発明において、搬送用エンドレ
スベルト上へ供給されるセラミックグリーンシートがキ
ャリアフィルムによって裏打ちされていない状態であ
り、送り用エンドレスベルトによって保持された状態で
送られることによって、搬送用エンドレスベルト上へ供
給されるようにすると、キャリアフィルムを必要としな
いので、膨大な量のキャリアフィルムが消費されること
がなく、セラミック積層体の製造コストを低減すること
ができる。また、送り用エンドレスベルトによってセラ
ミックグリーンシートを送るとき、このセラミックグリ
ーンシート内に残留する不所望な応力の除去作用をも期
待することができる。
スベルト上へ供給されるセラミックグリーンシートがキ
ャリアフィルムによって裏打ちされていない状態であ
り、送り用エンドレスベルトによって保持された状態で
送られることによって、搬送用エンドレスベルト上へ供
給されるようにすると、キャリアフィルムを必要としな
いので、膨大な量のキャリアフィルムが消費されること
がなく、セラミック積層体の製造コストを低減すること
ができる。また、送り用エンドレスベルトによってセラ
ミックグリーンシートを送るとき、このセラミックグリ
ーンシート内に残留する不所望な応力の除去作用をも期
待することができる。
【0075】なお、上述のように、セラミックグリーン
シートを、キャリアフィルムによって裏打ちされていな
い状態で取り扱えるようにするためには、通常、セラミ
ックグリーンシートに含まれるバインダ量を比較的多く
しなければならない。そのため、セラミックグリーンシ
ートの、加熱による収縮量が比較的大きくなってしま
い、セラミックグリーンシートの収縮による、生のセラ
ミック積層体の不所望な変形や内部電極の位置ずれがよ
り生じやすい状況がもたらされる。したがって、この発
明は、キャリアフィルムによって裏打ちされていないセ
ラミックグリーンシートを取り扱うときに、一層顕著な
効果を発揮することになる。
シートを、キャリアフィルムによって裏打ちされていな
い状態で取り扱えるようにするためには、通常、セラミ
ックグリーンシートに含まれるバインダ量を比較的多く
しなければならない。そのため、セラミックグリーンシ
ートの、加熱による収縮量が比較的大きくなってしま
い、セラミックグリーンシートの収縮による、生のセラ
ミック積層体の不所望な変形や内部電極の位置ずれがよ
り生じやすい状況がもたらされる。したがって、この発
明は、キャリアフィルムによって裏打ちされていないセ
ラミックグリーンシートを取り扱うときに、一層顕著な
効果を発揮することになる。
【0076】また、この発明において、搬送用エンドレ
スベルト上へ供給されるセラミックグリーンシートを、
搬送用エンドレスベルト上へ供給する前に予め加熱する
ようにすれば、この予備加熱によって、セラミックグリ
ーンシートをある程度収縮させておくことができるの
で、積層された後での加熱による収縮を少なくすること
ができ、その結果、得られたセラミック積層体の加熱に
よる不所望な変形をより低減することができる。
スベルト上へ供給されるセラミックグリーンシートを、
搬送用エンドレスベルト上へ供給する前に予め加熱する
ようにすれば、この予備加熱によって、セラミックグリ
ーンシートをある程度収縮させておくことができるの
で、積層された後での加熱による収縮を少なくすること
ができ、その結果、得られたセラミック積層体の加熱に
よる不所望な変形をより低減することができる。
【0077】また、この発明に係る製造方法において、
カット工程が、1回の供給工程を終えて1層のセラミッ
クグリーンシートが供給される毎に実施されると、搬送
用エンドレスベルトの周回においてセラミックグリーン
シートに不所望なテンションあるいは曲げがもたらされ
ることが確実に防止されるので、たとえば内部電極の位
置ずれのような不都合を確実に生じないようにすること
ができる。
カット工程が、1回の供給工程を終えて1層のセラミッ
クグリーンシートが供給される毎に実施されると、搬送
用エンドレスベルトの周回においてセラミックグリーン
シートに不所望なテンションあるいは曲げがもたらされ
ることが確実に防止されるので、たとえば内部電極の位
置ずれのような不都合を確実に生じないようにすること
ができる。
【0078】また、この発明において、搬送用エンドレ
スベルト上で作製された生のセラミック積層体を取り出
すにあたって、生のセラミック積層体を真空吸引に基づ
き吸着しかつ保持する吸着ヘッドが適用される場合、搬
送用エンドレスベルトを、吸着ヘッドによって吸着され
ようとする生のセラミック積層体を保持している部分に
おいてこのセラミック積層体から離れる方向に湾曲させ
るようにすれば、セラミック積層体から搬送用エンドレ
スベルトが容易に剥がれ、生のセラミック積層体を不所
望に変形させることなく、吸着ヘッドによって確実に保
持された状態とすることができる。
スベルト上で作製された生のセラミック積層体を取り出
すにあたって、生のセラミック積層体を真空吸引に基づ
き吸着しかつ保持する吸着ヘッドが適用される場合、搬
送用エンドレスベルトを、吸着ヘッドによって吸着され
ようとする生のセラミック積層体を保持している部分に
おいてこのセラミック積層体から離れる方向に湾曲させ
るようにすれば、セラミック積層体から搬送用エンドレ
スベルトが容易に剥がれ、生のセラミック積層体を不所
望に変形させることなく、吸着ヘッドによって確実に保
持された状態とすることができる。
【0079】また、この発明において、導電性ペースト
をセラミックグリーンシート上へ付与する毎に、導電性
ペーストを付与する位置を変えるようにすれば、積層セ
ラミックコンデンサの内部電極のように、互いに重畳さ
れる内部電極を面方向に幾分ずらせる必要がある場合に
おける導電性ペーストの付与を有利に行なうことができ
る。
をセラミックグリーンシート上へ付与する毎に、導電性
ペーストを付与する位置を変えるようにすれば、積層セ
ラミックコンデンサの内部電極のように、互いに重畳さ
れる内部電極を面方向に幾分ずらせる必要がある場合に
おける導電性ペーストの付与を有利に行なうことができ
る。
【0080】また、この発明において、セラミックグリ
ーンシート上に導電性ペーストを付与した位置を画像処
理によって検出し、この検出された位置情報に基づい
て、次の導電性ペーストを付与すべき位置を決定するよ
うにすれば、導電性ペーストの付与位置に対する精度を
より高めることが容易になる。
ーンシート上に導電性ペーストを付与した位置を画像処
理によって検出し、この検出された位置情報に基づい
て、次の導電性ペーストを付与すべき位置を決定するよ
うにすれば、導電性ペーストの付与位置に対する精度を
より高めることが容易になる。
【図1】この発明の一実施形態による積層セラミック電
子部品のためのセラミック積層体の製造方法において用
いられる製造装置を示す斜視図である。
子部品のためのセラミック積層体の製造方法において用
いられる製造装置を示す斜視図である。
【図2】この発明の他の実施形態を説明するためのもの
で、図1に示した製造装置における供給手段23の好ま
しい変形例を示す斜視図である。
で、図1に示した製造装置における供給手段23の好ま
しい変形例を示す斜視図である。
【図3】この発明のさらに他の実施形態を説明するため
のもので、図1に示した製造装置における取り出し手段
43の好ましい変形例を示す斜視図である。
のもので、図1に示した製造装置における取り出し手段
43の好ましい変形例を示す斜視図である。
【図4】この発明にとって興味ある積層セラミック電子
部品の一例としての積層セラミックコンデンサ1を示す
断面図である。
部品の一例としての積層セラミックコンデンサ1を示す
断面図である。
1 積層セラミックコンデンサ 2 セラミック積層体 3 内部電極 4 セラミック層 12,13 多角柱状ホイール 14,15 平面部分 16 搬送用エンドレスベルト 18 平面部分に接触する領域 22 セラミックグリーンシート 23 供給手段 27 送り用エンドレスベルト 34 加熱プレスヘッド 36 カット手段 38 ペースト付与手段 41 乾燥手段 43 取り出し手段 44 吸着ヘッド 45 予備加熱手段 50 生のセラミック積層体 51 湾曲させる手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 細川 孝夫 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 (72)発明者 米田 康信 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 Fターム(参考) 3F024 AA07 CA04 5E082 AB03 BC38 BC40 EE04 EE35 FG06 FG26 LL01 LL02 MM11 MM12 MM13 MM21 MM23 MM24
Claims (15)
- 【請求項1】 積み重ねられた複数のセラミックグリー
ンシートおよび前記セラミックグリーンシートの所定の
界面に沿って形成された内部電極を備える、積層セラミ
ック電子部品のためのセラミック積層体を製造する方法
であって、 周面上に複数の平面部分が周方向に連なって形成されか
つ軸線を互いに平行に向けた状態で配置される少なくと
も2つの多角柱状ホイールと、前記多角柱状ホイールの
周面に巻掛けされかつ前記多角柱状ホイールの回転を伴
って周回する金属箔からなる搬送用エンドレスベルトと
を備え、前記搬送用エンドレスベルトが周回する間、当
該搬送用エンドレスベルトにおける一定の領域が各前記
多角柱状ホイールの周面上の各前記平面部分に接触する
ように設定された、そのような装置を用意する工程と、 前記搬送用エンドレスベルトを周回させ、かつ予め成形
された長尺のセラミックグリーンシートを前記搬送用エ
ンドレスベルト上へ供給する、供給工程と、 前記搬送用エンドレスベルト上の前記セラミックグリー
ンシートを、前記多角柱状ホイールの各前記平面部分上
に位置する部分毎にカットする、カット工程と、 前記セラミックグリーンシート上に所定のパターンを有
する前記内部電極を形成するため、導電性ペーストを前
記セラミックグリーンシート上に付与する、ペースト付
与工程と、 前記搬送用エンドレスベルトを周回させながら、前記導
電性ペーストを加熱乾燥する、乾燥工程とを備え、さら
に、 前記供給工程と前記カット工程と前記ペースト付与工程
と前記乾燥工程とを繰り返すことによって、複数の前記
セラミックグリーンシートおよび前記内部電極を備える
生のセラミック積層体を、前記多角柱状ホイールの各前
記平面部分に接触する前記搬送用エンドレスベルトの各
領域上で作製する工程と、 前記多角柱状ホイールの各前記平面部分に接触する前記
搬送用エンドレスベルトの各領域上の前記セラミック積
層体を取り出す工程とを備えることを特徴とする、積層
セラミック電子部品のためのセラミック積層体の製造方
法。 - 【請求項2】 前記供給工程は、前記セラミックグリー
ンシートを加熱しながら前記搬送用エンドレスベルト上
へ供給する工程を備える、請求項1に記載のセラミック
積層体の製造方法。 - 【請求項3】 前記供給工程において前記搬送用エンド
レスベルト上へ供給される前記セラミックグリーンシー
トは、キャリアフィルムによって裏打ちされていない状
態であり、送り用エンドレスベルトによって保持された
状態で送られることによって、前記搬送用エンドレスベ
ルト上へ供給される、請求項1または2に記載のセラミ
ック積層体の製造方法。 - 【請求項4】 前記供給工程において前記搬送用エンド
レスベルト上へ供給される前記セラミックグリーンシー
トを、前記搬送用エンドレスベルト上へ供給する前に予
め加熱する予備加熱工程をさらに備える、請求項1ない
し3のいずれかに記載のセラミック積層体の製造方法。 - 【請求項5】 前記カット工程は、1回の前記供給工程
を終えて1層の前記セラミックグリーンシートが供給さ
れる毎に実施される、請求項1ないし4のいずれかに記
載のセラミック積層体の製造方法。 - 【請求項6】 前記セラミック積層体を取り出す工程
は、吸着ヘッドによって、前記生のセラミック積層体を
真空吸引に基づき吸着しかつ保持する工程と、前記搬送
用エンドレスベルトを、前記吸着ヘッドによって吸着さ
れようとする前記生のセラミック積層体を保持している
部分において前記生のセラミック積層体から離れる方向
に湾曲させる工程とを備える、請求項1ないし5のいず
れかに記載のセラミック積層体の製造方法。 - 【請求項7】 繰り返される前記ペースト付与工程の各
回毎に、前記導電性ペーストを付与する位置を変える工
程をさらに備える、請求項1ないし6のいずれかに記載
のセラミック積層体の製造方法。 - 【請求項8】 前記ペースト付与工程において前記導電
性ペーストを付与した位置を画像処理によって検出し、
この検出された位置情報に基づいて、次の前記ペースト
付与工程における前記導電性ペーストの付与位置を決定
する工程をさらに備える、請求項1ないし7のいずれか
に記載のセラミック積層体の製造方法。 - 【請求項9】 積み重ねられた複数のセラミックグリー
ンシートおよび前記セラミックグリーンシートの所定の
界面に沿って形成された内部電極を備える、積層セラミ
ック電子部品のためのセラミック積層体を製造する装置
であって、 周面上に複数の平面部分が周方向に連なって形成されか
つ軸線を互いに平行に向けた状態で配置される少なくと
も2つの多角柱状ホイールと、 前記多角柱状ホイールの周面に巻掛けされかつ前記多角
柱状ホイールの回転を伴って周回する金属箔からなる搬
送用エンドレスベルトとを備え、 前記搬送用エンドレスベルトが周回する間、当該搬送用
エンドレスベルトにおける一定の領域が各前記多角柱状
ホイールの周面上の各前記平面部分に接触するように設
定され、さらに、 前記搬送用エンドレスベルトの周回経路上の第1の固定
位置において、予め成形された長尺のセラミックグリー
ンシートを前記搬送用エンドレスベルト上へ供給するた
めの供給手段と、 前記搬送用エンドレスベルトの周回経路上の第2の固定
位置において、前記搬送用エンドレスベルト上の前記セ
ラミックグリーンシートを、前記多角柱状ホイールの各
前記平面部分上に位置する部分毎にカットするためのカ
ット手段と、 前記搬送用エンドレスベルトの周回経路上の第3の固定
位置において、前記セラミックグリーンシート上に所定
のパターンを有する前記内部電極を形成するため、導電
性ペーストを前記セラミックグリーンシート上に付与す
るためのペースト付与手段と、 前記搬送用エンドレスベルトを周回させながら、前記導
電性ペーストを加熱乾燥するための乾燥手段と、 前記多角柱状ホイールの各前記平面部分に接触する前記
搬送用エンドレスベルトの各領域上で得られた、複数の
前記セラミックグリーンシートおよび前記内部電極を備
える生のセラミック積層体を取り出すための取り出し手
段とを備えることを特徴とする、積層セラミック電子部
品のためのセラミック積層体の製造装置。 - 【請求項10】 前記供給手段は、前記セラミックグリ
ーンシートを加熱しながら前記搬送用エンドレスベルト
上へ供給する手段を備える、請求項9に記載のセラミッ
ク積層体の製造方法。 - 【請求項11】 前記供給手段によって前記搬送用エン
ドレスベルト上へ供給される前記セラミックグリーンシ
ートは、キャリアフィルムによって裏打ちされていない
状態であり、前記セラミックグリーンシートを前記搬送
用エンドレスベルト上へ供給するように送るための送り
用エンドレスベルトをさらに備える、請求項9または1
0に記載のセラミック積層体の製造装置。 - 【請求項12】 前記供給手段によって前記搬送用エン
ドレスベルト上へ供給される前記セラミックグリーンシ
ートを、前記搬送用エンドレスベルト上へ供給する前に
予め加熱するための予備加熱手段をさらに備える、請求
項9ないし11に記載のセラミック積層体の製造装置。 - 【請求項13】 前記生のセラミック積層体を取り出す
手段は、前記セラミック積層体を真空吸引に基づき吸着
しかつ保持するための吸着ヘッドと、前記搬送用エンド
レスベルトを、前記吸着ヘッドによって吸着されようと
する前記生のセラミック積層体を保持している部分にお
いて前記生のセラミック積層体から離れる方向に湾曲さ
せる手段とを備える、請求項9ないし12のいずれかに
記載のセラミック積層体の製造装置。 - 【請求項14】 前記ペースト付与手段によって前記導
電性ペーストを付与する位置を変える手段をさらに備え
る、請求項9ないし13のいずれかに記載のセラミック
積層体の製造装置。 - 【請求項15】 前記ペースト付与手段によって前記導
電性ペーストを付与した位置を画像処理によって検出
し、この検出された位置情報に基づいて、前記ペースト
付与手段による前記導電性ペーストの次の付与位置を決
定する手段をさらに備える、請求項9ないし14のいず
れかに記載のセラミック積層体の製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11215011A JP2001044072A (ja) | 1999-07-29 | 1999-07-29 | 積層セラミック電子部品のためのセラミック積層体の製造方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11215011A JP2001044072A (ja) | 1999-07-29 | 1999-07-29 | 積層セラミック電子部品のためのセラミック積層体の製造方法および装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001044072A true JP2001044072A (ja) | 2001-02-16 |
Family
ID=16665249
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11215011A Pending JP2001044072A (ja) | 1999-07-29 | 1999-07-29 | 積層セラミック電子部品のためのセラミック積層体の製造方法および装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001044072A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004514621A (ja) * | 2000-11-22 | 2004-05-20 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 積層品およびパッケージングのためのスタッキング装置および方法 |
JP2005116611A (ja) * | 2003-10-03 | 2005-04-28 | Murata Mfg Co Ltd | 積層型電子部品の製造方法および製造装置 |
JP2009212527A (ja) * | 2009-05-22 | 2009-09-17 | Murata Mfg Co Ltd | 積層セラミック電子部品の製造方法 |
JP2011110714A (ja) * | 2009-11-24 | 2011-06-09 | Murata Mfg Co Ltd | カット装置及びカット方法 |
CN110416001A (zh) * | 2019-01-14 | 2019-11-05 | 四川曦鸿电子科技有限公司 | 一种大型电容器批量自动干燥装置 |
-
1999
- 1999-07-29 JP JP11215011A patent/JP2001044072A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004514621A (ja) * | 2000-11-22 | 2004-05-20 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 積層品およびパッケージングのためのスタッキング装置および方法 |
JP2005116611A (ja) * | 2003-10-03 | 2005-04-28 | Murata Mfg Co Ltd | 積層型電子部品の製造方法および製造装置 |
JP4501396B2 (ja) * | 2003-10-03 | 2010-07-14 | 株式会社村田製作所 | 積層型電子部品の製造方法および製造装置 |
JP2009212527A (ja) * | 2009-05-22 | 2009-09-17 | Murata Mfg Co Ltd | 積層セラミック電子部品の製造方法 |
JP2011110714A (ja) * | 2009-11-24 | 2011-06-09 | Murata Mfg Co Ltd | カット装置及びカット方法 |
CN110416001A (zh) * | 2019-01-14 | 2019-11-05 | 四川曦鸿电子科技有限公司 | 一种大型电容器批量自动干燥装置 |
CN110416001B (zh) * | 2019-01-14 | 2021-03-26 | 四川曦鸿电子科技有限公司 | 一种大型电容器批量自动干燥装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH042196A (ja) | 積層型セラミック電子部品用セラミックグリーンシートの製造方法および装置 | |
JP2010055922A (ja) | 膜電極接合体の製造装置及び製造方法 | |
JP4492138B2 (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法 | |
JP2001044072A (ja) | 積層セラミック電子部品のためのセラミック積層体の製造方法および装置 | |
JPH08162364A (ja) | 積層型電子部品の積層方法及びその装置 | |
TWI435351B (zh) | Laminated metal parts manufacturing apparatus and laminated type electronic parts manufacturing method | |
JP6597082B2 (ja) | シート付与装置およびそれを用いた電子部品の製造方法 | |
JPH10303555A (ja) | 接着層の製造装置、両面基板の製造装置および多層基板の製造装置 | |
JP4501396B2 (ja) | 積層型電子部品の製造方法および製造装置 | |
JP7201009B2 (ja) | 電子部品の製造方法 | |
JP2002141245A (ja) | セラミック電子部品の製造方法および装置 | |
JP7298384B2 (ja) | 電子部品の製造方法および電子部品製造装置 | |
JPH1071611A (ja) | セラミックグリーンシート積層方法及び装置 | |
JP2001237138A (ja) | セラミックグリーンシートの積層方法及び積層装置 | |
JPH09283360A (ja) | 積層部品用グリーンシートの製造方法 | |
JP5158109B2 (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法 | |
JP2000252161A (ja) | セラミックグリーンシートの積層方法及び積層装置 | |
JP7417844B2 (ja) | 電子部品の製造方法 | |
JP2024009562A (ja) | 電子部品の製造装置及び製造方法 | |
JP5516996B2 (ja) | 積層型電子部品製造装置及び積層型電子部品の製造方法 | |
JP4378961B2 (ja) | セラミック電子部品の製造方法及び乾燥装置 | |
WO2024150537A1 (ja) | 回路基板の製造装置及び回路基板の製造方法 | |
JP5440807B2 (ja) | 積層型電子部品製造装置及び積層型電子部品の製造方法 | |
JP2005072121A (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法 | |
JP4763475B2 (ja) | セラミック電子部品の製造装置 |