JP4378961B2 - セラミック電子部品の製造方法及び乾燥装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、セラミック電子部品の製造方法及び乾燥装置、特に、セラミックグリーンシート上に形成された導体パターンを乾燥させる工程を含むセラミック電子部品の製造方法、及び、該製造方法に使用される乾燥装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、積層型セラミックコンデンサの製造においては、マザーのセラミックグリーンシート上に複数の電極パターンを印刷し、該電極パターンを乾燥させた後、所定枚数のセラミックグリーンシートを積層/圧着し、個々のチップとなるようにカットした後、焼成している。焼成後のチップに外部電極を塗布し、焼き付けることにより、個々のコンデンサが形成される。
【0003】
【特許文献1】
特開2001−326135号公報
【0004】
ところで、セラミックグリーンシート上に印刷された電極パターンを乾燥させるために、特許文献1には、電極を形成したセラミックグリーンシートを金属製のメッシュベルトに載せて搬送し、搬送途中でヒータ等の加熱手段にてセラミックグリーンシートを表面側から加熱乾燥させる方法が開示されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記乾燥方法においては、電極パターンの乾燥時にセラミックグリーンシートが伸縮することがあり、該シート上に印刷されている電極パターンが歪むという問題点を有していた。電極パターンが歪んだシートを積層して電子部品を製造すると、適切な電気特性が得られなくなる。例えば、コンデンサの場合は静電容量のばらつきの原因となる。セラミックグリーンシートの伸縮は、セラミックグリーンシートが単にベルト上に載せられているだけであることによると考えられる。
【0006】
また、セラミックグリーンシート上に印刷されている電極パターンを該シートの表面からの加熱のみで乾燥させるため、電極パターンをグリーンシート側まで乾燥させるためには時間が掛かってしまう。即ち、電極パターンのグリーンシート側の乾燥効率が良好ではない。特に、キャリアフィルムに裏打ちされたセラミックグリーンシートを用いた場合には、電極パターンのグリーンシート側への加熱効率が悪い。
【0007】
そこで、本発明の目的は、導体パターンの乾燥時にセラミックグリーンシートが伸縮することを抑えて導体パターンに歪みが発生することを防止でき、かつ、乾燥効率の良好なセラミック電子部品の製造方法及び乾燥装置を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段及び作用】
以上の目的を達成するため、第1の発明は、前記セラミックグリーンシートをヘッドにより吸着保持した状態で吸引加熱手段上に載置する工程と、前記吸引加熱手段の吸引を開始して前記セラミックグリーンシートが該吸引加熱手段に吸着固定された後に、前記ヘッドの吸引を停止する工程と、セラミックグリーンシート上に形成した導体パターンを乾燥させる工程を含むセラミック電子部品の製造方法において、前記セラミックグリーンシートを吸引固定しながら該セラミックグリーンシートを裏面から加熱すると共に、該セラミックグリーンシートを表面から加熱する工程と、を備えたこと、を特徴とする。
【0009】
第1の発明に係る製造方法においては、セラミックグリーンシートを吸引固定しながら導体パターンを乾燥させるため、該セラミックグリーンシートを単にプレート上に載せただけで乾燥させる場合と比べて該シートの伸縮が抑えられ、導体パターンに歪みがほとんど発生しない。また、該シートをその裏面及び表面から加熱するため、導体パターンを効率よく乾燥させることができる。
【0010】
第1の発明に係る製造方法において、セラミックグリーンシートは、キャリアフィルムによって裏打ちされたものであってもよく、また、カード状のものであってもよい。また、第1の発明に係る製造方法において、前記吸引加熱手段は、テーブル上に円環状に複数配置され、前記セラミックグリーンシートを前記吸引加熱手段上に載置する工程では、該セラミックグリーンシートをステージから該ステージに対向する位置に停止している前記吸引加熱手段に前記ヘッドにより移し換え、前記セラミックグリーンシートを加熱する工程では、前記テーブルを回転させながら前記セラミックグリーンシートの加熱を行ってもよい。
【0011】
第2の発明は、セラミックグリーンシート上に形成した導体パターンを乾燥させる乾燥装置において、前記セラミックグリーンシートを吸着保持して搬送するヘッドと、前記ヘッドにより搬送されてきたセラミックグリーンシートを吸引固定すると共に該セラミックグリーンシートを裏面から加熱する第1の吸引加熱手段と、前記第1の吸引加熱手段に吸引固定されたセラミックグリーンシートの表面を加熱する第2の加熱手段と、を備え、前記ヘッドは、前記第1の吸着加熱手段が前記セラミックグリーンシートを吸着固定した後に、吸引を停止すること、を特徴とする。
【0012】
第2の発明に係る乾燥装置においては、前記製造方法と同様に、セラミックグリーンシートの伸縮が抑えられて導体パターンの歪みが防止されると共に、導体パターンを効率よく乾燥させることができる。
【0013】
第2の発明に係る乾燥装置において、第1の吸引加熱手段はセラミックグリーンシートを載置する吸引固定面を有し、該吸引固定面は多数の吸引孔を備えるように構成することができる。例えば、吸引固定面を多数の吸引孔を形成した金属プレート又は多孔質金属プレートにて構成することができる。
【0014】
また、第2の加熱手段は、第1の吸引加熱手段を出し入れ可能な乾燥炉と、該乾燥炉内に設けられると共にセラミックグリーンシートの表面に熱風を供給するノズル又はセラミックグリーンシートを表面側から加熱するヒータとを備えているように構成することができる。
【0015】
この場合、第1の吸引加熱手段は、乾燥炉内において、円環状に複数配置されていると共に、第2の加熱手段の下方で一旦停止するように間欠移動可能に設置され、前記ヘッドは、前記セラミックグリーンシートをステージと該ステージに対向する位置に停止している前記吸引加熱手段との間の移し換えを行うことができ、乾燥効率をより向上させることができる。勿論、第1の吸引加熱手段を第2の加熱手段の下方で連続移動させても構わない。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るセラミック電子部品の製造方法及び乾燥装置の実施形態について、添付図面を参照して説明する。
【0017】
(セラミックグリーンシート及び電極パターンの形成)
まず、キャリアフィルム上に所定の成分からなるセラミックスラリをダイコータ又はグラビアロールにより均一な所定厚さに成形し、乾燥してセラミックグリーンシートを形成する。その後、キャリアフィルムで裏打ちされた状態あるいはキャリアフィルムから剥離された状態のセラミックグリーンシート上に、導電性ペーストにて複数の電極パターンを形成する。電極パターンの形成は、スクリーン印刷、グラビア印刷、蒸着、スパッタ、フォトリソ法等の種々の方法を採用することができる。
【0018】
次に、電極パターンが印刷されたセラミックグリーンシートを所定サイズのカード状に切断する。これにより、複数の電極パターンを有するマザーのセラミックグリーンシートが形成される。切断は、直線状のカット刃を用いて直線状に押し切る方法、円形状のカット刃を用いて直線状に引き切る方法、シャーリング法等が採用される。なお、キャリアフィルムに裏打ちされた無地のグリーンシートをカード状に切断した後、電極パターンを印刷してもよい。このように形成された、電極パターン付きマザーのセラミックグリーンシートが以下に説明する乾燥工程の対象となる。
【0019】
(吸引ホットプレートの構成、図1、図2参照)
ここで、本発明に係る製造方法で使用される吸引ホットプレート(第1の吸引加熱手段)について図1、図2を参照して説明する。
【0020】
この吸引ホットプレート10は、全体が熱伝導性の良好な金属からなる箱状の筐体11にて構成されている。上面(吸引固定面)12には多数の吸引孔13を形成した金属プレート又は多孔質金属プレートが設けられている。
【0021】
吸引孔13は内部の空室14と連通しており、図示しないポンプによって吸引パイプ15から空気を吸引することで、上面12に載せられたカード状の前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシート1(以下、グリーンシート1と記す)をキャリアフィルム側から吸引固定する。
【0022】
吸引孔13は、グリーンシート1上に印刷されている電極パターンの印刷領域を確実に吸引固定できる範囲に設けられていることが必要で、好ましくはグリーンシート1の全面を吸引可能な範囲に設けられると共に、グリーンシート1がめくれないように、グリーンシート1の周縁部に対応する吸引孔13の数がグリーンシート1の中央部に対応する吸引孔13の数よりも多く設けられる。また、吸引孔13は千鳥状に配列している方が好ましい。
【0023】
また、吸引ホットプレート10には、空室14の下方にヒータ16が内蔵されており、上面12に吸引固定されたグリーンシート1を筐体11の熱伝導を利用して裏面から加熱する。さらに、該グリーンシート1は裏面からのみならず表面からも加熱されて電極パターンの乾燥が促進されるが、この加熱手段については次に説明する。
【0024】
(乾燥装置の第1実施形態、図3参照)
前記吸引ホットプレート10を備えた乾燥装置の第1実施形態について図3を参照して説明する。この乾燥装置20は、第2の加熱手段として、乾燥炉21と、該乾燥炉21内に複数の吸引ホットプレート10を円環状に搭載して矢印A方向に間欠的に回転させる間欠送りテーブル22と、乾燥炉21の天井部に設けられグリーンシート1を表面側から加熱するヒータ23と、から構成されている。
【0025】
乾燥装置20に隣接してグリーンシート1の搬入/搬出ステージ31が設置されており、取入れ/取出しヘッド32(以下、ヘッド32と記す)がステージ31上と該ステージ31に対向する位置Bに停止した吸引ホットプレート10との間で移動可能に設けられている。
【0026】
ヘッド32は、ステージ31に搬送されてきたグリーンシート1の表面を吸引保持し、該グリーンシート1を位置Bで回転を一旦停止されている吸引ホットプレート10上に移し換える。また、ヘッド32は乾燥炉21内を矢印A方向に移動して位置Bへ到ったホットプレート10上の電極乾燥済みグリーンシート1を位置Bにて吸引保持してステージ31上に移し換える。
【0027】
なお、ヘッド32は吸引保持の代わりにチャック機能を持たせてグリーンシート1を把持するものでもよい。
【0028】
グリーンシート1を乾燥炉21に取り入れる段階では、グリーンシート1上に印刷されている電極パターンは未乾燥であるため、ヘッド32は電極パターンが印刷されていないグリーンシート1の周辺領域に吸引のための吸引孔が設けられており、ヘッド32の吸引面が電極印刷領域には触れないようになっている。
【0029】
グリーンシート1をヘッド32から吸引ホットプレート10上に移し換える際、ヘッド32がグリーンシート1を吸引保持した状態で吸引ホットプレート10上に載置し、ホットプレート10の吸引をオンさせてグリーンシート1がホットプレート10上に吸引固定された後、ヘッド32の吸引をオフする。
【0030】
吸引ホットプレート10は内蔵されているヒータ16によって予め加熱されている。従って、グリーンシート1をヘッド32からホットプレート10上に移した瞬間に、ホットプレート10の熱によりグリーンシート1が伸縮するのを防止するため、グリーンシート1がホットプレート10に完全に吸引固定されるまで、ヘッド32で吸引保持するようにしている。
【0031】
位置Bにてグリーンシート1を吸引固定したホットプレート10はテーブル22の回転に伴って矢印A方向に、かつ、ヒータ23の下方で一旦停止するように間欠的に移動し、再び位置Aに戻るまでの間に、ホットプレート10(ヒータ16)による裏面側からの加熱と、ヒータ23による表面側からの同時加熱によって電極パターンが乾燥される。
【0032】
このように、加熱時においてグリーンシート1は、ホットプレート10上に吸引固定されている(いわば、拘束されている)ために加熱伸縮が抑えられ、電極パターンに歪みが生じることもほとんどなくなる。また、ヒータ16及びヒータ23によって表裏面から同時に加熱されるため、乾燥効率が良好である。
【0033】
ホットプレート10が位置Bに戻ると、前記ヘッド32が電極乾燥済みのグリーンシート1を吸引固定した後、ホットプレート10の吸引がオフされ、該グリーンシート1がヘッド32によってステージ31へ移し換えられる。同時に、新たな電極未乾燥のグリーンシート1がヘッド32によって該ホットプレート10上に供給される。
【0034】
なお、乾燥炉21内には、前記ヒータ23に代えて後述の熱風供給用ノズル43を設けてもよい。
【0035】
(乾燥装置の第2実施形態、図4参照)
図4に示す乾燥装置40は、熱風供給用ノズル43を天井部に備えたトンネル状の乾燥炉41内を、間欠送りベルト42上に取り付けられた前記吸引ホットプレート10が間欠的に移動するようにしたものである。
【0036】
ベルト42はローラ44に無端状に張り渡され、搬入口41aから乾燥炉41へ導入され、搬出口41bから引き出されて乾燥炉41の下方を迂回し、再び乾燥炉41へと循環される。
【0037】
搬入口41aに隣接して搬入用ステージ51が設置されており、搬出口41bに隣接して搬出用ステージ53が設置されている。前記グリーンシート1は、搬入用ステージ51からヘッド52にて搬入口41aの直前で一旦停止されたホットプレート10上に移し換えられる。移し換え時におけるグリーンシート1に対する吸引保持状態は前記乾燥装置20で説明したとおりである。
【0038】
その後、ホットプレート10が乾燥炉41内をベルト42の回転に従って移動する間に、ホットプレート10(ヒータ16)による裏面側と、熱風供給用ノズル43による表面側との同時加熱によって電極パターンが乾燥される。ここでの乾燥時における作用効果は前記第1実施形態と同様である。
【0039】
ホットプレート10が搬出口41bから出ると、電極乾燥済みのグリーンシート1がヘッド54によって搬出用ステージ53へ移し換えられる。
【0040】
なお、乾燥炉41内には、熱風供給用ノズル43に代えて前述のヒータ23を設けてもよい。また、ヘッド52,54は吸引保持の代わりにチャック機能を持たせてもよいことは、前記ヘッド32と同様である。
【0041】
(第2の加熱手段の配置)
前記第1及び第2実施形態におけるヒータ23又は熱風供給用ノズル43は、吸引ホットプレート10が乾燥炉21,41内を間欠的に移動する停止位置に対応して配置されることが好ましい。間欠停止の間にも電極パターンの乾燥を進行させることができ、乾燥効率がさらに向上する。
【0042】
(他の実施形態)
なお、本発明に係るセラミック電子部品の製造方法及び乾燥装置は前記実施形態に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更できる。
【0043】
例えば、前記実施形態において、吸引ホットプレートは筐体の一部(上面)を構成しているが、筐体を枠状として、その上面に別部材として載置してもよい。さらに、吸引ホットプレートはヒータや熱風供給用ノズルの下方で一旦停止するように間欠移動されているが、連続移動でもよい。また、吸引ホットプレートの駆動手段は前記実施形態に限定するものではない。
【0044】
また、前記乾燥装置40において、吸引ホットプレート10をベルト42に対して着脱可能な構成とし、ホットプレート10の移動間隔を制御できるようにしてもよい。この場合、ホットプレート10の移動は連続移動でも間欠移動であってもよい。
【0045】
また、プッシャー手段によって吸引ホットプレートを押しながら移動させる方法を採用することができる。さらに、縦方向に移動するラックにホットプレートを乗せる縦型の乾燥炉であってもよく、縦型であれば設置面積を少なくすることができる。
【0046】
また、本発明は積層型のセラミックコンデンサの製造以外に種々のセラミック電子部品の製造に適用することができ、セラミックグリーンシート上に形成される導体パターンは内部電極に限定するものではない。
【0047】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、本発明によれば、セラミックグリーンシートを吸引固定しながら導体パターンを乾燥させるため、該シートの伸縮が抑えられ、導体パターンに歪みがほとんど発生することがない。また、該シートの裏面及び表面から加熱するため、導体パターンを均一にかつ効率よく乾燥させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る製造方法に使用される吸引ホットプレートを示す斜視図である。
【図2】前記吸引ホットプレートの断面図である。
【図3】本発明に係る乾燥装置の第1実施形態を示す概略平面図である。
【図4】本発明に係る乾燥装置の第2実施形態を示す概略立面図である。
【符号の説明】
10…吸引ホットプレート
13…吸引孔
16…ヒータ
20,40…乾燥装置
21,41…乾燥炉
22…間欠送りテーブル
23…ヒータ
42…間欠送りベルト
43…熱風供給用ノズル
Claims (8)
- セラミックグリーンシート上に形成した導体パターンを乾燥させる工程を含むセラミック電子部品の製造方法において、
前記セラミックグリーンシートをヘッドにより吸着保持した状態で吸引加熱手段上に載置する工程と、
前記吸引加熱手段の吸引を開始して前記セラミックグリーンシートが該吸引加熱手段に吸着固定された後に、前記ヘッドの吸引を停止する工程と、
前記セラミックグリーンシートを吸引固定しながら該セラミックグリーンシートを裏面から加熱すると共に、該セラミックグリーンシートを表面から加熱する工程と、
を備えたこと、
を特徴とするセラミック電子部品の製造方法。 - 前記セラミックグリーンシートはキャリアフィルムによって裏打ちされたものであることを特徴とする請求項1に記載のセラミック電子部品の製造方法。
- 前記セラミックグリーンシートはカード状のものであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のセラミック電子部品の製造方法。
- 前記吸引加熱手段は、テーブル上に円環状に複数配置され、
前記セラミックグリーンシートを前記吸引加熱手段上に載置する工程では、該セラミックグリーンシートをステージから該ステージに対向する位置に停止している前記吸引加熱手段に前記ヘッドにより移し換え、
前記セラミックグリーンシートを加熱する工程では、前記テーブルを回転させながら前記セラミックグリーンシートの加熱を行うこと、
を特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載のセラミック電子部品の製造方法。 - セラミックグリーンシート上に形成した導体パターンを乾燥させる乾燥装置において、
前記セラミックグリーンシートを吸着保持して搬送するヘッドと、
前記ヘッドにより搬送されてきた前記セラミックグリーンシートを吸引固定すると共に該セラミックグリーンシートを裏面から加熱する第1の吸引加熱手段と、
前記第1の吸引加熱手段に吸引固定されたセラミックグリーンシートの表面を加熱する第2の加熱手段と、
を備え、
前記ヘッドは、前記第1の吸着加熱手段が前記セラミックグリーンシートを吸着固定した後に、吸引を停止すること、
を特徴とする乾燥装置。 - 前記第1の吸引加熱手段は前記セラミックグリーンシートを載置する吸引固定面を有し、該吸引固定面は多数の吸引孔を備えていることを特徴とする請求項5に記載の乾燥装置。
- 前記第2の加熱手段は、前記第1の吸引加熱手段を出し入れ可能な乾燥炉と、該乾燥炉内に設けられると共に前記セラミックグリーンシートの表面に熱風を供給するノズル又は前記セラミックグリーンシートを表面側から加熱するヒータとを備えていることを特徴とする請求項5に記載の乾燥装置。
- 前記第1の吸引加熱手段は、前記乾燥炉内において、円環状に複数配置されていると共に、前記第2の加熱手段の下方で一旦停止するように間欠移動可能に設置され、
前記ヘッドは、前記セラミックグリーンシートをステージと該ステージに対向する位置に停止している前記吸引加熱手段との間の移し換えを行うこと、
を特徴とする請求項5に記載の乾燥装置。
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