JPWO2020162579A1 - 電子部品の製造方法 - Google Patents

Abstract

矩形状のグリーンシートをキャリアフィルムから良好に剥離することができる、電子部品の製造方法を提供する。一方の主面に長尺状のグリーンシート６が形成された長尺状のキャリアフィルム５を準備する準備工程と、長尺状のグリーンシート６を切断して、キャリアフィルム５上に矩形状のグリーンシート７を形成する切断工程と、剥離ローラ４によって、矩形状のグリーンシート７をキャリアフィルム５から剥離する剥離工程と、を備えたものとする。

Description

本発明は、電子部品の製造方法に関し、更に詳しくは、キャリアフィルム上に形成された長尺状のグリーンシートを切断して矩形状のグリーンシートを形成する工程と、矩形状のグリーンシートをキャリアフィルムから剥離する工程とを備えた電子部品の製造方法に関する。

従来から広く実施されている電子部品の製造方法が、特許文献１（特開平８-１６２３６４号公報）に開示されている。特許文献１に開示された電子部品の製造方法は、キャリアフィルム上に形成された長尺状のグリーンシートを切断して矩形状のグリーンシートを形成する工程と、矩形状のグリーンシートをキャリアフィルムから剥離する工程とを備えている。特許文献１に開示された電子部品の製造方法を、図９（Ａ）〜（Ｃ）を参照して説明する。

まず、図９（Ａ）に示すように、主面に長尺状のグリーンシート１０１が形成された長尺状のキャリアフィルム（キャリアテープ）１０２を、打抜きテーブル１０３と搬送ユニット１０４との間に供給する。

打抜きテーブル１０３には、キャリアフィルム１０２を吸引するための通気孔（吸気口）１０３ａと、打抜きテーブル１０３自体を加熱する熱源（電熱ヒータ）１０３ｂとが形成されている。

搬送ユニット１０４には、両側に１対のカット刃（矩形刃）１０４ａが形成されている。また、搬送ユニット１０４には、底面に通気孔（吸気口）１０４ｂが形成されている。

次に、図９（Ｂ）に示すように、搬送ユニット１０４を、打抜きテーブル１０３に向かって降下させる。この結果、カット刃１０４ａによって、長尺状のグリーンシート１０１が切断され、キャリアフィルム１０２上に矩形状のグリーンシート１０５が形成される。

次に、図９（Ｃ）に示すように、打抜きテーブル１０３を、搬送ユニット１０４から離れる方向（図９（Ｃ）における左方向）に水平移動させる。この結果、通気孔１０４ｂに吸引されて搬送ユニット１０４の底面に保持された矩形状のグリーンシート１０５が、キャリアフィルム１０２から剥離される。

上述したとおり、特許文献１の製造方法においては、打抜きテーブル１０３が熱源１０３ｂによって加熱される。打抜きテーブル１０３を加熱する理由については、いくつかの理由を考えることができる。

１つ目の理由として、グリーンシート１０５のバインダを打抜きテーブル１０３の熱により軟化させ、切断を容易にすることがあげられる。

２つ目の理由として、後に実施される積層工程において、グリーンシート１０５の加熱圧着を良好におこなうことをあげることができる。すなわち、グリーンシート１０５は、後の積層工程において、積層され、加熱圧着されて積層体が作製される。しかしながら、グリーンシート１０５が常温のままであると、積層工程において、積層されるグリーンシート１０５が既に積層された積層体から熱を奪い、加熱圧着が良好におこなわれない虞がある。そこで、特許文献１の方法においては、打抜きテーブル１０３によってグリーンシート１０５を加熱（予熱）し、積層工程における加熱圧着を良好にしているものと考えられる。

特開平８-１６２３６４号公報

特許文献１に開示された電子部品の製造方法には、次のような問題があった。

まず、特許文献１に開示された製造方法には、搬送ユニット１０４のカット刃１０４ａによって切断され、搬送ユニット１０４の底面に保持された矩形状のグリーンシート１０５に、捲れ、破れ、皺などが発生する虞があるという問題があった。図１０を参照して説明する。なお、図１０は、本件出願人が説明のために作成したものであり、特許文献１に記載されたものではない。

搬送ユニット１０４は、金属によって作製されている。通気孔１０４ｂは、搬送ユニット１０４に、通常、機械的加工によって形成されている。そのため、搬送ユニット１０４においては、カット刃１０４ａと通気孔１０４ｂとの間の距離Ｘを小さくするのに限界があった。たとえば、現在、一般的に実施されている機械的加工技術では、距離Ｘを１００μｍ未満にすることが難しかった。

そして、カット刃１０４ａと通気孔１０４ｂとの間の距離Ｘが大きいと、搬送ユニット１０４の底面に保持された矩形状のグリーンシート１０５の先端部Ｐが、搬送ユニット１０４の底面から捲れる場合があった。あるいは、グリーンシート１０５の先端部Ｐが破れたり、グリーンシート１０５の先端部Ｐに皺が入ったりする場合があった。

そして、グリーンシート１０５の先端部Ｐに捲れ、破れ、皺などが発生すると、後のグリーンシート１０５を積層し、加熱圧着して積層体を作製する工程において、積層不良が発生し、作製された積層体が不良品になってしまう場合があった。

また、特許文献１に開示された製造方法には、キャリアフィルム１０２が、工程の途中で破損してしまう虞があるという問題があった。

すなわち、特許文献１に開示された製造方法では、図９（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、ＰＥＴ（polyethylene terephthalate）などによって作製されたキャリアフィルム１０２が、熱源１０３ｂによって加熱された打抜きテーブル１０３と、一定の長い時間にわたって当接する。そのため、熱によってキャリアフィルム１０２が破損してしまう場合があった。たとえば、キャリアフィルム１０２が、部分的に破れたり、全幅にわたって破れたりして、キャリアフィルム１０２の搬送ができなくなる場合があった。

更に、特許文献１に開示された製造方法には、加熱された打抜きテーブル１０３の熱によって、キャリアフィルム１０２に皺が発生し、その結果、キャリアフィルム１０２の主面に形成されたグリーンシート１０５の面の一部または全部に皺が発生する虞があるという問題があった。そして、グリーンシート１０５に皺が発生すると、後のグリーンシート１０５を積層し、加熱圧着して積層体を作製する工程において、積層不良が発生し、作製された積層体が不良品になってしまう場合があった。

本発明は、上述した従来の課題を解決するためになされたものであり、その手段として、本発明の一実施態様にかかる電子部品の製造方法は、一方の主面に長尺状のグリーンシートが形成された長尺状のキャリアフィルムを準備する準備工程と、長尺状のグリーンシートを切断して、キャリアフィルム上に矩形状のグリーンシートを形成する切断工程と、剥離ローラによって、矩形状のグリーンシートをキャリアフィルムから剥離する剥離工程と、を備えたものとする。

本発明の電子部品の製造方法によれば、剥離ローラによって、矩形状のグリーンシートをキャリアフィルムから良好に剥離することができる。

実施形態にかかる電子部品の製造方法において使用する電子部品製造装置１０００を示す要部概略図である。 電子部品製造装置１０００の剥離ローラ４を示す断面図である。 図３（Ａ）〜（Ｃ）は、それぞれ、第１実施形態にかかる電子部品の製造方法の剥離工程を示す正面図である。 図４（Ａ）〜（Ｃ）は、それぞれ、第１実施形態にかかる電子部品の製造方法の剥離工程を示す説明図である。 図５（Ａ）〜（Ｃ）は、それぞれ、第１実施形態にかかる電子部品の製造方法の積層工程を示す正面図である。 図６（Ａ）〜（Ｃ）は、それぞれ、第１実施形態にかかる電子部品の製造方法の積層工程を示す説明図である。 図７（Ａ）〜（Ｃ）は、それぞれ、第２実施形態にかかる電子部品の製造方法の剥離工程を示す正面図である。 図８（Ａ）〜（Ｃ）は、それぞれ、第２実施形態にかかる電子部品の製造方法の剥離工程を示す説明図である。 図９（Ａ）〜（Ｃ）は、それぞれ、特許文献１に開示された電子部品の製造方法における各工程を示す断面図である。 特許文献１に開示された電子部品の製造方法の課題を説明するための説明図である。

以下、図面とともに、本発明を実施するための形態について説明する。

なお、各実施形態は、本発明の実施の形態を例示的に示したものであり、本発明が実施形態の内容に限定されることはない。また、異なる実施形態に記載された内容を組合せて実施することも可能であり、その場合の実施内容も本発明に含まれる。また、図面は、明細書の理解を助けるためのものであって、模式的に描画されている場合があり、描画された構成要素または構成要素間の寸法の比率が、明細書に記載されたそれらの寸法の比率と一致していない場合がある。また、明細書に記載されている構成要素が、図面において省略されている場合や、個数を省略して描画されている場合などがある。

［第１実施形態］
図１に、本実施形態の電子部品の製造方法において使用する電子部品製造装置１０００の要部概略図を示す。

電子部品製造装置１０００には、後述するように、主面に長尺状のグリーンシート６が形成された長尺状のキャリアフィルム５が供給され、搬送される。そして、キャリアフィルム５の搬送の途中において、長尺状のグリーンシート６が切断されてキャリアフィルム５上に矩形状のグリーンシート７が形成され、更に、矩形状のグリーンシート７がキャリアフィルム５から剥離される。

電子部品製造装置１０００は、キャリアフィルム５の搬送路に、第１駆動ローラ１ａと第２駆動ローラ１ｂとを備えている。第１駆動ローラ１ａ、第２駆動ローラ１ｂは、キャリアフィルム５を能動的に搬送するためのものである。

本実施形態においては、第１駆動ローラ１ａ、第２駆動ローラ１ｂに、サクションローラを使用した。すなわち、第１駆動ローラ１ａ、第２駆動ローラ１ｂには、図示は省略するが、表面に通気孔が形成されており、キャリアフィルム５が当接している部分において、通気孔によってキャリアフィルム５を吸引することができる。そして、第１駆動ローラ１ａ、第２駆動ローラ１ｂは、キャリアフィルム５を吸引した状態で回転することによって、キャリアフィルム５を搬送することができる。

なお、第１駆動ローラ１ａ、第２駆動ローラ１ｂには、サクションローラに代えて、キャリアフィルム５とグリーンシート６とを挟み込んで搬送する、または、キャリアフィルム５を挟み込んで搬送する、ニップローラなどを使用してもよい。

第１駆動ローラ１ａと第２駆動ローラ１ｂとは、同期して回転するように制御されている。すなわち、第１駆動ローラ１ａと第２駆動ローラ１ｂとは、両者の直径が同じ場合には、同じタイミングで、同じ量だけ回転し、キャリアフィルム５を高い精度で搬送する。

電子部品製造装置１０００には、更に、キャリアフィルム５の搬送路に、搬送ローラ２ａ、２ｂが設けられている。搬送ローラ２ａ、２ｂは、第１駆動ローラ１ａと第２駆動ローラ１ｂとの間に設けられている。搬送ローラ２ａ、２ｂは、キャリアフィルム５の搬送方向を変えたい場合や、キャリアフィルム５に張力を与えたい場合などに設けられる。

本実施形態においては、搬送ローラ２ａ、２ｂに、キャリアフィルム５を能動的に搬送する機能を備えた補助駆動ローラを使用した。搬送ローラ２ａ、２ｂは、第１駆動ローラ１ａおよび第２駆動ローラ１ｂと同期して自ら回転する。なお、搬送ローラ２ａ、２ｂは、補助駆動ローラではなく、キャリアフィルム５の搬送に伴って受動的に回転するものであってもよい。

電子部品製造装置１０００は、キャリアフィルム５の搬送路に、切断領域Ａ１と剥離領域Ａ２とを備えている。切断領域Ａ１と剥離領域Ａ２とは、第１駆動ローラ１ａと第２駆動ローラ１ｂとの間に設けられている。

切断領域Ａ１は、長尺状のグリーンシート６を切断し、キャリアフィルム５上に矩形状のグリーンシート７を形成する領域である。切断領域Ａ１には、１対のカット刃３ａ、３ｂが、所定の間隔を空けて設けられている。

剥離領域Ａ２は、矩形状のグリーンシート７をキャリアフィルム５から剥離する領域である。剥離領域Ａ２には、剥離ローラ４が設けられている。

本実施形態の剥離ローラ４は、図２の断面図に示すように、外周のおおよそ１／３の領域に、複数の通気孔４ａが形成されている。通気孔４ａは、それぞれ、剥離ローラ４に設けられた所定の通気管に接続されている。なお、本実施形態においては、矩形状のグリーンシート７の長さに適合させて、剥離ローラ４の外周のおおよそ１／３の領域に通気孔４ａを設けたが、通気孔４ａを設ける領域の広さは任意であり、たとえば、外周のおおよそ１／２に通気孔４ａを設けても良く、外周の全周に通気孔４ａを設けてもよい。なお、図４においては、剥離ローラ４の外周に沿って設けられた通気孔４ａが示されているが、通気孔４ａは剥離ローラ４の幅方向にも設けられている。

本実施形態においては、剥離ローラ４がマルチチャンバーサクションローラ構造を備えており、剥離ローラ４の表面の領域ごとに、また時間の経過ごとに、通気孔４ａの状態を、吸引状態、排気状態（ブロー状態）、大気開放状態などの任意の状態にすることができる。また、吸引状態や排気状態は、剥離ローラ４の表面の領域ごとに、強弱を付けることができる。

剥離ローラ４には、剥離したグリーンシート７を加熱（予熱）するために、熱源４ｂが設けられている。熱源４ｂの種類は任意であるが、たとえば、カートリッジヒータ、プレートヒータなどの抵抗加熱方式、誘導加熱、誘電加熱方式、熱媒を利用したヒートポンプ方式などを使用することができる。

剥離ローラ４の材質は任意であるが、たとえば、アルミ、カーボン、ＳＵＳなどを使用することができる。剥離ローラ４の直径は任意であるが、たとえば、５０ｍｍ以上、１０００ｍｍ以下とすることができる。

以下に、電子部品製造装置１０００を使用して実施する、本実施形態にかかる電子部品の製造方法について説明する。なお、製造する電子部品の種類は任意であるが、本実施形態においては、一例として積層セラミックコンデンサを製造する。

まず、キャリアフィルム５を用意する。キャリアフィルム５の材質は任意であるが、たとえば、ＰＥＴを使用することができる。また、キャリアフィルム５の長さ、幅、厚みなどの寸法は任意であり、所望のものを使用することができる。

次に、製造する電子部品に応じた材質、粒径などからなる誘電体セラミックスの粉末、バインダ樹脂、溶剤などを用意し、これらを湿式混合してセラミックスラリーを作製する。

次に、キャリアフィルム５上に、セラミックスラリーを、ダイコータ、グラビアコーター、マイクログラビアコーターなどを用いてシート状に塗布し、乾燥させる。なお、塗布するセラミックスラリーの厚みは任意であり、所望するグリーンシート６の厚みにより、適宜、設定する。

以上により、一方の主面に長尺状のグリーンシート６が形成された長尺状のキャリアフィルム５が完成する。

次に、必要に応じて、内部電極を形成するために、長尺状のグリーンシート６の主面に、導電性ペーストを所望のパターンに印刷する。

次に、図１に示すように、長尺状のグリーンシート６が形成された長尺状のキャリアフィルム５を、順次、電子部品製造装置１０００に供給する。本実施形態においては、キャリアフィルム５を、第１駆動ローラ１ａ、切断領域Ａ１、剥離領域Ａ２、搬送ローラ２ａ、搬送ローラ２ｂ、第２駆動ローラ１ｂを順に経由する経路に供給する。キャリアフィルム５は、第１駆動ローラ１ａ、第２駆動ローラ１ｂ、および、補助駆動ローラである搬送ローラ２ａ、２ｂによって、高い精度で制御されて搬送される。

次に、長尺状のグリーンシート６を、矩形状のグリーンシート７に切断する。具体的には、まず、キャリアフィルム５の搬送を停止させる。次に、切断領域Ａ１において、カット刃３ａ、３ｂを下降させ、長尺状のグリーンシート６を所望の寸法の矩形状のグリーンシート７に切断する。このとき、カット刃３ａ、３ｂは、グリーンシート６だけを切断し、キャリアフィルム５を切断しないようにする。この結果、長尺状のキャリアフィルム５上に、矩形状のグリーンシート７が形成される。

次に、キャリアフィルム５を間欠的に搬送し、切断された矩形状のグリーンシート７を剥離領域Ａ２の方向に搬送するとともに、切断領域Ａ１に長尺状のグリーンシート６の次に切断すべき部分を搬送する。

以上の長尺状のグリーンシート６の矩形状のグリーンシート７への切断と、キャリアフィルム５の間欠的な搬送とを、順次、繰り返す。

なお、先に切断された矩形状のグリーンシート７と次に切断された矩形状のグリーンシート７との間のキャリアフィルム５上に、長尺状のグリーンシート６の不使用部分（矩形状のグリーンシート７として切断しなかった部分）が残る場合があるが、図１などにおいては、かかる不使用部分の図示を省略している。

次に、図３（Ａ）〜（Ｃ）、図４（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、剥離領域Ａ２において、キャリアフィルム５上に形成された矩形状のグリーンシート７を、キャリアフィルム５から剥離する。なお、図３（Ａ）〜（Ｃ）は正面図、図４（Ａ）〜（Ｃ）は説明図であり、図３（Ａ）と図４（Ａ）、図３（Ｂ）と図４（Ｂ）、図３（Ｃ）と図４（Ｃ）が、それぞれ、同じ時点を示している。なお、図４（Ａ）〜（Ｃ）は、剥離ローラ４の通気孔４ａの状態（吸引状態、大気開放状態、排気状態）を示している。

まず、図３（Ａ）、図４（Ａ）に示すように、キャリアフィルム５によって、矩形状のグリーンシート７が剥離領域Ａ２に搬送され、その先端が剥離ローラ４の最下部に当接する。この時点では、剥離ローラ４の通気孔４ａは大気開放状態（又は排気状態）にあり、吸引はしていない。

次に、図３（Ｂ）、図４（Ｂ）に示すように、キャリアフィルム５によって矩形状のグリーンシート７を更に搬送し、それに同期させて剥離ローラ４を回転させる。このとき、通気孔４ａは、剥離ローラ４の最下部を越えると、順次、大気開放状態（又は排気状態）から吸引状態に切り替わり、矩形状のグリーンシート７を吸引する。そして、剥離ローラ４の回転に伴って、矩形状のグリーンシート７がキャリアフィルム５から剥離される。

次に、図３（Ｃ）、図４（Ｃ）に示すように、矩形状のグリーンシート７がキャリアフィルム５から完全に剥離され、矩形状のグリーンシート７が剥離ローラ４の表面に保持される。

なお、本実施形態においては、剥離ローラ４の表面に保持された矩形状のグリーンシート７が、剥離ローラ４の熱源４ｂによって加熱（予熱）される。また、本実施形態においては、剥離ローラ４が、次の工程である積層工程において矩形状のグリーンシート７を積層する積層ローラを兼ねている。そのため、矩形状のグリーンシート７が剥離ローラ４の表面に保持されると、積層工程を実施する空間を確保するために、キャリアフィルム５と搬送ローラ２ａとが、一旦、剥離ローラ４の下から退却する。なお、キャリアフィルム５と搬送ローラ２ａとを退却させる代わりに、矩形状のグリーンシート７を保持した剥離ローラ４を、別の場所に移動させるようにしてもよい。

次に、図５（Ａ）〜（Ｃ）、図６（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、積層ローラを兼ねる剥離ローラ４に保持された矩形状のグリーンシート７を、積層ステージ８上に積層し、積層体９を作製する。なお、図５（Ａ）〜（Ｃ）は正面図、図６（Ａ）〜（Ｃ）は説明図であり、図５（Ａ）と図６（Ａ）、図５（Ｂ）と図６（Ｂ）、図５（Ｃ）と図６（Ｃ）が、それぞれ、同じ時点を示している。なお、図６（Ａ）〜（Ｃ）は、積層ローラを兼ねる剥離ローラ４の通気孔４ａの状態（吸引状態、大気開放状態、排気状態）を示している。

本工程においては、積層ステージ８が使用される。積層ステージ８の内部には、積層体９を加熱するために、熱源８ａが設けられている。

まず、図５（Ａ）、図６（Ａ）に示すように、矩形状のグリーンシート７が保持された、積層ローラを兼ねる剥離ローラ４の下に、積層ステージ８を移動させる。図５（Ａ）、図６（Ａ）においては、積層ステージ８上に、既に複数の矩形状のグリーンシート７が積層され、加熱圧着されて、作製途中の積層体９が存在している。ただし、１層目のグリーンシート７を積層する場合には、積層ステージ８上に積層体９（グリーンシート７）は存在していない。

剥離ローラ４の最下部において、剥離ローラ４に保持されたグリーンシート７の先端と、積層体９の最上層に積層されたグリーンシート７の先端とが、位置合わせされる。この時点では、剥離ローラ４の通気孔４ａは吸引状態にあり、矩形状のグリーンシート７は剥離ローラ４に保持されている。

次に、図５（Ｂ）、図６（Ｂ）に示すように、積層ローラを兼ねる剥離ローラ４を回転させ、それに同期させて、積層ステージ８を回転と同じ方向（図５（Ｂ）、図６（Ｂ）における右方向）に移動させる。このとき、通気孔４ａは、剥離ローラ４の最下部を越えると、順次、吸引状態から排気状態（又は大気開放状態）に切り替わる。この結果、積層ローラを兼ねる剥離ローラ４に保持されたグリーンシート７が、積層ステージ８上の積層体９の最上層に積層され、加熱圧着される。

このとき、積層ローラを兼ねる剥離ローラ４に保持された矩形状のグリーンシート７は、剥離ローラ４の熱源４ｂによって加熱（予熱）されているため、当該グリーンシート７が積層体９から熱を奪うことがなく、当該グリーンシート７は積層体９の最上層に良好に加熱圧着される。

次に、図５（Ｃ）、図６（Ｃ）に示すように、矩形のグリーンシート７が積層体９に完全に加熱圧着されて、当該グリーンシート７の積層が完了する。

以上の矩形のグリーンシート７の積層を所望の回数繰り返し、積層体９を完成させる。

次に、必要に応じて、積層体９を複数の個片の未焼成セラミック素体に分割する。

次に、未焼成セラミック素体を、所定のプロファイルで焼成し、セラミック素体を作製する。このとき、グリーンシート７の層間に設けられた導電性ペーストも焼成され、セラミック素体の層間に内部電極が形成される。

次に、セラミック素体の表面に外部電極を形成して、本実施形態にかかる電子部品（積層セラミックコンデンサ）が完成する。

本実施形態の電子部品の製造方法においては、矩形状のグリーンシート７のキャリアフィルム５からの剥離を、剥離ローラ４によっておこなっているため、矩形状のグリーンシート７をキャリアフィルム５から極めて良好に剥離することができる。

すなわち、図１０に示したように、底面が平板状の搬送ユニット１０４を使って矩形状のグリーンシート１０５を剥離する従来の方法では、カット刃１０４ａと、機械的加工によって搬送ユニット１０４に形成された通気孔１０４ｂとの距離Ｘが大きいため、グリーンシート１０５の先端部Ｐが、搬送ユニット１０４の底面から捲れたり、破れたり、皺が入ったりしてしまう場合があった。そして、グリーンシート１０５を積層して作製された積層体が、不良品になってしまう場合があった。

これに対し、本実施形態においては、切断領域Ａ１における長尺状のグリーンシート６の矩形状のグリーンシート７への切断と、第１駆動ローラ１ａ、第２駆動ローラ１ｂによるキャリアフィルム５の搬送と、剥離領域Ａ２における剥離ローラ４の回転とを、同期させて正確なタイミングで制御すれば、図２に示すように、矩形状のグリーンシート７の先端と、剥離ローラ４に設けられた先頭の通気孔４ａとの間の距離Ｙを、たとえば１０μｍ以下というように、極めて小さくすることができる。

本実施形態においては、剥離領域Ａ２において、矩形状のグリーンシート７の先端と剥離ローラ４に設けられた先頭の通気孔４ａとの間の距離Ｙを、極めて小さくすることができるため、グリーンシート７の先端部Ｐが、剥離ローラ４の表面から捲れたり、破れたり、皺が入ったりしてしまうことなない。したがって、グリーンシート７の先端部Ｐの捲れ、破れ、皺などに起因して、積層体が不良品になってしまうことがない。

また、本実施形態においては、キャリアフィルム５の各部分が剥離ローラ４と当接している時間が短く、また、グリーンシート７を介して間接的に当接しているため、剥離ローラ４に設けられた熱源４ｂの熱によって、キャリアフィルム５が破損してしまうことがない。また、剥離ローラ４に設けられた熱源４ｂの熱によって、キャリアフィルム５に皺が発生することがないため、キャリアフィルム５に発生した皺に起因して、キャリアフィルム５上に形成されたグリーンシート７に皺が発生することがない。そのため、グリーンシート７に発生した皺に起因して、積層体が不良品になってしまうことがない。

［第２実施形態］
第１実施形態の一部に変更を加えて、第２実施形態にかかる電子部品の製造方法を実施する。具体的には、第１実施形態においては、剥離ローラ４が積層ローラを兼ねていた。第２実施形態においては、これに変更を加え、専用の剥離ローラ１４と、専用の積層ローラ２４とを使用する。なお、剥離ローラ１４および積層ローラ２４は、いずれも、マルチチャンバーサクションローラ構造を備えており、表面に形成された通気孔の状態を、吸引状態、大気開放状態、排気状態などに切り替えることができる。

図７（Ａ）〜（Ｃ）、図８（Ａ）〜（Ｃ）に、本実施形態における、剥離ローラ１４による矩形状のグリーンシート７の剥離と、剥離ローラ１４から積層ローラ２４への矩形状のグリーンシート７の受け渡しを示す。なお、図７（Ａ）〜（Ｃ）は正面図、図８（Ａ）〜（Ｃ）は説明図であり、図７（Ａ）と図８（Ａ）、図７（Ｂ）と図８（Ｂ）、図７（Ｃ）と図８（Ｃ）が、それぞれ、同じ時点を示している。なお、図８（Ａ）〜（Ｃ）は、剥離ローラ１４および積層ローラ２４の表面に形成された通気孔の状態（吸引状態、大気開放状態、排気状態）を示している。

まず、第１実施形態と同じ方法によって、長尺状のグリーンシート６を矩形状のグリーンシート７に切断する。

次に、図７（Ａ）、図８（Ａ）に示すように、専用の剥離ローラ１４によって、第１実施形態と同じ方法で、矩形状のグリーンシート７をキャリアフィルム５から剥離する。剥離された矩形状のグリーンシート７は、剥離ローラ１４の表面に保持される。このとき、剥離ローラ１４の通気孔は吸引状態にある。

次に、図７（Ｂ）、図８（Ｂ）に示すように、剥離ローラ１４と積層ローラ２４とを同期させて逆方向に回転させて、剥離ローラ１４の表面に保持された矩形状のグリーンシート７を、積層ローラ２４の表面に受け渡す。より詳細には、剥離ローラ１４の表面に形成された通気孔は、剥離ローラ１４の最上部を越えると、順次、吸引状態から排気状態（又は大気開放状態）に切り替わる。一方、積層ローラ２４の表面に形成された通気孔は、積層ローラ２４の最下部を越えると、順次、大気開放状態（又は排気状態）から吸引状態に切り替わる。この結果、剥離ローラ１４の表面に保持された矩形状のグリーンシート７が、順次、積層ローラ２４の表面に受け渡される。

次に、図７（Ｃ）、図８（Ｃ）に示すように、剥離ローラ１４から積層ローラ２４への矩形状のグリーンシート７の受け渡しが完了すると、キャリアフィルム５と搬送ローラ２ａと剥離ローラ１４とが、一旦、積層ローラ２４の下から退却する。なお、キャリアフィルム５と搬送ローラ２ａと剥離ローラ１４とを退却させる代わりに、矩形状のグリーンシート７を保持した積層ローラ２４を、別の場所に移動させてもよい。

次に、積層ローラ２４の表面に保持された矩形状のグリーンシート７を、積層ローラ２４によって、第１実施形態と同様の方法によって積層し、加熱圧着して、積層体９を作製する。

以下の工程は、第１実施形態と同様にする。

以上、第１実施形態にかかる電子部品の製造方法と、第２実施形態にかかる電子部品の製造方法とについて説明した。しかしながら、本発明が上述した内容に限定されることはなく、発明の趣旨に沿って種々の変更をなすことができる。

たとえば、上記実施形態においては、電子部品として積層セラミックコンデンサを作製したが、作製する電子部品の種類は任意であり、積層セラミックサーミスタ、積層セラミックインダクタ、積層セラミック複合部品など、他の種類の電子部品であってもよい。

また、上記実施形態においては、剥離ローラ４（又は１４）の外周のおよそ１／３の領域に通気孔４ａが形成されていたが、通気孔４ａを設ける領域の広さは任意であり、たとえば、外周のおおよそ１／２に通気孔４ａを設けても良く、外周の全周に通気孔４ａを設けてもよい。

また、上記実施形態においては、剥離ローラ４、１４が、マルチチャンバーサクションローラ構造を備えていたが、この構造は必須のものではない。

また、第２実施形態においては、矩形状のグリーンシート７を剥離ローラ１４から積層ローラ２４へ直接に受け渡していたが、剥離ローラ１４と積層ローラ２４との間に、１つ、または、複数の保持ローラを介在させ、矩形状のグリーンシート７を剥離ローラ１４から積層ローラ２４へ保持ローラを介在させて受け渡すようにしてもよい。

本発明の一実施態様にかかる電子部品の製造方法は、「課題を解決するための手段」の欄に記載したとおりである。

この電子部品の製造方法において、剥離ローラの表面に通気孔が形成され、剥離工程において、矩形状のグリーンシートは、通気孔によって吸引され、剥離ローラの回転に伴ってキャリアフィルムから剥離され、剥離ローラの表面に保持されるようにしてもよい。この場合には、矩形状のグリーンシートが、キャリアフィルムから確実に剥離される。

また、剥離ローラに熱源が設けられ、熱源によって矩形状のグリーンシートが加熱されるようにしてもよい。この場合には、積層工程において、新たに積層される矩形状のグリーンシートが、それまでに積層された作製途中の積層体から熱を奪うことなく、矩形状のグリーンシートが積層体の最上層に良好に加熱圧着される。

また、剥離ローラが、マルチチャンバーサクションローラ構造を備え、通気孔によって矩形状のグリーンシートを吸引する吸引機能と、通気孔から矩形状のグリーンシートを開放する排気機能または大気開放機能と、を備えたものであってもよい。この場合には、剥離ローラによる、矩形状のグリーンシートの剥離、保持、他のローラへの受け渡し、積層体への積層などを、良好におこなうことができる。

また、切断工程が切断領域において実施され、剥離工程が剥離領域において実施され、キャリアフィルムは、切断領域から剥離領域に向かう方向に搬送され、記切断領域の前、および剥離領域の後ろに、それぞれ、キャリアフィルムを搬送する駆動ローラが設けられ、駆動ローラが、サクションローラまたはニップローラであるようにしてもよい。この場合には、駆動ローラによって、キャリアフィルムを、高い精度で搬送することができる。

また、切断領域の前の駆動ローラと、剥離領域の後ろの駆動ローラとの間に、少なくとも１つの搬送ローラが設けられ、搬送ローラの少なくとも１つが、キャリアフィルムを能動的に搬送する補助駆動ローラであってもよい。この場合には、キャリアフィルムを、更に高い精度で搬送することができる。

また、剥離ローラの直径を、５０ｍｍ以上、１０００ｍｍ以下としてもよい。この場合には、矩形状のグリーンシートをキャリアフィルムから良好に剥離することができる。また、剥離される矩形状のグリーンシートの先端と、剥離ローラに形成された通気孔との位置合わせが容易になる。

また、剥離工程の後に、矩形状のグリーンシートを積層する積層工程を備えてもよい。この場合には、一連の工程ラインにより、電子部品を高い生産性で製造することができる。

また、剥離ローラが、矩形状のグリーンシートを積層する機能を兼ね備え、積層工程が、剥離ローラを使用して実施されるようにしてもよい。この場合には、矩形状のグリーンシートを、剥離ローラから積層ローラなどに受け渡す工程を省略することができるため、電子部品を高い生産性で製造することができる。

また、積層工程が、積層ローラを使用して実施され、矩形状のグリーンシートが、剥離ローラから積層ローラに、直接に受け渡されるか、または、少なくとも１つの保持ローラを介して受け渡されるようにしてもよい。この場合には、積層ローラによって、矩形状のグリーンシートを高い精度で積層することができる。

また、積層ローラおよび保持ローラの少なくとも一方が、通気孔およびマルチチャンバーサクションローラ構造を備え、通気孔によって矩形状のグリーンシートを吸引する吸引機能と、通気孔から矩形状のグリーンシートを開放する排気機能または大気開放機能と、を備えたものとしてもよい。この場合には、剥離ローラと積層ローラとの間、剥離ローラと保持ローラとの間、保持ローラと積層ローラとの間における、矩形状のグリーンシートの受け渡しを良好におこなうことができる。

１ａ・・・第１駆動ローラ
１ｂ・・・第２駆動ローラ
２ａ、２ｂ・・・搬送ローラ
３ａ、３ｂ・・・カット刃
４・・・剥離ローラ（積層ローラを兼ねている）
４ａ・・・通気孔
４ｂ・・・熱源
５・・・キャリアフィルム
６・・・長尺状のグリーンシート
７・・・矩形状のグリーンシート
８・・・積層ステージ
８ａ・・・熱源
９・・・積層体
１４・・・剥離ローラ
２４・・・積層ローラ
Ａ１・・・切断領域
Ａ２・・・剥離領域

Claims (12)

1. 電子部品の製造方法であって、
   一方の主面に長尺状のグリーンシートが形成された長尺状のキャリアフィルムを準備する準備工程と、
   前記長尺状のグリーンシートを切断して、前記キャリアフィルム上に矩形状のグリーンシートを形成する切断工程と、
   剥離ローラによって、前記矩形状のグリーンシートを前記キャリアフィルムから剥離する剥離工程と、を備えた電子部品の製造方法。
2. 前記剥離ローラの表面に通気孔が形成され、
   前記剥離工程において、
   前記矩形状のグリーンシートは、前記通気孔によって吸引され、前記剥離ローラの回転に伴って前記キャリアフィルムから剥離され、前記剥離ローラの表面に保持される、請求項１に記載された電子部品の製造方法。
3. 前記剥離ローラに熱源が設けられ、前記熱源によって前記矩形状のグリーンシートが加熱される、請求項１または２に記載された電子部品の製造方法。
4. 前記剥離ローラが、
   マルチチャンバーサクションローラ構造を備え、
   前記通気孔によって前記矩形状のグリーンシートを吸引する吸引機能と、
   前記通気孔から前記矩形状のグリーンシートを開放する排気機能または大気開放機能と、を備えた請求項１ないし３のいずれか１項に記載された電子部品の製造方法。
5. 前記切断工程が切断領域において実施され、
   前記剥離工程が剥離領域において実施され、
   前記キャリアフィルムは、前記切断領域から前記剥離領域に向かう方向に搬送され、
   前記切断領域の前、および前記剥離領域の後ろに、それぞれ、前記キャリアフィルムを搬送する駆動ローラが設けられ、
   前記駆動ローラが、サクションローラまたはニップローラである、請求項１ないし４のいずれか１項に記載された電子部品の製造方法。
6. 前記切断領域の前の前記駆動ローラと、前記剥離領域の後ろの前記駆動ローラとの間に、少なくとも１つの搬送ローラが設けられ、
   前記搬送ローラの少なくとも１つが、前記キャリアフィルムを能動的に搬送する補助駆動ローラである、請求項５に記載された電子部品の製造方法。
7. 前記剥離ローラの直径が、５０ｍｍ以上、１０００ｍｍ以下である、請求項１ないし６のいずれか１項に記載された電子部品の製造方法。
8. 前記剥離工程の後に、前記矩形状のグリーンシートを積層する積層工程を備えた、請求項１ないし７のいずれか１項に記載された電子部品の製造方法。
9. 前記剥離ローラが、前記矩形状のグリーンシートを積層する機能を兼ね備え、
   前記積層工程が、前記剥離ローラを使用して実施される、請求項８に記載された電子部品の製造方法。
10. 前記積層工程が、積層ローラを使用して実施され、
    前記矩形状のグリーンシートが、前記剥離ローラから前記積層ローラに、直接に受け渡されるか、または、少なくとも１つの保持ローラを介して受け渡される、請求項８に記載された電子部品の製造方法。
11. 前記積層ローラおよび前記保持ローラの少なくとも一方が、
    通気孔およびマルチチャンバーサクションローラ構造を備え、
    前記通気孔によって前記矩形状のグリーンシートを吸引する吸引機能と、
    前記通気孔から前記矩形状のグリーンシートを開放する排気機能または大気開放機能と、を備えた、請求項１０に記載された電子部品の製造方法。
12. 製造される電子部品が積層セラミックコンデンサである、請求項１ないし１１のいずれか１項に記載された電子部品の製造方法。

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