JP3086385B2 - 積層型電子部品の積層方法及びその装置 - Google Patents

積層型電子部品の積層方法及びその装置

Info

Publication number
JP3086385B2
JP3086385B2 JP06302203A JP30220394A JP3086385B2 JP 3086385 B2 JP3086385 B2 JP 3086385B2 JP 06302203 A JP06302203 A JP 06302203A JP 30220394 A JP30220394 A JP 30220394A JP 3086385 B2 JP3086385 B2 JP 3086385B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sheet
unit
pallet
cutting
thermocompression bonding
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP06302203A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH08162364A (ja
Inventor
義二 関口
尚之 石坂
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Taiyo Yuden Co Ltd
Original Assignee
Taiyo Yuden Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=17906189&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=JP3086385(B2) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Taiyo Yuden Co Ltd filed Critical Taiyo Yuden Co Ltd
Priority to JP06302203A priority Critical patent/JP3086385B2/ja
Publication of JPH08162364A publication Critical patent/JPH08162364A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3086385B2 publication Critical patent/JP3086385B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)
  • Ceramic Capacitors (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、積層コンデンサ等の積
層型電子部品の製造に有用なシート積層方法及びその装
置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】積層コンデンサ等の積層型電子部品の製
造には、部品種に対応する導体群を備えた単位シートを
カバーシートと共に積層し熱圧着する工程を必要とす
る。単位シートの作成には、スクリーン印刷等の手法に
より所定数及び配列の導体群を長手方向に等間隔で形成
した帯状のセラミックグリーンシートを用意し、筒状の
切断刃を備えたユニットによりこれを所定の単位寸法で
打ち抜く方法が一般的に採用されている。
【0003】ところで、上記の積層・熱圧着には、単位
シートを1枚ずつ積み重ねて所望枚数の単位シートを一
括で圧着する方法がある。しかし、この方法では、積層
枚数が多くなるにつれて圧着時における内部圧力分布の
偏りが大きくなり、該圧力歪によってクラック発生や層
間剥離等の積層不良を生じる難点がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記事情に鑑み、積層
・熱圧着を少枚数単位で実施し、最終的にこれらを必要
個数積み重ねて最終的に熱圧着する方法が実施されてい
る。しかし、この方法では、少枚数単位で個別に熱圧着
が実施されるため、少枚数積層体相互間の馴染みが悪
く、境界部分にずれや上記同様の圧力歪を生じる問題点
がある。
【0005】本発明は上記問題点に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、多数枚の単位シートを不
良を生じることなく積層できる方法と、該方法の実施に
好適な装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1の発明は、部品種に対応する導体群を備え
た単位シートを積層し熱圧着する積層型電子部品の積層
方法において、複数枚の単位シートを順次積み重ねる工
程と、積み重ねた複数の単位シートを熱圧着してシート
積層物を作成する工程とを備え、該工程を実施した後
に、シート積層物の上に複数枚の単位シートを順次積み
重ねる工程と、シート積層物及び該シート積層物の上に
積み重ねた単位シートの全体を熱圧着してシート積層物
を作成する工程とを繰り返し実施することを含むことを
特徴としている。
【0007】請求項2の発明は、積層位置と熱圧着位置
との間で積層用パレットを循環搬送するパレット搬送手
段と、キャリアテープにより支持され且つ部品種に対応
する導体群が長手方向に等間隔で形成された帯状のグリ
ーンシートを移動させるシート移送手段と、一導体群が
包含されるようにグリーンシートを単位シートの幅及び
長さ寸法で切断するシート切断手段と、切断された単位
シートを搬送し積層位置にあるパレット上に積み重ねる
単位シート搬送手段と、熱圧着位置にあるパレット上の
単位シートを熱圧着する熱圧着手段とを具備するととも
に、前記パレット搬送手段は、前記単位シート搬送手段
により積層位置にあるパレット上に複数枚の単位シート
を積み重ねた後に、該パレットを熱圧着位置に搬送する
ことを特徴としている。
【0008】請求項3の発明は、積層用パレットを積層
位置と熱圧着位置の順で搬送するパレット搬送手段と、
キャリアテープにより支持され且つ部品種に対応する導
体群が長手方向に等間隔で形成された帯状のグリーンシ
ートを移動させるシート移送手段と、一導体群が包含さ
れるようにグリーンシートを単位シートの幅及び長さ寸
法で切断するシート切断手段と、切断された単位シート
を搬送し積層位置にあるパレット上に積み重ねる単位シ
ート搬送手段と、熱圧着位置にあるパレット上の単位シ
ートを熱圧着する熱圧着手段と、搬送中のパレット上の
単位シートを加 温する加温手段とを備えた具備したこと
を特徴としている。
【0009】請求項4の発明は、請求項2又は3記載の
積層装置において、シート切断手段がグリーンシートを
単位シートの幅寸法で切断する治具と長さ寸法で切断す
る治具とに分離構成され、単位シート搬送手段が幅寸法
切断治具と長さ寸法切断治具の何れか一方を備え、且つ
切断された単位シートを吸着する手段を有することを特
徴としている。
【0010】請求項5の発明は、請求項4記載の積層装
置において、グリーンシートを切断・吸着位置で支承し
且つ同位置から離反可能なテーブルを備えたことを特徴
としている。
【0011】請求項6の発明は、積層用パレットを積層
位置と熱圧着位置の順で搬送するパレット搬送手段と、
キャリアテープにより支持され且つ部品種に対応する導
体群が長手方向に等間隔で形成された帯状のグリーンシ
ートを移動させるシート移送手段と、一導体群が包含さ
れるようにグリーンシートを単位シートの幅及び長さ寸
法で切断するシート切断手段と、切断された単位シート
を搬送し積層位置にあるパレット上に積み重ねる単位シ
ート搬送手段と、熱圧着位置にあるパレット上の単位シ
ートを熱圧着する熱圧着手段と、グリーンシートを切断
・吸着位置で支承し且つ同位置から離反可能なテーブル
とを具備するとともに、前記シート切断手段がグリーン
シートを単位シートの幅寸法で切断する治具と長さ寸法
で切断する治具とに分離構成され、単位シート搬送手段
が幅寸法切断治具と長さ寸法切断治具の何れか一方を備
え、且つ切断された単位シートを吸着する手段を有する
ことを特徴としている。
【0012】
【作用】請求項1の発明では、複数の単位シートを順次
積み重ねて熱圧着した後、この上に複数の単位シートを
順次積み重ねて全体を熱圧着する手順を繰り返すこと
で、所望枚数のシート積層物が得られる。単位シート積
層と熱圧着とが所定枚数単位で順に繰り返されるので、
全体の積層枚数が多くなる場合でも熱圧着時に圧力歪や
ずれを生じ難い。
【0013】請求項2の発明では、積層位置で複数の単
位シートをパレット上に積み重ね、また熱圧着位置でこ
れを熱圧着することができる。積層用パレットを積層位
置と熱圧着位置との間で循環搬送しているので、該パレ
ット搬送により上記の単位シート積層と熱圧着を所定回
数繰り返すことができる。
【0014】請求項3の発明では、積層位置で単位シー
トをパレット上に所定枚数積み重ね、また熱圧着位置で
これを熱圧着することができる。積層用パレットを積層
位置と熱圧着位置の順で搬送しているので、該パレット
搬送により上記の単位シート積層と熱圧着を所定回数繰
り返すことができる。また、搬送中のパレット上の単位
シートを加温することができる。
【0015】請求項4の発明では、シートの幅寸法切断
と長さ寸法切断の何れか一方と、切断された単位シート
を吸着搬送を一手段にて行うことができる。他の作用は
請求項2又は3の発明と同様である。
【0016】請求項5の発明では、切断・吸着後にテー
ブルを離反させることで、キャリアテープからの単位シ
ート剥離をスムーズに行うことができる。他の作用は請
求項4の発明と同様である。
【0017】請求項6の発明では、積層位置で単位シー
トをパレット上に所定枚数積み重ね、また熱圧着位置で
これを熱圧着することができる。積層用パレットを積層
位置と熱圧着位置の順で搬送しているので、該パレット
搬送により上記の単位シート積層と熱圧着を所定回数繰
り返すことができる。また、切断・吸着後にテーブルを
離反させることで、キャリアテープからの単位シート剥
離をスムーズに行うことができる。さらに、切断・吸着
後にテーブルを離反させることで、キャリアテープから
の単位シート剥離をスムーズに行うことができる。
【0018】
【実施例】図1及び図2には本発明に係る積層装置の側
面図と上面図を夫々示してある。同図において、1は供
給リール、2は巻取リール、3はガイドリール、4はテ
ンションリール、5は剥離ブレード、6は回収ボック
ス、7は切断リール、8はカッター、9は打抜テーブ
ル、10は搬送ユニット、11,12はCCDカメラ、
13は仮プレステーブル、14はコンベア、15はカバ
ーシートセッター、16は本プレス機、17はパレット
である。
【0019】供給リール1には図3に示す帯状のセラミ
ックグリーンシート(以下単にグリーンシートと言う)
GSが巻き付けられている。このグリーンシートGS
は、PETフィルム等から成る帯状のキャリアテープK
Tによってその下面を支持されており、その上面には電
子部品に対応した導体群Pが所定配列で形成されてい
る。また、各導体群Pの周囲には位置決めマーク(図示
省略)が複数個設けられている。ちなみに、図示例のグ
リーンシートGSは積層コンデンサ用のもので、5×6
配列の矩形状の導体群Pが長手方向に等間隔で形成され
ている。また、図中の2点鎖線は、グリーンシートGS
から打ち抜かれる単位シートStの位置及び大きさを示
す。
【0020】供給リール1から繰り出されたグリーンシ
ートGSは、ガイドリール3及びテンションリール4を
介して切断リール7上に送り込まれ、さらにガイドリー
ル3を介して打抜テーブル9上に送り込まれた後、ガイ
ドリール3及びテンションリール4を介して巻取リール
2によって巻き取られる。巻取リール2にはモータ等の
動力源が接続されており、必要に応じて巻取リール2を
回動させてグリーンシートGSの移動を行う。単位シー
ト打ち抜き後のグリーンシートGSの残材は剥離ブレー
ド5によりキャリアテープKTから掻き取られ回収ボッ
クス6に回収される。つまり、巻取リール2にはキャリ
アテープKTのみが巻き取られる。
【0021】カッター8は、図4に示すように、軸両端
に2枚の円形刃8aを対向して備えており、切断リール
7との協働でグリーンシートGSの切断を行う。両円形
刃8aの間隔(切断間隔)は単位シートStの幅寸法に
合致している。また、カッター8は切断リール7の表面
にバネ付勢されており、キャリアテープKTを傷つける
ことなくグリーンシートGSのみを切断する。
【0022】打抜テーブル9は、図5に示すように、エ
アコンプレッサ等の吸引源に通じる複数の吸引口9a
と、テーブル自体を加熱する電熱ヒータ9bを備えてお
り、平坦な矩形状上面でキャリアテープKTを支承す
る。また、打抜テーブル9の前端はキャリアテープKT
がスムーズに滑動するよう曲面となっている。この打抜
テーブル9は、モータ等の動力源によってその下側のガ
イドリール3と共にグリーンシート切断・吸着位置から
後退し、また後退位置から切断・吸着位置に復帰でき
る。
【0023】搬送ユニット10は、図5に示すように、
平坦な矩形状下面を有する吸着ブロック10aと、該吸
着ブロック10aの前後位置に上下動可能に配置された
一対の矩形刃10bと、該矩形刃10bを下方に付勢す
るバネ材10cと、これらを上下動させるエアシリンダ
等から構成されている。両矩形刃10bの間隔(切断間
隔)は単位シートStの長さ寸法に合致している。ま
た、吸着ブロック10aの外周部分、即ち吸着される単
位シートの導体群Pから離れた外周位置には、エアコン
プレッサ等の吸引源に通じる複数の吸引口10dが設け
られており、吸着時に導体群P及びシート表面に傷を付
けない配慮がなされている。この搬送ユニット10は、
モータ18aにより回転駆動されるボールネジ18bに
装着されており、打抜テーブル9と平行に前後動する。
【0024】CCDカメラ11は打抜テーブル9の上方
に退避可能に配置され、打抜テーブル9上のグリーンシ
ートGSを撮像し、導体群Pの位置決めマークを読み取
ってその位置検出を行う。
【0025】CCDカメラ12は、仮プレス位置のパレ
ット17の上方に退避可能に配置され、パレット17上
のカバーシートSk或いは最上層の単位シートStの位
置検出を行う。
【0026】仮プレステーブル13は、仮プレス位置の
パレット17の下方に上下動且つ回動自在に配置され、
エアシリンダ等により上昇し仮プレス位置のパレット1
7を押し上げる。また、仮プレステーブル13にはテー
ブル自体を加熱する電熱ヒータが設けられている。
【0027】コンベア14は矩形枠状を成し、複数枚の
パレット17を支持しつつこれらを図2に示す矢印方向
に搬送する。このコンベア14には、積層完了後のパレ
ット17をコンベア14上から排出するためのアンロー
ダー14aと、新しいパレット17をコンベア14上に
取り入れるためのローダー14bが夫々設けられてい
る。
【0028】カバーシートセッター15は、エアシリン
ダ等により上下動可能な吸着ヘッド15aと、これをコ
ンベア14上に往復移動させるスライド機構15bとか
ら構成されており、コンベア14の仮プレス位置よりも
下流側に配置されている。このカバーシートセッター1
5は、待機位置に用意された単位シートStと同寸法の
カバーシートSk(導体群が形成されていない単位寸法
のグリーンシート)を吸着・移送し、これをパレット1
7上に積層された単位シートSt上に積み重ねる。
【0029】本プレス機16は、図12に示すように、
エアシリンダ等により上下動可能な可動テーブル16a
と、該可動テーブル16aとの協働によりパレット17
上に積層された単位シートStを所定圧力下でプレスす
る固定テーブル16bとから構成されており、コンベア
14のカバーシートセット位置よりも下流側に配置され
ている。また、可動テーブル16aと固定テーブル16
bの少なくとも一方にはテーブル自体を加熱する電熱ヒ
ータが設けられている。
【0030】パレット17は、図9に示すように、単位
シート寸法よりも大きな矩形状金属板から成り、その上
面には最下層となるカバーシートSkが糊剤等により着
脱自在に接着されている。このパレット17はコンベア
14上に載置され、該コンベア14に沿って搬送され
る。
【0031】ここで、上記積層装置の動作を図4乃至図
21を参照して説明する。
【0032】供給リール1から繰り出されたグリーンシ
ートGSは、キャリアテープKTを下にして切断リール
7上を通過する。この通過過程では、図4に示すよう
に、カッター8の両円形刃8aが所定のバネ付勢下でグ
リーンシートGSに食い込み、これによりキャリアテー
プKTを傷つけることなくグリーンシートGSのみが単
位シートStの幅寸法で切断される。
【0033】幅寸法の切断を完了したグリーンシートG
Sは、図5に示すように、打抜テーブル9上に送り込ま
れて停止し、吸引口9aに生じる負圧によりキャリアテ
ープKTを吸着されその停止状態を保持されると共に、
電熱ヒータ9bによるテーブル熱で加熱される。そし
て、CCDカメラ11により停止後のグリーンシートG
Sの位置決めマークが読み取られ、X方向(シート長手
方向)とY方向(シートと直交する方向)とθ方向(回
転方向)の位置検出が行われる。
【0034】位置検出後はCCDカメラ11が退避し、
図5に示すように、搬送ユニット10が打抜テーブル9
上に移動し、上記の位置検出結果に基づいてX方向位置
を補正しながら搬送ユニット10が一導体群Pと適合す
るように位置合わせが行われる。
【0035】位置合わせ後、図6に示すように、搬送ユ
ニット10が降下する。この降下過程では、前後位置の
矩形刃10bが所定のバネ付勢下でグリーンシートGS
に食い込み、これによりキャリアテープKTを傷つける
ことなくグリーンシートGSのみが単位シートStの長
さ寸法で切断される。グリーンシートGSのバインダが
テーブル熱により軟化しているのでここでの切断は容易
に行うことができる。長さ寸法の切断を完了したグリー
ンシート(単位シートSt)は、搬送ユニット10の吸
引口10dに生じる負圧により吸着される。
【0036】搬送ユニット降下後は、打抜テーブル9に
対するキャリアテープKTの吸着が解かれ、図7に示す
ように、打抜テーブル9がキャリアテープKTの下を一
定速度で滑りながらその下側のガイドリール3と共に後
退する。この後退過程では、所定のテンションをもって
繰り出されているグリーンシートGS及びキャリアテー
プKTが前方に引き込まれ、切断後の単位シートStを
搬送ユニット10側に残したままこれらが搬送ユニット
10の下面から徐々に離れる。打抜テーブル9をガイド
リール3と共に後退させて剥離角度を一定に保っている
ので、打抜テーブル9の後退による単位シートStの剥
離をスムーズに行うことができる。図8に示すように、
打抜テーブル9及びガイドリール3の後退により単位シ
ートStが完全に剥離したところで搬送ユニット10が
上昇する。
【0037】単位シートStを保持した搬送ユニット1
0は、図9に示すように、仮プレス位置に移動し位置決
めの後に停止する。この移動過程では、上記CCDカメ
ラ11による位置検出結果に基づいて仮プレス位置にあ
るパレット17のY方向位置とθ方向位置が仮プレステ
ーブル13により補正され、単位シートStとの位置合
わせが行われる。
【0038】搬送ユニット10が仮プレス位置で停止し
た後は、図10に示すように、仮プレステーブル13が
上昇し、該テーブル13の熱を利用してカバーシートS
kと搬送ユニット10側の単位シートStとの熱圧着が
行われる。このときは搬送ユニット10の吸引口10d
からエアが吹き出され、単位シートStはカバーシート
Sk側に移行する。
【0039】この後は、搬送ユニット10による単位シ
ートStの切断・搬送と仮プレスが上記と同様の手順で
所定回数繰り返され、図11に示すように、仮プレス位
置にあるパレット17のカバーシートSk上に単位シー
トStが所定枚数、例えば30枚(St1)積層され
る。この積層過程では仮プレス後の単位シートStがC
CDカメラ12により撮像され、該画像に基づいて仮プ
レス後の位置ずれ等が検出される。
【0040】パレット17に対し単位シート30枚の積
層(1回目)が完了した後は、該パレット17が本プレ
ス位置に移動して停止され、図12に示すように、本プ
レス機16の可動テーブル16aが上昇し、テーブル熱
を利用してカバーシートSk及び積層単位シートSt1
が熱圧着、例えば30ton・60℃で2分間熱圧着さ
れる。この本プレス過程では、仮プレス位置に送り込ま
れた別のパレット17のカバーシートSk上に30枚の
単位シートStが積層される。このようにして、コンベ
ア14上の全てのパレット17に対し1回目の30枚積
層と熱圧着が施される。尚、熱圧着後のシート積層物は
一連のシート積層が完了するまで、コンベア14上を移
動する過程においてヒータ等の加温手段により温度降下
が生じぬよう保温される。
【0041】1回目の30枚積層と熱圧着を施されたパ
レット17が再び仮プレス位置にくると、先に述べた搬
送ユニット10による単位シートStの切断・搬送と仮
プレスが所定回数繰り返され、図13に示すように、積
層単位シートSt1の上にさらに単位シートStが30
枚(St2)積層される。
【0042】パレット17に対し単位シート30枚の積
層(2回目)が完了した後は、該パレット17が本プレ
ス位置に移動して停止され、図14に示すように、本プ
レス機16の可動テーブル16aが上昇し、テーブル熱
を利用してカバーシートSk及び積層単位シートSt
1,St2が上記同様に熱圧着される。ちなみに、この
本プレス過程でも、仮プレス位置に送り込まれた別のパ
レット17の積層単位シートSt1上にさらに30枚の
単位シートStが積層される。このようにして、コンベ
ア14上の全てのパレット17に対し2回目の30枚積
層と熱圧着が施される。
【0043】2回目の30枚積層と熱圧着を施されたパ
レット17が再び仮プレス位置にくると、先に述べた搬
送ユニット10による単位シートStの切断・搬送と仮
プレスが所定回数繰り返され、図15に示すように、積
層単位シートSt2の上にさらに単位シートStが30
枚(St3)積層される。
【0044】パレット17に対し単位シート30枚の積
層(3回目)が完了した後は、該パレット17が本プレ
ス位置に移動し停止され、図16に示すように、本プレ
ス機16の可動テーブル16aが上昇し、テーブル熱を
利用してカバーシートSk及び積層単位シートSt1〜
St3が上記同様に熱圧着される。ちなみに、この本プ
レス過程でも、仮プレス位置に送り込まれた別のパレッ
ト17の積層単位シートSt2上にさらに30枚の単位
シートStが積層される。このようにして、コンベア1
4上の全てのパレット17に対し3回目の30枚積層と
熱圧着が施される。
【0045】3回目の30枚積層と熱圧着を施されたパ
レット17が再び仮プレス位置にくると、先に述べた搬
送ユニット10による単位シートStの切断・搬送と仮
プレスが所定回数繰り返され、図17に示すように、積
層単位シートSt3の上にさらに単位シートStが30
枚(St4)積層される。
【0046】パレット17に対し単位シート30枚の積
層(4回目)が完了した後は、該パレット17が本プレ
ス位置に移動し停止され、図18に示すように、本プレ
ス機16の可動テーブル16aが上昇し、テーブル熱を
利用してカバーシートSk及び積層単位シートSt1〜
St4が上記同様に熱圧着される。ちなみに、この本プ
レス過程でも、仮プレス位置に送り込まれた別のパレッ
ト17の積層単位シートSt3上にさらに30枚の単位
シートStが積層される。このようにして、コンベア1
4上の全てのパレット17に対し4回目の30枚積層と
熱圧着が施される。
【0047】4回目の30枚積層と熱圧着を施されたパ
レット17がカバーシートセット位置にくると、図19
に示すように、カバーシートSkを吸着したカバーシー
トセッター15の吸着ヘッド15aが積層単位シートS
t4上に移動し停止する。この吸着ヘッド15aは停止
位置で降下し、エア吹出しによりカバーシートSkが切
り離され、該カバーシートSkが積層単位シートSt4
の上にさらに積み重ねられる。
【0048】最上層のカバーシートSkの積み重ねが完
了した後は、該パレット17が本プレス位置に移動し停
止され、図20に示すように、本プレス機16の可動テ
ーブル16aが上昇し、テーブル熱を利用して上下位置
のカバーシートSk及び積層単位シートSt1〜St4
が上記同様に熱圧着される。このようにして、コンベア
14上の全てのパレット17に対し最上層のカバーシー
トSkの積層と熱圧着が施される(図21参照)。
【0049】最上層のカバーシートSkの積層と熱圧着
を施されたパレット17は、アンローダー14aを通じ
てコンベア14上から排出され、次の切断工程に送り込
まれる。
【0050】このように本実施例によれば、30枚の単
位シートStをパレット17上に順次積み重ねて熱圧着
した後、この上に30枚の単位シートStを順次積み重
ねて全体を熱圧着する手順を3回繰り返すことで、12
0枚の単位シートSを備えたシート積層物を得ること
ができる。単位シート積層と熱圧着とが30枚単位で順
に繰り返されるので、全体の積層枚数が多くなる場合で
も熱圧着時に圧力歪やずれを生じ難く、従来のようなク
ラック発生や層間剥離等を確実に防止してシート積層を
良好に行うことができる。
【0051】また、4回の単位シート積層及び熱圧着が
完了した後にこれを最終的に熱圧着することにより、圧
着不均衡を是正して高品質のシート積層物を得ることが
できる。
【0052】更に、コンベア14を利用し積層用パレッ
ト14を積層位置と熱圧着位置の順で搬送しているの
で、上記の単位シート積層と熱圧着を人手に頼ることな
く所望回数自動的に繰り返すことができ、積層枚数の増
加にも追従することができる。しかも、単位シート積層
と熱圧着を同時に実施できるため、生産性が高く、また
一連の積層を従来に比べ短時間で実施することができ
る。
【0053】更にまた、グリーンシートGSの幅方向切
断をカッター8により事前に行うことで、搬送ユニット
10における切断負担を軽減し、幅方向切断と長さ方向
切断を搬送ユニットで同時に行う場合のシート変形等を
防止することができる。
【0054】更にまた、搬送ユニット10による切断・
吸着後に打抜テーブル9を後退し離反させているので、
キャリアテープKTからの単位シート剥離をスムーズに
行うことができ、剥離時に生じるシート変形や破れを防
止して高品質の単位シートを得ることができる。
【0055】尚、実施例では単位シートの積層をパレッ
ト上で順次行うものを示したが、図22に示す搬送ユニ
ット21、つまり矩形刃21aの内側で複数枚の単位シ
ートの積み重ねを行えるものを用いれば、単位シート積
層に伴う搬送ユニットの移動回数を低減或いは1回で済
ませることができる。
【0056】また、グリーンシートの幅方向切断を専用
のカッターにより行うようにしたが、搬送ユニットに従
来同様の筒状切断刃を設けて該カッターを排除するよう
にしてもよい。
【0057】更に、打抜テーブル9をその下側のガイド
リール3と共に後退させて単位シートStの剥離を行う
ようにしたが、打抜テーブル9のみを後退させるように
しても同様の剥離作用を得ることが可能である。
【0058】更にまた、4回目の30枚積層と熱圧着を
施された後に最上層となるカバーシートSkをその上に
積み重ねてさらに熱圧着するようにしたが、4回目の3
0枚積層が施された後にカバーシートSkを積み重ねて
からこれを熱圧着して本プレス機16による熱圧着回数
を減らすようにしてもよい。
【0059】更にまた、単位シートStの寸法や単位シ
ートStの積層枚数及び繰り返し回数やカバーシートS
kの枚数は、得ようとする製品仕様に合わせて適宜変更
可能である。
【0060】以上、本発明は積層コンデンサ以外の積層
型電子部品、例えば積層インダクタ,積層コイル,積層
複合部品等に幅広く適用でき、実施例と同様の効果を得
ることができる。
【0061】
【発明の効果】以上詳述したように、請求項1の発明に
よれば、複数の単位シートを順次積み重ねて熱圧着した
後、この上に複数の単位シートを順次積み重ねて全体を
熱圧着する手順を繰り返すことで、所望枚数のシート積
層物が得られる。単位シート積層と熱圧着とが所定枚数
単位で順に繰り返されるので、全体の積層枚数が多くな
る場合でも熱圧着時に圧力歪やずれを生じ難く、従来の
ようなクラック発生や層間剥離等を確実に防止してシー
ト積層を良好に行うことができる。
【0062】請求項2の発明によれば、積層用パレット
を積層位置と熱圧着位置との間で循環搬送しているの
で、上記の単位シート積層と熱圧着を人手に頼ることな
く所望回数自動的に繰り返すことができ、積層枚数の増
加にも追従することができる。しかも、単位シート積層
と熱圧着を同時に実施できるため、生産性が高く、また
一連の積層を従来に比べ短時間で実施することができ
る。
【0063】請求項3の発明によれば、積層用パレット
を積層位置と熱圧着位置との間で循環搬送しているの
で、上記の単位シート積層と熱圧着を人手に頼ることな
く所望回数自動的に繰り返すことができ、積層枚数の増
加にも追従することができる。しかも、単位シート積層
と熱圧着を同時に実施できるため、生産性が高く、また
一連の積層を従来に比べ短時間で実施することができ
る。
【0064】請求項4の発明によれば、幅方向切断と長
さ方向切断を搬送手段で同時に行う場合のシート変形等
を防止することができる。他の効果は請求項2又は3
発明と同様である。
【0065】請求項5の発明によれば、切断・吸着後に
テーブルを離反させることで、キャリアテープからの単
位シート剥離をスムーズに行うことができ、剥離時に生
じるシート変形や破れを防止して高品質の単位シートを
得ることができる。他の効果は請求項4の発明と同様で
ある。
【0066】請求項6の発明によれば、積層用パレット
を積層位置と熱圧着位置との間で循環搬送しているの
で、上記の単位シート積層と熱圧着を人手に頼ることな
く所望回数自動的に繰り返すことができ、積層枚数の増
加にも追従することができる。しかも、単位シート積層
と熱圧着を同時に実施できるため、生産性が高く、また
一連の積層を従来に比べ短時間で実施することができ
る。さらに、幅方向切断と長さ方向切断を搬送手段で同
時に行う場合のシート変形等を防止することができる。
さらに、切断・吸着後にテーブルを離反させることで、
キャリアテープからの単位シート剥離をスムーズに行う
ことができ、剥離時に生じるシート変形や破れを防止し
て高品質の単位シートを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る積層装置の側面図
【図2】本発明に係る積層装置の上面図
【図3】グリーンシートの上面図
【図4】幅方向切断の様子を示す図
【図5】長さ方向切断及びシート吸着の様子を示す図
【図6】長さ方向切断及びシート吸着の様子を示す図
【図7】シート剥離の様子を示す図
【図8】シート剥離の様子を示す図
【図9】単位シートの積層の様子を示す図
【図10】単位シートの積層の様子を示す図
【図11】1回目の単位シート積層を完了した様子を示
す図
【図12】1回目の熱圧着の様子を示す図
【図13】2回目の単位シート積層を完了した様子を示
す図
【図14】2回目の熱圧着の様子を示す図
【図15】3回目の単位シート積層を完了した様子を示
す図
【図16】3回目の熱圧着の様子を示す図
【図17】4回目の単位シート積層を完了した様子を示
す図
【図18】4回目の熱圧着の様子を示す図
【図19】カバシート積み重ねの様子を示す図
【図20】最終的な熱圧着の様子を示す図
【図21】一連の積層を完了したシート積層物を示す図
【図22】搬送ユニットの他の例を示す断面図
【符号の説明】
1…供給リール、2…巻取リール、3…ガイドリール、
4…テンションリール、5…剥離ブレード、6…回収ボ
ックス、7…切断リール、8…カッター、9…打抜テー
ブル、10…搬送ユニット、11,12…CCDカメ
ラ、13…仮プレステーブル、14…コンベア、15…
カバーシートセッター、16…本プレス機、17…パレ
ット、GS…グリーンシート、KT…キャリアテープ、
P…導体群、St…単位シート、Sk…カバーシート、
St1〜4…積層単位シート。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭57−148332(JP,A) 特開 平3−297117(JP,A) 特開 平2−162710(JP,A) 特開 平6−53096(JP,A) 特開 昭61−253811(JP,A) 特開 平7−122457(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01G 4/00 - 4/40

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 部品種に対応する導体群を備えた単位シ
    ートを積層し熱圧着する積層型電子部品の積層方法にお
    いて、複数枚の単位シートを順次積み重ねる工程と、積み重ね
    た複数の単位シートを熱圧着してシート積層物を作成す
    る工程とを備え、該工程を実施した後に、 シート積層物の上に複数枚の単位シートを順次積み重ね
    る工程と、シート積層物及び該シート積層物の上に積み
    重ねた単位シートの全体を熱圧着してシート積層物を作
    成する工程とを繰り返し実施することを含む、 ことを特徴とする積層型電子部品の積層方法。
  2. 【請求項2】 積層位置と熱圧着位置との間で積層用パ
    レットを循環搬送するパレット搬送手段と、 キャリアテープにより支持され且つ部品種に対応する導
    体群が長手方向に等間隔で形成された帯状のグリーンシ
    ートを移動させるシート移送手段と、 一導体群が包含されるようにグリーンシートを単位シー
    トの幅及び長さ寸法で切断するシート切断手段と、 切断された単位シートを搬送し積層位置にあるパレット
    上に積み重ねる単位シート搬送手段と、 熱圧着位置にあるパレット上の単位シートを熱圧着する
    熱圧着手段とを具備するとともに、前記パレット搬送手段は、前記単位シート搬送手段によ
    り積層位置にあるパレット上に複数枚の単位シートを積
    み重ねた後に、該パレットを熱圧着位置に搬送する、 ことを特徴とする積層型電子部品の積層装置。
  3. 【請求項3】 積層用パレットを積層位置と熱圧着位置
    の順で搬送するパレット搬送手段と、 キャリアテープにより支持され且つ部品種に対応する導
    体群が長手方向に等間隔で形成された帯状のグリーンシ
    ートを移動させるシート移送手段と、 一導体群が包含されるようにグリーンシートを単位シー
    トの幅及び長さ寸法で切断するシート切断手段と、 切断された単位シートを搬送し積層位置にあるパレット
    上に積み重ねる単位シート搬送手段と、 熱圧着位置にあるパレット上の単位シートを熱圧着する
    熱圧着手段と、 搬送中のパレット上の単位シートを加温する加温手段と
    を備えた具備した、 ことを特徴とする積層型電子部品の
    積層装置。
  4. 【請求項4】 シート切断手段がグリーンシートを単位
    シートの幅寸法で切断する治具と長さ寸法で切断する治
    具とに分離構成され、単位シート搬送手段が幅寸法切断
    治具と長さ寸法切断治具の何れか一方を備え、且つ切断
    された単位シートを吸着する手段を有する、 ことを特徴とする請求項2又は3記載の積層型電子部品
    の積層装置。
  5. 【請求項5】 グリーンシートを切断・吸着位置で支承
    し且つ同位置から離反可能なテーブルを備えた、 ことを特徴とする請求項4記載の積層型電子部品の積層
    装置。
  6. 【請求項6】 積層用パレットを積層位置と熱圧着位置
    の順で搬送するパレット搬送手段と、 キャリアテープにより支持され且つ部品種に対応する導
    体群が長手方向に等間隔で形成された帯状のグリーンシ
    ートを移動させるシート移送手段と、 一導体群が包含されるようにグリーンシートを単位シー
    トの幅及び長さ寸法で切断するシート切断手段と、 切断された単位シートを搬送し積層位置にあるパレット
    上に積み重ねる単位シート搬送手段と、 熱圧着位置にあるパレット上の単位シートを熱圧着する
    熱圧着手段と、 グリーンシートを切断・吸着位置で支承し且つ同位置か
    ら離反可能なテーブルとを具備するとともに、 前記シート切断手段がグリーンシートを単位シートの幅
    寸法で切断する治具と長さ寸法で切断する治具とに分離
    構成され、単位シート搬送手段が幅寸法切断治具と長さ
    寸法切断治具の何れか一方を備え、且つ切断された単位
    シートを吸着する手段を有する、 ことを特徴とする積層型電子部品の積層装置。
JP06302203A 1994-12-06 1994-12-06 積層型電子部品の積層方法及びその装置 Expired - Fee Related JP3086385B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP06302203A JP3086385B2 (ja) 1994-12-06 1994-12-06 積層型電子部品の積層方法及びその装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP06302203A JP3086385B2 (ja) 1994-12-06 1994-12-06 積層型電子部品の積層方法及びその装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH08162364A JPH08162364A (ja) 1996-06-21
JP3086385B2 true JP3086385B2 (ja) 2000-09-11

Family

ID=17906189

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP06302203A Expired - Fee Related JP3086385B2 (ja) 1994-12-06 1994-12-06 積層型電子部品の積層方法及びその装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3086385B2 (ja)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3318655B2 (ja) * 1999-08-10 2002-08-26 ニュー・クリエイト株式会社 薄膜積層体の製造方法および製造装置
JP2001326134A (ja) * 2000-05-16 2001-11-22 Taiyo Yuden Co Ltd 積層型電子部品の製造方法及び製造装置と、グリーンシート積層機と、グリーンシート積層用のアンダーシート
DE10217097A1 (de) 2001-04-18 2002-11-21 Denso Corp Verfahren zur Herstellung eines keramischen Laminats
JP4655289B2 (ja) * 2001-08-23 2011-03-23 Oppc株式会社 積層セラミック部品の積層方法とその装置
JP4617691B2 (ja) * 2004-03-25 2011-01-26 株式会社村田製作所 積層セラミック電子部品の製造方法
JP4525421B2 (ja) * 2005-03-30 2010-08-18 Tdk株式会社 セラミックグリーンシートの積層装置及び積層方法
JP4780132B2 (ja) * 2008-03-31 2011-09-28 Tdk株式会社 積層セラミック電子部品の製造装置および製造方法
JP6358074B2 (ja) * 2014-01-31 2018-07-18 株式会社村田製作所 電子部品の製造方法及び電子部品の製造装置
JP6146404B2 (ja) * 2014-12-11 2017-06-14 株式会社村田製作所 グリーンシートの積層装置
WO2020162579A1 (ja) 2019-02-08 2020-08-13 株式会社村田製作所 電子部品の製造方法
WO2020162578A1 (ja) 2019-02-08 2020-08-13 株式会社村田製作所 電子部品の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPH08162364A (ja) 1996-06-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW490693B (en) Manufacturing method of a thin-film laminate for manufacturing the thin-film laminate
JP2504277B2 (ja) 積層型セラミック電子部品用セラミックグリ―ンシ―トの製造方法および装置
JP4525421B2 (ja) セラミックグリーンシートの積層装置及び積層方法
JP3086385B2 (ja) 積層型電子部品の積層方法及びその装置
US8657987B2 (en) Manufacturing apparatus for manufacturing electronic monolithic ceramic components
US5922168A (en) Apparatus for making laminated electrical and electronic devices
JPH03142910A (ja) セラミックグリーンシートの積層方法および装置
KR100528062B1 (ko) 반도체 패키지용 플렉시블피시비 필름의 커버레이필름 라미네이션 방법 및 커버레이필름 라미네이션 장치
JP3227482B2 (ja) セラミック多層基板の製造方法及び装置
US5772838A (en) Apparatus and method for making laminated electrical or electronic devices from a continuous tape coated on one side with ceramic material
KR101724093B1 (ko) 양면테이프 라미네이팅 장치
JPH1071611A (ja) セラミックグリーンシート積層方法及び装置
JP3365336B2 (ja) 積層セラミック電子部品の製造方法
JP3417376B2 (ja) 積層セラミック電子部品の製造方法および製造装置
JPH0948019A (ja) 積層型電子部品の製造方法及びその装置
JP2001044072A (ja) 積層セラミック電子部品のためのセラミック積層体の製造方法および装置
TWI605737B (zh) Flatbed flexible printed circuit board lamination process
KR101786600B1 (ko) 인쇄회로기판 제조용 코어기판과 프리프레그 자동 레이업 장치
JP3278413B2 (ja) セラミック積層体の製造方法
JPS61199950A (ja) ラミネ−タ
JPH07164416A (ja) セラミックグリーンシートの積層方法及び装置
JP7417844B2 (ja) 電子部品の製造方法
JP4780132B2 (ja) 積層セラミック電子部品の製造装置および製造方法
JP2002151350A (ja) 薄膜積層体の製造方法および製造装置
JP2024009562A (ja) 電子部品の製造装置及び製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20000620

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080707

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090707

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090707

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100707

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100707

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110707

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110707

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120707

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120707

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130707

Year of fee payment: 13

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees