JP2001326134A - 積層型電子部品の製造方法及び製造装置と、グリーンシート積層機と、グリーンシート積層用のアンダーシート - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 積層型電子部品の生産性向上に有効な製造方
法を提供する。 【解決手段】 ２枚の支持プレートＳＰを所定経路で循
環させながら、支持プレートＳＰ上に所定枚数の積層用
グリーンシートＧＳ１を積み重ねる作業を経路途中の積
層場所Ｐ２において実施し、支持プレートＳＰ上の多層
シート（積み重ね後の積層用グリーンシート）を圧着す
る作業を経路途中の圧着場所Ｐ３において実施する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、積層型電子部品を
製造するための方法及び装置と、積層用グリーンシート
を得てこれを積み重ねるためのグリーンシート積層機
と、積層用グリーンシートを積み重ねるときに用いられ
るアンダーシートに関する。

【０００２】

【従来の技術】積層セラミックコンデンサや積層セラミ
ックインダクタ等の積層型電子部品は、部品適合の複数
の導体が所定パターンで形成された積層用グリーンシー
トと導体非形成の積層用グリーンシートとを所定の順序
で積み重ね、この多層シート（積み重ね後の積層用グリ
ーンシート）を圧着する工程を経て製造されている。圧
着シート（圧着後の多層シート）は個々の部品に対応し
たチップに切断され、チップ焼成後に外部電極をペース
ト焼き付け手法により形成するか、或いは外部電極用ペ
ーストが塗布されたチップをペーストと同時焼成するこ
とにより所定の積層型電子部品となる。

【０００３】導体形成の積層用グリーンシートは、ＰＥ
Ｔ等から成る帯状キャリアフィルムの表面に部品適合の
セラミックスラリーをドクターブレード法等の手法を用
いて連続的に且つ所定厚みで塗布し、乾燥して帯状グリ
ーンシートを得た後、この帯状グリーンシートの表面に
部品適合の導体ペーストをスクリーン印刷等の手法を用
いて所定の形状及びパターンで、且つ、導体パターンが
長手方向に等間隔で並ぶように形成して乾燥させ、そし
てこの帯状グリーンシートを導体パターンを包含する所
定の形状で裁断して帯状キャリアフィルムから剥離する
ことにより得られる。一方、導体非形成の積層用グリー
ンシートは、前記と同様にして帯状グリーンシートを得
た後、この帯状グリーンシートを所定の形状で裁断して
帯状キャリアフィルムから剥離することにより得られ
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前記の積層
・圧着工程は、通常、導体形成の積層用グリーンシート
と導体非形成の積層用グリーンシートとを所定の順序で
積み重ねるステップと、多層シート（積み重ね後の積層
用グリーンシート）を圧着するステップとから成る。

【０００５】部品種類にもよるが、積層枚数が多い大容
量の積層セラミックコンデンサの場合を例に挙げると、
前記の積層ステップと前記の圧着ステップにはそれぞれ
数分の時間を要し、両時間の和に相当する時間が１つの
圧着シート（圧着後の多層シート）を得るために必要と
なる。つまり、積層型電子部品の生産性を向上させ部品
単価の低減を図るには、１つの圧着シートを得るために
要する時間を極力短縮する必要がある。

【０００６】本発明は前記事情に鑑みて創作されたもの
で、積層型電子部品の生産性向上に有効な積層型電子部
品の製造方法と、同方法実施に好適な積層型電子部品の
製造装置と、同装置に有用なグリーンシート積層機と、
積層用グリーンシートを積み重ねるときに有用なアンダ
ーシートを提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明の積層型電子部品の製造方法は、少なくとも
２枚のプレートを所定の経路で循環させるための循環経
路を設けてこの循環経路途中に積層場所と圧着場所を設
定し、１つのプレートが積層場所で停止しているときに
は他のプレートが圧着場所で停止するようにプレートを
循環させ、積層場所ではプレート上に所定枚数の積層用
グリーンシートを積み重ねる作業を実施し、圧着場所で
はプレート上の多層シートを圧着する作業を実施するこ
とをその特徴とする。

【０００８】この積層型電子部品の製造方法によれば、
少なくとも２枚のプレートを所定の経路で循環させなが
ら、プレート上に所定枚数の積層用グリーンシートを積
み重ねる作業を経路途中の積層場所において実施し、プ
レート上の多層シートを圧着する作業を経路途中の圧着
場所において実施することができる。つまり、循環経路
途中に設けた積層場所と圧着場所において各々の作業を
異なるプレートに対して同時に実施できることから、積
層型電子部品の製造に係る積層・圧着工程を時間的損失
を最小限に抑えながら極めて効率良く実施することがで
きる。

【０００９】また、本発明の積層型電子部品の製造装置
は、積層用グリーンシートを積み重ねるときのベースと
なる少なくとも２枚のプレートと、前記プレートを積層
場所及び圧着場所を含む所定の経路で循環させるための
プレート搬送機と、積層場所にあるプレート上に積層用
グリーンシートを積み重ねるためのグリーンシート積層
機と、圧着場所にあるプレート上の多層シートを圧着す
るための多層シート圧着機とを備えることを特徴とす
る。

【００１０】この積層型電子部品の製造装置によれば、
前述の製造方法を好適に、且つ、安定して実施すること
ができる。

【００１１】さらに、本発明のグリーンシート積層機
は、ベースと、ベースに上下移動可能に設けられた積層
用グリーンシート吸着用の吸着ヘッドと、吸着ヘッドを
上下移動させるための第１アクチュエータと、吸着ヘッ
ドの周囲に設けられたグリーンシート裁断用の刃と、刃
を所定方向に移動させるための第２アクチュエータと、
吸着ヘッドが下降して帯状グリーンシートに接した時に
同位置に吸着ヘッドを固定するための吸着ヘッド固定手
段とを備えることを特徴とする。

【００１２】このグリーンシート積層機によれば、吸着
ヘッドを下降させて帯状キャリアフィルム上に形成され
ている帯状グリーンシートを刃によって所定の形状で裁
断するときに、吸着ヘッド固定手段によって吸着ヘッド
を下降位置に固定することができ、これにより、吸着ヘ
ッドから帯状グリーンシートに加わる荷重を一定化して
グリーンシートに対するダメージを軽減できる。

【００１３】さらにまた、本発明のグリーンシート積層
機は、ベースと、ベースに上下移動可能に設けられた積
層用グリーンシート吸着用の吸着ヘッドと、吸着ヘッド
を上下移動させるための第１アクチュエータと、吸着ヘ
ッドの周囲に設けられたグリーンシート裁断用の刃と、
刃を所定方向に移動させるための第２アクチュエータ
と、吸着ヘッドが下降して帯状グリーンシートに接した
時に吸着ヘッドから帯状グリーンシートに加わる荷重を
調整するための荷重調整手段とを備えることを特徴とす
る。

【００１４】このグリーンシート積層機によれば、吸着
ヘッドを下降させて帯状キャリアフィルム上に形成され
ている帯状グリーンシートを刃によって所定の形状で裁
断するときに、吸着ヘッドから帯状グリーンシートに加
わる荷重を荷重調整手段によって制御することができ、
これにより、吸着ヘッドから帯状グリーンシートに加わ
る荷重を一定化してグリーンシートに対するダメージを
軽減できる。

【００１５】さらにまた、本発明のグリーンシート積層
用のアンダーシートは、このアンダーシートは積層用グ
リーンシートが接する側の面に多数の微細凹部を有し、
各凹部の開口寸法は積層用グリーンシートに含まれるセ
ラミック粒子径以上で５ｍｍ以下の範囲内にあり、各凹
部の深さ寸法は積層用グリーンシートに含まれるセラミ
ック粒子径以上で２００μｍ以下の範囲内にあることを
特徴とする。

【００１６】このグリーンシート積層用のアンダーシー
トによれば、積層用グリーンシートに含まれるセラミッ
ク粒子を、この積層用グリーンシートが接する側の面に
形成された微細凹部に的確に食い込ませることができ、
これにより、積層時やこの後の圧着時に生じ得る積層用
グリーンシートの横滑りや横延びを効果的に抑制するこ
とができる。

【００１７】本発明の前記目的とそれ以外の目的と、構
成特徴と、作用効果は、以下の説明と添付図面によって
明らかとなる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、図に従って本発明の実施形
態を詳細に説明する。

【００１９】図１は積層，圧着工程を行う装置の概略上
面図、図２は図１のＡ−Ａ線矢視図、図３は図１のＢ−
Ｂ線矢視図であり、図中の符号ＳＰは支持プレート、符
号１０はプレート搬送機、符号２０はグリーンシート供
給機、符号３０はグリーンシート積層機、符号４０は多
層シート圧着機、符号５０は圧着シート取出機、符号６
０は圧着シート搬送機、符号７０はアンダーシート供給
機、符号８０はアンダーシートストッカー、符号９０は
プレート予熱機である。

【００２０】支持プレートＳＰは、後述する積層用グリ
ーンシートＧＳ１の積み重ね作業と多層シート（積み重
ね後の積層用グリーンシート）の圧着作業に用いられ
る。この支持プレートＳＰは図６（Ａ）に示すような所
定厚の金属板から成り、上面開口の凹部ＳＰ１を有して
いる。凹部ＳＰ１の横断面形は後述するアンダーシート
ＵＳ及び積層用グリーンシートＧＳ１よりも僅かに大き
な矩形状を成している。凹部ＳＰ１の底面には積層用グ
リーンシートＧＳ１を積み重ねる前にアンダーシートＵ
Ｓが敷設され、積層用グリーンシートＧＳ１はこのアン
ダーシートＵＳの上に積み重ねられる（図６（Ｂ）参
照）。

【００２１】プレート搬送機１０は、２枚の支持プレー
トＳＰを、一平面上に形成された矩形経路で循環させる
ためのものである。図示例では循環経路として矩形状の
ものを示したが、プレート循環経路は楕円形状や円形状
等であっても構わない。図示を省略したが、支持プレー
トＳＰを循環させる搬送手段としてはモータ駆動のベル
トやローラー等の周知のものが利用されている。

【００２２】このプレート搬送機１０における矩形経路
には、図１に示すように、待機場所Ｐ１と積層場所Ｐ２
と圧着場所Ｐ３と取出場所Ｐ４が順に設定されており、
待機場所Ｐ１，積層場所Ｐ２，圧着場所Ｐ３及び取出場
所Ｐ４のそれぞれには支持プレートＳＰを各場所で停止
させるための可動ストッパ（図示省略）が設けられ、ま
た、少なくとも積層場所Ｐ２と圧着場所Ｐ３の下側には
支持プレートＳＰを支えるための上下移動可能なテーブ
ル１１が配置されている。後に詳述するが、２枚の支持
プレートＳＰは、１つの支持プレートＳＰが積層場所Ｐ
２で停止しているときには他の支持プレートＳＰが圧着
場所Ｓ３で停止するように循環する。ちなみに支持プレ
ートＳＰを支えるためのテーブル１１には支持プレート
ＳＰを加温するためのヒータ１１ａが設けられている
（図１７参照）。

【００２３】グリーンシート供給機２０は、帯状キャリ
アフィルムＣＦによって一面を支持された帯状グリーン
シートＧＳを剥離板２１上に間欠的に供給するためのも
のである。このグリーンシート供給機２０は図１におけ
る積層場所Ｐ２の右側と左側に１つずつ配置されてお
り、右側のグリーンシート供給機２０は図４（Ａ）に示
す導体非形成の帯状グリーンシートＧＳを供給し、左側
のグリーンシート供給機２０は図５（Ａ）に示す導体形
成の帯状グリーンシートＧＳを供給する。

【００２４】ちなみに、図４（Ａ）に示した導体非形成
の帯状グリーンシートＧＳは、ＰＥＴ等から成る帯状キ
ャリアフィルムＣＦの表面に部品適合のセラミックスラ
リーをドクターブレード法等の手法を用いて連続的に且
つ所定厚みで塗布し、乾燥することにより得られる。
尚、導体非形成の積層用グリーンシートＧＳは、図４
（Ｂ）に示すように、帯状キャリアフィルムＣＦ上の帯
状グリーンシートＧＳを所定の形状で裁断して帯状キャ
リアフィルムＣＦから剥離することにより得られる。

【００２５】一方、図５（Ａ）に示した導体形成の帯状
グリーンシートＧＳは、ＰＥＴ等から成る帯状キャリア
フィルムＣＦの表面に部品適合のセラミックスラリーを
ドクターブレード法等の手法を用いて連続的に且つ所定
厚みで塗布し、乾燥した後、この帯状グリーンシートＧ
Ｓの表面に部品適合の導体ペーストをスクリーン印刷等
の手法を用いて所定の形状及びパターンで且つ導体パタ
ーンが長手方向に等間隔で並ぶように形成して乾燥させ
ることにより得られる。尚、導体形成の積層用グリーン
シートＧＳ１は、図５（Ｂ）に示すように、帯状キャリ
アフィルムＣＦ上の帯状グリーンシートＧＳを導体パタ
ーンを包含する所定の形状で裁断して帯状キャリアフィ
ルムＣＦから剥離することにより得られる。

【００２６】この２つのグリーンシート供給機２０は同
一の構成を有しており、具体的には、裁断及び剥離の作
業が実施される剥離板２１と、供給リール２２と、供給
リール２２と剥離板２１との間に設けられた２つのロー
ラー２３及びテンションローラー２４と、巻取リール２
５と、巻取リール２５と剥離板２１との間に設けられた
５つのローラー２６及びテンションローラー２７と、剥
離後のグリーンシート残材を帯状キャリアフィルムＣＦ
から取り除くためのブレード２８と、帯状キャリアフィ
ルムＣＦから取り除かれたシート残材を回収するための
ボックス２９とを備えている。

【００２７】剥離板２１は図２に示す定常位置と同位置
から破線矢印方向に離れた離反位置との間を往復移動で
きるように構成されており、後に詳述するシート剥離作
用を良好に行うために積層場所Ｐ２側の端部に縦断面に
おいて鋭角的な部分を有している（図７参照）。図示を
省略したが、この剥離板２１を往復移動させるためのア
クチュエータとしてはモータとボールネジを組み合わせ
て構成された周知の直線駆動機構やエア圧や油圧によっ
て動作するシリンダ等が利用されている。また、剥離板
２１の下面側にはブラケット２１ａが設けられていて、
このブラケット２１ａには、巻取リール２５と剥離板２
１との間に設けられた５つのローラー２６のうちの剥離
板２１に最も近い位置にあるローラー２６が軸支されて
いる。つまり、このローラー２６は剥離板２１と一緒に
図２に示す破線矢印方向に移動することができる。ま
た、剥離板２１には、キャリアフィルムＣＦを吸着する
ための多数の吸引孔２１ｂと、グリーンシートＧＳを加
温するためのヒータ２１ｃが設けられている（図７参
照）。

【００２８】グリーンシート積層機３０は、帯状キャリ
アフィルムＣＦ上の帯状グリーンシートＧＳを所定の形
状で裁断して帯状キャリアフィルムＣＦから剥離し、剥
離後の積層用グリーンシートＧＳ１を積層場所Ｐ２にあ
る支持プレートＳＰに積み重ねるためのものである。こ
のグリーンシート積層機３０は図１における積層場所Ｐ
２の右側と左側に１つずつ配置されており、右側のグリ
ーンシート積層機３０は右側のグリーンシート供給機２
０の剥離板２１の真上を定常位置とし、左側のグリーン
シート積層機３０は左側のグリーンシート供給機２０の
剥離板２１の真上を定常位置としている。

【００２９】この２つのグリーンシート積層機３０は同
一の構成を有しており、図７〜図９に示すように、スラ
イダ３１と、スライダ３１の下面に支柱３２ａを介して
設けられたベース板３２と、下面形状が正方形の吸着ヘ
ッド３３と、吸着ヘッド３３を上下移動させるためにベ
ース板３２に設けられたシリンダ３４と、吸着ヘッド３
３と相似形状を有する昇降板３５と、昇降板３５を上下
移動させるためにベース板３２に設けられた２つのシリ
ンダ３６と、昇降板３５の４辺それぞれに移動可能に設
けられた４本のアーム３７と、各アーム３７の下端に設
けられた円盤状の刃３８と、各アーム３７を所定方向に
移動させるために昇降板３５に設けられた刃移動機構３
９とを備えている。

【００３０】スライダ３１の上面には共通ロッドＧＲに
スライド可能に嵌合したガイド３１ａが設けられてい
る。図示を省略したが、各々のグリーンシート積層機３
０をロッドＧＲに沿って往復移動させるためのアクチュ
エータとしてはモータとボールネジを組み合わせて構成
された周知の直線駆動機構やエア圧や油圧によって動作
するシリンダ等が利用されており、各々のグリーンシー
ト積層機３０は独立した往復移動を可能としている。

【００３１】吸着ヘッド３３は裁断後の積層用グリーン
シートＧＳ１を吸着するための多数の吸引孔３３ａと、
吸着した積層用グリーンシートＧＳ１を加温するための
ヒータ３３ｂを有している。シリンダ３４のロッド３４
ａは吸着ヘッド３３に連結され、２つのシリンダ３６の
ロッド３６ａは昇降板３５に連結されている。４本のア
ーム３７はその上部に設けられたスライドガイド３７ａ
を昇降板３５の４辺それぞれに移動可能に係合してお
り、また、４本のアーム３７はその上端を刃移動機構３
９の第１ベルト３９ｂに固着されている。円盤状を成す
４つの刃３８はその軸を４本のアーム３７それぞれの下
部に設けられたブッシュ３７ｂに挿通され、コイルバネ
３７ｃの付勢力によって吸着ヘッド３３に向けて付勢さ
れおり、各々の先端面を吸着ヘッド３３の各側面に当接
している。

【００３２】刃移動機構３９は、昇降板３５の４隅に設
けられたプーリー３９ａと、４つのプーリー３９ａに巻
き付けられた無端状の第１ベルト３９ｂと、ベルト駆動
用のモータ３９ｃと、モータ３９ｃのシャフトに取り付
けられたプーリー３９ｄと、４つのプーリー３９ａの１
つに連設されたプーリー３９ｅと、プーリー３９ｄとプ
ーリー３９ｅに巻き付けられた無端状の第２ベルト３９
ｆとから成る。この刃移動機構３９では、ベルト駆動用
のモータ３９ｃによって第２ベルト３９ｆを介して第１
ベルト３９ｂを回転させることにより、第１ベルト３９
ｂに固着されている４本のアーム３７を昇降板３５の４
辺それぞれに沿って移動させることができる。つまり、
昇降板３５の各辺にスライドガイド３７ａを介して係合
している４本のアーム３７は、刃移動機構３９の作動に
よって昇降板３５の各辺と平行な方向に移動し、このア
ーム移動によって円盤状の刃３８はその先端面を吸着ヘ
ッド３３の各側面に当接した状態のまま各側面に沿って
移動する。

【００３３】多層シート圧着機４０は、圧着場所Ｐ３に
ある支持プレートＳＰ上の多層シート（積み重ね後の積
層用グリーンシート）を圧着するためのものである。図
示例における多層シート圧着機４０は図１における圧着
場所Ｐ３の左側を定常位置としている。この多層シート
圧着機４０は、図１０に示すように、スライダ４１と、
スライダ４１の下面に支柱４２ａを介して設けられたベ
ース板４２と、吸着ヘッド３３と同一の下面形状を有す
るプレスヘッド４３と、プレスヘッド４３を上下移動さ
せるためにベース板４２に設けられたシリンダ４４と、
プレスヘッド４３の上下移動を案内するためにプレスヘ
ッド４３に設けられた２本のガイドロッド４５とを備え
ている。スライダ４１の上面にはロッドＧＲにスライド
可能に嵌合したガイド４１ａが設けられている。プレス
ヘッド４３は圧着時に多層シートを加温するためのヒー
タ４３ａを有している。シリンダ４４のロッド４４ａは
プレスヘッド４３に連結され、２本のガイドロッド４５
はベース板４２ａに設けられたブッシュ４２ａに挿通さ
れている。図示を省略したが、多層シート圧着機４０を
ロッドＧＲに沿って往復移動させるためのアクチュエー
タとしてはモータとボールネジを組み合わせて構成され
た周知の直線駆動機構やエア圧や油圧によって動作する
シリンダ等が利用されている。

【００３４】圧着シート取出機５０は、取出場所Ｐ３に
ある支持プレートＳＰ上の圧着シート（圧着後の多層シ
ート）ＭＬＳを支持プレートＳＰから取り出して圧着シ
ート搬送機６０に移送するためのものである。図示例に
おける圧着シート取出機５０は図１における取出場所Ｐ
４の左側を定常位置としている。この圧着シート取出機
５０は、図１１に示すように、スライダ５１と、スライ
ダ５１の下面に支柱５２ａを介して設けられたベース板
５２と、下端外形が積層用グリーンシートＧＳ１よりも
小さい吸着パッド５３と、吸着パッド５３を上下移動さ
せるためにベース板５２に設けられたシリンダ５４とを
備えていて、スライダ５１の上面にはアンダーシート供
給機７０と共通のロッドＧＲにスライド可能に嵌合した
ガイド５１ａが設けられている。図示を省略したが、圧
着シート取出機５０をロッドＧＲに沿って往復移動させ
るためのアクチュエータとしてはモータとボールネジを
組み合わせて構成された周知の直線駆動機構やエア圧や
油圧によって動作するシリンダ等が利用されている。

【００３５】圧着シート搬送機６０は、圧着シートＭＬ
Ｓを次の工程ライン或いは保管場所に搬送するためのも
ので、定常位置にある圧着シート取出機５０の真下にそ
の一端が位置するように配置されている。この圧着シー
ト搬送機６０は、図１１に示すように、少なくとも２つ
のプーリー６１と、プーリー６１に巻き付けられた無端
状の搬送ベルト６２と、何れか１つのプーリー６１を回
転駆動するためのモータ（図示省略）とを備えている。

【００３６】アンダーシート供給機７０は、使用済みの
アンダーシートＵＳを支持プレートＳＰから取り出して
新しいアンダーシートＵＳを支持プレートＳＰに供給す
るためのものである。図示例におけるアンダーシート供
給機７０は図１における取出場所Ｐ４の右側を定常位置
としている。このアンダーシート供給機７０は、図１２
に示すように、スライダ７１と、スライダ７１の下面に
支柱７２ａを介して設けられたベース板７２と、下端外
形がアンダーシートＵＳよりも小さい吸着パッド７３
と、吸着パッド７３を上下移動させるためにベース板７
２に設けられたシリンダ７４とを備えていて、スライダ
７１の上面には圧着シート取出機５０と共通のロッドＧ
Ｒにスライド可能に嵌合したガイド７１ａが設けられて
いる。図示を省略したが、アンダーシート供給機７０を
ロッドＧＲに沿って往復移動させるためのアクチュエー
タとしてはモータとボールネジを組み合わせて構成され
た周知の直線駆動機構やエア圧や油圧によって動作する
シリンダ等が利用されている。

【００３７】アンダーシートストッカー８０は、支持プ
レートＳＰに供給され得るアンダーシートＵＳと使用済
みのアンダーシートＵＳを積み重ね状態でストックする
ためのもので、定常位置にあるアンダーシート供給機６
０の下側に配置されている。このアンダーシートストッ
カー８０は、図１２に示すように、アンダーシートＵＳ
が積み重ねられるテーブル８１と、未使用のアンダーシ
ートＵＳの積み重ね姿勢を保持するための複数のガイド
ピン８２と、使用済みのアンダーシートＵＳの積み重ね
姿勢を保持するための複数のガイドピン８２とを備えて
いる。

【００３８】前記のアンダーシートＵＳは積層用グリー
ンシートＧＳ１を支持プレートＳＰ上に積み重ねるとき
に予め凹部ＳＰ１の底面に必要に応じて接着剤等を用い
て敷設される。このアンダーシートＵＳは、凹部ＳＰ１
内の清浄性を保つと共に、積層時やこの後の圧着時に生
じ得る積層用グリーンシートＧＳ１の横滑りや横延びを
抑制する役目を果たす。このアンダーシートＵＳは、Ｐ
ＥＴやアクリルやポリカーボネイト等の樹脂、或いは銅
やステンレスやアルミニウム等の金属から成り、積層用
グリーンシートＧＳ１が接する側の面に多数の微細凹部
を有している。この微細凹部は、アンダーシートＵＳの
材質との関係において適当な加工方法、例えば、サンド
ブラスト加工（ガラス，セラミック及び白砂等の鉱物粒
子を高速噴射することによる表面加工）や、打ち出し加
工や、研削加工や、プレス加工によって形成することが
できる。この他にも、積層用グリーンシートＧＳ１と同
材質のセラミック粒子や、アルミナ，シリカ及びジルコ
ニウム等のセラミック粒子をエポキシ，アクリル，フッ
素，シリコーン等の樹脂に混合し、これを表面に塗布し
てから硬化させることによって微細凹部を形成するよう
にしてもよい。後者の場合にはセラミック粒子として積
層用グリーンシートＧＳ１と同材質のものを用いること
がコンタミネーションの影響が少なく望ましい。

【００３９】先に述べた積層用グリーンシートＧＳ１の
横滑りや横延びを的確に抑制するには、微細凹部におけ
る各凹部の開口寸法を積層用グリーンシートＧＳ１に含
まれるセラミック粒子径以上で５ｍｍ以下の範囲内と
し、各凹部の深さ寸法を積層用グリーンシートＧＳ１に
含まれるセラミック粒子径以上で２００μｍ以下の範囲
内にするとよい。各凹部の開口寸法が５ｍｍを越えると
微細凹部における物理的なシート保持力が低下して積層
用グリーンシートＧＳ１の積層精度の低下や製品品質の
低下を招来する恐れがあるし、また、各凹部の深さ寸法
が２００μｍを越えると積層用グリーンシートＧＳ１に
破損を招来する恐れがある。

【００４０】プレート予熱機９０は、待機場所Ｐ１にあ
る支持プレートＳＰを予熱するためのもので、待機場所
Ｐ１に隣接して配置されている。このプレート予熱機９
０は温風を支持プレートＳＰに供給可能な例えば温風ヒ
ータから成る。

【００４１】以下に前述の装置の動作について図１〜図
３と図１３〜図２４を参照して説明する。

【００４２】圧着シート（圧着後の多層シート）ＭＬＳ
が取り出され、且つ、アンダーシートＵＳの交換が済ん
だ後の支持プレートＳＰは、取出場所Ｐ４から待機場所
Ｐ１に移動して同場所Ｐ１で停止する。積層用グリーン
シートＧＳ１の積層枚数が極端に少ない場合を除き、積
層場所Ｐ２における作業時間は、圧着場所Ｓ３における
作業時間と取出場所Ｐ４における作業時間の和よりも長
いため、取出場所Ｐ４における作業が完了した後の支持
プレートＳＰは待機場所Ｐ１において積層場所Ｐ２にお
ける作業が完了するまで待機することになる。

【００４３】アンダーシートＵＳが敷設された支持シー
トＳＰが待機場所Ｐ１で止まっているときには、この待
機時間を利用して支持シートＳＰを予熱する作業が実施
される。詳しくは、プレート予熱機９０から支持シート
ＳＰに向かって温風が吹き付けられ、この温風によって
支持プレートＳＰが暖められる。熱効率の面から言え
ば、待機場所Ｐ１に半密閉の予熱室を設けてこの予熱室
内で支持シートＳＰを予熱を行う方が好ましい。このよ
うな予熱室を設ける場合には、単なるヒータを予熱室内
に設けても支持プレートＳＰの予熱を行うことができ
る。

【００４４】他の支持プレートＳＰに対して積層場所Ｐ
２における所定の作業が完了すると、待機場所Ｐ１に止
まっていた支持プレートＳＰは積層場所Ｐ２に移動して
同場所Ｐ２で停止する。この積層場所Ｐ２では支持プレ
ートＳＰに所定枚数の積層用グリーンシートＧＳ１を積
み重ねる作業が実施される。

【００４５】具体的には、まず、グリーンシート供給機
２０によって、フィルム支持の帯状グリーンシートＧＳ
を剥離板２１上に供給し、供給停止後は吸引孔２１ｂに
負圧を作用させて帯状キャリアフィルムＣＦを吸着する
と共に、ヒータ２１ｃによって剥離板２１上の帯状グリ
ーンシートＧＳを加温する。

【００４６】次いで、図１３に示すように、グリーンシ
ート積層機３０の吸着ヘッド３３と昇降板３５を下降さ
せ、吸着ヘッド３３の下面が帯状グリーンシートＧＳの
表面に密着させる。このときにはヒータ３３ｂによって
吸着ヘッド３３下の帯状グリーンシートＧＳを加温す
る。

【００４７】次いで、図１４に示すように、昇降板３５
のみをさらに下降させて、４本のアームの下端に設けら
れている円盤状の刃３８を帯状グリーンシートＧＳに食
い込ませる。シート切断を的確に行うには、刃３８が帯
状キャリアフィルムＣＦの表面に僅かに食い込むように
昇降板３５を下降させるとよい。

【００４８】次いで、図１５（Ａ）に示すように、グリ
ーンシート積層機３０の刃移動機構３９を作動させて、
円盤状の４つの刃３８を吸着ヘッド３３の４つの側面そ
れぞれに沿って移動させる。これにより、帯状グリーン
シートＧＳに図１５（Ｂ）に示すような４本の切断ライ
ンＬが形成される。図示例のものでは、帯状グリーンシ
ートＧＳを引き切りによって裁断しているため、裁断時
にバリや割れを生じることを極力回避して綺麗な裁断面
を得ることができる。

【００４９】次いで、吸着ヘッド３３の吸引孔３３ａに
負圧を作用させて裁断によって得られた所定形状の積層
用グリーンシートＧＳ１を吸着する。そして、図１６に
示すように、剥離板２１の吸引孔２１ｂの負圧作用を解
除してから、フィルム支持の帯状グリーンシートＧＳを
余剰分を巻き取りながら、剥離板２１をローラー２６と
一緒に図中左方向に移動させる。これにより、帯状グリ
ーンシートＧＳ及び帯状キャリアフィルムＣＦが下方に
引き込まれて吸着ヘッド３３から離れ、裁断によって得
られた所定形状の積層用グリーンシートＧＳ１のみが吸
着ヘッド３３側に残る。つまり、積層用グリーンシート
ＧＳ１の剥離を吸着ヘッド３３を上昇させることなく行
えるので、シート剥離時に生じ得る変形や破れの問題を
回避できる。

【００５０】前記の剥離板２１は、その移動によるシー
ト剥離に良好に行うために積層場所Ｐ２側の端部に縦断
面において鋭角的な部分を有している。このシート剥離
を行うときには、帯状キャリアフィルムＣＦにおける剥
離板２１の鋭角的部分と接する面は収縮作用を受け、反
対側の面は延び作用を受けるため、剥離される積層用グ
リーンシートＧＳ１はこの延び作用によるズレ応力のよ
って帯状キャリアフィルムＣＦから剥離し易くなる。こ
の原理を利用可能な鋭角的部分の角度範囲は５度〜９０
度であるが、ズレ応力を充分に発揮でき、且つ、キャリ
アフィルムへのダメージを抑制するには１５度〜７０度
の範囲が好ましい。また、鋭角的部分の先端に０．１ｍ
ｍ〜５ｍｍのＲ面（丸み付け）またはＣ面（面取り）を
施せば前記の効果をより的確に発揮できる。

【００５１】次いで、吸着ヘッド３３と昇降板３５を上
昇復帰させ、図１７に示すように、グリーンシート積層
機３０を積層場所Ｐ２にある支持プレートＳＰの真上に
移動させる。そして、吸着ヘッド３３を下降させて、支
持プレートＳＰ内のアンダーシートＳＰ１上に１枚目の
積層用グリーンシートＧＳ１を押し付け、ここで吸引孔
３３ａの負圧作用を解除して１枚目の積層用グリーンシ
ートＧＳ１の積み重ねを行い、この後は吸着ヘッド３３
を上昇復帰させてグリーンシート積層機３０を定常位置
に復帰させる。２枚目以降の積層用グリーンシートＧＳ
１の積み重ねも前記と同様に行われる。

【００５２】図示例の装置では、導体非形成の帯状グリ
ーンシートＧＳを供給するグリーンシート供給機２０及
びこの帯状グリーンシートＧＳから導体非形成の積層用
グリーンシートＧＳ１を得るグリーンシート積層機３０
と、導体形成の帯状グリーンシートＧＳを供給するグリ
ーンシート供給機２０及びこの帯状グリーンシートＧＳ
から導体形成の積層用グリーンシートＧＳ１を得るグリ
ーンシート積層機３０とが用意されているため、前記の
シート積層は２台のグリーンシート積層機３０を利用し
て効率良く実施されることになる。具体的には、支持プ
レートＳＰ内のアンダーシートＵＳ上には、まず、導体
非形成の積層用グリーンシートＧＳ１が所定枚数積み重
ねられ、次に、この上に導体形成の積層用グリーンシー
トＧＳ１が所定枚数積み重ねられ、次に、この上に導体
非形成の積層用グリーンシートＧＳ１が所定枚数積み重
ねられる。

【００５３】前記のシート積層過程では、支持プレート
ＳＰがその下側のテーブル１１のヒータ１１ａによって
加温され、積層用グリーンシートＧＳ１が吸着ヘッド３
３のヒータ３３ｂによって加温されているため、２枚目
以降の積層用グリーンシートＧＳ１は吸着ヘッド３３の
押し付け力に基づいて下側の積層用グリーンシートＧＳ
１に熱圧着されることになる。勿論、吸着ヘッド３３の
押し付け力は後の圧着時の圧力よりも格段小さい。

【００５４】積層場所Ｐ２における所定の作業が完了す
ると、積層場所Ｐ２に止まっていた支持プレートＳＰが
圧着場所Ｐ３に移動して同場所Ｐ３で停止する。この圧
着場所Ｐ３では多層シート（積み重ね後の積層用グリー
ンシート）を圧着する作業が実施される。

【００５５】具体的には、図１８に示すように、まず、
多層シート圧着機４０を圧着場所Ｐ３にある支持プレー
トＳＰの真上に移動させる。そして、プレスヘッド４３
を下降させて、支持プレートＳＰ内のアンダーシートＳ
Ｐ１上に積み重ねられている多層シートに所定時間、所
定圧力を加える。この後は、プレスヘッド４３を上昇復
帰させて多層シート圧着機４０を定常位置に復帰させ
る。

【００５６】前記のシート圧着過程では、多層シートは
支持プレートＳＰの下側のテーブル１１のヒータ１１ａ
とプレスヘッド４３のヒータ４３ａによって加温されて
いるため、多層シートは全体をほぼ均等に加温されなが
ら積層方向に加圧され、隣接する積層用グリーンシート
ＧＳ１は相互に熱圧着される。ちなみに、支持プレート
ＳＰの側面等に吸引孔を設けて、圧着時にこの吸引孔に
負圧を作用させて支持プレートＳＰ内を減圧（脱気）す
るようにすれば、多層シートを構成する積層用グリーン
シートＧＳ１間の残留空気を排除してデラミネーション
やクラックの発生を防止できると共にシート相互の密着
性を高めることができる。

【００５７】圧着場所Ｐ３における所定の作業が完了す
ると、圧着場所Ｐ３に止まっていた支持プレートＳＰは
取出場所Ｐ４に移動して同場所Ｐ４で停止する。この取
出着場所Ｐ４では圧着シート（圧着後の多層シート）Ｍ
ＬＳの取り出し作業とアンダーシートＵＳの交換作業が
実施される。

【００５８】具体的には、まず、図１９に示すように、
圧着シート取出機５０を取出場所Ｐ４にある支持プレー
トＳＰの真上に移動させる。そして、吸着パッド５３に
負圧を作用させながらこれを下降させて、支持プレート
ＳＰ内の圧着シートＭＬＳを吸着し、この後は吸着パッ
ド５３を上昇復帰させる。圧着シートＭＬＳを支持プレ
ートＳＰ内から取り出しても、圧着シートＭＬＳとアン
ダーシートＵＳとの密着性が低いためアンダーシートＵ
Ｓは支持プレートＳＰ内に残る。

【００５９】次いで、図２０に示すように、圧着シート
ＭＬＳを吸着パッド５３によって吸着したまま、圧着シ
ート取出機５０を定常位置に復帰させる。そして、吸着
パッド５３を下降させて圧着シートＭＬＳを圧着シート
搬送機６０の搬送ベルト６２上に載置する。この後は、
吸着パッド５３の負圧作用を解除して圧着シートＭＬＳ
を吸着パッド５３から切り離し、吸着パッド５３を上昇
復帰させる。搬送ベルト６２上に置かれた圧着シートＭ
ＬＳは圧着シート搬送機６０の作動によって別位置、例
えば圧着シートを部分個々の寸法に切断する工程ライン
や圧着シートＭＬＳ用の保管場所等に送り込まれる。

【００６０】次いで、図２１に示すように、アンダーシ
ート供給機７０を取出場所Ｐ４にある支持プレートＳＰ
の真上に移動させる。そして、吸着パッド７３に負圧を
作用させながらこれを下降させて、支持プレートＳＰ内
のアンダーシートＵＳを吸着し、この後は吸着パッド７
３を上昇復帰させる。

【００６１】次いで、図２２に示すように、アンダーシ
ートＵＳを吸着パッド７３によって吸着したまま、アン
ダーシート供給機７０を使用済みアンダーシートＵＳの
積層エリアの真上に移動させる。そして、吸着パッド７
３を下降させてアンダーシートＵＳを前記積層エリアま
たは同エリアに積み重ねられているアンダーシートＵＳ
上に載置する。この後は、吸着パッド７３の負圧作用を
解除してアンダーシートＵＳを吸着パッド７３から切り
離し、吸着パッド７３を上昇復帰させる。

【００６２】次いで、図２３に示すように、アンダーシ
ート供給機７０を未使用アンダーシートＵＳの積層エリ
アの真上に移動させる。そして、吸着パッド７３に負圧
を作用させながらこれを下降させて、前記積層エリアに
積み重ねられている最上位のアンダーシートＵＳを吸着
し、この後は吸着パッド７３を上昇復帰させる。

【００６３】次いで、図２４に示すように、アンダーシ
ートＵＳを吸着パッド７３によって吸着したまま、アン
ダーシート供給機７０を取出場所Ｐ４にある支持プレー
トＳＰの真上に移動させる。そして、吸着パッド７３を
下降させてアンダーシートＵＳを支持プレートＳＰ内に
載置する。この後は、吸着パッド７３の負圧作用を解除
してアンダーシートＵＳを吸着パッド７３から切り離
し、吸着パッド７３を上昇復帰させてアンダーシート供
給機７０を定常位置に復帰させる。

【００６４】取出場所Ｐ４における所定の作業が完了す
ると、取出場所Ｐ４に止まっていた支持プレートＳＰは
待機場所Ｐ１に移動して同場所Ｐ４で停止する。この後
は前記と同様の手順でシート積層及びシート圧着等が順
次実施される。

【００６５】このように、前述の方法によれば、２枚の
支持プレートＳＰを所定経路で循環させながら、支持プ
レートＳＰ上に所定枚数の積層用グリーンシートＧＳ１
を積み重ねる作業を経路途中の積層場所Ｐ２において実
施し、支持プレートＳＰ上の多層シートを圧着する作業
を経路途中の圧着場所Ｐ３において実施することができ
る。つまり、循環経路途中に設けた積層場所Ｐ２と圧着
場所Ｐ３において各々の作業を異なる支持プレートＳＰ
に対して同時に実施できることから、積層型電子部品の
製造に係る積層・圧着工程を時間的損失を最小限に抑え
ながら極めて効率良く実施することができ、積層型電子
部品の製造コスト低減に極めて有効である。また、前述
の装置によれば、前記の方法を好適に、且つ、安定して
実施することができる。

【００６６】さらに、前述のアンダーシートＵＳによれ
ば、積層用グリーンシートＧＳ１に含まれるセラミック
粒子を、この積層用グリーンシートＧＳ１が接する側の
面に形成された微細凹部に的確に食い込ませることがで
き、これにより、積層時やこの後の圧着時に生じ得る積
層用グリーンシートＧＳ１の横滑りや横延びを効果的に
抑制することができる。また、積層用グリーンシートＧ
Ｓ１を保持するためにアンダーシートＵＳの表面に粘着
剤層を設ける必要がないため、簡単な洗浄または再表面
加工により再利用が充分に可能であり、廃棄材の排出量
低減にも貢献できる。

【００６７】尚、前述の説明では、一平面内に支持プレ
ートＳＰの循環経路を形成してその途中に積層場所Ｐ２
や圧着場所Ｐ３等を設定したものを示したが、図２５に
示すように、一垂直面に沿って支持プレートＳＰの循環
経路を形成してその積層場所Ｐ２や圧着場所Ｐ３等を設
定するようにしてもよい。このようにすれば、プレート
循環経路が平面方向に必要なスペースを低減して装置の
狭幅化に貢献できる。

【００６８】また、前述の説明では、帯状グリーンシー
トＧＳを所定形状に裁断する過程でグリーンシート積層
機３０の吸着ヘッド３３の下面を帯状グリーンシートＧ
Ｓの表面に密着させるようにしたものを示したが、吸着
ヘッド３３から帯状グリーンシートＧＳに加わる荷重を
一定化して帯状グリーンシートＧＳに対するダメージを
軽減するには下記の方法を採用するとよい。

【００６９】図２６はその１つの方法を示すもので、前
記のグリーンシート積層機３０と構成が異なるところ
は、吸着ヘッド３３に２本のロッド３３ｃを立設して、
このロッドをベース板３２に設けてブッシュ３２ｂに挿
通させた点と、ベース板３２に各ロッド３３をクランプ
して吸着ヘッド３３を固定するための固定手段１００を
設けた点にある。尚、昇降板やアームや刃等は便宜上図
２６では省略してある。

【００７０】固定手段１００は、図２７（Ａ）に示すよ
うに、湾曲形状の２つのクランプ部１０１と、２つのク
ランプ部１０１を回動可能に連結するピン１０２と、２
つのクランプ部１０１に設けられた延長部分１０１ａそ
れぞれに回転可能に連結されたリンク１０３と、エア圧
や油圧によって動作する駆動用シリンダ１０４とから構
成されており、シリンダ１０４のロッド１０４ａの先端
には２つのリンク１０３の端部が回転自在に連結され、
また、２つのクランプ部１０１の内面には硬質ゴム等の
高摩擦抵抗材から成る制動部材１０１ｂが設けられてい
る。図２７（Ａ）及び図２７（Ｂ）から分かるように、
２つのクランプ部１０１はシリンダ１０４のロッド１０
４ａを引き込むことで開放し、ロッド１０４ａを突出さ
せることで閉鎖してロッド３３ｃを挟持することができ
る。

【００７１】固定手段には同様の機能を有するものであ
れば前記以外のもの、例えば図２８（Ａ）に示すものを
採用することも可能であり、この固定手段１１０は、半
円形状の２つのクランプ部１１１と、各クランプ部１１
２を往復移動させるアーム１１２とから構成されてお
り、２つのクランプ部１１１の内面には前記同様の制動
部材１１１ｂが設けられている。アーム１１２を直線移
動させるメカニズムには、シリンダは勿論のこと、モー
タとボールネジを組み合わせた機構や、モータ軸にカム
を連結させた機構等が利用できる。図２８（Ａ）及び図
２８（Ｂ）から分かるように、２つのクランプ部１１１
はアーム１１２を互いが離れる方向に移動させることで
開放し、アーム１１２を互いが近づく方向に移動させる
ことで閉鎖してロッド３３ｃを挟持することができる。

【００７２】つまり、グリーンシート積層機３０の吸着
ヘッド３３の下面を帯状グリーンシートＧＳの表面に密
着させたときに固定手段１００または１１０によってロ
ッド３３ｃをクランプすれば、吸着ヘッド３３がそれ以
上下降することを確実防止して、吸着ヘッド３３から帯
状グリーンシートＧＳに加わる荷重を一定化することが
できる。

【００７３】図２９は他の方法を示すもので、前記のグ
リーンシート積層機３０と構成が異なるところは、吸着
ヘッド３３に２本のロッド３３ｃを立設して、このロッ
ドをベース板３２に設けてブッシュ３２ｂに挿通させた
点と、両ロッド３３ｃの上端に制御板３３ｄを連結した
点と、ベース板３２と制御板３３ｄとの間に、エア圧や
油圧によって動作する荷重調整用シリンダ１２１を２つ
設けた点にある。ちなみに、図示例のものではシリンダ
１２１がベース板３２の上面に固着され、そのロッド１
２１ａが制御板３３ｄの下面に当接できるようになって
いる。尚、昇降板やアームや刃等は便宜上図２９では省
略してある。

【００７４】つまり、グリーンシート積層機３０の吸着
ヘッド３３の下面を帯状グリーンシートＧＳの表面に密
着させたときにシリンダ１２１のロッド１２１ａを上昇
させれば、吸着ヘッド３３から帯状グリーンシートＧＳ
１に加わる荷重を荷重調整用シリンダ１２１によって制
御することができ、これにより吸着ヘッド３３から帯状
グリーンシートＧＳに加わる荷重を一定化することがで
きる。また、図２９に示したものは吸着ヘッド３３の高
さ方向の位置を調整できることから、荷重を任意に調整
できる他に、吸着ヘッド３３の下面と帯状グリーンシー
トＧＳとの間のクリアランス制御にも利用することがで
きる。

【００７５】さらに、前述の説明では、グリーンシート
積層機３０として引き切りタイプのものを示したが、図
３０に示すような押し切りタイプのグリーンシート積層
機１３０をその代わりに用いてもよい。このグリーンシ
ート積層機１３０は、スライダ１３１と、スライダ１３
１の下面に支柱１３２ａを介して設けられたベース板１
３２と、下面形状が正方形の吸着ヘッド１３３と、吸着
ヘッド１３３を上下移動させるためにベース板１３２に
設けられたシリンダ１３４と、矩形枠状の刃１３５と、
この刃１３５を支持する支持板１３６と、支持板１３６
を上下移動させるためにベース板１３２に設けられた２
つのシリンダ１３６とを備えており、スライダ１３１の
上面にはロッドＧＲにスライド可能に嵌合したガイド１
３１ａが設けられ、また、吸着ヘッド１３３には積層用
グリーンシートＧＳ１を吸着するための多数の吸引孔３
３ａと吸着した積層用グリーンシートＧＳ１を加温する
ためのヒータ３３ｂが設けられている。

【００７６】このグリーンシート積層機１３１では、吸
着ヘッド１３３の周囲に設けられた矩形枠状の刃１３５
を下降させることにより、帯状グリーンシートＧＳを押
し切りによって所定形状に裁断することができる。ま
た、刃１３５の下降ストロークを調整できることから、
シート裁断の度に刃１３５を積層用グリーンシートＧＳ
１の厚み分だけ下降させるようにすれば、矩形枠状の刃
１３５の内側に必要枚数の積層用グリーンシートＧＳを
圧着しながら積み重ねることが可能で、矩形枠状の刃１
３５の内側で積層された多層シートを一括で支持プレー
トＳＰ内に積み重ねることが可能である。つまり、支持
プレートＳＰが積層場所Ｐ２に来るまでの間に２つのグ
リーンシート積層機１３１で矩形枠状の刃１３５の内側
でシート積層を行う作業を実施しておけば、積層場所Ｐ
２における作業時間を短縮できる利点がある。

【００７７】さらにまた、前述の説明では、２枚の支持
プレートＳＰを所定経路で循環させるものを示したが、
３枚以上の支持プレートＳＰを循環させるようにしても
前記の方法を実施して同様の作用効果が得られることは
言うまでもない。

【００７８】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
積層型電子部品の生産性を向上させて部品単価の低減に
貢献できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態に係る、積層，圧着工程を行
う装置の概略上面図

【図２】図１のＡ−Ａ線矢視図

【図３】図１のＢ−Ｂ線矢視図

【図４】導体非形成の帯状グリーンシートと積層用グリ
ーンシートを示す図

【図５】導体形成の帯状グリーンシートと積層用グリー
ンシートを示す図

【図６】支持プレートとアンダーシートと積層用グリー
ンシートを示す図

【図７】グリーンシート積層機とグリーンシート供給機
の剥離板の詳細図

【図８】図７のＣ１−Ｃ１線矢視図

【図９】図７のＣ２−Ｃ２線矢視図

【図１０】多層シート圧着機の詳細図

【図１１】圧着シート取出機と圧着シート搬送機の詳細
図

【図１２】アンダーシート供給機とアンダーシートスト
ッカーの詳細図

【図１３】図１に示した装置の動作説明図

【図１４】図１に示した装置の動作説明図

【図１５】図１に示した装置の動作説明図

【図１６】図１に示した装置の動作説明図

【図１７】図１に示した装置の動作説明図

【図１８】図１に示した装置の動作説明図

【図１９】図１に示した装置の動作説明図

【図２０】図１に示した装置の動作説明図

【図２１】図１に示した装置の動作説明図

【図２２】図１に示した装置の動作説明図

【図２３】図１に示した装置の動作説明図

【図２４】図１に示した装置の動作説明図

【図２５】図１に示したプレート循環経路の変形例を示
す図

【図２６】図１に示したグリーンシート積層機の変形例
を示す図

【図２７】図２６に示した固定手段の詳細図

【図２８】図２７に示した固定手段の変形例を示す図

【図２９】図１に示したグリーンシート積層機の他の変
形例を示す図

【図３０】図１に示したグリーンシート積層機のさらに
他の変形例を示す図

【符号の説明】

ＳＰ…支持プレート、ＵＳ…アンダーシート、ＣＦ…帯
状キャリアフィルム、ＧＳ…帯状グリーンシート、ＧＳ
１…積層用グリーンシート、ＭＬＳ…圧着シート、１０
…プレート搬送機、Ｐ１…待機場所、Ｐ２…積層場所、
Ｐ３…圧着場所、Ｐ４…取出場所、２０…グリーンシー
ト供給機、３０…グリーンシート積層機、３３…吸着ヘ
ッド、３４…シリンダ、３８…刃、３９…刃移動機構、
４０…多層シート圧着機、５０…圧着シート取出機、６
０…圧着シート搬送機、７０…アンダーシート供給機、
８０…アンダーシートストッカー、９０…プレート予熱
機、１００，１１０…吸着ヘッド固定用の固定手段、１
２１…荷重調整用シリンダ、１３０…グリーンシート積
層機、１３３…吸着ヘッド、１３４…シリンダ、１３５
…刃、１３７…シリンダ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０５Ｋ 3/46 Ｈ０５Ｋ 3/46 Ｙ Ｂ２８Ｂ 11/00 Ｚ (72)発明者 安藤 功一 東京都台東区上野６丁目16番20号 太陽誘 電株式会社内 Ｆターム(参考） 4G055 AA08 AB01 AC09 BA22 5E001 AB03 AH01 AH05 AH06 AH08 AJ01 AJ02 5E082 AB03 BC33 BC40 EE04 EE35 FG06 FG26 FG46 LL01 LL02 MM11 MM13 MM21 MM22 MM23 MM24 PP08 PP09 5E346 AA02 AA12 AA15 AA22 AA32 AA51 CC16 DD02 DD13 DD34 EE24 EE25 EE29 EE30 GG06 GG08 GG09 HH33

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定形状の積層用グリーンシートを積み
   重ね、積み重ね後の多層シートを圧着する工程を備えた
   積層型電子部品の製造方法において、 少なくとも２枚のプレートを所定の経路で循環させるた
   めの循環経路を設けてこの循環経路途中に積層場所と圧
   着場所を設定し、 １つのプレートが積層場所で停止しているときには他の
   プレートが圧着場所で停止するようにプレートを循環さ
   せ、 積層場所ではプレート上に所定枚数の積層用グリーンシ
   ートを積み重ねる作業を実施し、圧着場所ではプレート
   上の多層シートを圧着する作業を実施する、 ことを特徴とする積層型電子部品の製造方法。
2. 【請求項２】 循環経路途中の積層場所の手前側に待機
   場所を設定し、 待機場所では積層場所に移行する前のプレートを一時的
   に待機させる、 ことを特徴とする請求項１に記載の積層型電子部品の製
   造方法。
3. 【請求項３】 待機場所では積層場所に移行する前のプ
   レートを予熱する作業を実施する、 ことを特徴とする請求項２に記載の積層型電子部品の製
   造方法。
4. 【請求項４】 積層用グリーンシートは、帯状キャリア
   フィルム上に形成されている帯状グリーンシートを所定
   の形状で裁断してキャリアフィルムから剥離することに
   より得られ、 積層用グリーンシートを得るための裁断，剥離の作業
   は、積層場所と隣接する複数場所で実施される、 ことを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の積
   層型電子部品の製造方法。
5. 【請求項５】 所定形状の積層用グリーンシートを積み
   重ね、積み重ね後の多層シートを圧着し得る積層型電子
   部品の製造装置において、 積層用グリーンシートを積み重ねるときのベースとなる
   少なくとも２枚のプレートと、 前記プレートを積層場所及び圧着場所を含む所定の経路
   で循環させるためのプレート搬送機と、 積層場所にあるプレート上に積層用グリーンシートを積
   み重ねるためのグリーンシート積層機と、 圧着場所にあるプレート上の多層シートを圧着するため
   の多層シート圧着機とを備える、 ことを特徴とする積層型電子部品の製造装置。
6. 【請求項６】 プレート搬送機は循環経路における積層
   場所の手前側に、積層場所に移行する前のプレートを一
   時的に待機させるための待機場所を含む、 ことを特徴とする請求項５に記載の積層型電子部品の製
   造装置。
7. 【請求項７】 待機場所にあるプレートを予熱するため
   のプレート予熱機を備える、 ことを特徴とする請求項６に記載の積層型電子部品の製
   造装置。
8. 【請求項８】 グリーンシート積層機は、帯状キャリア
   フィルム上に形成されている帯状グリーンシートを所定
   の形状で裁断するための刃と、裁断された積層用グリー
   ンシートをキャリアフィルムから剥離し、且つ、剥離後
   の積層用グリーンシートをプレート上或いは積層済みシ
   ート上に積み重ねるための吸着ヘッドを備え、 このグリーンシート積層機は積層場所に隣接して複数設
   置されており、各グリーンシート積層機に対応して、グ
   リーンシートが帯状に形成されている帯状キャリアフィ
   ルムを所定方向に間欠的に移動させるグリーンシート供
   給機が設置されている、 ことを特徴とする請求項５〜７の何れか１項に記載の積
   層型電子部品の製造装置。
9. 【請求項９】 帯状キャリアフィルム上に形成されてい
   る帯状グリーンシートを所定の形状で裁断してキャリア
   フィルムから剥離し、剥離後の積層用グリーンシートを
   積み重ねるためのグリーンシート積層機において、 ベースと、 ベースに上下移動可能に設けられた積層用グリーンシー
   ト吸着用の吸着ヘッドと、 吸着ヘッドを上下移動させるための第１アクチュエータ
   と、 吸着ヘッドの周囲に設けられたグリーンシート裁断用の
   刃と、 刃を所定方向に移動させるための第２アクチュエータ
   と、 吸着ヘッドが下降して帯状グリーンシートに接した時に
   同位置に吸着ヘッドを固定するための吸着ヘッド固定手
   段とを備える、 ことを特徴とするグリーンシート積層機。
10. 【請求項１０】 吸着ヘッド固定手段は、吸着ヘッドの
    ガイドロッドをクランプするクランプ機構から成る、 ことを特徴とする請求項９に記載のグリーンシート積層
    機。
11. 【請求項１１】 帯状キャリアフィルム上に形成されて
    いる帯状グリーンシートを所定の形状で裁断して帯状キ
    ャリアフィルムから剥離し、剥離後の積層用グリーンシ
    ートを積み重ねるためのグリーンシート積層機におい
    て、 ベースと、 ベースに上下移動可能に設けられた積層用グリーンシー
    ト吸着用の吸着ヘッドと、 吸着ヘッドを上下移動させるための第１アクチュエータ
    と、 吸着ヘッドの周囲に設けられたグリーンシート裁断用の
    刃と、 刃を所定方向に移動させるための第２アクチュエータ
    と、 吸着ヘッドが下降して帯状グリーンシートに接した時に
    吸着ヘッドから帯状グリーンシートに加わる荷重を調整
    するための荷重調整手段とを備える、 ことを特徴とするグリーンシート積層機。
12. 【請求項１２】 荷重調整手段は、吸着ヘッドを上方変
    位可能なシリンダから成る、 ことを特徴とする請求項１１に記載のグリーンシート積
    層機。
13. 【請求項１３】 積層用グリーンシートをプレート上に
    積み重ねるときに予めプレートに敷設されるアンダーシ
    ートにおいて、 このアンダーシートは積層用グリーンシートが接する側
    の面に多数の微細凹部を有し、 各凹部の開口寸法は積層用グリーンシートに含まれるセ
    ラミック粒子径以上で５ｍｍ以下の範囲内にあり、各凹
    部の深さ寸法は積層用グリーンシートに含まれるセラミ
    ック粒子径以上で２００μｍ以下の範囲内にある、 ことを特徴とするグリーンシート積層用のアンダーシー
    ト。