JP6146404B2 - グリーンシートの積層装置 - Google Patents
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Description
ところで、上述の積層体は、通常、内部電極パターンが形成された複数種類の内層用グリーンシートと、内部電極が形成されていない外層用グリーンシートを適宜の順で積層し、圧着することで形成される。
この特許文献1に開示されているグリーンシート積層装置110は、図7に示すように、シート保持領域121でキャリアフィルムの付いたグリーンシート1を圧着ヘッド123で吸引保持し、圧着ヘッド123を積層領域111に向けて水平方向に移動させる途中でキャリアフィルムを剥離し、積層領域111でグリーンシート1を保持した圧着ヘッド123をプレス機のパンチ115によって下降させ、積層ステージ112上でグリーンシート1どうしを圧着することで、積層体を形成するようにしている(特許文献1の実施の形態1参照)。
そして、異物を含んだままグリーンシート1を圧着して積層体を形成した場合には、次工程に不良品である積層体が供給されてしまうという問題がある。
また、異物が混入すると、場合によっては、圧着ヘッド123や積層ステージ112などの設備の損傷を招くという問題がある。
複数のグリーンシートが積層される積層ステージと、
積層されるべきグリーンシートを保持し、前記グリーンシートの積層方向からみて、前記積層ステージ上において前記グリーンシートの積層が行われる領域である積層領域と対向する対向領域において、保持した前記グリーンシートを前記積層ステージ上に位置するグリーンシート上に供給する供給ヘッドであって、前記対向領域において前記積層方向に移動させることができるように構成された供給ヘッドと、
前記積層ステージ上の複数の前記グリーンシートを圧着するため、前記対向領域に位置することができるように構成された圧着ヘッドと、
前記積層ステージ上に位置する前記グリーンシートおよび前記対向領域に位置する前記圧着ヘッドを介して前記積層ステージと対向するように配設されたパンチとを備え、
複数の前記グリーンシートを前記圧着ヘッドと前記積層ステージの間に位置させた状態で、前記積層ステージおよび前記パンチの少なくとも一方を前記積層方向に沿って移動させることにより、複数の前記グリーンシートを圧着して圧着積層体を形成するように構成されたグリーンシートの積層装置であって、
前記積層ステージの前記積層方向の位置を検出するステージ位置検出手段と、
前記供給ヘッドと前記積層ステージの間に前記グリーンシートを位置させ、かつ、前記積層ステージ上に保持されたグリーンシートと前記供給ヘッドとの間に隙間が存在している状態で、前記積層ステージを前記積層方向に沿って前記供給ヘッドに向かって移動させる際の、前記積層ステージと前記供給ヘッドとの間に位置する前記グリーンシートが前記供給ヘッドを押圧することによる、前記供給ヘッドの前記積層方向への移動の開始を検出するヘッド移動検出手段と、
異物を含まないグリーンシートが積層される場合において、前記ヘッド移動検出手段が前記供給ヘッドの前記積層方向への移動の開始を検出するときの、前記積層ステージの前記積層方向の位置を予め記憶しておき、実際に前記ヘッド移動検出手段が前記移動の開始を検出したときの、前記積層ステージの前記積層方向の位置が、予め記憶した前記位置よりも手前の位置である場合には、前記供給ヘッドと前記積層ステージの間に位置する積層体が異物を含んでいるものと判断して、その後の前記積層ステージおよび前記パンチの少なくとも一方を動作させることによる圧着工程に移行することを停止させる制御手段と
を備えていることを特徴としている。
複数のグリーンシートが積層される積層ステージと、
積層されるべきグリーンシートを保持し、前記グリーンシートの積層方向からみて、前記積層ステージ上において前記グリーンシートの積層が行われる領域である積層領域と対向する対向領域において、保持した前記グリーンシートを前記積層ステージ上に位置するグリーンシート上に供給するとともに、前記積層ステージ上の複数の前記グリーンシートを圧着する圧着ヘッドとしても機能する供給ヘッドであって、前記対向領域において前記積層方向に移動させることができるように構成された供給ヘッドと、
前記積層ステージ上に位置する前記グリーンシートおよび前記対向領域に位置する前記供給ヘッドを介して前記積層ステージと対向するように配設されたパンチとを備え、
複数の前記グリーンシートを、圧着ヘッドとしても機能する前記供給ヘッドと前記積層ステージの間に位置させた状態で、前記積層ステージおよび前記パンチの少なくとも一方を前記積層方向に沿って移動させることにより、複数の前記グリーンシートを圧着して圧着積層体を形成するように構成されたグリーンシートの積層装置であって、
前記積層ステージの前記積層方向の位置を検出するステージ位置検出手段と、
前記供給ヘッドと前記積層ステージの間に前記グリーンシートを位置させ、かつ、前記積層ステージ上に保持されたグリーンシートと前記供給ヘッドとの間に隙間が存在している状態で、前記積層ステージを前記積層方向に沿って前記供給ヘッドに向かって移動させる際の、前記積層ステージと前記供給ヘッドとの間に位置する前記グリーンシートが前記供給ヘッドを押圧することによる、前記供給ヘッドの前記積層方向への移動の開始を検出するヘッド移動検出手段と、
異物を含まないグリーンシートが積層される場合において、前記ヘッド移動検出手段が前記供給ヘッドの前記積層方向への移動の開始を検出するときの、前記積層ステージの前記積層方向の位置を予め記憶しておき、実際に前記ヘッド移動検出手段が前記移動の開始を検出したときの、前記積層ステージの前記積層方向の位置が、予め記憶した前記位置よりも手前の位置である場合には、前記供給ヘッドと前記積層ステージの間に位置する積層体が異物を含んでいるものと判断して、その後の前記積層ステージおよび前記パンチの少なくとも一方を動作させることによる圧着工程に移行することを停止させる制御手段と
を備えていることを特徴としている。
前記圧着ヘッドと前記積層ステージの間に前記グリーンシートを位置させ、かつ、前記積層ステージ上に保持されたグリーンシートと前記圧着ヘッドとの間に隙間が存在している状態で、前記積層ステージを前記積層方向に沿って前記圧着ヘッドに向かって移動させる際の、前記積層ステージと前記圧着ヘッドとの間に位置する前記グリーンシートが前記圧着ヘッドを押圧することによる、前記圧着ヘッドの前記積層方向への移動の開始を前記ヘッド移動検出手段により検出し、
異物を含まないグリーンシートが積層される場合において、前記ヘッド移動検出手段が前記圧着ヘッドの前記積層方向への移動の開始を検出するときの、前記積層ステージの前記積層方向の位置を予め記憶しておき、実際に前記ヘッド移動検出手段が前記移動の開始を検出したときの、前記積層ステージの前記積層方向の位置が、予め記憶した前記位置よりも手前の位置である場合には、前記圧着ヘッドと前記積層ステージの間に位置する積層体が異物を含んでいるものと前記制御手段により判断し、その後の前記積層ステージおよび前記パンチの少なくとも一方を動作させることによる圧着工程に移行することを停止させるように構成されていることが好ましい。
また、ステージ移動手段14は、上述のように接合されたグリーンシート1(1a,1b)を積層ステージ12や圧着ヘッド23とともにパンチ15に向かって移動させるように構成されている。
そして、制御手段の記憶部は、異物が付着していない正常なグリーンシート1が積層される場合において、ヘッド移動検出手段17が供給ヘッド13の積層方向への移動の開始を検出するときの、積層ステージ12の積層方向の位置を予め記憶するように構成されている。
なお、上記の位置は、グリーンシート1の厚みや積層枚数によって変わる値であり、設計値や予備実験から導くことができる。また、予め記憶させる位置は、想定する異物や、検出手段の測定精度を考慮して、所定の範囲をもって定められる。
そして、図2(a)に示すように、積層ステージ12がさらに上昇するのに伴って、供給ヘッド13も積層方向への移動(上昇)を開始し、ヘッド移動検出手段17により、供給ヘッド13の積層方向への移動の開始が検出される(ヘッド移動検出手段17がON状態になる)(図5:S3)。
まず、図2(b)に示すように、積層ステージ12を下方に移動させる。このとき、仮接合された積層体5が、積層ステージ12上に保持された状態となる。そして、積層ステージ12の上方に位置する供給ヘッド13をシート保持領域21に移動させる(図5:S7)。
次に、図3に示すように、圧着ヘッド23を積層領域11に移動させる(図6:S8)。
そして、図4(a)に示すように、積層ステージ12がさらに上昇するのに伴って、圧着ヘッド23も積層方向への移動(上昇)を開始し、ヘッド移動検出手段17により、圧着ヘッド23の積層方向への移動の開始が検出される(ヘッド移動検出手段17がON状態になる)(図6:S10)。
図4(b)に示すように、積層ステージ12をさらに上方に移動させ、圧着ヘッドの上部23aをパンチ15に当接させる。そして、所定の押圧力で、積層体5(複数のグリーンシート1)を、圧着ヘッド23を介して、積層ステージ12とパンチ15の間に挟みこんで圧着する(図6:S14)。
最後に、圧着積層体5の積層数が所定数になったときに、積層体5の形成を終了する。
1a 積層ステージ上に位置するグリーンシート
1b 供給ヘッドに保持されたグリーンシート
5 積層体
10 グリーンシートの積層装置
11 積層領域
11a 対向領域
12 積層ステージ
13 供給ヘッド
13a 供給ヘッドの上部
14 ステージ移動手段
15 パンチ
16 基材
17 ヘッド移動検出手段
18 ステージ位置検出手段
19 反射ブロック
21 シート保持領域
23 圧着ヘッド
23a 圧着ヘッドの上部
25 固定レール
26,26a スライダ
Claims (6)
- 複数のグリーンシートが積層される積層ステージと、
積層されるべきグリーンシートを保持し、前記グリーンシートの積層方向からみて、前記積層ステージ上において前記グリーンシートの積層が行われる領域である積層領域と対向する対向領域において、保持した前記グリーンシートを前記積層ステージ上に位置するグリーンシート上に供給する供給ヘッドであって、前記対向領域において前記積層方向に移動させることができるように構成された供給ヘッドと、
前記積層ステージ上の複数の前記グリーンシートを圧着するため、前記対向領域に位置することができるように構成された圧着ヘッドと、
前記積層ステージ上に位置する前記グリーンシートおよび前記対向領域に位置する前記圧着ヘッドを介して前記積層ステージと対向するように配設されたパンチとを備え、
複数の前記グリーンシートを前記圧着ヘッドと前記積層ステージの間に位置させた状態で、前記積層ステージおよび前記パンチの少なくとも一方を前記積層方向に沿って移動させることにより、複数の前記グリーンシートを圧着して圧着積層体を形成するように構成されたグリーンシートの積層装置であって、
前記積層ステージの前記積層方向の位置を検出するステージ位置検出手段と、
前記供給ヘッドと前記積層ステージの間に前記グリーンシートを位置させ、かつ、前記積層ステージ上に保持されたグリーンシートと前記供給ヘッドとの間に隙間が存在している状態で、前記積層ステージを前記積層方向に沿って前記供給ヘッドに向かって移動させる際の、前記積層ステージと前記供給ヘッドとの間に位置する前記グリーンシートが前記供給ヘッドを押圧することによる、前記供給ヘッドの前記積層方向への移動の開始を検出するヘッド移動検出手段と、
異物を含まないグリーンシートが積層される場合において、前記ヘッド移動検出手段が前記供給ヘッドの前記積層方向への移動の開始を検出するときの、前記積層ステージの前記積層方向の位置を予め記憶しておき、実際に前記ヘッド移動検出手段が前記移動の開始を検出したときの、前記積層ステージの前記積層方向の位置が、予め記憶した前記位置よりも手前の位置である場合には、前記供給ヘッドと前記積層ステージの間に位置する積層体が異物を含んでいるものと判断して、その後の前記積層ステージおよび前記パンチの少なくとも一方を動作させることによる圧着工程に移行することを停止させる制御手段と
を備えていることを特徴とするグリーンシートの積層装置。 - 複数のグリーンシートが積層される積層ステージと、
積層されるべきグリーンシートを保持し、前記グリーンシートの積層方向からみて、前記積層ステージ上において前記グリーンシートの積層が行われる領域である積層領域と対向する対向領域において、保持した前記グリーンシートを前記積層ステージ上に位置するグリーンシート上に供給するとともに、前記積層ステージ上の複数の前記グリーンシートを圧着する圧着ヘッドとしても機能する供給ヘッドであって、前記対向領域において前記積層方向に移動させることができるように構成された供給ヘッドと、
前記積層ステージ上に位置する前記グリーンシートおよび前記対向領域に位置する前記供給ヘッドを介して前記積層ステージと対向するように配設されたパンチとを備え、
複数の前記グリーンシートを、圧着ヘッドとしても機能する前記供給ヘッドと前記積層ステージの間に位置させた状態で、前記積層ステージおよび前記パンチの少なくとも一方を前記積層方向に沿って移動させることにより、複数の前記グリーンシートを圧着して圧着積層体を形成するように構成されたグリーンシートの積層装置であって、
前記積層ステージの前記積層方向の位置を検出するステージ位置検出手段と、
前記供給ヘッドと前記積層ステージの間に前記グリーンシートを位置させ、かつ、前記積層ステージ上に保持されたグリーンシートと前記供給ヘッドとの間に隙間が存在している状態で、前記積層ステージを前記積層方向に沿って前記供給ヘッドに向かって移動させる際の、前記積層ステージと前記供給ヘッドとの間に位置する前記グリーンシートが前記供給ヘッドを押圧することによる、前記供給ヘッドの前記積層方向への移動の開始を検出するヘッド移動検出手段と、
異物を含まないグリーンシートが積層される場合において、前記ヘッド移動検出手段が前記供給ヘッドの前記積層方向への移動の開始を検出するときの、前記積層ステージの前記積層方向の位置を予め記憶しておき、実際に前記ヘッド移動検出手段が前記移動の開始を検出したときの、前記積層ステージの前記積層方向の位置が、予め記憶した前記位置よりも手前の位置である場合には、前記供給ヘッドと前記積層ステージの間に位置する積層体が異物を含んでいるものと判断して、その後の前記積層ステージおよび前記パンチの少なくとも一方を動作させることによる圧着工程に移行することを停止させる制御手段と
を備えていることを特徴とするグリーンシートの積層装置。 - 前記圧着ヘッドが、前記対向領域において前記積層方向に移動させることができるように構成され、
前記圧着ヘッドと前記積層ステージの間に前記グリーンシートを位置させ、かつ、前記積層ステージ上に保持されたグリーンシートと前記圧着ヘッドとの間に隙間が存在している状態で、前記積層ステージを前記積層方向に沿って前記圧着ヘッドに向かって移動させる際の、前記積層ステージと前記圧着ヘッドとの間に位置する前記グリーンシートが前記圧着ヘッドを押圧することによる、前記圧着ヘッドの前記積層方向への移動の開始を前記ヘッド移動検出手段により検出し、
異物を含まないグリーンシートが積層される場合において、前記ヘッド移動検出手段が前記圧着ヘッドの前記積層方向への移動の開始を検出するときの、前記積層ステージの前記積層方向の位置を予め記憶しておき、実際に前記ヘッド移動検出手段が前記移動の開始を検出したときの、前記積層ステージの前記積層方向の位置が、予め記憶した前記位置よりも手前の位置である場合には、前記圧着ヘッドと前記積層ステージの間に位置する積層体が異物を含んでいるものと前記制御手段により判断し、その後の前記積層ステージおよび前記パンチの少なくとも一方を動作させることによる圧着工程に移行することを停止させるように構成されていることを特徴とする請求項1記載のグリーンシートの積層装置。 - 積層される複数の前記グリーンシートが、積層セラミック電子部品の製造に用いられるセラミックグリーンシートであることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のグリーンシートの積層装置。
- 積層される複数の前記グリーンシートの少なくとも一部が、導電性ペーストを付与することにより形成された導体パターンを備えるものであることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のグリーンシートの積層装置。
- 前記積層ステージが、油圧シリンダによって積層方向に移動させられるように構成されており、前記ステージ位置検出手段が、レーザ変位計によって前記積層ステージの積層方向の位置を検出するように構成されたものであることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のグリーンシートの積層装置。
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