TWI419183B - A method for producing a sheet laminate, and a manufacturing apparatus for a sheet laminate - Google Patents

Description

片材層疊體之製造方法及片材層疊體之製造裝置

本發明係關於一種製造層疊型電子零件之製造方法、以及該製造方法中所使用之製造裝置，且該層疊型電子零件係由層疊晶片電容器或層疊晶片電感器等陶瓷生胚片材而疊層形成。

作為層疊型電子零件的最具代表性之例的層疊陶瓷電容器係以如下所述之方式而製造的，即，將藉由疊層印刷有內部電極圖案之生坯片材而獲得之片材層疊體切割成晶片狀，以使內部電極曝露於端面，其後進行煅燒。於製造如此之層疊陶瓷電容器時，當疊層印刷有內部電極之生坯片材時，若所印刷之內部電極之位置產生錯位，則層疊陶瓷電容器中所獲得之靜電容將產生不均勻。因此，先前，採用下述方法作為防止層疊生坯片材時之位置偏移的方法，即，於生坯片材之穿孔步驟中穿設定位孔，以該定位孔為基準進行印刷，一面將定位針插入定位孔，一面疊層各生坯片材之方法，或如專利文獻1般，藉由對準記號識別裝置而識別預先標記於生坯片材上之對準記號的位置，且根據該位置資訊使對準裝置作動，藉此對各生坯片材進行定位之方法。

[專利文獻1]日本專利特開平03－142910號公報

[發明所欲解決之問題]

然而，一面將定位針插入穿設於生坯片材中之定位孔中、一面疊層各片材之方法中，由於定位孔與印刷位置會產生錯位，或由於必須使定位孔某種程度地大於定位針，故無法進行精度較高之定位。另一方面，利用對準記號識別裝置及對準裝置而定位各片材之方法中，由於必須於相同之層疊裝置內，進行對準記號之識別、對準動作、以及層疊生坯片材之多個動作，故無法於短時間內形成片材層疊體，且層疊裝置變得複雜，故存在難以維護之缺點。

本發明之目的在於提供一種片材層疊體之製造方法，既可消除上述之先前之片材層疊體的製造方法之問題點，而對各片材進行高精度的定位，又可於短時間內高效地形成片材層疊體。又，本發明之目的在於提供一種片材層疊體之製造裝置，其可進行如此之高效的片材層疊體之製造。

於如此之本發明之中，實施態樣1中所揭示之發明之特徵在於：其係疊層多片陶瓷片材而形成之片材層疊體的製造方法，且其將片材輸送至臨時接合臺，於臨時接合臺上識別片材之對準記號位置，根據該位置資訊而定位片材，其後，將其後之片材輸送至臨時接合臺上，於臨時接合臺上定位該片材後，疊層於先前經定位之片材上，並且進行局部加熱而使之臨時接合，其後，將經臨時接合之片材輸送至疊層臺，於疊層臺上對臨時接合狀態之片材進行加熱並且加壓，以此進行熱壓合，且於在疊層臺上熱壓合片材期間，於臨時接合臺上定位其後之片材，其後，將經定位之片材疊層於先前經熱壓合之片材上，並且進行局部加熱 而使之臨時接合，其後，將經臨時接合之片材輸送至疊層臺進行熱壓合，之後，重複進行該等動作，熱壓合多片片材，製造疊層為一體之片材層疊體。

實施態樣2中所揭示之發明之特徵在於：其係疊層多片陶瓷片材而形成之片材層疊體的製造方法，其將片材輸送至臨時接合臺，於臨時接合臺上識別片材之對準記號位置，且根據該位置資訊而定位片材，其後，將其後之片材輸送至臨時接合臺，於臨時接合臺上定位該片材後，疊層於先前經定位之片材上，並且，進行局部加熱而使之臨時接合，之後，重複進行該等動作，以此將多片片材臨時接合，其後，將經臨時接合之多片片材輸送至疊層臺，於疊層臺上對臨時接合狀態之多片片材進行加熱並且加壓，以此進行熱壓合，且於在疊層臺上熱壓合片材期間，於臨時接合臺上定位其後之片材，將該經定位之片材疊層於先前經熱壓合之多片片材上，並且，進行局部加熱而使之臨時接合，重複進行該動作，製造將多片片材熱壓合而形成之片材層疊體。

實施態樣3中所揭示之發明之特徵在於：其係疊層多片陶瓷片材而形成之片材層疊體之製造方法，將多片片材依次輸送至臨時接合臺上，於臨時接合臺上，根據片材之對準記號位置資訊而定位片材後，將該經定位之片材疊層於先前經定位且臨時接合之片材上，並且進行局部加熱而使之臨時接合，之後，重複進行該等動作，將多片片材臨時接合，其後，將臨時接合狀態之多片片材輸送至疊層臺 上，於疊層臺上對臨時接合狀態之多片片材進行加熱並且加壓，以此進行熱壓合，熱壓合多片片材，製造疊層為一體之片材層疊體。

如實施態樣1至3之任一項之發明，實施態樣4中所揭示之發明中，於吸附保持片材之下表面之狀態下，將片材輸送至臨時接合臺，於臨時接合臺上，於吸附保持片材之上表面之狀態下定位片材後，將該經定位之片材疊層於先前經定位且下表面受到吸附保持之片材的上側，並且，進行局部加熱而使之臨時接合，其後，於吸附保持經臨時接合之片材的下表面之狀態下，將經臨時接合之片材輸送至疊層臺，於疊層臺上，自上下側對臨時接合狀態之片材進行加熱並且加壓，以此進行熱壓合。

分別如實施態樣1至4之發明，實施態樣5至8中所揭示之發明中，將片材製成附膜片材，且於將該附膜片材輸送至臨時接合臺先前將薄膜自片材剝離，並於臨時接合臺上，對薄膜已剝離之狀態下的片材進行定位。

分別如實施態樣1至4之發明，實施態樣9至12中所揭示之發明中，將片材製成附膜片材，於臨時接合臺上，於處於附膜片材之狀態下進行片材之定位，其後，將已完成定位之片材輸送至臨時接合臺外，且於臨時接合臺上定位其後之片材，並且為了將該經定位之其後之片材疊層於先前經定位之片材上，而於將先前經定位之片材輸送至臨時接合臺先前，自先前經定位之片材剝離薄膜。

實施態樣13中所揭示之發明係疊層多片陶瓷片材而形成 之片材層疊體之製造裝置，且其係以下述方式而形成：包含送入臺，用於以一片為單位而送入片材；臨時接合臺，疊層輸送之片材、且將其臨時接合於先前之片材上；疊層臺，對經臨時接合之層疊片材進行加熱並且加壓、以此進行熱壓合；以及送出臺，送出經熱壓合之片材層疊體；設置有：第一輸送裝置，其包含可吸附保持片材之下表面之第一升降板、並可往返移動於送入臺與臨時接合臺之間；第二輸送裝置，包含可吸附保持片材之下表面之第二升降板、且可往返移動於臨時接合臺與疊層臺之間，以及第三輸送裝置，包含可保持片材之保持機構、且可往返移動於疊層臺與送出臺之間；並設置有：對準裝置，可於將片材之上表面吸附保持於臨時接合臺上之狀態下，根據片材之對準記號位置資訊而定位片材；以及臨時接合裝置，可將經定位之片材臨時接合於第二升降板上之先前之片材的上表面上；且包含加熱裝置，其可對臨時接合於疊層臺上之第二升降板之上的層疊片材進行加熱；並且設置有：加壓裝置，其可自上側對該層疊片材加壓。

如實施態樣13之發明，實施態樣14中所揭示之發明中，將送入臺、臨時接合臺、及疊層臺依次配置成一行狀，於第一輸送裝置中設置第一導軌，可將第一升降板向送入臺及臨時接合臺往返引導，於第二輸送裝置中設置第二導軌，可將第二升降板向臨時接合臺及疊層臺往返引導，且第一導軌及第二導軌由共通之直線形之導軌而構成。

如實施態樣13之發明，實施態樣15中所揭示之發明中， 設置有固定地支持於臨時接合臺上的支持構件；且於對準裝置中，包含：對準板，其可相對於支持構件於水平面內而向X方向、Y方向、以及旋轉方向移動，吸附板，其可將片材之上表面吸附保持於對準板；相機，其設於支持構件上且位置可調整，穿過對準板及吸附板的通孔而識別片材之對準記號位置；以及控制裝置，其設於支持構件上，且根據來自相機的對準記號位置資訊，而使對準板向X方向、Y方向、及旋轉方向移動；且於臨時接合裝置中包含：加熱箱，該加熱箱可以穿過對準板及吸附板之通孔，向孔開口部前進之方式，而相對於支持構件升降。

如實施態樣13之發明，實施態樣16中所揭示之發明中設置有固定地支持於疊層臺上的支持構件；且於加壓裝置中包含：液壓缸，以活塞桿相對於支持構件朝向下方之方式而固定；升降體，以可相對於支持構件升降之方式而受到支持、且連結於活塞桿上；頂柱塞，固定於升降體上、且內裝有加熱器，吸引箱，其以相對於升降體而包圍頂柱塞之側方之全周及頂柱塞之上方的方式而設置為可升降；以及真空裝置，其可自吸引箱之內部空間吸引空氣；且，當使升降體下降時，於其中途，吸引箱將抵接於第二升降板，而使下降停止，並且氣密地封閉吸引箱內部。

實施態樣1之發明，由於具有如下所述之特徵，故而可準確地定位片材且疊層、並且可於對其位置關係加以維持之狀態下一體地疊層片材，故可使片材層疊體之層疊精度 成為高精度，且可提高片材層疊體之品質，其特徵為，將片材輸送至臨時接合臺，於臨時接合臺上識別片材之對準記號位置，且根據該位置資訊而定位片材，其後，將其後之片材輸送至臨時接合臺，於臨時接合臺上定位該片材後，疊層於先前經定位之片材上，並且，進行局部加熱而使之臨時接合，其後，將經臨時接合之片材輸送至疊層臺上，於疊層臺上對臨時接合狀態之片材進行加熱並且加壓，以此進行熱壓合。又，實施態樣1之發明由於具有如下所述之特徵，即，於在疊層臺上熱壓合片材期間，於臨時接合臺定位其後之片材，將該經定位之片材疊層於先前經熱壓合之片材上，並且進行局部加熱而使之臨時接合，其後，將經臨時接合之片材輸送至疊層臺上進行熱壓合，故而，可同時並行處理下述動作，即，定位(對準)片材且進行臨時接合之動作，以及對片材加壓且進行熱壓合之加壓動作，故可縮短片材層疊體製造之生產時間，可提高生產力。

實施態樣2之發明，由於具有如下所述之特徵，故而可準確地對多片片材定位後進行疊層，並且可於維持其位置關係之狀態下一體接合，從而可提高片材層疊體之層疊精度，而上述特徵為，將片材輸送至臨時接合臺，於臨時接合臺上識別片材之對準記號位置，並根據該位置資訊定位片材，其後，將其後之片材輸送至臨時接合臺，於臨時接合臺上對該片材進行定位後，再疊層於前面經定位之片材上，並且進行局部加熱使之臨時接合，之後，重複進行該 等動作，將多片片材臨時接合，其後，將經臨時接合之多片片材輸送至疊層臺上，於疊層臺上對臨時接合狀態之多片片材進行加熱加壓，進行熱壓合。又，實施態樣2之發明之特徵在於：於疊層臺上熱壓合片材期間，於臨時接合臺定位其次之片材，並將該經定位之片材疊層於前面經熱壓合之多片片材上，並且進行局部加熱使之臨時接合，重複進行該動作，將多片片材臨時接合於經熱壓合之片材上，之後，重複進行該等動作，熱壓合多片片材，製造疊層為一體之片材層疊體，故而，可同時並行處理多片片材之對準動作及臨時接合、多片片材之加壓及熱壓合之加壓動作，因此可縮短片材層疊體製造之生產時間，從而可提高生產力。

實施態樣3之發明，由於具有如下所述之特徵，故而可於準確地對多片片材進行定位疊層，並且於維持其位置關係之狀態下進行一體接合，故可提高片材層疊體之層疊精度，上述特徵為，將多片片材依次輸送至臨時接合臺上，於臨時接合臺上，根據片材之對準記號位置資訊而定位片材後，將該經定位之片材疊層於前面經定位且臨時接合之片材上，並且進行局部加熱使之臨時接合，之後，重複進行該等動作，將多片片材臨時接合，其後將臨時接合狀態之多片片材輸送至疊層臺上，於疊層臺上對臨時接合狀態之多片片材進行加熱並且加壓，進行熱壓合，製造熱壓合多片片材而疊層為一體之片材層疊體，又，實施態樣3之發明之特徵在於，將臨時接合狀態之多片片材輸送至疊層 臺上，於疊層臺上對臨時接合狀態之多片片材進行加熱並且加壓，進行熱壓合，製造片材層疊體，故可同時並行處理下多片片材之臨時接合動作以及多片片材之加壓動作，因此可縮短片材層疊體製造之生產時間，從而可提高生產力。

根據實施態樣4之發明，可對定位於位置保持狀態之片材上表面的片材進行高效疊層，並準確進行臨時接合，故可高效地製造片材層疊體。

根據實施態樣5至8之發明，當為附膜片材時，亦可剝離其薄膜，準確定位多片片材且使之臨時接合，故可提高片材層疊體之層疊精度。

根據實施態樣9至12之發明，為於臨時接合臺上定位其次之片材，並將其疊層於前面經定位之片材上，而於將前面經定位之片材輸送至臨時接合臺先前將薄膜自片材上剝離，故而可於附膜片材之狀態下熱壓合前面經定位之片材，因此可利用薄膜來抑制片材之熱變形、或可抑制片材黏著於壓模上。

根據實施態樣13之發明，可將片材輸送至臨時接合臺進行定位後，再疊層於前面經定位之片材上，並且進行局部加熱使之臨時接合，或可將經臨時接合之片材輸送至疊層臺上進行加熱並且加壓，進行熱壓合，故可機械性製造將多片片材疊層為一體而形成之片材層疊體。

根據實施態樣14之發明，可藉由簡易之機構而將片材高效地送出或送入臨時接合臺及疊層臺。

根據實施態樣15之發明，可於吸附已輸送至臨時接合臺之片材的上表面而進行準確地定位後，容易地將該片材臨時接合於輸送至下方之另外的片材上，故可藉由簡易之機構而高效地將多片片材臨時接合。

根據實施態樣16之發明，可於低於大氣壓之真空區域內對輸送至疊層臺上之多片層疊片材進行加熱及加壓，進行熱壓合，且對層疊片材迅速進行加壓時，亦可防止於層疊片材之片材相互間殘留有氣泡，故可使片材層疊體之製造效率較好。

以下，根據圖示，就本發明之片材層疊體之製造裝置、及片材層疊體之製造方法的一實施形態而進行詳細說明。

圖1、圖2係表示片材層疊體之製造裝置者，片材層疊體之製造裝置(以下，簡稱為層疊裝置)41中，將下述者依次配置成一行，即，送入臺2，用於以一片為單位而送入片材，臨時接合臺3，疊層所輸送之片材、且將其臨時接合於先前之片材上，疊層臺4，對經臨時接合之層疊片材進行加熱並且加壓、以此進行熱壓合，以及送出臺5，送出經熱壓合之片材層疊體。

又，於層疊裝置41之支持板42上，設置有：第一輸送裝置6，可往返移動於送入臺2與臨時接合臺3之間，第二輸送裝置7，可往返移動於臨時接合臺3與疊層臺4之間，以及第三輸送裝置8，可往返移動於疊層臺4與送出臺5之間。圖3係表示第一輸送裝置6及第二輸送裝置7者，於第一輸送裝置6中設置有第一升降板9，可吸附保持陶瓷生坯片材(以下，簡稱為片材)1之下表面，於第二輸送裝置7中設置有第二升降板10，同樣地，其可吸附保持片材之下表面。另一方面，於第三輸送裝置8中設置有保持機構11，用以對片材之四角邊緣加以保持，而將片材自疊層臺4送出至送出臺5之送出板5A上。

上述第一輸送裝置6、及第二輸送裝置7中，包含：直線形且平行配置的一對導軌17；臺車6A、7A，以可滑動之方式而載置於導軌17之上；螺旋軸18、19，藉由分別固定於支持板42上之一對軸承板18A、19A，而軸承於第一輸送裝置6、第二輸送裝置7之下側，且與導軌17平行配置，並且，螺合於第一輸送裝置6、第二輸送裝置7之臺車6A、7A上；以及伺服馬達18B、19B，固定配置於支持板42上，且連結於螺旋軸18、19之端部。於第一輸送裝置6之臺車6A及第二輸送裝置7之臺車7A上，安裝有前後一對升降氣缸9A、10A，分別使第一升降板9及第二升降板10升降；以及未圖示之導引機構，對第一升降板9及第二升降板10之升降進行導引。又，於第一輸送裝置6之第一升降板9上，附設有前後一對定位氣缸9B、9C(揭示於圖2中)，用以對載置於第一升降板9上之片材進行定位。其中一個定位氣缸9B，係使定位片材之制動器前後移動者，另一個定位氣缸9C係用以推壓片材、以使其抵接於制動器者。又，於使用黏貼於金屬框架等框架上之片材之情形時，於第一升降板9及第二升降板10上，內裝有用以使金屬框架等之四角部分升降之四個框架升降氣缸(圖示省略)，且於將片材轉移至位於上方之後述的對準板之吸附板上時，該四個框架升降氣缸將抬起金屬框架等，而將片材確實地轉移至吸附板上。於支持板42之上設置有定位感測器60，使第二輸送裝置7之臺車7A停止於臨時接合臺3的準確位置上。繼而，於導軌17內，其螺旋軸18側之部分將作為第一導軌20而發揮功能，該第一導軌20將第一升降板9向送入臺2及臨時接合臺3往返引導，螺旋軸19側之部分將作為第二導軌21而發揮功能，該第二導軌21將第二升降板10向臨時接合臺3及疊層臺4往返引導。

又，於臨時接合臺3中，支持板42上立設有四根支柱22、22．．，且支持構件43水平地固定於該等各支柱22之上端部。繼而，於該支持構件(框)43上，設置有對準裝置12，其根據與預先標記於片材1上之對準記號的位置相關之資訊而定位片材1。圖4、圖5係表示對準裝置12之設置部位者，對準裝置12包含中空之安裝基板12A，其固定於支持構件43之下表面上，以及對準板23，其以可於水平面內移動之方式而安裝於安裝基板12A之下側。如日本專利特開2000－98631號公報等所揭示般，對準板23，藉由設置於安裝基板12A上之先前公知之機構，根據控制裝置26之指令，而可於水平面內向X方向、Y方向、以及旋轉方向(θ方向)移動。於支持構件43及安裝基板12A之上表面之中央部分，設置有較大之開口部43C、12C。

進而，對準板23上，於其中央部分具有較大之開口部23A，且於其下表面上，以阻塞開口部23A之方式而設置有吸附保持板24，用以吸附保持片材之上表面。吸附保持板24上，於其下表面之除去吸附片材之區域的緣部之一部分的位置處，以納入同一平面之方式而固著有包含可進行吸引之多孔質材料的大致四角形吸附板24A，且於位於該吸附板24A之上側之內部設置有吸引室24B，於吸附保持板24之上表面連結有多根吸引管24C，用以進行吸引室24B之真空吸引及真空破壞。又，由於存在使用黏貼於多個金屬框架上之片材之情形，故於吸引保持板24上之吸引片材之區域的側方之多處，埋設有可吸附金屬框架之磁石24D，並且，以朝向下方之方式而配置有多個銷缸(pin cylinder)24E，用以使該等磁石所吸引之金屬框架脫離磁石。又，吸引保持板24上，於吸附片材之區域之緣部之一部分上，穿設有四個通孔36、36．．、及下述中所示之用以進行臨時接合之四個通孔26、26．．。於各通孔36之內部，分別設置有識別標記於片材1上之對準記號的相機(CCD相機)25、25．．，且其等係由安裝於支持構件43之上表面之支持架25A而支持且設置成位置可調整。

又，於對準板23之上方，設置有臨時接合裝置13，可將經定位之片材1臨時接合於先前經定位之片材的上表面。繼而，臨時接合裝置13中，於安裝於支持構件43之上表面的支持架13A上，以朝向下方且可升降之方式而設置有四個電熱箱14、14．．，作為臨時接合機構。如此之電熱箱14、14．．，可穿過對準板23之開口部23A及穿設於吸附保持板24上之通孔26、26．．，而進出於孔開口部27中。

另一方面，疊層臺4中，於基板42上立設有四根支柱28、28．．，且於該等各支柱28之上端部固定有支持構件(框)28A。繼而，於該支持構件28A中，包含加熱裝置15，可對經臨時接合的第二升降板9上之層疊片材進行加熱，且設置有加壓裝置16，可自上側對經加熱之層疊片材進行加壓。

圖6中表示加熱裝置15、加壓裝置16之設置部位，加壓裝置16中，包含：液壓缸29，其活塞桿30朝向下方，且固定於支持構件28A之上表面；一對導引桿31A，其藉由固定於支持構件28A上之一對導引襯套28B、28B而可升降自由地進行導引；以及升降體31，其固定於導引桿31A之下端部，並且連結於液壓缸29之活塞桿30上。繼而，於該升降體31上，介以支持體33A而固著有頂柱塞33，且該頂柱塞33內裝有加熱器32。

又，於升降體31上，固定有一對導引襯套31B，可對左右一對之升降桿34A進行導引，且於升降桿34A之下端部設置有吸引箱34，於降下之位置處，其將包圍頂柱塞33之側方之全周及頂柱塞33之上方。設置於吸引箱34之上壁的接合孔34B，以上下滑動自如之方式而氣密性地嵌合於頂柱塞33之支持體33A上，且吸引箱34之下降係受到未圖示之制動器的阻止。又，吸引箱34藉由管35A而連接於設置在基板42下側之真空裝置35上，且其可自內部吸引空氣而形成真空、或可進行真空破壞。繼而，當升降體31下降時，於其下降之中途，吸引箱34將抵接於第二升降板9，藉此，吸引箱34之下降停止，並且可氣密性地密封，且吸引箱34之內部可保持脫氣狀態。第三輸送裝置8包含第三導軌44以及氣動壓力作動之無桿氣缸44A，該第三導軌44水平地配設於疊層臺4之側方，並且於受第三導軌44引導、且藉由無桿氣缸44A而水平移動之移動體44B中，設置有保持機構11，於移動體44B移動至疊層臺4之狀態下，該保持機構11將向疊層臺4之第二輸送裝置7的上方伸出。保持機構11包含吸附機構，可利用空氣吸引而吸附經熱壓合之片材層疊體的上表面。又，由於存在使用黏貼於金屬框架等上之片材之情形，故保持機構11包含卡止構件，其可向藉由設置於第二升降板10上之框架升降氣缸而稍稍有所上升之狀態的金屬框架等之左右緣部的下方進出，且抬起金屬框架等之左右緣部而進行輸送。

以下，就使用有以上述方式而構成之層疊裝置41的片材層疊體之製造方法的一例進行說明。再者，以下之說明係關於下述方法者：即藉由將每一片以一片片材為單位重複進行片材之定位→臨時接合→熱壓合之一系列動作，最終製造出將所必須之片數(例如40片)的片材疊層而形成之片材層疊體的方法。

片材1，切割成特定大小之矩形，且預先藉由印刷等而形成具有特定之圖案而構成電性要素之材料膜(例如，內部電極)。又，於片材1之四角邊緣處，印刷有用於定位之對準記號。將如此之片材1輸送至送入臺2，並載置於第一輸送裝置6上之第一升降板9上。當將片材1載置於第一升降板9上時，定位氣缸9B、9C作動且片材1定位後，由設置於第一升降板9外周邊緣之吸引孔(未圖示)進行吸引，藉此，片材1之下表面固定於第一升降板9上。繼而，於將片材1載置於第一升降板9上後，第一輸送裝置6將沿著第一導軌20而將片材1輸送至臨時接合臺3(向圖1之右側滑動)。再者，第一輸送裝置6之臺車6A之移動位置係藉由螺旋軸18之旋轉而受到限制。

當如上所述，藉由吸附保持有片材1之第一輸送裝置6之滑動，而將片材1輸送至臨時接合臺3時，升降氣缸9A將作動，第一升降板9上升，且介隔片材1而與設置於對準裝置12下端的吸附板24A相抵接(即，形成片材1由第一升降板9及吸附板24A受到輕壓之狀態)。當如此般，片材1與吸附板24A相抵接時，自吸附板24A之下表面整體進行吸引，藉此，片材1之上表面固定於吸附板24A上。又，與此同時，第一升降板9將停止吸引片材1，藉此，將片材1自第一升降板9向吸附板24A轉移。當片材1向吸附板24A轉移時，與第一升降板9開始向最下位置下降之同時，第一輸送裝置6沿著第一導軌20而移動至送入臺2(向圖1之左側滑動)。

又，當將片材1轉移至吸附板24A時，內裝於吸附板24中之四個相機25、25．．將對標記於片材1上之對準記號進行識別。繼而，根據該對準記號之位置資訊，對準板23將根據來自控制裝置26之指令而向X方向、Y方向、以及旋轉方向(θ方向)移動，藉此，片材1將與吸附板24A一起定位於特定位置上。

另一方面，於以如上述之方式而對片材1進行定位期間，第二輸送裝置7沿著第二導軌21移動至臨時接合臺3，且利用定位感測器60而可停止於準確之位置(向圖1之左側滑動)。再者，第二輸送裝置7之移動係藉由螺旋軸19之旋轉而受到限制。繼而，當第二輸送裝置7向臨時接合臺3輸送時，第二升降板10上升，且介隔片材1而與對準裝置12之下端的吸附板24A相抵接(即，形成片材1由第二升降板10及吸附板24A受到輕壓之狀態)。當以如此之方式，片材1與第二升降板10相抵接時，自設置於第二升降板10之外周邊緣的吸引孔(未圖示)進行吸引，藉此，片材1之下表面固定於第二升降板10上。又，與此同時，吸附板24A停止吸引片材1，藉此，片材1自吸附板24A向第二升降板10轉移。再者，如上所述，片材1定位於吸附板24A上，故可保持該經定位之狀態，而轉移至第二升降板10。當將片材1向第二升降板10轉移時，第二升降板10將朝向最下位置下降，並且，第二輸送裝置7將沿著第二導軌21向疊層臺4移動。

於以上述之方式而使第一片片材1定位，且轉移至第二升降板10期間，將第二片片材(切割成特定大小之矩形片材)1輸送至送入臺2，且載置於第一輸送裝置6上之第一升降板9上，以與第一片片材1同樣之方法進行定位、吸引固定，且於第二輸送裝置7開始自臨時接合臺3向疊層臺4移動後，將其輸送至臨時接合臺3上。繼而，以與第一片片材1同樣之方法而轉移至吸附板24A上，且進行定位。

於如上所述般對第二片片材1進行定位期間，吸引固定有第一片片材1之第二輸送裝置7將再次沿著第二導軌21而移動至臨時接合臺3(向圖1之左側滑動)。繼而，當第二輸送裝置7向臨時接合臺移動且停止定位時，第二升降板10上升，且介隔第二片片材1及第一片片材1而與吸附板24A相抵接(即，形成兩片片材1、1藉由第二升降板10及吸附板24A受到輕壓之狀態)。進而，當如此般兩片片材1、1藉由第二升降板10及吸附板24A受到輕壓時，臨時接合裝置13之加熱狀態下的四個電熱箱14、14．．下降，於特定之位置(四角邊緣)臨時接合(熱黏著)兩片片材1、1。再者，如上述般，兩片片材1、1中之任一者均定位於吸附板24A上，故可保持經定位之狀態，而直接進行臨時接合。

當以如此之方式而將兩片片材1、1臨時接合時，自第二升降板10之吸引孔(未圖示)進行吸引，藉此，第一片片材1之下表面固定於第二升降板10上，同時吸附板24A停止吸引第二片片材1，從而，經臨時接合之片材1、1自吸附板24A向第二升降板10轉移。再者，如上所述，由於兩片片材1、1係於經定位之狀態下而臨時接合，故可保持該經定位之狀態而轉移至第二升降板10。

繼而，當於兩片片材1、1已定位之狀態下，將其等轉移至第二升降板10時，第二升降板10開始下降到最下方位置為止，同時，第二輸送裝置7沿著第二導軌21，移動至疊層臺4(向圖1之右側滑動)為止。當第二輸送裝置7向疊層臺4輸送時，藉由加壓裝置16之液壓缸29之作動，而使利用加熱器32得到加熱之頂柱塞33、以及設置有吸引箱34之升降體31下降。繼而，藉由吸引箱34下端之正方形邊緣與第二升降板10之上表面相抵接，而使吸引箱34內部與外部氣密性地隔斷。再者，為提高吸引箱34內之氣密性，較好的是於吸引箱34下端附設密封材料。進而，於該狀態下，真空裝置35將吸引吸引箱34內之空氣。又，當如上述般升降體31下降時，則吸引箱34抵接於第二升降板10後，升降體31亦進一步下降，藉此，使利用加熱器32受到加熱之頂柱塞33下降，且與第二升降板10相抵接(介隔吸引固定於第二升降板10上之臨時接合後的兩片片材1、1而抵接)。其後，藉由施加特定壓力，而熱壓合兩片片材(臨時接合後之片材)1、1(保持已定位之狀態而直接進行熱壓合)。繼而，當熱壓合兩片片材1、1時，向吸引箱34內填充空氣，從而破壞真空後，吸引箱34及頂柱塞33將上升至最上方位置。

另一方面，於以如此之方式而熱壓合第一片片材及第二片片材期間，第三片片材(切割成特定大小之矩形片材)1將輸送至送入臺2上，且載置於第一輸送裝置6上之第一升降板9上，並以與第一片片材、第二片片材同樣之方法，於吸引固定後，輸送至臨時接合臺3上。繼而，以與第一片片材、第二片片材1、1同樣之方法，將第三片片材轉移至吸附板24A，以進行對準、定位。

又，於第三片片材1之定位期間，吸引固定有經熱壓合之第一片片材、第二片片材1、1的第二輸送裝置7，將再次沿著第二導軌21移動至臨時接合臺3(向圖1之左側滑動)。繼而，當第二輸送裝置7移動至臨時接合臺3且得到定位時，第二升降板10將上升，且介隔第一片片材、第二片片材(經熱壓合之片材)1、1及第三片片材1而與吸附板24A相抵接。進而，當如此般，三片片材1、1、1藉由第二升降板10及吸附板24A受到輕壓時，臨時接合裝置13之四個電熱箱14、14．．將會下降，藉此，於特定位置處(四角邊緣)臨時接合(熱黏著)第一片片材、第二片片材1、1及第三片片材1。再者，如上述般，由於三片片材1、1、1之任意一者均定位於吸附板24上，故可以保持已定位之狀態直接進行臨時接合。

如上所述，當三片片材臨時接合時，該等三片片材1、1、1將自吸附板24A轉移至第二升降板10，且第二升降板10將滑動至疊層臺4為止。繼而，藉由與熱壓合第一片片材、第二片片材1、1時同樣之步驟，於使吸引箱34內抽空之狀態下，藉由經加熱之頂柱塞33而熱壓合三片片材(經臨時接合之三片片材)1、1、1。

繼而，藉由重複進行特定次數之如上述般送入→定位→臨時接合→熱壓合，而最終形成疊層有所必須之片數的片材1、1．．之片材層疊體。之後，所形成之片材層疊體，於受到設置於第三輸送裝置8上之保持機構11保持的狀態下，自疊層臺4向送出臺5送出。再者，與第一輸送裝置6、第二輸送裝置7相同，第三輸送裝置8受到第三導軌44之引導，而可於疊層臺4與送出臺5之間移動。

根據藉由層疊裝置41所進行之如上所述之片材層疊體的製造方法，可對各片材1、1．．進行準確的定位層疊，並且，可於維持其位置關係之狀態下進行一體層疊，故可使片材層疊體之層疊精度達到高精度，提高片材層疊體之品質。又，可同時並行處理定位(對準)各片材1、1．．進行臨時接合之動作，以及對片材加壓進行熱壓合之加壓動作，因此可縮短片材層疊體製造之生產時間，故生產力極高。

又，層疊裝置41將片材1輸送至臨時接合臺3上且定位後，可將片材1疊層於之前經定位之片材1上，並且進行局部加熱而使之臨時接合，或可將經臨時接合之片材1輸送至疊層臺4上且進行加熱並且加壓，以此進行熱壓合，故可機械製造疊層為一體有多片片材1、1．．之片材層疊體。

再者，本發明之片材層疊體之製造方法、及片材層疊體之層疊裝置之構成並不受上述實施形態之態樣的任何限定，於不脫離本發明之宗旨之範圍內，可根據需要而對送入臺、臨時接合臺、疊層臺、送出臺、第一輸送裝置、第二輸送裝置、第三輸送裝置、對準裝置、臨時接合裝置、加熱裝置、加壓裝置、第一導軌、第二導軌、第三導軌等的形狀．構造等構成加以適當變更。

例如，本發明之片材之層疊方法並不限定於下述方法，即，如上述般，藉由以一片片材為單位而重複進行定位→臨時接合→熱壓合，最終形成疊層有所必須之片數之片材的片材層疊體的方法，且亦可變更為使用如下所述之方法，即，重複進行以一片為單位之定位→臨時接合，直至達到特定之片數(例如，10片)為止，形成片材層疊體(特定片數之層疊體)後，熱壓合該臨時接合狀態下之片材層疊體，之後，重複進行以一片為單位之片材定位、將經定位之片材向上述熱壓合後之片材層疊體上臨時接合、以及熱壓合，藉此，最終形成疊層有必須之片數之片材的片材層疊體。於採用如此之層疊方法之情形時，亦與如上述實施形態之層疊方法相同，可準確地對多片片材進行定位且疊層，並且，可於維持其位置關係之狀態下而一體地接合，故可提高片材層疊體之層疊精度。另外，可同時並行處理下述動作，即，多片片材之對準動作及臨時接合、以及多片片材之加壓及熱壓合之加壓動作，故可縮短片材層疊體製造之生產時間，從而提高生產力。

另外，本發明之片材之層疊方法亦可變更使用下述層疊方法，即，重複進行以一片為單位之定位→臨時接合，直至達到最終所必須之片數為止，形成疊層有最終所必須之片數的片材層疊體後，熱壓合該片材層疊體之層疊方法。於採用如此之層疊方法之情形時，亦與如上述實施形態之層疊方法相同，可準確地對多片片材進行定位且疊層，並且，可於維持其位置關係之狀態下而一體地接合，故可提高片材層疊體之層疊精度。另外，可同時並行處理下述動作，即，多片片材之臨時接合動作以及多片片材之加壓動作，故可縮短片材層疊體製造之生產時間，從而提高生產力。又，於片材為附膜片材之情形時，必須使用專利第2727739號公報或日本專利特開平8－244019號公報等中所揭示之公知的薄膜剝離機構，將薄膜自片材剝離，而於本發明中，將薄膜剝離機構配置於送入臺與臨時接合臺之間，於將附膜片材輸送至臨時接合臺之前，將薄膜自片材剝離，且於臨時接合臺上，對已剝離薄膜之狀態下的片材進行定位，故可防止伴隨薄膜剝離所產生之片材的位置偏移。

又，本發明之片材之層疊方法亦可為如下所述之構成，即，預先使用保護用之薄膜將片材包覆，製成附膜片材，直至將片材輸送至臨時接合臺為止，且於臨時接合臺上，將薄膜自片材剝離，對薄膜已剝離之狀態下的片材進行定位。於採用如此之構成之情形時，具有下述優點，即，可防止灰塵附著於片材上，且可製造出電氣特性優異之片材層疊體。

又，本發明之片材之層疊方法亦可為下述之構成，即，於臨時接合臺上，於為附膜片材之狀態下對片材進行定位，其後，將已完成定位之片材輸送至臨時接合臺外，且於臨時接合臺上定位其後之片材，為將該經定位之其後之片材疊層於之前經定位之片材上，而於將之前經定位之片材輸送至臨時接合臺之前，藉由配置於臨時接合臺與疊層臺之間之薄膜剝離機構，而將薄膜自之前經定位之片材剝離。於此情形時，若於為附膜片材之狀態下進行熱壓合後，自熱壓合後之片材剝離薄膜，且將該片材輸送至臨時接合臺，則可抑制熱壓合片材時片材之熱變形，或可抑制片材黏著於壓模上，故而較好。

又，層疊裝置中用以識別對準記號之相機並不限定於四個，可設置三個以下之相機，亦可設置五個以上之相機。又，用以進行臨時接合之機構，並不限定於電熱箱，亦可使用其他之機構，例如，超聲波熔接、振動熔接、紅外線雷射熔接等之機構。於使用超聲波熔接或振動熔接之情形時，可藉由使超聲波熔接機之振盪器或振動熔接機之振盪器與電熱箱同樣地進行升降，而熔接層疊片材，於使用紅外線雷射熔接之情形時，可藉由預先將紅外線雷射熔接機之雷射照射器固定地設置於最適當之位置，而使層疊片材熔接。

1．．．片材

2．．．送入臺

3．．．臨時接合臺

4．．．疊層臺

5．．．送出臺

6．．．第一輸送裝置

7．．．第二輸送裝置

8．．．第三輸送裝置

9．．．第一升降板

10．．．第二升降板

11．．．保持機構

12．．．對準裝置

13．．．臨時接合裝置

14．．．電熱箱

15．．．加熱裝置

16．．．加壓裝置

20．．．第一導軌

21．．．第二導軌

23．．．對準板

24．．．吸附板

25．．．相機

26．．．控制裝置

27．．．孔開口部

28A．．．框(支持構件)

29．．．液壓缸

30．．．活塞桿

31．．．升降體

32．．．加熱器

33．．．頂柱塞

34．．．吸引箱

35．．．真空裝置

41．．．層疊裝置

43．．．支持構件

圖1係表示片材層疊體製造裝置之正面之說明圖。

圖2係表示自上方所觀察之片材層疊體製造裝置之狀態的說明圖。

圖3係表示第一輸送裝置、第二輸送裝置之立體圖。

圖4係表示自上方所觀察之對準裝置之狀態的說明圖。

圖5係表示對準裝置之鉛直剖面的說明圖。

圖6係表示加熱裝置、加壓裝置之設置部位的說明圖。

2．．．送入臺

3．．．臨時接合臺

4．．．疊層臺

5．．．送出臺

6．．．第一輸送裝置

7．．．第二輸送裝置

8．．．第三輸送裝置

9．．．第一生降板

10．．．第二升降板

11．．．保持機構

12．．．對準裝置

22．．．支柱

31．．．升降體

35．．．真空裝置

35A．．．管

41．．．層疊裝置

42．．．支持板

43．．．支持構件

44．．．第三導軌

44A．．．無桿氣缸

44B．．．移動體

Claims (9)

1. 一種片材層疊體之製造方法，其特徵在於：其係疊層多片陶瓷片材而形成之片材層疊體的製造方法；其係將片材輸送至臨時接合臺，於臨時接合臺上識別片材之對準記號位置，且根據該位置資訊來定位片材，其後，將次一片片材輸送至臨時接合臺，於臨時接合臺上將該片材進行定位後，再疊層於先前經定位之片材上，並且進行局部加熱使之藉由熱黏著臨時接合，其後，將經臨時接合之片材層疊體輸送至疊層臺上，進行加熱並且加壓而進行熱壓合，另一方面，於在疊層臺上熱壓合片材層疊體期間，於臨時接合臺定位次一片新的片材，將經熱壓合之片材層疊體輸送至臨時接合臺，繼而，將經定位之新的片材疊層於先前經熱壓合之片材層疊體上並且進行局部加熱，以與上述臨時接合同樣的方法臨時接合，其後，將經熱壓合之片材層疊體上臨時接合有新的片材之片材層疊體輸送至疊層臺上進行熱壓合，之後，重複進行該等動作，製造多片片材疊層為一體之片材層疊體；且其中於吸附保持片材之下表面之狀態下，將片材輸送至臨時接合臺上，並在臨時接合臺上，於吸附保持片材上表面之狀態下定位片材後，將該經定位之片材疊層於先前經定位且下表面受吸附保持之片材上側，並且進行局部加熱，使之臨時接合，其後，於吸附保持經臨時接合之片材下表面之狀態下，將經臨時接合之片材輸送至 疊層臺上，並於疊層臺上，自上下側對臨時接合狀態之片材進行加熱並且加壓而進行熱壓合。
2. 一種片材層疊體之製造方法，其特徵在於：其係疊層多片陶瓷片材而形成之片材層疊體的製造方法；其係將片材輸送至臨時接合臺，於臨時接合臺上識別片材之對準記號位置，且根據該位置資訊來定位片材，其後，將次一片片材輸送至臨時接合臺，於臨時接合臺上對該片材進行定位後，再將其疊層於先前經定位之片材上並且進行局部加熱，使之藉由熱黏著臨時接合，之後，以特定次數重複進行該等動作，形成臨時接合有特定片數片材之片材層疊體，其後，將該臨時接合狀態之片材層疊體輸送至疊層臺，進行加熱並且加壓而進行熱壓合，另一方面，於疊層臺上熱壓合片材期間，於臨時接合臺定位次一片新的片材，如此之後，將經熱壓合之片材層疊體輸送至臨時接合臺，並將經定位之新的片材疊層於先前經熱壓合之片材層疊體上，並且以與上述臨時接合同樣的方法臨時接合，之後，以特定次數重複進行該等動作，形成於熱壓合後之片材層疊體上臨時接合有特定片數片材之片材層疊體，如此之後，熱壓合該片材層疊體，之後，重複進行該等動作，製造層疊有多片片材之片材層疊體；其中於吸附保持片材之下表面之狀態下，將片材輸送 至臨時接合臺上，並在臨時接合臺上，於吸附保持片材上表面之狀態下定位片材後，將該經定位之片材疊層於先前經定位且下表面受吸附保持之片材上側，並且進行局部加熱，使之臨時接合，其後，於吸附保持經臨時接合之片材下表面之狀態下，將經臨時接合之片材輸送至疊層臺上，並於疊層臺上，自上下側對臨時接合狀態之片材進行加熱並且加壓而進行熱壓合。
3. 一種片材層疊體之製造方法，其特徵在於：其係疊層多片陶瓷片材而形成之片材層疊體的製造方法；其係將多片片材依次輸送至臨時接合臺上，且於臨時接合臺上，根據片材之對準記號位置資訊定位片材後，將該經定位之片材疊層於先前經定位且臨時接合之片材上，並且進行局部加熱，使之藉由熱黏著臨時接合，之後，重複進行該等動作，將特定片數片材以與上述臨時接合同樣的方法臨時接合，其後，將臨時接合有該特定片數片材之片材層疊體輸送至疊層臺上，對該片材層疊體於疊層臺上一次性地進行加熱並且加壓而進行熱壓合，製造特定片數片材疊層為一體之片材層疊體；且其中於吸附保持片材之下表面之狀態下，將片材輸送至臨時接合臺上，並在臨時接合臺上，於吸附保持片材上表面之狀態下定位片材後，將該經定位之片材疊層於先前經定位且下表面受吸附保持之片材上側，並且進行局部加熱，使之臨時接合，其後，於吸附保持經臨時接合之片材下表面之狀態下，將經臨時接合之片材輸送至 疊層臺上，並於疊層臺上，自上下側對臨時接合狀態之片材進行加熱並且加壓而進行熱壓合。
4. 如請求項1至3中任一項之片材層疊體之製造方法，其中片材係附膜片材，且於將該附膜片材輸送至臨時接合臺之前，將薄膜自片材上剝離，於臨時接合臺上，對已剝離薄膜狀態的片材進行定位。
5. 如請求項1至3中任一項之片材層疊體之製造方法，其中將片材係附膜片材，在臨時接合臺上，於附膜片材之狀態下進行片材定位，其後，將已完成定位之片材輸送至臨時接合臺外，且在臨時接合臺上對次一片片材進行定位，並為了將該經定位之次一片片材疊層於先前經定位之片材上，而於將先前經定位之片材輸送至臨時接合臺之前，自先前經定位之片材上剝離薄膜。
6. 一種片材層疊體之製造裝置，其係疊層多片陶瓷片材而形成之片材層疊體之製造裝置；其包含：送入臺，用於以一片為單位送入片材；臨時接合臺，疊層經輸送之片材，且將其臨時接合於之前之片材上；疊層臺，對經臨時接合之層疊片材進行加熱並且加壓之熱壓合；以及送出臺，送出經熱壓合之片材層疊體；並且設置有：第一輸送裝置，其具備可吸附保持片材下表面的第一升降板，且可往返移動於送入臺與臨時接合臺之間；第二輸送裝置，其具備可吸附保持片材下表面之第二升降板，且可往返移動於臨時接合臺與疊層臺之 間；第三輸送裝置，其具備可保持片材之保持機構，且可往返移動於疊層臺與送出臺之間；並且設置有：對準裝置，其可於將片材上表面吸附保持於臨時接合臺上之狀態下，根據片材之對準記號位置資訊來定位片材；以及臨時接合裝置，其可將經定位之片材藉由電熱具臨時接合於第二升降板上之之前之片材的上表面；並且包含：加熱裝置，其可對臨時接合於疊層臺上之第二升降板上的層疊片材進行加熱；並且設置有：加壓裝置，可自上側對該層疊片材加壓。
7. 如請求項6之片材層疊體之製造裝置，其中將送入臺、臨時接合臺、及疊層臺依次配置成一行狀，且於第一輸送裝置中設置可於送入臺及臨時接合臺中往返引導第一升降板之第一導軌，於第二輸送裝置中設置可於臨時接合臺及疊層臺中往返引導第二升降板之第二導軌，且第一導軌及第二導軌係由共通之直線形導軌所構成。
8. 如請求項6之片材層疊體之製造裝置，其中設置有支持構件，其固定地支持於臨時接合臺上；並且於對準裝置中包含：對準板，其可於水平面內，相對於支持構件向X方向、Y方向、以及旋轉方向移動；吸附板，其可將片材上表面吸附保持於對準板上；相機，其設於支持構件上且位置可調整，且穿過對準板及吸附板的通孔而識別片材之對準記號位置；以及控制裝置，其設於支持構件上，且根據來自相機的對準記號位置資 訊，使對準板向X方向、Y方向、及旋轉方向移動；並且於臨時接合裝置中，包含：加熱箱，可以穿過對準板及吸附板之通孔，朝向孔開口部並相對於支持構件升降。
9. 如請求項6之片材層疊體之製造裝置，其中設置有固定地支持於疊層臺上的支持構件；並且於加壓裝置中包含：液壓缸，其以活塞桿相對於支持構件朝向下方之方式而固定；升降體，其以可相對於支持構件升降之方式而受到支持，且連結於活塞桿上；頂柱塞，其固定於升降體上，且內裝有加熱器；吸引箱，其設為可相對於升降體進行升降，且包圍頂柱塞側方之全周及頂柱塞上方；以及真空裝置，其可自吸引箱之內部空間吸引空氣；且當使升降體下降時，於中途，吸引箱抵接於第二升降板而使下降停止，並且氣密性地封閉吸引箱內部。