JP2016008985A - 表示装置用部材の製造装置及び表示装置用部材の製造方法 - Google Patents

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寛久 神戸
Hirohisa Kanbe
寛久 神戸
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芝浦メカトロニクス株式会社
Shibaura Mechatronics Corp
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Abstract

【課題】種々の大きさのワークに対応することができ、空間に対する面積率が高く、効率よく積層体を製造して、必要な積層精度を保ちつつ高い生産性が得られる表示装置用部材の製造技術を提供する。【解決手段】ワークS1、S2を投入するローディング装置1、ワークS1に接着剤を供給する接着剤供給装置2、ワークS1、S2を貼り合わせる貼合装置3、投入されたワークS2を受け取る第1の受取位置(α)と、投入されたワークS1を受け取る第2の受取位置(β)と、貼合装置3に一対のワークS1、S2を受け渡す受渡位置(γ)との間を、回動することにより変位し、ワークS1、S2を離隔して対向した状態で保持する移載装置5、移載装置5に保持されたワークS1、S2の位置を、貼合装置3への受け渡し前に検出する検出装置6を有する。【選択図】図1

Description

本発明は、例えば、表示装置を構成する一対のワークを貼り合わせて、表示装置用部材を製造する技術に改良を施した表示装置用部材の製造装置及び表示装置用部材の製造方法に関する。
一般的に、液晶ディスプレイや有機ELディスプレイを代表とする平板状の表示装置(フラットパネルディスプレイ)は、表示パネルと、必要に応じて操作用のタッチパネルや表面を保護する保護パネル(カバーパネル)、バックライトやその導光板等が、フラットパネルディスプレイの筐体に組み込まれて構成されている。
これらの表示パネル、タッチパネル、保護パネル、バックライトやその導光板等(以下、ワークと呼ぶ)は、積層されてフラットパネルディスプレイの筐体に組み込まれる。それぞれのワークは、個別にあるいは予め積層された状態で組み込まれる。(図24のワークS1、S2参照)例えば、保護パネルにタッチパネルを積層した複合パネルとして構成されたものを用いることもある。
また、表示パネルには、タッチパネルの機能が組み込まれたものが用いられることもある。このように、ワークとしては様々な形態があるが、以下、表示装置を構成するワークを、2以上積層したものを、表示装置用部材と呼ぶ。
かかるワークの積層には、接着シートを用いて貼り合わせる方法と流動性の有る液状の接着剤を用いて貼り合わせる方法がある。接着シートは、接着剤に比べて比較的高価であり、剥離紙の剥離等の工程が必要となる。このため、近年のコスト削減の要求などから、接着剤を用いた貼り合わせが増えている。
例えば、スリット型のノズルから、UV硬化樹脂の接着剤をワークの塗布面に塗布しながら、ノズルとワークとを相対移動させる。これにより、ワークの塗布面の全体に接着剤を塗布する。
また、かかる接着層は、各ワークの間の緩衝材として、ワークを保護する機能を求められる場合がある。さらに、ディスプレイの大型化などから、ワークも大面積となり、変形が生じやすい。このため、変形を吸収してワークを保護するために、接着層に要求される厚みが増える傾向にある。例えば、数100μmの厚みが要求されるようになってきている。
このように、接着層を介してワークを積層する貼合装置として、接着剤を用いる装置の一例を、図25〜図29を参照して説明する。この貼合装置8は、図25に示すように、ターンテーブル80上に、4台の保持装置81を搭載したものである。ターンテーブル80は、インデックス機構によって、投入取出しポジション(A)、位置決めポジション(B)、接着剤塗布ポジション(C)、真空貼り合せポジション(D)に合わせて、間欠回転するように構成されている。
保持装置81は、図26に示すように、一方のワークS1を保持する下側保持部81aと、下側保持部81aから立設された支柱部81bと、支柱部81bに昇降可能に設けられ、他方のワークS2を保持する上側保持部81cを有する。上側保持部81cは、ワークS1がワークS2に対して接離する方向(図中、Z軸方向)に移動させることができるとともに、上下に回動可能に設けられている。また、上側保持部81cには、図示はしないが、ワークS2を吸着保持する吸着装置が設けられている。さらに、保持装置81は、図示はしないが、ワークS1、S2の位置を合わせる位置決め装置等を有している。なお、ワークS1,S2には、仮想的な長方形若しくは正方形の4頂点に対応して、検出用のマークM1,M2が設けられている。
投入取出ポジション(A)においては、図27(a)に示すように、作業員が、下側保持部81aにワークS1をセットし、上側保持部81cを上方に回動させて、吸着装置によりワークS2を吸着保持させてから、下方に回動させて戻すことにより、ワークS1、S2を上下に水平に対向させる。
位置決めポジション(B)には、図25に示すように、ワークS1、S2の位置を検出する検出装置82が設けられている。この検出装置82は、例えば、図26及び図27(b)に示すように、下側保持部81a及び上側保持部81cにより保持されたワークS1、S2の間に挿入され、水平面内の少なくとも2方向(例えば、図25、図26中のX軸方向及びY軸方向)を移動してワークS1、S2の検出用のマークM1、M2を撮像するカメラ82aを有している。この撮像結果に基づいて、保持装置81の位置決め装置が、ワークS1、S2の位置決めを行う。
接着剤塗布ポジション(C)には、図25に示すように、ワークS1に接着剤を塗布する塗布装置83が設けられている。この塗布装置83は、例えば、図28(a)に示すような多連のノズル83aを、水平方向(例えば、図25の白矢印方向)に移動させながら接着剤Rを吐出することにより、ワークS1の全面に対して接着剤Rを塗布する装置である。
真空貼り合せポジション(D)には、図示はしないが、真空チャンバ及び押圧装置が設けられている。この押圧装置は、真空チャンバ内の減圧空間において、図28(b)に示すように、上側保持部81cを下方に移動させて、上側保持部81cに保持されたワークS2を、下側保持部81aに保持されたワークS1に押圧することにより、両者を接着剤Rを介して貼り合わせることができる。
ターンテーブル80の回動により、上記のように、投入取出ポジション(A)、位置決めポジション(B)、接着剤塗布ポジション(C)、真空貼り合せポジション(D)を経て、ワークS1、S2の貼り合わせが行われる。そして、投入取出ポジション(A)に戻って来た貼合後のワークS1、S2に対しては、図29(a)に示すように、吸着装置が吸着を解除して、上側保持部81cが上昇する。そして、図29(b)に示すように、作業員が貼合後のワークS1を搬出する。
特許第5090535号公報
以上のような装置では、ターンテーブル80における4台の保持装置81に、それぞれワークS1、S2を順に供給し、位置決め、接着剤塗布、貼合の順に作業を行っている。しかし、かかる構成では、比較的大きなサイズのワークS1、S2の貼り合わせを行う場合に、保持装置81の大きさも大きくなり、ターンテーブル80を大型化する必要がある。すると、ターンテーブル80の回転半径が大きくなり、軸を挟んで対向する保持装置81の間隔も大きくなり、所要スペースが大幅に拡大する。
また、共通のターンテーブル80により、全ての保持装置81を同時に搬送しているため、各ポジションでの処理時間が相違する場合、長い処理時間を要するポジションに律速されてしまい、生産性が低下する。
また、位置決め後、ワークS1、S2を持ち替えることなく押圧するようにしているが、保持装置81の移動可能な保持部分のがたつき等により、保持されたワークS1、S2の位置ずれが生じやすい。
さらに、接着剤Rの塗布厚を均一にするためには、接着剤Rを塗布するノズル83aに対して、ワークS1が平行であることが望ましい。しかし、回転するターンテーブル1上における各保持装置81の全ての高さを、ノズル83aに均一に合わせて、ワークS1との平行度を保つことは困難である。
本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたものであり、その目的は、種々の大きさのワークに対応することができ、空間に対する面積率が高く、効率よく積層体を製造して、必要な積層精度を保ちつつ高い生産性が得られる表示装置用部材の製造装置を提供することにある。
(1)上記の目的を達成するため、本発明は、表示装置用部材の積層体となる一対のワークを投入するローディング装置と、前記ローディング装置により投入された一対のワークのうち、少なくとも一方のワークに、接着剤を供給する接着剤供給装置と、前記一対のワークを、接着剤を介して貼り合わせる貼合装置と、前記ローディング装置により投入された一対のワークのうち、一方のワークを受け取る第1の受取位置と、他方のワークを受け取る第2の受取位置と、前記貼合装置に一対のワークを受け渡す受渡位置との間を、回動することにより変位し、一対のワークを離隔して対向した状態で保持する移載装置と、前記移載装置に保持された一対のワークの位置を、前記貼合装置への受け渡し前に検出する検出装置と、を有することを特徴とする。
(2)前記移載装置は、前記回動の中心となる軸が、前記第1の受取位置、前記第2の受取位置、前記受渡位置がそれぞれ存在する同心円の中心であり、前記軸を中心とする円の半径方向に伸びた下アームと、前記下アームの上方に配置され、前記下アームとの相対位置が固定されるとともに、前記軸を中心とする円の半径方向に伸びた上アームと、を有する供給アームを有し、前記供給アームは、前記第1の受取位置において、前記ローディング装置に対して、前記軸を中心とする円の半径方向に往復動をすることにより、前記下アーム及び前記上アームの一方が、一方のワークを受け取り、前記第2の受取位置において、前記ローディング装置に対して、前記半径方向の往復動をすることにより、前記下アーム及び前記上アームの他方が、他方のワークを受け取り、前記受渡位置において、前記貼合装置に対して、前記半径方向の往復動をすることにより、前記下アーム及び前記上アームが一対のワークを受け渡すように構成されていてもよい。
(3)前記検出装置は、前記第2の受取位置において前記供給アームが往復動する前記半径方向に直交する成分を含む方向に往復動し、一対のワークにおける基準点を撮像する撮像部を有し、前記撮像部は、前記供給アームが受け取った一対のワークの間に挿入された前記撮像部の直線移動と、前記供給アームの直線移動とにより、一対のワークにおける基準点の撮像位置に位置決めされてもよい。
(4)前記移載装置は、前記軸を中心として、前記供給アームとともに回動し、前記供給アームの往復動方向と異なる角度の半径方向に往復動して、前記供給アームが前記第1の受取位置又は前記第2の受取位置にあるとき、前記受渡位置に来て、前記貼合装置において貼合された一対のワークを受け取る排出アームを有してもよい。
(5)前記排出アームは、前記供給アームが前記受渡位置にあるとき、前記一対のワークを排出する排出位置に来るように設けられていてもよい。
(6)前記貼合装置は、前記移載装置から受け渡される一対のワークを、離隔した状態で上下に支持する支持部と、前記検出装置により検出された一対のワークの位置に応じて、前記支持部に支持された一対のワークの位置決めを行う位置決め装置と、を有していてもよい。
(7)前記貼合装置は、内部を密閉して排気装置により減圧される真空チャンバを有し、前記真空チャンバには、排気穴が設けられ、前記排気穴に対して接することにより前記真空チャンバと前記排気装置とを接続する接続状態と、前記排気穴から離れて前記真空チャンバと前記排気装置とを分離する非接続状態とを切り換える排気管を有していてもよい。
(8)前記接着剤供給装置は、少なくとも一方のワークに対する相対移動に従って、長手方向が相対移動の方向に対して直交する方向で、且つワークの表面に対して平行な方向のスリットから接着剤を吐出することにより、ワークに対して接着剤を塗布する塗布部を有し、前記塗布部は、スリットの長手方向の長さを変える調整部を有していてもよい。
(9)前記接着剤供給装置は、前記塗布部のスリットのワークの表面に対する傾きを変位させる変位機構を有していてもよい。
(10)前記接着剤供給装置は、ワークに供給済の接着剤に対して、仮硬化させるエネルギーを照射する照射部を有し、前記照射部によるエネルギーの照射方向は、垂直方向に対して、接着剤の供給位置とは逆方向に傾斜していてもよい。
(11)前記接着剤供給装置は、一対のワークのそれぞれの片面に、異なる厚さで接着剤を塗布する塗布部を有し、接着剤が塗布されたワークのうち、薄く塗布されたワークを反転させて、接着剤が供給されていない面が保持されるように、前記移載装置に受け渡す反転装置を有してもよい。
(12)また、本発明の表示装置用部材の製造方法は、接着剤供給装置が、表示装置用部材の積層体となる一対のワークのうち、少なくとも一方のワークの片面の略全面に、接着剤を供給し、移載装置における供給アームが、少なくとも一方のワークに接着剤を供給した一対のワークを、離隔した状態で上下に保持し、検出装置が、供給アームに保持された一対のワークの位置を、一対のワークを積層体とする貼合装置への受け渡し前に検出し、検出装置による位置の検出の間に、移載装置の排出アームが、貼合装置から積層された積層体を受け取り、供給アームが、位置を検出した一対のワークを、貼合装置の支持部へ受け渡し、供給アームによる受け渡しの間に、排出アームが貼合装置から受け取った積層体を、排出位置へ搬送し、貼合装置における支持部が、供給アームから受け渡された一対のワークを、離隔した状態で上下に支持し、貼合装置における位置決め装置が、検出装置により検出された一対のワークの位置に応じて、支持部に支持された一対のワークの位置決めを行い、支持部が、一対のワークを貼り合わせることにより積層することを特徴とする。
以上、説明したように、本発明によれば、種々の大きさのワークに対応することができ、空間に対する面積率が高く、効率よく積層体を製造して、必要な積層精度を保ちつつ高い生産性が得られる表示装置用部材の製造装置を提供することができる。これによって、低コストの表示装置用部材を提供することができ、表示装置を安価に製造することができる。
実施形態の表示装置用部材の製造装置を示す簡略構成図 搬送装置を示す簡略縦断面図 塗布部及び照射部を示す平面図(a)、正面図(b) 塗布部による塗布と照射部による照射の態様を示す説明図 塗布部の底面図(a)、側面図(b) 調整部の固定板と可動板を示す分解斜視図 調整部における両側の調節機構を示す斜視図 開放状態にある貼合装置を示す簡略縦断面図 密閉状態にある貼合装置を示す簡略断面図 貼合状態にある貼合装置を示す簡略断面図 ワークを把持する前の反転装置を示す側面図 ワークを把持した反転装置を示す側面図 吸着部材による吸着の態様を示す簡略断面図 ワークを反転する前の反転装置を示す正面図(a)、反転した後の反転装置を示す正面図(b) 下アームによるワークの受け取り態様を示す正面図 上アームによる反転したワークの受け取り態様を示す正面図 移載装置及び貼合装置を示す斜視図 移載装置における排出アームによる積層体の受け取り態様を示す斜視図 制御装置の構成を示すブロック図 積層体の製造手順を示すフローチャート 移載装置によるワークの受け取り及び受け渡し態様を示す説明図 塗布された接着剤の変動態様を示す説明図 上アームによる反転したワークの受け取り態様を示す正面図 貼合対象となるワークの例を示す斜視図 従来の表示装置用部材の製造装置を示す平面図 従来のワークの保持装置を示す斜視図 従来の保持装置におけるワークの投入(a)とワークの位置検出(b)を示す側面図 従来の保持装置におけるワークへの接着剤塗布(a)とワークの貼合(b)を示す側面図 従来の保持装置におけるワークの吸着解放(a)とワークの搬出(b)を示す側面図 従来の他の貼合装置を示す縦断面図
本発明の実施の形態(以下、本実施形態と呼ぶ)について、図面を参照して具体的に説明する。
[ワーク]
本装置は、表示装置用部材の積層体を製造する表示装置用部材の製造装置である。表示装置用部材には、表示パネルと保護パネルを積層した部材のように表示機能を備えた部材も、保護パネルとタッチパネルを積層した部材のようにその部材だけでは表示機能を備えていない部材も含まれる。
すなわち、積層の対象となるワークは、表示パネル、タッチパネル、保護パネル、バックライトやその導光板等の様々なものがあるが、本実施形態では、表示パネルと保護パネルとを接着剤を介して貼り合わせることにより、表示装置用部材を構成する例を説明する。以下の説明では、積層の対象となる一対のワークをS1、S2とし、ワークS1、S2を積層した積層体をZとする。
[構成]
まず、本実施形態の構成を、図1〜図17を参照して説明する。
[表示装置用部材の製造装置]
図1に示すように、表示装置用部材の製造装置100は、ローディング装置1、接着剤供給装置2、貼合装置3、反転装置4、移載装置5、検出装置6、制御装置7を有する。表示装置用部材の製造装置100は、ブース101に構成されている。
ローディング装置1は、表示装置用部材の積層体Zとなる一対のワークS1、S2を投入する装置である。接着剤供給装置2は、ローディング装置1によって投入されたワークS1、S2のうち、少なくとも一方のワークS1に、接着剤Rを供給(塗布)する装置である。貼合装置3は、ワークS1、S2を、接着剤Rを介して積層することにより、貼り合せる装置である。反転装置4は、接着剤Rが供給されたワークS1を反転させて、接着剤Rが供給されていない面が保持されるように、後述する移載装置5に受け渡す装置である。
移載装置5は、ローディング装置1により投入されたワークS2を受け取る第1の受取位置(α)と、ワークS1を受け取る第2の受取位置(β)と、ワークS1、S2を貼合装置3に受け渡す受渡位置(γ)との間を、回動することにより変位し、ワークS1、S2を離隔して対向した状態で保持して搬送する装置である。検出装置6は、移載装置5に保持された一対のワークS1、S2の位置を、貼合装置3への受け渡し前に検出する装置である。一対のワークS1、S2の双方の位置を検出することは、両者の相対的な位置関係を検出することになる。制御装置7は、表示装置用部材の製造装置100の動作を制御する装置である。
ブース101は、図1に示すように、上記の各装置の全部若しくは一部を収容した筐体である。このブース101は、投入口101a、101b、搬出口101cを有する。投入口101a、101bは、ブース101の一側面に設けられ、ワークS1、ワークS2をブース101に入れるための開口である。投入口101a、101bは、同一側面の隣接した位置に設けられている。
搬出口101cは、ブース101における投入口101a、101bが設けられた側面に直交する側面に設けられ、ワークS1、ワークS2を積層した積層体Zを搬出するための開口である。この搬出口101cの外部には、ブース101から搬出された積層体Zが載置される水平方向の台である排出台101dが設けられている。
[ローディング装置]
ローディング装置1を、図1及び図2を参照して説明する。ローディング装置1は、図1に示すように、搬送装置1A、搬送装置1Bを有する。
搬送装置1Aは、ワークS1を搬送する装置である。搬送装置1Bは、ワークS2を搬送する装置である。搬送装置1Aにより搬送されるワークS1には、後述する接着剤供給装置2によって接着剤Rが供給される。
搬送装置1A、搬送装置1Bは、平行に隣接して設けられている。搬送装置1AへのワークS1の投入位置と、搬送装置1BへのワークS2の投入位置とは、隣接している。なお、これらの投入位置は、それぞれブース101の投入口101a、投入口101bに対応している。
搬送装置1Aは、例えば、ステージ11aとその駆動機構により構成される。駆動機構は、ステージ11aを、投入位置から接着剤供給装置2を経由して後述する反転装置4に達するまでの間を、水平方向に直線状に往復移動させる。ステージ11aの上面は、ワークS1が載置される水平方向の平坦面を有する。
搬送装置1Bは、例えば、ステージ11bとその駆動機構により構成される。駆動機構は、ステージ11bを、投入位置から移載装置5の近傍に達するまでの間を、水平方向に直線状に往復移動させる。ステージ11bの上面は、ワークS2が載置される水平方向の平坦面を有する。
なお、ステージ11a、11bを移動させる駆動機構としては、例えば、図2に示すように、図示しない駆動源によって回転するボールねじ11cにより、レール11dに沿ってスライド移動させる機構とすることができる。なお、駆動機構によるステージ11a、11bの移動の開始、停止及び速度は、制御装置7によって制御される。
また、ステージ11a、11bには、ステージ11a、11b上のワークS1、S2を昇降させる昇降機構が設けられている。この昇降機構としては、例えば、図2に示すように、ステージ11a、11bの表面から出没するピン12a、12bとすることができる。ピン12a、12bは、長尺の棒状であり、それぞれ4本ずつ設けられ、図示しない駆動機構によって突出することにより、ステージ11a、11b上のワークS1、S2を水平方向に持ち上げることができる。このピン12a、12bの先端、すなわちワークS1、S2と接触する部分は、単に接触するだけの硬質であっても、キズ等を防止すため軟質であっても、接触するだけでなく吸着保持するようになっていてもよい。
さらに、ステージ11a、11bには、図示はしないが、それぞれの上面にワークS1、S2を吸着保持する吸着機構が構成されている。この吸着機構は、例えば、バキュームチャック、静電チャック等を用いることができる。
なお、投入口101a、101bから、投入位置にあるステージ11a、11bへのワークS1、S2の載置は、図示しないローダによって行っても、作業員の手作業によって行ってもよい。手作業による場合に、投入口101a、101bは隣接しているので、作業がしやすい。
[接着剤供給装置]
接着剤供給装置2を、図3〜7を参照して説明する。本実施形態においては、接着剤供給装置2は、ワークS1に接着剤Rを塗布(供給)する装置である。使用する接着剤Rは、外部からエネルギーの照射により硬化する樹脂である。例えば、紫外線(UV)硬化樹脂や熱硬化樹脂が考えられる。
この接着剤供給装置2は、図3及び図4に示すように、架台2aに設置された塗布部21、変位機構22、照射部23を有する。架台2aは、搬送装置1Aを跨ぐように設けられた門形状の部材である。塗布部21、変位機構22、照射部23は、この架台2aに対して、ワークS1の上面への接着剤Rの塗布とエネルギー照射が可能となるように、以下のように設けられている。
(塗布部)
塗布部21は、ワークS1に接着剤Rを塗布する構成部である。この塗布部21は、例えば、スリットコータを適用することができる。つまり、塗布部21は、図4に示すように、ステージ11a上に対向するように配置され、ステージ11a上のワークS1に対する相対移動に従って、長手方向が相対移動の方向に直交する方向のスリットLsから、接着剤Rを吐出することにより、ワークS1の片面の略全面に対して接着剤Rを塗布する。
塗布部21は、長手方向が、搬送装置1Aの搬送方向に直交する方向の略直方体形状である。スリットLsは、図4及び図5(a)に示すように、塗布部21の底面に形成され、長辺方向が搬送方向に直交し、短辺方向が搬送方向と平行な長方形状の吐出口である。このスリットLsの塗布部21の長辺方向の長さをスリット長さ、短辺方向の長さをスリット幅と呼ぶ。
塗布部21は、図示しない流路を介して、タンクT(図1参照)に接続され、タンクTから接着剤Rの供給を受ける。流路は、配管、バルブ、ポンプ等により、タンクTの接着剤Rを送り出す手段である。
塗布部21は、図5(a)(b)に示すように、基体部210、調整部213を有する。基体部210は、一対の挟持体211、212を有する。この挟持体211、212は、略直方体形状の金属製のブロックであり、図6に示すように、それぞれの長手方向の一側面が、後述する調整部213の可動板215A、215Bの一部及び固定板214を挟んで互いに合わされている。この挟持体211、212と可動板215A、215Bで基体部210の底面に形成される間隙がスリットLsとなる。
固定板214は、図6に示すように、挟持体211、212の両側の短辺方向と、上側の長辺方向に沿う略コの字形状のプレートである。可動板215A、215Bは、挟持体211、212の間における固定板214の左右の下端に配設された長方形状のプレートである。固定板214と挟持体211、212および可動板215A、215Bで形成される空間に接着剤Rが供給され、スリットLsより吐出されることになる。可動板215A、215Bおよび固定板214は、その厚さが同じであり、スリット幅を決めるスペーサとなっている。可動板215Aと215Bの間隔が、スリット長さとなる。
調整部213は、スリット長さを変える部材である。スリット長さを変えることにより、調整部213は、接着剤Rの塗布幅を調整することができる。調整部213は、図5及び図7に示すように、上記の可動板215A、215Bに加えて、調節機構216A、216Bを有する。可動板215A、215Bは、搬送方向に直交する方向(塗布部21の長辺方向)にスライド移動することができる。
調節機構216A、216Bは、可動板215A、215Bの搬送方向に直交する方向の位置を調整することにより、スリット長さを変更する部材である。この調節機構216A、216Bは、図5(a)及び図7(a)(b)に示すように、基体部210の左右の側面に設けられ、それぞれ軸部217、可動側取付部218、固定側取付部219を有する。軸部217は、駆動軸217a、ヘッド217bを有し、マイクロメータ同様の構造で、ヘッド217bの回転に応じて駆動軸217aが進退するようになっている。軸部217は後述する可動側取付部218のスリーブ218aに挿入されている。
図5(a)、図7(a)(b)に示すように、可動側取付部218は、固定側取付部219にスライド可能に取り付けられている。固定側取付部219は、挟持体211、212の外側面に固定されたプレートである。固定側取付部219の外側端には、軸部217の駆動軸217aの先端が当接している。このため、軸部217のヘッド217bを回転させることにより、駆動軸217aの回動に従って、可動側取付部218がスリット長さ方向に進退する。
可動板215A、215Bは、複数の取付穴215hが形成され、この取付穴215hに挿通された取付ボルト218bによって、可動側取付部218に取り付けられている(図7(a)参照)。複数の取付穴215hのいずれを取り付けに用いるかによって、可動板215A、215Bのスリット長さ方向の位置を変えることができる。また、複数の取付穴215hは、スリット長さ方向に伸びた長穴であり、これによっても可動板215A、215Bのスリット長さ方向の位置を調整することができる。
前述のように、軸部217のヘッド217bを回転させることにより、スリーブ218aが可動側取付部218とともに移動するので、可動側取付部218が取り付けられた可動板215A、215Bを移動させることができる。つまり、ヘッド217b及び駆動軸217aの回動量によって、スリット長さとなる可動板215A、215Bの間隔を微調整することができる。
(変位機構)
変位機構22は、塗布部21に対向するワークS1に対して、塗布部21を接離する方向に変位させる機構である。まず、変位機構22は、塗布部21を上下に変位させる昇降機構として機能する。また、変位機構22は、塗布部21のスリットLsのワークS1(又はステージ11a)の表面に対する傾きを変位させる機構として機能する。ここでいう傾きは、ワークS1(又はステージ11a)の表面からスリットLsまでの鉛直方向の距離が、スリットLsの両端において相違することによって生じる傾きである。これを実現するため、変位機構22は、塗布部21の一端の支持部221を昇降及び回動する主動部とし、他端の支持部222を昇降、回動及び摺動する従動部としている。
すなわち、変位機構22は、図3(a)(b)に示すように、ステージ11aを挟む左右の上方にそれぞれ設けられた支持部221、222、ボールねじ223A、223B、駆動源224A、224B、昇降ステージ225A、225B、軸受部226、ガイドレール227A、227Bを有する。
支持部221、222は、塗布部21の幅方向の両端にそれぞれ設けられた延長部である。支持部221は、搬送方向を軸とする軸221aを中心として回動する。また、支持部222は、搬送方向を軸とする円柱形状のコロ222aが設けられている。
ボールねじ223A、223Bは、垂直方向に立設されている。駆動源224A、224Bは、ボールねじ223A、223Bを回動させるモータである。昇降ステージ225A、225Bは、ボールねじ223A、223Bに取り付けられ、ボールねじ223A、223Bの回動によって、昇降する部材である。
昇降ステージ225Aには、支持部221の軸221aが取り付けられている。昇降ステージ225Bには、軸受部226が設けられている。軸受部226は、支持部222のコロ222bが摺動する溝226aが形成されている。溝226aは、塗布部21の長手方向に形成された直線状の溝である。これにより、コロ222bは、溝226aをカムとするカムフォロワとして機能する。ガイドレール227A、227Bは、垂直方向に立設され、昇降ステージ225A、225Bの昇降移動をガイドする部材である。
接着剤Rの塗布厚は、塗布部21のスリットLsとワークS1の表面との距離、接着剤Rの吐出量、スリットLsとワークS1との相対移動速度のいずれか又はこれらの組み合わせによって調整可能である。スリットLsとワークS1の表面との距離は、ワークS1の表面からスリットLsまでの鉛直方向の距離、つまり、スリット高さである。変位機構22は、塗布部21のスリット高さを、塗布動作中に又はあらかじめ調整することができる。塗布部21からの接着剤Rの吐出量は、制御装置7のバルブ制御、ポンプ制御等によって調節される。
なお、図1に示すように、接着剤供給装置2には、センサ2bが設けられている。このセンサ2bは、センサ2bから検出対象までの距離を検出する検出部である。より具体的には、センサ2bからステージ11aまでの距離、センサ2bからワークS1の表面までの距離、センサ2bからワークS1に塗布された接着剤Rの表面までの距離等を検出できる検出装置とする。例えば、レーザセンサを用いることができる。
「センサから」とは、「所定の基準位置から」を意味し、センサ2bの距離の演算手法により異なる。例えば、センサ2b下面を所定の基準位置とすることができるが、これには限定されない。このセンサ2bは、移動するステージ11a、ワークS1、接着剤Rまでの距離を継続的に検出することにより、検出対象の傾きや厚さを検出することができる。複数のセンサ2bを異なる位置に設けて、それらの検出値を比較することにより、検出対象の傾きや厚さを検出することもできる。
(照射部)
照射部23は、ワークS1に供給済みの接着剤Rに対して、仮硬化させるためのエネルギーを照射する構成部である。この照射部23は、図3(a)に示すように、エネルギーを照射する照射源231を複数有している。この照射部23においては、照射源231が、ワークS1の塗布面に平行であって、幅方向に等間隔で配置されている。照射源231としては、複数のLEDやLD、ランプ等を適用することができる。
例えば、接着剤RがUV硬化樹脂である場合、照射源231はUV(紫外線)光を出力するものとし、照射源231からのUV光を、ワークS1に塗布された接着剤Rに照射する。また、接着剤Rが熱硬化樹脂の場合は、照射部23は、熱源からの熱エネルギーを照射することになる。この場合の照射部23は、例えば、Ir(赤外線)を出力するものとすることができる。なお、照射源231の配置は、特に限定されない。
照射部23によるエネルギーの照射は、接着剤Rが仮硬化状態となるように行われる。仮硬化とは、完全には至らない硬化状態となることをいう。例えば、完全硬化に必要なエネルギー量より少ないエネルギー量を照射することで、接着剤Rを仮硬化状態にできる。弱い強度で照射することや短い時間で照射することにより、接着剤Rを仮硬化状態とすることができる。また、ある種のUV硬化樹脂では、大気中でUV照射すると、酸素阻害等により接着剤Rの表面の硬化が進まないタイプの仮硬化状態となる。
さらに、図4に示すように、照射部23によるエネルギーの照射方向は、垂直方向に対して、接着剤Rの供給位置とは逆方向に傾斜している。つまり、照射源231は、塗布部21のスリットLsとは反対側に傾斜している。また、接着剤Rの供給位置と照射部23との間には、照射源231の照射エネルギーを遮る遮蔽板232が設けられている。この遮蔽板232は、例えば、照射部23に取り付けられた垂直方向のプレートとすることができる。この遮蔽板232によって、照射源231の照射エネルギーがスリットLsから吐出されている接着剤Rに及ばないようになっている。照射部23によるエネルギー照射のオン、オフ、照射エネルギーの強度は、制御装置7によって制御される。
[貼合装置]
貼合装置3を、図8〜図10を参照して説明する。貼合装置3は、真空チャンバ310、昇降機構320、支持部330、加圧機構350、位置決め装置360、減圧装置370を有する。
真空チャンバ310は、内部を密閉して減圧される容器である。この真空チャンバ310は、図8に示すように、上側チャンバ311と下側チャンバ312により分割構成されている。上側チャンバ311は、下側が開口した槽形状であり、下側チャンバ312は、上側が開口した槽形状である。上側チャンバ311は、上下動が可能であり、下方に移動すると開口縁が、下側チャンバ312の開口縁と接することにより、密閉空間を形成する。上側チャンバ311が上方に移動すると、内部空間が外部に開放され、ワークS1、S2が搬入可能となる。
昇降機構320は、上側チャンバ311を昇降させる駆動機構である。この昇降機構320としては、駆動ロッドを進退させるシリンダ、モータにより回動するボールねじなどを適用することができる。
支持部330は、図8、図9に示すように、後述する移載装置5から受け渡された一対のワークS1、S2を、離隔した状態で上下に支持する部材である。この支持部330は、上下に対向配置された上側プレート331、下側プレート332を有する。
上側プレート331は、上側チャンバ311の天井側に配設された平板状のプレートである。上側プレート331には、図示しない駆動機構によって、上側プレート331の表面から出没する4本の吸着ノズル331aが設けられている。この吸着ノズル331aは、図示しない排気装置に接続され、大気開放下において、減圧により、先端の開口がワークS1を吸着保持する。
下側プレート332は、下側チャンバ312の内底部に配設された平板状のプレートである。下側プレート332には、図示しない駆動機構によって、下側プレート332の表面から出没する4本のピン332aが設けられている。このピン332aは、突出することにより、下側プレート332上のワークS2を水平方向に持ち上げることができる。このピン332aも吸着ノズル331aと同様に、ノズル状となっていて、図示しない排気装置に接続され、大気開放下において、減圧により、先端の開口がワークS2を吸着保持する。また、図示はしないが、下側プレート332の上には、ワークS1における接着剤Rの塗布形状と同形状のゴム、ポリウレタンなどの弾性のあるシートが貼り付けられ、この上にワークS2が載置される。
さらに、上側プレート331は、図示しない保持機構により、接着剤Rの塗布面を下にしてワークS1を保持する。下側プレート332は、図示しない支持機構により、貼合面を上にしてワークS2を支持する。この保持機構及び支持機構としては、本実施形態では、真空チャックを用いる。但し、例えば、静電チャック、メカチャック、真空チャック、粘着チャック等、現在又は将来において利用可能なあらゆる保持や支持のための機構を適用することができる。複数の種類のチャックを併用することも可能である。
加圧機構350は、上側プレート331を昇降させる駆動機構である。この加圧機構350としては、駆動ロッドを進退させるシリンダ、モータにより回動するボールねじなどによって、4本の駆動軸350aを駆動させる機構を適用することができる。
加圧機構350によって、図10に示すように、上側プレート331は、下側プレート332に接離する方向に移動し、上側プレート331に保持されたワークS1を下側プレート332に支持されたワークS2に押し付けて積層し、積層体Zが形成される。ワークS2は、弾性のあるシートによって支持されているので、さらに均一な圧力を保つことができ、接着剤Rの膜厚の均一性を向上させることができる。
なお、加圧機構350を、4本の駆動軸350aを独立に駆動させる機構とすれば、制御装置7が、ワークS1、S2の平行度が維持されるように、駆動軸350aの駆動を制御することにより、ワークS1とワークS2は、ワークS1の表面に塗布された接着剤Rを介して、接着剤Rの膜厚が均一となるように貼り合わせることができる。
位置決め装置360は、後述する検出装置6により検出されたワークS1、S2の位置に応じて、支持部330に支持されたワークS1、S2の相対位置の位置決めを行う装置である。本実施形態の位置決め装置360は、例えば、下側プレート332上のワークS2を、XYθ方向に移動させる駆動機構により構成できる。この位置決め装置360は、下側チャンバ312の外底部に設けられ、下側チャンバ312とともに又は下側チャンバ312から独立して下側プレート332を移動させることにより、下側プレート332上のワークS2を位置決めできる。
さらに、真空チャンバ310における下側チャンバ312には、排気穴312aが形成されている。この排気穴312aに対向する位置に、図10に示すように、排気穴312aに接することにより、真空チャンバ310と排気ポンプPとを接続する排気管371が設けられている。排気ポンプPは、真空チャンバ310内を減圧する排気装置である。排気管371と排気ポンプPとは、可撓性があり伸縮自在のベローズ372を介して接続されている。
なお、排気管371は、排気穴312aに対して接離することにより、真空チャンバ310と排気ポンプPとを接続する接続状態と、排気穴312aから離れる非接続状態とを切り換えることができる。より具体的には、排気管371は、図示しない昇降機構により昇降可能に設けられ、上昇することにより接続状態となり、下降することにより非接続状態となる。
[反転装置]
反転装置4を、図11〜図14を参照して説明する。反転装置4は、搬送装置1Aの搬送端に配置され、搬送装置1AからワークS1を受け取る。
この反転装置4は、図11及び図12に示すように、反転部材410及び駆動機構420を有する。反転部材410は、プレート411、把持部412及び開閉駆動部413を有する。プレート411は、反転の前後において、水平方向となる方形の部材である。把持部412は、断面がL字形の部材であり、プレート411の下面の対向する2辺に、2つずつ、合計4つ配設されている。把持部412の水平部分の上部には、図13に示すように、吸着穴412bが設けられ、この吸着穴412bには、それぞれ吸着部材412aが設けられている。吸着部材412aは、ワークS1における下面の吸着保持する先端が吸盤状の筒状の弾性部材である。吸着部材412aは、破線で示す吸引用ラインを介して、図示しない排気装置に接続され、ワークS1を真空吸着する。把持部412の水平部分の上部における吸着穴412bの周囲には、環状の支持板412cが設けられている。吸着部材412aの上端は、この支持板412cから突出しており、吸着部材412aによる吸着時に、支持板412cはワークS1に接して支持する。支持板412cは、例えば、樹脂製のプレートである。
さらに、把持部412は、後述する駆動機構420の軸方向に、スライド移動可能に設けられている。開閉駆動部413は、把持部412をスライド移動させる機構である。この開閉駆動部413は、例えば、プレート411に固定されたエアシリンダーにより構成できる。
駆動機構420は、反転部材410を反転及び昇降させる機構である。駆動機構420には、図示しない駆動源により回動する軸部421が、搬送装置1Aの搬送方向と平行な方向に設けられている。この軸部421の先端には、反転部材410のプレート411の側縁が取り付けられている。このため、軸部421の回動に従って、反転部材410も回動する。
この軸部421は、図14(a)に示すように、ローディング装置1におけるワークS1の搬送方向に直交する方向において、ワークS1の中心よりも移載装置5側に寄った位置に設けられている。このため、図14(b)に示すように、反転部材410の反転により、反転部材410に吸着保持されたワークS1は、搬送装置1Aの上方から外れる方向に移動される。
さらに、駆動機構420は、軸部421を昇降させる昇降機構422を有する。昇降機構は、例えば、駆動源により回動するボールねじ、このボールねじに取り付けられ、ボールねじの回動によって、昇降するステージ、ステージの移動をガイドするガイドレールにより構成できる。
[移載装置]
移載装置5を、図1、図15〜図18、図21を参照して説明する。この移載装置5は、供給アーム510、排出アーム520、回動機構530を有する。供給アーム510は、図1、図21に示すように、回動の中心となる軸が、第1の受取位置(α)、第2の受取位置(β)、受渡位置(γ)がそれぞれ存在する同心円の中心である。なお、第1の受取位置(α)、第2の受取位置(β)、受渡位置(γ)がそれぞれ存在する同心円は、その半径が共通であっても、相違していてもよい。この供給アーム510は、図15に示すように、下アーム511、上アーム512、スライド機構513を有する。下アーム511は、軸を中心とする円の半径方向に伸びた部材である。上アーム512は、下アーム511の上方に配置され、下アーム511との相対位置が固定されるとともに、軸を中心とする円の半径方向に伸びた部材である。
供給アーム510は、図21(a)に示すように、第1の受取位置(α)において、ローディング装置1における搬送装置1Bに対して、軸を中心とする円の半径方向に往復動をすることにより、下アーム511が、ワークS2を受け取る。また、供給アーム510は、図21(b)に示すように、第2の受取位置(β)において、ローディング装置1における搬送装置1Aに対して、半径方向の往復動をすることにより、上アーム512が、ワークS1を受け取る。さらに、供給アーム510は、図21(d)に示すように、受渡位置(γ)において、貼合装置3に対して、半径方向の往復動をすることにより、下アーム511及び上アーム512が、ワークS1、S2を受け渡すように構成されている。
より具体的には、図15に示すように、第1の受取位置(α)において、下アーム511は搬送装置1Bの搬送端に向かって伸びた水平方向の細い板状の部材である。この下アーム511の長手方向の一端側の上面には、4つの吸着部材511aが設けられている。吸着部材511aは、ワークS2における下面を吸着保持する部材である。この吸着部材511aは、上記の反転装置4の把持部412に設けられた吸着部材412aと同様の構成である。つまり、下アーム511の上面には、図示しない吸着穴が設けられ、この吸着穴に、それぞれ吸着部材511aが設けられている。吸着部材511aは、ワークS2における下面を吸着保持する先端が吸盤状の筒状の弾性部材である。吸着部材511aは、図示しない吸引用ラインを介して排気装置に接続され、ワークS2を真空吸着する。下アーム511の上面における吸着穴の周囲には、環状の支持板511cが設けられている。吸着部材511aの上端は、この支持板511cから突出しており、吸着部材511aによる吸着時に、支持板511cはワークS2に接して支持する。支持板511cは、例えば、樹脂製のプレートである。
上アーム512は、下アーム511の上面に、一体的に立設された断面L字状の部材である。この上アーム512は、下アーム511から立ち上がった垂直部分と、下アーム511と平行な水平部分とを有する。そして、上アーム512の水平部分は下アーム511の上方にあって対向している。上アーム512の水平部分における下アーム511に対向する面には、4つの吸着部材512aが設けられている。吸着部材512aは、上記の反転装置4の把持部412に設けられた吸着部材412aと同様の構成である。つまり、上アーム512の下面には、図示しない吸着穴が設けられ、この吸着穴に、それぞれ吸着部材512aが設けられている。吸着部材512aは、ワークS1における上面を吸着保持する先端が吸盤状の筒状の弾性部材である。吸着部材512aは、図示しない吸引用ラインを介して排気装置に接続され、ワークS1を真空吸着する。上アーム512の下面における吸着穴の周囲には、環状の支持板512cが設けられている。吸着部材512aの下端は、この支持板512cから突出しており、吸着部材512aによる吸着時に、支持板512cはワークS1に接して支持する。支持板512cは、例えば、樹脂製のプレートである。
スライド機構513は、下アーム511を支持し、この下アーム511と互いに一体となり、相対位置が固定されている上アーム512とともに、軸を中心とする円の半径方向にスライド移動させる機構である。スライド機構513としては、例えば、駆動源によって回転するボールねじによって、ガイドに沿ってスライド移動させる機構とすることができる。なお、上記のように、第1の受取位置(α)、第2の受取位置(β)、受渡位置(γ)の半径方向距離は、同じであっても、相違していてもよい。これらの半径方向距離に応じて、スライド移動する距離を制御すればよい。但し、同距離に配置したほうが構成、制御を簡素にすることができる。
排出アーム520は、図1、図17、図18、図21に示すように、軸を中心として、供給アーム510とともに回動し、供給アーム510の往復動方向と直交する半径方向に往復動して、貼合装置3において貼合されて積層体ZとなったワークS1、S2を受け取る部材である。
排出アーム520は、アーム521、スライド機構522を有する。アーム521は、受渡位置(γ)において、貼合装置3に向かって延びた水平方向の細い板状の部材である。このアーム521の長手方向は、供給アーム510の上アーム512及び下アーム511の長手方向に直交する方向となっている。このアーム521の長手方向の一端側の上面には、4つの吸着部材521aが設けられている。吸着部材521aは、積層体Zの下面を吸着保持する部材である。
スライド機構522は、アーム521を支持し、水平方向にスライド移動させる機構である。スライド機構522としては、例えば、駆動源によって回転するボールねじによって、ガイドに沿ってスライド移動させる機構とすることができる。
回動機構530は、図17に示すように、スライド機構513及びスライド機構522を支持し、スライド機構513とスライド機構522とともに、供給アーム510及び排出アーム520の相対的な角度を維持したまま、供給アーム510及び排出アーム520を同軸且つ同時に回動させる機構である。回動機構530は、上面にスライド機構513及びスライド機構522が取り付けられ、駆動源の回動軸により回動する基台531を有する。
図21(b)(c)に示すように、供給アーム510が第2の受取位置(β)にあるとき、排出アーム520は、受渡位置(γ)に来て、貼合装置3にて積層された積層体Zを、受け取る。図21(d)に示すように、供給アーム510が受渡位置(γ)にあるとき、排出アーム520は、排出位置(e)に来て、積層体Zを排出台101dに排出する。この排出台101dからの積層体Zの搬出は、図示しないアンローダによって行っても、作業員の手作業によって行ってもよい。
[検出装置]
検出装置6を、図1、図17、図21を参照して説明する。この検出装置6は、図1及び図21(c)に示すように、第2の受取位置(β)において供給アーム510が往復動する半径方向に直交する方向に往復動し、ワークS1、S2における基準点を撮像する撮像部であるカメラ610、620を有する。このカメラ610、620は、供給アーム510が受け取ったワークS1、S2の間に挿入されたカメラ610、620の直線移動と、供給アーム510の直線移動とにより、ワークS1、S2の基準点の撮像位置に位置決めされる。なお、このカメラの直線移動は、供給アーム510が往復動する半径方向に直交する成分を含んでいればよく、必ずしも直交している必要はない。
カメラ610、620は、図17に示すように、上下に一対配置されている。下方に配置されたカメラ610は、レンズ面が下方を向いていて、下方のワークS2の基準点を撮像する。上方に配置されたカメラ620は、レンズ面が上方を向いていて、上方のワークS1の基準点を撮像する。基準点は、例えば、ワークS1、S2のコーナー若しくはワークS1、S2に付されたマークである。
また、検出装置6は、アーム630、スライド機構640を有する。アーム630は、水平方向の長尺の部材であり、先端にカメラ610、620が取り付けられている。アーム630の他端は、スライド機構640に支持されている。スライド機構640は、アーム630とともに、カメラ610、620を水平方向にスライド移動させる機構である。スライド機構640としては、例えば、駆動源によって回転するボールねじによって、ガイドに沿ってスライド移動させる機構とすることができる。
スライド機構640によって、カメラ610、620は、水平方向に移動することにより、ワークS1とワークS2との間に出し入れされる。カメラ610、620の撮像は、制御装置7によって制御される。
[制御装置]
本実施形態の制御装置7は、特に、移載装置5によって、搬送装置1A、1BからワークS1、S2を受け取った後、貼合装置3へ受け渡すまでの間に、ワークS1、S2の相対位置のずれを検出して、貼合装置3においてずれを補正した状態で貼合するように、各部の動作を制御する。
制御装置7は、例えば、専用の電子回路若しくは所定のプログラムで動作するコンピュータ等によって実現できる。この制御装置7の制御による各部の動作の詳細は、本実施形態の作用として後述する。
このような制御を実現するための制御装置7の構成を、仮想的な機能ブロック図である図19を参照して説明する。すなわち、制御装置7は、機構制御部70、記憶部71、位置検出部72、調整部73、入出力制御部74を有する。なお、オペレータが、制御装置7を操作するためのスイッチ、タッチパネル、キーボード、マウス等の入力装置については、説明を省略する。
機構制御部70は、搬送装置1A、1B、接着剤供給装置2、貼合装置3、反転装置4、移載装置5、検出装置6における各機構の駆動源、バルブ、排気装置、照射源等の出力及びその変更タイミング、オンオフ及びその切替タイミング等を制御する処理部である。
記憶部71は、検出装置6によって撮像された画像、抽出した基準点、算出された調整量、センサ2bの検出値、これらに基づく制御量等の各種のデータ、設定値のように、本装置の処理に必要な情報を記憶する処理部である。
位置検出部72は、検出装置6によって撮像された画像から、ワークS1、S2の位置を検出する処理部である。この位置の検出は、周知の技術を適用可能である。例えば、検出装置6によって撮像された画像から、基準点を抽出することにより行う。
調整部73は、検出されたワークS1、S2の位置から、両ワークS1、S2の位置を一致させるための調整量を算出する処理部である。この調整量の算出は、周知の技術を適用可能である。例えば、位置検出部72によって抽出されたワークS1の4点の基準点、S2の4点の基準点を一致させるために、ワークS1、S2の一方がXYθ方向に変位すべき量を算出する。
入出力制御部74は、制御対象となる各部との間での信号の変換や入出力を制御するインタフェースである。なお、制御装置7には、装置の状態を確認するためのディスプレイ、ランプ、メータ等の出力装置75が接続されている。検出装置6により撮像された画像、位置検出部72により抽出された基準点、調整部73により算出された調整量等を、出力装置75に表示してもよい。
[作用]
以上のような構成を有する本実施形態の作用を、図1〜図19に加えて、図20〜図22を参照して説明する。
[積層体の製造]
本実施形態による積層体の製造方法を説明する。なお、図20は製造手順を示すフローチャート、図21は移載装置5の動作を示す説明図である。
[概要]
まず、処理の概要を、図20のフローチャートを参照して説明する。図1に示すように、投入口101aからステージ11aに載せられたワークS1を、搬送装置1Aが搬送することにより、装置内へ投入する(ステップ101)。この搬送途中において、センサ2bによって、ステージ11aの表面までの距離とワークS1の表面までの距離が検出され、制御装置7においてワークS1の厚さが算出される(ステップ102)。
算出されたワークS1の厚さから、所定の塗布厚および塗布厚の均一性が得られる平行度となるように、変位機構22によって塗布部21のスリット高さ、スリット傾きの調整であるアライメントが行われる(ステップ103)。そして、図4に示すように、搬送装置1Aによる搬送過程で、塗布部21が、スリットLsから接着剤Rを吐出することにより、ワークS1に接着剤Rを塗布する(ステップ104)。
塗布された接着剤Rには、照射部23がエネルギーを照射することにより、仮硬化処理が行われる(ステップ105)。搬送装置1Aの搬送端においては、反転装置4が、ワークS1を反転させることにより、ワークS1の接着剤Rが塗布された面を下方にする(ステップ106)。
一方、図1に示すように、投入口101bからステージ11bに載せられたワークS2を、搬送装置1Bが搬送することにより、装置内へ投入する(ステップ107)。ワークS2は、搬送装置1Bの搬送端まで搬送される(ステップ108)。図21(a)に示すように、移載装置5の供給アーム510は、搬送装置1Bの搬送端に向かう第1の受取位置(α)にあり、下アーム511が、搬送装置1BからワークS2を受け取る(ステップ109)。
供給アーム510は、図21(b)に示すように、反転装置4に向かう第2の受取位置(β)に回動して(ステップ110)、上アーム512が、反転装置4により反転されたワークS1を受け取る(ステップ111)。これにより、図16及び図17に示すように、ワークS1、S2は、上アーム512及び下アーム511に保持され、離隔して対向する状態となる。
このワークS1とワークS2との間に、図17に示すように、検出装置6を挿入し、カメラ610、620による基準点の撮像を行う。撮像された画像に基づいて、制御装置7において、ワークS1とワークS2が所定の位置関係となるようアライメント(位置決め)のための調整量が決定される(ステップ112)。
移載装置5の供給アーム510は、図21(d)に示すように、貼合装置3に向かう受渡位置(γ)に回動して(ステップ113)、貼合装置3に、ワークS1、S2を受け渡す(ステップ114)。貼合装置3においては、受け渡されたワークS2を、調整量に基づいて、位置決め装置360によって、ワークS1に対して位置決めを行う(ステップ115)。そして、ワークS1とワークS2とを、接着剤Rを介して貼り合わせる(ステップ116)。一方、供給アーム510は、貼合装置3にワークS1、S2を受け渡すと、次のワークS2を受け取る第1の受取位置(α)に回動する(ステップ117)。
なお、ステップ111で、供給アーム510がワークS1を受け取る時、排出アーム520は、受渡位置(γ)にある。ここで、排出アーム520は、貼合装置3において貼合済のワークS1、S2である積層体Zを受け取る(ステップ118)。
また、ステップ112で、供給アーム510がワークS1、S2を貼合装置3に受け渡す時、排出位置(e)にある排出アーム520によって、積層体Zが、搬出口101cから排出台101dに排出される(ステップ119)。さらに、ステップ113で、貼合装置3においてワークS1、S2が貼り合わされている時に、排出台101d上の積層体Zは、外部に搬出される(ステップ120)。以上のような手順によって、一対のワークS1、S2の積層が終了する。なお、このような積層体Zにおける接着剤Rは、硬化装置によって本硬化させる。
[接着剤塗布]
次に、各装置における処理の詳細を説明する。まず、接着剤供給装置2による接着剤Rの塗布は、以下のように行う。
(塗布幅の調整)
調整部213による塗布幅の調整手順を説明する。まず、図7に示すように、調整部213における可動板215A、215Bの取付穴215hのうち、いずれを取付ボルト218bによる可動側取付部218との取り付けに用いるかによって、可動板の215A、215Bの間隔、つまり、塗布部21の下部の吐出口であるスリットLsの長手方向の塗布幅を、大まかに決定することができる。さらに、調節機構216A、216Bのヘッド217bを回して駆動軸217aを回動させると、可動板215A、215Bが水平方向に移動する。これにより、可動板215A、215Bの間隔を微調整できる。このように、ワークS1の幅及び所望の塗布幅に合わせて、スリット長さを調整する。なお、ワークS1の幅方向の位置に応じて、可動板215A、215Bの位置を変えることにより、スリットLsのスリット長さ方向の位置も決定する。
(塗布部の高さ及び傾き調整)
スリットコータである塗布部21の高さ及び傾きの調整方法を説明する。図3に示す変位機構22の駆動源224A、224Bを作動させることにより、塗布部21を昇降させることができる。つまり、駆動源222A、224Bを同時に作動させて左右のボールねじ223A、223Bを同量回動させると、昇降ステージ225A、225Bが昇降するので、塗布部21の高さを変えることができる。これにより、センサ2bにより検出されたワークS1の厚さ、所望の接着剤Rの塗布厚等に応じて、塗布部21のスリットLsの高さを調節する。
また、変位機構22は、駆動源224A、224Bの作動により、塗布部21の傾きを変えることができる。つまり、駆動源224A、224Bの作動方向、作動量を異なるものとする。すると、左右の昇降ステージ225A、225Bの移動方向、移動量又は移動の有無が相違することになるので、高さに相違が生じて、塗布部21に傾きが生じる。
より具体的には、左右の昇降ステージ225A、225Bを逆に動かす、両者を異なる移動量で動かす又は一方のみを動かすことにより、塗布部21が軸221aを中心に回動し、コロ222bが溝226a内を摺動する。このため、塗布部21の角度が変わり、スリットLsが傾斜する。これにより、センサ2bによって検出されたステージ11a又はワークS1の傾きに、塗布部21のスリットLsの傾きを合わせる。なお、あらかじめステージ11aの傾きを、センサ2bによって測定して、これに塗布部21のスリットLsの傾きを合わせるように調整しておき、塗布毎の調整は省略することもできる。
さらに、塗布部21は、使用前の準備として、接着剤Rを内部に充填させる必要がある。塗布部21内に気体が残っていると、接着剤RのワークS1への塗布時に、所望の吐出圧力を安定的に得ることができない。接着剤Rを内部に充填させるときに、塗布部21が水平であると、塗布部21内よりスムーズに空気が排出されない。本実施形態では、上記のように、塗布部21を傾斜させてスリットLsを傾けることにより、接着剤RがスリットLs内に行き渡りながら一端側に流れるので、気体をまとめて速やかに排出しつつ、接着剤Rを内部に充填することができる。このため、塗布部21内に気体が残り難く、接着剤RのワークS1への塗布時に、所望の吐出圧力を安定的に得ることができる。
(接着剤の塗布)
以上のような塗布部21による接着剤Rの塗布の手順を、図4を参照して以下に説明する。まず、搬送装置1Aのステージ11aが塗布開始位置に来ることにより、待機高さにある塗布部21のスリットLsが、ワークS1の塗布開始端の直上に位置付けられる。そして、塗布部21が、塗布する高さ(スリット高さ)への下降を開始する。
塗布部21が塗布する高さまで達して停止した後、塗布部21のスリットLsからの接着剤Rの吐出を開始すると、接着剤RがワークS1に供給される。これと同時に、ステージ11aが塗布方向への移動を開始するので、ワークS1の表面への接着剤Rの塗布が開始する。なお、塗布中においても、変位機構22は、センサ2bにより検出されたワークS1の厚さ、所望の接着剤Rの塗布厚等に応じて、塗布部21のスリットLsの高さ、傾きを調節してもよいし、塗布開始端の状態のみで調整してもよい。
ステージ11aの移動により、ワークS1に塗布された接着剤Rの塗布開始端が、照射部23の直上に到達すると、照射部23は、エネルギーの照射を開始する。
塗布部21がワークS1の塗布終端の直上に到達すると、ステージ11aは一旦停止する。この時、塗布部21は、接着剤Rの吐出を停止する。このように塗布部21に対して、ステージ11aが停止した状態で、塗布部21は上昇して待機高さで停止する。塗布部21は、既に接着剤Rの吐出を停止していているので、塗布部21が待機高さに達するまでの間のいずれかの時点で、ワークS1側とスリットLs側に接着剤Rが切り離される。ステージ11aの停止中は、照射部23は照射を停止する。
接着剤Rが確実に切れたタイミングで、ステージ11aは再び移動を開始する。照射部23は照射を開始して、照射部23が塗布端に達した時点で、照射部23は照射を停止する。
以上のように接着剤Rが塗布され、仮硬化されたワークS1は、ステージ11a上を搬送されて、搬送端において、反転装置4へ受け渡される。
(接着剤の流動態様の概要)
ところで、発明者が接着剤Rの流動を精査したところ、以下のような現象が生じていることが判明した。接着剤RがワークS1上に平面状に塗布された場合、その塗布された接着剤Rの端部は、時間とともにその形状が変化する。特に、接着剤Rが矩形状に塗布された場合、その端部である4辺の形状が、塗布された時から変化する。
この時、ワークS1と接触する塗布部分に対向する接着剤Rの表面側、つまり貼合面となる上面側の形状が主に変化する。この変化は、塗布直後から始まり、一定の時間で収束する。この収束までの時間は、接着剤Rの状態(粘度、厚さ、塗布直後の形状等)によって変動する。
より具体的には、接着剤Rを吐出する塗布部21のノズルとワークS1とを相対的に移動させて、ワークS1表面に接着剤Rを塗布する場合、塗布直後、つまりワークS1の表面に接着剤Rが接触した直後の接着剤Rにおける塗布の始端の表面は、図22の(a)に示すように、ワークS1と接着剤Rの接触部分をアンカーにして、塗布部21が移動する方向に引かれて緩やかに傾斜した曲率半径の大きな曲面r1が生じる。
同時に、接着剤Rには、始端方向、つまり始端での外縁に向かう方向に表面張力が働く。塗布部21が離れるに従って引っ張られる力が弱くなり、代わりに表面張力が強く働くので、図22の(b)に示すように、表面の断面縁部の角部の曲率半径が最小となる略直角近くまで接着剤Rが流動し、接着剤Rの表面のうち、ワークS2との貼合面に、ワークS1の表面と略平行な平坦面r2が生じる。この平坦面r2が生じる時点が第1のタイミングである。
その後、時間の経過に従って、図22の(c)に示すように、表面張力により、断面角部の接着剤Rがさらに外縁に向かう方向とは逆となる内側に移動して、平坦面r2と異なる高さの隆起r3が生じる。このとき、一部に窪みが生じる場合もある。このように接着剤Rに隆起、窪みの少なくとも一方が生じた状態を、崩れと呼ぶ。この崩れが生じる時点が第2のタイミングである。この第2のタイミングが過ぎた後も崩れはしばらく続いて収束する。
このような崩れが生じた状態で貼り合わせを行うと、図22の(d)に示すように、ボイドBが生じやすい。このため、第2のタイミングより早いタイミングで仮硬化を行うことにより、ボイドBを防止できる。従って、照射部23による照射タイミングを、このようなタイミングとすることにより、塗布面の均一を維持できる。
(ワークS1の反転)
反転装置4によるワークS1の反転手順を、図11〜図14を参照して説明する。まず、図11に示すように、搬送装置1Aの搬送端において、反転装置4の対向する把持部412は、ワークS1の幅よりも、広い間隔で離れて待機している。搬送装置1Aの搬送端では、ステージ11aから上方に突出するピン12aによって、ステージ11a上のワークS1が持ち上げられる。これにより、ワークS1の下面側に空間が形成される。この状態で、反転装置4の対向する把持部412の間に、ワークS1が入る。開閉駆動部413は、対向する把持部412をスライド移動させて、ワークS1の下部に、把持部412の水平部分を潜り込ませる。そして、図12、図13(a)に示すように、ピン12aが下降することにより、ワークS1から退避すると、ワークS1は把持部412に受け渡される。この時、下降したワークS1の下面を、吸着部材412aが吸着保持する。排気装置による排気によって吸着部材412aがワークS1を真空吸着すると、図13(b)に示すように、吸着部材412aはワークS1を吸引しつつ収縮することにより吸着穴412bに埋没して、ワークS1は把持部412の支持板412cに密着する。このように、支持板412cがワークS1に密着して支持することにより、摩擦力で水平方向のずれが抑制され、上下方向も固定される。また、ワークS1の損傷も防止される。
このようにワークS1が保持された状態で、図14(a)に示すように、駆動機構420が作動して、軸部421を180°回動させる。すると、図14(b)に示すように、ワークS1の上下の面が反転して、接着剤Rの塗布面が下方に来て、接着剤Rが塗布されていない面が上方になる。また、ワークS1の反転により、ワークS1は、搬送装置1Aの上方から外れる。これにより、移載装置5に受け渡し可能な状態となる。
(ワークS2の搬送)
一方、ワークS2は、搬送装置1Bにより搬送され、移載装置5の近傍まで達する。なお、ワークS1、ワークS2が長方形状である場合、ワークS2の長辺方向が、ワークS1の長辺方向と直交する方向となるように投入され、そのまま搬送装置1Bによって搬送される。
(移載装置によるワークS1、S2の保持)
次に、移載装置5によるワークS1、S2の貼合装置3への移載方法を、図15〜図17、図21を参照して説明する。
まず、図21(a)に示すように、移載装置5の供給アーム510は、搬送装置1Bの搬送端に向かう第1の受取位置(α)にある。搬送装置1Bの搬送端においては、図15に示すように、ステージ11bから上方に突出したピン12bによって、ステージ11b上のワークS2が持ち上げられる。これにより、ワークS2の下面側に空間が形成される。
この状態で、供給アーム510が搬送装置1B側に接近する方向に移動すると、ワークS2の下方に下アーム511が入る。そして、ピン12bが下降することにより、ワークS2から退避すると、ワークS2は下アーム511に受け渡される。下降したワークS2の下面を、吸着部材511aが吸着保持する。排気装置による排気によって吸着部材511aがワークS2を真空吸着すると、吸着部材511aはワークS2を吸引しつつ収縮することにより吸着穴に埋没して、ワークS2は支持板511cに密着する。このように、支持板511cがワークS2に密着して支持することにより、摩擦力で水平方向のずれが抑制され、上下方向も固定される。
次に、供給アーム510は、図21(b)に示すように、反転装置4に向かう第2の受取位置(β)に回動する。そして、図16に示すように、供給アーム510が、反転装置4に接近する方向に移動すると、ワークS1の上方に、上アーム512が来る。反転装置4は、昇降機構422によってワークS1を上昇させて、ワークS1の上面を、吸着部材512aに吸着させる。さらに、把持部412の排気装置が排気を停止し、吸着部材412aによる真空吸着を解除する一方、排気装置による排気によって吸着部材512aがワークS1を真空吸着する。このようにしてワークS1は上アーム512に受け渡される。吸着部材512aはワークS1を吸引しつつ収縮することにより吸着穴に埋没して、ワークS1は支持板512cに密着する。このように、支持板512cがワークS1に密着して支持することにより、摩擦力で水平方向のずれが抑制され、上下方向も固定される。吸着後、把持部412は、開閉駆動部413によってスライド移動して、ワークS1から退避する。
これにより、ワークS1、S2は、貼り合わせ面を対向させて、離隔した状態で保持される。そして、供給アーム510が移載装置5の軸側に移動すると、反転装置4からワークS1、S2が離れる。
(検出装置による位置検出)
検出装置6によるワークS1、S2の位置検出手順を、図1、図17、図21(c)を参照して説明する。図1、図17と同様に、図21(c)において、検出装置6のカメラ610、620が直線移動する方向をX方向、供給アーム510が直線移動する方向をY方向とする。まず、検出装置6のアーム630は、供給アーム510に接近するX方向に移動する。これにより、カメラ610、620は、ワークS1、S2の間に入る。アーム630がX方向の位置を変えることにより、カメラ610、620が、ワークS1、S2の一辺側の基準点を撮像する。
次に、供給アーム510が、アーム630の移動方向に直交するY方向に位置を変えてから、アーム630がX方向に位置を変えることにより、カメラ610、620が、ワークS1、S2の対向する一辺側の基準点を撮像する。つまり、検出装置6のカメラ610、620はX方向の直線移動を担当し、供給アーム510はY方向の直線移動を担当して、両者が協働することにより、カメラ610、620の撮像位置を、ワークS1、S2の基準点に対して位置決めして撮像する。
このように、検出装置6によって撮像された画像から、位置検出部72は、ワークS1、S2のそれぞれの4つの基準点を抽出する。調整部73は、位置検出部72によって抽出されたワークS1の4点とワークS2の4点が、所定の相対位置関係になるように、ワークS1、S2の一方がXYθ方向に変位すべき調整量を算出する。なお、検出する基準点は、4点には限定されない。
(移載装置によるワークS1、S2の受け渡し)
移載装置5による貼合装置3へのワークS1、S2の受け渡し方法を、図8、図21(d)を参照して説明する。供給アーム510は、貼合装置3に向かう受渡位置(γ)に回動する。そして、供給アーム510が貼合装置3に接近する方向に移動して、ワークS1、S2が、貼合装置3の上側プレート331と、下側プレート332との間に挿入される。
上側プレート331表面からは、吸着ノズル331aが突出して、上アーム512に吸着保持されている状態のワークS1を吸着保持する。そして、上アーム512の排気装置が排気を停止し、吸着部材512aによる真空吸着を解除するとともに吸着ノズル331aが下降し、ワークS1が吸着部材512aから離れる。また、下側プレート332の表面からピン332aが突出して、下アーム511に吸着保持されている状態のワークS2に接触し、排気装置により吸着保持する。そして、下アーム511の排気装置が排気を停止し、吸着部材511aによる真空吸着を解除するとともにピン332aが上昇し、ワークS2を吸着保持しつつ持ち上げる。この状態で、供給アーム510が、貼合装置3から離れる方向に移動して、ワークS1、S2から退避する。そして、吸着ノズル331aが上昇して、上側プレート331が、保持機構によりワークS1を保持する。また、ピン332aが下降して、下側プレート332にワークS2が載置され、支持機構によりワークS2が支持される。例えば、保持機構及び支持機構が真空チャックの場合には、ワークS1は上側プレート331に、ワークS2は下側プレート332に真空吸着される。なお、真空チャック以外の機構を適用した場合にも、ワークS1は上側プレート331に、ワークS2は下側プレート332に保持される。このように、移載装置5から貼合装置3へワークS1、S2を受け渡す際に、吸着部材512aと吸着ノズル331aによりワークS1を同時に吸着保持し、吸着部材511aとピン332aによりワークS2を同時に吸着保持してから、吸着部材512a、511aの吸着を解除して受け渡すので、受け渡しにおける位置ずれを抑制できる。
(ワークS1、S2の貼り合わせ)
貼合装置3におけるワークS1、S2の貼り合わせ方法を、図9及び図10を参照して説明する。位置決め装置360は、調整部73によって算出された調整量に基づいて、ワークS2を、ワークS1と所定の位置関係となるように、XYθ方向に変位させる。つまり、位置決め装置360は、下側チャンバ321とともに又は下側チャンバ321とは独立に下側プレート332を移動させて、下側プレート332に支持されたワークS2を、ワークS1に対して位置決めする。そして、図9に示すように、昇降機構320が、上側チャンバ311を下降させることにより、上側チャンバ311の開口縁と下側チャンバ312の開口縁が接して、真空チャンバ310が密閉される。
さらに、排気管371が上昇することにより、下側チャンバ312の排気穴312aに接続される。この状態で、排気ポンプPを作動させることにより、貼り合せ面に気泡となる可能性のある気体が十分に少なくなるまで、真空チャンバ310内の真空引きを行う。そして、図10に示すように、加圧機構350によって上側プレート331を下降させて、ワークS1を下側プレート332のワークS2に押し付ける。これにより、ワークS1、S2を、接着剤Rを介して積層した積層体Zが製造される。
(移載装置による積層体Zの搬出)
移載装置5による積層体Zの搬出方法を、図1、図18及び図21を参照して説明する。まず、排気ポンプPを停止し、バルブを開放することにより、真空チャンバ310内を大気圧にした後、排気管371が下降することにより、排気穴312aから離れて真空チャンバ310から分離する。さらに、昇降機構320が上側チャンバ311を上昇させることにより、上側チャンバ311の開口縁と下側チャンバ312の開口縁が離れて、真空チャンバ310が開放される。
そして、下側プレート332からピン332aが突出することにより、積層体Zを持ち上げる(図18参照)。ここで、図21(b)に示すように、供給アーム510が、反転装置4から次のワークS1、S2を受け取って、検出装置6による検出が行われている間に、排出アーム520は、貼合装置3に向かう受渡位置(γ)に来る。この排出アーム520は、図18に示すように、スライド機構522により、貼合装置3側に進出し、持ち上げられている積層体Zの下部に入る。ピン332aが下降することにより、積層体Zが排出アーム520の吸着部材521aにより吸着されて受け渡される。(図21(c))
さらに、図21(d)に示すように、供給アーム510が、貼り合わせ前のワークS1、S2を貼合装置3に受け渡している間に、積層体Zを保持した排出アーム520は、搬出口101cに向かう排出位置(e)に来る。そして、排出アーム520は、スライド機構522により、搬出口101cから外部に突出して、排出台101dに積層体Zを排出する。積層体Zにおける接着剤Rを、硬化装置によって本硬化させてもよい。
[効果]
以上のような本実施形態の効果は、以下の通りである。
(1)本実施形態の表示装置用部材の製造装置100は、表示装置用部材の積層体Zとなる一対のワークS1、S2を投入するローディング装置1と、ローディング装置1により投入された一対のワークS1、S2のうち、ワークS1に、接着剤Rを供給する接着剤供給装置2と、一対のワークS1、S2を、接着剤Rを介して貼り合わせる貼合装置3と、ローディング装置1により投入されたワークS2を受け取る第1の受取位置(α)と、ローディング装置1により投入されたワークS1を受け取る第2の受取位置(β)と、貼合装置3に一対のワークS1、S2を受け渡す受渡位置との間を、回動することにより変位し、ワークS1、S2を離隔して対向した状態で保持する移載装置5と、移載装置5に保持されたワークS1、S2の位置を、貼合装置3への受け渡し前に検出する検出装置6を有する。
このため、各装置間でのワークS1、S2の受け渡しを、一箇所の移載装置5によって行うことができるので、装置間の距離の短縮化と、設置スペースの小型化を実現することができる。特に、ワークS1、S2が大型の場合であっても、ワークS1、S2を保持する複数の保持装置をターンテーブル上で移動させる構造の装置と比べて、装置全体の大型化を抑えることができる。
さらに、一般的には、貼合装置3においてワークS1、S2を支持した後、その場で位置検出を行って位置決め及び貼り合わせを行うことにより、位置検出後から貼り合わせまでの位置ずれを防止している。しかし、このような場合、位置を検出している間は貼合作業に移れないので、生産性は低くなる。一方、本実施形態は、移載装置5においてワークS1、S2を保持した状態で、貼合装置3へ受け渡す前に、ワークS1、S2の位置を検出している。このため、貼合装置3において検出時間をかけることがなく、生産性が向上する。
より具体的には、例えば、上記とは別の従来技術である図30に示すように、押圧装置84において、カメラ82aによる撮像、ワークS1、S2の位置決め、ワークS1、S2の貼り合せを行う場合、押圧装置84における所要時間が、他の装置における時間よりも長くなり、他の装置の待ち時間、アイドル時間が長くなる。一方、本実施形態では、ワークS1、S2の位置検出を、貼合装置3に受け渡す前の移載装置5に保持した状態で行うため、貼合装置3における所要時間を大幅に短縮でき、他の装置の待ち時間、アイドル時間を短縮して、製造効率を高めることができる。
以上の通り、本実施形態によれば、種々の大きさのワークS1、S2に対応することができ、空間に対する面積率が高く、効率よく積層体Zを製造して、必要な積層精度を保ちつつ高い生産性が得られる。従って、低コストの表示装置用部材を提供することができ、表示装置を安価に製造することができる。
(2)移載装置5は、回動の中心となる軸が、第1の受取位置(α)、第2の受取位置(β)、受渡位置(γ)が存在する同心円の中心であり、軸を中心とする円の半径方向に伸びた下アーム511と、下アーム511の上方に配置され、下アーム511との相対位置が固定されるとともに、軸を中心とする円の半径方向に伸びた上アーム512と、を有する供給アーム510を有する。この供給アーム510は、第1の受取位置(α)において、ローディング装置1に対して、軸中心とする円の半径方向に往復動をすることにより、下アーム511がワークS2を受け取り、第2の受取位置(β)において、ローディング装置1に対して、半径方向の往復動をすることにより、上アーム512が、ワークS1を受け取る。受渡位置(γ)において、貼合装置3に対して、半径方向の往復動をすることにより、下アーム511及び上アーム512がワークS1、S2を受け渡すように構成されている。
単一の供給アーム510の回動と往復動によって、ローディング装置1からのワークS1、S2の受け取り、貼合装置3への受け渡しを行うことができるので、簡素な構成で、周囲の装置との距離を縮小しつつ、衝突を回避することができ、省スペース化が実現できる。特に、供給アーム510は、ワークS1を受け取る上アーム512、ワークS2を受け取る下アーム511が一体的に形成されているので、位置検出後、回動や往復動をしても、ワークS1とワークS2との相対的な位置関係を維持しやすい。このため、検出されたワークS1とワークS2のずれを維持したまま、貼合装置3へ受け渡すことができ、貼合装置3において、ワークS1とワークS2の正確な位置決めが可能となる。特に、下アーム511の支持板511c及び上アーム512の支持板512cに、ワークS1、S2を真空吸着し密着させることにより、摩擦力でより強固にずれが防止される。さらに、移載装置5から貼合装置3へワークS1、S2を受け渡す際に、位置検出後の供給アーム510によってワークS1、S2が吸着保持(固定)されている状態で、受け取る側の吸着ノズル331a、ピン332aが吸着保持する。つまり、同時に吸着保持する状態を確保してから、一方の保持を解除して受け渡すので、受け渡しにおける位置ずれを抑制できる。したがって、一対のワークS1、S2を貼合装置3に受け渡した後に、あらためて位置検出をする必要がない。
(3)検出装置6は、第2の受取位置(γ)において供給アーム510が往復動する半径方向に直交する方向に往復動し、ワークS1、S2における基準点を撮像するカメラ610、620を有する。このカメラ610、620は、供給アーム510が受け取ったワークS1、S2の間に挿入されたカメラ610、620の移動と、供給アーム510の移動とにより、ワークS1、S2における基準点の撮像位置に位置決めされる。
ワークS1、S2の位置を検出する場合に、検出装置6は、カメラ610、620を直線方向に往復動させればよい。このため、カメラ610、620を移動させる機構を簡素化、小型化できる。
(4)移載装置5は、軸を中心として、供給アーム510とともに回動し、供給アーム510の往復動方向と異なる角度の半径方向に往復動して、供給アーム510が第2の受取位置(β)にあるとき、受渡位置(γ)に来て、貼合装置3において貼合された一対のワークを受け取る排出アーム520を有する。
供給アーム510がローディング装置1からワークS1、S2の受け取りや、位置検出のための撮像を行いながら、排出アーム520により、貼合装置3からの積層体Zの排出も行うことができるので、アイドル時間を削減して効率のよい作業が可能となる。
(5)排出アーム520は、供給アーム510が受渡位置(γ)にあるとき、ワークS1、S2を排出する排出位置(e)に来るように設けられている。
供給アーム510が貼合装置3へのワークS1、S2の受け渡しを行いながら、排出アーム520により、積層体Zの外部への排出も行うことができるので、より効率のよい作業が可能となる。
(6)貼合装置3は、移載装置5から受け渡されたワークS1、S2を、離隔した状態で上下に支持する支持部330と、検出装置6により検出されたワークS1、S2の位置に応じて、支持部330に支持された一対のワークS1、S2の位置決めを行う位置決め装置360を有する。
貼合装置3の外で位置検出を行うことにより、貼合の効率を高めるとともに、貼合直前に位置決めを行うことにより、ずれの少ない正確な貼合が可能となる。
(7)貼合装置3は、内部を密閉して排気装置により減圧される真空チャンバ310を有し、真空チャンバ310には、排気穴312aが設けられ、排気穴312aに対して接することにより真空チャンバ310と排気装置とを接続する接続状態と、排気穴312aから離れて真空チャンバ310と排気装置とを分離する非接続状態とを切り換える排気管371を有する。
表示装置用部材として、サイズが異なるものを製造する場合、サイズが大きく変わる場合には、ワークS1、S2を保持する部分のサイズも変更する必要があり、真空チャンバ310のサイズも変更する必要がある。このように、ある程度のサイズの相違に応じた変更を行わないと、真空チャンバの排気に無駄が生じてしまう。すなわち、大きなサイズの真空チャンバで小さなサイズのワークS1、S2の貼り合わせを行うようにした場合、余計な空間の排気時間が必要になって生産性が悪くなる。また、本実施形態では、真空チャンバ310と支持部330は一体的に構成されているので、真空チャンバ310の変更は、支持部330も含めて交換する必要がある。しかし、本実施形態では、排気管371を排気穴312aから切り離し可能としている。このため、ワークS1、S2のサイズ変更のために真空チャンバ310を交換する際に、排気管371を取り外して、再度取り付ける手間がかからないので、交換作業が効率的となる。さらに、ワークS1とワークS2を位置決めする際、位置合わせのために移動させる下側チャンバ321が排気管を引きずることがないので、移動の駆動が容易になる。
(8)接着剤供給装置2は、ワークS1に対する相対移動に従って、長手方向が相対移動の方向に対して直交する方向で、且つワークの表面に対して平行な方向のスリットLsから接着剤Rを吐出することにより、ワークS1に対して接着剤Rを塗布する塗布部21を有し、塗布部21は、スリットLsの長手方向の長さを変える調整部213を有する。
このため、塗布部21の全体を交換しなくても、スリット幅を変えて、接着剤Rの塗布幅を容易に調整できる。
(9)塗布部21のスリットLsのワークS1の表面に対する傾きを変位させる変位機構を有する。このため、ワークS1の傾斜に応じて、スリットLsの傾きを変えることができ、スリットLsとワークS1との間隔を均一にすることができる。特に、ワークS1が複数のガラスやフィルムなどを積層している積層体である場合は、各板状体の歪みのために、全体としての歪みが多くなり易い。その結果撓んでしまうことがあるが、センサ2bによりワークS1の表面の高さを測定した結果を反映できるので、このような変形しやすいワークS1でも均一に接着剤Rを塗布することができる。また、傾斜させることにより、スリットLs内に簡単に接着剤Rを行き渡らせて空気抜きを行うことができる。
(10)接着剤供給装置2は、ワークS1に供給済の接着剤Rに対して、仮硬化させるエネルギーを照射する照射部23を有し、照射部23によるエネルギーの照射方向は、垂直方向に対して、接着剤Rの供給位置とは逆方向に傾斜している。
接着剤Rが仮硬化されているため、ワークS1を反転させる等、外力を加えた場合にも、接着剤Rの流動を防ぐことができる。特に、照射源231の照射方向が、接着剤Rの供給位置とは逆方向に傾斜しているので、照射エネルギーの強度を強くしても、供給部分にある接着剤Rに影響を与えることを防止できる。このため、照射エネルギーの強度を強くして照射時間を短縮して、ワークS1の相対移動速度を高速化しても、同様の仮硬化の効果が得られるので、生産性が向上する。
(11)第2の受取位置(β)に設けられ、接着剤Rが供給されたワークS1を反転させて、接着剤Rが供給されていない面が保持されるように、移載装置5に受け渡す反転装置4を有し、反転装置4の軸は、ローディング装置1におけるワークS1の搬送方向に直交する方向において、ワークS1の中心よりも移載装置5側に寄った位置に設けられている。
反転装置4の軸が、移載装置5側に寄っているので、搬送装置1Aからの受け取り時には搬送装置1Aの搬送端に近い位置とすることができるとともに、反転時には、移載装置5に近づけることができる。これにより、供給アーム510がワークS1を受け取り易い位置とすることができる。
さらに、プレート411に、ワークS1を真空吸着して密着することにより、反転しても摩擦力でより強固にずれが防止される。また、把持部412が、プレート411にスライド移動可能に設けられているので、ワークS1のサイズ変更にも柔軟に対応できる。
(12)ローディング装置1は、ワークS1を移載装置5の近傍に直線搬送する搬送装置1Aと、ワークS2を移載装置5の近傍に直線搬送する搬送装置1Bとが、平行に隣接して設けられ、搬送装置1AへのワークS1の投入位置と、搬送装置1BへのワークS2の投入位置とが、隣接して設けられている。このため、ローディング装置1の設置スペースを節約できるとともに、作業員による投入位置からの一対のワークS1、S2の投入作業がしやすい。
[他の実施形態]
ローディング装置1としては、一対のワークS1、S2を、移載装置5へ搬送できればよく、上記のような態様には限定されない。例えば、搬送装置1Bの距離を短縮して、全体の設置スペースを縮小することもできる。共通の搬送装置によって、ワークS1、S2の双方を順次搬送してもよい。この場合、第1の受取位置(α)、第2の受取位置(β)が共通であってもよい。
接着剤供給装置2としては、スリットコータである塗布部21を例に挙げて説明したが、これには限定されない。例えば、塗布部21を、スリットコータの代わりに、多数の針状ノズルが並んだマルチノズルとして、このマルチノズルによって接着剤Rを複数のスジ状に塗布してもよい。複数のスジ状に塗布された接着剤R同士が展延して一体化して面状になっても、スリットコータによる塗布と同様に、面状の塗布が可能である。この場合にも、マルチノズルと塗布面との平行度を調整できる本発明は有効である。
また、ノズルにより、外周部に接着剤Rを枠状に塗布してシール部を設けた後、シール部の内部に接着剤Rを塗布するシール塗布方式による塗布部21としてもよい。また、照射部23を省略して、エネルギー照射による仮硬化処理を行わず、装置を簡素化してもよい。さらに、接着剤Rとして、シート状のもの、つまり、粘着テープを貼付する接着剤供給装置2を用いてもよい。このような粘着テープも、本発明の接着剤Rに含まれる。
なお、接着剤Rは、貼り合わせのために必要な面状に塗布されればよい。例えば、ワークS1の片面の全体に行き渡るように塗布してもよいし、一部に塗布されていない領域があってもよい。また、接着剤RがワークS1の縁に達していてもよいし、達していなくてもよい。接着剤RがワークS1の縁の一部に達していて、一部に達していない部分があってもよい。
例えば、接着剤Rは、少なくとも表示装置の視野領域に対して一つの面状の塗布がされていればよい。例えば、表示パネルの表示領域の側部に駆動回路部などが存在する場合、駆動回路部分には接着剤Rを塗布しないが、表示領域には切れ目のない面状の接着剤塗布がなされる。
また、貼合装置3の排気管371を固定として、昇降機構320に真空チャンバ310の上下動(Z方向)の駆動機能を持たせることも可能である。この場合、下側チャンバ312が移動して、排気穴312aに排気管371が接離する構成とすることもできる。これにより、上側チャンバ311とともに真空チャンバ310を密閉するように下側チャンバ312を駆動できる。したがって、真空チャンバ310の密閉と、真空チャンバ310と減圧装置370との接続を、ひとつの駆動手段で行うので、効率的である。なお、貼合装置3は、真空貼合を行う装置には限定されない。真空チャンバ310を設けずに、大気中で貼合する装置として、簡素化を図ってもよい。
反転装置4は、ワークS2を反転させてもよい。つまり、移載装置5によるワークS1、S2の受け取り位置は、ワークS1が下側、ワークS2が上側となってもよい。反転装置4における把持部412の水平部分の方向、開閉駆動部413による把持部412の移動方向も、搬送装置A1からの受け取り、移載装置5への受け渡しが可能な方向であればよく、上記の例には限定されない。
移載装置5の回動位置は、ローディング装置1、貼合装置3、搬出口101cの配置に応じて、決定すればよい。従って、第1の受取位置(α)、第2の受取位置(β)、受渡位置(γ)、排出位置(e)へ順次変位するための回動角度は、直角には限らない。また、供給アーム510と排出アーム520の角度も、直角には限らない。搬送装置1Aの搬送端を第1の受取位置(α)、搬送装置1Bの搬送端を第2の受取位置(β)として、第1の受取位置(α)でワークS1を受け取り、第2の受取位置(β)でワークS2を受け取ってもよい。
反転装置4のワークS1の吸着構造、移載装置5の供給アーム510のワークS1、S2の吸着構造についても、上記の態様には限定されない。例えば、上記の実施形態における支持板412c、511c、512cのいずれかを省略した構成とすることも可能である。かかる構成とすると、吸引時におけるワークS1、S2は、把持部412の水平面、下アーム511の上面又は上アーム512の下面に密着して支持されるので、摩擦力によるずれが抑制される。
検出装置6による上下のワークS1、S2の撮像を行うカメラ610、620は、上記のように一体的に移動させてもよいし、別個に動作させてもよい。撮像のタイミングも、同時でも異なっていてもよい。基準点は、ワークS1、S2のそれぞれに少なくとも1点あればよいが、標準的には4点が好ましい。基準点を1点とする場合でも、多数の点とする場合でも、カメラ610、620の基準点の撮像位置への位置決めを、カメラ610、620と供給アーム510とを直線移動させる機構により実現できる。
上記の各装置は、ワークS1、S2をそれぞれ複数同時に処理できる構成として、製造効率を高めてもよい。つまり、搬送装置1A、1Bがそれぞれ複数のワークS1、S2を並行に搬送し、接着剤供給装置2が複数のワークS1に並行に接着剤Rを供給し、反転装置4が複数のワークS1を並行に反転させてもよい。
さらに、移載装置5が、複数のワークS1、複数のワークS2の受け取り、受け渡し、排出を並行に行い、検出装置6が、複数のワークS1、複数のワークS2の位置検出を並行に行い、貼合装置3が、複数のワークS1、複数のワークS2の位置決め、貼合を並行に行ってもよい。
貼り合せ対象となるワークS1、S2は、表示装置を構成する積層体となる部材であって、片面に接着剤Rを面状に塗布して貼り合わせるものであれば、その大きさ、形状、材質等は問わない。つまり、偏光板等を含む表示パネル、操作用のタッチパネル、表面を保護する保護パネル、平板状のバックライトやバックライトの導光板等、これらの少なくとも2種を貼合して表示装置用部材を構成するものであればよい。表示装置としても、液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイ等、貼り合わされる平板状のワークを有し、現在又は将来において利用可能な表示装置を広く含む。
また、互いに貼り合わされる一対のワークS1、S2は、1枚であっても、複数枚の積層体であってもよい。表示パネル、駆動回路、プリント基板を貼合した積層体に、さらに、タッチパネル、保護パネル又は複合パネルを貼合する等であってもよい。すなわち、表示装置用部材として積層されるワークの積層数は、特定の数には限定されない。
接着剤Rが塗布されるワークS1は、表示装置の表示パネルまたは表示パネルを含む積層体であってもよいし、保護パネル、タッチパネル又はタッチパネルを含む保護パネル(複合パネル)であってもよい。但し、上記のように、偏光板やカラーフィルタ等を含む表示パネルは、歪みも大きく、その歪みの固体差も大きい。保護パネルのみ、タッチパネルのみ又はそれらの複合パネルのように、シンプルな構成のものの方が、歪みが少なく、接着剤Rを均一に塗布しやすい。
なお、接着剤Rの流動を抑制してボイドの発生を防止することは、平板上のバックライトやバックライトの導光板等を貼り合わせる場合にも要求される。つまり、バックライトや導光板もワークS1、S2として捉えることができる。接着剤Rは、積層体、バックライト、導光板のいずれに塗布してもよいが、この場合にも、シンプルな構成のバックライト、導光板側に塗布することが好ましい。
また、貼り合わされるワークS1、S2の双方に接着剤Rを塗布してもよい。双方のワークS1、S2に接着剤Rを塗布する場合、一方に塗布した接着剤Rのみ仮硬化させても、双方に塗布した接着剤Rを仮硬化させてもよい。双方に接着剤Rを塗布する場合、搬送装置1A、1Bに接着剤供給装置2をそれぞれ設けてもよいし、接着剤供給装置2を設けた1つの搬送装置に、双方のワークS1、S2を順に投入してもよい。この場合にも、第1の受取位置(α)、第2の受取位置(β)が共通であってもよい。
双方のワークS1、S2に接着剤Rを塗布する場合、塗布部21は、ワークS1、S2のそれぞれの片面に、異なる厚さで塗布するとよい。この場合、例えば、図23に示すように、反転装置4が、薄く塗ったワークS1の方を反転させて、接着剤Rが塗布されていない面が保持されるように、移載装置5に受け渡すとよい。接着剤Rを薄く塗布した方が接着剤Rの流動が少ないので、反転することによる接着剤Rの変動を気にしなくてすみ、ワークS1の高速反転が可能となる。ワークS2は、接着剤Rを厚く塗布されているが、反転しないので問題は生じない。
前記のように照射部23による仮硬化を省略してもよいが、ワークS1、S2の接着剤Rの一方又は双方に、照射部23が仮硬化させるエネルギーを照射して仮硬化させてから、反転装置4が、接着剤Rを仮硬化させた方のワークを反転させて、接着剤Rが塗布されていない面が保持されるように、移載装置5に受け渡してもよい。このように、仮硬化をさせれば、受け渡し等の時間がかかっても、接着剤Rの流動の問題は生じない。なお、接着剤Rの塗布厚としては、例えば、薄い方は数μm〜数十μmの厚さとすることが考えられる。
なお、1つの搬送装置によって、ワークS1、S2を搬送し、ワークS1にのみ、接着剤供給装置2によって接着剤Rを供給することも可能である。この場合、接着剤供給装置2の塗布部21の位置がワークS1の通過位置のみとすることもできるし、交互に搬送されるワークS1、S2のうち、ワークS1のみに接着剤Rを供給することもできる。
接着剤供給装置2は、ステージ11aによりワークS1側を移動させるのではなく、塗布部21、照射部23側を移動させることにより、接着剤Rの供給を行なってもよい。この場合、搬送装置1Aの搬送距離を縮小することができる。つまり、塗布部21、照射部23とワークS1とは相対移動する構成であればよい。
照射部23は、照射強度を変化させることにより、接着剤Rの単位面積当たりの照射エネルギー量を一定とすることもできる。つまり、塗布部21とワークS1との相対移動の速度が加速して行くときには、照射エネルギー量を徐々に増加させ、相対移動の速度が一定の時は照射エネルギー量を一定として、相対移動の速度が減速していくときには、照射エネルギー量を徐々に減少させていく。これにより、照射エネルギーを均一にすることができる。
このような照射エネルギー量の変化は、制御装置7が、照射部23の各照射源231の発光(出力)強度を変化させるばかりでなく、複数ある照射源231のうち、照射させる照射源231の数を変化させることにより実現できる。例えば、照射部23における長手方向に配置された複数の照射源231の発光(出力)の有無若しくは発光(出力)強度を制御する。また、照射部23を、昇降機構によって昇降可能に設け、制御装置7がこの昇降を制御することによって、照射部23の照射強度、照射幅等を調整することによっても、実現可能である。
搬送装置1A、1B、貼合装置3、反転装置4、移載装置5におけるワークS1、S2の保持又は支持は、バキュームチャック、静電チャック、メカチャック、粘着チャック等、現在又は将来において利用可能なあらゆる保持機構により、安定化させることができる。複数の種類の保持機構を併用することも可能である。なお、上記の実施形態における吸着部材については、真空環境下における吸着力を確保するために、粘着性を有していてもよい。
使用する接着剤Rの種類は、紫外線硬化型の樹脂には限定されない。電磁波や熱の照射により硬化する樹脂が一般的であるが、現在又は将来において利用可能なあらゆる接着剤であって、エネルギーの照射により硬化するものに適用可能である。この場合、接着剤の種類に応じて、照射部を、種々の赤外線、放射線等の照射装置、加熱装置、乾燥装置等に変えることになる。
上記の実施形態に、積層後の積層体Zの接着剤Rを本硬化させる硬化装置を設置してもよい。本硬化させるとは、接着剤Rの全体を完全に硬化させることをいい、そのために、必要なエネルギーを接着剤Rに照射することをいう。但し、必ずしも硬化装置内で完全硬化に至らなくてもよい。例えば、硬化装置でエネルギーを照射した後、ストッカにストックして、ストックしている間に完全硬化するようにしてもよいし、搬送途中で完全硬化するようにしてもよい。このような硬化装置は、排出台101dに設置してもよいし、別ポジションに設置してもよい。例えば、製品の検査装置を設置して、その下流に、硬化装置を設置してもよい。硬化装置としては、例えば、積層体Zが載置されるステージと、ステージ上に配置された照射源を備える。ステージは、上記実施形態における排出台101dとすることもできる。
照射源は、上記の実施形態と同様である。但し、照射源からの照射強度、照射時間、照射範囲が、積層体Zにおける接着剤Rを完全硬化させるのに必要な程度に、エネルギーを照射できるように調節されている。このような硬化装置によって、積層後の積層体Zの接着剤Rは、硬化装置によって本硬化される。なお、上記のような相対移動しながらのエネルギー照射である必要はない。つまり、積層体Zと照射源との位置が固定的な状態でエネルギー照射してもよい。
1…ローディング装置
1A、1B…搬送装置
11a、11b…ステージ
11c…ボールねじ
11d…レール
12a、12b…ピン
100…表示装置用部材の製造装置
101…ブース
101a、101b…投入口
101c…搬出口
101d…排出台
2…接着剤供給装置
2a…架台
2b…センサ
21…塗布部
210…基体部
211、212…挟持体
213…調整部
214…固定板
215A、215B…可動板
215h…取付穴
216A、216B…調節機構
217…軸部
217a…駆動軸
217b…ヘッド
218…可動側取付部
218a…スリーブ
218b…取付ボルト
219…固定側取付部
22…変位機構
221、222…支持部
221a…軸
222b…コロ
223A、223B…ボールねじ
224A、224B…駆動源
225A、225B…昇降ステージ
226…軸受部
226a…溝
227A、227B…ガイドレール
23…照射部
231…照射源
232…遮蔽板
3…貼合装置
310…真空チャンバ
311…上側チャンバ
312…下側チャンバ
312a…排気穴
320…昇降機構
330…支持部
331…上側プレート
331a…吸着ノズル
332…下側プレート
332a…ピン
350…加圧機構
350a…駆動軸
360…位置決め装置
370…減圧装置
371…排気管
372…ベローズ
4…反転装置
410…反転部材
411…プレート
412…把持部
412a…吸着部材
412b…吸着穴
412c…支持板
420…駆動機構
421…軸部
422…昇降機構
5…移載装置
510…供給アーム
511…下アーム
511a…吸着部材
511c…支持板
512…上アーム
512a…吸着部材
512c…支持板
513…スライド機構
520…排出アーム
521…アーム
521a…吸着部材
522…スライド機構
530…回動機構
531…基台
6…検出装置
610、620…カメラ
630…アーム
640…スライド機構
7…制御装置
70…機構制御部
71…記憶部
72…位置検出部
73…調整部
74…入出力制御部
75…出力装置
8…貼合装置
80…ターンテーブル
81…保持装置
81a…下側保持部
81b…支柱部
81c…上側保持部
82…検出装置
82a…カメラ
83…塗布装置
83a…ノズル
84…押圧装置
84a…ばね

Claims (12)

  1. 表示装置用部材の積層体となる一対のワークを投入するローディング装置と、
    前記ローディング装置により投入された一対のワークのうち、少なくとも一方のワークに、接着剤を供給する接着剤供給装置と、
    前記一対のワークを、接着剤を介して貼り合わせる貼合装置と、
    前記ローディング装置により投入された一対のワークのうち、一方のワークを受け取る第1の受取位置と、他方のワークを受け取る第2の受取位置と、前記貼合装置に一対のワークを受け渡す受渡位置との間を、回動することにより変位し、一対のワークを離隔して対向した状態で保持する移載装置と、
    前記移載装置に保持された一対のワークの位置を、前記貼合装置への受け渡し前に検出する検出装置と、
    を有することを特徴とする表示装置用部材の製造装置。
  2. 前記移載装置は、
    前記回動の中心となる軸が、前記第1の受取位置、前記第2の受取位置、前記受渡位置がそれぞれ存在する同心円の中心であり、
    前記軸を中心とする円の半径方向に伸びた下アームと、前記下アームの上方に配置され、前記下アームとの相対位置が固定されるとともに、前記軸を中心とする円の半径方向に伸びた上アームと、を有する供給アームを有し、
    前記供給アームは、
    前記第1の受取位置において、前記ローディング装置に対して、前記軸を中心とする円の半径方向に往復動をすることにより、前記下アーム及び前記上アームの一方が、一方のワークを受け取り、
    前記第2の受取位置において、前記ローディング装置に対して、前記半径方向の往復動をすることにより、前記下アーム及び前記上アームの他方が、他方のワークを受け取り、
    前記受渡位置において、前記貼合装置に対して、前記半径方向の往復動をすることにより、前記下アーム及び前記上アームが一対のワークを受け渡すように構成されていることを特徴とする請求項1記載の表示装置用部材の製造装置。
  3. 前記検出装置は、
    前記第2の受取位置において前記供給アームが往復動する前記半径方向に直交する成分を含む方向に往復動し、一対のワークにおける基準点を撮像する撮像部を有し、
    前記撮像部は、前記供給アームが受け取った一対のワークの間に挿入された前記撮像部の直線移動と、前記供給アームの直線移動とにより、一対のワークにおける基準点の撮像位置に位置決めされることを特徴とする請求項2記載の表示装置用部材の製造装置。
  4. 前記移載装置は、
    前記軸を中心として、前記供給アームとともに回動し、前記供給アームの往復動方向と異なる角度の半径方向に往復動して、前記供給アームが前記第1の受取位置又は前記第2の受取位置にあるとき、前記受渡位置に来て、前記貼合装置において貼合された一対のワークを受け取る排出アームを有することを特徴とする請求項2又は請求項3記載の表示装置用部材の製造装置。
  5. 前記排出アームは、前記供給アームが前記受渡位置にあるとき、前記一対のワークを排出する排出位置に来るように設けられていることを特徴とする請求項4記載の表示装置用部材の製造装置。
  6. 前記貼合装置は、
    前記移載装置から受け渡される一対のワークを、離隔した状態で上下に支持する支持部と、
    前記検出装置により検出された一対のワークの位置に応じて、前記支持部に支持された一対のワークの位置決めを行う位置決め装置と、
    を有することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の表示装置用部材の製造装置。
  7. 前記貼合装置は、内部を密閉して排気装置により減圧される真空チャンバを有し、
    前記真空チャンバには、排気穴が設けられ、
    前記排気穴に対して接することにより前記真空チャンバと前記排気装置とを接続する接続状態と、前記排気穴から離れて前記真空チャンバと前記排気装置とを分離する非接続状態とを切り換える排気管を有することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の表示装置用部材の製造装置。
  8. 前記接着剤供給装置は、
    少なくとも一方のワークに対する相対移動に従って、長手方向が相対移動の方向に対して直交する方向で、且つワークの表面に対して平行な方向のスリットから接着剤を吐出することにより、ワークに対して接着剤を塗布する塗布部を有し、
    前記塗布部は、スリットの長手方向の長さを変える調整部を有することを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の表示装置用部材の製造装置。
  9. 前記接着剤供給装置は、
    前記塗布部のスリットのワークの表面に対する傾きを変位させる変位機構を有することを特徴とする請求項8記載の表示装置用部材の製造装置。
  10. 前記接着剤供給装置は、ワークに供給済の接着剤に対して、仮硬化させるエネルギーを照射する照射部を有し、
    前記照射部によるエネルギーの照射方向は、垂直方向に対して、接着剤の供給位置とは逆方向に傾斜していることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の表示装置用部材の製造装置。
  11. 前記接着剤供給装置は、一対のワークのそれぞれの片面に、異なる厚さで接着剤を塗布する塗布部を有し、
    接着剤が塗布されたワークのうち、薄く塗布されたワークを反転させて、接着剤が供給されていない面が保持されるように、前記移載装置に受け渡す反転装置を有することを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の表示装置用部材の製造装置。
  12. 接着剤供給装置が、表示装置用部材の積層体となる一対のワークのうち、少なくとも一方のワークの片面の略全面に、接着剤を供給し、
    移載装置における供給アームが、少なくとも一方のワークに接着剤を供給した一対のワークを、離隔した状態で上下に保持し、
    検出装置が、供給アームに保持された一対のワークの位置を、一対のワークを積層体とする貼合装置への受け渡し前に検出し、
    検出装置による位置の検出の間に、移載装置の排出アームが、貼合装置から積層された積層体を受け取り、
    供給アームが、位置を検出した一対のワークを、貼合装置の支持部へ受け渡し、
    供給アームによる受け渡しの間に、排出アームが貼合装置から受け取った積層体を、排出位置へ搬送し、
    貼合装置における支持部が、供給アームから受け渡された一対のワークを、離隔した状態で上下に支持し、
    貼合装置における位置決め装置が、検出装置により検出された一対のワークの位置に応じて、支持部に支持された一対のワークの位置決めを行い、
    支持部が、一対のワークを貼り合わせることにより積層することを特徴とする表示装置用部材の製造方法。
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