JP2016008985A

JP2016008985A - 表示装置用部材の製造装置及び表示装置用部材の製造方法

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Publication number: JP2016008985A
Application number: JP2014127644A
Authority: JP
Inventors: 寛久神戸; Hirohisa Kanbe
Original assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Current assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Priority date: 2014-06-20
Filing date: 2014-06-20
Publication date: 2016-01-18

Abstract

【課題】種々の大きさのワークに対応することができ、空間に対する面積率が高く、効率よく積層体を製造して、必要な積層精度を保ちつつ高い生産性が得られる表示装置用部材の製造技術を提供する。【解決手段】ワークＳ１、Ｓ２を投入するローディング装置１、ワークＳ１に接着剤を供給する接着剤供給装置２、ワークＳ１、Ｓ２を貼り合わせる貼合装置３、投入されたワークＳ２を受け取る第１の受取位置（α）と、投入されたワークＳ１を受け取る第２の受取位置（β）と、貼合装置３に一対のワークＳ１、Ｓ２を受け渡す受渡位置（γ）との間を、回動することにより変位し、ワークＳ１、Ｓ２を離隔して対向した状態で保持する移載装置５、移載装置５に保持されたワークＳ１、Ｓ２の位置を、貼合装置３への受け渡し前に検出する検出装置６を有する。【選択図】図１

Description

本発明は、例えば、表示装置を構成する一対のワークを貼り合わせて、表示装置用部材を製造する技術に改良を施した表示装置用部材の製造装置及び表示装置用部材の製造方法に関する。

一般的に、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイを代表とする平板状の表示装置（フラットパネルディスプレイ）は、表示パネルと、必要に応じて操作用のタッチパネルや表面を保護する保護パネル（カバーパネル）、バックライトやその導光板等が、フラットパネルディスプレイの筐体に組み込まれて構成されている。

これらの表示パネル、タッチパネル、保護パネル、バックライトやその導光板等（以下、ワークと呼ぶ）は、積層されてフラットパネルディスプレイの筐体に組み込まれる。それぞれのワークは、個別にあるいは予め積層された状態で組み込まれる。（図２４のワークＳ１、Ｓ２参照）例えば、保護パネルにタッチパネルを積層した複合パネルとして構成されたものを用いることもある。

また、表示パネルには、タッチパネルの機能が組み込まれたものが用いられることもある。このように、ワークとしては様々な形態があるが、以下、表示装置を構成するワークを、２以上積層したものを、表示装置用部材と呼ぶ。

かかるワークの積層には、接着シートを用いて貼り合わせる方法と流動性の有る液状の接着剤を用いて貼り合わせる方法がある。接着シートは、接着剤に比べて比較的高価であり、剥離紙の剥離等の工程が必要となる。このため、近年のコスト削減の要求などから、接着剤を用いた貼り合わせが増えている。

例えば、スリット型のノズルから、ＵＶ硬化樹脂の接着剤をワークの塗布面に塗布しながら、ノズルとワークとを相対移動させる。これにより、ワークの塗布面の全体に接着剤を塗布する。

また、かかる接着層は、各ワークの間の緩衝材として、ワークを保護する機能を求められる場合がある。さらに、ディスプレイの大型化などから、ワークも大面積となり、変形が生じやすい。このため、変形を吸収してワークを保護するために、接着層に要求される厚みが増える傾向にある。例えば、数１００μｍの厚みが要求されるようになってきている。

このように、接着層を介してワークを積層する貼合装置として、接着剤を用いる装置の一例を、図２５〜図２９を参照して説明する。この貼合装置８は、図２５に示すように、ターンテーブル８０上に、４台の保持装置８１を搭載したものである。ターンテーブル８０は、インデックス機構によって、投入取出しポジション（Ａ）、位置決めポジション（Ｂ）、接着剤塗布ポジション（Ｃ）、真空貼り合せポジション（Ｄ）に合わせて、間欠回転するように構成されている。

保持装置８１は、図２６に示すように、一方のワークＳ１を保持する下側保持部８１ａと、下側保持部８１ａから立設された支柱部８１ｂと、支柱部８１ｂに昇降可能に設けられ、他方のワークＳ２を保持する上側保持部８１ｃを有する。上側保持部８１ｃは、ワークＳ１がワークＳ２に対して接離する方向（図中、Ｚ軸方向）に移動させることができるとともに、上下に回動可能に設けられている。また、上側保持部８１ｃには、図示はしないが、ワークＳ２を吸着保持する吸着装置が設けられている。さらに、保持装置８１は、図示はしないが、ワークＳ１、Ｓ２の位置を合わせる位置決め装置等を有している。なお、ワークＳ１，Ｓ２には、仮想的な長方形若しくは正方形の４頂点に対応して、検出用のマークＭ１，Ｍ２が設けられている。

投入取出ポジション（Ａ）においては、図２７（ａ）に示すように、作業員が、下側保持部８１ａにワークＳ１をセットし、上側保持部８１ｃを上方に回動させて、吸着装置によりワークＳ２を吸着保持させてから、下方に回動させて戻すことにより、ワークＳ１、Ｓ２を上下に水平に対向させる。

位置決めポジション（Ｂ）には、図２５に示すように、ワークＳ１、Ｓ２の位置を検出する検出装置８２が設けられている。この検出装置８２は、例えば、図２６及び図２７（ｂ）に示すように、下側保持部８１ａ及び上側保持部８１ｃにより保持されたワークＳ１、Ｓ２の間に挿入され、水平面内の少なくとも２方向（例えば、図２５、図２６中のＸ軸方向及びＹ軸方向）を移動してワークＳ１、Ｓ２の検出用のマークＭ１、Ｍ２を撮像するカメラ８２ａを有している。この撮像結果に基づいて、保持装置８１の位置決め装置が、ワークＳ１、Ｓ２の位置決めを行う。

接着剤塗布ポジション（Ｃ）には、図２５に示すように、ワークＳ１に接着剤を塗布する塗布装置８３が設けられている。この塗布装置８３は、例えば、図２８（ａ）に示すような多連のノズル８３ａを、水平方向（例えば、図２５の白矢印方向）に移動させながら接着剤Ｒを吐出することにより、ワークＳ１の全面に対して接着剤Ｒを塗布する装置である。

真空貼り合せポジション（Ｄ）には、図示はしないが、真空チャンバ及び押圧装置が設けられている。この押圧装置は、真空チャンバ内の減圧空間において、図２８（ｂ）に示すように、上側保持部８１ｃを下方に移動させて、上側保持部８１ｃに保持されたワークＳ２を、下側保持部８１ａに保持されたワークＳ１に押圧することにより、両者を接着剤Ｒを介して貼り合わせることができる。

ターンテーブル８０の回動により、上記のように、投入取出ポジション（Ａ）、位置決めポジション（Ｂ）、接着剤塗布ポジション（Ｃ）、真空貼り合せポジション（Ｄ）を経て、ワークＳ１、Ｓ２の貼り合わせが行われる。そして、投入取出ポジション（Ａ）に戻って来た貼合後のワークＳ１、Ｓ２に対しては、図２９（ａ）に示すように、吸着装置が吸着を解除して、上側保持部８１ｃが上昇する。そして、図２９（ｂ）に示すように、作業員が貼合後のワークＳ１を搬出する。

特許第５０９０５３５号公報

以上のような装置では、ターンテーブル８０における４台の保持装置８１に、それぞれワークＳ１、Ｓ２を順に供給し、位置決め、接着剤塗布、貼合の順に作業を行っている。しかし、かかる構成では、比較的大きなサイズのワークＳ１、Ｓ２の貼り合わせを行う場合に、保持装置８１の大きさも大きくなり、ターンテーブル８０を大型化する必要がある。すると、ターンテーブル８０の回転半径が大きくなり、軸を挟んで対向する保持装置８１の間隔も大きくなり、所要スペースが大幅に拡大する。

また、共通のターンテーブル８０により、全ての保持装置８１を同時に搬送しているため、各ポジションでの処理時間が相違する場合、長い処理時間を要するポジションに律速されてしまい、生産性が低下する。

また、位置決め後、ワークＳ１、Ｓ２を持ち替えることなく押圧するようにしているが、保持装置８１の移動可能な保持部分のがたつき等により、保持されたワークＳ１、Ｓ２の位置ずれが生じやすい。

さらに、接着剤Ｒの塗布厚を均一にするためには、接着剤Ｒを塗布するノズル８３ａに対して、ワークＳ１が平行であることが望ましい。しかし、回転するターンテーブル１上における各保持装置８１の全ての高さを、ノズル８３ａに均一に合わせて、ワークＳ１との平行度を保つことは困難である。

本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたものであり、その目的は、種々の大きさのワークに対応することができ、空間に対する面積率が高く、効率よく積層体を製造して、必要な積層精度を保ちつつ高い生産性が得られる表示装置用部材の製造装置を提供することにある。

（１）上記の目的を達成するため、本発明は、表示装置用部材の積層体となる一対のワークを投入するローディング装置と、前記ローディング装置により投入された一対のワークのうち、少なくとも一方のワークに、接着剤を供給する接着剤供給装置と、前記一対のワークを、接着剤を介して貼り合わせる貼合装置と、前記ローディング装置により投入された一対のワークのうち、一方のワークを受け取る第１の受取位置と、他方のワークを受け取る第２の受取位置と、前記貼合装置に一対のワークを受け渡す受渡位置との間を、回動することにより変位し、一対のワークを離隔して対向した状態で保持する移載装置と、前記移載装置に保持された一対のワークの位置を、前記貼合装置への受け渡し前に検出する検出装置と、を有することを特徴とする。

（２）前記移載装置は、前記回動の中心となる軸が、前記第１の受取位置、前記第２の受取位置、前記受渡位置がそれぞれ存在する同心円の中心であり、前記軸を中心とする円の半径方向に伸びた下アームと、前記下アームの上方に配置され、前記下アームとの相対位置が固定されるとともに、前記軸を中心とする円の半径方向に伸びた上アームと、を有する供給アームを有し、前記供給アームは、前記第１の受取位置において、前記ローディング装置に対して、前記軸を中心とする円の半径方向に往復動をすることにより、前記下アーム及び前記上アームの一方が、一方のワークを受け取り、前記第２の受取位置において、前記ローディング装置に対して、前記半径方向の往復動をすることにより、前記下アーム及び前記上アームの他方が、他方のワークを受け取り、前記受渡位置において、前記貼合装置に対して、前記半径方向の往復動をすることにより、前記下アーム及び前記上アームが一対のワークを受け渡すように構成されていてもよい。

（３）前記検出装置は、前記第２の受取位置において前記供給アームが往復動する前記半径方向に直交する成分を含む方向に往復動し、一対のワークにおける基準点を撮像する撮像部を有し、前記撮像部は、前記供給アームが受け取った一対のワークの間に挿入された前記撮像部の直線移動と、前記供給アームの直線移動とにより、一対のワークにおける基準点の撮像位置に位置決めされてもよい。

（４）前記移載装置は、前記軸を中心として、前記供給アームとともに回動し、前記供給アームの往復動方向と異なる角度の半径方向に往復動して、前記供給アームが前記第１の受取位置又は前記第２の受取位置にあるとき、前記受渡位置に来て、前記貼合装置において貼合された一対のワークを受け取る排出アームを有してもよい。

（５）前記排出アームは、前記供給アームが前記受渡位置にあるとき、前記一対のワークを排出する排出位置に来るように設けられていてもよい。

（６）前記貼合装置は、前記移載装置から受け渡される一対のワークを、離隔した状態で上下に支持する支持部と、前記検出装置により検出された一対のワークの位置に応じて、前記支持部に支持された一対のワークの位置決めを行う位置決め装置と、を有していてもよい。

（７）前記貼合装置は、内部を密閉して排気装置により減圧される真空チャンバを有し、前記真空チャンバには、排気穴が設けられ、前記排気穴に対して接することにより前記真空チャンバと前記排気装置とを接続する接続状態と、前記排気穴から離れて前記真空チャンバと前記排気装置とを分離する非接続状態とを切り換える排気管を有していてもよい。

（８）前記接着剤供給装置は、少なくとも一方のワークに対する相対移動に従って、長手方向が相対移動の方向に対して直交する方向で、且つワークの表面に対して平行な方向のスリットから接着剤を吐出することにより、ワークに対して接着剤を塗布する塗布部を有し、前記塗布部は、スリットの長手方向の長さを変える調整部を有していてもよい。

（９）前記接着剤供給装置は、前記塗布部のスリットのワークの表面に対する傾きを変位させる変位機構を有していてもよい。

（１０）前記接着剤供給装置は、ワークに供給済の接着剤に対して、仮硬化させるエネルギーを照射する照射部を有し、前記照射部によるエネルギーの照射方向は、垂直方向に対して、接着剤の供給位置とは逆方向に傾斜していてもよい。

（１１）前記接着剤供給装置は、一対のワークのそれぞれの片面に、異なる厚さで接着剤を塗布する塗布部を有し、接着剤が塗布されたワークのうち、薄く塗布されたワークを反転させて、接着剤が供給されていない面が保持されるように、前記移載装置に受け渡す反転装置を有してもよい。

（１２）また、本発明の表示装置用部材の製造方法は、接着剤供給装置が、表示装置用部材の積層体となる一対のワークのうち、少なくとも一方のワークの片面の略全面に、接着剤を供給し、移載装置における供給アームが、少なくとも一方のワークに接着剤を供給した一対のワークを、離隔した状態で上下に保持し、検出装置が、供給アームに保持された一対のワークの位置を、一対のワークを積層体とする貼合装置への受け渡し前に検出し、検出装置による位置の検出の間に、移載装置の排出アームが、貼合装置から積層された積層体を受け取り、供給アームが、位置を検出した一対のワークを、貼合装置の支持部へ受け渡し、供給アームによる受け渡しの間に、排出アームが貼合装置から受け取った積層体を、排出位置へ搬送し、貼合装置における支持部が、供給アームから受け渡された一対のワークを、離隔した状態で上下に支持し、貼合装置における位置決め装置が、検出装置により検出された一対のワークの位置に応じて、支持部に支持された一対のワークの位置決めを行い、支持部が、一対のワークを貼り合わせることにより積層することを特徴とする。

以上、説明したように、本発明によれば、種々の大きさのワークに対応することができ、空間に対する面積率が高く、効率よく積層体を製造して、必要な積層精度を保ちつつ高い生産性が得られる表示装置用部材の製造装置を提供することができる。これによって、低コストの表示装置用部材を提供することができ、表示装置を安価に製造することができる。

実施形態の表示装置用部材の製造装置を示す簡略構成図搬送装置を示す簡略縦断面図塗布部及び照射部を示す平面図（ａ）、正面図（ｂ）塗布部による塗布と照射部による照射の態様を示す説明図塗布部の底面図（ａ）、側面図（ｂ）調整部の固定板と可動板を示す分解斜視図調整部における両側の調節機構を示す斜視図開放状態にある貼合装置を示す簡略縦断面図密閉状態にある貼合装置を示す簡略断面図貼合状態にある貼合装置を示す簡略断面図ワークを把持する前の反転装置を示す側面図ワークを把持した反転装置を示す側面図吸着部材による吸着の態様を示す簡略断面図ワークを反転する前の反転装置を示す正面図（ａ）、反転した後の反転装置を示す正面図（ｂ）下アームによるワークの受け取り態様を示す正面図上アームによる反転したワークの受け取り態様を示す正面図移載装置及び貼合装置を示す斜視図移載装置における排出アームによる積層体の受け取り態様を示す斜視図制御装置の構成を示すブロック図積層体の製造手順を示すフローチャート移載装置によるワークの受け取り及び受け渡し態様を示す説明図塗布された接着剤の変動態様を示す説明図上アームによる反転したワークの受け取り態様を示す正面図貼合対象となるワークの例を示す斜視図従来の表示装置用部材の製造装置を示す平面図従来のワークの保持装置を示す斜視図従来の保持装置におけるワークの投入（ａ）とワークの位置検出（ｂ）を示す側面図従来の保持装置におけるワークへの接着剤塗布（ａ）とワークの貼合（ｂ）を示す側面図従来の保持装置におけるワークの吸着解放（ａ）とワークの搬出（ｂ）を示す側面図従来の他の貼合装置を示す縦断面図

本発明の実施の形態（以下、本実施形態と呼ぶ）について、図面を参照して具体的に説明する。

［ワーク］
本装置は、表示装置用部材の積層体を製造する表示装置用部材の製造装置である。表示装置用部材には、表示パネルと保護パネルを積層した部材のように表示機能を備えた部材も、保護パネルとタッチパネルを積層した部材のようにその部材だけでは表示機能を備えていない部材も含まれる。

すなわち、積層の対象となるワークは、表示パネル、タッチパネル、保護パネル、バックライトやその導光板等の様々なものがあるが、本実施形態では、表示パネルと保護パネルとを接着剤を介して貼り合わせることにより、表示装置用部材を構成する例を説明する。以下の説明では、積層の対象となる一対のワークをＳ１、Ｓ２とし、ワークＳ１、Ｓ２を積層した積層体をＺとする。

［構成］
まず、本実施形態の構成を、図１〜図１７を参照して説明する。
［表示装置用部材の製造装置］
図１に示すように、表示装置用部材の製造装置１００は、ローディング装置１、接着剤供給装置２、貼合装置３、反転装置４、移載装置５、検出装置６、制御装置７を有する。表示装置用部材の製造装置１００は、ブース１０１に構成されている。

ローディング装置１は、表示装置用部材の積層体Ｚとなる一対のワークＳ１、Ｓ２を投入する装置である。接着剤供給装置２は、ローディング装置１によって投入されたワークＳ１、Ｓ２のうち、少なくとも一方のワークＳ１に、接着剤Ｒを供給（塗布）する装置である。貼合装置３は、ワークＳ１、Ｓ２を、接着剤Ｒを介して積層することにより、貼り合せる装置である。反転装置４は、接着剤Ｒが供給されたワークＳ１を反転させて、接着剤Ｒが供給されていない面が保持されるように、後述する移載装置５に受け渡す装置である。

移載装置５は、ローディング装置１により投入されたワークＳ２を受け取る第１の受取位置（α）と、ワークＳ１を受け取る第２の受取位置（β）と、ワークＳ１、Ｓ２を貼合装置３に受け渡す受渡位置（γ）との間を、回動することにより変位し、ワークＳ１、Ｓ２を離隔して対向した状態で保持して搬送する装置である。検出装置６は、移載装置５に保持された一対のワークＳ１、Ｓ２の位置を、貼合装置３への受け渡し前に検出する装置である。一対のワークＳ１、Ｓ２の双方の位置を検出することは、両者の相対的な位置関係を検出することになる。制御装置７は、表示装置用部材の製造装置１００の動作を制御する装置である。

ブース１０１は、図１に示すように、上記の各装置の全部若しくは一部を収容した筐体である。このブース１０１は、投入口１０１ａ、１０１ｂ、搬出口１０１ｃを有する。投入口１０１ａ、１０１ｂは、ブース１０１の一側面に設けられ、ワークＳ１、ワークＳ２をブース１０１に入れるための開口である。投入口１０１ａ、１０１ｂは、同一側面の隣接した位置に設けられている。

搬出口１０１ｃは、ブース１０１における投入口１０１ａ、１０１ｂが設けられた側面に直交する側面に設けられ、ワークＳ１、ワークＳ２を積層した積層体Ｚを搬出するための開口である。この搬出口１０１ｃの外部には、ブース１０１から搬出された積層体Ｚが載置される水平方向の台である排出台１０１ｄが設けられている。

［ローディング装置］
ローディング装置１を、図１及び図２を参照して説明する。ローディング装置１は、図１に示すように、搬送装置１Ａ、搬送装置１Ｂを有する。

搬送装置１Ａは、ワークＳ１を搬送する装置である。搬送装置１Ｂは、ワークＳ２を搬送する装置である。搬送装置１Ａにより搬送されるワークＳ１には、後述する接着剤供給装置２によって接着剤Ｒが供給される。

搬送装置１Ａ、搬送装置１Ｂは、平行に隣接して設けられている。搬送装置１ＡへのワークＳ１の投入位置と、搬送装置１ＢへのワークＳ２の投入位置とは、隣接している。なお、これらの投入位置は、それぞれブース１０１の投入口１０１ａ、投入口１０１ｂに対応している。

搬送装置１Ａは、例えば、ステージ１１ａとその駆動機構により構成される。駆動機構は、ステージ１１ａを、投入位置から接着剤供給装置２を経由して後述する反転装置４に達するまでの間を、水平方向に直線状に往復移動させる。ステージ１１ａの上面は、ワークＳ１が載置される水平方向の平坦面を有する。

搬送装置１Ｂは、例えば、ステージ１１ｂとその駆動機構により構成される。駆動機構は、ステージ１１ｂを、投入位置から移載装置５の近傍に達するまでの間を、水平方向に直線状に往復移動させる。ステージ１１ｂの上面は、ワークＳ２が載置される水平方向の平坦面を有する。

なお、ステージ１１ａ、１１ｂを移動させる駆動機構としては、例えば、図２に示すように、図示しない駆動源によって回転するボールねじ１１ｃにより、レール１１ｄに沿ってスライド移動させる機構とすることができる。なお、駆動機構によるステージ１１ａ、１１ｂの移動の開始、停止及び速度は、制御装置７によって制御される。

また、ステージ１１ａ、１１ｂには、ステージ１１ａ、１１ｂ上のワークＳ１、Ｓ２を昇降させる昇降機構が設けられている。この昇降機構としては、例えば、図２に示すように、ステージ１１ａ、１１ｂの表面から出没するピン１２ａ、１２ｂとすることができる。ピン１２ａ、１２ｂは、長尺の棒状であり、それぞれ４本ずつ設けられ、図示しない駆動機構によって突出することにより、ステージ１１ａ、１１ｂ上のワークＳ１、Ｓ２を水平方向に持ち上げることができる。このピン１２ａ、１２ｂの先端、すなわちワークＳ１、Ｓ２と接触する部分は、単に接触するだけの硬質であっても、キズ等を防止すため軟質であっても、接触するだけでなく吸着保持するようになっていてもよい。

さらに、ステージ１１ａ、１１ｂには、図示はしないが、それぞれの上面にワークＳ１、Ｓ２を吸着保持する吸着機構が構成されている。この吸着機構は、例えば、バキュームチャック、静電チャック等を用いることができる。

なお、投入口１０１ａ、１０１ｂから、投入位置にあるステージ１１ａ、１１ｂへのワークＳ１、Ｓ２の載置は、図示しないローダによって行っても、作業員の手作業によって行ってもよい。手作業による場合に、投入口１０１ａ、１０１ｂは隣接しているので、作業がしやすい。

［接着剤供給装置］
接着剤供給装置２を、図３〜７を参照して説明する。本実施形態においては、接着剤供給装置２は、ワークＳ１に接着剤Ｒを塗布（供給）する装置である。使用する接着剤Ｒは、外部からエネルギーの照射により硬化する樹脂である。例えば、紫外線（ＵＶ）硬化樹脂や熱硬化樹脂が考えられる。

この接着剤供給装置２は、図３及び図４に示すように、架台２ａに設置された塗布部２１、変位機構２２、照射部２３を有する。架台２ａは、搬送装置１Ａを跨ぐように設けられた門形状の部材である。塗布部２１、変位機構２２、照射部２３は、この架台２ａに対して、ワークＳ１の上面への接着剤Ｒの塗布とエネルギー照射が可能となるように、以下のように設けられている。

（塗布部）
塗布部２１は、ワークＳ１に接着剤Ｒを塗布する構成部である。この塗布部２１は、例えば、スリットコータを適用することができる。つまり、塗布部２１は、図４に示すように、ステージ１１ａ上に対向するように配置され、ステージ１１ａ上のワークＳ１に対する相対移動に従って、長手方向が相対移動の方向に直交する方向のスリットＬｓから、接着剤Ｒを吐出することにより、ワークＳ１の片面の略全面に対して接着剤Ｒを塗布する。

塗布部２１は、長手方向が、搬送装置１Ａの搬送方向に直交する方向の略直方体形状である。スリットＬｓは、図４及び図５（ａ）に示すように、塗布部２１の底面に形成され、長辺方向が搬送方向に直交し、短辺方向が搬送方向と平行な長方形状の吐出口である。このスリットＬｓの塗布部２１の長辺方向の長さをスリット長さ、短辺方向の長さをスリット幅と呼ぶ。

塗布部２１は、図示しない流路を介して、タンクＴ（図１参照）に接続され、タンクＴから接着剤Ｒの供給を受ける。流路は、配管、バルブ、ポンプ等により、タンクＴの接着剤Ｒを送り出す手段である。

塗布部２１は、図５（ａ）（ｂ）に示すように、基体部２１０、調整部２１３を有する。基体部２１０は、一対の挟持体２１１、２１２を有する。この挟持体２１１、２１２は、略直方体形状の金属製のブロックであり、図６に示すように、それぞれの長手方向の一側面が、後述する調整部２１３の可動板２１５Ａ、２１５Ｂの一部及び固定板２１４を挟んで互いに合わされている。この挟持体２１１、２１２と可動板２１５Ａ、２１５Ｂで基体部２１０の底面に形成される間隙がスリットＬｓとなる。

固定板２１４は、図６に示すように、挟持体２１１、２１２の両側の短辺方向と、上側の長辺方向に沿う略コの字形状のプレートである。可動板２１５Ａ、２１５Ｂは、挟持体２１１、２１２の間における固定板２１４の左右の下端に配設された長方形状のプレートである。固定板２１４と挟持体２１１、２１２および可動板２１５Ａ、２１５Ｂで形成される空間に接着剤Ｒが供給され、スリットＬｓより吐出されることになる。可動板２１５Ａ、２１５Ｂおよび固定板２１４は、その厚さが同じであり、スリット幅を決めるスペーサとなっている。可動板２１５Ａと２１５Ｂの間隔が、スリット長さとなる。

調整部２１３は、スリット長さを変える部材である。スリット長さを変えることにより、調整部２１３は、接着剤Ｒの塗布幅を調整することができる。調整部２１３は、図５及び図７に示すように、上記の可動板２１５Ａ、２１５Ｂに加えて、調節機構２１６Ａ、２１６Ｂを有する。可動板２１５Ａ、２１５Ｂは、搬送方向に直交する方向（塗布部２１の長辺方向）にスライド移動することができる。

調節機構２１６Ａ、２１６Ｂは、可動板２１５Ａ、２１５Ｂの搬送方向に直交する方向の位置を調整することにより、スリット長さを変更する部材である。この調節機構２１６Ａ、２１６Ｂは、図５（ａ）及び図７（ａ）（ｂ）に示すように、基体部２１０の左右の側面に設けられ、それぞれ軸部２１７、可動側取付部２１８、固定側取付部２１９を有する。軸部２１７は、駆動軸２１７ａ、ヘッド２１７ｂを有し、マイクロメータ同様の構造で、ヘッド２１７ｂの回転に応じて駆動軸２１７ａが進退するようになっている。軸部２１７は後述する可動側取付部２１８のスリーブ２１８ａに挿入されている。

図５（ａ）、図７（ａ）（ｂ）に示すように、可動側取付部２１８は、固定側取付部２１９にスライド可能に取り付けられている。固定側取付部２１９は、挟持体２１１、２１２の外側面に固定されたプレートである。固定側取付部２１９の外側端には、軸部２１７の駆動軸２１７ａの先端が当接している。このため、軸部２１７のヘッド２１７ｂを回転させることにより、駆動軸２１７ａの回動に従って、可動側取付部２１８がスリット長さ方向に進退する。

可動板２１５Ａ、２１５Ｂは、複数の取付穴２１５ｈが形成され、この取付穴２１５ｈに挿通された取付ボルト２１８ｂによって、可動側取付部２１８に取り付けられている（図７（ａ）参照）。複数の取付穴２１５ｈのいずれを取り付けに用いるかによって、可動板２１５Ａ、２１５Ｂのスリット長さ方向の位置を変えることができる。また、複数の取付穴２１５ｈは、スリット長さ方向に伸びた長穴であり、これによっても可動板２１５Ａ、２１５Ｂのスリット長さ方向の位置を調整することができる。

前述のように、軸部２１７のヘッド２１７ｂを回転させることにより、スリーブ２１８ａが可動側取付部２１８とともに移動するので、可動側取付部２１８が取り付けられた可動板２１５Ａ、２１５Ｂを移動させることができる。つまり、ヘッド２１７ｂ及び駆動軸２１７ａの回動量によって、スリット長さとなる可動板２１５Ａ、２１５Ｂの間隔を微調整することができる。

（変位機構）
変位機構２２は、塗布部２１に対向するワークＳ１に対して、塗布部２１を接離する方向に変位させる機構である。まず、変位機構２２は、塗布部２１を上下に変位させる昇降機構として機能する。また、変位機構２２は、塗布部２１のスリットＬｓのワークＳ１（又はステージ１１ａ）の表面に対する傾きを変位させる機構として機能する。ここでいう傾きは、ワークＳ１（又はステージ１１ａ）の表面からスリットＬｓまでの鉛直方向の距離が、スリットＬｓの両端において相違することによって生じる傾きである。これを実現するため、変位機構２２は、塗布部２１の一端の支持部２２１を昇降及び回動する主動部とし、他端の支持部２２２を昇降、回動及び摺動する従動部としている。

すなわち、変位機構２２は、図３（ａ）（ｂ）に示すように、ステージ１１ａを挟む左右の上方にそれぞれ設けられた支持部２２１、２２２、ボールねじ２２３Ａ、２２３Ｂ、駆動源２２４Ａ、２２４Ｂ、昇降ステージ２２５Ａ、２２５Ｂ、軸受部２２６、ガイドレール２２７Ａ、２２７Ｂを有する。

支持部２２１、２２２は、塗布部２１の幅方向の両端にそれぞれ設けられた延長部である。支持部２２１は、搬送方向を軸とする軸２２１ａを中心として回動する。また、支持部２２２は、搬送方向を軸とする円柱形状のコロ２２２ａが設けられている。

ボールねじ２２３Ａ、２２３Ｂは、垂直方向に立設されている。駆動源２２４Ａ、２２４Ｂは、ボールねじ２２３Ａ、２２３Ｂを回動させるモータである。昇降ステージ２２５Ａ、２２５Ｂは、ボールねじ２２３Ａ、２２３Ｂに取り付けられ、ボールねじ２２３Ａ、２２３Ｂの回動によって、昇降する部材である。

昇降ステージ２２５Ａには、支持部２２１の軸２２１ａが取り付けられている。昇降ステージ２２５Ｂには、軸受部２２６が設けられている。軸受部２２６は、支持部２２２のコロ２２２ｂが摺動する溝２２６ａが形成されている。溝２２６ａは、塗布部２１の長手方向に形成された直線状の溝である。これにより、コロ２２２ｂは、溝２２６ａをカムとするカムフォロワとして機能する。ガイドレール２２７Ａ、２２７Ｂは、垂直方向に立設され、昇降ステージ２２５Ａ、２２５Ｂの昇降移動をガイドする部材である。

接着剤Ｒの塗布厚は、塗布部２１のスリットＬｓとワークＳ１の表面との距離、接着剤Ｒの吐出量、スリットＬｓとワークＳ１との相対移動速度のいずれか又はこれらの組み合わせによって調整可能である。スリットＬｓとワークＳ１の表面との距離は、ワークＳ１の表面からスリットＬｓまでの鉛直方向の距離、つまり、スリット高さである。変位機構２２は、塗布部２１のスリット高さを、塗布動作中に又はあらかじめ調整することができる。塗布部２１からの接着剤Ｒの吐出量は、制御装置７のバルブ制御、ポンプ制御等によって調節される。

なお、図１に示すように、接着剤供給装置２には、センサ２ｂが設けられている。このセンサ２ｂは、センサ２ｂから検出対象までの距離を検出する検出部である。より具体的には、センサ２ｂからステージ１１ａまでの距離、センサ２ｂからワークＳ１の表面までの距離、センサ２ｂからワークＳ１に塗布された接着剤Ｒの表面までの距離等を検出できる検出装置とする。例えば、レーザセンサを用いることができる。

「センサから」とは、「所定の基準位置から」を意味し、センサ２ｂの距離の演算手法により異なる。例えば、センサ２ｂ下面を所定の基準位置とすることができるが、これには限定されない。このセンサ２ｂは、移動するステージ１１ａ、ワークＳ１、接着剤Ｒまでの距離を継続的に検出することにより、検出対象の傾きや厚さを検出することができる。複数のセンサ２ｂを異なる位置に設けて、それらの検出値を比較することにより、検出対象の傾きや厚さを検出することもできる。

（照射部）
照射部２３は、ワークＳ１に供給済みの接着剤Ｒに対して、仮硬化させるためのエネルギーを照射する構成部である。この照射部２３は、図３（ａ）に示すように、エネルギーを照射する照射源２３１を複数有している。この照射部２３においては、照射源２３１が、ワークＳ１の塗布面に平行であって、幅方向に等間隔で配置されている。照射源２３１としては、複数のＬＥＤやＬＤ、ランプ等を適用することができる。

例えば、接着剤ＲがＵＶ硬化樹脂である場合、照射源２３１はＵＶ（紫外線）光を出力するものとし、照射源２３１からのＵＶ光を、ワークＳ１に塗布された接着剤Ｒに照射する。また、接着剤Ｒが熱硬化樹脂の場合は、照射部２３は、熱源からの熱エネルギーを照射することになる。この場合の照射部２３は、例えば、Ｉｒ（赤外線）を出力するものとすることができる。なお、照射源２３１の配置は、特に限定されない。

照射部２３によるエネルギーの照射は、接着剤Ｒが仮硬化状態となるように行われる。仮硬化とは、完全には至らない硬化状態となることをいう。例えば、完全硬化に必要なエネルギー量より少ないエネルギー量を照射することで、接着剤Ｒを仮硬化状態にできる。弱い強度で照射することや短い時間で照射することにより、接着剤Ｒを仮硬化状態とすることができる。また、ある種のＵＶ硬化樹脂では、大気中でＵＶ照射すると、酸素阻害等により接着剤Ｒの表面の硬化が進まないタイプの仮硬化状態となる。

さらに、図４に示すように、照射部２３によるエネルギーの照射方向は、垂直方向に対して、接着剤Ｒの供給位置とは逆方向に傾斜している。つまり、照射源２３１は、塗布部２１のスリットＬｓとは反対側に傾斜している。また、接着剤Ｒの供給位置と照射部２３との間には、照射源２３１の照射エネルギーを遮る遮蔽板２３２が設けられている。この遮蔽板２３２は、例えば、照射部２３に取り付けられた垂直方向のプレートとすることができる。この遮蔽板２３２によって、照射源２３１の照射エネルギーがスリットＬｓから吐出されている接着剤Ｒに及ばないようになっている。照射部２３によるエネルギー照射のオン、オフ、照射エネルギーの強度は、制御装置７によって制御される。

［貼合装置］
貼合装置３を、図８〜図１０を参照して説明する。貼合装置３は、真空チャンバ３１０、昇降機構３２０、支持部３３０、加圧機構３５０、位置決め装置３６０、減圧装置３７０を有する。

真空チャンバ３１０は、内部を密閉して減圧される容器である。この真空チャンバ３１０は、図８に示すように、上側チャンバ３１１と下側チャンバ３１２により分割構成されている。上側チャンバ３１１は、下側が開口した槽形状であり、下側チャンバ３１２は、上側が開口した槽形状である。上側チャンバ３１１は、上下動が可能であり、下方に移動すると開口縁が、下側チャンバ３１２の開口縁と接することにより、密閉空間を形成する。上側チャンバ３１１が上方に移動すると、内部空間が外部に開放され、ワークＳ１、Ｓ２が搬入可能となる。

昇降機構３２０は、上側チャンバ３１１を昇降させる駆動機構である。この昇降機構３２０としては、駆動ロッドを進退させるシリンダ、モータにより回動するボールねじなどを適用することができる。

支持部３３０は、図８、図９に示すように、後述する移載装置５から受け渡された一対のワークＳ１、Ｓ２を、離隔した状態で上下に支持する部材である。この支持部３３０は、上下に対向配置された上側プレート３３１、下側プレート３３２を有する。

上側プレート３３１は、上側チャンバ３１１の天井側に配設された平板状のプレートである。上側プレート３３１には、図示しない駆動機構によって、上側プレート３３１の表面から出没する４本の吸着ノズル３３１ａが設けられている。この吸着ノズル３３１ａは、図示しない排気装置に接続され、大気開放下において、減圧により、先端の開口がワークＳ１を吸着保持する。

下側プレート３３２は、下側チャンバ３１２の内底部に配設された平板状のプレートである。下側プレート３３２には、図示しない駆動機構によって、下側プレート３３２の表面から出没する４本のピン３３２ａが設けられている。このピン３３２ａは、突出することにより、下側プレート３３２上のワークＳ２を水平方向に持ち上げることができる。このピン３３２ａも吸着ノズル３３１ａと同様に、ノズル状となっていて、図示しない排気装置に接続され、大気開放下において、減圧により、先端の開口がワークＳ２を吸着保持する。また、図示はしないが、下側プレート３３２の上には、ワークＳ１における接着剤Ｒの塗布形状と同形状のゴム、ポリウレタンなどの弾性のあるシートが貼り付けられ、この上にワークＳ２が載置される。

さらに、上側プレート３３１は、図示しない保持機構により、接着剤Ｒの塗布面を下にしてワークＳ１を保持する。下側プレート３３２は、図示しない支持機構により、貼合面を上にしてワークＳ２を支持する。この保持機構及び支持機構としては、本実施形態では、真空チャックを用いる。但し、例えば、静電チャック、メカチャック、真空チャック、粘着チャック等、現在又は将来において利用可能なあらゆる保持や支持のための機構を適用することができる。複数の種類のチャックを併用することも可能である。

加圧機構３５０は、上側プレート３３１を昇降させる駆動機構である。この加圧機構３５０としては、駆動ロッドを進退させるシリンダ、モータにより回動するボールねじなどによって、４本の駆動軸３５０ａを駆動させる機構を適用することができる。

加圧機構３５０によって、図１０に示すように、上側プレート３３１は、下側プレート３３２に接離する方向に移動し、上側プレート３３１に保持されたワークＳ１を下側プレート３３２に支持されたワークＳ２に押し付けて積層し、積層体Ｚが形成される。ワークＳ２は、弾性のあるシートによって支持されているので、さらに均一な圧力を保つことができ、接着剤Ｒの膜厚の均一性を向上させることができる。

なお、加圧機構３５０を、４本の駆動軸３５０ａを独立に駆動させる機構とすれば、制御装置７が、ワークＳ１、Ｓ２の平行度が維持されるように、駆動軸３５０ａの駆動を制御することにより、ワークＳ１とワークＳ２は、ワークＳ１の表面に塗布された接着剤Ｒを介して、接着剤Ｒの膜厚が均一となるように貼り合わせることができる。

位置決め装置３６０は、後述する検出装置６により検出されたワークＳ１、Ｓ２の位置に応じて、支持部３３０に支持されたワークＳ１、Ｓ２の相対位置の位置決めを行う装置である。本実施形態の位置決め装置３６０は、例えば、下側プレート３３２上のワークＳ２を、ＸＹθ方向に移動させる駆動機構により構成できる。この位置決め装置３６０は、下側チャンバ３１２の外底部に設けられ、下側チャンバ３１２とともに又は下側チャンバ３１２から独立して下側プレート３３２を移動させることにより、下側プレート３３２上のワークＳ２を位置決めできる。

さらに、真空チャンバ３１０における下側チャンバ３１２には、排気穴３１２ａが形成されている。この排気穴３１２ａに対向する位置に、図１０に示すように、排気穴３１２ａに接することにより、真空チャンバ３１０と排気ポンプＰとを接続する排気管３７１が設けられている。排気ポンプＰは、真空チャンバ３１０内を減圧する排気装置である。排気管３７１と排気ポンプＰとは、可撓性があり伸縮自在のベローズ３７２を介して接続されている。

なお、排気管３７１は、排気穴３１２ａに対して接離することにより、真空チャンバ３１０と排気ポンプＰとを接続する接続状態と、排気穴３１２ａから離れる非接続状態とを切り換えることができる。より具体的には、排気管３７１は、図示しない昇降機構により昇降可能に設けられ、上昇することにより接続状態となり、下降することにより非接続状態となる。

［反転装置］
反転装置４を、図１１〜図１４を参照して説明する。反転装置４は、搬送装置１Ａの搬送端に配置され、搬送装置１ＡからワークＳ１を受け取る。

この反転装置４は、図１１及び図１２に示すように、反転部材４１０及び駆動機構４２０を有する。反転部材４１０は、プレート４１１、把持部４１２及び開閉駆動部４１３を有する。プレート４１１は、反転の前後において、水平方向となる方形の部材である。把持部４１２は、断面がＬ字形の部材であり、プレート４１１の下面の対向する２辺に、２つずつ、合計４つ配設されている。把持部４１２の水平部分の上部には、図１３に示すように、吸着穴４１２ｂが設けられ、この吸着穴４１２ｂには、それぞれ吸着部材４１２ａが設けられている。吸着部材４１２ａは、ワークＳ１における下面の吸着保持する先端が吸盤状の筒状の弾性部材である。吸着部材４１２ａは、破線で示す吸引用ラインを介して、図示しない排気装置に接続され、ワークＳ１を真空吸着する。把持部４１２の水平部分の上部における吸着穴４１２ｂの周囲には、環状の支持板４１２ｃが設けられている。吸着部材４１２ａの上端は、この支持板４１２ｃから突出しており、吸着部材４１２ａによる吸着時に、支持板４１２ｃはワークＳ１に接して支持する。支持板４１２ｃは、例えば、樹脂製のプレートである。

さらに、把持部４１２は、後述する駆動機構４２０の軸方向に、スライド移動可能に設けられている。開閉駆動部４１３は、把持部４１２をスライド移動させる機構である。この開閉駆動部４１３は、例えば、プレート４１１に固定されたエアシリンダーにより構成できる。

駆動機構４２０は、反転部材４１０を反転及び昇降させる機構である。駆動機構４２０には、図示しない駆動源により回動する軸部４２１が、搬送装置１Ａの搬送方向と平行な方向に設けられている。この軸部４２１の先端には、反転部材４１０のプレート４１１の側縁が取り付けられている。このため、軸部４２１の回動に従って、反転部材４１０も回動する。

この軸部４２１は、図１４（ａ）に示すように、ローディング装置１におけるワークＳ１の搬送方向に直交する方向において、ワークＳ１の中心よりも移載装置５側に寄った位置に設けられている。このため、図１４（ｂ）に示すように、反転部材４１０の反転により、反転部材４１０に吸着保持されたワークＳ１は、搬送装置１Ａの上方から外れる方向に移動される。

さらに、駆動機構４２０は、軸部４２１を昇降させる昇降機構４２２を有する。昇降機構は、例えば、駆動源により回動するボールねじ、このボールねじに取り付けられ、ボールねじの回動によって、昇降するステージ、ステージの移動をガイドするガイドレールにより構成できる。

［移載装置］
移載装置５を、図１、図１５〜図１８、図２１を参照して説明する。この移載装置５は、供給アーム５１０、排出アーム５２０、回動機構５３０を有する。供給アーム５１０は、図１、図２１に示すように、回動の中心となる軸が、第１の受取位置（α）、第２の受取位置（β）、受渡位置（γ）がそれぞれ存在する同心円の中心である。なお、第１の受取位置（α）、第２の受取位置（β）、受渡位置（γ）がそれぞれ存在する同心円は、その半径が共通であっても、相違していてもよい。この供給アーム５１０は、図１５に示すように、下アーム５１１、上アーム５１２、スライド機構５１３を有する。下アーム５１１は、軸を中心とする円の半径方向に伸びた部材である。上アーム５１２は、下アーム５１１の上方に配置され、下アーム５１１との相対位置が固定されるとともに、軸を中心とする円の半径方向に伸びた部材である。

供給アーム５１０は、図２１（ａ）に示すように、第１の受取位置（α）において、ローディング装置１における搬送装置１Ｂに対して、軸を中心とする円の半径方向に往復動をすることにより、下アーム５１１が、ワークＳ２を受け取る。また、供給アーム５１０は、図２１（ｂ）に示すように、第２の受取位置（β）において、ローディング装置１における搬送装置１Ａに対して、半径方向の往復動をすることにより、上アーム５１２が、ワークＳ１を受け取る。さらに、供給アーム５１０は、図２１（ｄ）に示すように、受渡位置（γ）において、貼合装置３に対して、半径方向の往復動をすることにより、下アーム５１１及び上アーム５１２が、ワークＳ１、Ｓ２を受け渡すように構成されている。

より具体的には、図１５に示すように、第１の受取位置（α）において、下アーム５１１は搬送装置１Ｂの搬送端に向かって伸びた水平方向の細い板状の部材である。この下アーム５１１の長手方向の一端側の上面には、４つの吸着部材５１１ａが設けられている。吸着部材５１１ａは、ワークＳ２における下面を吸着保持する部材である。この吸着部材５１１ａは、上記の反転装置４の把持部４１２に設けられた吸着部材４１２ａと同様の構成である。つまり、下アーム５１１の上面には、図示しない吸着穴が設けられ、この吸着穴に、それぞれ吸着部材５１１ａが設けられている。吸着部材５１１ａは、ワークＳ２における下面を吸着保持する先端が吸盤状の筒状の弾性部材である。吸着部材５１１ａは、図示しない吸引用ラインを介して排気装置に接続され、ワークＳ２を真空吸着する。下アーム５１１の上面における吸着穴の周囲には、環状の支持板５１１ｃが設けられている。吸着部材５１１ａの上端は、この支持板５１１ｃから突出しており、吸着部材５１１ａによる吸着時に、支持板５１１ｃはワークＳ２に接して支持する。支持板５１１ｃは、例えば、樹脂製のプレートである。

上アーム５１２は、下アーム５１１の上面に、一体的に立設された断面Ｌ字状の部材である。この上アーム５１２は、下アーム５１１から立ち上がった垂直部分と、下アーム５１１と平行な水平部分とを有する。そして、上アーム５１２の水平部分は下アーム５１１の上方にあって対向している。上アーム５１２の水平部分における下アーム５１１に対向する面には、４つの吸着部材５１２ａが設けられている。吸着部材５１２ａは、上記の反転装置４の把持部４１２に設けられた吸着部材４１２ａと同様の構成である。つまり、上アーム５１２の下面には、図示しない吸着穴が設けられ、この吸着穴に、それぞれ吸着部材５１２ａが設けられている。吸着部材５１２ａは、ワークＳ１における上面を吸着保持する先端が吸盤状の筒状の弾性部材である。吸着部材５１２ａは、図示しない吸引用ラインを介して排気装置に接続され、ワークＳ１を真空吸着する。上アーム５１２の下面における吸着穴の周囲には、環状の支持板５１２ｃが設けられている。吸着部材５１２ａの下端は、この支持板５１２ｃから突出しており、吸着部材５１２ａによる吸着時に、支持板５１２ｃはワークＳ１に接して支持する。支持板５１２ｃは、例えば、樹脂製のプレートである。

スライド機構５１３は、下アーム５１１を支持し、この下アーム５１１と互いに一体となり、相対位置が固定されている上アーム５１２とともに、軸を中心とする円の半径方向にスライド移動させる機構である。スライド機構５１３としては、例えば、駆動源によって回転するボールねじによって、ガイドに沿ってスライド移動させる機構とすることができる。なお、上記のように、第１の受取位置（α）、第２の受取位置（β）、受渡位置（γ）の半径方向距離は、同じであっても、相違していてもよい。これらの半径方向距離に応じて、スライド移動する距離を制御すればよい。但し、同距離に配置したほうが構成、制御を簡素にすることができる。

排出アーム５２０は、図１、図１７、図１８、図２１に示すように、軸を中心として、供給アーム５１０とともに回動し、供給アーム５１０の往復動方向と直交する半径方向に往復動して、貼合装置３において貼合されて積層体ＺとなったワークＳ１、Ｓ２を受け取る部材である。

排出アーム５２０は、アーム５２１、スライド機構５２２を有する。アーム５２１は、受渡位置（γ）において、貼合装置３に向かって延びた水平方向の細い板状の部材である。このアーム５２１の長手方向は、供給アーム５１０の上アーム５１２及び下アーム５１１の長手方向に直交する方向となっている。このアーム５２１の長手方向の一端側の上面には、４つの吸着部材５２１ａが設けられている。吸着部材５２１ａは、積層体Ｚの下面を吸着保持する部材である。

スライド機構５２２は、アーム５２１を支持し、水平方向にスライド移動させる機構である。スライド機構５２２としては、例えば、駆動源によって回転するボールねじによって、ガイドに沿ってスライド移動させる機構とすることができる。

回動機構５３０は、図１７に示すように、スライド機構５１３及びスライド機構５２２を支持し、スライド機構５１３とスライド機構５２２とともに、供給アーム５１０及び排出アーム５２０の相対的な角度を維持したまま、供給アーム５１０及び排出アーム５２０を同軸且つ同時に回動させる機構である。回動機構５３０は、上面にスライド機構５１３及びスライド機構５２２が取り付けられ、駆動源の回動軸により回動する基台５３１を有する。

図２１（ｂ）（ｃ）に示すように、供給アーム５１０が第２の受取位置（β）にあるとき、排出アーム５２０は、受渡位置（γ）に来て、貼合装置３にて積層された積層体Ｚを、受け取る。図２１（ｄ）に示すように、供給アーム５１０が受渡位置（γ）にあるとき、排出アーム５２０は、排出位置（ｅ）に来て、積層体Ｚを排出台１０１ｄに排出する。この排出台１０１ｄからの積層体Ｚの搬出は、図示しないアンローダによって行っても、作業員の手作業によって行ってもよい。

［検出装置］
検出装置６を、図１、図１７、図２１を参照して説明する。この検出装置６は、図１及び図２１（ｃ）に示すように、第２の受取位置（β）において供給アーム５１０が往復動する半径方向に直交する方向に往復動し、ワークＳ１、Ｓ２における基準点を撮像する撮像部であるカメラ６１０、６２０を有する。このカメラ６１０、６２０は、供給アーム５１０が受け取ったワークＳ１、Ｓ２の間に挿入されたカメラ６１０、６２０の直線移動と、供給アーム５１０の直線移動とにより、ワークＳ１、Ｓ２の基準点の撮像位置に位置決めされる。なお、このカメラの直線移動は、供給アーム５１０が往復動する半径方向に直交する成分を含んでいればよく、必ずしも直交している必要はない。

カメラ６１０、６２０は、図１７に示すように、上下に一対配置されている。下方に配置されたカメラ６１０は、レンズ面が下方を向いていて、下方のワークＳ２の基準点を撮像する。上方に配置されたカメラ６２０は、レンズ面が上方を向いていて、上方のワークＳ１の基準点を撮像する。基準点は、例えば、ワークＳ１、Ｓ２のコーナー若しくはワークＳ１、Ｓ２に付されたマークである。

また、検出装置６は、アーム６３０、スライド機構６４０を有する。アーム６３０は、水平方向の長尺の部材であり、先端にカメラ６１０、６２０が取り付けられている。アーム６３０の他端は、スライド機構６４０に支持されている。スライド機構６４０は、アーム６３０とともに、カメラ６１０、６２０を水平方向にスライド移動させる機構である。スライド機構６４０としては、例えば、駆動源によって回転するボールねじによって、ガイドに沿ってスライド移動させる機構とすることができる。

スライド機構６４０によって、カメラ６１０、６２０は、水平方向に移動することにより、ワークＳ１とワークＳ２との間に出し入れされる。カメラ６１０、６２０の撮像は、制御装置７によって制御される。

［制御装置］
本実施形態の制御装置７は、特に、移載装置５によって、搬送装置１Ａ、１ＢからワークＳ１、Ｓ２を受け取った後、貼合装置３へ受け渡すまでの間に、ワークＳ１、Ｓ２の相対位置のずれを検出して、貼合装置３においてずれを補正した状態で貼合するように、各部の動作を制御する。

制御装置７は、例えば、専用の電子回路若しくは所定のプログラムで動作するコンピュータ等によって実現できる。この制御装置７の制御による各部の動作の詳細は、本実施形態の作用として後述する。

このような制御を実現するための制御装置７の構成を、仮想的な機能ブロック図である図１９を参照して説明する。すなわち、制御装置７は、機構制御部７０、記憶部７１、位置検出部７２、調整部７３、入出力制御部７４を有する。なお、オペレータが、制御装置７を操作するためのスイッチ、タッチパネル、キーボード、マウス等の入力装置については、説明を省略する。

機構制御部７０は、搬送装置１Ａ、１Ｂ、接着剤供給装置２、貼合装置３、反転装置４、移載装置５、検出装置６における各機構の駆動源、バルブ、排気装置、照射源等の出力及びその変更タイミング、オンオフ及びその切替タイミング等を制御する処理部である。

記憶部７１は、検出装置６によって撮像された画像、抽出した基準点、算出された調整量、センサ２ｂの検出値、これらに基づく制御量等の各種のデータ、設定値のように、本装置の処理に必要な情報を記憶する処理部である。

位置検出部７２は、検出装置６によって撮像された画像から、ワークＳ１、Ｓ２の位置を検出する処理部である。この位置の検出は、周知の技術を適用可能である。例えば、検出装置６によって撮像された画像から、基準点を抽出することにより行う。

調整部７３は、検出されたワークＳ１、Ｓ２の位置から、両ワークＳ１、Ｓ２の位置を一致させるための調整量を算出する処理部である。この調整量の算出は、周知の技術を適用可能である。例えば、位置検出部７２によって抽出されたワークＳ１の４点の基準点、Ｓ２の４点の基準点を一致させるために、ワークＳ１、Ｓ２の一方がＸＹθ方向に変位すべき量を算出する。

入出力制御部７４は、制御対象となる各部との間での信号の変換や入出力を制御するインタフェースである。なお、制御装置７には、装置の状態を確認するためのディスプレイ、ランプ、メータ等の出力装置７５が接続されている。検出装置６により撮像された画像、位置検出部７２により抽出された基準点、調整部７３により算出された調整量等を、出力装置７５に表示してもよい。

［作用］
以上のような構成を有する本実施形態の作用を、図１〜図１９に加えて、図２０〜図２２を参照して説明する。

［積層体の製造］
本実施形態による積層体の製造方法を説明する。なお、図２０は製造手順を示すフローチャート、図２１は移載装置５の動作を示す説明図である。

［概要］
まず、処理の概要を、図２０のフローチャートを参照して説明する。図１に示すように、投入口１０１ａからステージ１１ａに載せられたワークＳ１を、搬送装置１Ａが搬送することにより、装置内へ投入する（ステップ１０１）。この搬送途中において、センサ２ｂによって、ステージ１１ａの表面までの距離とワークＳ１の表面までの距離が検出され、制御装置７においてワークＳ１の厚さが算出される（ステップ１０２）。

算出されたワークＳ１の厚さから、所定の塗布厚および塗布厚の均一性が得られる平行度となるように、変位機構２２によって塗布部２１のスリット高さ、スリット傾きの調整であるアライメントが行われる（ステップ１０３）。そして、図４に示すように、搬送装置１Ａによる搬送過程で、塗布部２１が、スリットＬｓから接着剤Ｒを吐出することにより、ワークＳ１に接着剤Ｒを塗布する（ステップ１０４）。

塗布された接着剤Ｒには、照射部２３がエネルギーを照射することにより、仮硬化処理が行われる（ステップ１０５）。搬送装置１Ａの搬送端においては、反転装置４が、ワークＳ１を反転させることにより、ワークＳ１の接着剤Ｒが塗布された面を下方にする（ステップ１０６）。

一方、図１に示すように、投入口１０１ｂからステージ１１ｂに載せられたワークＳ２を、搬送装置１Ｂが搬送することにより、装置内へ投入する（ステップ１０７）。ワークＳ２は、搬送装置１Ｂの搬送端まで搬送される（ステップ１０８）。図２１（ａ）に示すように、移載装置５の供給アーム５１０は、搬送装置１Ｂの搬送端に向かう第１の受取位置（α）にあり、下アーム５１１が、搬送装置１ＢからワークＳ２を受け取る（ステップ１０９）。

供給アーム５１０は、図２１（ｂ）に示すように、反転装置４に向かう第２の受取位置（β）に回動して（ステップ１１０）、上アーム５１２が、反転装置４により反転されたワークＳ１を受け取る（ステップ１１１）。これにより、図１６及び図１７に示すように、ワークＳ１、Ｓ２は、上アーム５１２及び下アーム５１１に保持され、離隔して対向する状態となる。

このワークＳ１とワークＳ２との間に、図１７に示すように、検出装置６を挿入し、カメラ６１０、６２０による基準点の撮像を行う。撮像された画像に基づいて、制御装置７において、ワークＳ１とワークＳ２が所定の位置関係となるようアライメント（位置決め）のための調整量が決定される（ステップ１１２）。

移載装置５の供給アーム５１０は、図２１（ｄ）に示すように、貼合装置３に向かう受渡位置（γ）に回動して（ステップ１１３）、貼合装置３に、ワークＳ１、Ｓ２を受け渡す（ステップ１１４）。貼合装置３においては、受け渡されたワークＳ２を、調整量に基づいて、位置決め装置３６０によって、ワークＳ１に対して位置決めを行う（ステップ１１５）。そして、ワークＳ１とワークＳ２とを、接着剤Ｒを介して貼り合わせる（ステップ１１６）。一方、供給アーム５１０は、貼合装置３にワークＳ１、Ｓ２を受け渡すと、次のワークＳ２を受け取る第１の受取位置（α）に回動する（ステップ１１７）。

なお、ステップ１１１で、供給アーム５１０がワークＳ１を受け取る時、排出アーム５２０は、受渡位置（γ）にある。ここで、排出アーム５２０は、貼合装置３において貼合済のワークＳ１、Ｓ２である積層体Ｚを受け取る（ステップ１１８）。

また、ステップ１１２で、供給アーム５１０がワークＳ１、Ｓ２を貼合装置３に受け渡す時、排出位置（ｅ）にある排出アーム５２０によって、積層体Ｚが、搬出口１０１ｃから排出台１０１ｄに排出される（ステップ１１９）。さらに、ステップ１１３で、貼合装置３においてワークＳ１、Ｓ２が貼り合わされている時に、排出台１０１ｄ上の積層体Ｚは、外部に搬出される（ステップ１２０）。以上のような手順によって、一対のワークＳ１、Ｓ２の積層が終了する。なお、このような積層体Ｚにおける接着剤Ｒは、硬化装置によって本硬化させる。

［接着剤塗布］
次に、各装置における処理の詳細を説明する。まず、接着剤供給装置２による接着剤Ｒの塗布は、以下のように行う。

（塗布幅の調整）
調整部２１３による塗布幅の調整手順を説明する。まず、図７に示すように、調整部２１３における可動板２１５Ａ、２１５Ｂの取付穴２１５ｈのうち、いずれを取付ボルト２１８ｂによる可動側取付部２１８との取り付けに用いるかによって、可動板の２１５Ａ、２１５Ｂの間隔、つまり、塗布部２１の下部の吐出口であるスリットＬｓの長手方向の塗布幅を、大まかに決定することができる。さらに、調節機構２１６Ａ、２１６Ｂのヘッド２１７ｂを回して駆動軸２１７ａを回動させると、可動板２１５Ａ、２１５Ｂが水平方向に移動する。これにより、可動板２１５Ａ、２１５Ｂの間隔を微調整できる。このように、ワークＳ１の幅及び所望の塗布幅に合わせて、スリット長さを調整する。なお、ワークＳ１の幅方向の位置に応じて、可動板２１５Ａ、２１５Ｂの位置を変えることにより、スリットＬｓのスリット長さ方向の位置も決定する。

（塗布部の高さ及び傾き調整）
スリットコータである塗布部２１の高さ及び傾きの調整方法を説明する。図３に示す変位機構２２の駆動源２２４Ａ、２２４Ｂを作動させることにより、塗布部２１を昇降させることができる。つまり、駆動源２２２Ａ、２２４Ｂを同時に作動させて左右のボールねじ２２３Ａ、２２３Ｂを同量回動させると、昇降ステージ２２５Ａ、２２５Ｂが昇降するので、塗布部２１の高さを変えることができる。これにより、センサ２ｂにより検出されたワークＳ１の厚さ、所望の接着剤Ｒの塗布厚等に応じて、塗布部２１のスリットＬｓの高さを調節する。

また、変位機構２２は、駆動源２２４Ａ、２２４Ｂの作動により、塗布部２１の傾きを変えることができる。つまり、駆動源２２４Ａ、２２４Ｂの作動方向、作動量を異なるものとする。すると、左右の昇降ステージ２２５Ａ、２２５Ｂの移動方向、移動量又は移動の有無が相違することになるので、高さに相違が生じて、塗布部２１に傾きが生じる。

より具体的には、左右の昇降ステージ２２５Ａ、２２５Ｂを逆に動かす、両者を異なる移動量で動かす又は一方のみを動かすことにより、塗布部２１が軸２２１ａを中心に回動し、コロ２２２ｂが溝２２６ａ内を摺動する。このため、塗布部２１の角度が変わり、スリットＬｓが傾斜する。これにより、センサ２ｂによって検出されたステージ１１ａ又はワークＳ１の傾きに、塗布部２１のスリットＬｓの傾きを合わせる。なお、あらかじめステージ１１ａの傾きを、センサ２ｂによって測定して、これに塗布部２１のスリットＬｓの傾きを合わせるように調整しておき、塗布毎の調整は省略することもできる。

さらに、塗布部２１は、使用前の準備として、接着剤Ｒを内部に充填させる必要がある。塗布部２１内に気体が残っていると、接着剤ＲのワークＳ１への塗布時に、所望の吐出圧力を安定的に得ることができない。接着剤Ｒを内部に充填させるときに、塗布部２１が水平であると、塗布部２１内よりスムーズに空気が排出されない。本実施形態では、上記のように、塗布部２１を傾斜させてスリットＬｓを傾けることにより、接着剤ＲがスリットＬｓ内に行き渡りながら一端側に流れるので、気体をまとめて速やかに排出しつつ、接着剤Ｒを内部に充填することができる。このため、塗布部２１内に気体が残り難く、接着剤ＲのワークＳ１への塗布時に、所望の吐出圧力を安定的に得ることができる。

（接着剤の塗布）
以上のような塗布部２１による接着剤Ｒの塗布の手順を、図４を参照して以下に説明する。まず、搬送装置１Ａのステージ１１ａが塗布開始位置に来ることにより、待機高さにある塗布部２１のスリットＬｓが、ワークＳ１の塗布開始端の直上に位置付けられる。そして、塗布部２１が、塗布する高さ（スリット高さ）への下降を開始する。

塗布部２１が塗布する高さまで達して停止した後、塗布部２１のスリットＬｓからの接着剤Ｒの吐出を開始すると、接着剤ＲがワークＳ１に供給される。これと同時に、ステージ１１ａが塗布方向への移動を開始するので、ワークＳ１の表面への接着剤Ｒの塗布が開始する。なお、塗布中においても、変位機構２２は、センサ２ｂにより検出されたワークＳ１の厚さ、所望の接着剤Ｒの塗布厚等に応じて、塗布部２１のスリットＬｓの高さ、傾きを調節してもよいし、塗布開始端の状態のみで調整してもよい。

ステージ１１ａの移動により、ワークＳ１に塗布された接着剤Ｒの塗布開始端が、照射部２３の直上に到達すると、照射部２３は、エネルギーの照射を開始する。

塗布部２１がワークＳ１の塗布終端の直上に到達すると、ステージ１１ａは一旦停止する。この時、塗布部２１は、接着剤Ｒの吐出を停止する。このように塗布部２１に対して、ステージ１１ａが停止した状態で、塗布部２１は上昇して待機高さで停止する。塗布部２１は、既に接着剤Ｒの吐出を停止していているので、塗布部２１が待機高さに達するまでの間のいずれかの時点で、ワークＳ１側とスリットＬｓ側に接着剤Ｒが切り離される。ステージ１１ａの停止中は、照射部２３は照射を停止する。

接着剤Ｒが確実に切れたタイミングで、ステージ１１ａは再び移動を開始する。照射部２３は照射を開始して、照射部２３が塗布端に達した時点で、照射部２３は照射を停止する。

以上のように接着剤Ｒが塗布され、仮硬化されたワークＳ１は、ステージ１１ａ上を搬送されて、搬送端において、反転装置４へ受け渡される。

（接着剤の流動態様の概要）
ところで、発明者が接着剤Ｒの流動を精査したところ、以下のような現象が生じていることが判明した。接着剤ＲがワークＳ１上に平面状に塗布された場合、その塗布された接着剤Ｒの端部は、時間とともにその形状が変化する。特に、接着剤Ｒが矩形状に塗布された場合、その端部である４辺の形状が、塗布された時から変化する。

この時、ワークＳ１と接触する塗布部分に対向する接着剤Ｒの表面側、つまり貼合面となる上面側の形状が主に変化する。この変化は、塗布直後から始まり、一定の時間で収束する。この収束までの時間は、接着剤Ｒの状態（粘度、厚さ、塗布直後の形状等）によって変動する。

より具体的には、接着剤Ｒを吐出する塗布部２１のノズルとワークＳ１とを相対的に移動させて、ワークＳ１表面に接着剤Ｒを塗布する場合、塗布直後、つまりワークＳ１の表面に接着剤Ｒが接触した直後の接着剤Ｒにおける塗布の始端の表面は、図２２の（ａ）に示すように、ワークＳ１と接着剤Ｒの接触部分をアンカーにして、塗布部２１が移動する方向に引かれて緩やかに傾斜した曲率半径の大きな曲面ｒ１が生じる。

同時に、接着剤Ｒには、始端方向、つまり始端での外縁に向かう方向に表面張力が働く。塗布部２１が離れるに従って引っ張られる力が弱くなり、代わりに表面張力が強く働くので、図２２の（ｂ）に示すように、表面の断面縁部の角部の曲率半径が最小となる略直角近くまで接着剤Ｒが流動し、接着剤Ｒの表面のうち、ワークＳ２との貼合面に、ワークＳ１の表面と略平行な平坦面ｒ２が生じる。この平坦面ｒ２が生じる時点が第１のタイミングである。

その後、時間の経過に従って、図２２の（ｃ）に示すように、表面張力により、断面角部の接着剤Ｒがさらに外縁に向かう方向とは逆となる内側に移動して、平坦面ｒ２と異なる高さの隆起ｒ３が生じる。このとき、一部に窪みが生じる場合もある。このように接着剤Ｒに隆起、窪みの少なくとも一方が生じた状態を、崩れと呼ぶ。この崩れが生じる時点が第２のタイミングである。この第２のタイミングが過ぎた後も崩れはしばらく続いて収束する。

このような崩れが生じた状態で貼り合わせを行うと、図２２の（ｄ）に示すように、ボイドＢが生じやすい。このため、第２のタイミングより早いタイミングで仮硬化を行うことにより、ボイドＢを防止できる。従って、照射部２３による照射タイミングを、このようなタイミングとすることにより、塗布面の均一を維持できる。

（ワークＳ１の反転）
反転装置４によるワークＳ１の反転手順を、図１１〜図１４を参照して説明する。まず、図１１に示すように、搬送装置１Ａの搬送端において、反転装置４の対向する把持部４１２は、ワークＳ１の幅よりも、広い間隔で離れて待機している。搬送装置１Ａの搬送端では、ステージ１１ａから上方に突出するピン１２ａによって、ステージ１１ａ上のワークＳ１が持ち上げられる。これにより、ワークＳ１の下面側に空間が形成される。この状態で、反転装置４の対向する把持部４１２の間に、ワークＳ１が入る。開閉駆動部４１３は、対向する把持部４１２をスライド移動させて、ワークＳ１の下部に、把持部４１２の水平部分を潜り込ませる。そして、図１２、図１３（ａ）に示すように、ピン１２ａが下降することにより、ワークＳ１から退避すると、ワークＳ１は把持部４１２に受け渡される。この時、下降したワークＳ１の下面を、吸着部材４１２ａが吸着保持する。排気装置による排気によって吸着部材４１２ａがワークＳ１を真空吸着すると、図１３（ｂ）に示すように、吸着部材４１２ａはワークＳ１を吸引しつつ収縮することにより吸着穴４１２ｂに埋没して、ワークＳ１は把持部４１２の支持板４１２ｃに密着する。このように、支持板４１２ｃがワークＳ１に密着して支持することにより、摩擦力で水平方向のずれが抑制され、上下方向も固定される。また、ワークＳ１の損傷も防止される。

このようにワークＳ１が保持された状態で、図１４（ａ）に示すように、駆動機構４２０が作動して、軸部４２１を１８０°回動させる。すると、図１４（ｂ）に示すように、ワークＳ１の上下の面が反転して、接着剤Ｒの塗布面が下方に来て、接着剤Ｒが塗布されていない面が上方になる。また、ワークＳ１の反転により、ワークＳ１は、搬送装置１Ａの上方から外れる。これにより、移載装置５に受け渡し可能な状態となる。

（ワークＳ２の搬送）
一方、ワークＳ２は、搬送装置１Ｂにより搬送され、移載装置５の近傍まで達する。なお、ワークＳ１、ワークＳ２が長方形状である場合、ワークＳ２の長辺方向が、ワークＳ１の長辺方向と直交する方向となるように投入され、そのまま搬送装置１Ｂによって搬送される。

（移載装置によるワークＳ１、Ｓ２の保持）
次に、移載装置５によるワークＳ１、Ｓ２の貼合装置３への移載方法を、図１５〜図１７、図２１を参照して説明する。

まず、図２１（ａ）に示すように、移載装置５の供給アーム５１０は、搬送装置１Ｂの搬送端に向かう第１の受取位置（α）にある。搬送装置１Ｂの搬送端においては、図１５に示すように、ステージ１１ｂから上方に突出したピン１２ｂによって、ステージ１１ｂ上のワークＳ２が持ち上げられる。これにより、ワークＳ２の下面側に空間が形成される。

この状態で、供給アーム５１０が搬送装置１Ｂ側に接近する方向に移動すると、ワークＳ２の下方に下アーム５１１が入る。そして、ピン１２ｂが下降することにより、ワークＳ２から退避すると、ワークＳ２は下アーム５１１に受け渡される。下降したワークＳ２の下面を、吸着部材５１１ａが吸着保持する。排気装置による排気によって吸着部材５１１ａがワークＳ２を真空吸着すると、吸着部材５１１ａはワークＳ２を吸引しつつ収縮することにより吸着穴に埋没して、ワークＳ２は支持板５１１ｃに密着する。このように、支持板５１１ｃがワークＳ２に密着して支持することにより、摩擦力で水平方向のずれが抑制され、上下方向も固定される。

次に、供給アーム５１０は、図２１（ｂ）に示すように、反転装置４に向かう第２の受取位置（β）に回動する。そして、図１６に示すように、供給アーム５１０が、反転装置４に接近する方向に移動すると、ワークＳ１の上方に、上アーム５１２が来る。反転装置４は、昇降機構４２２によってワークＳ１を上昇させて、ワークＳ１の上面を、吸着部材５１２ａに吸着させる。さらに、把持部４１２の排気装置が排気を停止し、吸着部材４１２ａによる真空吸着を解除する一方、排気装置による排気によって吸着部材５１２ａがワークＳ１を真空吸着する。このようにしてワークＳ１は上アーム５１２に受け渡される。吸着部材５１２ａはワークＳ１を吸引しつつ収縮することにより吸着穴に埋没して、ワークＳ１は支持板５１２ｃに密着する。このように、支持板５１２ｃがワークＳ１に密着して支持することにより、摩擦力で水平方向のずれが抑制され、上下方向も固定される。吸着後、把持部４１２は、開閉駆動部４１３によってスライド移動して、ワークＳ１から退避する。

これにより、ワークＳ１、Ｓ２は、貼り合わせ面を対向させて、離隔した状態で保持される。そして、供給アーム５１０が移載装置５の軸側に移動すると、反転装置４からワークＳ１、Ｓ２が離れる。

（検出装置による位置検出）
検出装置６によるワークＳ１、Ｓ２の位置検出手順を、図１、図１７、図２１（ｃ）を参照して説明する。図１、図１７と同様に、図２１（ｃ）において、検出装置６のカメラ６１０、６２０が直線移動する方向をＸ方向、供給アーム５１０が直線移動する方向をＹ方向とする。まず、検出装置６のアーム６３０は、供給アーム５１０に接近するＸ方向に移動する。これにより、カメラ６１０、６２０は、ワークＳ１、Ｓ２の間に入る。アーム６３０がＸ方向の位置を変えることにより、カメラ６１０、６２０が、ワークＳ１、Ｓ２の一辺側の基準点を撮像する。

次に、供給アーム５１０が、アーム６３０の移動方向に直交するＹ方向に位置を変えてから、アーム６３０がＸ方向に位置を変えることにより、カメラ６１０、６２０が、ワークＳ１、Ｓ２の対向する一辺側の基準点を撮像する。つまり、検出装置６のカメラ６１０、６２０はＸ方向の直線移動を担当し、供給アーム５１０はＹ方向の直線移動を担当して、両者が協働することにより、カメラ６１０、６２０の撮像位置を、ワークＳ１、Ｓ２の基準点に対して位置決めして撮像する。

このように、検出装置６によって撮像された画像から、位置検出部７２は、ワークＳ１、Ｓ２のそれぞれの４つの基準点を抽出する。調整部７３は、位置検出部７２によって抽出されたワークＳ１の４点とワークＳ２の４点が、所定の相対位置関係になるように、ワークＳ１、Ｓ２の一方がＸＹθ方向に変位すべき調整量を算出する。なお、検出する基準点は、４点には限定されない。

（移載装置によるワークＳ１、Ｓ２の受け渡し）
移載装置５による貼合装置３へのワークＳ１、Ｓ２の受け渡し方法を、図８、図２１（ｄ）を参照して説明する。供給アーム５１０は、貼合装置３に向かう受渡位置（γ）に回動する。そして、供給アーム５１０が貼合装置３に接近する方向に移動して、ワークＳ１、Ｓ２が、貼合装置３の上側プレート３３１と、下側プレート３３２との間に挿入される。

上側プレート３３１表面からは、吸着ノズル３３１ａが突出して、上アーム５１２に吸着保持されている状態のワークＳ１を吸着保持する。そして、上アーム５１２の排気装置が排気を停止し、吸着部材５１２ａによる真空吸着を解除するとともに吸着ノズル３３１ａが下降し、ワークＳ１が吸着部材５１２ａから離れる。また、下側プレート３３２の表面からピン３３２ａが突出して、下アーム５１１に吸着保持されている状態のワークＳ２に接触し、排気装置により吸着保持する。そして、下アーム５１１の排気装置が排気を停止し、吸着部材５１１ａによる真空吸着を解除するとともにピン３３２ａが上昇し、ワークＳ２を吸着保持しつつ持ち上げる。この状態で、供給アーム５１０が、貼合装置３から離れる方向に移動して、ワークＳ１、Ｓ２から退避する。そして、吸着ノズル３３１ａが上昇して、上側プレート３３１が、保持機構によりワークＳ１を保持する。また、ピン３３２ａが下降して、下側プレート３３２にワークＳ２が載置され、支持機構によりワークＳ２が支持される。例えば、保持機構及び支持機構が真空チャックの場合には、ワークＳ１は上側プレート３３１に、ワークＳ２は下側プレート３３２に真空吸着される。なお、真空チャック以外の機構を適用した場合にも、ワークＳ１は上側プレート３３１に、ワークＳ２は下側プレート３３２に保持される。このように、移載装置５から貼合装置３へワークＳ１、Ｓ２を受け渡す際に、吸着部材５１２ａと吸着ノズル３３１ａによりワークＳ１を同時に吸着保持し、吸着部材５１１ａとピン３３２ａによりワークＳ２を同時に吸着保持してから、吸着部材５１２ａ、５１１ａの吸着を解除して受け渡すので、受け渡しにおける位置ずれを抑制できる。

（ワークＳ１、Ｓ２の貼り合わせ）
貼合装置３におけるワークＳ１、Ｓ２の貼り合わせ方法を、図９及び図１０を参照して説明する。位置決め装置３６０は、調整部７３によって算出された調整量に基づいて、ワークＳ２を、ワークＳ１と所定の位置関係となるように、ＸＹθ方向に変位させる。つまり、位置決め装置３６０は、下側チャンバ３２１とともに又は下側チャンバ３２１とは独立に下側プレート３３２を移動させて、下側プレート３３２に支持されたワークＳ２を、ワークＳ１に対して位置決めする。そして、図９に示すように、昇降機構３２０が、上側チャンバ３１１を下降させることにより、上側チャンバ３１１の開口縁と下側チャンバ３１２の開口縁が接して、真空チャンバ３１０が密閉される。

さらに、排気管３７１が上昇することにより、下側チャンバ３１２の排気穴３１２ａに接続される。この状態で、排気ポンプＰを作動させることにより、貼り合せ面に気泡となる可能性のある気体が十分に少なくなるまで、真空チャンバ３１０内の真空引きを行う。そして、図１０に示すように、加圧機構３５０によって上側プレート３３１を下降させて、ワークＳ１を下側プレート３３２のワークＳ２に押し付ける。これにより、ワークＳ１、Ｓ２を、接着剤Ｒを介して積層した積層体Ｚが製造される。

（移載装置による積層体Ｚの搬出）
移載装置５による積層体Ｚの搬出方法を、図１、図１８及び図２１を参照して説明する。まず、排気ポンプＰを停止し、バルブを開放することにより、真空チャンバ３１０内を大気圧にした後、排気管３７１が下降することにより、排気穴３１２ａから離れて真空チャンバ３１０から分離する。さらに、昇降機構３２０が上側チャンバ３１１を上昇させることにより、上側チャンバ３１１の開口縁と下側チャンバ３１２の開口縁が離れて、真空チャンバ３１０が開放される。

そして、下側プレート３３２からピン３３２ａが突出することにより、積層体Ｚを持ち上げる（図１８参照）。ここで、図２１（ｂ）に示すように、供給アーム５１０が、反転装置４から次のワークＳ１、Ｓ２を受け取って、検出装置６による検出が行われている間に、排出アーム５２０は、貼合装置３に向かう受渡位置（γ）に来る。この排出アーム５２０は、図１８に示すように、スライド機構５２２により、貼合装置３側に進出し、持ち上げられている積層体Ｚの下部に入る。ピン３３２ａが下降することにより、積層体Ｚが排出アーム５２０の吸着部材５２１ａにより吸着されて受け渡される。（図２１（ｃ））

さらに、図２１（ｄ）に示すように、供給アーム５１０が、貼り合わせ前のワークＳ１、Ｓ２を貼合装置３に受け渡している間に、積層体Ｚを保持した排出アーム５２０は、搬出口１０１ｃに向かう排出位置（ｅ）に来る。そして、排出アーム５２０は、スライド機構５２２により、搬出口１０１ｃから外部に突出して、排出台１０１ｄに積層体Ｚを排出する。積層体Ｚにおける接着剤Ｒを、硬化装置によって本硬化させてもよい。

［効果］
以上のような本実施形態の効果は、以下の通りである。
（１）本実施形態の表示装置用部材の製造装置１００は、表示装置用部材の積層体Ｚとなる一対のワークＳ１、Ｓ２を投入するローディング装置１と、ローディング装置１により投入された一対のワークＳ１、Ｓ２のうち、ワークＳ１に、接着剤Ｒを供給する接着剤供給装置２と、一対のワークＳ１、Ｓ２を、接着剤Ｒを介して貼り合わせる貼合装置３と、ローディング装置１により投入されたワークＳ２を受け取る第１の受取位置（α）と、ローディング装置１により投入されたワークＳ１を受け取る第２の受取位置（β）と、貼合装置３に一対のワークＳ１、Ｓ２を受け渡す受渡位置との間を、回動することにより変位し、ワークＳ１、Ｓ２を離隔して対向した状態で保持する移載装置５と、移載装置５に保持されたワークＳ１、Ｓ２の位置を、貼合装置３への受け渡し前に検出する検出装置６を有する。

このため、各装置間でのワークＳ１、Ｓ２の受け渡しを、一箇所の移載装置５によって行うことができるので、装置間の距離の短縮化と、設置スペースの小型化を実現することができる。特に、ワークＳ１、Ｓ２が大型の場合であっても、ワークＳ１、Ｓ２を保持する複数の保持装置をターンテーブル上で移動させる構造の装置と比べて、装置全体の大型化を抑えることができる。

さらに、一般的には、貼合装置３においてワークＳ１、Ｓ２を支持した後、その場で位置検出を行って位置決め及び貼り合わせを行うことにより、位置検出後から貼り合わせまでの位置ずれを防止している。しかし、このような場合、位置を検出している間は貼合作業に移れないので、生産性は低くなる。一方、本実施形態は、移載装置５においてワークＳ１、Ｓ２を保持した状態で、貼合装置３へ受け渡す前に、ワークＳ１、Ｓ２の位置を検出している。このため、貼合装置３において検出時間をかけることがなく、生産性が向上する。

より具体的には、例えば、上記とは別の従来技術である図３０に示すように、押圧装置８４において、カメラ８２ａによる撮像、ワークＳ１、Ｓ２の位置決め、ワークＳ１、Ｓ２の貼り合せを行う場合、押圧装置８４における所要時間が、他の装置における時間よりも長くなり、他の装置の待ち時間、アイドル時間が長くなる。一方、本実施形態では、ワークＳ１、Ｓ２の位置検出を、貼合装置３に受け渡す前の移載装置５に保持した状態で行うため、貼合装置３における所要時間を大幅に短縮でき、他の装置の待ち時間、アイドル時間を短縮して、製造効率を高めることができる。

以上の通り、本実施形態によれば、種々の大きさのワークＳ１、Ｓ２に対応することができ、空間に対する面積率が高く、効率よく積層体Ｚを製造して、必要な積層精度を保ちつつ高い生産性が得られる。従って、低コストの表示装置用部材を提供することができ、表示装置を安価に製造することができる。

（２）移載装置５は、回動の中心となる軸が、第１の受取位置（α）、第２の受取位置（β）、受渡位置（γ）が存在する同心円の中心であり、軸を中心とする円の半径方向に伸びた下アーム５１１と、下アーム５１１の上方に配置され、下アーム５１１との相対位置が固定されるとともに、軸を中心とする円の半径方向に伸びた上アーム５１２と、を有する供給アーム５１０を有する。この供給アーム５１０は、第１の受取位置（α）において、ローディング装置１に対して、軸中心とする円の半径方向に往復動をすることにより、下アーム５１１がワークＳ２を受け取り、第２の受取位置（β）において、ローディング装置１に対して、半径方向の往復動をすることにより、上アーム５１２が、ワークＳ１を受け取る。受渡位置（γ）において、貼合装置３に対して、半径方向の往復動をすることにより、下アーム５１１及び上アーム５１２がワークＳ１、Ｓ２を受け渡すように構成されている。

単一の供給アーム５１０の回動と往復動によって、ローディング装置１からのワークＳ１、Ｓ２の受け取り、貼合装置３への受け渡しを行うことができるので、簡素な構成で、周囲の装置との距離を縮小しつつ、衝突を回避することができ、省スペース化が実現できる。特に、供給アーム５１０は、ワークＳ１を受け取る上アーム５１２、ワークＳ２を受け取る下アーム５１１が一体的に形成されているので、位置検出後、回動や往復動をしても、ワークＳ１とワークＳ２との相対的な位置関係を維持しやすい。このため、検出されたワークＳ１とワークＳ２のずれを維持したまま、貼合装置３へ受け渡すことができ、貼合装置３において、ワークＳ１とワークＳ２の正確な位置決めが可能となる。特に、下アーム５１１の支持板５１１ｃ及び上アーム５１２の支持板５１２ｃに、ワークＳ１、Ｓ２を真空吸着し密着させることにより、摩擦力でより強固にずれが防止される。さらに、移載装置５から貼合装置３へワークＳ１、Ｓ２を受け渡す際に、位置検出後の供給アーム５１０によってワークＳ１、Ｓ２が吸着保持（固定）されている状態で、受け取る側の吸着ノズル３３１ａ、ピン３３２ａが吸着保持する。つまり、同時に吸着保持する状態を確保してから、一方の保持を解除して受け渡すので、受け渡しにおける位置ずれを抑制できる。したがって、一対のワークＳ１、Ｓ２を貼合装置３に受け渡した後に、あらためて位置検出をする必要がない。

（３）検出装置６は、第２の受取位置（γ）において供給アーム５１０が往復動する半径方向に直交する方向に往復動し、ワークＳ１、Ｓ２における基準点を撮像するカメラ６１０、６２０を有する。このカメラ６１０、６２０は、供給アーム５１０が受け取ったワークＳ１、Ｓ２の間に挿入されたカメラ６１０、６２０の移動と、供給アーム５１０の移動とにより、ワークＳ１、Ｓ２における基準点の撮像位置に位置決めされる。

ワークＳ１、Ｓ２の位置を検出する場合に、検出装置６は、カメラ６１０、６２０を直線方向に往復動させればよい。このため、カメラ６１０、６２０を移動させる機構を簡素化、小型化できる。

（４）移載装置５は、軸を中心として、供給アーム５１０とともに回動し、供給アーム５１０の往復動方向と異なる角度の半径方向に往復動して、供給アーム５１０が第２の受取位置（β）にあるとき、受渡位置（γ）に来て、貼合装置３において貼合された一対のワークを受け取る排出アーム５２０を有する。

供給アーム５１０がローディング装置１からワークＳ１、Ｓ２の受け取りや、位置検出のための撮像を行いながら、排出アーム５２０により、貼合装置３からの積層体Ｚの排出も行うことができるので、アイドル時間を削減して効率のよい作業が可能となる。

（５）排出アーム５２０は、供給アーム５１０が受渡位置（γ）にあるとき、ワークＳ１、Ｓ２を排出する排出位置（ｅ）に来るように設けられている。

供給アーム５１０が貼合装置３へのワークＳ１、Ｓ２の受け渡しを行いながら、排出アーム５２０により、積層体Ｚの外部への排出も行うことができるので、より効率のよい作業が可能となる。

（６）貼合装置３は、移載装置５から受け渡されたワークＳ１、Ｓ２を、離隔した状態で上下に支持する支持部３３０と、検出装置６により検出されたワークＳ１、Ｓ２の位置に応じて、支持部３３０に支持された一対のワークＳ１、Ｓ２の位置決めを行う位置決め装置３６０を有する。

貼合装置３の外で位置検出を行うことにより、貼合の効率を高めるとともに、貼合直前に位置決めを行うことにより、ずれの少ない正確な貼合が可能となる。

（７）貼合装置３は、内部を密閉して排気装置により減圧される真空チャンバ３１０を有し、真空チャンバ３１０には、排気穴３１２ａが設けられ、排気穴３１２ａに対して接することにより真空チャンバ３１０と排気装置とを接続する接続状態と、排気穴３１２ａから離れて真空チャンバ３１０と排気装置とを分離する非接続状態とを切り換える排気管３７１を有する。

表示装置用部材として、サイズが異なるものを製造する場合、サイズが大きく変わる場合には、ワークＳ１、Ｓ２を保持する部分のサイズも変更する必要があり、真空チャンバ３１０のサイズも変更する必要がある。このように、ある程度のサイズの相違に応じた変更を行わないと、真空チャンバの排気に無駄が生じてしまう。すなわち、大きなサイズの真空チャンバで小さなサイズのワークＳ１、Ｓ２の貼り合わせを行うようにした場合、余計な空間の排気時間が必要になって生産性が悪くなる。また、本実施形態では、真空チャンバ３１０と支持部３３０は一体的に構成されているので、真空チャンバ３１０の変更は、支持部３３０も含めて交換する必要がある。しかし、本実施形態では、排気管３７１を排気穴３１２ａから切り離し可能としている。このため、ワークＳ１、Ｓ２のサイズ変更のために真空チャンバ３１０を交換する際に、排気管３７１を取り外して、再度取り付ける手間がかからないので、交換作業が効率的となる。さらに、ワークＳ１とワークＳ２を位置決めする際、位置合わせのために移動させる下側チャンバ３２１が排気管を引きずることがないので、移動の駆動が容易になる。

（８）接着剤供給装置２は、ワークＳ１に対する相対移動に従って、長手方向が相対移動の方向に対して直交する方向で、且つワークの表面に対して平行な方向のスリットＬｓから接着剤Ｒを吐出することにより、ワークＳ１に対して接着剤Ｒを塗布する塗布部２１を有し、塗布部２１は、スリットＬｓの長手方向の長さを変える調整部２１３を有する。

このため、塗布部２１の全体を交換しなくても、スリット幅を変えて、接着剤Ｒの塗布幅を容易に調整できる。

（９）塗布部２１のスリットＬｓのワークＳ１の表面に対する傾きを変位させる変位機構を有する。このため、ワークＳ１の傾斜に応じて、スリットＬｓの傾きを変えることができ、スリットＬｓとワークＳ１との間隔を均一にすることができる。特に、ワークＳ１が複数のガラスやフィルムなどを積層している積層体である場合は、各板状体の歪みのために、全体としての歪みが多くなり易い。その結果撓んでしまうことがあるが、センサ２ｂによりワークＳ１の表面の高さを測定した結果を反映できるので、このような変形しやすいワークＳ１でも均一に接着剤Ｒを塗布することができる。また、傾斜させることにより、スリットＬｓ内に簡単に接着剤Ｒを行き渡らせて空気抜きを行うことができる。

（１０）接着剤供給装置２は、ワークＳ１に供給済の接着剤Ｒに対して、仮硬化させるエネルギーを照射する照射部２３を有し、照射部２３によるエネルギーの照射方向は、垂直方向に対して、接着剤Ｒの供給位置とは逆方向に傾斜している。

接着剤Ｒが仮硬化されているため、ワークＳ１を反転させる等、外力を加えた場合にも、接着剤Ｒの流動を防ぐことができる。特に、照射源２３１の照射方向が、接着剤Ｒの供給位置とは逆方向に傾斜しているので、照射エネルギーの強度を強くしても、供給部分にある接着剤Ｒに影響を与えることを防止できる。このため、照射エネルギーの強度を強くして照射時間を短縮して、ワークＳ１の相対移動速度を高速化しても、同様の仮硬化の効果が得られるので、生産性が向上する。

（１１）第２の受取位置（β）に設けられ、接着剤Ｒが供給されたワークＳ１を反転させて、接着剤Ｒが供給されていない面が保持されるように、移載装置５に受け渡す反転装置４を有し、反転装置４の軸は、ローディング装置１におけるワークＳ１の搬送方向に直交する方向において、ワークＳ１の中心よりも移載装置５側に寄った位置に設けられている。

反転装置４の軸が、移載装置５側に寄っているので、搬送装置１Ａからの受け取り時には搬送装置１Ａの搬送端に近い位置とすることができるとともに、反転時には、移載装置５に近づけることができる。これにより、供給アーム５１０がワークＳ１を受け取り易い位置とすることができる。

さらに、プレート４１１に、ワークＳ１を真空吸着して密着することにより、反転しても摩擦力でより強固にずれが防止される。また、把持部４１２が、プレート４１１にスライド移動可能に設けられているので、ワークＳ１のサイズ変更にも柔軟に対応できる。

（１２）ローディング装置１は、ワークＳ１を移載装置５の近傍に直線搬送する搬送装置１Ａと、ワークＳ２を移載装置５の近傍に直線搬送する搬送装置１Ｂとが、平行に隣接して設けられ、搬送装置１ＡへのワークＳ１の投入位置と、搬送装置１ＢへのワークＳ２の投入位置とが、隣接して設けられている。このため、ローディング装置１の設置スペースを節約できるとともに、作業員による投入位置からの一対のワークＳ１、Ｓ２の投入作業がしやすい。

［他の実施形態］
ローディング装置１としては、一対のワークＳ１、Ｓ２を、移載装置５へ搬送できればよく、上記のような態様には限定されない。例えば、搬送装置１Ｂの距離を短縮して、全体の設置スペースを縮小することもできる。共通の搬送装置によって、ワークＳ１、Ｓ２の双方を順次搬送してもよい。この場合、第１の受取位置（α）、第２の受取位置（β）が共通であってもよい。

接着剤供給装置２としては、スリットコータである塗布部２１を例に挙げて説明したが、これには限定されない。例えば、塗布部２１を、スリットコータの代わりに、多数の針状ノズルが並んだマルチノズルとして、このマルチノズルによって接着剤Ｒを複数のスジ状に塗布してもよい。複数のスジ状に塗布された接着剤Ｒ同士が展延して一体化して面状になっても、スリットコータによる塗布と同様に、面状の塗布が可能である。この場合にも、マルチノズルと塗布面との平行度を調整できる本発明は有効である。

また、ノズルにより、外周部に接着剤Ｒを枠状に塗布してシール部を設けた後、シール部の内部に接着剤Ｒを塗布するシール塗布方式による塗布部２１としてもよい。また、照射部２３を省略して、エネルギー照射による仮硬化処理を行わず、装置を簡素化してもよい。さらに、接着剤Ｒとして、シート状のもの、つまり、粘着テープを貼付する接着剤供給装置２を用いてもよい。このような粘着テープも、本発明の接着剤Ｒに含まれる。

なお、接着剤Ｒは、貼り合わせのために必要な面状に塗布されればよい。例えば、ワークＳ１の片面の全体に行き渡るように塗布してもよいし、一部に塗布されていない領域があってもよい。また、接着剤ＲがワークＳ１の縁に達していてもよいし、達していなくてもよい。接着剤ＲがワークＳ１の縁の一部に達していて、一部に達していない部分があってもよい。

例えば、接着剤Ｒは、少なくとも表示装置の視野領域に対して一つの面状の塗布がされていればよい。例えば、表示パネルの表示領域の側部に駆動回路部などが存在する場合、駆動回路部分には接着剤Ｒを塗布しないが、表示領域には切れ目のない面状の接着剤塗布がなされる。

また、貼合装置３の排気管３７１を固定として、昇降機構３２０に真空チャンバ３１０の上下動（Ｚ方向）の駆動機能を持たせることも可能である。この場合、下側チャンバ３１２が移動して、排気穴３１２ａに排気管３７１が接離する構成とすることもできる。これにより、上側チャンバ３１１とともに真空チャンバ３１０を密閉するように下側チャンバ３１２を駆動できる。したがって、真空チャンバ３１０の密閉と、真空チャンバ３１０と減圧装置３７０との接続を、ひとつの駆動手段で行うので、効率的である。なお、貼合装置３は、真空貼合を行う装置には限定されない。真空チャンバ３１０を設けずに、大気中で貼合する装置として、簡素化を図ってもよい。

反転装置４は、ワークＳ２を反転させてもよい。つまり、移載装置５によるワークＳ１、Ｓ２の受け取り位置は、ワークＳ１が下側、ワークＳ２が上側となってもよい。反転装置４における把持部４１２の水平部分の方向、開閉駆動部４１３による把持部４１２の移動方向も、搬送装置Ａ１からの受け取り、移載装置５への受け渡しが可能な方向であればよく、上記の例には限定されない。

移載装置５の回動位置は、ローディング装置１、貼合装置３、搬出口１０１ｃの配置に応じて、決定すればよい。従って、第１の受取位置（α）、第２の受取位置（β）、受渡位置（γ）、排出位置（ｅ）へ順次変位するための回動角度は、直角には限らない。また、供給アーム５１０と排出アーム５２０の角度も、直角には限らない。搬送装置１Ａの搬送端を第１の受取位置（α）、搬送装置１Ｂの搬送端を第２の受取位置（β）として、第１の受取位置（α）でワークＳ１を受け取り、第２の受取位置（β）でワークＳ２を受け取ってもよい。

反転装置４のワークＳ１の吸着構造、移載装置５の供給アーム５１０のワークＳ１、Ｓ２の吸着構造についても、上記の態様には限定されない。例えば、上記の実施形態における支持板４１２ｃ、５１１ｃ、５１２ｃのいずれかを省略した構成とすることも可能である。かかる構成とすると、吸引時におけるワークＳ１、Ｓ２は、把持部４１２の水平面、下アーム５１１の上面又は上アーム５１２の下面に密着して支持されるので、摩擦力によるずれが抑制される。

検出装置６による上下のワークＳ１、Ｓ２の撮像を行うカメラ６１０、６２０は、上記のように一体的に移動させてもよいし、別個に動作させてもよい。撮像のタイミングも、同時でも異なっていてもよい。基準点は、ワークＳ１、Ｓ２のそれぞれに少なくとも１点あればよいが、標準的には４点が好ましい。基準点を１点とする場合でも、多数の点とする場合でも、カメラ６１０、６２０の基準点の撮像位置への位置決めを、カメラ６１０、６２０と供給アーム５１０とを直線移動させる機構により実現できる。

上記の各装置は、ワークＳ１、Ｓ２をそれぞれ複数同時に処理できる構成として、製造効率を高めてもよい。つまり、搬送装置１Ａ、１Ｂがそれぞれ複数のワークＳ１、Ｓ２を並行に搬送し、接着剤供給装置２が複数のワークＳ１に並行に接着剤Ｒを供給し、反転装置４が複数のワークＳ１を並行に反転させてもよい。

さらに、移載装置５が、複数のワークＳ１、複数のワークＳ２の受け取り、受け渡し、排出を並行に行い、検出装置６が、複数のワークＳ１、複数のワークＳ２の位置検出を並行に行い、貼合装置３が、複数のワークＳ１、複数のワークＳ２の位置決め、貼合を並行に行ってもよい。

貼り合せ対象となるワークＳ１、Ｓ２は、表示装置を構成する積層体となる部材であって、片面に接着剤Ｒを面状に塗布して貼り合わせるものであれば、その大きさ、形状、材質等は問わない。つまり、偏光板等を含む表示パネル、操作用のタッチパネル、表面を保護する保護パネル、平板状のバックライトやバックライトの導光板等、これらの少なくとも２種を貼合して表示装置用部材を構成するものであればよい。表示装置としても、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等、貼り合わされる平板状のワークを有し、現在又は将来において利用可能な表示装置を広く含む。

また、互いに貼り合わされる一対のワークＳ１、Ｓ２は、１枚であっても、複数枚の積層体であってもよい。表示パネル、駆動回路、プリント基板を貼合した積層体に、さらに、タッチパネル、保護パネル又は複合パネルを貼合する等であってもよい。すなわち、表示装置用部材として積層されるワークの積層数は、特定の数には限定されない。

接着剤Ｒが塗布されるワークＳ１は、表示装置の表示パネルまたは表示パネルを含む積層体であってもよいし、保護パネル、タッチパネル又はタッチパネルを含む保護パネル（複合パネル）であってもよい。但し、上記のように、偏光板やカラーフィルタ等を含む表示パネルは、歪みも大きく、その歪みの固体差も大きい。保護パネルのみ、タッチパネルのみ又はそれらの複合パネルのように、シンプルな構成のものの方が、歪みが少なく、接着剤Ｒを均一に塗布しやすい。

なお、接着剤Ｒの流動を抑制してボイドの発生を防止することは、平板上のバックライトやバックライトの導光板等を貼り合わせる場合にも要求される。つまり、バックライトや導光板もワークＳ１、Ｓ２として捉えることができる。接着剤Ｒは、積層体、バックライト、導光板のいずれに塗布してもよいが、この場合にも、シンプルな構成のバックライト、導光板側に塗布することが好ましい。

また、貼り合わされるワークＳ１、Ｓ２の双方に接着剤Ｒを塗布してもよい。双方のワークＳ１、Ｓ２に接着剤Ｒを塗布する場合、一方に塗布した接着剤Ｒのみ仮硬化させても、双方に塗布した接着剤Ｒを仮硬化させてもよい。双方に接着剤Ｒを塗布する場合、搬送装置１Ａ、１Ｂに接着剤供給装置２をそれぞれ設けてもよいし、接着剤供給装置２を設けた１つの搬送装置に、双方のワークＳ１、Ｓ２を順に投入してもよい。この場合にも、第１の受取位置（α）、第２の受取位置（β）が共通であってもよい。

双方のワークＳ１、Ｓ２に接着剤Ｒを塗布する場合、塗布部２１は、ワークＳ１、Ｓ２のそれぞれの片面に、異なる厚さで塗布するとよい。この場合、例えば、図２３に示すように、反転装置４が、薄く塗ったワークＳ１の方を反転させて、接着剤Ｒが塗布されていない面が保持されるように、移載装置５に受け渡すとよい。接着剤Ｒを薄く塗布した方が接着剤Ｒの流動が少ないので、反転することによる接着剤Ｒの変動を気にしなくてすみ、ワークＳ１の高速反転が可能となる。ワークＳ２は、接着剤Ｒを厚く塗布されているが、反転しないので問題は生じない。

前記のように照射部２３による仮硬化を省略してもよいが、ワークＳ１、Ｓ２の接着剤Ｒの一方又は双方に、照射部２３が仮硬化させるエネルギーを照射して仮硬化させてから、反転装置４が、接着剤Ｒを仮硬化させた方のワークを反転させて、接着剤Ｒが塗布されていない面が保持されるように、移載装置５に受け渡してもよい。このように、仮硬化をさせれば、受け渡し等の時間がかかっても、接着剤Ｒの流動の問題は生じない。なお、接着剤Ｒの塗布厚としては、例えば、薄い方は数μｍ〜数十μｍの厚さとすることが考えられる。

なお、１つの搬送装置によって、ワークＳ１、Ｓ２を搬送し、ワークＳ１にのみ、接着剤供給装置２によって接着剤Ｒを供給することも可能である。この場合、接着剤供給装置２の塗布部２１の位置がワークＳ１の通過位置のみとすることもできるし、交互に搬送されるワークＳ１、Ｓ２のうち、ワークＳ１のみに接着剤Ｒを供給することもできる。

接着剤供給装置２は、ステージ１１ａによりワークＳ１側を移動させるのではなく、塗布部２１、照射部２３側を移動させることにより、接着剤Ｒの供給を行なってもよい。この場合、搬送装置１Ａの搬送距離を縮小することができる。つまり、塗布部２１、照射部２３とワークＳ１とは相対移動する構成であればよい。

照射部２３は、照射強度を変化させることにより、接着剤Ｒの単位面積当たりの照射エネルギー量を一定とすることもできる。つまり、塗布部２１とワークＳ１との相対移動の速度が加速して行くときには、照射エネルギー量を徐々に増加させ、相対移動の速度が一定の時は照射エネルギー量を一定として、相対移動の速度が減速していくときには、照射エネルギー量を徐々に減少させていく。これにより、照射エネルギーを均一にすることができる。

このような照射エネルギー量の変化は、制御装置７が、照射部２３の各照射源２３１の発光（出力）強度を変化させるばかりでなく、複数ある照射源２３１のうち、照射させる照射源２３１の数を変化させることにより実現できる。例えば、照射部２３における長手方向に配置された複数の照射源２３１の発光（出力）の有無若しくは発光（出力）強度を制御する。また、照射部２３を、昇降機構によって昇降可能に設け、制御装置７がこの昇降を制御することによって、照射部２３の照射強度、照射幅等を調整することによっても、実現可能である。

搬送装置１Ａ、１Ｂ、貼合装置３、反転装置４、移載装置５におけるワークＳ１、Ｓ２の保持又は支持は、バキュームチャック、静電チャック、メカチャック、粘着チャック等、現在又は将来において利用可能なあらゆる保持機構により、安定化させることができる。複数の種類の保持機構を併用することも可能である。なお、上記の実施形態における吸着部材については、真空環境下における吸着力を確保するために、粘着性を有していてもよい。

使用する接着剤Ｒの種類は、紫外線硬化型の樹脂には限定されない。電磁波や熱の照射により硬化する樹脂が一般的であるが、現在又は将来において利用可能なあらゆる接着剤であって、エネルギーの照射により硬化するものに適用可能である。この場合、接着剤の種類に応じて、照射部を、種々の赤外線、放射線等の照射装置、加熱装置、乾燥装置等に変えることになる。

上記の実施形態に、積層後の積層体Ｚの接着剤Ｒを本硬化させる硬化装置を設置してもよい。本硬化させるとは、接着剤Ｒの全体を完全に硬化させることをいい、そのために、必要なエネルギーを接着剤Ｒに照射することをいう。但し、必ずしも硬化装置内で完全硬化に至らなくてもよい。例えば、硬化装置でエネルギーを照射した後、ストッカにストックして、ストックしている間に完全硬化するようにしてもよいし、搬送途中で完全硬化するようにしてもよい。このような硬化装置は、排出台１０１ｄに設置してもよいし、別ポジションに設置してもよい。例えば、製品の検査装置を設置して、その下流に、硬化装置を設置してもよい。硬化装置としては、例えば、積層体Ｚが載置されるステージと、ステージ上に配置された照射源を備える。ステージは、上記実施形態における排出台１０１ｄとすることもできる。

照射源は、上記の実施形態と同様である。但し、照射源からの照射強度、照射時間、照射範囲が、積層体Ｚにおける接着剤Ｒを完全硬化させるのに必要な程度に、エネルギーを照射できるように調節されている。このような硬化装置によって、積層後の積層体Ｚの接着剤Ｒは、硬化装置によって本硬化される。なお、上記のような相対移動しながらのエネルギー照射である必要はない。つまり、積層体Ｚと照射源との位置が固定的な状態でエネルギー照射してもよい。

１…ローディング装置
１Ａ、１Ｂ…搬送装置
１１ａ、１１ｂ…ステージ
１１ｃ…ボールねじ
１１ｄ…レール
１２ａ、１２ｂ…ピン
１００…表示装置用部材の製造装置
１０１…ブース
１０１ａ、１０１ｂ…投入口
１０１ｃ…搬出口
１０１ｄ…排出台
２…接着剤供給装置
２ａ…架台
２ｂ…センサ
２１…塗布部
２１０…基体部
２１１、２１２…挟持体
２１３…調整部
２１４…固定板
２１５Ａ、２１５Ｂ…可動板
２１５ｈ…取付穴
２１６Ａ、２１６Ｂ…調節機構
２１７…軸部
２１７ａ…駆動軸
２１７ｂ…ヘッド
２１８…可動側取付部
２１８ａ…スリーブ
２１８ｂ…取付ボルト
２１９…固定側取付部
２２…変位機構
２２１、２２２…支持部
２２１ａ…軸
２２２ｂ…コロ
２２３Ａ、２２３Ｂ…ボールねじ
２２４Ａ、２２４Ｂ…駆動源
２２５Ａ、２２５Ｂ…昇降ステージ
２２６…軸受部
２２６ａ…溝
２２７Ａ、２２７Ｂ…ガイドレール
２３…照射部
２３１…照射源
２３２…遮蔽板
３…貼合装置
３１０…真空チャンバ
３１１…上側チャンバ
３１２…下側チャンバ
３１２ａ…排気穴
３２０…昇降機構
３３０…支持部
３３１…上側プレート
３３１ａ…吸着ノズル
３３２…下側プレート
３３２ａ…ピン
３５０…加圧機構
３５０ａ…駆動軸
３６０…位置決め装置
３７０…減圧装置
３７１…排気管
３７２…ベローズ
４…反転装置
４１０…反転部材
４１１…プレート
４１２…把持部
４１２ａ…吸着部材
４１２ｂ…吸着穴
４１２ｃ…支持板
４２０…駆動機構
４２１…軸部
４２２…昇降機構
５…移載装置
５１０…供給アーム
５１１…下アーム
５１１ａ…吸着部材
５１１ｃ…支持板
５１２…上アーム
５１２ａ…吸着部材
５１２ｃ…支持板
５１３…スライド機構
５２０…排出アーム
５２１…アーム
５２１ａ…吸着部材
５２２…スライド機構
５３０…回動機構
５３１…基台
６…検出装置
６１０、６２０…カメラ
６３０…アーム
６４０…スライド機構
７…制御装置
７０…機構制御部
７１…記憶部
７２…位置検出部
７３…調整部
７４…入出力制御部
７５…出力装置
８…貼合装置
８０…ターンテーブル
８１…保持装置
８１ａ…下側保持部
８１ｂ…支柱部
８１ｃ…上側保持部
８２…検出装置
８２ａ…カメラ
８３…塗布装置
８３ａ…ノズル
８４…押圧装置
８４ａ…ばね

Claims

表示装置用部材の積層体となる一対のワークを投入するローディング装置と、
前記ローディング装置により投入された一対のワークのうち、少なくとも一方のワークに、接着剤を供給する接着剤供給装置と、
前記一対のワークを、接着剤を介して貼り合わせる貼合装置と、
前記ローディング装置により投入された一対のワークのうち、一方のワークを受け取る第１の受取位置と、他方のワークを受け取る第２の受取位置と、前記貼合装置に一対のワークを受け渡す受渡位置との間を、回動することにより変位し、一対のワークを離隔して対向した状態で保持する移載装置と、
前記移載装置に保持された一対のワークの位置を、前記貼合装置への受け渡し前に検出する検出装置と、
を有することを特徴とする表示装置用部材の製造装置。
前記移載装置は、
前記回動の中心となる軸が、前記第１の受取位置、前記第２の受取位置、前記受渡位置がそれぞれ存在する同心円の中心であり、
前記軸を中心とする円の半径方向に伸びた下アームと、前記下アームの上方に配置され、前記下アームとの相対位置が固定されるとともに、前記軸を中心とする円の半径方向に伸びた上アームと、を有する供給アームを有し、
前記供給アームは、
前記第１の受取位置において、前記ローディング装置に対して、前記軸を中心とする円の半径方向に往復動をすることにより、前記下アーム及び前記上アームの一方が、一方のワークを受け取り、
前記第２の受取位置において、前記ローディング装置に対して、前記半径方向の往復動をすることにより、前記下アーム及び前記上アームの他方が、他方のワークを受け取り、
前記受渡位置において、前記貼合装置に対して、前記半径方向の往復動をすることにより、前記下アーム及び前記上アームが一対のワークを受け渡すように構成されていることを特徴とする請求項１記載の表示装置用部材の製造装置。
前記検出装置は、
前記第２の受取位置において前記供給アームが往復動する前記半径方向に直交する成分を含む方向に往復動し、一対のワークにおける基準点を撮像する撮像部を有し、
前記撮像部は、前記供給アームが受け取った一対のワークの間に挿入された前記撮像部の直線移動と、前記供給アームの直線移動とにより、一対のワークにおける基準点の撮像位置に位置決めされることを特徴とする請求項２記載の表示装置用部材の製造装置。
前記移載装置は、
前記軸を中心として、前記供給アームとともに回動し、前記供給アームの往復動方向と異なる角度の半径方向に往復動して、前記供給アームが前記第１の受取位置又は前記第２の受取位置にあるとき、前記受渡位置に来て、前記貼合装置において貼合された一対のワークを受け取る排出アームを有することを特徴とする請求項２又は請求項３記載の表示装置用部材の製造装置。
前記排出アームは、前記供給アームが前記受渡位置にあるとき、前記一対のワークを排出する排出位置に来るように設けられていることを特徴とする請求項４記載の表示装置用部材の製造装置。
前記貼合装置は、
前記移載装置から受け渡される一対のワークを、離隔した状態で上下に支持する支持部と、
前記検出装置により検出された一対のワークの位置に応じて、前記支持部に支持された一対のワークの位置決めを行う位置決め装置と、
を有することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の表示装置用部材の製造装置。
前記貼合装置は、内部を密閉して排気装置により減圧される真空チャンバを有し、
前記真空チャンバには、排気穴が設けられ、
前記排気穴に対して接することにより前記真空チャンバと前記排気装置とを接続する接続状態と、前記排気穴から離れて前記真空チャンバと前記排気装置とを分離する非接続状態とを切り換える排気管を有することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の表示装置用部材の製造装置。
前記接着剤供給装置は、
少なくとも一方のワークに対する相対移動に従って、長手方向が相対移動の方向に対して直交する方向で、且つワークの表面に対して平行な方向のスリットから接着剤を吐出することにより、ワークに対して接着剤を塗布する塗布部を有し、
前記塗布部は、スリットの長手方向の長さを変える調整部を有することを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の表示装置用部材の製造装置。
前記接着剤供給装置は、
前記塗布部のスリットのワークの表面に対する傾きを変位させる変位機構を有することを特徴とする請求項８記載の表示装置用部材の製造装置。
前記接着剤供給装置は、ワークに供給済の接着剤に対して、仮硬化させるエネルギーを照射する照射部を有し、
前記照射部によるエネルギーの照射方向は、垂直方向に対して、接着剤の供給位置とは逆方向に傾斜していることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の表示装置用部材の製造装置。
前記接着剤供給装置は、一対のワークのそれぞれの片面に、異なる厚さで接着剤を塗布する塗布部を有し、
接着剤が塗布されたワークのうち、薄く塗布されたワークを反転させて、接着剤が供給されていない面が保持されるように、前記移載装置に受け渡す反転装置を有することを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の表示装置用部材の製造装置。
接着剤供給装置が、表示装置用部材の積層体となる一対のワークのうち、少なくとも一方のワークの片面の略全面に、接着剤を供給し、
移載装置における供給アームが、少なくとも一方のワークに接着剤を供給した一対のワークを、離隔した状態で上下に保持し、
検出装置が、供給アームに保持された一対のワークの位置を、一対のワークを積層体とする貼合装置への受け渡し前に検出し、
検出装置による位置の検出の間に、移載装置の排出アームが、貼合装置から積層された積層体を受け取り、
供給アームが、位置を検出した一対のワークを、貼合装置の支持部へ受け渡し、
供給アームによる受け渡しの間に、排出アームが貼合装置から受け取った積層体を、排出位置へ搬送し、
貼合装置における支持部が、供給アームから受け渡された一対のワークを、離隔した状態で上下に支持し、
貼合装置における位置決め装置が、検出装置により検出された一対のワークの位置に応じて、支持部に支持された一対のワークの位置決めを行い、
支持部が、一対のワークを貼り合わせることにより積層することを特徴とする表示装置用部材の製造方法。