CN108663831B - 制造系统及制造方法 - Google Patents

Abstract

一种制造系统及制造方法，使相互粘合的两个面板的管理容易化。制造系统在第一作业区域中向第一面板涂敷粘接剂，在第二作业区域中将涂敷了粘接剂的第一面板和第二面板粘合而制造层叠体，其特征在于，具备第一运送装置、涂敷装置、粘合装置和第二运送装置，所述第一运送装置被配置在第一作业区域中，运送第一面板及第二面板，所述涂敷装置被配置在第一作业区域中，向由第一运送装置运送的第一面板涂敷粘接剂，所述粘合装置被配置在第二作业区域中，将第一面板及第二面板粘合，所述第二运送装置被配置在第二作业区域中，向粘合装置运送第一面板及第二面板，第一运送装置及第二运送装置将粘合的第一面板和第二面板成套运送。

Description

制造系统及制造方法

技术领域

本发明涉及将面板彼此粘合来制造层叠体的技术。

背景技术

液晶显示装置、有机EL显示装置是将保护显示面的护罩面板粘贴在显示面板上来制造。作为这样将两个面板彼此粘合来制造层叠体的系统，提出了专利文献1、专利文献2的系统。在专利文献1、专利文献2中公开了具备运送一方的面板的装置、运送另一方的面板的装置和将面板彼此粘合的装置的生产线。

在先技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开2016-008985号公报

专利文献2：专利第5495845号公报

发明内容

发明所要解决的课题

在层叠体的制造过程中，在认为粘合前的一方的面板异常的情况下，将该面板从生产线除去。在预先准备的两个面板的各总数相同的情况下，作为面板产生不足或过剩。另外，相互粘贴的两个面板的批号的组合也可能变动。因此，以往的系统就面板的管理而言，存在改善的余地。

本发明的目的是使相互粘合的两个面板的管理容易化。

为了解决课题的手段

根据本发明，提供一种制造系统，所述制造系统在第一作业区域中向第一面板涂敷粘接剂，在第二作业区域中将涂敷了所述粘接剂的所述第一面板和第二面板粘合而制造层叠体，其特征在于，

具备第一运送装置、涂敷装置、粘合装置和第二运送装置，

所述第一运送装置被配置在所述第一作业区域中，运送所述第一面板及所述第二面板，

所述涂敷装置被配置在所述第一作业区域中，向由所述第一运送装置运送的所述第一面板涂敷所述粘接剂，

所述粘合装置被配置在所述第二作业区域中，将所述第一面板及所述第二面板粘合，

所述第二运送装置被配置在所述第二作业区域中，向所述粘合装置运送所述第一面板及所述第二面板，

所述第一运送装置具备第一运送机构和第二运送机构，

所述第一运送机构在第一运送方向间歇地运送多个所述第一面板，

所述第二运送机构在所述第一运送方向间歇地运送多个所述第二面板，

所述涂敷装置包括涂敷头、升降机构和水平移动机构，

所述涂敷头排出所述粘接剂，

所述升降机构使该涂敷头升降，

所述水平移动机构使该升降机构在与所述第一运送方向正交的方向进行水平移动，

所述第一运送装置及所述第二运送装置将粘合的所述第一面板和所述第二面板成套运送。

另外，根据本发明，提供一种制造方法，所述制造方法在第一作业区域中向第一面板涂敷粘接剂，在第二作业区域中将涂敷了所述粘接剂的所述第一面板和第二面板粘合而制造层叠体，其特征在于，

具备第一运送工序、涂敷工序、第二运送工序和粘合工序，

所述第一运送工序在所述第一作业区域中运送所述第一面板及所述第二面板，

所述涂敷工序在所述第一作业区域中向由所述第一运送工序运送的所述第一面板涂敷所述粘接剂，

所述第二运送工序在所述第二作业区域中运送所述第一面板及所述第二面板，

所述粘合工序在所述第二作业区域中将由所述第二运送工序运送的所述第一面板及所述第二面板粘合，

所述第一运送工序在第一运送方向间歇地运送多个所述第一面板，并且在所述第一运送方向间歇地运送多个所述第二面板，

所述涂敷工序使排出所述粘接剂的涂敷头在与所述第一运送方向正交的方向进行水平移动，将所述粘接剂涂敷在所述第一面板上，

在所述第一运送工序及所述第二运送工序中，

将粘合的所述第一面板和所述第二面板成套运送。

14.如权利要求13所述的制造方法，其特征在于，

所述第一运送工序包括水平并列运送工序，所述水平并列运送工序将成套运送的所述第一面板及所述第二面板在运送方向左右并列地运送，

所述第二运送工序包括垂直并列运送工序，所述垂直并列运送工序将成套运送的所述第一面板及所述第二面板在运送方向上下并列地运送。

发明的效果

根据本发明，能够使相互粘合的两个面板的管理容易化。

附图说明

图1是有关本发明的一实施方式的制造系统的立体图。

图2是表示图1的制造系统的前半部分的概略的立体图。

图3是移载机器人的立体图。

图4是运送装置周边的立体图。

图5是测量装置的立体图。

图6是涂敷装置的立体图。

图7是测量装置的立体图。

图8是运送装置的立体图。

图9是运送动作的说明图。

图10是供给装置的说明图。

图11是供给装置的说明图。

图12是表示图1的制造系统的后半部分的概略的立体图。

图13是中继单元的立体图。

图14是面板的运送动作的说明图。

图15是表示粘合装置的布局的图。

图16是粘合装置的立体图。

图17是图16的粘合装置的上侧部分的立体图。

图18是图16的粘合装置的下侧部分的立体图。

图19是减压装置的说明图。

图20是减压装置的说明图。

图21是图16的粘合装置的动作说明图。

图22是图1的制造系统的控制系统的块图。

图23是表示面板的运送例的说明图。

图24是表示面板的运送例的说明图。

图25是表示面板的运送例的说明图。

图26是表示系统的其它的布局例的图。

具体实施方式

为了实施发明的方式

参照附图，对本发明的实施方式进行说明。图中，箭头X、Y、Z表示相互正交的方向，箭头Z表示上下方向(高度方向)，箭头X及箭头Y表示相互正交的水平方向。

<系统的概要>

图1是有关本发明的一实施方式的制造系统1的立体图。制造系统1是将两个面板粘合来制造层叠体的系统。虽然本实施方式的系统是将液晶显示面板和其护罩玻璃粘合的系统，但本发明也可以适用于将其它种类的面板彼此粘合的系统。

制造系统1的结构大体分为前半部的作业区域R1和后半部的作业区域R2。粘合的两个面板在大致X方向运送，并依次处理。在下面的说明中，上游侧、下游侧意味着在X方向看面板的运送方向的上游侧、下游侧。在作业区域R1中，主要进行向一方的面板涂敷涂敷液的作业。在作业区域R2中，进行涂敷了涂敷液的一方的面板和另一方的面板的粘合作业。下面，按顺序对被配置在作业区域R1、R2中的结构进行说明。

<作业区域R1>

参照图1及图2，对被配置在作业区域R1中的结构进行说明。在作业区域R1中，在Y方向离开地并列设置了投入台10A、10B。被粘合的一方的面板P1从前面的工序被运送载置在投入台10A上，另一方的面板P2从前面的工序被运送载置在投入台10B上。在本实施方式的情况下，面板P1是护罩玻璃，面板P2是液晶显示面板。在投入台10A、10B是，例如直立设置多个销，面板被载置在多个销上。

在作业区域R1中设置了支承体2。支承体2是支承被配置在作业区域R1中的各装置的基座，在本实施方式的情况下，被作为框体构成。在支承体2上配置了移载装置11、运送装置CV1、测量装置14、涂敷装置15、照射装置16、移载装置19。

移载装置11被配置在投入台10A、10B的下游侧，进而，在其下游侧配置了运送装置CV1。移载装置11分别从投入台10A、10B向运送装置CV1移载面板P1、P2。另外，若详细地叙述，则将面板P1经由后述的测量装置14向运送机构12移载。

图3是构成移载装置11的移载机器人RB的立体图。移载机器人RB包括移动单元4、底座单元6和经底座单元6搭载在移动单元4上的保持单元5A及5B。移动单元4与轨道RL卡合，由后述的马达M的驱动在移动路径上移动。在移载装置11的情况下，轨道RL被设定在Y方向，因此，移动路径是Y方向。在本实施方式的情况下，移动单元4与滚珠螺母连接，该滚珠螺母与将马达M作为驱动源旋转的滚珠丝杠轴SC卡合。滚珠丝杠轴SC沿Y方向延伸设置，前述的轨道RL与此滚珠丝杠轴SC平行地设置。移动单元4由马达M的旋转在轨道RL上往复移动。移动单元4的驱动机构不限于这样的滚珠丝杠机构，能够采用齿条-小齿轮机构等各种驱动机构。使某些结构移动的后述的各机构也同样。

在移动单元4中，内置了进行底座单元6的Z轴方向的升降和绕Z轴的回转的驱动机构。保持单元5A及5B被支承在底座单元6上。保持单元5A保持面板P1，保持单元5B保持面板P2。在本实施方式的情况下，保持单元5A、5B分别由多关节臂构成，具备臂部51和被设置在臂部51的端部的手部52。保持单元5A、5B使手部52在水平方向进退移动，移载被载置在手部52上的面板P1或P2。在手部52，设置了分别将面板吸附在其上面、下面上的吸附部。保持单元5A的手部52位于比保持单元5B的手部52低的位置，由保持单元5A及5B以在Z方向重叠(从上向下看重叠)的平行姿势保持面板P1及P2的组。另外，面板P2，在本实施方式的情况下是液晶显示面板，存在附属了电缆等零件的情况。保持单元5B的手部52设置了支承这样的附属零件的附属支承部52a。另外，附属支承部52a与附属零件的附属位置相应地被配置在可支承的位置。

在本实施方式的情况下，在后述的移载装置19、运送装置CV2、移载装置21中也使用同样的移载机器人RB。当然也可以是在各自的装置中不同的机构。

返回到图1及图2，运送装置CV1，在本实施方式的情况下具备两个运送机构12、13。运送机构12运送面板P1，运送机构13运送(移送)面板P2。被粘合的面板P1和面板P2的组由这些运送机构12、13在X方向并列地运送。另外，也可以由运送机构12、12并列地运送面板P1和面板P2。另外，也可以对成对地运送的面板P1、P2的双方进行后述的涂敷处理，被涂敷的涂敷膜可以是同种或异种的任意一种。另外，也可以是由运送机构12连续地运送面板P1，由运送机构13以等间距间歇地移送面板P2，在X方向并列地运送面板P1和面板P2的组。作为间歇地进行移送的运送机构13，例如可列举步进梁方式的移送装置。

图4是表示由运送装置CV1进行的面板P1、P2的运送样态及周边装置的图。在该图中，面板P1、P2，出于容易理解其运送样态的目的，图示得比实际的大。另外，存在将各种装置的一部分的结构省略了的部位。

运送机构12在X方向延伸设置。运送机构13相对于运送机构12在Y方向离开地平行地延伸设置。它们的详细情况将在后面叙述。

在运送机构12的运送路径上配置了测量面板P1的厚度等的测量装置14、向面板P1涂敷涂敷液(在本实施方式的情况下用于面板的粘合的粘接剂)的涂敷装置15及使粘接剂成为半硬化状态的照射装置16、测量粘接剂的膜厚的测量装置18。另一方面，在运送机构13的运送路径上不配置对面板P2进行处理的处理装置。在本实施方式的情况下，在作业区域R1中，对面板P1进行的处理是中心，面板P2仅是与面板P1成套运送。当然，也可采用将对面板P2进行处理的装置配置在作业区域R1中的结构。在本实施方式中，作为涂敷液列举粘接剂为例进行说明，但不是限定于粘接剂的涂敷液。涂敷液若可由涂敷装置15涂敷，则是什么均可。另外，照射装置16的设置与涂敷液的种类相应地适宜选择。

测量装置14被配置在运送机构12的上游端。图5是测量装置14的立体图。测量装置14具备一组摄影单元140及多轴滑块141、支承台142和多轴滑块143。多轴滑块141、143，例如可以列举X-Y工作台、将升降轴与X-Y工作台组合了的结构、正交坐标机器人。

由移载装置11将面板P1移载到支承台142上。支承台142具备吸附面板P1的吸附部，可以以水平姿势保持面板P1。多轴滑块143可使支承台142在X、Y及Z方向移动，进行在移载面板P1时的支承台142的升降动作、定位面板P1时的水平移动动作。

一组摄影单元140及多轴滑块141在Y方向离开地并列设置，在它们之间配置了支承台142及多轴滑块143。摄影单元140包括对支承台142上的面板P1进行摄影的照相机。多轴滑块141可使摄影单元140在X方向及Y方向移动，移动摄影单元140的摄影位置。由摄影单元140的摄影图像测量面板P1的厚度、在支承台142上的位置(姿势)。

由后述的控制器基于此测量结果算出面板P1的位置校正值，控制器基于此算出值控制多轴滑块143，对支承台142的位置进行微调整。由此，将面板P1定位在相对于涂敷装置15正确的位置(姿势)。通过这样预先进行面板P1的定位，能够提高后续的涂敷装置15中的粘接剂的涂敷作业的精度。另外，也可以进行尺寸、厚度不同的面板的处理。

涂敷装置15与测量装置14相比被配置在下游侧。图6是涂敷装置15的立体图。涂敷装置15包括涂敷头150、升降机构151和水平移动机构(Y方向移动机构)152。涂敷头150具有在X方向延伸的狭缝状的排出口，将粘接剂从上排出到面板P1上。粘接剂，在本实施方式的情况下，是由紫外线的照射硬化的光硬化树脂(OCR)。升降机构151使涂敷头150在Z方向移动。水平移动机构152使升降机构151在Y方向移动。能够由升降机构151和水平移动机构152使涂敷头150在Z-Y平面上移动。

在本实施方式的情况下，涂敷头150的排出口(可涂敷粘接剂的范围)具有面板P1的X方向的宽度以上的长度，涂敷头150通过使水平移动机构152从面板P1的Y方向的一端向另一端移动，在面板P1的表面的规定的范围内将粘接剂涂敷成膜状。通过将涂敷头150做成不是在面板P1的运送方向(X方向)移动而是在与之正交的Y方向移动的结构，能够在进行涂敷头150的更换等维护作业时，通过使涂敷头150移动到设置在Y方向(运送机构12的宽度方向)的作业区域R1的外周部的未图示的作业位置，容易地进行维护作业。

设置在涂敷装置15上的未图示的检测传感器检测面板P1的面板面，并由后述的控制器基于此检测结果，控制由升降机构151进行升降的涂敷头150的相对于面板P1表面的高度、由水平移动机构152进行移动的涂敷头150的移动速度。由此，控制粘接剂的膜的厚度，以预先确定的膜的厚度向面板P1的面板面涂敷粘接剂的膜。在调整涂敷头150的高度时，能够利用由测量装置14测量的面板P1的厚度的测量结果，使之成为膜厚控制的参数之一。

参照图2、图4，照射装置16与涂敷装置15相比被配置在下游侧。照射装置16具备从上向面板P1照射紫外线的照明单元。在通过照射装置16时，向表面上涂敷了粘接剂的膜的面板P1照射紫外线，由此，粘接剂进行半硬化。这里的半硬化能够做成维持粘接剂的粘结性且抑制粘接剂的液体下垂的程度。半硬化的程度可由紫外线的强度和照射时间调整。

测量装置18与照射装置16相比被配置在下游侧。图7是测量装置18的立体图。测量装置18具备激光距离计等测量单元180和将测量单元180支承在面板P1的上方的支承单元181。支承单元181以将测量单元180相对于支承体2(或支承单元121)维持在规定的高度的方式支承测量单元180。测量装置18测量粘接剂的膜厚。在膜厚不在规定范围内的情况下，能够作为不良品处理。膜厚的测量，例如也可以分别测量面板P1表面上的粘接剂的涂敷区域和非涂敷区域的高度，将其差量作为膜厚。另外，也可以测量粘接剂的涂敷区域和支承单元121的表面的各高度，将其差量和由测量装置14测量的面板P1的厚度的差量作为膜厚。

参照图4、图8及图9，对运送机构12及13的结构以及运送机构13的运送动作进行说明。

主要参照图8，运送机构12具备以悬浮状态支承面板P1的支承单元121和吸附移动面板P1的多个吸附移动单元122。支承单元121具有在X方向延伸设置的上面，通过从形成在此上面上的多个孔喷出空气，以略微悬浮的状态支承面板P1。在本实施方式的情况下，吸附移动单元122在支承单元121的Y方向的两侧部各配置了一个(合计两个)。在支承单元121的下游侧端的上面上形成了凹部121a。在运出面板P1时，后述的移载装置19的手部52进入此凹部121a。

吸附移动单元122包括吸附单元122a、升降机构122b和移动机构122c。吸附单元122a将其上面作为吸附面板P1的吸附面，例如，通过形成在其吸附面上开口的多个孔，并经多个孔吸引空气，将面板P1吸附在吸附单元122a的上面上。升降机构122b使吸附单元122a在Z方向移动。移动机构122c使升降机构122b在X方向移动。

在本实施方式的情况下，两个吸附移动单元122都是运送面板P1的部件，但其中的一个在从测量装置14(上游端)到照明装置16之间运送面板P1，剩余的一个在从照明装置16到测量装置18(下游端)之间运送面板P1。

若对运送动作进行说明，则首先在吸附单元122a处于比支承单元121的上面低的位置的状态下，由移动机构122c将吸附单元122a朝向面板P1的下面上升。若吸附单元122a由升降机构122b的动作上升到与面板P1的下面相接触的位置，则由吸附单元122a吸附面板P1的下面。由此，由吸附单元122a保持面板P1。接着，通过由移动机构122c将吸附单元122a向下游侧移动，在X方向运送面板P1。在运送此面板P1的过程中，由于支承单元121以悬浮状态支承面板P1，所以可以以非接触状态顺畅地运送面板P1。若面板P1到达作为目的的位置，则移动机构122c停止，停止由支承单元121进行的空气的喷出。此后，由升降机构122b使吸附单元122a下降，将面板P1载置在支承单元121的表面上，解除由吸附单元122a进行的面板P1的吸附。

运送机构12在X方向运送多个面板P1。如图8所示，在X方向，停止位置是SP1～SP4的4个部位。停止位置SP1是上游端的位置，是面板P1中的测量装置14的支承台142上的位置。停止位置SP4是下游端的位置，是从运送装置CV1运出面板P1、P2的位置，并且是面板P1中的由测量装置18进行的膜厚的测量位置。

停止位置SP2及SP3是停止位置SP1和停止位置SP4之间的中间的位置。停止位置SP2是由涂敷装置15向面板P1涂敷粘接剂的位置。停止位置SP3是由照射装置16向面板P1照射紫外线的位置。在本实施方式的情况下，停止位置SP1～SP4的各间隔相同。

接着，对运送机构13进行说明。运送机构13具备多个载置工作台130及升降机构131、可动板132和驱动机构133。在载置工作台130上载置面板P2。另外，面板P2，在本实施方式的情况下是液晶显示面板，存在附属了电缆等零件的情况，运送机构13具备支承这样的附属零件的附属支承部130a。升降机构131使支承载置工作台130及附属支承部130a的升降支承板131a在Z方向移动。可动板132在X方向延伸设置，并且在X方向移动自由地被支承在后述的驱动机构133上。在可动板132上支承升降机构131。在本实施方式的情况下，载置工作台130及升降机构131的组是设置了三组，它们在X方向以等间隔被支承在可动板132上。驱动机构133在X方向移动可动板132。

面板P2也如图9所示，当在Z-X面中从正面看时，停止在停止位置SP1～SP4。面板P2因为仅是依次运送所以本来没有停止的必要，但为了明确与面板P1对应的面板P2，并容易进行运送状态的监视，使面板P2也与面板P1的停止对应地停止在各停止位置SP1～SP4。因此，运送机构13在各停止位置SP1～SP4具备销状的多个载置部件134、135。销状的多个载置部件134、135被构成在将各自的销安装在规定的位置的销载置板134a、135a上。销载置板134a空开规定的间隔地被支承于在运送机构13的运送方向延伸的载置板支承部件137上。另外，载置板支承部件137的一方端部及另一方端部由被设置在支承体2上的一对支柱部件137a支承。销载置板135a由从支承体2离开地支承销载置板135a的支柱部件135b支承。

另外，面板P2在本实施方式的情况下是液晶显示面板，存在附属了电缆等零件的情况，运送机构13具备支承这样的附属零件的附属支承部136。附属支承部136是板状的部件，由从支承体2离开地支承附属支承部136的支柱部件136a支承。若在Y方向看，则载置工作台130位于载置部件134和载置部件135之间，附属支承部130a位于载置部件134和附属支承部136之间。而且，被配置在支承体2和载置板支承部件137之间的升降支承板131a被配置成可由运送机构13向运送方向及升降方向移动。

图9是运送机构13的动作说明图。状态ST1表示由移载装置11将面板P2移载到停止位置SP1中的载置部件134(及未图示的载置部件135)上的状态。各载置工作台130处于比面板P2低的位置，位于停止位置SP1～SP3。使各升降机构131伸长，使各升降支承板131a上升，由此，各自的载置工作台130上升。由此，如状态ST2所示，被载置在载置部件134上的停止位置SP1的面板P2由载置工作台130捞起，面板P2被移载到载置工作台130上。若如状态ST3所示，由驱动机构133在X方向移动可动板132，则各载置工作台130位于停止位置SP2～SP4。此后，使各升降机构131缩短长度，使各载置工作台130下降，由此，从载置工作台130向停止位置SP2的载置部件134(及未图示的载置部件135)移载面板P2。此时(参照图4)，由移载装置11将下个面板P2运入停止位置SP1，从移载装置11向载置部件134移载。

如状态ST4所示，由驱动机构133在X方向向原来的位置移动可动板132，各载置工作台130位于停止位置SP1～SP3，此后，再次使各升降机构131伸长，各载置工作台130上升。由此，停止位置SP1的面板P2和停止位置SP2的面板P2被移载到对应的载置工作台130上。如状态ST5所示，若可动板132由驱动机构133在X方向移动，则各载置工作台130位于停止位置SP2～SP4。此后，使各升降机构131缩短长度，使各载置工作台130下降，由此，从载置工作台130向停止位置SP2、SP3的载置部件134移载各面板P2。此时，由移载装置11将下个面板P2运入停止位置SP1，从移载装置11向载置部件134移载。通过反复进行上面的动作，以等间隔间歇地运送多个面板P2。另外，运送机构13的动作开始时机是与粘合的成为套的一方的面板P1的运送相应地开始动作并进行运送。

参照图1及图2，与运送装置CV1相比在下游侧配置了移载装置19。移载装置19由图3的移载机器人RB构成，轨道RL在与面板P1、P2的运送方向交叉的方向(在本实施方式中为Y方向)延伸设置。移载机器人RB将由运送机构12运送的面板P1和由运送机构13移送的面板P2向后述的作业区域R2的中继单元20移载。在从运送机构12取出面板P1时，一方的保持单元5A的手部52插入凹部121a，将面板P1从支承单元121捞起取出。在从运送机构13取出面板P2时，另一方的保持单元5B的手部52从下捞起取出被载置在停止位置SP4的载置部件134、135上的面板P2。

接着，参照图10及图11，对向涂敷装置15供给粘接剂的供给装置17进行说明。供给装置17包括积存部170、供给路171和供给泵17a。积存部170是积存粘接剂的容器。供给路171是积存部170和涂敷头150之间的粘接剂的供给路(配管)。供给泵17a通过动作将粘接剂从积存部170经供给路171向涂敷头150供给。积存部170、供给路171、供给泵17a被支承在支承体2上。供给路171由支承体2的多个腿部2a、被支承在多个腿部2a的工作台部2b、支承涂敷装置15的支柱2c这样的多个部位支承。涂敷装置15被支承在工作台部2b。通过在共用的支承体2上在预先确定的支承位置支承涂敷装置15和供给装置17，决定涂敷装置15和积存部170的位置关系，通过决定将其间连接并供给粘接剂的供给路171的路径，供给路的长度也被设定为一定。

由涂敷装置15进行的向成为涂敷对象的面板P1的涂敷，与粘接剂的粘度、涂敷处理周边的环境相应地调整涂敷速度、涂敷高度、涂敷量，设定最佳的涂敷条件进行涂敷。在此涂敷条件的设定中，通过将供给路径的长度设定为一定，最佳的涂敷条件的设定管理变得容易。另外，通过在共用的支承体2的规定的位置设置涂敷装置15和供给装置17，并将供给路171设置在共用的支承体2上，也可以维持着涂敷装置15、供给装置17、供给路171的关系不变地使装置整体移动，相对于工厂的布局变更也不受到影响，即使在布局变更后，也维持涂敷条件，能够容易地进行涂敷管理。另外，即使在产生了积存部170的更换、供给路171的配管的更换、涂敷头150的更换这样的维护的情况下，因为已经确定了设置位置，所以更换后的定位作业、涂敷条件的设定作业变得简易，能够提高维护性。

<作业区域R2>

参照图1及图12，对被配置在作业区域R2中的结构进行说明。在作业区域R2的下游端，设置了将面板P1和面板P2粘合而制造的层叠体P的取出台24。在取出台24上，例如直立设置多个销，层叠体P被载置在多个销上。

在作业区域R2中设置了支承体3。支承体3是支承被配置在作业区域R2中的各装置的基座，在本实施方式的情况下，被作为框体构成。在支承体3上设置了中继单元20、运送装置CV2、移载装置21、多个粘合装置22及减压装置23。在本实施方式的情况下，设置了3台粘合装置22。

运送装置CV2是与图3所示的移载机器人RB同样的结构，轨道RL在X方向延伸设置。另一方面，移载装置21是在图3所示的移载机器人RB中除了保持单元5A以外的装置。即，是保持单元5B的单臂机器人。运送装置CV2的轨道RL和移载装置21的轨道RL在Y方向离开地平行地配置。3台粘合装置22在X方向等间隔地配置成一列，且被配置在运送装置CV2的轨道RL和移载装置21的轨道RL之间的空间中。也就是说，3台粘合装置22沿运送装置CV2及移载装置21的各移动单元4的移动路径配置。运送装置CV2是将从中继单元20取出的面板P1和面板P2的组运送到任意一个粘合装置22之前为止，并向粘合装置22内投入的装置。移载装置21是将粘合结束了的层叠体P从粘合装置22取出并向取出台24移载的部件。运送装置CV2和移载装置21，其一方位于3台粘合装置22的列的Y方向一方侧，另一方位于另一方侧。因此，能够相互不会干涉地有效地进行由运送装置CV2进行的面板P1及P2向粘合位装置22的投入(运入)和由移载装置21进行的层叠体P的取出(运出)。

中继单元20暂时保持面板P1和面板P2。中继单元20被配置在运送装置CV1和运送装置CV2之间，由运送装置CV1进行了处理的面板P1及P2的组由移载装置19取出，并向中继单元20移载。也就是说，中继单元20作为作业区域R1、R2的连接区域(边界)，被配置在作业区域R1的出口侧，并被配置在作业区域R2的入口。

图13是中继单元20的立体图。中继单元20包括保持单元201及211、旋转机构202及212、反转机构204和支承它们的支承部件200。

保持单元201是保持面板P1的单元。保持单元201是截面U字型的槽状的部件，在其两侧的开放侧的端部(图13中的两下端部)2011具有面板P1的吸附部。吸附部例如通过空气的吸引来吸附面板P1。

保持单元211是保持面板P2的单元。保持单元211是与保持单元201同样的构造，具有截面U字型的外形，在其两侧的开放侧的端部(图13中的两上端部)2111具有面板P2的吸附部。吸附部例如通过空气的吸引来吸附面板P2。面板P2在本实施方式的情况下是液晶显示面板，存在附属了电缆等零件的情况。在保持单元211上，设置了支承这样的附属零件的支承部211a。

旋转机构202是例如以马达为驱动源的机构，使保持单元201绕Z轴旋转。由此，能够自由地改变面板P1的水平方向的朝向。同样，旋转机构212是例如以马达为驱动源的机构，使保持单元211绕Z轴旋转。由此，能够自由地改变面板P2的水平方向的朝向。

反转机构204被支承在支承部件200上，是例如以马达为驱动源的机构，使支承部件203绕Y轴旋转。旋转机构202被支承在L字型的支承部件203上。由此，通过使反转机构204反转，能够使支承部件203、旋转机构202及保持单元201反转，使被保持在保持单元201上的面板P1的表里反转。在支承部件203上设置了平衡配重203a，由此，支承部件203的旋转动作及姿势稳定化。

反转机构204在由保持单元201进行的面板P1的接收时，使支承部件203旋转以便保持单元201的开放侧的两端部2011向上，在向运送装置CV2交接面板P1时，使支承部件203旋转以便保持单元201的两端部2011向下。图13是保持单元201的两端部2011向下的状态。通过此动作，面板P1以粘接剂的涂敷面向上的姿势从移载装置19交接给保持单元201，以涂敷面向下的姿势由运送装置CV2从保持单元201取出。

图14表示从运送装置CV1经移载装置19向中继单元20移载，从中继单元20向运送装置CV2移载时的面板P1及P2的姿势的变化。

状态ST11表示面板P1位于运送机构12的下游端，面板P2位于运送机构13的下游端的状态(停止位置SP4)。面板P1和面板P2处于在Y方向排列的状态。

面板P1和面板P2由移载装置19移载。状态ST12表示面板P1和面板P2由移载装置19保持的状态，两者处于在Z方向排列的状态。移载装置19将面板P1及P2向中继单元20移载。

状态ST13表示面板P1及P2刚刚被移载到中继单元20的状态。面板P1使粘接剂的涂敷面向上被保持在保持单元201上。面板P2被保持在保持单元211上。如状态ST14所示，由旋转机构202及212的驱动及反转机构204的驱动，面板P1进行绕Z轴90度的水平旋转和绕X轴的表里反转，面板P2仅进行绕Z轴90度的水平旋转。由此，面板P1的粘接剂的涂敷面向下。

接着，运送装置CV2从中继单元20取出面板P1及P2。状态ST15表示面板P1和面板P2由运送装置CV2保持的状态，两者处于在Z方向排列的状态。因为面板P1的下面成为粘接剂的涂敷面，所以保持面板P1的手部52在其下面中保持面板P1的上面(没有涂粘接剂的面)。运送装置CV2向三台粘合装置22中的空的粘合装置22(接收准备状态的粘合装置22)运送面板P1及P2的组。

参照图15～图18，对粘合装置22的结构进行说明。粘合装置22具备构成腔部的上侧的腔形成部件221和下侧的腔形成部件222。上侧的腔形成部件221呈底部开放的箱型，下侧的腔形成部件222呈顶部开放的箱型。腔形成部件221的开口缘2211(参照图17)和腔形成部件222的开口缘2221(参照图16)的形状及尺寸相同。因此，若这些腔形成部件221、222面对面地在上下紧贴，则其内部空间形成用于进行面板P1及P2的粘合作业的气密的空间(下面称为粘合作业空间)。在上侧的腔形成部件221和下侧的腔形成部件222上下分离的状态下，在运送装置CV2侧的各开口缘2211、2221之间的间隙构成投入面板P1及P2的投入部，在移载装置21侧的各开口缘2211、2221之间的间隙构成将粘合了的面板P1及P2(也就是层叠体P)取出的取出部。

主要如图17所示，在上侧的腔形成部件221的内侧配置了支承面板P1的粘合支承部220a。在粘合支承部220a的下端面设置了吸附部，由此吸附部吸附并保持面板P1的没有涂粘接剂的面。推压移动机构220被支承在作为支承体3的一部分的框体3c上。框体3c由被直立设置在工作台部3a上的多个支柱3b支承。推压移动机构220具备升降轴220b(参照图16)、在Z方向移动升降轴220b的驱动机构及使升降轴220b绕Z轴旋转的驱动机构。升降轴220b被设置成通过工作台部3a的开口向下方延伸，并气密地贯通上侧的腔形成部件221的顶板。粘合支承部220a被固定在升降轴220b的下端部，粘合支承部220a由升降轴220b的升降动作、回转动作进行升降、回转。

在工作台部3a上支承着电动缸等升降机构221a。上侧的腔形成部件221由此升降机构221a升降。在工作台部3a上还支承着一对临时放置单元225。临时放置单元225是暂时支承面板P1的单元。各临时放置单元225具备在X方向离开的两个滑块225a和使滑块225a在X方向移动的驱动机构。在一对临时放置单元225之间，在滑块225a之间架设了杆225b。从运送装置CV2交接的面板P1被临时支承在两杆225b上，此后，被转移到粘合支承部220a。

主要如图18所示，在下侧的腔形成部件222的内侧空间的底部配置了支承面板P2的粘合支承部222a。在粘合支承部222a的上面上设置了吸附部，在此吸附部吸附并保持面板P2的非粘合面。

另外，在下侧的腔形成部件222的内部的底部设置了多个载置部件233a。多个载置部件233a是暂时支承面板P2的部件。载置部件233a呈销状，贯通下侧的腔形成部件222的底部地设置，其下端部被支承在升降机构223上。升降机构223使多个载置部件233a在Z方向移动。从运送装置CV2移载的面板P2被临时支承在多个载置部件233a上，此后，由升降机构223使多个载置部件233a下降，将载置部件233a上的面板P2向粘合支承部222a交接。

下侧的腔形成部件222经支柱226a支承在基座板226上。基座板226被设置在多轴滑块227上，在X方向、Y方向移动。由此，可调整下侧的腔形成部件222内的面板P2的X方向、Y方向的位置。作为多轴滑块227，例如可列举X-Y工作台。

如图16所示，粘合装置22具备测量装置224。测量装置224由在Y方向面对面地设置的一组摄影单元构成。另外，测量装置224被构成为可对上下方向进行摄影的未图示的摄影部朝向上下方向。至于其它的结构，与上述的测量装置14相同。在本实施方式中，关于面板P1，是在一方的测量装置224中进行其位置等的测量，关于面板P2，是在将面板P2支承在粘合支承部222a的阶段由另一方的测量装置224进行其位置等的测量。测量装置224，将一组摄影单元一起在X、Y方向移动，从上对面板P2进行摄影，并且从下对面板P1进行摄影，测量各自的面板的位置、姿势。而且，与面板P1及面板P2的测量结果相应地进行由多轴滑块227进行的X、Y方向的面板P2的位置调整和由升降轴220b进行的面板P1的绕Z轴的位置调整。通过这些位置调整，进行面板P1和面板P2的相互的对位，将面板P1、P2位于粘合位置。

在粘合面板P1和面板P2时，对粘合作业空间进行减压，使之接近于真空，由此，能够抑制气泡向粘合面的混入，将气泡除去。减压装置23是对粘合作业空间进行减压的装置。参照图19及图20，减压装置23包括减压产生部231和减压路232。减压产生部231在各粘合装置22的每一个中都具备真空泵等产生负压的机构。减压路232是连接减压产生部231和下侧的腔形成部件222的配管。减压产生部231及减压路232均被支承在支承体3上，特别是减压路232在多个部位被支承。通过将各粘合装置22和减压装置23在预先确定的支承位置支承在共用的支承体3上，决定对应的粘合装置22和减压产生部231的位置关系，通过决定将其间连接的各自的减压路232的路径，规定并设定各自的减压路232的长度。

由多个粘合装置22进行的面板P1及面板P2的粘合，通过由一个运送装置CV2向各自的粘合装置22移送成为粘合的对象的面板P1及面板P2来进行。另外，粘合处理后的层叠体P，由一个移载装置21从各自的粘合装置22向取出台24移载。由一个运送装置CV2进行的相对于多个运送目的地的运送管理或由一个移载装置21进行的从多个移载原地的运送管理分别根据各自的粘合装置22的处理时间来管理，通过设定减压路232的长度，粘合处理的时间管理变得容易，容易最佳地管理作业区域R2中的运送管理。另外，通过将粘合装置22和减压产生部231设置在共用的支承体3的规定的位置，并将减压路232设置在共用的支承体3上，可维持着粘合装置22、减压产生部231、减压路232的关系不变地使装置整体移动。由此，不会受到与工厂的布局变更相伴的影响，即使在布局变更后，也维持各自的粘合装置22的减压条件，能够容易地进行运送的管理。另外，即使在产生了减压产生部231的更换、减压路232的配管的更换、下侧的腔形成部件222的更换这样的维护的情况下，因为已经确定了设置位置，所以更换后的定位作业、粘合的设定作业变得简易，能够提高维护性。

参照图21，对由粘合装置22进行的面板P1、P2的粘合动作进行说明。

状态ST21表示从运送装置CV2投入了面板P1、P2的组的阶段。腔形成部件221、222上下离开，粘合支承部220a位于上侧的腔形成部件221的内部上方，面板P1被载置在杆225b、225b上。多个载置部件223a处于上升了的位置，面板P2被载置在多个载置部件223a上。

接着，如状态ST22所示，粘合支承部220a下降，被载置在杆225b、225b上的面板P1由粘合支承部220a吸附。另外，多个载置部件223a下降，面板P2被载置并保持在粘合支承部222a上。

接着，如状态ST23所示，杆225b、225b在相互离开的方向(X方向)移动，从上侧的腔形成部件221的下方的位置向侧方退避。另外，在状态ST23的阶段，通过由测量装置224进行的面板P2的测量和由多轴滑块227进行的面板P2的水平移动及由升降轴220b进行的面板P1的旋转，进行面板P1、P2的粘合位置的调整。

接着，如状态ST24所示，上侧的腔形成部件221由升降机构221a下降，腔形成部件221的开口缘2211与腔形成部件222的开口缘2221抵接，由腔形成部件221和腔形成部件222形成密闭的粘合作业空间。此后，通过减压装置23的工作，对粘合作业空间进行减压。

接着，如状态ST25所示，粘合支承部220a由推压移动机构220下降，将面板P1向面板P2推压。由此，将两者粘合，制造层叠体P。在本实施方式中，做成了使粘合支承部220a在面板P1和面板P2接近或离开的方向(Z方向)移动的结构，但也可以采用使粘合支承部222a移动的结构。

此后，进行减压装置23的停止及面板P1、P2的保持的解除，使粘合作业空间返回到大气压。如状态ST26所示，上侧的腔形成部件221通过升降机构221a上升，将粘合作业空间开放。多个载置部件223a上升，将层叠体P从粘合支承部222a向上方抬起。层叠体P由移载装置21捞起，向取出台24移载。

<控制系统>

图22是制造系统1的控制系统的块图。在构成制造系统1的各装置或机构中分别设置控制器进行控制。在图22的例中，例示了运送机构12、运送机构13及涂敷装置15的各控制器8A～8C，但其它的机构或装置也同样。各控制器和主控制器7经LAN等通信线路可通信地连接。各控制器和主控制器7，例如，包括CPU等处理部；存储处理部执行的程序、数据的存储部；传感器；与执行器的输入输出接口及通信接口等。

主控制器7控制制造系统1整体。在主控制器7的存储部储存了作业信息7a、状况信息7b。作业信息7a包括特定相互粘合的面板P1、P2的组的信息、作业状态的信息。在特定组的信息中包括每组的ID、每个面板的ID的信息。根据这样的信息，在制造中或制造后的面板P1、P2的组合的管理、特定变得容易。状况信息7b表示每个粘合装置22的粘合状况。根据此信息，能够选择可投入面板的组的粘合装置22。

图23～图25示意性地表示制造系统1的控制例。在这里，主要说明面板P1、P2的运送方式。

状态ST31表示将面板P1、P2的组从前面的工序投入到投入台10A、10B的阶段。此后，如状态ST32所示，面板P1、P2由移载装置11向运送装置CV1移载。将面板P1向运送机构12(测量装置14的位置)移载，将面板P2向运送机构13移载(停止位置SP1)。

状态ST33表示开始运送最初被投入的面板P1、P2的阶段。将面板P1向停止位置SP2运送。运送机构13的控制器8B，伴随着由控制器8A进行的运送机构12的运送控制动作，驱动运送机构13。因此，也将面板P2向停止位置SP2运送。另外，在状态ST33下，将下个面板P1、P2的组从前面的工序向投入台10A、10B投入。

在状态ST34下，由涂敷装置15相对于最初被投入的面板P1涂敷粘接剂。接着第二次被投入的面板P1、P2由移载装置11向运送装置CV1移载。

在状态ST35下，最初被投入的面板P1向停止位置SP3运送。与此相伴，最初被投入的面板P2也向停止位置SP3运送。另外，第二次被投入的面板P1、P2向停止位置SP2运送。在状态ST36下，向最初被投入的面板P1照射紫外线，第三次被投入的面板P1、P2向停止位置SP1移载。

在状态ST37下，最初被投入的面板P1向停止位置SP4运送。与此相伴，最初被投入的面板P2也向停止位置SP4运送。在停止位置SP4，面板P1由测量装置18测量膜厚。另外，第二次被投入的面板P1、P2向停止位置SP3运送，第三次被投入的面板P1、P2向停止位置SP2运送。投入第四次的面板P1、P2。

在状态ST38下，最初被投入的面板P1、P2由移载装置19向中继单元20移载。在这里，进行面板P1、P2朝向的变更和面板P1的反转。将第四次的面板P1、P2向停止位置SP1移载。

在状态ST39下，最初被投入的面板P1、P2由运送装置CV2从中继单元20运送。在作业区域R1中，是面板P1、P2在运送方向左右并列地被运送的水平并列运送，但在作业区域R2中，成为面板P1、P2在运送方向上下并列地被运送的垂直并列运送。通过切换并列方向，能够采取分别适合于粘接剂的涂敷和面板之间的粘合的运送方式。

另外，如在状态ST39下由虚线包围的那样，在任一情况下都是相互粘合的面板P1、P2成套地运送。在水平并列运送中，尽管在停止位置之间存在些许运送偏差，但是被组合的面板P1、P2在停止位置在左右方向(Y方向)对齐地停止。另外，在垂直并列运送中，运送无偏差地组合的面板P1、P2。被粘合的面板的组合具有不仅在控制上容易管理，而且在作业者的视觉上也容易明白这样的优点。

在状态ST40下，最初被投入的面板P1、P2由运送装置CV2向任意的粘合装置22投入，进行粘合作业。使用的粘合装置22通过参照状况信息7b进行选择。第二次被投入的面板P1、P2由移载装置19向中继单元20移载。

在状态ST41下，第二次被投入的面板P1、P2由运送装置CV2向其它的粘合装置22投入，进行粘合作业。使用的粘合装置22通过参照状况信息7b进行选择。第三次、第四次被投入的面板P1、P2依次向下个停止位置运送，投入第五次的面板P1、P2。

在状态ST42下，最初被投入的面板P1、P2的粘合结束，其层叠体P由移载装置21从粘合装置22运出。移载装置21向取出台24移载层叠体P。取出台24上的层叠体P由未图示的装置向下个工序运送。通过反复进行上面的步骤，制造层叠体P。

在这里，对面板P1或P2存在异常的情况下的应对进行说明。状态ST51，设想了由测量装置18进行的面板P1的粘接剂的膜厚测定的结果为NG的情况。在此情况下，作业者或未图示的装置将如状态ST52所示的那样受到了NG判定的面板P1从生产线除去。此时，与其组合的面板P2也从生产线除去。由此，能够不会改变各面板P1和各面板P2的组合地进行层叠体P的制造。

<系统的布局例>

在本实施方式中，因为区分为主要进行粘接剂的涂敷的作业区域R1和主要进行面板彼此的粘合的作业区域R2来构成系统，所以布局变更具有灵活性。例如，在作业区域R2的负荷高的情况下(在作业区域R2中的处理需要的时间长的情况下)，能够采用图26的布局LO1。

布局LO1是相对于一个作业区域R1并列地设置了多个作业区域R2的结构。仅通过使移载装置19的移动路径延长到横跨多个作业区域R2的范围就能够应对。

在作业区域R1的负荷高的情况下(在作业区域R1中的处理需要的时间长的情况下)，能够采用图26的布局LO2。这是并列地设置了多个作业区域R1的结构。移载装置19在多个作业区域R1中共用，使其移动路径延长到横跨多个作业区域R1的范围。

作为其它的布局，也可以采用图26的布局LO3。布局LO3是将中继单元20配置在作业区域R1中的布局。

符号的说明

P1：面板；P2：面板；P：层叠体；1：制造系统；CV1：运送装置；CV2：运送装置。

Claims (16)

1.一种制造系统，所述制造系统在第一作业区域中向第一面板涂敷粘接剂，在第二作业区域中将涂敷了所述粘接剂的所述第一面板和第二面板粘合而制造层叠体，其特征在于，

具备第一运送装置、涂敷装置、粘合装置和第二运送装置，

所述第一运送装置被配置在所述第一作业区域中，运送所述第一面板及所述第二面板，

所述涂敷装置被配置在所述第一作业区域中，向由所述第一运送装置运送的所述第一面板涂敷所述粘接剂，

所述粘合装置被配置在所述第二作业区域中，将所述第一面板及所述第二面板粘合，

所述第二运送装置被配置在所述第二作业区域中，向所述粘合装置运送所述第一面板及所述第二面板，

所述第一运送装置具备第一运送机构和第二运送机构，

所述第一运送机构在第一运送方向间歇地运送多个所述第一面板，

所述第二运送机构在所述第一运送方向间歇地运送多个所述第二面板，

所述涂敷装置包括涂敷头、升降机构和水平移动机构，

所述涂敷头排出所述粘接剂，

所述升降机构使该涂敷头升降，

所述水平移动机构使该升降机构在与所述第一运送方向正交的方向进行水平移动，

所述第一运送装置及所述第二运送装置将粘合的所述第一面板和所述第二面板成套运送。

2.如权利要求1所述的制造系统，其特征在于，

还具备对所述第一运送装置的运送进行控制的第一控制装置，

所述第一控制装置对由所述第一运送机构进行的所述第一面板的间歇的运送、由所述第二运送机构进行的所述第二面板的间歇的运送、所述第一面板及所述第二面板的成套的并列运送进行控制。

3.如权利要求1所述的制造系统，其特征在于，

所述第二运送装置具备移动单元和保持单元，

所述移动单元沿规定的移动路径移动，

所述保持单元被搭载在所述移动单元上，保持所述第一面板及第二面板，

所述粘合装置沿所述移动路径设置多个。

4.如权利要求3所述的制造系统，其特征在于，

还具备对所述第二运送装置的运送进行控制的第二控制装置，

所述第二控制装置，基于各自的所述粘合装置的粘合状况，选择进行运送的所述第一面板及所述第二面板的粘合的所述粘合装置，由所述第二运送装置向选择了的所述粘合装置运送所述第一面板及所述第二面板的组。

5.如权利要求3所述的制造系统，其特征在于，

具备中继单元和移载装置，

所述中继单元被配置在所述第一运送装置和所述第二运送装置之间，暂时保持所述第一面板及所述第二面板，

所述移载装置从所述第一运送装置向所述中继单元移载所述第一面板及所述第二面板，

所述第二运送装置中的所述保持单元从所述中继单元取出所述第一面板及所述第二面板的组，将它们向任意的所述粘合装置供给。

6.如权利要求5所述的制造系统，其特征在于，

所述中继单元具备使由所述移载装置移载的所述第一面板或所述第二面板的表里反转的反转机构。

7.如权利要求3所述的制造系统，其特征在于，

还具备移载装置和反转机构，

所述移载装置从所述第一运送装置向所述第二运送装置移载所述第一面板及所述第二面板的组，

所述反转机构被配置在所述第二作业区域中，从所述移载装置接收所述第一面板及所述第二面板的组，使它们之中的任意一方的面板表里反转。

8.如权利要求5或权利要求7所述的制造系统，其特征在于，

所述移载装置具备第二移动单元和第二保持单元，

所述第二移动单元在与所述移动路径交叉的第二移动路径中移动，

所述第二保持单元被搭载在所述第二移动单元上，保持所述第一面板及所述第二面板的组。

9.如权利要求5或权利要求6所述的制造系统，其特征在于，

所述中继单元具备第一旋转机构和第二旋转机构，

所述第一旋转机构变更所述第一面板的朝向，

所述第二旋转机构变更所述第二面板的朝向。

10.如权利要求6所述的制造系统，其特征在于，

所述粘合装置具备投入部、第一粘合支承部、第二粘合支承部、推压移动机构和取出部，

所述投入部将所述第一面板及所述第二面板从所述第二运送装置投入，

所述第一粘合支承部支承被投入的所述第一面板，

所述第二粘合支承部以粘合面与所述第一面板相向的状态支承被投入的所述第二面板，

所述推压移动机构使所述第一粘合支承部或所述第二粘合支承部的任意一方在所述第一面板和所述第二面板接近或离开的方向移动，并将它们粘合，

所述取出部取出被粘合了的所述第一面板及所述第二面板。

11.如权利要求1所述的制造系统，其特征在于，

还具备共用的第一支承体，所述第一支承体在预先确定的各自的支承位置支承所述涂敷装置和向该涂敷装置供给粘接剂的供给装置，

所述供给装置包括积存所述粘接剂的积存部和从所述积存部向所述涂敷头供给的粘接剂的供给路，

所述第一支承体在多个部位支承所述供给路。

12.如权利要求11所述的制造系统，其特征在于，

还具备共用的第二支承体，所述第二支承体在预先确定的各自的支承位置支承所述粘合装置和对该粘合装置的内部的粘合作业空间进行减压的减压装置，

所述粘合装置包括形成所述粘合作业空间的腔部，

所述减压装置包括减压产生部和连接该减压产生部和所述腔部的减压路，

所述第二支承体在多个部位支承所述减压路。

13.一种制造方法，所述制造方法在第一作业区域中向第一面板涂敷粘接剂，在第二作业区域中将涂敷了所述粘接剂的所述第一面板和第二面板粘合而制造层叠体，其特征在于，

具备第一运送工序、涂敷工序、第二运送工序和粘合工序，

所述第一运送工序在所述第一作业区域中运送所述第一面板及所述第二面板，

所述涂敷工序在所述第一作业区域中向由所述第一运送工序运送的所述第一面板涂敷所述粘接剂，

所述第二运送工序在所述第二作业区域中运送所述第一面板及所述第二面板，

所述粘合工序在所述第二作业区域中将由所述第二运送工序运送的所述第一面板及所述第二面板粘合，

所述第一运送工序在第一运送方向间歇地运送多个所述第一面板，并且在所述第一运送方向间歇地运送多个所述第二面板，

所述涂敷工序使排出所述粘接剂的涂敷头在与所述第一运送方向正交的方向进行水平移动，将所述粘接剂涂敷在所述第一面板上，

在所述第一运送工序及所述第二运送工序中，

将粘合的所述第一面板和所述第二面板成套运送。

14.如权利要求13所述的制造方法，其特征在于，

所述第一运送工序包括水平并列运送工序，所述水平并列运送工序将成套运送的所述第一面板及所述第二面板在运送方向左右并列地运送，

所述第二运送工序包括垂直并列运送工序，所述垂直并列运送工序将成套运送的所述第一面板及所述第二面板在运送方向上下并列地运送。

15.如权利要求13所述的制造方法，其特征在于，

在所述涂敷工序之前还具备第一测量工序，所述第一测量工序测量所述第一面板的厚度，

在所述涂敷工序中，以基于所述第一测量工序的测量结果预先设定的膜厚向所述第一面板将所述粘接剂涂敷成膜状。

16.如权利要求13所述的制造方法，其特征在于，

在所述涂敷工序之后还具备第二测量工序，所述第二测量工序测量被涂敷在所述第一面板上的所述粘接剂的膜厚。

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