JP5525190B2 - 塗布装置及び塗布方法 - Google Patents
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Description
外部から該基板載置テーブルへの該基板の搬入は、搬入側搬送コンベアから搬入高さを該基板載置テーブルでの基板載置面と同じ高さに維持した状態で行なわれ、かつ該基板載置テーブルから外部への該基板の搬出は、該基板載置テーブルから搬出側搬送コンベアに搬出高さを該基板載置テーブルでの基板載置面と同じ高さに維持した状態で行われ、該基板載置テーブルを、搬入側搬送コンベアから搬入された該基板が載置される位置から該基板を該搬出側搬送コンベアに搬出する位置まで、該基板を載置した状態で、移動させる第1の移動機構と、
該基板載置テーブルを支持し且つその裏面側に配置されたクロスローラ軸受けと該基板載置テーブルを支持し且つその裏面側に配置された複数のXYθ軸方向微動機構とから構成され、該基板載置テーブルの中心部を中心として該クロスローラ軸受けによって該基板を載置した状態で該基板載置テーブルをその上面の基板載置面に対する垂直軸回りに回動させるとともに、該クロスローラ軸受けとは等しく離れた位置での該基板載置テーブルの支持位置で前記複数のXYθ軸方向微動機構によって該基板載置テーブルを回動させる第2の移動機構とを備えたものである。
外部から該基板載置テーブルへの該基板の搬入は、搬入側搬送コンベアから搬入高さを該基板載置テーブルでの基板載置面と同じ高さに維持した状態で行なわれ、かつ該基板載置テーブルから外部への該基板の搬出は、該基板載置テーブルから搬出側搬送コンベアに搬出高さを該基板載置テーブルでの基板載直面と同じ高さに維持した状態で行われ、該基板載置テーブルは、搬入側搬送コンベアから搬入された該基板が載置される位置から該基板を該搬出側搬送コンベアに搬出する位置まで、該基板を載置した状態で、移動し、
該基板載置テーブルを支持し且つその裏面側に配置されたクロスローラ軸受けと該基板載置テーブルを支持し且つその裏面側に配置された複数のXYθ軸方向微動機構とから構成され、該基板載置テーブルの中心部を中心として該クロスローラ軸受けによって該基板を載置した状態で該基板載置テーブルをその上面の基板載置面に対する垂直軸回りに回動させるとともに、該クロスローラ軸受けとは等しく離れた位置での該基板載置テーブルの支持位置で前記複数のXYθ軸方向微動機構によって該基板載置テーブルを回動させてθ軸ずれを補正するものである。
2a〜2c ガントリ
3 横梁
4a,4b X軸方向移動機構
5a,5b リニアレール
6 ワークテーブル
7 リニアレール
8 塗布ヘッド
9 カバー
10 基板搬入口
11 基板搬出口
13 Z軸移動テーブル
14 ノズル
15,15a〜15e 基板吸着プレート
16,16a〜16d ローラ
17 ガラス基板
18a 搬入側搬送コンベア
18b 搬出側搬送コンベア
19 基板載置部材
20a〜20d 連結部材
21 エア吸着孔
22a,22b 基板位置決めピン
23 クロスローラ軸受
24a〜24d XYθ軸方向微動機構
25 クロスローラ軸受
26 直交軸受
27 基板吸着プレート
27a 基板載置面
27b 前側面
28 エア噴出/吸着孔
29 エア吸着孔
30 エア噴出孔
34af ガントリ移動用X軸リニアモータ用ドライバ
34ag 塗布ヘッド部移動用Y軸リニアモータ用ドライバ
34ah ワークテーブル回転用θ軸モータ用ドライバ
34ai ワークテーブル移動用T軸リニアモータ用ドライバ
34b 副制御部
39 Z軸モータ用ドライバ
40 耐圧カバー
41a 基板搬入ゲート
41b 基板搬出ゲート
42 吸引ブロア
43 配管
Claims (12)
- 塗布材を充填した塗布材収納筒と該塗布材収納筒からの塗布材を吐出するノズル吐出口とを備えた1または複数の塗布ヘッドを移動可能に設けられたガントリが1または複数台架台上に設置され、該架台上に設置された基板載置テーブルに搭載された基板に対して該ガントリが移動し、該ガントリに対して該塗布ヘッドが移動することにより、該基板に対して該塗布ヘッドが移動し、該ノズル吐出口から該基板上に該塗布材を吐出させる塗布装置において、
外部から該基板載置テーブルへの該基板の搬入は、搬入側搬送コンベアから搬入高さを該基板載置テーブルでの基板載置面と同じ高さに維持した状態で行なわれ、かつ該基板載置テーブルから外部への該基板の搬出は、該基板載置テーブルから搬出側搬送コンベアに搬出高さを該基板載置テーブルでの基板載置面と同じ高さに維持した状態で行われ、
該基板載置テーブルを、搬入側搬送コンベアから搬入された該基板が載置される位置から該基板を該搬出側搬送コンベアに搬出する位置まで、該基板を載置した状態で、移動させる第1の移動機構と、
該基板載置テーブルを支持し且つその裏面側に配置されたクロスローラ軸受けと該基板載置テーブルを支持し且つその裏面側に配置された複数のXYθ軸方向微動機構とから構成され、該基板載置テーブルの中心部を中心として該クロスローラ軸受けによって該基板を載置した状態で該基板載置テーブルをその上面の基板載置面に対する垂直軸回りに回動させるとともに、該クロスローラ軸受けとは等しく離れた位置での該基板載置テーブルの支持位置で前記複数のXYθ軸方向微動機構によって該基板載置テーブルを回動させる第2の移動機構と
を備えたことを特徴とする塗布装置。 - 請求項1において、
前記架台上に複数台の前記ガントリが設置され、
複数台の前記ガントリのうちのいずれかの前記ガントリに設けられている前記塗布ヘッドは、他の前記ガントリに設けられている前記塗布ヘッドとは異なる種類の前記塗布材を前記基板上に吐出することを特徴とする塗布装置。 - 請求項1または2において、
同じ前記ガントリに設けられている前記複数の塗布ヘッドのうちのいずれかの前記塗布ヘッドと他の前記塗布ヘッドとは、種類が異なる前記塗布材を前記基板上に吐出することを特徴とする塗布装置。 - 請求項1,2または3において、
前記基板載置テーブルは、
前記基板載置テーブル上で前記基板を一方向に移動させるローラによる基板移動手段と、
前記基板載置テーブル上で前記基板を吸着し、前記基板載置テーブル上で前記基板を位置固定する基板位置固定手段と
を備えたことを特徴とするとする塗布装置。 - 請求項1,2または3において、
前記基板載置テーブルは、
前記基板載置テーブル上で前記基板にエアを吹き付けることによって前記基板を一方向に移動させる基板移動手段と、
前記基板載置テーブル上で前記基板を吸着し、前記基板載置テーブル上で前記基板を位置固定する基板位置固定手段と
を備えたことを特徴とするとする塗布装置。 - 請求項1〜5のいずれか1つにおいて、
前記架台上の前記基板載置テーブルの移動範囲を耐圧カバーで覆い、該耐圧カバーで覆われた内部をエア吸引手段で大気圧よりも低い気圧に設定し、該低い気圧の環境内で前記ガントリの前記塗布ヘッドで前記基板載置テーブルに載置された前記基板への塗布動作を行なうことを特徴とするとする塗布装置。 - 塗布材を充填した塗布材収納筒と該塗布材収納筒からの塗布材を吐出するノズル吐出口とを備えた1または複数の塗布ヘッドが移動可能に設けられたガントリが1または複数台で架台上に設置され、該架台上に設置された基板載置テーブルに載置された基板に対して該ガントリが移動し、該ガントリに対して該塗布ヘッドが移動することにより、該基板に対して該塗布ヘッドが移動し、該ノズル吐出口から該基板上に該塗布材を吐出させる塗布方法において、
外部から該基板載置テーブルへの該基板の搬入は、搬入側搬送コンベアから搬入高さを該基板載置テーブルでの基板載置面と同じ高さに維持した状態で行なわれ、かつ該基板載置テーブルから外部への該基板の搬出は、該基板載置テーブルから搬出側搬送コンベアに搬出高さを該基板載置テーブルでの基板載直面と同じ高さに維持した状態で行われ、
該基板載置テーブルは、搬入側搬送コンベアから搬入された該基板が載置される位置から該基板を該搬出側搬送コンベアに搬出する位置まで、該基板を載置した状態で、移動し、
該基板載置テーブルを支持し且つその裏面側に配置されたクロスローラ軸受けと該基板載置テーブルを支持し且つその裏面側に配置された複数のXYθ軸方向微動機構とから構成され、該基板載置テーブルの中心部を中心として該クロスローラ軸受けによって該基板を載置した状態で該基板載置テーブルをその上面の基板載置面に対する垂直軸回りに回動させるとともに、該クロスローラ軸受けとは等しく離れた位置での該基板載置テーブルの支持位置で前記複数のXYθ軸方向微動機構によって該基板載置テーブルを回動させてθ軸ずれを補正する
ことを特徴とする塗布方法。 - 請求項7において、
前記架台上に複数台の前記ガントリが設置され、
複数台の前記ガントリのうちのいずれかの前記ガントリに設けられている前記塗布ヘッドは、他の前記ガントリに設けられている前記塗布ヘッドとは異なる種類の前記塗布材を前記基板上に吐出することを特徴とする塗布方法。 - 請求項7または8において、
同じ前記ガントリに設けられている前記複数の塗布ヘッドのうちのいずれかの前記塗布ヘッドと他の前記塗布ヘッドとは、種類が異なる前記塗布材を前記基板上に吐出することを特徴とする塗布方法。 - 請求項7,8または9において、
前記基板載置テーブル上で前記基板をローラによる基板移動手段で一方向に移動させて前記基板載置テーブル上での前記基板の位置決めを行ない、
位置決めされた前記基板を吸着して、前記基板載置テーブル上で前記基板を位置固定する
ことを特徴とする塗布方法。 - 請求項7,8または9において、
前記基板載置テーブル上で前記基板にエアを吹き付けることにより、前記基板を一方向に移動させて前記基板載置テーブル上での前記基板の位置決めを行ない、
位置決めされた前記基板を吸着して、前記基板載置テーブル上で前記基板を位置固定することを特徴とする塗布方法。 - 請求項7〜11のいずれか1つにおいて、
前記架台上の前記基板載置テーブルの移動範囲を耐圧カバーで覆い、該耐圧カバーで覆われた内部を大気圧よりも低い気圧に設定し、該低い気圧の環境内で前記ガントリの前記塗布ヘッドで前記基板載置テーブルに載置された前記基板への塗布動作を行なうことを特徴とする塗布方法。
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