JPH01125549U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01125549U JPH01125549U JP2202288U JP2202288U JPH01125549U JP H01125549 U JPH01125549 U JP H01125549U JP 2202288 U JP2202288 U JP 2202288U JP 2202288 U JP2202288 U JP 2202288U JP H01125549 U JPH01125549 U JP H01125549U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- carry
- suction port
- exposure apparatus
- suctioning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims 1
Description
第１図は本考案の露光装置用ウエハチヤツクを
示す平面図、第２図は第１図のＡ―Ａ線断面図、
第３図は従来の露光装置用ウエハチヤツクを示す
平面図、第４図は第３図のＢ―Ｂ線断面図である
。 １……ウエハ、２……ウエハチヤツク、３……
吸着口、４……吸着溝、５……搬出吹出し口、６
……搬出ノズル、７……搬出トラツク、８……球
面座、９……球面座固定吸着口、１０……シール
部、１１……接続金具。
示す平面図、第２図は第１図のＡ―Ａ線断面図、
第３図は従来の露光装置用ウエハチヤツクを示す
平面図、第４図は第３図のＢ―Ｂ線断面図である
。 １……ウエハ、２……ウエハチヤツク、３……
吸着口、４……吸着溝、５……搬出吹出し口、６
……搬出ノズル、７……搬出トラツク、８……球
面座、９……球面座固定吸着口、１０……シール
部、１１……接続金具。
Claims (1)
- 半導体ウエハ露光装置のウエハチヤツクに、ウ
エハを吸着固定する吸着口と、ウエハ面に対しガ
ス流を搬出方向斜めに、吹き付ける搬出吹出し口
とを有することを特徴とする露光装置用ウエハチ
ヤツク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2202288U JPH01125549U (ja) | 1988-02-22 | 1988-02-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2202288U JPH01125549U (ja) | 1988-02-22 | 1988-02-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01125549U true JPH01125549U (ja) | 1989-08-28 |
Family
ID=31239767
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2202288U Pending JPH01125549U (ja) | 1988-02-22 | 1988-02-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01125549U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006090580A1 (ja) * | 2005-02-24 | 2006-08-31 | Fujifilm Corporation | シート体位置決め保持方法及び機構並びにそれを用いた描画装置 |
| JP2010284580A (ja) * | 2009-06-10 | 2010-12-24 | Hitachi Plant Technologies Ltd | 塗布装置及び塗布方法 |
-
1988
- 1988-02-22 JP JP2202288U patent/JPH01125549U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006090580A1 (ja) * | 2005-02-24 | 2006-08-31 | Fujifilm Corporation | シート体位置決め保持方法及び機構並びにそれを用いた描画装置 |
| JP2010284580A (ja) * | 2009-06-10 | 2010-12-24 | Hitachi Plant Technologies Ltd | 塗布装置及び塗布方法 |
| TWI460020B (zh) * | 2009-06-10 | 2014-11-11 | Hitachi Ltd | Smearing and smearing method |