JPH02135140U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02135140U JPH02135140U JP4348189U JP4348189U JPH02135140U JP H02135140 U JPH02135140 U JP H02135140U JP 4348189 U JP4348189 U JP 4348189U JP 4348189 U JP4348189 U JP 4348189U JP H02135140 U JPH02135140 U JP H02135140U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adsorption surface
- processed
- sealing material
- board
- electrostatic
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 4
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 2
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 claims 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
Landscapes
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例の静電チヤツク装
置の基本的な構成を示す断面図、第２図はそのチ
ヤツク板１１の平面図、第３図は第１図に示され
た実施例と先行技術との各放熱能力を示す図、第
４図は先行技術の基本的な構成を示す断面図、第
５図はそのチヤツク板１の平面図である。 １１……チヤツク板、１１ａ……吸着面、１２
……ウエハ（処理物）、１３，１４……電極、１
５……直流電源、１６……環状凹所、１７……Ｏ
リング（シール材）、１８……ガス導入口。
置の基本的な構成を示す断面図、第２図はそのチ
ヤツク板１１の平面図、第３図は第１図に示され
た実施例と先行技術との各放熱能力を示す図、第
４図は先行技術の基本的な構成を示す断面図、第
５図はそのチヤツク板１の平面図である。 １１……チヤツク板、１１ａ……吸着面、１２
……ウエハ（処理物）、１３，１４……電極、１
５……直流電源、１６……環状凹所、１７……Ｏ
リング（シール材）、１８……ガス導入口。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 処理物をチヤツク板の吸着面に静電気力により
吸着させるようにした静電チヤツク装置において
、 前記チヤツク板の吸着面において前記処理物の
周縁部に対向する部位に環状のシール材を配置し
、この環状のシール材の内方側の前記吸着面と処
理物との間に冷却ガスを導入するようにしたこと
を特徴とする静電チヤツク装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4348189U JPH02135140U (ja) | 1989-04-12 | 1989-04-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4348189U JPH02135140U (ja) | 1989-04-12 | 1989-04-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02135140U true JPH02135140U (ja) | 1990-11-09 |
Family
ID=31555924
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4348189U Pending JPH02135140U (ja) | 1989-04-12 | 1989-04-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02135140U (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0647642A (ja) * | 1992-01-21 | 1994-02-22 | Applied Materials Inc | 絶縁型静電チャックと励起方法 |
| JP2005101505A (ja) * | 2003-03-13 | 2005-04-14 | Ventec-Ges Fuer Venturekapital & Unternehmensberatung Mbh | 可動可搬型静電式基板保持器 |
| JP2009249662A (ja) * | 2008-04-03 | 2009-10-29 | Ulvac Japan Ltd | 真空処理装置 |
| JP2016051836A (ja) * | 2014-09-01 | 2016-04-11 | 株式会社ディスコ | 静電支持プレート及び静電支持プレートの製造方法 |
-
1989
- 1989-04-12 JP JP4348189U patent/JPH02135140U/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0647642A (ja) * | 1992-01-21 | 1994-02-22 | Applied Materials Inc | 絶縁型静電チャックと励起方法 |
| JP2005101505A (ja) * | 2003-03-13 | 2005-04-14 | Ventec-Ges Fuer Venturekapital & Unternehmensberatung Mbh | 可動可搬型静電式基板保持器 |
| JP2009249662A (ja) * | 2008-04-03 | 2009-10-29 | Ulvac Japan Ltd | 真空処理装置 |
| JP2016051836A (ja) * | 2014-09-01 | 2016-04-11 | 株式会社ディスコ | 静電支持プレート及び静電支持プレートの製造方法 |