JPS6389238U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6389238U JPS6389238U JP18285286U JP18285286U JPS6389238U JP S6389238 U JPS6389238 U JP S6389238U JP 18285286 U JP18285286 U JP 18285286U JP 18285286 U JP18285286 U JP 18285286U JP S6389238 U JPS6389238 U JP S6389238U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- pressing member
- surface pressing
- jig according
- front surface
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000004809 Teflon Substances 0.000 claims 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 claims 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims 1
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Landscapes
- Weting (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例を示すバツクエツチン
グ治具の断面図、第２図はＸ線マスクの断面図、
第３図はＸ線マスクブランクスの製造方法を示す
製造工程断面図、第４図は従来技術の問題点説明
図である。 ２１……ウエハ表面押さえ部材、２２……凹所
、２３……ウエハ裏面押さえ部材、２４……Ｏリ
ング、２５……ねじ合わせ部、２６……ウエハ、
２７……ハンドリング用把手。
グ治具の断面図、第２図はＸ線マスクの断面図、
第３図はＸ線マスクブランクスの製造方法を示す
製造工程断面図、第４図は従来技術の問題点説明
図である。 ２１……ウエハ表面押さえ部材、２２……凹所
、２３……ウエハ裏面押さえ部材、２４……Ｏリ
ング、２５……ねじ合わせ部、２６……ウエハ、
２７……ハンドリング用把手。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) (a) 中央部に凹所を形成する円盤状のウエ
ハ表面押さえ部材と、 (b) 該ウエハ表面押さえ部材と螺合するリン
グ状のウエハ裏面押さえ部材と、 (c) 前記ウエハ表面押さえ部材とウエハ裏面
押さえ部材間にウエハの周縁部を挟着する手段と
を具備してなるバツクエツチング治具。 (2) 前記ウエハ表面押さえ部材及びウエハ裏面
押さえ部材はテフロン系、アルミナ系の材質から
なることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第
１項記載のバツクエツチング治具。 (3) 前記ウエハはメンブレン膜が形成される基
板であることを特徴とする実用新案登録請求の範
囲第１項記載のバツクエツチング治具。 (4) 前記ウエハ表面押さえ部材とウエハ裏面押
さえ部材間にＯリングを装着するようにしたこと
を特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載
のバツクエツチング治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18285286U JPS6389238U (ja) | 1986-11-29 | 1986-11-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18285286U JPS6389238U (ja) | 1986-11-29 | 1986-11-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6389238U true JPS6389238U (ja) | 1988-06-10 |
Family
ID=31129038
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18285286U Pending JPS6389238U (ja) | 1986-11-29 | 1986-11-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6389238U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05283394A (ja) * | 1992-04-02 | 1993-10-29 | Nippondenso Co Ltd | エッチングポット |
-
1986
- 1986-11-29 JP JP18285286U patent/JPS6389238U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05283394A (ja) * | 1992-04-02 | 1993-10-29 | Nippondenso Co Ltd | エッチングポット |