JP2022055440A - ディスク装置用サスペンションの製造方法と、製造装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、1つの実施形態に係るディスク装置用サスペンション10(この明細書では単にサスペンション10と称すこともある)を示している。
図5は、サスペンション10の製造工程を示すフローチャートである。図5に示された一連のステップST1-ST10を経ることにより、圧電素子31,32がアクチュエータ搭載部15,16に実装される。
ステップST1では、未硬化の導電材70aが配線部21の端子21aに塗布される。例えば図6に示されるように、ペースト状の導電材70aが導電材供給装置80のノズル81によって、端子21aの導体21cに塗布される。導電材70aは、紫外線が照射されても硬化しないように、紫外線には反応しない熱硬化形の接着剤が使用される。
ステップST2において、アクチュエータ搭載部15,16に接着剤50を塗布する。図7に示された接着剤供給装置100は、ノズル101を有するディスペンサ102と、ディスペンサ102を三次元方向(矢印X,Y,Zで示す)に移動させる移動機構103と、ノズル101の位置を制御するコントローラ104と、接着剤の供給源105などを含んでいる。ノズル101から吐出された液状の接着剤50が、アクチュエータ搭載部15,16の支持部43,44などに塗布される。
ステップST3では、ステップST2によって塗布された未硬化の接着剤50に、光照射装置110(図8に示す)によって紫外線が照射される。紫外線の照射は、接着剤50が塗布されたのち3-10秒程度が経過し、接着剤50が濡れ広がってから行われる。
図9は、アクチュエータ搭載部15,16に圧電素子31,32を載置する素子供給装置120と、圧電素子31,32の高さを検出する高さ検出器121とを模式的に示している。
素子供給装置120によって、圧電素子31,32がアクチュエータ搭載部15,16の接着剤50の上に載置される。このとき接着剤50は、予めステップST3において粘度が増加した状態となっている。このため接着剤50の上に置かれた圧電素子31,32が、接着剤50の表面張力や搬送シャトル91の振動などによって、所定位置から移動してしまうことが抑制される。また圧電素子31,32が自重により下方に移動しすぎることが抑制される。
ステップST5では、圧電素子31,32の高さが高さ検出器121(図9に示す)によって検出される。高さ検出器121は、例えばレーザ光LBを圧電素子31,32の表面に向けて照射し、その反射光を受光することにより、圧電素子31,32の高さを検出する。
ステップST6では、接着剤50を仮硬化させる。この明細書で言う「仮硬化」とは、ステップST10の加熱装置130によって接着剤50を完全に硬化(本硬化)させる前に、接着剤50の表面付近をある程度硬化させておくことを意味する。
例えばアクチュエータ搭載部15,16に高温ガス(エアあるいは不活性ガス)を吹付けることにより、接着剤50の表面付近をある程度硬化させる。これにより圧電素子31,32の動き止めがなされる。ここで言う高温ガスとは、接着剤50を短時間で硬化させるに足る温度に加熱されたガス(例えば不活性ガス)である。ただし接着剤50の性質等の諸条件によっては、ステップST6を省略してもよい。
ステップST7では、アクチュエータ搭載部15,16に追加の接着剤を供給する。例えば、圧電素子31,32の外周と開口部41,42の内面41a,42aとの間に、必要に応じて接着剤50を塗布する。接着剤50を塗布する装置は、図7に示された接着剤供給装置100と同様でよい。ただし接着剤50の性質や工程上の諸条件によっては、ステップST7を省略することが可能である。
ステップST8では、ステップST7によって追加された接着剤に紫外線を照射する。このとき使用される光照射装置は、図8に示された光照射装置110と同様でよい。追加された接着剤に紫外線を照射することにより、接着剤の粘度が増加する。追加の接着剤により、圧電素子31,32をさらに確実に固定することができる。ただしステップST8は、工程上の諸条件によっては省略される。
ステップST9では、第1の圧電素子31の上面の電極62とベースプレート11との間に、未硬化の導電材70bが塗布される。第2の圧電素子32の上面の電極とベースプレート11との間にも、未硬化の導電材70bが塗布される。
ステップST10において、複数のサスペンション10が加熱装置130(図11に示す)に搬入される。加熱装置130は、装置本体131の内部にヒータ132等の加熱源を有し、支持体133に載置された複数のサスペンション10をバッチ処理によって同時に加熱する。ヒータ132は、接着剤50と導電材70a,70bとの双方が硬化するのに適した温度にサスペンション10を加熱する。加熱する温度は、圧電素子31,32のキュリー点以下とし、好ましくはキュリー点の2分の1以下とするとよい。
第2の実施形態に係るサスペンション10Aは、第1の実施形態のサスペンション10と同様に、ロードビーム13と、フレキシャ14とを有している。フレキシャ14に形成されたタング22にスライダ23が搭載されている。
ステップST11(接着剤を塗布する工程)において、アクチュエータ搭載部15A,16Aの支持部20a,20bに未硬化の接着剤50が塗布される。
ステップST12(紫外線を照射する工程)において、接着剤50に紫外線を照射することにより、接着剤50の粘度を増加させる。
ステップST17(本硬化工程)では、複数のサスペンション10Aが加熱装置130(図11に示す)に収容される。これらサスペンション10Aが加熱装置130内で加熱されることにより、接着剤50と導電材70a,70bとが硬化する。この実施形態のサスペンション10Aは、圧電素子31,32を所定位置に固定できたことにより、特にヨーモードの共振特性を改善する上で効果を奏することができた。
Claims (8)
- 圧電素子が搭載されるアクチュエータ搭載部を備えたディスク装置用サスペンションの製造方法であって、
紫外線に反応する接着剤を前記アクチュエータ搭載部に塗布し、
前記アクチュエータ搭載部に塗布された前記接着剤に紫外線を照射することにより前記接着剤の粘度を増加させ、
粘度が増加した前記接着剤の上に前記圧電素子を配置し、
前記圧電素子が配置された前記アクチュエータ搭載部を加熱し、
前記加熱によって前記接着剤を硬化させることにより、前記圧電素子を前記アクチュエータ搭載部に固定することを特徴とするディスク装置用サスペンションの製造方法。 - 請求項1に記載のディスク装置用サスペンションの製造方法において、
前記圧電素子の電極と前記アクチュエータ搭載部の導体との間に熱硬化形の導電材を塗布し、前記接着剤と前記導電材とを同時に加熱することにより、前記接着剤と前記導電材とを硬化させることを特徴とする製造方法。 - 請求項1に記載のディスク装置用サスペンションの製造方法において、
前記アクチュエータ搭載部に前記圧電素子が配置されたのち、前記アクチュエータ搭載部に追加の接着剤を塗布し、追加された前記接着剤に紫外線を照射することにより粘度を増加させることを特徴とする製造方法。 - 請求項1に記載のディスク装置用サスペンションの製造方法において、
前記アクチュエータ搭載部に前記圧電素子が配置されたのち、前記接着剤を前記加熱によって硬化させる前に、前記接着剤に高温ガスを吹付けることにより、前記接着剤の表面付近を硬化させることを特徴とする製造方法。 - 請求項1に記載のディスク装置用サスペンションの製造方法において、
前記アクチュエータ搭載部に配置された前記圧電素子の高さを検出し、検出された前記圧電素子の高さに応じて前記紫外線の照射量を調整することを特徴とする製造方法。 - 圧電素子が搭載されるアクチュエータ搭載部を備えたディスク装置用サスペンションの製造装置であって、
前記サスペンションを保持する搬送シャトルと、
前記搬送シャトルを移動させる駆動機構と、
紫外線に反応する接着剤を前記アクチュエータ搭載部に塗布する接着剤供給装置と、
塗布された前記接着剤に紫外線を照射することにより前記接着剤の粘度を増加させる光照射装置と、
粘度が増加した前記接着剤の上に前記圧電素子を配置する素子供給装置と、
前記圧電素子が配置された前記アクチュエータ搭載部を加熱することにより前記接着剤を硬化させる加熱装置と、
を具備したことを特徴とするディスク装置用サスペンションの製造装置。 - 請求項6に記載のディスク装置用サスペンションの製造装置において、
前記圧電素子の電極と前記アクチュエータ搭載部の導体との間に熱硬化形の導電材を塗布する導電材供給装置をさらに備えたことを特徴とする製造装置。 - 請求項6に記載のディスク装置用サスペンションの製造装置において、
前記アクチュエータ搭載部に配置された前記圧電素子の高さを検出する高さ検出器と、
検出された前記圧電素子の高さに応じて前記紫外線の照射量を調整する制御部と、
をさらに有したことを特徴とする製造装置。
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