JPH0618687B2 - 積層装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、シート積層法による多層セラミツク基板の製
造方法における、グリーンシートの積層に使用する積層
装置に係り、特に、層間ずれのきわめて小さい多層セラ
ミツク基板を製造するに好適な積層装置に関するもので
ある。

〔発明の背景〕

従来、多層セラミツク基板を製造する方法として、バイ
アホール内への導体を充填し、且つ配線パターンを印刷
してなるグリーンシートを複数枚積層し、これを加熱加
圧して製造するシート積層法がある。この製造方法にお
ける、前記グリーンシートの積層の位置決め精度、すな
わち積層精度を向上させる方法として、たとえば特開昭
６０−４２９３号公報に記載されているように、位置決
めテーブルとモニタテレビとを使用してグリーンシート
の位置決めをし、積層するものが知られている。

これをさらに詳しく説明すると、基準穴を正確に穿設し
たグリーンシートを、位置決めテーブル上に載置吸着
し、前記基準穴をモニタテレビに映し出し、このモニタ
テレビ上の定位置に前記基準穴を合わせたのち、搬送機
構によつてそのグリーンシートを吸着して積層テーブル
の位置まで搬送して、これを該積層テーブル上に積上げ
るものである。この方法により、グリーンシートの積層
精度を著しく向上させることができるようになつた。

ところで、このように積層したグリーンシートは、その
後、ホツトプレスによって加熱加圧されるが、この加熱
加圧時にグリーンシート間に位置ずれが生ずると接着精
度が劣化し、その結果として多層セラミツク基板に層間
ずれをもたらす。

さきの公報に記載された発明は、この接着精度の向上に
ついては十分な考慮がなされておらず、さらに改善すべ
き問題点があった。

〔発明の目的〕

本発明は、上述した従来技術の問題点を改善して、シー
ト積層法による多層セラミツク基板の製造方法におけ
る、グリーンシートの積層精度および接着精度を向上
し、層間ずれのきわめて小さい多層セラミツク基板を製
造するに使用される積層装置の提供を、その目的とする
ものである。

〔発明の概要〕

本発明に係る積層装置の構成は、グリーンシートにガイ
ド穴を穴明けし、接着下治具板に立てたガイドピンへ前
記ガイド穴を挿入することにより、グリーンシートを順
次積層し、その上に接着上治具板を載置したものを加熱
加圧して多層セラミツク基板を製造するようにしたシー
ト積層法による多層セラミツク基板の製造方法におる前
記積層に使用する積層装置において、額縁状枠に取付け
られ、少なくとも２個の基準穴を穿設したグリーンシー
トの当該額縁状枠を、基準面に当接せしめてグリーンシ
ートを載置固定することができる、ｘ，ｙ，θ方向へ微
動調整可能な位置決めテーブルと、位置決めステージに
ある前記位置決めテーブル上のグリーンシートの前記基
準穴を観察することができるテレビカメラと、このテレ
ビカメラによる前記基準穴の映像をモニタするモニタテ
レビと、ガイドピンを立てた接着下治具板を載置固定す
ることができる、ｚ方向へ微動調整可能な積層テーブル
と、ガイド穴明け外周切断兼積層ステージを有し、この
ステージで前記位置決めテーブルに載置固定されている
グリーンシートにガイド穴の穴明け加工と外形打抜き加
工とを同時に行ない、打抜いたグリーンシートを上型側
へ吸着することができ、且つその吸着したグリーンシー
トのガイド穴を前記積層テーブル上の接着下治具板のガ
イドピンへ挿入して積層することができる上型と下型と
からなる金型を具備したガイド穴明け外周切断機構と、
積層準備ステージにある前記積層テーブル上の、打抜い
たグリーンシートの基準穴を観察することができるテレ
ビカメラと、このテレビカメラによる前記基準穴の映像
をモニタするモニタテレビと、前記位置決めテーブルと
積層テーブルとを移動可能に載置し、前記位置決めテー
ブルを前記位置決めステージとガイド穴明け外周切断兼
積層ステージとの間に搬送することができ、且つ前記積
層テーブルを前記積層準備ステージとガイド穴明け外周
切断兼積層ステージとの間で搬送することができる搬送
装置とを有せしめるようにしたものである。

さらに詳しくは、額縁状枠に取付けたグリーンシートを
位置決めする位置決めステージと、グリーンシートにガ
イド穴を穴明けして積層するガイド穴明け外周切断兼積
層ステージとを別個に設け、前記位置決めステージで正
確に位置決めした額縁状枠に取付けたグリーンシートを
位置決めテーブルとともに、ガイド穴明け外周切断機構
内に設けた前記ガイド穴明け外周切断兼積層ステージへ
正確に搬送し、ここで前記グリーンシートにガイド穴を
穴明けすると同時に該グリーンシートを前記額縁状枠か
ら切離して打抜き、これと同時に、打抜かれたグリーン
シートを該ガイド穴明け外周切断機構の上型側に真空吸
着によって固着し、前記上型を上昇させるとともに、前
記位置決めテーブルを前記位置決めステージへ戻し、代
りに、接着下治具板を載置固定した積層テーブルを前記
ガイド穴明け外周切断機構内のガイド穴明け外周切断兼
積層ステージへ正確に搬送し、前記ガイド穴を下降させ
て、前記接着下治具板上へ前記グリーンシートを積層す
ることができるように構成したものである。

〔発明の実施例〕

実施例の説明に入るまえに、接着接度を向上させるため
の基本的事項を、図面を用いて説明する。

第４，５図は、本発明に係る基本的事項を説明するたの
ものであり、第４図は、シート積層法によって製造した
多層セラミツク基板の層間ずれの一例を示す断面図、第
５図は、第４図における片側クリアランスと最大層間ず
れとの関係を示すｃ−δ線図である。

第４図において、１は、導体を充填したバイアホール３
を有し、ガイド穴１ａを穴明けしたグリーンシート，31
は、ガイドピン22を立てた接着下治具板であり、この接
着下治具板31のガイドピン22へ各グリーンシート１のガ
イド穴１ａを挿して、複数枚のグリーンシート１が積層
されている。32は、グリーンシート１の上に載置した接
着上治具板である。

本発明者らは、ガイド穴１ａ（穴径Ｄ）とガイドピン
（直径ｄ）の片側のクリアランスｃ＝（Ｄ−ｄ）／２を
いろいろ変えて、前記積層したグリーンシート１をホツ
トプレスによって加熱加圧して多層セラミツク基板を製
造したときの、最大層間ずれδを調べた。この最大層間
ずれδは、バイアホール３の中心間の最大ずれを測った
ものであり、積層時に位置ずれを差引いた値である。し
たがって、加熱加圧による位置ずれ、すなわち接着精度
に等しい。

第５図に示結果から明らかなように、片側クリアランス
ｃが小さいほど最大層間ずれδが小さくなる。たとえ
ば、ガイドピン22を16本立てた接着下治具板31を使用す
る場合には、ガイドピン22の直径ｄをガイド穴１ａの穴
径Ｄに対して片側クリアランスｃが約17μｍ以下になる
ように決めるとにより、最大層間ずれδを10μｍ以下に
することができる。

そこで本発明の積層装置は、ごく小さい片側クリアラン
ス、たとえば10μｍでも、ガイドピン22へグリーンシー
ト１のガイド穴１ａをスムーズに挿入することができる
ように構成した。すなわち、ガイド穴明けポンチの軸心
と、積層テーブル上に載置固定された接着下治具板31の
ガイドピン22の軸心とが正確に一致するように、前記ガ
イド穴明へポンチの下に前記積層テーブルを位置決みせ
しめ（この位置がガイド穴明け外周切断兼積層ステージ
の位置である）、ガイド穴１ａを穴明けしたグリーンシ
ート１を、穴明けしたその位置で接着下治具板31上に積
層することができるようにしたものである。

以下、本発明を実施例によって説明する。

第１図は、本発明の一実施例に係る積層装置を示す略示
正面図、第２図は、第１図におけるグリーンシートの斜
視図、第３図は、第１図における金型と、これによる前
記グリーンシートの打抜き状態を示す詳細断面図であ
る。

まず、グリーンシート１を、第２図を用いて説明する。

このグリーンシート１は、額縁状枠２に接着剤で接着さ
れ、４個の基準穴５が穿設されたものである。

具体例を示すと、グリーンシートとして、厚さ0.25×20
0×200mmのアルミナグリーンシートを使用し、このグリ
ーンシートを額縁状枠２に接着したのち、ＮＣボール盤
によつて0.2mmφのバイアホール３と、0.2mmφの基準穴
５（４個穿設位置は100×100mmの４隅）とを穴明けす
る。額縁状枠２（230×230mm）の端面６，７の表面粗さ
はＲmax 1.5μｍ以下、直角度は±３′以下に仕上げら
れており、この端面６，７に対する前記基準穴５の位置
精度は±0.005μｍである。前記穴明け後、バイアホー
ル３の充填印刷および配線パターン４の印刷が行なわ
れ、グリーンシート１が得られる。

次に、積層装置の構成を、第１，３図を用いて説明す
る。

８は、第３図にその詳細を示すように、直交する２つの
基準面８ｄ，８ｄに額縁状枠２の端面６，７を当接せし
めてグリーンシート１を載置固定することができる、
ｘ，ｙ，θ方向へそれぞれ微動調整可能な、ステッピン
グモータ（図示せず）内蔵の微動テーブル８ａ，８ｂ，
８ｃを具備した位置決めテーブルである。さらに詳しく
は、ｘ微動テーブル８ａ上に固定されたクランプ機構33
の固定部33aの額縁状枠保持部33c上に、グリーンシート
１の額縁状枠２を載置し、この額縁状枠２の２辺に可動
部33b，33bを当接し、ばね35，35の圧縮力によつて（可
動部33b，ばね35は、直交する方向に２組ある）、固定
部33aの直交する２つの基準面８ｄ，８ｄに額縁状枠２
の端面６，７を当接せしめてグリーンシート１をクラン
プすることができるように構成されている。そして、θ
微動テーブル８ｃの下面には、スライド用ベアリング28
が取付けられている。

位置決めテーブル40の上方には、この位置決めテーブル
40にある位置決めテーブル８上のグリーンシート１の基
準穴５を観察することができる４台のテレビカメラ10が
あり、これらのテレビカメラ10には、これらテレビカメ
ラ10による基準穴５の映像13をモニタすることができ
る、４個のカソール線12のある12インチのモニタテレビ
11が接続されている。

21は、ガイドピン22を立てた接着下治具板31を載置固定
することができ、ステッピングモータ内蔵の高さ調整機
構（図示せず）を具備し、ｚ方向へ微動調整可能な積層
テーブルである。そして、この積層テーブル21の下面に
は、スライド用ベアリング（図示せず）が取付けられて
いる。接着下治具板31には、16本にガイドピン22が立て
てあり、その直径ｄは、グリーンシート１に穿設するガ
イド穴に対して、片側クリアランスｃが約10μｍとれる
太さになつている。

29は、上型17と下型16とからなる金型を具備したガイド
穴明け外周切断機構であって、前記金型は、該ガイド穴
明け外周切断機構29内に設けたガイド穴明け外周切断兼
積層ステージ41（第３図参照）において、位置決めテー
ブル８（ガイド穴明け外周切断兼積層ステージ41に位置
決めされた位置決めテーブル８。位置決めについては後
述する）に載置固定されているグリーンシート１にガイ
ド穴１ａの穴明け加工と外形打抜き加工とを同時に行な
い、打抜たグリーンシート１を上型17の真空吸着板20に
吸着することができ、且つその吸着したグリーンシート
１のガイド穴１ａを積層テーブル21（ガイド穴明け外周
切断兼積層ステージ41に位置決めされた積層テーブル2
1）上の接着下治具板31のガイドピン22へ挿入して積層
することができる。さらに詳しくは、上型17は、ガイド
穴明けポンチ14と、外周切断用ダイ部15と、前記ガイド
穴明ポンチ14が摺動する穴明ポンチ摺動孔が穿設されス
トリツパプレート27と、このストリツパプレート27の下
面に取付けられた、真空吸引用穴39が穿設されている真
空吸着板20とからなつている。そしてこの上型17は、押
し引き兼用のエアシリンダ18のロッドの下端に連結され
たクロスヘッド36に取付けられており、前記ロッドの伸
縮によつて上下動することができる。下型16には、グリ
ーンシート１のガイド穴１ａを打抜いたときに生ずる抜
きかす37を下方へ落とすためのかす落とし穴38が穿設さ
れている。この下型16は、ステツピングモータ19の動作
によつて上下動することができる。そして、ガイド穴明
けポンチ14と下型16とによつてガイド穴１ａの穴明け加
工を、下型16と外周切断用ダイ部15とによって外形の打
抜き加工を、同時に行なうことができる。

積層準備ステージ42の上方には、この積層ステージ42に
ある積層テーブル21上の、打抜いたグリーンシート１の
基準穴５を観察することができる４台のテレビカメラ23
があり、これらのグリーンシート23には、これらテレビ
カメラ23による基準穴５の映像26をモニタすることがで
きる、４個のカーソル線25のある12インチのモニタテレ
ビ24が接続されている。

９は、フレーム30上に載置固定され、位置決めステージ
ル40とガイド穴明け外周切断兼積層ステージ41と積層準
備ステージ42とを連絡し、その上を位置決めテーブル
８，積層テーブル21が滑らかに摺動することができるガ
イドレールである。前記各ステージ40，41，42には、そ
れぞれ位置決め板40a，41a，42aが設けれている。フレ
ーム30上の、位置決めステージ40の左方（第１図におい
て左方）には位置決めテーブル用エアシリンダ（図示せ
ず）が配設されており、該エアシリンダのロツド（図示
せず）の先端が位置決めテーブル８の左側面に連結され
ている。そして、前記ロツドを縮め、位置決めテーブル
８をガイドレール９上を左方へ移動させて、該位置決め
テーブル８の左側面を位置決め板40aに当接せしめる
（第１図の状態）ことにより、位置決めテーブル８を位
置決めステージ40に位置決めすることができる。また、
前記ロツドを伸ばして、位置決めテーブル８を押し、そ
の右側面を位置決め板41aに当接せしめる（第３図の状
態）ことにより、位置決めテーブル８をガイド穴明け外
周切断兼積層ステージ41に位置決めすることができる。

フレーム30上の、積層準備ステージ42の右方（第１図に
おいて右方）には積層テーブル用エアシリンダ（図示せ
ず）が配設されており、該エアシリンダのロツド（図示
せず）の先端が積層テーブル21の右側面に連結されてい
る。そして、前述したと同様にして、積層テーブル21を
ガイド穴明け外周切断兼積層ステージ41、積層ステージ
42に、それぞれ位置決めすることができる。

搬送装置は、前記ガイドレール９，位置決めテーブル用
ベアシリンダ，積層テーブル用エアシリンダから構成さ
れている。

以上のように構成した積層装置の動作を説明する。

位置決めテーブル用エアシリンダを作動させ、そのロツ
ドを縮めて、位置決めテーブル８の左側面を位置決め板
40aに当接せしめ、位置決めステージ40に位置決めする
（第１図の状態）。

額縁状枠に取付けられ、設計位置に４個の基準穴を穿設
した金属性マスタ（図示せず）の前記額縁状枠を、位置
決めテーブル８の額縁状枠保持部33c上に載置し、前記
額縁状枠の２辺に可動部33b，33bを当接し、ばね35，35
の圧縮力によつて固定部33aの基準面８ｄ，８ｄに前記
額縁状枠の２端面を当接して、前記金属性マスタをクラ
ンプする。

この金型性マスタの前記基準穴をテレビカメラ10で観察
し、それらの映像をモニタテレビ12上に映し出す。この
映し出された基準穴の外周にカーソル線12を合わせる。

また、前記金属性マスタに16個（グリーンシート１に穴
明けするガイド穴１ａと同じ個所，個数，大きさ）のガ
イド穴を穿設したものを、積層準備ステージ42に位置決
めした積層テーブル21上の接着下治具板31に、前記ガイ
ド穴をガイドピン22に挿入して載置し、この金属性マス
タの前記基準穴をテレビカメラ23で観察し、それらの映
像をモニタテレビ24上に映し出す。この映し出された基
準穴の外周のカーソル線25を合わせる。

次に、この金属性マスタを位置決めテーブル８から取外
し、代りに、積層すべきグリーンシート１を１枚載置
し、さきと同様にしてクランプする。

ここで積層装置をＯＮにすると、テレビカメラ10によ
り、位置決めテーブル８上のグリーンシート１の基準穴
５が撮影され、その映像13がモニタテレビ11上に映し出
される。微動テーブル８ａ，８ｂ，８ｃの前記ステツピ
ングモータが作動して、映像13が所定誤差範囲でカーソ
ル線12内に入るように調整され、この調整が終つたら、
微動テーブル８ａ，８ｂ，８ｃがクランプされる。前記
位置決めテーブル用エアシリンダのロツドが伸び、グリ
ーンシート１を載置した位置決めテーブル８がガイドレ
ール９上を右方（第１図において右方）へ移動し、ガイ
ド穴明け外周切断機構29内のガイド穴明け外周切断兼積
層ステージ41の位置決め板41aに位置決めテーブル８が
当接して停止する。ステツピングモータ19が作動し、下
型16が上昇して、その上面がグリーンシート１の下面に
接触して停止する。エアシリンダ18が作動し、上型17が
下降して、ガイド穴明けポンチ14と下型16とによりグリ
ーンシート１にガイド穴１ａが穴明けされるとともに、
外周切断用ダイ部15と下型16とによりグリーンシート１
の外形が打抜かれて額縁状枠２から分離される。これと
同時に、上型17の真空吸着板20が作動して、打抜かれた
グリーンシート１がその真空吸着板20に吸着され、ガイ
ド穴１ａの抜きかす37がかす落とし穴38から下方へ落ち
る。そして上型17が上昇して初期位置へ戻る。前記位置
決めテーブル用エアシリンダのロツドが縮んで、位置決
めテーブル８がガイドレール９上を左方へ移動し、位置
決めステージ４０に来ると、位置決め板40aに当接して
停止する。そして、位置決めテーブル８上に残されてい
る、分離された額縁状枠２が除去される。下型16が初期
位置まで下降する。

前記積層テーブル用エアシリンダのロッドが伸び、接着
下治具板31を載置固定した積層テーブル21がガイドレー
ル９上を左方へ移動し、ガイド穴明け外周切断兼積層ス
テージ41の位置決め板（図示せず）に積層テーブル21が
当接して停止する。上型17が下降し、真空吸着板20に吸
着されている。打抜かれたグリーンシート１のガイド穴
１ａが接着下治具板31のガイドピン22へ嵌まり、さらに
そのガイドピン22が上型17の穴明けポンチ摺動孔内へ挿
入されて行く。そして前記グリーンシート１が接着下治
具板31の上面（次回以降は、前回積層したグリーンシー
トの上面）に接触すると、停止する。真空吸引が切れ、
真空吸引用穴39から空気が吐出され、グリーンシート１
が真空吸着板20から離れて接着下治具板31上に積層され
る。上型17が初期位置へ戻る。前記積層テーブル用エア
シリンダのロツドが縮み、積層テーブル21がガイドレー
ル９上を右方へ移動し、積層準備ステージ42の位置決め
板42aに当接して停止する。

テレビカメラ23により、積層テーブル21上のグリーンシ
ート１の基準穴５が撮影され、その映像26がモニタテレ
ビ24上に映し出される。そして、その映像26とカーソル
線21との誤差が所定誤差範囲であれば、前記高さ調整機
構が作動して、積層テーブル21の高さがグリーンシート
１の厚さだけ低くなる。

次に、位置決めテーブル８上に２枚目のグリーンシート
１を載置し、これをクランプ機構33によってクランプす
る。以降、さきと同様の動作によつて、接着上治具板31
上に２枚目のグリーンシート１が積層され、これが繰返
される。映像26とカーソル線25との誤差が所定誤差範囲
外であれば、そのグリーンシートを排除する。このよう
にして所定枚数のグリーンシート１の積層が終了した
ら、積層装置がＯＦＦになる。

積層テーブル21上から、前記所定枚のグリーンシート１
を積層した接着下治具板31を取出し、その上に接着上治
具板32を載置し（第４図参照）、ホツトプレスを使用し
て加熱加圧すれば、所望の多層セラミツク基板が得られ
る。

なお、本積層装置を使用して積層を実施したときの積層
精度について言及すると、この積層装置の構成要素のそ
れぞれの機械的停止精度が±１μｍ以下である。モニタ
テレビ11，24は、100倍の像を12インチのブラウン管上
上に写し出せるようにしてあるので（カーソル線12，25
はブラウン管上で約0.6mm幅）、その解像度が６μｍと
なり、ブラウン管上での位置合わせ精度を±６μｍに抑
えることができる。前記機械的停止精度を含めても、積
層精度は±10μｍ以下である。

接着精度については、ガイドピン22の本数が16本の接着
下治具板31を使用し、片側クリアランスｃを約10μｍに
したので、第５図を用いて、10μｍ以下である。

したがって、積層時の位置ずれと加熱加圧時の位置ずれ
との和である層間ずれを、20μｍ以下に抑えることがで
きる。

以上説明した実施例によれば、接着下治具板31のガイド
ピン22の本数と、グリーンシート１のガイド穴１ａと前
記ガイドピン22の片側クリアランスｃとを適正値に選
び、グリーンシート１を、ガイド穴１ａを穴明けしたそ
の位置で接着下治具板31上に積層するようにしたので、
層間ずれのきわめて小さい多層セラミツク基板を製造す
ることができるという効果がある。

したがつて、オープン不良（隣接するグリーンシート
で、バイアホール３間で導通がとれない不良），ショー
ト不良（隣接するグリーンシートで、バイアホール３と
配線パターン４とが短絡する不良）の発生がなく、超高
密度パターンの多層セラミツク基板が得られる。

また、グリーンシート１を、額縁状枠２に取付けて取扱
うようにしたので、該グリーンシート１が搬送中などに
破損するおそれはなく、歩留りが向上する。加えて、ガ
イド穴１ａの抜きかす37を下方へ落とすようにしたの
で、抜きかす37によつてグリーンシート１の面を傷める
こともない、という利点がある。

なお、本実施例においては、グリーンシート１に基準穴
５を４個穿設したが、必ずしも４個でなくともよく、２
個以上あればよい。しかし、基準穴５の個数は多いほど
積層精度がさらに向上する。

〔発明の効果〕

以上詳細に説明したように本発明によれば、シート積層
法による多層セラミツク基板の製造方法における、グリ
ーンシートの積層精度および接着精度を向上し、層間ず
れのきわめて小さい多層セラミツク基板を製造するに使
用される積層装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例に係る積層装置を示す略示
正面図、第２図は、第１図におけるグリーンシートの斜
視図、第３図は、第１図における金型と、これによる前
記グリーンシートの打抜き状態を示す詳細断面図、第
４，５図は、本発明に係る基本的事項を説明するための
ものであり、第４図は、シート積層法によつて製造した
多層セラミツク基板の層間ずれの一例を示す断面図、第
５図は、第４図における片側クリアランスと最大層間ず
れとの関係を示すｃ−δ線図である。 １……グリーンシート、１ａ……ガイド穴 ２……額縁状枠、５……基準穴 ８……位置決めテーブル 8a……ｘ微動テーブル、8b……ｙ微動テーブル 8c……θ微動テーブル、8d……基準面 ９……ガイドレール、10……テレビカメラ 11……モニタテレビ 14……ガイド穴明けポンチ 15……外形打抜き用ダイ部 16……下型、17……上型 20……真空吸着板、21……積層テーブル 22……ガイドピン、23……テレビカメラ 24……モニタテレビ 29……ガイド穴明け外周切断機構 31……接着下治具板、32……接着上治具板 40……位置決めステージ 41……ガイド穴明け外周切断兼積層ステージ 42……積層準備ステージ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 京井 正之 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 大沢 義幸 神奈川県秦野市堀山下１番地 株式会社日 立製作所神奈川工場内 (72)発明者 三好 徹夫 神奈川県秦野市堀山下１番地 株式会社日 立製作所神奈川工場内 (72)発明者 木村 茂人 神奈川県秦野市堀山下１番地 株式会社日 立製作所神奈川工場内 (72)発明者 小野 薫 神奈川県秦野市堀山下１番地 株式会社日 立製作所神奈川工場内 (72)発明者 加藤 雅代 神奈川県秦野市堀山下１番地 株式会社日 立製作所神奈川工場内

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】グリーンシートにガイド穴を穴明けし、接
   着下治具板に立てたガイドピンへ前記ガイド穴を挿入す
   ることにより、グリーンシートを順次積層し、その上に
   接着上治具板を載置したものを加熱加圧して多層セラミ
   ック基板を製造するようにしたシート積層法による多層
   セラミック基板の製造方法における前記積層に使用する
   積層装置において、額縁状枠に取付けられ、少なくとも
   ２個の基準穴を穿設したグリーンシートの当該額縁状枠
   を、基準面に当接せしめてグリーンシートを載置固定す
   ることができる、ｘ，ｙ，θ方向へ微動調整可能な位置
   決めテーブルと、位置決めステージにある前記位置決め
   テーブル上のグリーンシートの前記基準穴を観察するこ
   とができるテレビカメラと、このテレビカメラによる前
   記基準穴の映像をモニタするモニタテレビと、ガイドピ
   ンを立てた接着下治具板を載置固定することができる、
   ｚ方向へ微動調整可能な積層テーブルと、ガイド穴明け
   外周切断兼積層ステージを有し、このステージで前記位
   置決めテーブルに載置固定されているグリーンシートに
   ガイド穴の穴明け加工と外形打抜き加工とを同時に行な
   い、打抜いたグリーンシートを上型側へ吸着することが
   でき、且つその吸着したグリーンシートのガイド穴を前
   記積層テーブル上の接着下治具板のガイドピンへ挿入し
   て積層することができる上型と下型とからなる金型を具
   備したガイド穴明け外周切断機構と、積層準備ステージ
   にある前記積層テーブル上の、打抜いたグリーンシート
   の基準穴を観察することができるテレビカメラと、この
   テレビカメラによる前記基準穴の映像をモニタするモニ
   タテレビと、前記位置決めテーブルと積層テーブルとを
   移動可能に載置し、前記位置決めテーブルを前記位置決
   めステージとガイド穴明け外周切断兼積層ステージとの
   間で搬送することができ、且つ前記積層テーブルを前記
   積層準備ステージとガイド穴明け外周切断兼積層ステー
   ジとの間で搬送することができる搬送装置とを有するこ
   とを特徴とする積層装置。